JPS58108538A - 捺染用積層感光性樹脂フイルム - Google Patents
捺染用積層感光性樹脂フイルムInfo
- Publication number
- JPS58108538A JPS58108538A JP20839481A JP20839481A JPS58108538A JP S58108538 A JPS58108538 A JP S58108538A JP 20839481 A JP20839481 A JP 20839481A JP 20839481 A JP20839481 A JP 20839481A JP S58108538 A JPS58108538 A JP S58108538A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive
- photosensitive resin
- film
- layer
- photosensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/095—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having more than one photosensitive layer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明番コ、厚い感光層が被着されていても良好な感光
性能を発揮する捺染用積層感光性4111イルムに係る
もので、ジアゾエユウム化合6−PVA糸やスチルパゾ
リエウム基導入PVA系のような水現像性の感光性樹脂
液又は感光性樹脂エマルジョンを担体フィルム上に複数
回塗布乾燥してなる感光性樹脂フィルムにおいて、複写
原稿に接する上層面傭の感光適度を基準とし、下層程感
光速度の早い感光性樹脂材を使用して厚手の積層感光性
#Ij1フィルムを形成せしめた事を特徴とするもので
ある。
性能を発揮する捺染用積層感光性4111イルムに係る
もので、ジアゾエユウム化合6−PVA糸やスチルパゾ
リエウム基導入PVA系のような水現像性の感光性樹脂
液又は感光性樹脂エマルジョンを担体フィルム上に複数
回塗布乾燥してなる感光性樹脂フィルムにおいて、複写
原稿に接する上層面傭の感光適度を基準とし、下層程感
光速度の早い感光性樹脂材を使用して厚手の積層感光性
#Ij1フィルムを形成せしめた事を特徴とするもので
ある。
この場合、厚さを!SO声以上舊:彫成し、各層ごとに
感光過度に羞をつけ、下層の感光速度を上層の感光適度
より1.5〜!S倍に設定することが望ましい・ 水梶像性の感光性樹脂層は一般に水溶性感光樹脂に、必
要な特性に応じてPVA、@酸ビエルエマルジ璽ン等を
混合し1例えば捺染用写真蓋やスクリン印刷版に例をと
れば、枠に張った紗若しくはスクリーンにスキージで手
工的に1記波を塗布乾燥して得られる。
感光過度に羞をつけ、下層の感光速度を上層の感光適度
より1.5〜!S倍に設定することが望ましい・ 水梶像性の感光性樹脂層は一般に水溶性感光樹脂に、必
要な特性に応じてPVA、@酸ビエルエマルジ璽ン等を
混合し1例えば捺染用写真蓋やスクリン印刷版に例をと
れば、枠に張った紗若しくはスクリーンにスキージで手
工的に1記波を塗布乾燥して得られる。
しかしこの方法によって得られる感光膜は1同塗布で数
々り騨ンの厚さにすぎず、厚手の感光膜を得るには多数
−の重ね塗り・を行っている。
々り騨ンの厚さにすぎず、厚手の感光膜を得るには多数
−の重ね塗り・を行っている。
これは職人的H!袷を豐するだけでなく、多大の時間を
要し、又厚さもそれ程の均一性や厚味が期待されず、失
敗率も多いのが実態である@これを改善するために最近
厚膜と称して40〜50声程度の厚さの感光性樹脂膜が
作られ市販されているが、厚1と匂で表向平滑性もよく
気泡も含まぬ様にし、更に解像力を上げる事は水現像糸
では極めてむずかしい為に現実には50声以上の厚さの
ものは殆んど市販されていない。
要し、又厚さもそれ程の均一性や厚味が期待されず、失
敗率も多いのが実態である@これを改善するために最近
厚膜と称して40〜50声程度の厚さの感光性樹脂膜が
作られ市販されているが、厚1と匂で表向平滑性もよく
気泡も含まぬ様にし、更に解像力を上げる事は水現像糸
では極めてむずかしい為に現実には50声以上の厚さの
ものは殆んど市販されていない。
しかし古くより使用される捺染用型地紙は1!IQ声〜
300μの厚さのものが大部分である為、50声。
300μの厚さのものが大部分である為、50声。
以上、特に100戸〜2、oo声の既製感光性wk展に
対する髪望は強い。
対する髪望は強い。
この超厚膜の纒造研兜に於いて1次の橡な畿つかの重要
な一点がある。
な一点がある。
(1) 厚くなる程光透過性が低下する。
(2) 従って光−向が感光し樹脂破化しても内部や
反対−はいまだ感光が不充分である可能性が高い。
反対−はいまだ感光が不充分である可能性が高い。
この事は硬化不良により水挑像後の調像の精度不良や落
版のおき易い畳を意味する◎(3) 厚膜の乾燥に当
っては、中に含まれた気泡がなかなか逃げきらず、或い
は溶剤が気化して膜中に9瞭を作ったままになる等の欠
点があり、更には1表向が早く乾燥皮膜をつくり、中か
らの蒸発気体で表−が噴火口状ζ:なる事がある。
版のおき易い畳を意味する◎(3) 厚膜の乾燥に当
っては、中に含まれた気泡がなかなか逃げきらず、或い
は溶剤が気化して膜中に9瞭を作ったままになる等の欠
