JPS58102879U - 真空用ゲ−トバルブ - Google Patents

真空用ゲ−トバルブ

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Publication number
JPS58102879U
JPS58102879U JP19413881U JP19413881U JPS58102879U JP S58102879 U JPS58102879 U JP S58102879U JP 19413881 U JP19413881 U JP 19413881U JP 19413881 U JP19413881 U JP 19413881U JP S58102879 U JPS58102879 U JP S58102879U
Authority
JP
Japan
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gate valve
bellows
annular
valve
welding
Prior art date
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Application number
JP19413881U
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English (en)
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JPS6221180Y2 (ja
Inventor
八代　一二
Original Assignee
富士精工株式会社
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Publication date
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Publication of JPS58102879U publication Critical patent/JPS58102879U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案の一実施例を示すものであって、第１図
はゲートバルブの側面図、第２図はその一部切欠正面図
、第３図はゲートバルブのゲート部付近を示す拡大縦断
側面図、第４図は鏡面薄板付き環状金具付近を示す拡大
断面図である。 図において、１は前部開口部、２は後部開口部、３は弁
箱、４は通過孔、５は仕切弁、６は流体圧シリンダ、７
は内側ベローズ、８は外側ベローズ、９は環状凹部、１
０は環状金具、１１は鏡面薄板、１２は気密室、１３は
連通孔、１４は流体供給口、２２は継手杆、２３はシー
ル用ベローズ、２６はガイド溝、２７は支持杆、３２は
ガイド部材、３３は楔形端部、３４は楔形ガイド溝、３
５は環状空洞である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 前部開口部１および後部開口部２を有する弁箱３内に、
    平滑な表面および裏面と通過孔４とを有する仕切弁５が
    配置され、その仕切弁５は流体圧シリンダ６に連結され
    、前記仕切弁５の表裏両面と弁箱における前部開口部１
    を囲む部分および後部開口部２を囲む部分との間には、
    それぞれ内側ベローズ７および外側ベローズ８が配置さ
    れ、内側ベローズ７および外側ベローズ８における仕切
    弁側端部は、仕切弁５に対向する環状凹部９側布する環
    状金具１０に溶接により連結され、内側ベローズ７およ
    び外側ベローズ８の他端部は弁箱３に溶接により固着さ
    れ、前記環状金具１０の仕切弁対向面には、前記環状凹
    部９の開口部を塞ぐ鏡面薄板１１が溶接により固着′さ
    れ、かつ前記環状金具１０には各ベローズ７．８間の気
    密室１２と前記環状凹部９とを連通させる連通孔１３が
    設けられ、前記弁箱３には、前記気密室１２に開口する
    流体供給口１４が設けられていることを特徴とする真空
    ゲートバルブ。
JP19413881U 1981-12-30 1981-12-30 真空用ゲ−トバルブ Granted JPS58102879U (ja)

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JPS58102879U true JPS58102879U (ja) 1983-07-13
JPS6221180Y2 JPS6221180Y2 (ja) 1987-05-29

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005098500A (ja) * 2003-09-01 2005-04-14 Toshiba Ceramics Co Ltd 切換え弁
JP2019202329A (ja) * 2018-05-23 2019-11-28 株式会社鷺宮製作所 溶接構造および弁装置
JP2020012493A (ja) * 2018-07-17 2020-01-23 株式会社荏原製作所 ゲートバルブ
JP2020153418A (ja) * 2019-03-19 2020-09-24 株式会社鷺宮製作所 溶接構造

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JPS6221180Y2 (ja) 1987-05-29

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