JPS58142A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPS58142A JPS58142A JP56098712A JP9871281A JPS58142A JP S58142 A JPS58142 A JP S58142A JP 56098712 A JP56098712 A JP 56098712A JP 9871281 A JP9871281 A JP 9871281A JP S58142 A JPS58142 A JP S58142A
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- wire bonding
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディング装置に関するものである。
ワイヤボンディング装置の始動に先立ち、又はボンディ
ング中ｌこワイヤ切れが生じた場合にワイヤをキャピラ
リｉこ通す必要がある。しかし、ワイヤは通常直径が１
８〜５０μｍと極めて細く、かつ軟かな線材であるので
、キャピラリへワイヤを通す作業は熟練を要すと共に、
多大の時間を要する。
ング中ｌこワイヤ切れが生じた場合にワイヤをキャピラ
リｉこ通す必要がある。しかし、ワイヤは通常直径が１
８〜５０μｍと極めて細く、かつ軟かな線材であるので
、キャピラリへワイヤを通す作業は熟練を要すと共に、
多大の時間を要する。
本発明はかかる背景に立ってなされたもので、キャピラ
リへのワイヤ通しを春易に行うことができるワイヤボン
ディング装置を提供することを目的とする。
リへのワイヤ通しを春易に行うことができるワイヤボン
ディング装置を提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるワイヤボンディング装置の一実施
例を示す概略構成正画断面図、第２図は電磁弁作動回路
の一実施例を示す回路図である。
例を示す概略構成正画断面図、第２図は電磁弁作動回路
の一実施例を示す回路図である。
第１図において、１はワイヤ２が巻回されたスプール、
３はワイヤガイド、４はワイヤ切断及びワイヤ繰出し用
クランパー、５はボンディングアーム６に固定されたキ
ャピラリで、これらは従来公知の構造よりなる。７はク
ランパー４とキャピラリ５間に配設されたワイヤ通しガ
イド部材で、図示しないボンディングヘッド／Ｉｃ１１
定されている。
３はワイヤガイド、４はワイヤ切断及びワイヤ繰出し用
クランパー、５はボンディングアーム６に固定されたキ
ャピラリで、これらは従来公知の構造よりなる。７はク
ランパー４とキャピラリ５間に配設されたワイヤ通しガ
イド部材で、図示しないボンディングヘッド／Ｉｃ１１
定されている。
ワイヤ通しガイド部材７は、上端が円錐形をなしたワイ
ヤ挿通穴８ｍを有する内管８と、この内管８の下端外周
と一定の隙間を有するように下方が開放したエア排出穴
９ｍを有する外管９と、この外管９のエア排出穴９ａｉ
こエア１ｏを送るノズル１１とからなる。１２は図示し
ないニアコンプレッサーより供給されたエア１ｏを減圧
する減圧弁、１３は減圧弁１２より供給されたエア１ｏ
をノズルＩＮこ供給する電磁弁である。
ヤ挿通穴８ｍを有する内管８と、この内管８の下端外周
と一定の隙間を有するように下方が開放したエア排出穴
９ｍを有する外管９と、この外管９のエア排出穴９ａｉ
こエア１ｏを送るノズル１１とからなる。１２は図示し
ないニアコンプレッサーより供給されたエア１ｏを減圧
する減圧弁、１３は減圧弁１２より供給されたエア１ｏ
をノズルＩＮこ供給する電磁弁である。
第２図において、２ｏはワイヤ切れ検出回路で、例えば
特公昭５２−９９７５号公報、特公昭５４−３５０６５
号公報及び特開＃ｌ１５４−７２９６２号公報ｌこ示す
ような手段でワイヤ切れが検出される。２１は手動押釦
スイッチ、２２はＯＲ回路で、この人力＠ ２２ ａ、
２２ｂ＃こはそれぞれ前記ワイヤ切れ検出回路２０、手
動押釦スイッチ２１が接続されている。ここで、入力部
２２１．２２ｂはそれぞれ＋５ｖのＨｉｇｈ Ｊこなっ
ており、入力部２２１．２２ｂのいずれかがＬｏｗにな
ると、ＯＲ回路２２より出力信号２２ｃが出力する。２
３はワンショットマルチバイブレータ（以下Ｏ−８とい
