JPS58156219A

JPS58156219A - 超音波遅延線およびその製造法

Info

Publication number: JPS58156219A
Application number: JP2840783A
Authority: JP
Inventors: ハインリツヒ・デイ−パ−ス; ベルトラム・ザツクス
Original assignee: Siemens Schuckertwerke AG; Siemens AG
Current assignee: Siemens Schuckertwerke AG; Siemens AG
Priority date: 1982-02-23
Filing date: 1983-02-22
Publication date: 1983-09-17
Also published as: EP0087078A3; DE3206452A1; EP0087078A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、圧電形超音波すべり変換子を有し、それらの
電極がそれぞれ遅延媒体から成る平らな多角形ブロック
の側面の金属被覆部と接着されまた電気的に接続されて
いる、特にカラーテレビ受像機用の超音波遅延線に関す
る。

超音波の伝搬遅延を利用する遅延線は公知のように主と
して、入力変換子としての圧電形超音波すべり変換子と
遅延媒体と出力変換子としての圧電形超音波すべり変換
子とから成っている。入力変換子は与えられた電気的信
号により機械的に振動し、それにより生じた超音波信号
をたとえばガラスから成る遅延媒体内へ伝搬させる。遅
延媒体内で伝搬速度および伝搬距離に関係して必要な遅
延時間を得た超音波信号は出力変換器に到達する。

出力変換器は与えられた超音波信号により機械曲番で振
動し、それにより再び電気的信号を生ずる。

遅延媒体な平らな多角形ブロック（その平らな面にサイ
ドロープを減衰させるためのいわゆるダンパーポイント
が設けられていてよい）として形成することにより、超
音波を複数回反射させ、それにより遅延線の全長を顕著
に減することができる。

多角形ブロックの厚みは超音波振動の半波長よりも小さ
く選定されることが有利である。このような遅延線では
、不要信号の減衰率を大きクシ、シかも同時に有用信号
の減衰率をわずかな値にとどめることができる（雑誌”
　ｌ”ｎｕｋｓｃｈａｕ″１９７３年。

第６号、第１００５〜１００８頁参照）。

超音波ずれ変換子も多角形ブロックの厚みの方向にその
厚みとほぼ等しい小さな幅寸法を有し、このような狭幅
の面で超音波ずれ変換子の電極が外部リード線と接続さ
れなければならない。超音波遅延線は高い幾何学的寸法
精度を必要としその加工処理に高度な技術を必要とする
精密部品であるから、通常のはんだ付は接続では比較的
大きな費用をかけなければ製造され得ない。

本発明の目的は、製造が比較的簡単であり、また電気的
接続部の質量が超音波変換子に負荷として追加されない
超音波遅延線を提供することであこの目的は１本発明に
よれば、それぞれの超音波すべり変換子の一方の電極と
夢着される金属被覆部とその他方の電極と電気的に接続
される隣りの金属被覆部との間の多角形ブロック側面の
表面範囲と、この表面範囲のほうを向（超音波すべり変
換子の側面とが電気絶縁性被覆部でおおわれており、こ
の電気絶縁性被覆部が前記他方の電極と前記隣りの金属
被覆部との間を電気的に接続する橋絡部に対する支台と
なっていることを特徴とする超音波遅延線により達成さ
れる。電気絶縁性被覆部は接着剤たとえば自己硬化性合
成樹脂、特にエポキシ樹脂の層であってもよいし、二酸
化シリコン５ｉ０２または酸化アルミニウムＡｕ２ｏ３
の層であってもよい。このような電気絶縁性被覆部の上
に橋絡部が金属被覆、好ましくは金属スパッタリングに
より形成され得る。

本発明の特に有利な実施例では、前記橋絡部と前記他方
の電極とが一体に形成されており、１回の共通工程で被
着される。

以下１図面により本発明による超音波遅延線の実施例を
説明する。

たとえばＰＡＬ方式またはＳＥＣＡＭ方式によるカラー
テレビ受像機に用いられ得る超音波遅延線２は、遅延媒
体好ましくはガラスから成る平らな多角形ブロック４を
含んでおり、その側面の４つの異なる表面範囲に金属被
覆部５ないし８が設けられている。これらの金属被覆部
はそれぞれ種々の金属成分たとえばクロム、銅、金また
はチタン、銅、金ならびにチタン、銅、銀の複数層から
成り。

