JPS58148904A - 寸法計測装置 - Google Patents
寸法計測装置Info
- Publication number
- JPS58148904A JPS58148904A JP3265482A JP3265482A JPS58148904A JP S58148904 A JPS58148904 A JP S58148904A JP 3265482 A JP3265482 A JP 3265482A JP 3265482 A JP3265482 A JP 3265482A JP S58148904 A JPS58148904 A JP S58148904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- inspected
- dimensional sensor
- photodetector
- irradiation position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は寸法計欄装置に関するものである。
従来より、被検査物の形状寸法を計欄するには、j11
11I!IK示すように、光#11からの光を集光用レ
ンズ2により小さなスポット光にして揺動ミラ−3に照
射し、モータ4により揺動室ツー3を鶴―させて、スポ
ット光5を被検査物6上に斜め上方から幅方向へ直線状
に往復走査させ、被検査物6上に当ったスポット光50
照射位置7をたとえばテレビジ、ンカメラのような二次
元の受光素子8(二次元センナ)を内蔵する受光II9
で受けて、受光素子8内での位置膓標から被検査物6の
形状寸法tttlllている。この場合、スポット光S
は被検査物6の表i1に対し斜め上方から照射する大め
、継Illに示すように被検査物60貴爾に目凸段差が
あると、被検査物6t−上方から見下ろした場合に、被
検査物6の上段llammでの照射位置71と下段表面
6bでの照射位置7bが被検査物6の長手方向にずれ、
このずれt上記受光器9で検出することにより被検査物
6の形状寸法を計橢することができる。なお、光@1.
集光用レンズ2、揺動ミラー3.モータ4で投光器1G
を形威し、集光用レンズ11と受光素子8とで受光II
−を形成する。
11I!IK示すように、光#11からの光を集光用レ
ンズ2により小さなスポット光にして揺動ミラ−3に照
射し、モータ4により揺動室ツー3を鶴―させて、スポ
ット光5を被検査物6上に斜め上方から幅方向へ直線状
に往復走査させ、被検査物6上に当ったスポット光50
照射位置7をたとえばテレビジ、ンカメラのような二次
元の受光素子8(二次元センナ)を内蔵する受光II9
で受けて、受光素子8内での位置膓標から被検査物6の
形状寸法tttlllている。この場合、スポット光S
は被検査物6の表i1に対し斜め上方から照射する大め
、継Illに示すように被検査物60貴爾に目凸段差が
あると、被検査物6t−上方から見下ろした場合に、被
検査物6の上段llammでの照射位置71と下段表面
6bでの照射位置7bが被検査物6の長手方向にずれ、
このずれt上記受光器9で検出することにより被検査物
6の形状寸法を計橢することができる。なお、光@1.
集光用レンズ2、揺動ミラー3.モータ4で投光器1G
を形威し、集光用レンズ11と受光素子8とで受光II
−を形成する。
ところが、受光素子8としてテレビジ曹yカメラのよう
な二次元センナを用いねばならない友め、受光器911
分が複雑で高価につくとともK、受光量を二次元的にス
キャンしなければならないので計−速度も遅くなるとい
う問題を有していた。
な二次元センナを用いねばならない友め、受光器911
分が複雑で高価につくとともK、受光量を二次元的にス
キャンしなければならないので計−速度も遅くなるとい
う問題を有していた。
し危がって、この発明の目的は、受光器部分の構造が簡
単で安価に製造でき、しかも針側速度を飛躍的に遮〈で
きる寸法針側装置を提供することである。
単で安価に製造でき、しかも針側速度を飛躍的に遮〈で
きる寸法針側装置を提供することである。
この発明の一実施例を112図を用いて説明する。
すなわち、この寸法計測装置は、jll!2図に示すよ
うに、シリンドリカルレンズ12と一次元センサ13で
受光@14f構成し、揺動iツー駆動用モータ4を駆動
制御す石モータ駆動回路15と、データ部層回路16t
−設けたもので、その他の構成は従来例と同様である。
うに、シリンドリカルレンズ12と一次元センサ13で
受光@14f構成し、揺動iツー駆動用モータ4を駆動
制御す石モータ駆動回路15と、データ部層回路16t
−設けたもので、その他の構成は従来例と同様である。
動作手順に従って説明すると、