つ）で、入力部ｔこＯＲ回路２２が接続され、出力部に
トランジスター２４を介して電磁弁１３が接続されてい
る。ここで、０・８２３はＯＲ回路２２の出力信号２２
ｃの立ち上りのエツジで一定時間出力するが、この出力
時間はコンデンサ２５と抵抗２６との時定数により決定
される。
特公昭５２−９９７５号公報、特公昭５４−３５０６５
号公報及び特開＃ｌ１５４−７２９６２号公報ｌこ示す
ような手段でワイヤ切れが検出される。２１は手動押釦
スイッチ、２２はＯＲ回路で、この人力＠ ２２ ａ、
２２ｂ＃こはそれぞれ前記ワイヤ切れ検出回路２０、手
動押釦スイッチ２１が接続されている。ここで、入力部
２２１．２２ｂはそれぞれ＋５ｖのＨｉｇｈ Ｊこなっ
ており、入力部２２１．２２ｂのいずれかがＬｏｗにな
ると、ＯＲ回路２２より出力信号２２ｃが出力する。２
３はワンショットマルチバイブレータ（以下Ｏ−８とい
つ）で、入力部ｔこＯＲ回路２２が接続され、出力部に
トランジスター２４を介して電磁弁１３が接続されてい
る。ここで、０・８２３はＯＲ回路２２の出力信号２２
ｃの立ち上りのエツジで一定時間出力するが、この出力
時間はコンデンサ２５と抵抗２６との時定数により決定
される。
従って、ワイヤ切れ検出回路２０の信号が出力又は手動
押釦スイッチ２１を操作すると、ＯＲＩ回路２２の入力
部２２ａ又は２２ｂがＬｏｗとなり、ＯＲ回路２２より
出力信号２２ｃが出力し、これにより０・８２３は一定
時間出力し、トランジスター２４がＯＮになり、電磁弁
１３に電流が流れて電磁弁１３が作動する。これにより
、第１図に示す減圧弁１２で圧力調整されたエア１０が
ノズル１１憂こ流入する。
押釦スイッチ２１を操作すると、ＯＲＩ回路２２の入力
部２２ａ又は２２ｂがＬｏｗとなり、ＯＲ回路２２より
出力信号２２ｃが出力し、これにより０・８２３は一定
時間出力し、トランジスター２４がＯＮになり、電磁弁
１３に電流が流れて電磁弁１３が作動する。これにより
、第１図に示す減圧弁１２で圧力調整されたエア１０が
ノズル１１憂こ流入する。
なお、第１図において、３０は半導体部品、３１ハヘＬ
／ ７ト、３２はリードフレームの電極、３３はペレッ
ト３１とリードフレームの電極３２との間に接続された
ワイヤを示す。
／ ７ト、３２はリードフレームの電極、３３はペレッ
ト３１とリードフレームの電極３２との間に接続された
ワイヤを示す。
次にかから構成される装置の作動について説明する。ス
プール１にＩ＃ＩＢされたワイヤ２は、ワイヤガイド３
、クランパー４、ワイヤ通しガイド部材７の内管８及び
キャピラリ５を挿通してキャピラリ５の下端へ突出させ
、図示しない電気放電又は水素炎等ｌこよってボール２
ａが形成され、ペレット３１とリードフレームの電極３
２４こワイヤ３３が公知の手段で接続される。
プール１にＩ＃ＩＢされたワイヤ２は、ワイヤガイド３
、クランパー４、ワイヤ通しガイド部材７の内管８及び
キャピラリ５を挿通してキャピラリ５の下端へ突出させ
、図示しない電気放電又は水素炎等ｌこよってボール２
ａが形成され、ペレット３１とリードフレームの電極３
２４こワイヤ３３が公知の手段で接続される。
さて、前記のようにワイヤ２をスプール１から引出して
ワイヤ通しガイド部材７へ案内する時に、手動押釦スイ
ッチ２１をＯＮにすると、前記したよう暑こ電磁弁１３
が作動し、減圧弁１２で圧力調整されたエアＩＯがノズ
ル１１へ流入し、エア排出穴９暑より流出する。このエ
ア排出穴９ａより流出するエア流はベルヌーイの定理に
より圧力降下を起し、ワイヤ２はワイヤ挿通穴８１から
吸込まれるように引つばられるようにエアが吸引作用を
起す。これ−こより、ワイヤ２は人吉向に引き出されて
ワイヤ通しガイド部材７の真下に配設されたキャピラリ
５１こ自動的ｌこ押通される。
ワイヤ通しガイド部材７へ案内する時に、手動押釦スイ
ッチ２１をＯＮにすると、前記したよう暑こ電磁弁１３
が作動し、減圧弁１２で圧力調整されたエアＩＯがノズ
ル１１へ流入し、エア排出穴９暑より流出する。このエ
ア排出穴９ａより流出するエア流はベルヌーイの定理に
より圧力降下を起し、ワイヤ２はワイヤ挿通穴８１から
吸込まれるように引つばられるようにエアが吸引作用を
起す。これ−こより、ワイヤ２は人吉向に引き出されて
ワイヤ通しガイド部材７の真下に配設されたキャピラリ
５１こ自動的ｌこ押通される。
