JPS58104078A - ＳｉＣ−黒鉛複合材の製造法 - Google Patents
ＳｉＣ−黒鉛複合材の製造法Info
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- JPS58104078A JPS58104078A JP56203081A JP20308181A JPS58104078A JP S58104078 A JPS58104078 A JP S58104078A JP 56203081 A JP56203081 A JP 56203081A JP 20308181 A JP20308181 A JP 20308181A JP S58104078 A JPS58104078 A JP S58104078A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は５ｉＣ−黒鉛複合材の製造法に関する。
′ 近年メカニカルシール用しゆう動部品、電子部品製
造用治具等に黒鉛の表面にＳｉＣの層を形成さぜた５ｉ
Ｃ−黒鉛複合材が、その耐摩耗性。
造用治具等に黒鉛の表面にＳｉＣの層を形成さぜた５ｉ
Ｃ−黒鉛複合材が、その耐摩耗性。
耐良性、耐熱性等の特長を生かして用いられるようにな
って来ている。
って来ている。
黒鉛の表面ＫＳｉＣ層を形成する方法としては。
コミティング法とコンバージョンとの二つの方法が主で
ある。
ある。
コーティング法は８ｉＨＣ１ｓのようなケイ素の塩化物
及びＣ，’Ｈ１のような炭素化合物又はＣＨｓ８１ｃＪ
ｓのような塩素を含む有機ケイ素化合物を加熱された黒
鉛基材表面に導いて熱分解し８ｉＣとして蒸着させる方
法であり、コンバージョン法は８ｉガスまたはＳｉＯガ
スを加熱され九黒鉛基材と反応させて黒鉛基材の表面を
８ｉＣＫ転化する方法である。
及びＣ，’Ｈ１のような炭素化合物又はＣＨｓ８１ｃＪ
ｓのような塩素を含む有機ケイ素化合物を加熱された黒
鉛基材表面に導いて熱分解し８ｉＣとして蒸着させる方
法であり、コンバージョン法は８ｉガスまたはＳｉＯガ
スを加熱され九黒鉛基材と反応させて黒鉛基材の表面を
８ｉＣＫ転化する方法である。
コーティング法による５ｉＣ−黒鉛複合材（以下コーテ
イング品と称する）は黒鉛基材の表面に８ｉＣが付着し
たものであるため、黒鉛基材とＳｉＣ層との連続性が無
くまた温度変化に対して黒鉛基材とＳｉＣ層との熱膨張
率が異なる丸め。
イング品と称する）は黒鉛基材の表面に８ｉＣが付着し
たものであるため、黒鉛基材とＳｉＣ層との連続性が無
くまた温度変化に対して黒鉛基材とＳｉＣ層との熱膨張
率が異なる丸め。
コーティングされたＳｉＣ層（以下蒸着ＳｉＣ層と称す
る）がはがれやすい欠点がある。またコーティング法は
反応速度が遅い九めあるｌｉ度以上のＳｉＣ層の厚みを
要する製品、たとえばメカニカルシール用しゆう動部品
勢を製作する場合には製作に多くの時間を要し、高価な
ものとなる。但しコーティングされ九ＳｉＣ層は緻密な
組織となっておシ、気密性を有するのでメカニカルシー
ル用しゆう動材として用いる場合は気密性を付与する丸
めの樹脂含浸は不要となる。ま九高温熱処理治具等に用
い九場合は９表面が気密であるため耐酸化消耗性が良い
等の利点がある。
る）がはがれやすい欠点がある。またコーティング法は
反応速度が遅い九めあるｌｉ度以上のＳｉＣ層の厚みを
要する製品、たとえばメカニカルシール用しゆう動部品
勢を製作する場合には製作に多くの時間を要し、高価な
ものとなる。但しコーティングされ九ＳｉＣ層は緻密な
組織となっておシ、気密性を有するのでメカニカルシー
ル用しゆう動材として用いる場合は気密性を付与する丸
