JPS58107484A - 薄膜形成装置における反転式蒸着装置 - Google Patents
薄膜形成装置における反転式蒸着装置Info
- Publication number
- JPS58107484A JPS58107484A JP56205535A JP20553581A JPS58107484A JP S58107484 A JPS58107484 A JP S58107484A JP 56205535 A JP56205535 A JP 56205535A JP 20553581 A JP20553581 A JP 20553581A JP S58107484 A JPS58107484 A JP S58107484A
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- Japan
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- jig
- thin film
- vapor deposition
- lens
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレンズ、プリズム峰の工作４［Ｃ所要の薄膜を
形成する場合に、所要の薄膜物質を工作物面に蒸着して
薄膜を形成する薄膜蒸着装置に関し、特に、上記被蒸着
物である工作物を真空蒸着槽内において反転あるいは所
要角度に回動し得る治具を、真空蒸着槽内に装備するこ
とにより２面以上の複数の蒸着面を有する被蒸着物を真
空蒸着槽内より槽外に取り出したりすることなく、真空
状態の！−で、上記工作物の複数の蒸着面に順次薄膜を
蒸着することのできる薄膜蒸着装置の提供を目的とする
ものである。
形成する場合に、所要の薄膜物質を工作物面に蒸着して
薄膜を形成する薄膜蒸着装置に関し、特に、上記被蒸着
物である工作物を真空蒸着槽内において反転あるいは所
要角度に回動し得る治具を、真空蒸着槽内に装備するこ
とにより２面以上の複数の蒸着面を有する被蒸着物を真
空蒸着槽内より槽外に取り出したりすることなく、真空
状態の！−で、上記工作物の複数の蒸着面に順次薄膜を
蒸着することのできる薄膜蒸着装置の提供を目的とする
ものである。
従来、レンズ、プリズム等の工作物（以下被蒸着切上い
う）の各面に薄膜を蒸着する時には、第１面目の蒸着後
、一旦真空蒸着槽内に空気を入れ、同槽内より、被蒸着
物を取り出し、再度、同被蒸着物の第２面目に薄膜を蒸
着できるような位置に、上記被蒸着物を据え付は直すと
ともに同槽内の真空引き作業後蒸着を行なうのが通例で
ある。
う）の各面に薄膜を蒸着する時には、第１面目の蒸着後
、一旦真空蒸着槽内に空気を入れ、同槽内より、被蒸着
物を取り出し、再度、同被蒸着物の第２面目に薄膜を蒸
着できるような位置に、上記被蒸着物を据え付は直すと
ともに同槽内の真空引き作業後蒸着を行なうのが通例で
ある。
従って、斯様な方法に□より、２面以上の蒸着面を有す
る被蒸着物に薄膜を蒸着する場合には、各面の蒸着毎に
真空蒸着槽内における被蒸着物の据え換え作業とこの据
え換え作業に伴って同槽内から空気を排出し、真空を得
る真空引き作業を繰り返し行なわなければならない。
る被蒸着物に薄膜を蒸着する場合には、各面の蒸着毎に
真空蒸着槽内における被蒸着物の据え換え作業とこの据
え換え作業に伴って同槽内から空気を排出し、真空を得
る真空引き作業を繰り返し行なわなければならない。
また、数十分ないし数時間の真空引きのための作業時間
を費し、上記被蒸着物である工作物自体の製造時間を著
しく長いものとしており、かつ、各蒸着面毎の蒸着に伴
う蒸着面の据え換え作業には、必ず、蒸着開始前に。
を費し、上記被蒸着物である工作物自体の製造時間を著
しく長いものとしており、かつ、各蒸着面毎の蒸着に伴
う蒸着面の据え換え作業には、必ず、蒸着開始前に。
その面のチリ、ホコリ等を除失するための。
クリーニング作業を行なわなければならない等の煩雑な
作業が要求されるものであった。
作業が要求されるものであった。
そこで９本発明者は上記従来の薄膜蒸着作業における諸
点に鑑みて、被蒸着物を真空蒸着槽内において回転自在
に架設することのできる治具を装備するとともに各蒸着
面の蒸着に際する据え換え作業を、上記治具を槽外にて
操作することにより、被蒸着物をその都度取り出す必要
なく簡便に行なうことができる回転機構を備える薄膜蒸
着装置を開発し２ここに提案するところである。
点に鑑みて、被蒸着物を真空蒸着槽内において回転自在
に架設することのできる治具を装備するとともに各蒸着
面の蒸着に際する据え換え作業を、上記治具を槽外にて
操作することにより、被蒸着物をその都度取り出す必要
なく簡便に行なうことができる回転機構を備える薄膜蒸
着装置を開発し２ここに提案するところである。
以下には本発明に係る薄膜蒸着装置の実施例を図面とと