たかだか約１μｍの全厚を有し、またいわゆる薄膜技術
で製造されていることが好ましい。２つの超音波すべり
変換子１０および１４は多角形ブロック４のほうを向い
た表面にそれぞれ、金属被覆部５ないし８と同様に構成
されていてよい金属電極１１または１５を設けられてい
る。たとえばチタン酸−ジルコン酸鉛ＰＺＴかも成る圧
電振動体を有する超音波すべり変換子１０はその金属電
極１１で、好ましくは種々の金属成分特にインジウム−
スズの複数層から成るはんだ層１８により多角形ブロッ
ク４の金属被覆部５に取付けられている。はんだ層１８
の厚みは多角形ブロック４の側面の表面粗さと多角形ブ
ロックのほうを向いた超音波すべり変換子１０および１
４０表面の粗さとに関係しており、一般に１０μｍを著
しくは越えていない。はんだ層１８および１９は同様に
薄膜技術により製造されていることが好ましく、超音波
すべり変換子１０および１４の金属電極１１または１５
の上にもしくは金属被覆部５または７の上に好ましくは
蒸着により被着されていてよい。はんだ付けは特に真空
中での金欄成分の再融解により行なわれることが好まし
い。

多角形ブロック４の側面における金属被覆部５と６との
間または７と８との間の表面範囲加および２１はそれぞ
れ電気絶縁性被覆部おまたはムでおおわれる。電気絶縁
性被覆部は電気絶縁性接着剤たとえばエポキシ樹脂を主
体とする合成樹脂接着剤またはたとえばエポキシ樹脂で
含浸されただとえば５０μｍ直径の絶縁糸から成ってい
てよい。また、電気絶縁性被覆部として、たとえば酸化
アルミニウムＡＱｔＯｓまたは酸化シリコンＳｉＯまた
は５ＩＯ２のたかだか数μｍの厚みの薄層がたとえばス
パッタリングまたは蒸着により被着されることも好まし
い。電気絶縁性接着剤久または冴は金属被覆部５と６と
の間または７と８との間の表面範囲加および２１と同時
にこれらの表面範囲のほうを向いた超音波すべり変換子
１０または１４の側面をもおおい、それにより超音波す
べり変換子１０または１４の両電極間の電気的短絡を防
止する。多角形ブロック４と反対側の電極１２および１
６も同様にたかだか約１μｍの全厚の種々の金属成分の
複数層から成り、薄膜技術で製造されていることが好ま
しい。

これらの電極１２および１６は導電性橋絡部ｎまたは届
により金属被覆部６または８と電気的に接続される。

本発明の特に有利な実施態様では、超音波すべり変換子
１０および１４の電極１２または１６とそれに対応する
橋絡部ηまたは漢とが一体に形成されており、好ましく
はスパッタリングまたは蒸着による１回の共通工程で被
着される。それにより電極１２または１６と橋絡部ηま
たは加との間の追加的なはんだ付は接続は不要となり、
また接続部の質量が超音波すべり変換子ｌＯおよび１４
に負荷として追加されないという利点が得られる。

この実施例で超音波すべり変換子１０および１４の電気
的接続はそれぞれ多角形ブロック４の金属被覆部５ない
し８で行なわれ得る。この目的で、外部リード線（図示
せず）との電気的接続を押圧接触のみにより形成する接
触ばね片あないし３１が用いられていることは好ましい
。接触ばね片がそれぞれ、ケース３２の締付ホルダーと
して構成されたカバー３３（鎖線で図示）を通して保持
されていることは好ましい。