めの樹脂含浸は不要となる。ま九高温熱処理治具等に用
い九場合は９表面が気密であるため耐酸化消耗性が良い
等の利点がある。
一方、コンバージョン法による８ｉＣ−黒鉛複合材（以
下コンバージョン品と称する）は。黒鉛基材の表面に比
較的容Ｊ６に厚いＳｉＣ層を得ることができ（メカニカ
ルタール等のしゆう動部品として使用するには１表面を
平滑にするため研磨、ラップなどの加工を行なう九め、
ＳｉＣ層の厚みは通常０．５■程度必要とされる。）、
ｉ九黒鉛基材の表面をＳｉＣに転化するため、ＳｉＣ層
（以下転化ＳｉＣ層と称する）と黒鉛基材との結合が強
固で、熱衝撃に強い利点がある。但し本来黒鉛基材中に
存在する微小空隙はコンバージョン法によってＳｉＣで
充てんされない丸め。
下コンバージョン品と称する）は。黒鉛基材の表面に比
較的容Ｊ６に厚いＳｉＣ層を得ることができ（メカニカ
ルタール等のしゆう動部品として使用するには１表面を
平滑にするため研磨、ラップなどの加工を行なう九め、
ＳｉＣ層の厚みは通常０．５■程度必要とされる。）、
ｉ九黒鉛基材の表面をＳｉＣに転化するため、ＳｉＣ層
（以下転化ＳｉＣ層と称する）と黒鉛基材との結合が強
固で、熱衝撃に強い利点がある。但し本来黒鉛基材中に
存在する微小空隙はコンバージョン法によってＳｉＣで
充てんされない丸め。
、、ｌ’、’ｌｌ’ｌｌ
気密性は黒鉛基材以上に改善されない。したがってメカ
ニカルシール用しゆう動部品に適用する丸めには、樹脂
含浸等の手段で気密性を付与する必要があり、含浸樹脂
の耐熱性によシ使用温度範囲が制限される。ま九コンバ
ージョン品は製品の表面が平滑性に欠ける丸め、メカニ
カルシール用しゆう動部品のしゆう動量、０リングシー
ル面等は研磨加工する必要があシ、そのため樹脂含浸に
よる気書層をある程度除去することになシ、気密性を損
う場合がある。
ニカルシール用しゆう動部品に適用する丸めには、樹脂
含浸等の手段で気密性を付与する必要があり、含浸樹脂
の耐熱性によシ使用温度範囲が制限される。ま九コンバ
ージョン品は製品の表面が平滑性に欠ける丸め、メカニ
カルシール用しゆう動部品のしゆう動量、０リングシー
ル面等は研磨加工する必要があシ、そのため樹脂含浸に
よる気書層をある程度除去することになシ、気密性を損
う場合がある。
さらに上記の理由により、コンバージョン品を高温熱処
理用治具として用いると酸素の存在する雰囲気中では、
内部黒鉛基材の酸化消耗が避けられない、ｉた９表面が
平滑性に欠けることから、装着する部品にキズがつきや
すい等の欠点がある。
理用治具として用いると酸素の存在する雰囲気中では、
内部黒鉛基材の酸化消耗が避けられない、ｉた９表面が
平滑性に欠けることから、装着する部品にキズがつきや
すい等の欠点がある。
本発明の目的は上記の欠点を解消し九８ｉＣ−黒鉛複合
材の製造法を提供することにある。
材の製造法を提供することにある。
発明者は種々検討の結果、コンバージョン法によシ黒鉛
基材の表面をＳｉＣに転化し、コーティング法により門
らに８１０層を形成させる方法の組合せによシ上記目的
を達成出来ることを見出し九。
基材の表面をＳｉＣに転化し、コーティング法により門
らに８１０層を形成させる方法の組合せによシ上記目的
を達成出来ることを見出し九。
本発明はコンバージョン法にょシ黒鉛基材の、（面をＳ
ｉＣに転化したのち、該ＳｉＣ転化表面にコーティング
法によりＳｉＣを蒸着させてなる８ｉＣ−黒鉛複合材の
製造法に関する。
ｉＣに転化したのち、該ＳｉＣ転化表面にコーティング
法によりＳｉＣを蒸着させてなる８ｉＣ−黒鉛複合材の
製造法に関する。
本発明において、コンバージョン法の次にコーティング