もに説明する。
もに説明する。
第１図は薄膜蒸着装置の概略的な側断面図。
第２図は真空蒸着槽内に回転自在に架設した被蒸着物を
装着する治具の平面図である。
装着する治具の平面図である。
しかして９図中１は真空蒸着槽、２は被蒸着物３を装着
する円盤状の治具で、この治具２の左右両側に取付けた
回転軸４，５を、真空蒸着槽１内に支持腕（図示しない
）等を介して取付けた軸受６，７に装着して、上記治具
２を両軸受６，７開に渡架することにより治具２を真空
蒸着槽１内の上部に回転自在に架設しである。
する円盤状の治具で、この治具２の左右両側に取付けた
回転軸４，５を、真空蒸着槽１内に支持腕（図示しない
）等を介して取付けた軸受６，７に装着して、上記治具
２を両軸受６，７開に渡架することにより治具２を真空
蒸着槽１内の上部に回転自在に架設しである。
また、治具２にはｆｂ臭２の表裏両面を開口８＆＋８ｂ
した被蒸着物たるレンズ３を装着する装着孔８を設ける
とともにこの装着孔８の嵌合部９偶の径をレンズ３の外
径に対応せしめてＭＯＬ、他方の開口径を小径にして保
合段部１０を形成し、さらに、この装着孔８の嵌合部９
何よりレンズ３を嵌合するとともに係合段部１ｏに係合
したレンズ３を、当該装着孔８内に固定する押えリング
１１を備えて成るレンズ３の装着部１２を４箇所配設す
ることにより構成しである。
した被蒸着物たるレンズ３を装着する装着孔８を設ける
とともにこの装着孔８の嵌合部９偶の径をレンズ３の外
径に対応せしめてＭＯＬ、他方の開口径を小径にして保
合段部１０を形成し、さらに、この装着孔８の嵌合部９
何よりレンズ３を嵌合するとともに係合段部１ｏに係合
したレンズ３を、当該装着孔８内に固定する押えリング
１１を備えて成るレンズ３の装着部１２を４箇所配設す
ることにより構成しである。
尚、押えリング１１は弾性線材により装着孔８より若干
大径に形成したリングを装着孔８に強制的に装着する方
法あるいは、押えリング１１を装着孔８内周に螺合する
等の構成方法を挙げることができる。
大径に形成したリングを装着孔８に強制的に装着する方
法あるいは、押えリング１１を装着孔８内周に螺合する
等の構成方法を挙げることができる。
さらに、上記治具２には、これを回転駆動する回転機構
を備えるもので、当該回転機構は、上記治Ｘ２の一方の
回転軸４に傘歯車１４を固結するとともに真空蒸着槽１
の左側に支持腕（図示しない）にて取付けた軸受１５゜
１６間に回転自在に駆動軸１７を渡架し、かつ、この駆
動軸１Ｔの上端に傘歯車１８を固結するとともにこの傘
歯車１８を上記傘歯車１４に噛合せしめることによって
、当ｔｉ傘歯車１４．１８を介して、上記治具２の回転
軸４を駆動軸１７に連結して構成したものである。
を備えるもので、当該回転機構は、上記治Ｘ２の一方の
回転軸４に傘歯車１４を固結するとともに真空蒸着槽１
の左側に支持腕（図示しない）にて取付けた軸受１５゜
１６間に回転自在に駆動軸１７を渡架し、かつ、この駆
動軸１Ｔの上端に傘歯車１８を固結するとともにこの傘
歯車１８を上記傘歯車１４に噛合せしめることによって
、当ｔｉ傘歯車１４．１８を介して、上記治具２の回転
軸４を駆動軸１７に連結して構成したものである。
そして、上記駆動軸１７の真空蒸着槽１の槽外に突出し
た下端１７＆にハンドル１９を取付けるとともにこのハ
ンドル１９を握持して回動することにより、治具２を手
動にて回転できるように構成しである。
た下端１７＆にハンドル１９を取付けるとともにこのハ
ンドル１９を握持して回動することにより、治具２を手
動にて回転できるように構成しである。
さて１以上の構成から＃、る薄膜蒸着装置により被蒸着
物であるレンズ３のム面およびＢｍｌに薄膜を蒸着する
場合について説明すると治具２の各装着部１２に備える
押えリング１１を装着孔８より取り外した後、この装着
孔８内の嵌合部９内にレンズ３を嵌合するとともにこの
レンズ３のム面側を係合段部１０に係合せしめ、Ｂ面側
を、嵌合部９内に強制的に嵌合した押えリング１１によ
り固定することにより、４箇所の装着部１２に４個のレ
ンズ３を治具２に装着せしめる。
物であるレンズ３のム面およびＢｍｌに薄膜を蒸着する
場合について説明すると治具２の各装着部１２に備える
押えリング１１を装着孔８より取り外した後、この装着
孔８内の嵌合部９内にレンズ３を嵌合するとともにこの
レンズ３のム面側を係合段部１０に係合せしめ、Ｂ面側
を、嵌合部９内に強制的に嵌合した押えリング１１によ
り固定することにより、４箇所の装着部１２に４個のレ
ンズ３を治具２に装着せしめる。
しかる後、真空蒸着槽１内の真空引き作業によって真空
状態を確保しつつ蒸発源２０より所要の蒸着物質を各装
着部１２に装着した各レンズ３のＡ面に開口８ｂ側を介
して蒸着せしめることにより、レンズ３のＡ面にｆ［を
形成することができ、この状態を第１図にて示すものと
