JPS58102879U - 真空用ゲ−トバルブ - Google Patents
真空用ゲ−トバルブInfo
- Publication number
- JPS58102879U JPS58102879U JP19413881U JP19413881U JPS58102879U JP S58102879 U JPS58102879 U JP S58102879U JP 19413881 U JP19413881 U JP 19413881U JP 19413881 U JP19413881 U JP 19413881U JP S58102879 U JPS58102879 U JP S58102879U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate valve
- bellows
- annular
- valve
- welding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面はこの考案の一実施例を示すものであって、第1図
はゲートバルブの側面図、第2図はその一部切欠正面図
、第3図はゲートバルブのゲート部付近を示す拡大縦断
側面図、第4図は鏡面薄板付き環状金具付近を示す拡大
断面図である。 図において、1は前部開口部、2は後部開口部、3は弁
箱、4は通過孔、5は仕切弁、6は流体圧シリンダ、7
は内側ベローズ、8は外側ベローズ、9は環状凹部、1
0は環状金具、11は鏡面薄板、12は気密室、13は
連通孔、14は流体供給口、22は継手杆、23はシー
ル用ベローズ、26はガイド溝、27は支持杆、32は
ガイド部材、33は楔形端部、34は楔形ガイド溝、3
5は環状空洞である。
はゲートバルブの側面図、第2図はその一部切欠正面図
、第3図はゲートバルブのゲート部付近を示す拡大縦断
側面図、第4図は鏡面薄板付き環状金具付近を示す拡大
断面図である。 図において、1は前部開口部、2は後部開口部、3は弁
箱、4は通過孔、5は仕切弁、6は流体圧シリンダ、7
は内側ベローズ、8は外側ベローズ、9は環状凹部、1
0は環状金具、11は鏡面薄板、12は気密室、13は
連通孔、14は流体供給口、22は継手杆、23はシー
ル用ベローズ、26はガイド溝、27は支持杆、32は
ガイド部材、33は楔形端部、34は楔形ガイド溝、3
5は環状空洞である。
Claims (1)
- 前部開口部1および後部開口部2を有する弁箱3内に、
平滑な表面および裏面と通過孔4とを有する仕切弁5が
配置され、その仕切弁5は流体圧シリンダ6に連結され
、前記仕切弁5の表裏両面と弁箱における前部開口部1
を囲む部分および後部開口部2を囲む部分との間には、
それぞれ内側ベローズ7および外側ベローズ8が配置さ
れ、内側ベローズ7および外側ベローズ8における仕切
弁側端部は、仕切弁5に対向する環状凹部9側布する環
状金具10に溶接により連結され、内側ベローズ7およ
び外側ベローズ8の他端部は弁箱3に溶接により固着さ
れ、前記環状金具10の仕切弁対向面には、前記環状凹
部9の開口部を塞ぐ鏡面薄板11が溶接により固着′さ
れ、かつ前記環状金具10には各ベローズ7.8間の気
密室12と前記環状凹部9とを連通させる連通孔13が
設けられ、前記弁箱3には、前記気密室12に開口する
流体供給口14が設けられていることを特徴とする真空
ゲートバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19413881U JPS58102879U (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | 真空用ゲ−トバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19413881U JPS58102879U (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | 真空用ゲ−トバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58102879U true JPS58102879U (ja) | 1983-07-13 |
JPS6221180Y2 JPS6221180Y2 (ja) | 1987-05-29 |
Family
ID=30107466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19413881U Granted JPS58102879U (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | 真空用ゲ−トバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58102879U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005098500A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-04-14 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 切換え弁 |
JP2019202329A (ja) * | 2018-05-23 | 2019-11-28 | 株式会社鷺宮製作所 | 溶接構造および弁装置 |
JP2020012493A (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 株式会社荏原製作所 | ゲートバルブ |
JP2020153418A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 株式会社鷺宮製作所 | 溶接構造 |
-
1981
- 1981-12-30 JP JP19413881U patent/JPS58102879U/ja active Granted
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005098500A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-04-14 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 切換え弁 |
JP4522195B2 (ja) * | 2003-09-01 | 2010-08-11 | 株式会社アルバック | 半導体製造装置用の切換え弁 |
JP2019202329A (ja) * | 2018-05-23 | 2019-11-28 | 株式会社鷺宮製作所 | 溶接構造および弁装置 |
JP2020012493A (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 株式会社荏原製作所 | ゲートバルブ |
JP2020153418A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 株式会社鷺宮製作所 | 溶接構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6221180Y2 (ja) | 1987-05-29 |
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