JPS58147B2 - Ｘ線発生装置

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【発明の詳細な説明】本発明は、光電放出を利用したＸ線発生装置に関するも
のである。

従来から、熱イオン放射によって飛び出した電子を加速
してターゲットに衝突させＸ線を得るように構成したＸ
線発生装置が知られている。

しかしながら、熱陰極を用いたこの従来装置においては
、熱陰極から重金属が揮発して真空容器内壁に付着し、
放射スペクトル変化や出力低下が生ずるという欠点があ
った。

また、管電流の制御も格子制御によって行うものである
ため、構成も複雑であった。

本発明の目的は、従来装置の上記のような問題点を解決
したＸ線発生装置を実現することにある。

以下図面によって本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明装置の一実施例を示す原理的構成図であ
る。

図において、１はタングステン等でなるターゲット、２
は銀セシウム面等の光電面を有スる陰極、３はターゲッ
ト１および陰極２を覆う真空容器、４はターゲット１と
陰極２との間に加速電圧を与える電源、５は電源４によ
って流れる管電流ＩＢを検出するための抵抗である。

電源４のプラス側はターゲット１に接続され、マイナス
側は抵抗５を介して陰極２に接続されている。

６は抵抗５０両端電圧を検出する検出回路、７ばその発
する光が陰極２の光電面に当たるように配置された光源
、８は検出回路６の出力が一定値になるように光源７０
発光量を制御する制御回路である。

このように構成された本発明装置の動作は次の通りであ
る。

まず、光源７から出た光は陰極２の光電面に当たる。

この光の波長λば、λ＜ｈ・ｃ／φ（ｈニブランクの定
数、Ｃ：光速、φ：仕事関係）に選ばれているから、光
電面から真空中に光電子が放出される。

この光電子は、陰極２とターゲット１との間の加速電圧
によって加速された後ターゲット１に衝突する。

このターゲット１への光電子の衝突によって、ターゲッ
ト１および陰極２を通って管電流ｉＢが流れるとともに
、ターゲット１からＸ線が発生する。

第２図は本発明装置の他の実施例を示す原理的構成図で
ある。

第１図装置と同一部分には同一符号が付しである。

第１図装置との相違点は、陰極２として光電増倍手段を
施したものを用いたところにある。

すなわち、光電面２１と数段のダイノード（二次電子面
）２２〜２４とから陰極２を構成したことにある。

光照射によって光電面２１から放出された電子は光電面
２１より電位の高いダイノード２２に衝突して、数倍の
二次電子放出を行う。

この二次電子は加速されダイノード２３を衝撃し、順次
電子増倍を行う。

最終のダイノード２４から出た電子は、電源４によって
加速されターゲット１に衝突し、ターゲット１からＸ線
が発生する。

この電子増倍手段を陰極２に付加することによって、光
源７の発光量が小さくても充分の強度のＸ線を得ること
ができる。

これらの本発明装置から得られるＸ線のエネルギー分布
はターゲット１の材質によって決まる。

また、エネルギーの大きさは、陰極２を照射する光の強
さによって決まる。

以上のような本発明装置は、熱イオン放射を用いたもの
でないから、従来装置が有している欠点すなわち放射ス
ペクトル変化や出力低下がない。

また、光源の発光量を変えることによって、容易に管電
流を変えることができる。

換言すれば、光源の発光量の変更によって、容易に所望
の強さのしかも安定したＸ線出力を得ることができる。

さらに、消耗部である光源が真空容器外部に配置される
ため、保守が容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の一実施例を示す原理的構成図、第
２図は本発明装置の他の実施例を示す原理的構成図であ
る。１…ターゲツト、２陰極、３…真空容器、４…電源、５
…抵抗、６…検出回路、７…光源、８…制御回路。