する。
状態を確保しつつ蒸発源２０より所要の蒸着物質を各装
着部１２に装着した各レンズ３のＡ面に開口８ｂ側を介
して蒸着せしめることにより、レンズ３のＡ面にｆ［を
形成することができ、この状態を第１図にて示すものと
する。
従って、今、各レンズ３のム面における蒸着が完了した
時には、真空蒸着槽１内における真空状態そのま＼に、
槽外のハンドル１９を握持しつつ、駆動軸１Ｔを回動し
て第１図示の治具２を１８０噴回転することにより、治
具２の各装着部１２に装着した各レンズ３のＢ面を蒸発
＃２０に対向せしめつつセットすることができるととも
に、そのま＼の状態にて各レンズ３の１面に対する蒸着
作業を遂行。
時には、真空蒸着槽１内における真空状態そのま＼に、
槽外のハンドル１９を握持しつつ、駆動軸１Ｔを回動し
て第１図示の治具２を１８０噴回転することにより、治
具２の各装着部１２に装着した各レンズ３のＢ面を蒸発
＃２０に対向せしめつつセットすることができるととも
に、そのま＼の状態にて各レンズ３の１面に対する蒸着
作業を遂行。
かつ、各レンズ３の１面に所要の蒸着物質を蒸着しつつ
薄膜の形成を完了することができる。
薄膜の形成を完了することができる。
すなわち、各レンズ３のム面の蒸着作業についで１回転
機構により同治具２を同転しつつＢ面を蒸発源２０に対
向せしめ、同面の蒸着作業を連続して遂行できる結果、
従来方法において要求された各レンズ３の治具２からの
取り外し、かつ据え換え作業並びに同作業に伴う真空蒸
着槽１の真空引き作業、さらには上記槽外に取り外して
の据え換え作業時に各レンズ３の次順の蒸着面に付着す
るであろうチリ、ホコリ等の除宍を目的としたクリーニ
ング作業の全ての作業を省略しての蒸着作業を簡単、迅
速に遂行することができるものである。
機構により同治具２を同転しつつＢ面を蒸発源２０に対
向せしめ、同面の蒸着作業を連続して遂行できる結果、
従来方法において要求された各レンズ３の治具２からの
取り外し、かつ据え換え作業並びに同作業に伴う真空蒸
着槽１の真空引き作業、さらには上記槽外に取り外して
の据え換え作業時に各レンズ３の次順の蒸着面に付着す
るであろうチリ、ホコリ等の除宍を目的としたクリーニ
ング作業の全ての作業を省略しての蒸着作業を簡単、迅
速に遂行することができるものである。
以下同様にして、多面の蒸着面を有するプリズム等の被
蒸着物の蒸着作業を次々と連続して遂行でき、その場合
、治具２の開口面は被蒸着物の蒸着面の数に対応した開
口面を具備し、その各開口面を下側の蒸発源２０に対向
セットし優る回転角を以て治具２を回転しつつ遂行する
ものである。
蒸着物の蒸着作業を次々と連続して遂行でき、その場合
、治具２の開口面は被蒸着物の蒸着面の数に対応した開
口面を具備し、その各開口面を下側の蒸発源２０に対向
セットし優る回転角を以て治具２を回転しつつ遂行する
ものである。
従って１回転機構についても駆動軸″１Ｔに減速機を介
して駆動モーターを連結し、同モーターを制御部によっ
て制御しつつ治具２の回転を被蒸着物の各蒸着面を順次
、蒸発源２０に対向し得る回転角を以て段階的にかつ自
動的に行なうことにより、自動化することも可能である
（但し、か−る回転機構の具体的実施例については図示
しない）。
して駆動モーターを連結し、同モーターを制御部によっ
て制御しつつ治具２の回転を被蒸着物の各蒸着面を順次
、蒸発源２０に対向し得る回転角を以て段階的にかつ自
動的に行なうことにより、自動化することも可能である
（但し、か−る回転機構の具体的実施例については図示
しない）。
また、上記治具２の構成についても、第１゜２ｖ！Ｊの
実施例に限定されず、被蒸着物の有する蒸着面の数に応
じ得る構成を以て実施するとともに同図示の実施例の場
合には装着孔８に装着した各リング３を固定する押えリ
ング１１および開口８）側の保合段部１０における開口
径によって各レンズ３のム＋ ＢＭ 面における蒸着面
の蒸着膜は全面の形成が阻止されるが、これを解消する
ために１治具２の各レンズ３の装着部１２の構成を、各
レンズ３の側部を挾持することのできる挟持部（図示し
ない）によって構成することにより、ム。
実施例に限定されず、被蒸着物の有する蒸着面の数に応
じ得る構成を以て実施するとともに同図示の実施例の場
合には装着孔８に装着した各リング３を固定する押えリ
ング１１および開口８）側の保合段部１０における開口
径によって各レンズ３のム＋ ＢＭ 面における蒸着面
の蒸着膜は全面の形成が阻止されるが、これを解消する
ために１治具２の各レンズ３の装着部１２の構成を、各
レンズ３の側部を挾持することのできる挟持部（図示し
ない）によって構成することにより、ム。
Ｂ両面の略全面に蒸着膜を形成することができるように
する等の設計変更を施しつつ実施することが可能である
。
する等の設計変更を施しつつ実施することが可能である
。
