JPS581316A - 弾性表面波装置の金属ストリツプ反射器とその検査方法 - Google Patents
弾性表面波装置の金属ストリツプ反射器とその検査方法Info
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- JPS581316A JPS581316A JP9825481A JP9825481A JPS581316A JP S581316 A JPS581316 A JP S581316A JP 9825481 A JP9825481 A JP 9825481A JP 9825481 A JP9825481 A JP 9825481A JP S581316 A JPS581316 A JP S581316A
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- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は１弾性表面波装置の金属ストリップ反射器及び
その検査方法に関するものである。
その検査方法に関するものである。
第１図は、グレーティング構造の金属ストリップ反射器
を有する弾性表面波装置の従来例を示すものである。同
図に示す様に、圧電性基板１上に間隔を有して入力くし
形電極２と出力くし形電極Ｓが設けられ、１１ＬＫ入力
くし形電極２と出力くし形電極３０関に金属ストラップ
反射器４が役けられている。第２図は、第１ ＥＯＡ−
Ａ断面図であり、ここで金属薄膜で形成される金属スト
リップの電極指Ｓの間隔ｒは金属ストラップ反射器４に
よって反射される弾性表面この様な弾性表面波装置にお
いて、入出力くし形電極２．５による帯域通過フィルタ
の通過蕾域内忙金属ストリップ反射器４０反射周波数ｆ
・□ を投定すると、弾性表面波装置全体の入出力伝達
臀性は第６図に示す様忙なり、金属ストリップ反射器４
は帯域阻止フィルタｌ１ｉｋ皇をする。
を有する弾性表面波装置の従来例を示すものである。同
図に示す様に、圧電性基板１上に間隔を有して入力くし
形電極２と出力くし形電極Ｓが設けられ、１１ＬＫ入力
くし形電極２と出力くし形電極３０関に金属ストラップ
反射器４が役けられている。第２図は、第１ ＥＯＡ−
Ａ断面図であり、ここで金属薄膜で形成される金属スト
リップの電極指Ｓの間隔ｒは金属ストラップ反射器４に
よって反射される弾性表面この様な弾性表面波装置にお
いて、入出力くし形電極２．５による帯域通過フィルタ
の通過蕾域内忙金属ストリップ反射器４０反射周波数ｆ
・□ を投定すると、弾性表面波装置全体の入出力伝達
臀性は第６図に示す様忙なり、金属ストリップ反射器４
は帯域阻止フィルタｌ１ｉｋ皇をする。
この金属ストリップ反射器による急峻な減衰特性を周波
数基準として用いた弾性表面波装置が提案されており、
この様な装置では製造ばらつきによる中心周液数ｆ・あ
るーは抑圧度りのばらつ自が製造歩留りを決定する大暑
な要因となる。
数基準として用いた弾性表面波装置が提案されており、
この様な装置では製造ばらつきによる中心周液数ｆ・あ
るーは抑圧度りのばらつ自が製造歩留りを決定する大暑
な要因となる。
中心周液数ｆ・及び抑圧度りを変動させる製造上Ｏばら
′）自の中で実用上問題となるのは、金属ストリップ反
射４１！４の電極指幅りと電極膜厚ｄである。即ち、中
心周液数ｆ・及び抑圧度りは電極指幅り及び電極膜厚ｄ
の変化に対してそれでれ敏感に変動するのである。しか
し、中心周波ｄ 数ｆ・及び抑圧度Ｄ＃／ｉＦ’Ｊとそれでれ比例関係に
