JPS58109803A - 圧延材の形状測定装置 - Google Patents

圧延材の形状測定装置

Info

Publication number
JPS58109803A
JPS58109803A JP56207110A JP20711081A JPS58109803A JP S58109803 A JPS58109803 A JP S58109803A JP 56207110 A JP56207110 A JP 56207110A JP 20711081 A JP20711081 A JP 20711081A JP S58109803 A JPS58109803 A JP S58109803A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor
height
gap
measured
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP56207110A
Other languages
English (en)
Inventor
Sukefumi Tsumura
津村 右文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP56207110A priority Critical patent/JPS58109803A/ja
Publication of JPS58109803A publication Critical patent/JPS58109803A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 圧延され九薄板の平坦度(以下形状と称す)、すなわち
板の起伏の比率を表わすものとして急峻度(波の高さ/
波のピッチの比)が用いられる。
従来、急峻度を求めるのに第1図に示すように薄板1を
定盤2上に置き、測定対象とする板幅位置の長手方向に
引張つ九ピアノ線3を基準線として、lギス尋によ)薄
板波釘面の高低H′を測定して波の高さHを、また通常
のスケールによシ山頂から山頂、あるいは谷底から谷底
の区間を測定して波のピッチtをそれぞれ求めていた。
しかし、圧延材の板厚が薄くなるにつれ、板材に計測具
が触れると板の波打ち状態が変化してしまうため、複雑
な形状はもとよシ板厚が薄いものに対しては、現状では
形状測定がほとんど不可能であった。
最近、被測定物に測定子を接触させないで、被測定物ま
での距離を測定する非接触センサーが開発されている。
この種の非接触センサーは圧延材形状の測定に適してい
るようであるが、これらの欠点線測定量の範囲が大きく
なるほど、センサーの径が大きくなることである。圧延
材の形状は3軸の傾きを持つ面であ夛、この場合、セン
サー径の平均値を計測することになるため、センサー径
が大きいものは測定精度上問題である。
本発明の目的は径の小さいセンサーで広範囲の波の高低
を非接触で精度良く測定できる装置を提供するにある。
以下、本発明の実施例を第2図により説明する。
基本的には第3図の渦電流者ンサーの特性を活用して被
測定物とセンサーの間隙8によるセンサー出力電圧Sマ
を標準電圧8Kになるように制御する。すなわち、第2
図に示す被測定物とセンサーとの間1!IIsを常に一
定に保持するため、標準電圧8菖を設定し、被測定物4
とセンサー5の間aSが離れ、もしくは、接近する時に
発生する電圧量8マと標準電圧8璽との信号レベルを比
較することによって、常に被測定物4とセンサー50関
隙8が一定になるよう、その電圧差e直でサーボモータ
6を駆動し、この動きをポテンションメータ7で検出し
て圧延材の波の高低を測定する。さらに、センサーを水
平面内に移動させる装置と組合わせ、圧延材の長手方向
の波の高低と、その位置を連続して記録する。
第4図には本発明による形状測定と従来方式による実測
結果の比較を示す、同図から急峻度の大きいα=6%ま
での領域で両者間には良い一致が見られる。さらに、従
来、不可能に近かった薄板材の場合にも適用可能である
。すなわち、通常のセンサーで例えば径が5mのものに
よれば、波の高さをα1−以下の誤差で測定できるので
、この結果α1%の急峻度が測定可能となる。また、導
電材であればいかなる物体でも計測でき、さらに、従来
に比べ測定時間を1/10に短縮することができる。
なお、図中4は被測定物、8はサーボアンプ、9はパイ
ロットジェネレータ、lOはセンサーアンプ、Lxはセ
ンサー軌跡を示す。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の圧延材の急峻度測定状態を示す斜視図、
第2図は本発明の骨子となる圧延材形状測定系統のブロ
ック図、第3図は非接触センサーの特性図、第4図は本
発明の測定器と従来法の比較を表わす図である。 1・・・圧延材、2・・・定盤、3・・・ピアノ線、4
・・・被測定物、5・・・センサー、6・・・サーボモ
ータ、7・・・ポテンションメータ、訃・・サーボアン
プ、1o・・・センサーアンプ H/・・・波の高低、
t・・・波のピッチ、S・・・セy+−との間隙、Sマ
・・・センサー電圧量、番 1 図 発 2 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、ギャップ測定装置と、この測定装置の高さ方向の位
    置を変えるように構成され九サーボ装置と、ギャップを
    一定に保つフィードバック信号を前記サーボ機構に与え
    るf&鎧と、前記サーボ機構の移動量を検出する装置と
    、以上の四つの装置を水平面内で移動させる装置とよシ
    成り、平面内の各点での前記サーボ装置の移動量を測定
    することにより、圧延材の波の高さを測定することを特
    徴とする圧延材の形状測定装置。
JP56207110A 1981-12-23 1981-12-23 圧延材の形状測定装置 Pending JPS58109803A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56207110A JPS58109803A (ja) 1981-12-23 1981-12-23 圧延材の形状測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56207110A JPS58109803A (ja) 1981-12-23 1981-12-23 圧延材の形状測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58109803A true JPS58109803A (ja) 1983-06-30

Family

ID=16534358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56207110A Pending JPS58109803A (ja) 1981-12-23 1981-12-23 圧延材の形状測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58109803A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5224410A (en) * 1989-12-02 1993-07-06 Graichen Kai Michael Power booster with vacuum supply passage in position sensor housing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5224410A (en) * 1989-12-02 1993-07-06 Graichen Kai Michael Power booster with vacuum supply passage in position sensor housing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3873770A (en) Digital position measurement system with stylus tilt error compensation
US4764970A (en) Method and apparatus for detecting cracks
EP0004757A1 (en) Capacitive non-contact gauging system
US4053234A (en) Thickness measurement
JPH0348102A (ja) 微少変位検出装置、この微少変位検出装置を有する圧電アクチュエーター及びこの圧電アクチュエータを有する走査型プローブ顕微鏡
CN1238461A (zh) 用于减少检验测量的测量误差的方法和装置
US2800590A (en) Radiation measuring system for material having non-uniform cross-section design
US4679941A (en) Micro-dimensional measurement apparatus
GB2226881A (en) Measuring apparatus
JPS58109803A (ja) 圧延材の形状測定装置
US2591666A (en) Interferometer gauge
US6434845B1 (en) Dual-axis static and dynamic force characterization device
JPS61193047A (ja) 微小硬度測定機
US2929242A (en) Method for determining strain
JP2547333B2 (ja) 位置検出装置
EP0159800B1 (en) Micro-dimensional measurement apparatus
JPH03218404A (ja) 板材の形状測定方法および装置
JPH0358447B2 (ja)
JPH0129526Y2 (ja)
JP2614645B2 (ja) 変位測定装置
JPH08248082A (ja) 電位分布測定方法および走査型顕微鏡
JPS582605A (ja) 測定方法および装置
JPH0130402B2 (ja)
JPH0129527Y2 (ja)
JPS59155736A (ja) 鋼板の応力分布測定装置