逆に１治具２の各装着部１２の開口８＆。
８ｂの形状によって被蒸着物の各蒸着面における形状に
対応した実施が可能である。
対応した実施が可能である。
以上の説明から明らかな通り１本発明装置によれば、従
来のこの種蒸着作業に要求された煩雑な作業を省略かつ
簡易化して、蒸着作業の作業時間を大幅に短縮すること
ができるとともに複数の蒸着面を有する被蒸着物の製造
時間をも短縮でき、さらには、各面の蒸着作業を回転機
構によって連続した作業により遂行できる等９作業性を
も大いに向上することができるものである。
来のこの種蒸着作業に要求された煩雑な作業を省略かつ
簡易化して、蒸着作業の作業時間を大幅に短縮すること
ができるとともに複数の蒸着面を有する被蒸着物の製造
時間をも短縮でき、さらには、各面の蒸着作業を回転機
構によって連続した作業により遂行できる等９作業性を
も大いに向上することができるものである。
ｕ： ｂｉ ｒｋｊ（Ｆ） 簡単すｍ 明第１図は本発
明装置の一実施例を示す概略的な細断面図、ｍｉ図は同
装置における治具の平面図である。
明装置の一実施例を示す概略的な細断面図、ｍｉ図は同
装置における治具の平面図である。
１・・・真空蒸着槽
２・・・治具
３・・・レンズ
４．５・・・回転軸
６．７・・・軸受
８・・・装着孔
８ａ＊ ａｂ・・・開口
９・・・僚合部
１０・・・係合段部
１１・・・押えリング
１２・・・装着部
１４．１８・・・傘歯車
１５．１６・・・軸受
１Ｔ・・・駆動軸
１９・・・ハンドル
Claims (6)
- （１）真空中で、被蒸着物の蒸着面に所要の薄膜物質を
蒸着させて所要の薄膜を形成する薄膜蒸着装置において
。 上記被蒸着物を装着する治具と、この治具に装着した被
蒸着物の各蒸着面を、その蒸着面毎に蒸着源に対向すべ
く、上記治具を回転する回転機構とから成る薄膜形成装
置における反転式蒸着装置。 - （２）上記治具は表裏両面を開口した被蒸着物の装着孔
と、この装着孔に被蒸着物の保合段部を設けるとともに
この係合一段部に係合した被蒸着物を装着孔内に固定す
るための押えリング船備える種数の被蒸着物の装着部を
配設して成る特許請求の範囲第１項記載の薄膜形成装置
における反転式蒸着装置。 - （３）上記治具は被蒸着物の側面を挾持する複数の挟持
部を具備して成る特許請求の範囲第１項記載の薄膜形成
装置における反転式蒸着装置。 - （４）上記治具は真空蒸着槽内に対設した軸受間に回転
軸を介して渡架し、同槽内に回転自在に架設して成る特
許請求の範囲第１項記載の薄膜形成装置における反転式
蒸着装置。 - （５）上記回転機構は、上記治具の回転軸に駆動軸を連
結して成る特許請求の範囲第１項記載の薄膜形成装置に
おける反転式蒸着装置。 - （６）上記回転機構は、上記治具の回転軸に駆動軸を連
結するとともに駆動軸の端部に取付けたハンドルを介し
て手動にて回転するか、または駆動軸に備えるモーター
等の駆動源にて回転することができるように構成して成
る特許請求の範囲第１ｍ記載の薄膜形成装置における反
転式蒸着装ｆｌ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56205535A JPS58107484A (ja) | 1981-12-19 | 1981-12-19 | 薄膜形成装置における反転式蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56205535A JPS58107484A (ja) | 1981-12-19 | 1981-12-19 | 薄膜形成装置における反転式蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58107484A true JPS58107484A (ja) | 1983-06-27 |
Family
ID=16508492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56205535A Pending JPS58107484A (ja) | 1981-12-19 | 1981-12-19 | 薄膜形成装置における反転式蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58107484A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0806491A2 (de) * | 1996-05-10 | 1997-11-12 | Satis Vacuum Industries Vertriebs - AG | Verfahren zum Aufdampfen von Vergütungsschichten auf optische Substrate |
