JPS58141504A - 薄膜白金温度センサ - Google Patents
薄膜白金温度センサInfo
- Publication number
- JPS58141504A JPS58141504A JP2496082A JP2496082A JPS58141504A JP S58141504 A JPS58141504 A JP S58141504A JP 2496082 A JP2496082 A JP 2496082A JP 2496082 A JP2496082 A JP 2496082A JP S58141504 A JPS58141504 A JP S58141504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- platinum
- thin film
- temperature sensor
- film platinum
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜白金1M度センサに関する。
、橘密温度センサとして、従来より白金線全碍子等に巻
線しfc白金測温抵抗体か使用さ■てきたが、かかる日
金側編抵抗体qま梢密である反面、その横曲上、 ■ 形状が大きい ■ 振−1誼撃で1波イロしやすく、使用に多大の注意
を払う妃・要があり、°また倣動や傭f撃の引わる個所
に使用できないため、用* ’fc +m定かあ/)6
■ 抵抗値が低いため、一度莢化による腿−が小さく、
16号増嶋の処理寺が必要VCなるなど多くの欠陥を有
していた。
線しfc白金測温抵抗体か使用さ■てきたが、かかる日
金側編抵抗体qま梢密である反面、その横曲上、 ■ 形状が大きい ■ 振−1誼撃で1波イロしやすく、使用に多大の注意
を払う妃・要があり、°また倣動や傭f撃の引わる個所
に使用できないため、用* ’fc +m定かあ/)6
■ 抵抗値が低いため、一度莢化による腿−が小さく、
16号増嶋の処理寺が必要VCなるなど多くの欠陥を有
していた。
この欠点を/j(L、たものが、jll老若くは薄膜の
白金音用いた温度センサである。しかし厚膜白金温度セ
ンサは1換厚の+l1iI−がしにくい、ガラスフリッ
ト等地材料と白金の混合の比率ひよび混合の均′j!L
性の、bl」御がイ眩しいなどの連山により、稍督匣に
欠けていた。
白金音用いた温度センサである。しかし厚膜白金温度セ
ンサは1換厚の+l1iI−がしにくい、ガラスフリッ
ト等地材料と白金の混合の比率ひよび混合の均′j!L
性の、bl」御がイ眩しいなどの連山により、稍督匣に
欠けていた。
一方、#換白金編度センサは
■ 形状を小さくすることができる
■ 儀励や1耐撃に、11久1生がある■ 抵抗■が旨
く、温度開化による変りが大きく、信号処橿しやすい などの浸析をゼし、号後とも、#候臼金渇反センサが多
く使用さ打ていくことが予想さaる。この場合、薄・暎
白金編度センサは=6を品体の白金が安定な金属である
から、使用1固所も酸性算−(などIt食性雰囲気の場
合が多い。
く、温度開化による変りが大きく、信号処橿しやすい などの浸析をゼし、号後とも、#候臼金渇反センサが多
く使用さ打ていくことが予想さaる。この場合、薄・暎
白金編度センサは=6を品体の白金が安定な金属である
から、使用1固所も酸性算−(などIt食性雰囲気の場
合が多い。
このため、温度センサ全体が胸食性雰囲気にtll#見
られるものでなけnばならず、このJ!u山からリード
線は1計良注のある白金線を使用し′Cいた。しかし一
定の強度が必要なため、所要の緘伜〃Sなければならず
、また長さも必要であるため、白金便用型vL無視でき
なくなり、編1iセンサのA造1爪イ曲のかなりの部分
を占めるものになり、ひいては、調度センサの価格を高
くしていた。
られるものでなけnばならず、このJ!u山からリード
線は1計良注のある白金線を使用し′Cいた。しかし一
定の強度が必要なため、所要の緘伜〃Sなければならず
、また長さも必要であるため、白金便用型vL無視でき
なくなり、編1iセンサのA造1爪イ曲のかなりの部分
を占めるものになり、ひいては、調度センサの価格を高
くしていた。
本元明はリード線分白金線上のものを使用しないrlk
A’!センサを安1曲VC得ることを目的とし、半金ノ
萬瀬に白金全a階した構造のリード線を使用し−Cその
目的を連成したものであり、これにより、中 形状か小
さい ■ 倣動、−I撃VC、lφを人性ありQ)抵抗Ill
!高く、編Jf変化による変瀘が大きく、1d号4坤か
しヤすい ■ I1良1生奔囲戴で使用8JI指 ■ 価格か安い という薄膜白金の特信全f分に/古川できる編(センサ
を得るに至ったのでめる。
A’!センサを安1曲VC得ることを目的とし、半金ノ
萬瀬に白金全a階した構造のリード線を使用し−Cその
目的を連成したものであり、これにより、中 形状か小
さい ■ 倣動、−I撃VC、lφを人性ありQ)抵抗Ill
!高く、編Jf変化による変瀘が大きく、1d号4坤か
しヤすい ■ I1良1生奔囲戴で使用8JI指 ■ 価格か安い という薄膜白金の特信全f分に/古川できる編(センサ
を得るに至ったのでめる。
以F木死明の一実施例會図面に基づいて説明すめ。第1
図、第2図において、5X10X0.6玉のアルミナ!