またボンデイン？中ｌこ何らかの原因でワイヤ切れが生
じた時は、ワイヤ切れ検出回路２０より出力し、これ−
こより前記したように電磁弁１３がＯＮとなり、ノズル
１１よりエアが流出する。これ番こより、ワイヤ２の先
端がワイヤ通しガイド部材７の内管８より完全に抜けて
いない場合は、前記したエアの吸引作用によりワイヤ２
は自動的Ｉこキャピラリ５に挿通される。またワイヤ２
がワイヤ通しガイド部材７から完全に抜けている場合は
、ワイヤ切れ検出回路２０から発する警報又はランプ点
滅により作業者に知らせ、これにより前記したようにし
てワイヤ２をワイヤ通しガイド部材７に通し、手動押釦
スイッチ２１をＯＮにすることにより、前記したように
ワイヤ２は容易にキャピラリ５に挿通される。
じた時は、ワイヤ切れ検出回路２０より出力し、これ−
こより前記したように電磁弁１３がＯＮとなり、ノズル
１１よりエアが流出する。これ番こより、ワイヤ２の先
端がワイヤ通しガイド部材７の内管８より完全に抜けて
いない場合は、前記したエアの吸引作用によりワイヤ２
は自動的Ｉこキャピラリ５に挿通される。またワイヤ２
がワイヤ通しガイド部材７から完全に抜けている場合は
、ワイヤ切れ検出回路２０から発する警報又はランプ点
滅により作業者に知らせ、これにより前記したようにし
てワイヤ２をワイヤ通しガイド部材７に通し、手動押釦
スイッチ２１をＯＮにすることにより、前記したように
ワイヤ２は容易にキャピラリ５に挿通される。
なお、上記実施例においてはエアを用いた場合について
説明したが、他の気体、例えば窒素ガスを用いてもよい
。
説明したが、他の気体、例えば窒素ガスを用いてもよい
。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるワイヤボン
ディング装置−こよれば、ワイヤ通しに熟練を必要とせ
ず、短時間に行われるので、生産性が向上する。
ディング装置−こよれば、ワイヤ通しに熟練を必要とせ
ず、短時間に行われるので、生産性が向上する。
Claims (1)
- スプールに巻回されたワイヤをクランパーＦＡＩしてキ
ャビ９１月こ挿通し、半導体部品のペレットとリードフ
レームの電極との間をワイヤで接続するワイヤボンディ
ング装置において、前記クランパーと前記キャピラリ間
に配設され、気体が供給されてワイヤをキャピラリ側に
引き下げるワイヤ通しガイド部材と、このワイヤ通しガ
イド部材に気体を供給する電磁弁とを備えたワイヤボン
ディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56098712A JPS58142A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56098712A JPS58142A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58142A true JPS58142A (ja) | 1983-01-05 |
| JPS6349899B2 JPS6349899B2 (ja) | 1988-10-06 |
Family
ID=14227122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56098712A Granted JPS58142A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58142A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218658U (ja) * | 1975-07-29 | 1977-02-09 |
-
1981
- 1981-06-25 JP JP56098712A patent/JPS58142A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218658U (ja) * | 1975-07-29 | 1977-02-09 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6349899B2 (ja) | 1988-10-06 |
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