JPS58158255A - 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置 - Google Patents
多層薄膜形成装置における膜厚監視装置Info
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- JPS58158255A JPS58158255A JP57039337A JP3933782A JPS58158255A JP S58158255 A JPS58158255 A JP S58158255A JP 57039337 A JP57039337 A JP 57039337A JP 3933782 A JP3933782 A JP 3933782A JP S58158255 A JPS58158255 A JP S58158255A
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| JP57039337A JPS58158255A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP57039337A JPS58158255A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58158255A true JPS58158255A (ja) | 1983-09-20 |
| JPS6154598B2 JPS6154598B2 (en:Method) | 1986-11-22 |
Family
ID=12550273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57039337A Granted JPS58158255A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58158255A (en:Method) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019531995A (ja) * | 2016-11-03 | 2019-11-07 | ケーニッヒ ウント バウアー アー・ゲーＫｏｅｎｉｇ ＆ Ｂａｕｅｒ ＡＧ | 引込手段を備えるラミネータおよび材料をラミネートする方法 |
| JP2019535612A (ja) * | 2016-11-03 | 2019-12-12 | ケーニッヒ ウント バウアー アー・ゲーＫｏｅｎｉｇ ＆ Ｂａｕｅｒ ＡＧ | ラミネータおよび材料のシートをラミネートする方法 |
| JP2020513344A (ja) * | 2016-11-03 | 2020-05-14 | ケーニッヒ ウント バウアー アー・ゲーＫｏｅｎｉｇ ＆ Ｂａｕｅｒ ＡＧ | ラミネータ |
-
1982
- 1982-03-15 JP JP57039337A patent/JPS58158255A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US10717258B2 (en) | 2016-11-03 | 2020-07-21 | Koenig & Bauer Ag | Laminating machine, and a method for laminating sheets of a material |
| US10821716B2 (en) | 2016-11-03 | 2020-11-03 | Koenig & Bauer Ag | Laminating machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6154598B2 (en:Method) | 1986-11-22 |
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