(1)従来と同様、投光510により、スポット光st
−普検査物6上に斜め上方から幅方向へ直線上に往復走
査する。
−普検査物6上に斜め上方から幅方向へ直線上に往復走
査する。
億) このスポット光2は被検査物6上で反射されて、
シリンドリカルレンズ12により一次元センナ13に集
光される。すなわち、シリンドリカルレンズ12は、ス
ポット光5の被検査物6I111における光照射位置7
0光走査方内と直角方向へのずれ(この実施例では照射
位置7にと71の被検査物長手方向へのずれ)が−直線
上Kllわれるように、被検査物6表面での反射光を一
次元センサ13へ集光する作用を果たす、貰い換えれば
、このシリンドリカルレンズ1!により、スポット光5
の走査方向(被検査物6の幅方向)のiI位をなくして
、走査方向と直角方向(IIk検査物60景手方向)の
変位の′みを一次元センナ13へ集光する。−次元セン
サ13は、複数個の受光素子を直線状に縦列配置したも
ので、上記シリンドリカルレンズ12により一直線上に
集光した光を受光する。
シリンドリカルレンズ12により一次元センナ13に集
光される。すなわち、シリンドリカルレンズ12は、ス
ポット光5の被検査物6I111における光照射位置7
0光走査方内と直角方向へのずれ(この実施例では照射
位置7にと71の被検査物長手方向へのずれ)が−直線
上Kllわれるように、被検査物6表面での反射光を一
次元センサ13へ集光する作用を果たす、貰い換えれば
、このシリンドリカルレンズ1!により、スポット光5
の走査方向(被検査物6の幅方向)のiI位をなくして
、走査方向と直角方向(IIk検査物60景手方向)の
変位の′みを一次元センナ13へ集光する。−次元セン
サ13は、複数個の受光素子を直線状に縦列配置したも
ので、上記シリンドリカルレンズ12により一直線上に
集光した光を受光する。
(3)そして、そ−タ駆動回路15からの出力信号(ス
ポット光5の走査位置を示す信号)と、それに対応する
上記−次元センナ13からの出力信号(光照射位置のず
れt示す信号)tブールB個回路16へ入力する。この
場合、モータ制御回路15から出力信号(光走査位置信
号)によりX方肉塵榔(被検査物60幅方向位置)t−
算出でき、また、その出力信号に対応する一次元センサ
13の出力信号(光照射位置ずれ信号)によりY、Z方
崗塵榔(被検査物6の長手方向位置と高さ方向位置)を
算出で!ゐ。したがって、スポット光50滝査に応じて
、モータ駆動回路15と一次元センサ13からそれぞれ
連続的に入力されてくるデータをデータ処理回路16で
算出することにより、被検査−6の形状寸法を求めるこ
とができる。
ポット光5の走査位置を示す信号)と、それに対応する
上記−次元センナ13からの出力信号(光照射位置のず
れt示す信号)tブールB個回路16へ入力する。この
場合、モータ制御回路15から出力信号(光走査位置信
号)によりX方肉塵榔(被検査物60幅方向位置)t−
算出でき、また、その出力信号に対応する一次元センサ
13の出力信号(光照射位置ずれ信号)によりY、Z方
崗塵榔(被検査物6の長手方向位置と高さ方向位置)を
算出で!ゐ。したがって、スポット光50滝査に応じて
、モータ駆動回路15と一次元センサ13からそれぞれ
連続的に入力されてくるデータをデータ処理回路16で
算出することにより、被検査−6の形状寸法を求めるこ
とができる。
このように、−次元センサ13により形状寸法tUt側
できるため、受光I!14部分の構造が簡単となって低
価格で製造可能となり、普た、−次元センサ13による
ライン状のスキャンだけで受光信号が得られるので針調
速度が飛躍的に速くなる。
できるため、受光I!14部分の構造が簡単となって低
価格で製造可能となり、普た、−次元センサ13による
ライン状のスキャンだけで受光信号が得られるので針調
速度が飛躍的に速くなる。
以上のように、この発明の寸法計測装置は、被検査物上
にスポット光を斜め上方から直線上に走査する光走査手
段と、被検査物の上方に配置し次−次元センナと、前記
スポット光の被検査−素面における光照射位置の光走査
方向と直角方向へのずれが一直線上に現われるように被
検査物表面での反射光を前記−次元センサへ集光する集
光手段と、前記光走査手段から出力される光走査位置信
号とそれに対応して前記−次元センサから出力される光
照射位置ずれ信号を入力して被検査物の形状寸法を算出
するデータ処l1m回路とを備えた大め、受光器部分の
構造が簡単で安価Kll造で自、計測速度も飛躍的に速
くなるという効果がある。
にスポット光を斜め上方から直線上に走査する光走査手
段と、被検査物の上方に配置し次−次元センナと、前記
スポット光の被検査−素面における光照射位置の光走査