法を行なうことが必要で、この順序を逆にしてさきにコ
ーティング法を実施すると蒸着ＳｉＣ層は緻密ではある
が黒鉛基材の細孔壕蒸着出来ないので９次のコンバージ
ョン処理における加熱で蒸着ＳｉＣ層と黒鉛との熱膨張
差の為、蒸着ＳｉＣ層が剥離し九シ、クラックが発生し
て好ましくない。
法を行なうことが必要で、この順序を逆にしてさきにコ
ーティング法を実施すると蒸着ＳｉＣ層は緻密ではある
が黒鉛基材の細孔壕蒸着出来ないので９次のコンバージ
ョン処理における加熱で蒸着ＳｉＣ層と黒鉛との熱膨張
差の為、蒸着ＳｉＣ層が剥離し九シ、クラックが発生し
て好ましくない。
用いる黒鉛基材は、一般に言われる電気黒鉛質、天然黒
鉛質又はそれらの複合されたものを指し特に制限はない
。若干の炭素質の存在があっても黒鉛質の方が多い材質
であれば使用可能である。又コンバージョン及びコーテ
ィングの方法についても従来公知の方法を使用し特に制
限はない。 ゛ コン！（−ジョン法によシ黒鉛基材の表面を８ｉＣに転
化し九のち、３００℃以上２０００℃以下の温度及び不
活性ガス雰囲気中で熱処理し。
鉛質又はそれらの複合されたものを指し特に制限はない
。若干の炭素質の存在があっても黒鉛質の方が多い材質
であれば使用可能である。又コンバージョン及びコーテ
ィングの方法についても従来公知の方法を使用し特に制
限はない。 ゛ コン！（−ジョン法によシ黒鉛基材の表面を８ｉＣに転
化し九のち、３００℃以上２０００℃以下の温度及び不
活性ガス雰囲気中で熱処理し。
コンバージョン処理中又はその後で付着し九汚れ等の不
純物を焼失除去させ９表面を清浄にした後コーティング
処理することが転化ＳｉＣ層と蒸着ＳｉＣ層との結合を
強固にするので好ましい。
純物を焼失除去させ９表面を清浄にした後コーティング
処理することが転化ＳｉＣ層と蒸着ＳｉＣ層との結合を
強固にするので好ましい。
一般にコーティング処理の場合は、被蒸着面に汚れ等の
不純物が存在すると、その不純物が核とな、りＳｉＣの
結晶又はウィスカーが生長し易くなり転化ＳｉＣ層と蒸
着８ｉＣとの結合が不十分になることがある。従って良
好な製品を得る為には８ｉＣコーテイングをする前に前
述のような清浄化処理をするのが効果的である。熱処理
温度が３００℃未満では清浄化の効率が小さく。
不純物が存在すると、その不純物が核とな、りＳｉＣの
結晶又はウィスカーが生長し易くなり転化ＳｉＣ層と蒸
着８ｉＣとの結合が不十分になることがある。従って良
好な製品を得る為には８ｉＣコーテイングをする前に前
述のような清浄化処理をするのが効果的である。熱処理
温度が３００℃未満では清浄化の効率が小さく。
２０００℃を越えるとＳｉＣの分解が始まる。又不活性
ガス雰囲気としたのはコンバージョン処理をした黒鉛基
材が３００℃以上の温度で酸化されるのを妨止する為で
ある。
ガス雰囲気としたのはコンバージョン処理をした黒鉛基
材が３００℃以上の温度で酸化されるのを妨止する為で
ある。
特に転化８’ｉＣ層と蒸着ＳｉＣ層の強い結合を要求さ
れる材料には、極めて清浄な被蒸着面とする為にコンバ
ージョン処理をし九のち１５００℃〜２０００℃の温度
でＣＣｌ、ガスとＮ、ガスと１ の混合ガスを通じて不純物と塩化物として除去し清浄化
するのが良い。
れる材料には、極めて清浄な被蒸着面とする為にコンバ
ージョン処理をし九のち１５００℃〜２０００℃の温度
でＣＣｌ、ガスとＮ、ガスと１ の混合ガスを通じて不純物と塩化物として除去し清浄化
するのが良い。
製品の平滑さを要求される５ｉＣ−黒鉛複合材をｉるに
は、コンバージョン法によシ黒鉛基材の表面をＳｉＣに
転化したのち、該表面を研磨加工又はクリーニング等の