* (1)l 7C臼金薄映に□よる抵抗体(2)を
作成し、抵抗体12) (1) ++In J icリ
ード線(3)を接11ψし、7 tVミナ基板(1)お
よび低抗体(2+ tl″横9ように床置換(4)をエ
ポキシtMにより作成する。
図、第2図において、5X10X0.6玉のアルミナ!
* (1)l 7C臼金薄映に□よる抵抗体(2)を
作成し、抵抗体12) (1) ++In J icリ
ード線(3)を接11ψし、7 tVミナ基板(1)お
よび低抗体(2+ tl″横9ように床置換(4)をエ
ポキシtMにより作成する。
リード、6 +a) vi+f径8UμrnのニッケV
襟全、トいオ(i])とし、その上′Ic厚さ10μ
Inの白金$ +6)をtJJ漬してrt”られ、41
t+はILIIIμm(Ll、1#)である。
襟全、トいオ(i])とし、その上′Ic厚さ10μ
Inの白金$ +6)をtJJ漬してrt”られ、41
t+はILIIIμm(Ll、1#)である。
アルミナ基板(1)の寸法はこのほかでもIIJ +t
+:である。材Iはアルミナ基板、フオMステライト、
ベリリア等も可能でjbる。
+:である。材Iはアルミナ基板、フオMステライト、
ベリリア等も可能でjbる。
芯材(5)はニッケルのほか、銅、鉄等の金属のほか、
数種の金属よりなる合金等でもよく、白金暎(6)の4
今は2μmμm以上10川 る。
数種の金属よりなる合金等でもよく、白金暎(6)の4
今は2μmμm以上10川 る。
以上$発明によれば、次の如き利点を有する。
■ 1針食性、傾度は従来の白金線と同様のリード線を
仔する薄j俟白金湿度センサを作ることができる。
仔する薄j俟白金湿度センサを作ることができる。
■ 抵抗体とリード機の接続には扉陪を用いるのが一方
法であるが、浴接未件が従来の白金線と同様のリード線
を有する博1所白金tM度センサを作ることかできる。
法であるが、浴接未件が従来の白金線と同様のリード線
を有する博1所白金tM度センサを作ることかできる。
■ リード葆材が安価であるため、安価な薄膜白金tM
qセンサを作ることができる。
qセンサを作ることができる。
#f,1図は本命用の一部切欠き斜視図、第2図はリー
ド顧の断I11]図である。 (3)・・・リード機、(6)・・・芯材、(6)・・
・白金膜代理人 株 本 表 弘 第1図
ド顧の断I11]図である。 (3)・・・リード機、(6)・・・芯材、(6)・・
・白金膜代理人 株 本 表 弘 第1図
Claims (1)
- 1、 重金ノ属線に白金を枝振した1蒋造のり一ド癲を
有する薄膜白金111!度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2496082A JPS58141504A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 薄膜白金温度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2496082A JPS58141504A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 薄膜白金温度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58141504A true JPS58141504A (ja) | 1983-08-22 |
JPS6337481B2 JPS6337481B2 (ja) | 1988-07-26 |
Family
ID=12152537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2496082A Granted JPS58141504A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 薄膜白金温度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58141504A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1506940U (ja) * | ||||
JPS5168280A (ja) * | 1974-12-10 | 1976-06-12 | Toshiba Ceramics Co | Hatsukinsokuonteikotai oyobi sonoseizohoho |
JPS5249940A (en) * | 1975-10-20 | 1977-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Reinforced platinum wire and its production method |
JPS5555444U (ja) * | 1978-10-11 | 1980-04-15 |
-
1982
- 1982-02-17 JP JP2496082A patent/JPS58141504A/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1506940U (ja) * | ||||
JPS5168280A (ja) * | 1974-12-10 | 1976-06-12 | Toshiba Ceramics Co | Hatsukinsokuonteikotai oyobi sonoseizohoho |
JPS5249940A (en) * | 1975-10-20 | 1977-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Reinforced platinum wire and its production method |
JPS5555444U (ja) * | 1978-10-11 | 1980-04-15 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6337481B2 (ja) | 1988-07-26 |
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