ある０例えば、圧電性基板にＸカッ） ｍ’＠転Ｙ伝ｉ
ｌｌ ＬｇＴａＯ収タンタル酸リチウム）を用いｆｏｍ
２３０ＭＩＩ” ｔλ−Ｆ−１４，４４７１、ｄ−ｍＯ
，６ｆｉｔｍ 、電極指数Ｎ−２５０本である如龜Ａｔ
ストリップ反射ｌＩＫかけ９４図に示す様になる。第４
図から、中心周波数ｆ・と抑圧度りのばら′：）Ｉ嘱を
小さくするため間隔ｌの製造上のばらつ暑は電極指幅ｔ
Ｋ比べて十分に小さいため、積ｄ、ｌを一定に保てば良
いことがわかる。
′）自の中で実用上問題となるのは、金属ストリップ反
射４１！４の電極指幅りと電極膜厚ｄである。即ち、中
心周液数ｆ・及び抑圧度りは電極指幅り及び電極膜厚ｄ
の変化に対してそれでれ敏感に変動するのである。しか
し、中心周波ｄ 数ｆ・及び抑圧度Ｄ＃／ｉＦ’Ｊとそれでれ比例関係に
ある０例えば、圧電性基板にＸカッ） ｍ’＠転Ｙ伝ｉ
ｌｌ ＬｇＴａＯ収タンタル酸リチウム）を用いｆｏｍ
２３０ＭＩＩ” ｔλ−Ｆ−１４，４４７１、ｄ−ｍＯ
，６ｆｉｔｍ 、電極指数Ｎ−２５０本である如龜Ａｔ
ストリップ反射ｌＩＫかけ９４図に示す様になる。第４
図から、中心周波数ｆ・と抑圧度りのばら′：）Ｉ嘱を
小さくするため間隔ｌの製造上のばらつ暑は電極指幅ｔ
Ｋ比べて十分に小さいため、積ｄ、ｌを一定に保てば良
いことがわかる。
一般の弾性表面波装置の製造には、蒸着及びホトエツチ
ングが用いられ、その行程て電極指幅りと膜厚ｄはそれ
ぞれ独立にばらつく。そこで従来のグロ令ス管理法では
電極指ｌＩＬ及び膜厚ｄをそれぞれ測定して積かｄを求
め、この値が許容範囲内にあるかどうかで特性の合否判
定を行っている。この方法はプロセス管理を行う上で有
益であるが１弾性表面波装置を量産する場合に全チップ
に対してこれを適用することは莫大な＃ｌ′ｉＲ・判定
時間を要し、事実上下回部である。そこで、現状ではク
エへ内の代表的な数個のテップについて電極指１ＩＩｔ
及び膜厚ｄを一定し、これによりクエへ全体の合否を判
定している。また、電極指幅り及び膜厚ｄを精度よく測
定する危めには非常に高価な測定装置を必要とする。従
りて、一般には合格判定され危りエハ内のテップをその
反射特性に関係なく組み立て、その後に電気測定により
嵐テッグを選別している。そのため、１７Ａ状では不爽
チップを組み立てるという無駄な作業を行うととｋなり
、量産における弾性波ａ面装置の製造コスト増大の大き
なｌＩ！因になりてｉた。
ングが用いられ、その行程て電極指幅りと膜厚ｄはそれ
ぞれ独立にばらつく。そこで従来のグロ令ス管理法では
電極指ｌＩＬ及び膜厚ｄをそれぞれ測定して積かｄを求
め、この値が許容範囲内にあるかどうかで特性の合否判
定を行っている。この方法はプロセス管理を行う上で有
益であるが１弾性表面波装置を量産する場合に全チップ
に対してこれを適用することは莫大な＃ｌ′ｉＲ・判定
時間を要し、事実上下回部である。そこで、現状ではク
エへ内の代表的な数個のテップについて電極指１ＩＩｔ
及び膜厚ｄを一定し、これによりクエへ全体の合否を判
定している。また、電極指幅り及び膜厚ｄを精度よく測
定する危めには非常に高価な測定装置を必要とする。従
りて、一般には合格判定され危りエハ内のテップをその
反射特性に関係なく組み立て、その後に電気測定により
嵐テッグを選別している。そのため、１７Ａ状では不爽
チップを組み立てるという無駄な作業を行うととｋなり
、量産における弾性波ａ面装置の製造コスト増大の大き
なｌＩ！因になりてｉた。
本発明はかかる従来技術の欠点に鑑みなされたもので、