| WO1998052074A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Composant optique en plastique pourvu d'une pellicule empechant la reflexion et mecanisme servant a uniformiser l'epaisseur de cette pellicule |
| WO1998052075A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Mecanisme servant a rendre hydrophobes deux cotes simultanement |
| WO1998052083A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Mecanisme servant a placer une ebauche de lentille oculaire dans un support |
| US6082298A (en) * | 1996-05-10 | 2000-07-04 | Satis Vacuum Industries Vertriebs-Ag | Substrate carrier for a vacuum coating apparatus |
| US6264751B1 (en) * | 1998-05-18 | 2001-07-24 | Hoya Corporation | Mechanism for performing water repellency processing on both sides simultaneously |
| WO2011013648A1 (ja) | 2009-07-30 | 2011-02-03 | Hoya株式会社 | 光学レンズの蒸着装置 |
-
1981
- 1981-12-19 JP JP56205535A patent/JPS58107484A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0806491A2 (de) * | 1996-05-10 | 1997-11-12 | Satis Vacuum Industries Vertriebs - AG | Verfahren zum Aufdampfen von Vergütungsschichten auf optische Substrate |
| EP0806491A3 (de) * | 1996-05-10 | 1997-11-19 | Satis Vacuum Industries Vertriebs - AG | Verfahren zum Aufdampfen von Vergütungsschichten auf optische Substrate |
| US6082298A (en) * | 1996-05-10 | 2000-07-04 | Satis Vacuum Industries Vertriebs-Ag | Substrate carrier for a vacuum coating apparatus |
| WO1998052074A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Composant optique en plastique pourvu d'une pellicule empechant la reflexion et mecanisme servant a uniformiser l'epaisseur de cette pellicule |
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| US6250758B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-06-26 | Hoya Corporation | Plastic optical devices having antireflection film and mechanism for equalizing thickness of antireflection film |
| AU741587B2 (en) * | 1997-05-16 | 2001-12-06 | Hoya Kabushiki Kaisha | Mechanism for placing optical lens blank in holder |
| CN100354673C (zh) * | 1997-05-16 | 2007-12-12 | Hoya株式会社 | 将光学镜片底料设定于支座上的机构 |
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