点があり、更には1表向が早く乾燥皮膜をつくり、中か
らの蒸発気体で表−が噴火口状ζ:なる事がある。
これらの欠点を解決するため、研死の結果次の改曽策に
#辿し1本発明を完成したのである。
#辿し1本発明を完成したのである。
第1の特徴は、感光性*myイルムの深部はと感度を早
くすることである。
くすることである。
この結果、厚膜は無光された時、上層(光源に近い部分
)は光は強く当るが急変を迩(シ、下層は光が弱まって
いるがa!Ii&が早いために4111層硬化は上下層
ともバランスがとれ、従って、儒写される両像は厚味方
向で乱れる事なく精度のある調像が得られる・ #12の特徴は、厚膜製造の場合に一挙に金層を作らず
、薄膜を積層する多段コート法をとり、各層ハ感度・組
成の違う液をコートすることである。
)は光は強く当るが急変を迩(シ、下層は光が弱まって
いるがa!Ii&が早いために4111層硬化は上下層
ともバランスがとれ、従って、儒写される両像は厚味方
向で乱れる事なく精度のある調像が得られる・ #12の特徴は、厚膜製造の場合に一挙に金層を作らず
、薄膜を積層する多段コート法をとり、各層ハ感度・組
成の違う液をコートすることである。
この為各層は薄いので乾燥は容品であり、厚層1直艙り
の為に生ずるトラプルも解消される・更に付随して有利
となる点は、各層をその目的別に組成を変え得る点であ
る。
の為に生ずるトラプルも解消される・更に付随して有利
となる点は、各層をその目的別に組成を変え得る点であ
る。
膝染用渥を例にとって、具体的に説明すれば、第1層(
原稿に綾する層)は担体フィルふと剥離性がよい事が必
要であるのでべたつきの少ない樹脂層成とする・ 最終層(枠のスタツフに貼りつけられる層)は紗との接
着性がよい事、耐層性のある◆、耐油性のある事等が望
まれるので、各層の乳剤組成にもそれなりの配慮を加え
る事が出来るなど幾多の実用性秀れた特員を有する豪染
用槍層感光性411 Ji1yイルムとなる。
原稿に綾する層)は担体フィルふと剥離性がよい事が必
要であるのでべたつきの少ない樹脂層成とする・ 最終層(枠のスタツフに貼りつけられる層)は紗との接
着性がよい事、耐層性のある◆、耐油性のある事等が望
まれるので、各層の乳剤組成にもそれなりの配慮を加え
る事が出来るなど幾多の実用性秀れた特員を有する豪染
用槍層感光性411 Ji1yイルムとなる。
なお感光過度#錆は一一厳光剤であれば、実N例に見る
通り感光剤量を皺化する41(二より容易に達せられ、
感光剤が多いと感度は低く、少ないと感度が^(なる。
通り感光剤量を皺化する41(二より容易に達せられ、
感光剤が多いと感度は低く、少ないと感度が^(なる。
なお感光剤を変える事によっても達成され、スチルパゾ
ール糸の感光剤はe〜10*iM感度が早い事が知られ
ている・ 次に本発明の実施例を示すと次の通りである。
ール糸の感光剤はe〜10*iM感度が早い事が知られ
ている・ 次に本発明の実施例を示すと次の通りである。
PVA 5050
PVAC5050
ジアゾ感光剤 0.6 0.4膜
厚 40/II 40声 針80
声上記処方で1111層40声、第2層40声を重ね艙
りし80声の厚膜な作った所、きれいな100μm―鎗
が得られた。
厚 40/II 40声 針80
声上記処方で1111層40声、第2層40声を重ね艙
りし80声の厚膜な作った所、きれいな100μm―鎗
が得られた。
厚膜の今1つの欠点は、その膜厚の故に無光時間を長く
かける必要がある事にある。
かける必要がある事にある。
特に蝦下層まで充分に襄光し、値脂を硬化させるために
は、必要以上の露光を必要とする〇勿−ジアゾllll
11都でも厚膜は出来るが、その黄色着色のために紫外
−はより多く消費され、なかなか深部まで到達しにくい
欠点がある。
は、必要以上の露光を必要とする〇勿−ジアゾllll
11都でも厚膜は出来るが、その黄色着色のために紫外
−はより多く消費され、なかなか深部まで到達しにくい
欠点がある。
叉一部を硬化させるための嵐光で、上層部は露光1m化
不要の部分まで硬化する楓艇時間篇光される恐れもあり
、本来的には黄色着色は好ましくないし線光過度のより
早いものが望まれる・この点スチルパゾリエウ^基導入
PVムは無着色に近く又感度的にも極めて有利であり史
には分子構造的にも変化の自膚良烏く、感度蛮更もより
可能であるという大きな利点があり厚膜構成口とり大き
な特徴を有している。
不要の部分まで硬化する楓艇時間篇光される恐れもあり
、本来的には黄色着色は好ましくないし線光過度のより
早いものが望まれる・この点スチルパゾリエウ^基導入
PVムは無着色に近く又感度的にも極めて有利であり史
には分子構造的にも変化の自膚良烏く、感度蛮更もより
可能であるという大きな利点があり厚膜構成口とり大き
な特徴を有している。
ただ最近開発されたものであるのでコス)為はいなめず
、そのためにその有利性はあっても実際上厚膜として使
いこなすには内鑵な場合があり得る。
、そのためにその有利性はあっても実際上厚膜として使
いこなすには内鑵な場合があり得る。
かかる場合多層構造である事はその深部のみをスチルパ
乃具つ^基導入PVA◆の高S良品とし、浅部はジアゾ
エエウム感光性樹脂とする手段もとり得ることになり、
例えば波状では両者混合出来ないものでも、多層構造の
故に併用出来る利点がある。
乃具つ^基導入PVA◆の高S良品とし、浅部はジアゾ
エエウム感光性樹脂とする手段もとり得ることになり、
例えば波状では両者混合出来ないものでも、多層構造の
故に併用出来る利点がある。