方向と直角方向へのずれが一直線上に現われるように被
検査物表面での反射光を前記−次元センサへ集光する集
光手段と、前記光走査手段から出力される光走査位置信
号とそれに対応して前記−次元センサから出力される光
照射位置ずれ信号を入力して被検査物の形状寸法を算出
するデータ処l1m回路とを備えた大め、受光器部分の
構造が簡単で安価Kll造で自、計測速度も飛躍的に速
くなるという効果がある。
jI1図は従来例の構成図、JI2111Fiこの発明
の一実施例の構成図である。 5・・スポット光、6・・・被検査物、7・・・光照射
位置、10・・投光II(光走査手段)、12・・・シ
リンドリカルレンズ(集光手段)、13・・・−次元セ
ンナ、16・・・データ処理回路
の一実施例の構成図である。 5・・スポット光、6・・・被検査物、7・・・光照射
位置、10・・投光II(光走査手段)、12・・・シ
リンドリカルレンズ(集光手段)、13・・・−次元セ
ンナ、16・・・データ処理回路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検査物上にスポット光t@め上方から直線上に走査す
る光走査手段と、被検査物の上方に配置した一次元セン
ナと、前記スポット光の被検査物表面における光照射位
置の光走査方向と直角方向へのずれが一直線上に現われ
るように被検査物6上での反射光を前記−次元センサへ
集光する集光手段と、曽記光滝査手段から出力される光
走査位置信号とそれに対応して前記−次元センチから出
力される光照射位置ずれ信号を入力して被検査物の形状
寸法【算出するデータ処理回路とを備え度寸法針wJW
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3265482A JPS58148904A (ja) | 1982-02-27 | 1982-02-27 | 寸法計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3265482A JPS58148904A (ja) | 1982-02-27 | 1982-02-27 | 寸法計測装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58148904A true JPS58148904A (ja) | 1983-09-05 |
Family
ID=12364846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3265482A Pending JPS58148904A (ja) | 1982-02-27 | 1982-02-27 | 寸法計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58148904A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63129807U (ja) * | 1987-02-19 | 1988-08-24 | ||
JPS63129806U (ja) * | 1987-02-19 | 1988-08-24 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53143257A (en) * | 1977-03-10 | 1978-12-13 | Centre Rech Metallurgique | Dimension measuring method |
JPS5518024B2 (ja) * | 1975-04-18 | 1980-05-15 |
-
1982
- 1982-02-27 JP JP3265482A patent/JPS58148904A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5518024B2 (ja) * | 1975-04-18 | 1980-05-15 | ||
JPS53143257A (en) * | 1977-03-10 | 1978-12-13 | Centre Rech Metallurgique | Dimension measuring method |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63129807U (ja) * | 1987-02-19 | 1988-08-24 | ||
JPS63129806U (ja) * | 1987-02-19 | 1988-08-24 |
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