機械加工によシ付着しているＳｉＣ結晶粒を除去し、し
かるのちＳｉＣコーティングを行なうことが好ましい。
は、コンバージョン法によシ黒鉛基材の表面をＳｉＣに
転化したのち、該表面を研磨加工又はクリーニング等の
機械加工によシ付着しているＳｉＣ結晶粒を除去し、し
かるのちＳｉＣコーティングを行なうことが好ましい。
即ちコンバージョン法により形成された転化ＳｉＣ層の
表面には反応中に生成したＳｉＣ結晶粒子が点在して付
着しているので（以下付着８ｉＣど称する）その表面が
平滑でない為コーテイング後の製品表面も平滑さが不十
分である。
表面には反応中に生成したＳｉＣ結晶粒子が点在して付
着しているので（以下付着８ｉＣど称する）その表面が
平滑でない為コーテイング後の製品表面も平滑さが不十
分である。
付着８ｉＣの発生は次の理由によるものと考え□
られる。
□
コンバージョンの反応形態は次の化学式で表わされる。
Ｓ ｉｏｔ 十〇−＋Ｓ ｉｏ ＋ Ｃｏ・・・・・・
（１）８ ｉｏ ＋ ２Ｃ−４ＰＳ ｉＣ十ＣＯ・・・
・・・（２）（１）式は反応原料として珪石（ｓｓｏｔ
）及びコークス（Ｃ）を用いた場合の反応ガスＳｉＯの
生成過程を示し、（２）式は反応ガス８ｉ０と黒鉛基材
Ｃとの反応に□よりＳｉＣが生成する過程を示す。
（１）８ ｉｏ ＋ ２Ｃ−４ＰＳ ｉＣ十ＣＯ・・・
・・・（２）（１）式は反応原料として珪石（ｓｓｏｔ
）及びコークス（Ｃ）を用いた場合の反応ガスＳｉＯの
生成過程を示し、（２）式は反応ガス８ｉ０と黒鉛基材
Ｃとの反応に□よりＳｉＣが生成する過程を示す。
この反応を約２０００℃付近で行なわせ九場合１反応ガ
スの生成が急激に行なわれる為１反応原料粉本の一部が
反応ガス中に浮遊し黒鉛基材表面において（２）の反応
が起こシ結果として転化ＳｉＣ層の上に更に余分の付着
８ｉＣが形成される。他の要因としては黒鉛基材の一部
がガス化し基材表面においてＳｉＯガスと反応してＳｉ
Ｃ結晶となる。このようにして形成された付着ＳｉＣは
転化ＳｉＣ層の上にＳｉＣ結晶粒子が付着しｔものであ
るから１表面の平滑性を不十分にニー□ させる原因となる。
スの生成が急激に行なわれる為１反応原料粉本の一部が
反応ガス中に浮遊し黒鉛基材表面において（２）の反応
が起こシ結果として転化ＳｉＣ層の上に更に余分の付着
８ｉＣが形成される。他の要因としては黒鉛基材の一部
がガス化し基材表面においてＳｉＯガスと反応してＳｉ
Ｃ結晶となる。このようにして形成された付着ＳｉＣは
転化ＳｉＣ層の上にＳｉＣ結晶粒子が付着しｔものであ
るから１表面の平滑性を不十分にニー□ させる原因となる。
１１ｉｔｌ
コンバージョン法：法より黒鉛基材の表面をＳｉＣに転
化したのち、該表面をクリーニング又は研磨加工してか
ら３００℃以上２０００℃以下の温度及び不活性ガス雰
囲気中で熱処理し、この後でコーティング処理をすれば
更に好ましい。
化したのち、該表面をクリーニング又は研磨加工してか
ら３００℃以上２０００℃以下の温度及び不活性ガス雰
囲気中で熱処理し、この後でコーティング処理をすれば
更に好ましい。
クリーニングの方法について特に制限はないが、アルミ
ナ＋ Ｓ ｔｃ ＊砂等の硬質粒子を用いたショツトブ
ラスト、セラミック球、ＳｉＣ粒等を用い九振動式バレ
ル装置等を用いることが作業性の面で好ましい。ま九漱
終製品において平滑な面を必要とする部分９例えば、メ
カニカルシール用しゆう動部品のしゆう動面、０リング
シ一ル面等はコンバージョン処理後にダイヤモンドホイ
ール等による研−磨加工を行なえば、ＳｉＣコーテイン
グ後に良好な平滑面が得られる。尚この場合最終製品と
して所要の平滑さを得る為に１２μｍ以内の面粗さに加