新しφ弾ａ＊ｍｍ＊＊の金属反射器とその検査方法を提
供することにより１弾＋ｌＡｌ１１面波装置の製造コス
トの低減を図ることを目的としている。
新しφ弾ａ＊ｍｍ＊＊の金属反射器とその検査方法を提
供することにより１弾＋ｌＡｌ１１面波装置の製造コス
トの低減を図ることを目的としている。
第１の発明によれば、圧電性基板上に形成１れたグレー
ティング構造の金属ストリップ反射器にお−て、鍍金属
ストリップ反射器の共通電極又は電極指に電極指抵抗測
定用電極が設けられている弾性表面波装置の金属ストリ
ップ反射ａが提供される。
ティング構造の金属ストリップ反射器にお−て、鍍金属
ストリップ反射器の共通電極又は電極指に電極指抵抗測
定用電極が設けられている弾性表面波装置の金属ストリ
ップ反射ａが提供される。
また第２の発明によれば、金属ストリップ反射−の共通
電極又は電４ｉｉ？１ｉｌＫｉ＆けられた電極指抵抗調
定用電極を用いて、電流電圧法によりて電極指抵抗を測
定し、金属ストリップ反射器の反射Ｉｆ／＃性の合否を
判定することを特徴とする弾性表面波装置の金属ストリ
ップ反射器の検査方法が提供される。
電極又は電４ｉｉ？１ｉｌＫｉ＆けられた電極指抵抗調
定用電極を用いて、電流電圧法によりて電極指抵抗を測
定し、金属ストリップ反射器の反射Ｉｆ／＃性の合否を
判定することを特徴とする弾性表面波装置の金属ストリ
ップ反射器の検査方法が提供される。
次に本発明の原１１に′）％Ａで説明する。一般に電極
指抵抗Ｒと積かｄとの関係は、次の（１１式で表わされ
る。
指抵抗Ｒと積かｄとの関係は、次の（１１式で表わされ
る。
１
Ｒ−ρ・７；ｒｅＴ ・・・・・・・・・・・・・・（
すζこで、Ｉは電極材料の比抵抗、Ｌは金属ストリップ
の長さ、Ｎは電極指数である。この（１）式から積かｄ
は次の（２）式で表わされる。
すζこで、Ｉは電極材料の比抵抗、Ｌは金属ストリップ
の長さ、Ｎは電極指数である。この（１）式から積かｄ
は次の（２）式で表わされる。
か、４．−Ｌ又は”ｉ）；−ｔ・青−（２）Ｒ
髄りて、電極指抵抗ＲｖｗＪ定すれば、積ｚ＠ｄの値を
評価することかで自、テップｏｌ否を判定することがで
自る。しかし、電極指抵抗Ｒは過電ＩＱ前後の低抵抗で
あり、クエハプロー／（等を用−九抵に＠定ではプロー
バＯＩＩ触抵抗及びプローブ位置あるいは間隔Ｏばらり
ｉｉＫよる橢ｊｉ！ｖ４差が大暑〈積かｄの値を評価す
ることが困難である。そζで、装置−では、金属ストリ
ツグ反射ＳＯ共通電極又は電極指に新九に電極指抵抗測
定用電ｌｌＫを設は良金属ストリップ反射器を提供する
とともに、こＯＶＸ＊指抵抗一定用電４ｒ＆を用いて電
圧電流法により電極指抵抗Ｒ１−測定し、この抵抗値に
より金属ストリップ反射器の合否を判定する検査方法７
ｂＸ提供畜れる。
評価することかで自、テップｏｌ否を判定することがで
自る。しかし、電極指抵抗Ｒは過電ＩＱ前後の低抵抗で
あり、クエハプロー／（等を用−九抵に＠定ではプロー
バＯＩＩ触抵抗及びプローブ位置あるいは間隔Ｏばらり
ｉｉＫよる橢ｊｉ！ｖ４差が大暑〈積かｄの値を評価す
ることが困難である。そζで、装置−では、金属ストリ
ツグ反射ＳＯ共通電極又は電極指に新九に電極指抵抗測
定用電ｌｌＫを設は良金属ストリップ反射器を提供する
とともに、こＯＶＸ＊指抵抗一定用電４ｒ＆を用いて電
圧電流法により電極指抵抗Ｒ１−測定し、この抵抗値に
より金属ストリップ反射器の合否を判定する検査方法７
ｂＸ提供畜れる。
以下−付の図面に示す実施例により、ｊＩＫ詳ＪＩＫ本
発明についてｉｉｇ−する。ｊｓａｍは重置−〇第１の