実施例2
亀1層−) @2層−)
PVA 5G50
PVAC(Ml’r5℃> 50 (MFTd’
G15 Gジアゾ感光剤 0.6 0.4
膜 厚 sO声 40声 計
90声P■ムC0M1’T(被膜形成温度)を変える事
にょう表面はべたつきなく、裏面は接層のよい膜を褥た
。
G15 Gジアゾ感光剤 0.6 0.4
膜 厚 sO声 40声 計
90声P■ムC0M1’T(被膜形成温度)を変える事
にょう表面はべたつきなく、裏面は接層のよい膜を褥た
。
夷1例3
11B1 jlKm) 第2 )II(b) 18
31(c)PVA 80 60 50P
VムCto 40 !S。
31(c)PVA 80 60 50P
VムCto 40 !S。
ジアゾ感光剤り、S OJ o、4裏
厚 10/l 50/1
6011 針150p感度差を与えない1hOp@で
は15〜20分の篇光を必要とする所7分の無光でよか
った〇なお(2)−は3層例を示したもので、符号(1
)は担体アイルムである・
厚 10/l 50/1
6011 針150p感度差を与えない1hOp@で
は15〜20分の篇光を必要とする所7分の無光でよか
った〇なお(2)−は3層例を示したもので、符号(1
)は担体アイルムである・
I!2IIIliは本製品の1lTdiJ図である。
(1)・・担体フィルム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ジアゾ1晶つふ化合物−PV人糸やスチルパゾリエ
ウム基導入PVA、&のような水現像性の感光性樹脂液
又は感光性樹脂エマルジョンを担体フィルム上C二II
敗回塗布乾燥してなる感光性11filフイルムにおい
て、複写原稿に接する上層1四の感光速度を基準とし、
下層1MmJIt過度の早い賑光性at脂材を一使用し
て厚手の積層感光性11j&フイルムを形成せしめた事
を特徴とする捺染用積層感光性樹脂フィル^0 2 厚さをGO声以上に形成した特許請求の範III亀
1項記載の捺染用積層感光性樹Jiiフィル五〇 3 各層ごとに感光速度a:差をつけた4HfF−求の
範凹第1JIJ紀威の捺染用積層感光性W&フィルム。 4 下層の感光速度を上層の感光速度より1.5〜6倍
に設定した特許請求の範H動1狽記載の捺染用積層感光
性樹脂フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20839481A JPS58108538A (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | 捺染用積層感光性樹脂フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20839481A JPS58108538A (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | 捺染用積層感光性樹脂フイルム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58108538A true JPS58108538A (ja) | 1983-06-28 |
Family
ID=16555526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20839481A Pending JPS58108538A (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | 捺染用積層感光性樹脂フイルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58108538A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100477983B1 (ko) * | 1997-08-04 | 2005-07-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 고감도를가진포토레지스트조성물 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5785048A (en) * | 1980-11-17 | 1982-05-27 | Daicel Chem Ind Ltd | Exposed photosensitive diazo film for making screen plate |
-
1981
- 1981-12-23 JP JP20839481A patent/JPS58108538A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5785048A (en) * | 1980-11-17 | 1982-05-27 | Daicel Chem Ind Ltd | Exposed photosensitive diazo film for making screen plate |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100477983B1 (ko) * | 1997-08-04 | 2005-07-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 고감도를가진포토레지스트조성물 |
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