工することが好ましい。面粗さが１２μｍより大きいと
きは８ｉＣコーテイング処理後に再研磨が必要にな９．
再研磨によって当該部分のコーティングＳｉＣ層が除去
されるためである。
ナ＋ Ｓ ｔｃ ＊砂等の硬質粒子を用いたショツトブ
ラスト、セラミック球、ＳｉＣ粒等を用い九振動式バレ
ル装置等を用いることが作業性の面で好ましい。ま九漱
終製品において平滑な面を必要とする部分９例えば、メ
カニカルシール用しゆう動部品のしゆう動面、０リング
シ一ル面等はコンバージョン処理後にダイヤモンドホイ
ール等による研−磨加工を行なえば、ＳｉＣコーテイン
グ後に良好な平滑面が得られる。尚この場合最終製品と
して所要の平滑さを得る為に１２μｍ以内の面粗さに加
工することが好ましい。面粗さが１２μｍより大きいと
きは８ｉＣコーテイング処理後に再研磨が必要にな９．
再研磨によって当該部分のコーティングＳｉＣ層が除去
されるためである。
以下実施例を説明する。
実施例１
第１図に示す如く蓋付円筒形の黒鉛るつぼ２を黒鉛チュ
ーブヒーター１内に同心円状に設置し。
ーブヒーター１内に同心円状に設置し。
黒鉛るつぼ２内の隔壁６で区切つ九一部屋に８ｉへ粉末
とコークス粉末とを混合し九反応原料８を入れ、他の部
屋には黒鉛製のバー５に黒鉛製のスペーサ４をはさんで
φ６０×φ５０Ｘ５ｊ（単位■）のリング状黒鉛基材３
をりり下げる。次に黒鉛るつぼ２の周囲すなわち黒鉛チ
ューブヒーター１内にヘリウムガスを流し、更に黒鉛チ
ューブヒーター１に電流を通じ黒鉛るつぼ２の温度を１
９００℃に加熱して処理し九。尚発生し九ガスはガス抜
き穴７から外部へ排出されるｉこのようＫして得られた
５ｉＣ−黒鉛複合材リングはＳｉＣ層の厚さ約１■で表
面は付着ＳｉＣが不均一に形成され０．１〜０．２■程
度の凹凸があった。このリングを５〜３０μｍの粒径を
持つ５ｉＣ１）を用いて空気圧３に＃／備−で、ショツ
トブラスト処理を行なったところ、付着ＳｉＣが除去さ
れ表面の粗さは２０〜４０μｍ Ｒｍａｘとなった。さ
らに両端面と外径をダイヤモンドホイールにて研磨し面
粗さ３〜６μｍ Ｒｍａｘ Ｋ仕上げた。このリングを
６ｇ２図に示す構造の装置を用いてＳｉＣコーティング
処理を行なった。第２図において９は高周波コイル、１
０は耐熱容器（石英製）、１１は前記コンバージョン処
理、ショツトブラスト処理及び研磨加工処理後のリング
、１２は黒鉛製の保持具である。高周波コイル９に電流
を通じ、耐熱容器内の温度を１，３００℃に保持すると
共に矢印の方向から反応ガスを流入させ、５０分間処理
してリングＩＩＫ蒸着ＳｉＣ層を形成させた。反応式を
下記に記す。
とコークス粉末とを混合し九反応原料８を入れ、他の部
屋には黒鉛製のバー５に黒鉛製のスペーサ４をはさんで
φ６０×φ５０Ｘ５ｊ（単位■）のリング状黒鉛基材３
をりり下げる。次に黒鉛るつぼ２の周囲すなわち黒鉛チ
ューブヒーター１内にヘリウムガスを流し、更に黒鉛チ
ューブヒーター１に電流を通じ黒鉛るつぼ２の温度を１
９００℃に加熱して処理し九。尚発生し九ガスはガス抜
き穴７から外部へ排出されるｉこのようＫして得られた
５ｉＣ−黒鉛複合材リングはＳｉＣ層の厚さ約１■で表
面は付着ＳｉＣが不均一に形成され０．１〜０．２■程
度の凹凸があった。このリングを５〜３０μｍの粒径を
持つ５ｉＣ１）を用いて空気圧３に＃／備−で、ショツ
トブラスト処理を行なったところ、付着ＳｉＣが除去さ
れ表面の粗さは２０〜４０μｍ Ｒｍａｘとなった。さ
らに両端面と外径をダイヤモンドホイールにて研磨し面
粗さ３〜６μｍ Ｒｍａｘ Ｋ仕上げた。このリングを
６ｇ２図に示す構造の装置を用いてＳｉＣコーティング
処理を行なった。第２図において９は高周波コイル、１