夷ｊＩＩｌｌｌｌ＆−示すものであり、電極指抵抗−走
用電極として１対の電流端子用電＠７と１対の電圧一定
端子用電極Ｓを金属ス） ＋３ツブ反射器４０共通電極
に設置し７ｔ４のである。そして、ＩＩＩ示する様にそ
れぞれ１組の電流用プローバ９および電圧用／ローバＩ
Ｑを接触させ、これによって電流電圧法によりて電極指
抵＃ｌｃＲを求める。これによりてウェハ状態のｔｔｔ
−チップ対して積４．ｔ を容易かつ正確に求めること
が出来、チップ毎に会合判定を行うことが可能となる。
発明についてｉｉｇ−する。ｊｓａｍは重置−〇第１の
夷ｊＩＩｌｌｌｌ＆−示すものであり、電極指抵抗−走
用電極として１対の電流端子用電＠７と１対の電圧一定
端子用電極Ｓを金属ス） ＋３ツブ反射器４０共通電極
に設置し７ｔ４のである。そして、ＩＩＩ示する様にそ
れぞれ１組の電流用プローバ９および電圧用／ローバＩ
Ｑを接触させ、これによって電流電圧法によりて電極指
抵＃ｌｃＲを求める。これによりてウェハ状態のｔｔｔ
−チップ対して積４．ｔ を容易かつ正確に求めること
が出来、チップ毎に会合判定を行うことが可能となる。
従りて、質来のＩＩＫ不嵐チップを組み立て、更に電気
４１１懺検査を行うという無駄がなくなり、電気特性歩
留りが大幅に向上し、ＩＩ造ロコスＯ低減を実現するこ
とが可＊ＩＫなる。
４１１懺検査を行うという無駄がなくなり、電気特性歩
留りが大幅に向上し、ＩＩ造ロコスＯ低減を実現するこ
とが可＊ＩＫなる。
次に＾体例として、メカット１１ｆ回転ｒ伝搬ＬｉＴｇ
ｓＯｓ基板上に入出力正規履くし形電ＩＫ（中心１４
ＦＩＬ ’Ｉ＆ ／＠ ＄ ２１０ＪｔＩＩｇ 、帯域
幅５０ｊａＦｇ ）を形成し。
ｓＯｓ基板上に入出力正規履くし形電ＩＫ（中心１４
ＦＩＬ ’Ｉ＆ ／＠ ＄ ２１０ＪｔＩＩｇ 、帯域
幅５０ｊａＦｇ ）を形成し。
、両電極間に膜厚ｄ”−（ｊｓａｍ、波長λ−ｆ−１４
４Ａ１ｍｌ 、間隔Ｌ−ＢＪＩＡＩ＆ 、金属ストリッ
プ長ｔ−５ｏａμ畷、電極指数Ｎ−２５０本のＡｔスト
リップ反射器が配置され九周波数基準付き弾性表面波フ
ィμりについて述べる。 Ａｔストリップ反射器の電＠
指抵抗測定用電極は１８５図に示す様に配置され、電流
および電圧測定端子用電極７，８０寸法は１５０Ｘ１０
０＃ｌＩであり、また電極７．８の引出部の―はト１１
ｕである。ｔた。クエハプーパと・してはタングステン
プローパを用い、電流電圧測定には四端子測定用書すオ
ームメーメな用いた。
４Ａ１ｍｌ 、間隔Ｌ−ＢＪＩＡＩ＆ 、金属ストリッ
プ長ｔ−５ｏａμ畷、電極指数Ｎ−２５０本のＡｔスト
リップ反射器が配置され九周波数基準付き弾性表面波フ
ィμりについて述べる。 Ａｔストリップ反射器の電＠
指抵抗測定用電極は１８５図に示す様に配置され、電流
および電圧測定端子用電極７，８０寸法は１５０Ｘ１０
０＃ｌＩであり、また電極７．８の引出部の―はト１１
ｕである。ｔた。クエハプーパと・してはタングステン
プローパを用い、電流電圧測定には四端子測定用書すオ
ームメーメな用いた。
上記の条件下における測定の結果、電極指抵抗Ｒの逆＠
３．と反射Ｉ！の中心周波数ｆ・及び抑圧ｙｎ６関係は
、第６ＷＡＫ示す様になりた。これにより、新値゛０中
心屑ｔＩＬ数１０及び抑圧度りを有するチックの選別が
、容易かつ正確に行うことが可能になった。従りて、ク
エハプローパを用いてウェハ上の全チップにつｉて金属
ストリップ反射器の電極指抵抗Ｒを測定することにより
。
３．と反射Ｉ！の中心周波数ｆ・及び抑圧ｙｎ６関係は
、第６ＷＡＫ示す様になりた。これにより、新値゛０中
