JPS58117714A - 水晶板ヘツドの構造 - Google Patents

水晶板ヘツドの構造

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Publication number
JPS58117714A
JPS58117714A JP36882A JP36882A JPS58117714A JP S58117714 A JPS58117714 A JP S58117714A JP 36882 A JP36882 A JP 36882A JP 36882 A JP36882 A JP 36882A JP S58117714 A JPS58117714 A JP S58117714A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
crystal oscillator
holder
plate head
crystal resonator
Prior art date
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Pending
Application number
JP36882A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Ogino
荻野　利男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS58117714A publication Critical patent/JPS58117714A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空薄膜制御ｌこおける水晶板ヘッドの構造に
関する。
従来の水晶板ヘッドの構造は、ホルダーに円筒形絶縁物
を入れてホルダーと絶縁し、円筒形絶縁物の中に水晶振
動子を挿入する。この時、水晶振動子の片面はホルダー
と接触、他方は金属板を通してスプリングで水晶振動子
を固定する構造となっているが、水晶振動子を交換する
場合にスプリング固定が接触不良おなり易い欠点がある
。このために、周波数の変動幅が大きくなり易く、蒸着
精度を著しく低下させることが多い。また水晶振動子の
変動幅がＱ、　５　ＨＺ以上と大きいものでは、その都
度水晶振動子を交換セットし周波数カウンターでその変
動幅をチェックして使用していた。
このために、作業性が悪く時間を要していた。
本発明の目的は、蒸着の精度を水晶振動子の振動周波数
の変動幅を少なくすることで、蒸着機そのもののもつ能
力を低下させないようにすることができる水晶板ヘッド
の構造を提供することにある。
以下、本発明の一実施例を図Ｉこより説明する。
水晶板ヘッドの構造は、金属ホルダー１を外側に、円筒
形絶縁物２を内側にしてなり、水晶振動子３を絶縁物２
の内側に入れてなる。水晶振動子３の片面は導電ペース
ト４と接触し、金属ホルダー１を通し負側取り出し端子
を作る。また水晶振動子３の他面は導電ゴム５と接触し
、押え金属板６、スプリング７を通して正側取り出し端
子を作る。
取り出し端子は水晶板ヘッド上部でＢＮＣ接続端子８を
形成する。
水晶の振動は種々のものがあるが、一般的に用いる水晶
は厚みすべり振動で、基本周波数６ＭＨ２である。厚み
すべり振動では、共振周波数は振動の表面近くの質量に
左右され、その弾性定数に無関係である。従って、ある
範囲内では、水晶振動子の表面に形成された蒸着膜の厚
さの変化に基づく周波数の変化が現われる。この周波数
は上記構造上部のＢＮＣ接続端子よりケーブルでモニタ
ーに接続される。
このように、水晶振動子３の両側に導電ペースト４、導
電ゴム５を用いて、水晶振動子の両面を押え、さらに水
晶振動子３と他の押え金属板６、ホルダー１との接触を
密にすることにより、水晶振動子３の変動幅を小さくす
ることができる。周波数の変動幅を小さくすることによ
り蒸着精度の向上に効果がある。
本発明によれば、水晶振動子両面を導電ペースト、導電
ゴムなどで保持することにより、水晶振動子の安定性、
接触性が増し、変動幅が０．５　ＨＺ以下と小さくする
ことが可能であり、蒸着機のもつ能力を充分発揮する効
果がある。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例を示す水晶板ヘッドの構造の断面
図である。 １・・・金属ホルダー、　　　２・・・円筒形絶縁物、
３・・・水晶振動子、　　　４・・・導電ペースト、５
・・・導電ゴム、　　　　　６・・・押え金属板。 代理人　弁理士　薄　１）利　幸

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、金属ホルダー内に円筒形絶縁物を入れ、この円筒形
    絶縁物の内側に水晶振動子を一方の面が金属ホルダーと
    接触するように挿入してなる水晶板ヘッドにおいて、前
    記金属ホルダーと前記水晶振動子の間に導電ペーストを
    介在させたことを特徴とする水晶板ヘッドの構造。 ２、金属ホルダー内に円筒形絶縁物を入れ、この円筒形
    絶縁物の内側に水晶振動子を一方の面が金属ホルダーと
    接触するようｌこ挿入し、水晶振動子の他方の面に押え
    金属板を配設してなる水晶板ヘッドにおいて、前記金属
    ホルダーと前記水晶振動子の間に導電ペーストを、剪配
    水晶振動子と前記押え金属板の間に導電ゴムをそれぞれ
    介在させたことを特徴とする水晶板ヘッドの構造。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6144926U (ja) * 1984-08-28 1986-03-25 日本電波工業株式会社 モニタ用水晶振動子
JPS61133559U (ja) * 1985-02-06 1986-08-20
US8256076B1 (en) * 2011-11-19 2012-09-04 Murray F Feller Method of making an ultrasonic transducer

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