超音波遅延線２の製作は下記のようにして有利に行なわ
れ得る。遅延媒体から成る（図面の紙面に対して垂直方
向に鷺びる）長い多角形プロックの側面に、金属被覆を
施すべきではない表面範囲（金属被覆部５と６との間お
よび７と８との間の表面範囲加および２１、金属被覆部
６と８との間の表面範囲１図面で左右の下側の側面およ
び底面）をマスクして金属被覆を施すことにより、スラ
イス後に金属被覆部５ないし８となるべき金属被覆帯が
設けられる。別の方法として、先ず１つの共通の金属被
覆帯を設け、その後に金属被覆を施すべきではない表面
範囲の金属をたとえば研削により除去することもできる
。続いて、はんだ層帯が薄膜技術で、好ましくは種々の
金属成分の複数層として２バツタリングにより被着され
る。超音波すべり変換子１０鉛よび１４の取付が、はん
だ層帯に用いられた金属成分を好ましくは真空中で共融
点板上に加熱することにより行なわれる。さらに、電気
絶縁性被覆部乙、２４となるべき帯が被着され、□” それを支台として橋絡部ｎ、２６となるべき帯が被着さ
れる。最後に、長い多角形ブロックを所望の厚みにスラ
イスすることにより１個々の超音波遅延線２が完成され
る。

実施例では、カラーテレビ受像機への超音波遅延線の応
用を示したが、これらの超音波遅延線は他の技術分野た
とえばビデオレコーダまたはレーダ技術分野にも応用さ
れ得る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明による超音波遅延線の実施例を示す図であ
る。２・・・超音波遅延線、４・・・多角形ブロック（遅延
媒体）、５〜訃・・金属被覆部、　１０　、１４・・・
超音波すべり変換子、’ｌｌ、１２，１５．ｌｆｉ・・
・電極、１８　、１９・・・はんだ層％加、２１・・・
金属被覆なしの表面範囲、２２゜加・・・橋絡部、Ｚ３
，２４・・・電気絶縁性被覆部、２８〜３１・・・接触
ばね片、３２・・・ケース、３３・・・カバー。

Claims

【特許請求の範囲】１）圧電形超音波すべり変換子（１ｏ　、　１４　）を
有し、それらの電極（１１、１２ｉ　１５　、１６　）
がそれぞれ、遅延媒体から成る平らな多角形ブロック（
４）の側面の金属被覆部（５ないし８）と接着されまた
電気的に接続されている、特にカラーテレビ受像機用の
超音波遅延＠（２）において、それぞれの超音波すべり
変換子（１０または１４）の一方の電極（１１または１
５）と接着される金属被覆部（５または７）とその他方
の電極（１２または１６）と電気的に接続される隣りの
金属被覆部（６または８）との間の多角形ブロック（４
）側面の表面範囲（２０または２１）と、この表面範囲
（２０または２１）のほうを向く超音波すべり変換子（
１０または１４）の側面とが電気絶縁性−覆部（２３ま
たは２４）でおおわれており、この電気絶縁性被覆部が
前記他方の電極と前記隣りの金属被覆部との間を電気的
に接続する橋絡部（２２または２６）Ｋ対する支台とな
っていることを特徴とする超音波遅延線。２）前記橋絡部（２２または２６）と前記他方の電極（
１２または１６）とが一体に形成されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の超音波遅延線。３）金属被覆部（５ないし８）がそれぞれ接触ばね片（
２８または四またはＩまたは３１）を介して外部リード
線と接続されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項または第２項記載の超音波遅延線。４）圧電形超音波すべり変換子（１０、１４）を有し、
それらの電極＜　ｎ　、　１２　；　１５　、１６　）
がそれぞれ、遅延媒体から成る平らな多角形ブロック（
４）の側面の金属被覆部（５ないし８）と接着されまた
電気的に接続されている、特にカラーテレビ受像機用の
超音波遅延線（２）であって、それぞれの超音波すべり
変換子（１０または１４）の一方の電極（１１または１
５）と接着される金椰被覆部（５ま、たは７）とその他
方の電極（１２または１６）と電気的に接続される隣り
の金属被覆部（６または８）との間の多角形ブロック（
４）側面の表面範囲（２０または２１）と、この表面範
囲（２０または２１）のほうを向く超音波すべり変換子
（１０または１４）の側面とが電気絶縁性被覆部（２３
または２４）でおおわれており、この電気絶縁性被覆部
が前記他方、の電極と前記隣りの金属被覆部との間を電
気的に接続する橋絡部（２２または２６）に対する支台
となっている超音波遅延線において、前記橋絡部（２２
または％）と前記他方の電極（１２または１６）とが１
回の共通工程で被着されることを特徴とする超音波遅延
線の製造法。