心屑ｔＩＬ数１０及び抑圧度りを有するチックの選別が
、容易かつ正確に行うことが可能になった。従りて、ク
エハプローパを用いてウェハ上の全チップにつｉて金属
ストリップ反射器の電極指抵抗Ｒを測定することにより
。
反射器特性の合否を直ちに判定することができチップ検
査精度が大幅忙向上し、検査時間を大幅に短縮すること
が可能になる。
査精度が大幅忙向上し、検査時間を大幅に短縮すること
が可能になる。
１１７ ｍｌ （ａ） （Ａ） （ｃ）は１本発明の第
２の実施例を示すものである。この第２の実施例は、電
流端子用電極７と電圧測定端子用電極８が、第１の実施
例と異なり、両電極７，８の電極引出部１１が単一であ
るという特徴を有している。この第２の実施例において
も、第１の実施例の場合と同様の結果が得られた。
２の実施例を示すものである。この第２の実施例は、電
流端子用電極７と電圧測定端子用電極８が、第１の実施
例と異なり、両電極７，８の電極引出部１１が単一であ
るという特徴を有している。この第２の実施例において
も、第１の実施例の場合と同様の結果が得られた。
第８図は１本発明の第３の実施例を示すものであり、金
属ストリップ反射器４の−ＩＩＫ対して菖Ｓ図と同様の
電流電圧測定用端子７，８を設けたものである。この弾
性表面波装置においても、第（２１式と同じ関係式を得
る仁とかで亀、電極指抵抗Ｒを測定することにより、金
属ストリップ反射器の反射器特性を評価することがで龜
る。
属ストリップ反射器４の−ＩＩＫ対して菖Ｓ図と同様の
電流電圧測定用端子７，８を設けたものである。この弾
性表面波装置においても、第（２１式と同じ関係式を得
る仁とかで亀、電極指抵抗Ｒを測定することにより、金
属ストリップ反射器の反射器特性を評価することがで龜
る。
第９図は１本発明の第４０実施例を示すもので、第１〜
５の実施例と異なり電極指の両端が開放され九童属ス）
１７ツプ反射器に本発明を応用したものである。図示す
る様に、１本あるいは２本１１度の電極指にりいて電流
および電圧測定端子用電極を設け、ウエハプローパを用
いて電流電圧流で電極指抵抗Ｒｔ−測定するととにより
４＄４図と同様な関係を得ることができる。従って、両
端が共通電極で接続されていない両端開放形金属ストリ
ップ反射器においても、装置−を実施することができる
。
５の実施例と異なり電極指の両端が開放され九童属ス）
１７ツプ反射器に本発明を応用したものである。図示す
る様に、１本あるいは２本１１度の電極指にりいて電流
および電圧測定端子用電極を設け、ウエハプローパを用
いて電流電圧流で電極指抵抗Ｒｔ−測定するととにより
４＄４図と同様な関係を得ることができる。従って、両
端が共通電極で接続されていない両端開放形金属ストリ
ップ反射器においても、装置−を実施することができる
。
尚１以上の実ｍ例においては、圧電性基板としてＬ４ｒ
ｔｔＯｓを用い九が１本発明はとれに限定１れるもので
はなく１例えばＬｉＮｈＯｍ 、水晶、−１１Ｅツ（タ
ス、ＺｎＯ＠の圧電材料を用いて４＊Ｖｈ＠−＊た。金
属電極もＡｔに限定される４のではなく。
ｔｔＯｓを用い九が１本発明はとれに限定１れるもので
はなく１例えばＬｉＮｈＯｍ 、水晶、−１１Ｅツ（タ
ス、ＺｎＯ＠の圧電材料を用いて４＊Ｖｈ＠−＊た。金
属電極もＡｔに限定される４のではなく。
Ａｕ、Ｃ＊、Ｃｒ、Ｔｉ 、Ｎｓ等を用いズも喪い。
以上の説明から明らかな様に装置Ｗ１４によれば、。
金属ストリップ反射器のｑ＃性の合否をウェハ状態で容
ＩＩＩＫ検査することがで自るため１弾性表ＩＩ液装置