０は耐熱容器（石英製）、１１は前記コンバージョン処
理、ショツトブラスト処理及び研磨加工処理後のリング
、１２は黒鉛製の保持具である。高周波コイル９に電流
を通じ、耐熱容器内の温度を１，３００℃に保持すると
共に矢印の方向から反応ガスを流入させ、５０分間処理
してリングＩＩＫ蒸着ＳｉＣ層を形成させた。反応式を
下記に記す。
Ｓ １ｃ１４ ＋ＣＣ１４＋４ Ｈ＊→ＳｉＣ＋８ＨＣ
ｊこのようにして得られ九りングは転化ＳｉＣ層の上に
平均５０μｍの厚さの蒸着ＳｉＣ層が形成され。
ｊこのようにして得られ九りングは転化ＳｉＣ層の上に
平均５０μｍの厚さの蒸着ＳｉＣ層が形成され。
表面の粗さはほぼコーティング前の粗さと同程度であっ
た。このリングを空気圧５ ｈ／ｃｍ”で気密試験を行
なったところ５分間経過して４漏れのないことが確認さ
れ丸。また外径部にゴム製ｏリングを介在させてシール
性の確認を行なっ九ところ。
た。このリングを空気圧５ ｈ／ｃｍ”で気密試験を行
なったところ５分間経過して４漏れのないことが確認さ
れ丸。また外径部にゴム製ｏリングを介在させてシール
性の確認を行なっ九ところ。
−□、
０リングシ一ル面は水、圧”’１０ Ｋｇ／ｃＩ１１”
に対して充分シール性を有すること゛が確認された。な
お０リングシ一ル面（外径部）の面アラブは４〜８μｍ
Ｒ＋ｍａｘであった。また片側端面をラッピング加工し
九ところ、ラッピング化１０μｍ〜２０μｍで充分実用
的な鏡面を得ることができ、しゆう動面にほぼ３０〜４
０μｍの厚さの蒸着ＳｉＣ層を保持できた。さらに熱衝
撃テストとして加熱→水中投入を行なったとζろ第１表
の結果となり、同時に比較テストしたコンバージョン品
にフラン樹脂含浸を行なったもの又はコーテイング品よ
り優れた特性を持つ仁とが確認され友。なお加熱温度は
メカニカルシールの使用温度範囲を想定して、５００℃
までとした。
に対して充分シール性を有すること゛が確認された。な
お０リングシ一ル面（外径部）の面アラブは４〜８μｍ
Ｒ＋ｍａｘであった。また片側端面をラッピング加工し
九ところ、ラッピング化１０μｍ〜２０μｍで充分実用
的な鏡面を得ることができ、しゆう動面にほぼ３０〜４
０μｍの厚さの蒸着ＳｉＣ層を保持できた。さらに熱衝
撃テストとして加熱→水中投入を行なったとζろ第１表
の結果となり、同時に比較テストしたコンバージョン品
にフラン樹脂含浸を行なったもの又はコーテイング品よ
り優れた特性を持つ仁とが確認され友。なお加熱温度は
メカニカルシールの使用温度範囲を想定して、５００℃
までとした。
第１表 熱衝撃テスト結果
実施例２
実施例１のリング状黒鉛基材に代えて黒鉛バー５を通す
丸めの穴を設けた５ｏｘｓｏｘｓｔ（単位關）の黒鉛角
板を実施例１と同様にコンバージ」ン法により０．５
ｗＩの転化ＳｉＣ層を形成させ、φ３■のセラミックボ
ールを投入し九バレル研磨装置にて２時間クリーニング
を行ない、さらに５０Ｇ”Ｃ，Ｎ、ガス中で１時間熱処
理した後実施例１と同様な方法で２０分関ＳｉＣコーテ
ィング処理を行なった。尚実施例２の角板の蒸着ＳｉＣ
層の厚さは平均１５μｍであった。この角板とコンバー
ジョンのみを行なった四−形状の角板および同一形状の
黒鉛板を用いて酸化消耗試験を行なつ九が、実施例２の
ものはほとんど酸化消耗がなかつ九。試験結果を第２表
に示す。試験条件は５００℃大気中を九実施例２で得ら
れ九８ｉＣ−黒鉛複合角板について加熱、水中投入試験
を行なった。即ちマツフル炉で８００℃壕で加熱し九後
水中に投入したが、り２ツク、ＳｉＣ層の剥ｌ１１１１
ＩＩＩの異常のないことを確認した。なお８００″ｃＯ
温度は実験装置の都合で決定した温度である。