の組立て以降の嵐晶歩留を大−に向上させることがで龜
る。即ち、不嵐チップの組立てをなくすことかで龜る九
め、 ｊＬｄ＆歩留を従来の＃５０鴫から９０％以上に
向上させることが可能になる。しかも、＊属ストリップ
反射器の合否ｏ＊ｙａを正確かつ迅速に行なえる危め、
金属ストリップ反射器を有する弾性表面波装置ｏｌｌｌ
ｌ開時間縮す−ことができ、嵐晶歩習の向上と相和して
その製造コストを低減することが可能となる。
ＩＩＩＫ検査することがで自るため１弾性表ＩＩ液装置
の組立て以降の嵐晶歩留を大−に向上させることがで龜
る。即ち、不嵐チップの組立てをなくすことかで龜る九
め、 ｊＬｄ＆歩留を従来の＃５０鴫から９０％以上に
向上させることが可能になる。しかも、＊属ストリップ
反射器の合否ｏ＊ｙａを正確かつ迅速に行なえる危め、
金属ストリップ反射器を有する弾性表面波装置ｏｌｌｌ
ｌ開時間縮す−ことができ、嵐晶歩習の向上と相和して
その製造コストを低減することが可能となる。
纂１図は従来の金属ストリップ反射器を有する弾性ＩＩ
Ｒ面掖鋏置装一例を示す説嘴図、第２図はＩｓ１図０Ａ
−Ａｆｌｆ爾図、菖墨図は纂１図に示す弾性表面波装置
の周波数＊＊図、＄４図は金属ストリップ反射器の中心
ｊＩｆＩＬ数シフト（へθ／ｆ、）ｄ 及び抑圧度■のａｉｍ波波長規格値積Ｃ７ｒ”Ｔｊに対
する関係を示す図、ｇｉ図は本発明の第１０実施例な示
す図、第６図は第１Ｓ図に示す票１の実ＪｕｌＫおける
金属ストリップ反射ｊａの中心屑誠数シフ） Ｓ”／７
．）と抑圧Ｒ嬶の電極指抵抗の逆数（’／Ｒ）に対する
関係（反射器特性）を示す図。 第７図（ｇ）（Ａ）（−３は本発明の第２の実施例を示
す説ＦＩｉ４ｗＪ、第８図は本発明の第１の実施例を示
す説ｆ１４ＩＩｉｌｌ、１１１？図は本発明の篇４の実
施例を示す説＠図である。 １・・・圧電性基板、 ２−・入力くし形電極、５
・−出力くし形電極。 ４・・・金属ストリップ反射器。 ５・・・電極指、 ６−共通電極。 ７・・・電流端子用電極。 ８・・・電圧測定端子用電極。 ９・・・電流用プローパ、１〇−電圧用プｐ−）（。 １１・−電極引出部。 代理人弁理士 薄 １）鴫りＮ Ｌｌ、！、１′！、、、１ 牙１胆 才２ 図 牙 ヰ 阻 ７−央（Ｘ／θ−２） オ ５ 回
Ｒ面掖鋏置装一例を示す説嘴図、第２図はＩｓ１図０Ａ
−Ａｆｌｆ爾図、菖墨図は纂１図に示す弾性表面波装置
の周波数＊＊図、＄４図は金属ストリップ反射器の中心
ｊＩｆＩＬ数シフト（へθ／ｆ、）ｄ 及び抑圧度■のａｉｍ波波長規格値積Ｃ７ｒ”Ｔｊに対
する関係を示す図、ｇｉ図は本発明の第１０実施例な示
す図、第６図は第１Ｓ図に示す票１の実ＪｕｌＫおける
金属ストリップ反射ｊａの中心屑誠数シフ） Ｓ”／７
．）と抑圧Ｒ嬶の電極指抵抗の逆数（’／Ｒ）に対する
関係（反射器特性）を示す図。 第７図（ｇ）（Ａ）（−３は本発明の第２の実施例を示
す説ＦＩｉ４ｗＪ、第８図は本発明の第１の実施例を示
す説ｆ１４ＩＩｉｌｌ、１１１？図は本発明の篇４の実
施例を示す説＠図である。 １・・・圧電性基板、 ２−・入力くし形電極、５
・−出力くし形電極。 ４・・・金属ストリップ反射器。 ５・・・電極指、 ６−共通電極。 ７・・・電流端子用電極。 ８・・・電圧測定端子用電極。 ９・・・電流用プローパ、１〇−電圧用プｐ−）（。 １１・−電極引出部。 代理人弁理士 薄 １）鴫りＮ Ｌｌ、！、１′！、、、１ 牙１胆 才２ 図 牙 ヰ 阻 ７−央（Ｘ／θ−２） オ ５ 回
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 圧電性基板上に形成されたグレーティング構
造の金属ストリップ反射器において、鋏★属ス）ＩＪツ
ブ反射器の共通電極又は電極指に電極指抵抗測定用電極
が役けられてめることを特徴とする弾性表面ｗＬ鋏装の
金属ストリップ反射器。 （２）金属ストリップ反射器の共通電極又は電極指に設
けられた電ＩＩ＃ｉ抵抗測定用電極を用いて、電圧電流
法によりて電極指抵抗を槻定し。 金属ストリップ反射器の反射器特性の会合を判定するこ
とを特徴とする弾性表面波装置の金属ストリップ反射器
の検査方法。 （５）上記電極指抵抗測定用電極がそれでれ１対゛ の
電流端子用電極及び電圧端子用電極から構成されている
ことを特徴とする特許請求の範１１ｍ＜（１）項記載の
弾性表面波装置の金属ス）ＩＪツブ反射器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9825481A JPS581316A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 弾性表面波装置の金属ストリツプ反射器とその検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9825481A JPS581316A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 弾性表面波装置の金属ストリツプ反射器とその検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS581316A true JPS581316A (ja) | 1983-01-06 |
Family
ID=14214817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9825481A Pending JPS581316A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 弾性表面波装置の金属ストリツプ反射器とその検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS581316A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60154705A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子 |
| JPH0382211A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-08 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1981
- 1981-06-26 JP JP9825481A patent/JPS581316A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60154705A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子 |
| JPH0382211A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-08 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
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