丸めの穴を設けた５ｏｘｓｏｘｓｔ（単位關）の黒鉛角
板を実施例１と同様にコンバージ」ン法により０．５
ｗＩの転化ＳｉＣ層を形成させ、φ３■のセラミックボ
ールを投入し九バレル研磨装置にて２時間クリーニング
を行ない、さらに５０Ｇ”Ｃ，Ｎ、ガス中で１時間熱処
理した後実施例１と同様な方法で２０分関ＳｉＣコーテ
ィング処理を行なった。尚実施例２の角板の蒸着ＳｉＣ
層の厚さは平均１５μｍであった。この角板とコンバー
ジョンのみを行なった四−形状の角板および同一形状の
黒鉛板を用いて酸化消耗試験を行なつ九が、実施例２の
ものはほとんど酸化消耗がなかつ九。試験結果を第２表
に示す。試験条件は５００℃大気中を九実施例２で得ら
れ九８ｉＣ−黒鉛複合角板について加熱、水中投入試験
を行なった。即ちマツフル炉で８００℃壕で加熱し九後
水中に投入したが、り２ツク、ＳｉＣ層の剥ｌ１１１１
ＩＩＩの異常のないことを確認した。なお８００″ｃＯ
温度は実験装置の都合で決定した温度である。
本発明の製法によれば、コンバージョン法により黒鉛基
材の表面を８ｉＣに転化したのち、コーティング法によ
りＳｉＣを蒸着させるので、（１）黒鉛基材、転化８．
４０層及び蒸着ＳｉＣ層との結合が強く。
材の表面を８ｉＣに転化したのち、コーティング法によ
りＳｉＣを蒸着させるので、（１）黒鉛基材、転化８．
４０層及び蒸着ＳｉＣ層との結合が強く。
急熱急冷等の苛酷な使用条件に耐え、ＳｉＣ層の剥離、
クラッタ等がなく 、 （２）表面が気密であるため耐
酸化消耗性に優れ、樹脂含浸品よシ屯高温領域での使用
が可能で、（３）所定厚みの８ｉＣ層を比較的安価に製
造出来る８ｉＣ−黒鉛複合材が得られる。
クラッタ等がなく 、 （２）表面が気密であるため耐
酸化消耗性に優れ、樹脂含浸品よシ屯高温領域での使用
が可能で、（３）所定厚みの８ｉＣ層を比較的安価に製
造出来る８ｉＣ−黒鉛複合材が得られる。
更にコンバージョン処理後に、クリーニング又は研磨加
工を行なえば９表面の平滑なメカニカルシール用しゆう
動部品等に好適な材料が得られる。
工を行なえば９表面の平滑なメカニカルシール用しゆう
動部品等に好適な材料が得られる。
・第１図は実施例で用％／％九コシコンバージョン手続
補正書（自発） 昭和５７年３ 月１７ 日 特許１１に宮殿 ｌ東件の表示 昭和５６年特許願第２０３０８１、 発明の名称 ５ｉＣ−黒鉛複合材の製造法 ３、補１１；をする者 ◆ｆ１との関係 特許出願人 ｒｌ 相 １４４５１ Ｈ；Ｌ化成」−業株式会社４
代 理 人 ます。 （２）同第２頁第１１行に「が異なる丸め、」とあるの
を「の差により、」と訂正します。 （３）同第２頁第１８行に「コーティングされ九」とあ
るのを「蒸着」と訂正します。 （４）同第５頁第１行にｒ８ｉＣ転化」とあるのを「転
化ＳｉＣ層」と訂正します。 （５）同第５買第７行から第８行に［緻密ではあるが黒
鉛基材の細孔まで蒸着出来ないので、」とあるのを「緻
密である為９次のコンバージョン処理において反応ガス
を黒鉛に接触させることができないので転化ＳｉＣ層が
形成されない、又」と訂正します。 （６）同第８頁第８行に「（２）の反応」とあるのをｒ
ｌｌ）及び（２）の反応」と訂正します。
補正書（自発） 昭和５７年３ 月１７ 日 特許１１に宮殿 ｌ東件の表示 昭和５６年特許願第２０３０８１、 発明の名称 ５ｉＣ−黒鉛複合材の製造法 ３、補１１；をする者 ◆ｆ１との関係 特許出願人 ｒｌ 相 １４４５１ Ｈ；Ｌ化成」−業株式会社４
代 理 人 ます。 （２）同第２頁第１１行に「が異なる丸め、」とあるの
を「の差により、」と訂正します。 （３）同第２頁第１８行に「コーティングされ九」とあ
るのを「蒸着」と訂正します。 （４）同第５頁第１行にｒ８ｉＣ転化」とあるのを「転
化ＳｉＣ層」と訂正します。 （５）同第５買第７行から第８行に［緻密ではあるが黒
鉛基材の細孔まで蒸着出来ないので、」とあるのを「緻
密である為９次のコンバージョン処理において反応ガス
を黒鉛に接触させることができないので転化ＳｉＣ層が
形成されない、又」と訂正します。 （６）同第８頁第８行に「（２）の反応」とあるのをｒ
ｌｌ）及び（２）の反応」と訂正します。
Claims (1)
- ティング法によりＳｉＣを蒸着させることを特徴とする
５ｉＣ−黒鉛複合材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56203081A JPS58104078A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | ＳｉＣ−黒鉛複合材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56203081A JPS58104078A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | ＳｉＣ−黒鉛複合材の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58104078A true JPS58104078A (ja) | 1983-06-21 |
Family
ID=16468040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56203081A Pending JPS58104078A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | ＳｉＣ−黒鉛複合材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58104078A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63290393A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | イビデン株式会社 | 焼成容器 |
| US5116679A (en) * | 1988-07-29 | 1992-05-26 | Alcan International Limited | Process for producing fibres composed of or coated with carbides or nitrides |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP56203081A patent/JPS58104078A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63290393A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | イビデン株式会社 | 焼成容器 |
| US5116679A (en) * | 1988-07-29 | 1992-05-26 | Alcan International Limited | Process for producing fibres composed of or coated with carbides or nitrides |
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