JPS4830874A - - Google Patents

Info

Publication number
JPS4830874A
JPS4830874A JP46064415A JP6441571A JPS4830874A JP S4830874 A JPS4830874 A JP S4830874A JP 46064415 A JP46064415 A JP 46064415A JP 6441571 A JP6441571 A JP 6441571A JP S4830874 A JPS4830874 A JP S4830874A
Authority
JP
Japan
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP46064415A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS546866B2 (ko
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6441571A priority Critical patent/JPS546866B2/ja
Publication of JPS4830874A publication Critical patent/JPS4830874A/ja
Publication of JPS546866B2 publication Critical patent/JPS546866B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
JP6441571A 1971-08-25 1971-08-25 Expired JPS546866B2 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6441571A JPS546866B2 (ko) 1971-08-25 1971-08-25

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6441571A JPS546866B2 (ko) 1971-08-25 1971-08-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS4830874A true JPS4830874A (ko) 1973-04-23
JPS546866B2 JPS546866B2 (ko) 1979-04-02

Family

ID=13257622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6441571A Expired JPS546866B2 (ko) 1971-08-25 1971-08-25

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS546866B2 (ko)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5975047A (ja) * 1982-10-25 1984-04-27 アロカ株式会社 超音波診断装置
JPS6090542A (ja) * 1983-10-24 1985-05-21 株式会社日立製作所 超音波診断装置
JPS61181472A (ja) * 1985-02-08 1986-08-14 福留　武朗 血管穿刺法及び穿刺具
JPS61226924A (ja) * 1985-04-01 1986-10-08 Canon Inc 露光装置
JPS6243125A (ja) * 1985-08-21 1987-02-25 Canon Inc パターン焼き付け方法
JPS6249843A (ja) * 1985-08-29 1987-03-04 株式会社東芝 超音波結石破砕装置
JPS6274811U (ko) * 1985-10-30 1987-05-13
JPS62183772A (ja) * 1986-02-10 1987-08-12 福留　武朗 脈管穿刺具
JPS6379318A (ja) * 1987-09-11 1988-04-09 Hitachi Ltd 縮小投影露光方法
JPS63177866A (ja) * 1986-09-18 1988-07-22 ポール　ジー　ヨック 血管のカニューレイションに使用する装置
JPS63211622A (ja) * 1987-02-17 1988-09-02 Yokogawa Hewlett Packard Ltd マルチレベル・レチクル
JPS63296219A (ja) * 1986-11-05 1988-12-02 エスヴィージー・リトグラフィー・システムズ・インコーポレイテッド ウエハー製造におけるレテイクル高速交換方法及びその装置
JPH02107237A (ja) * 1988-10-17 1990-04-19 Aloka Co Ltd 穿刺針式超音波診断装置
JPH02107238A (ja) * 1988-10-17 1990-04-19 Aloka Co Ltd 穿刺針式超音波診断装置
JPH05206014A (ja) * 1991-10-22 1993-08-13 Internatl Business Mach Corp <Ibm> リソグラフィーマスク、リソグラフィックマスク設計、並びにアラインメント及びシーケンシャル露出システム
JPH075692A (ja) * 1993-06-04 1995-01-10 Canon Inc マスク交換装置
JP2008218769A (ja) * 2007-03-06 2008-09-18 Nikon Corp マスク保持装置、マスク調整方法、露光装置及び露光方法

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5975047A (ja) * 1982-10-25 1984-04-27 アロカ株式会社 超音波診断装置
JPS6090542A (ja) * 1983-10-24 1985-05-21 株式会社日立製作所 超音波診断装置
JPH059097B2 (ko) * 1983-10-24 1993-02-04 Hitachi Ltd
JPS61181472A (ja) * 1985-02-08 1986-08-14 福留　武朗 血管穿刺法及び穿刺具
JPS61226924A (ja) * 1985-04-01 1986-10-08 Canon Inc 露光装置
JPS6243125A (ja) * 1985-08-21 1987-02-25 Canon Inc パターン焼き付け方法
JPS6249843A (ja) * 1985-08-29 1987-03-04 株式会社東芝 超音波結石破砕装置
JPH0310732Y2 (ko) * 1985-10-30 1991-03-18
JPS6274811U (ko) * 1985-10-30 1987-05-13
JPS62183772A (ja) * 1986-02-10 1987-08-12 福留　武朗 脈管穿刺具
JPS63177866A (ja) * 1986-09-18 1988-07-22 ポール　ジー　ヨック 血管のカニューレイションに使用する装置
JPS63296219A (ja) * 1986-11-05 1988-12-02 エスヴィージー・リトグラフィー・システムズ・インコーポレイテッド ウエハー製造におけるレテイクル高速交換方法及びその装置
JPS63211622A (ja) * 1987-02-17 1988-09-02 Yokogawa Hewlett Packard Ltd マルチレベル・レチクル
JPS6379318A (ja) * 1987-09-11 1988-04-09 Hitachi Ltd 縮小投影露光方法
JPH02107238A (ja) * 1988-10-17 1990-04-19 Aloka Co Ltd 穿刺針式超音波診断装置
JPH02107237A (ja) * 1988-10-17 1990-04-19 Aloka Co Ltd 穿刺針式超音波診断装置
JPH0428378B2 (ko) * 1988-10-17 1992-05-14 Aloka
JPH0428377B2 (ko) * 1988-10-17 1992-05-14 Aloka
JPH05206014A (ja) * 1991-10-22 1993-08-13 Internatl Business Mach Corp <Ibm> リソグラフィーマスク、リソグラフィックマスク設計、並びにアラインメント及びシーケンシャル露出システム
JPH075692A (ja) * 1993-06-04 1995-01-10 Canon Inc マスク交換装置
JP2008218769A (ja) * 2007-03-06 2008-09-18 Nikon Corp マスク保持装置、マスク調整方法、露光装置及び露光方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS546866B2 (ko) 1979-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATA136472A (ko)
AR196074A1 (ko)
AU2658571A (ko)
AU2691671A (ko)
AU2684071A (ko)
AU2485671A (ko)
AU3005371A (ko)
AU2952271A (ko)
AU2894671A (ko)
AU2742671A (ko)
AU2564071A (ko)
AU2941471A (ko)
AU2503871A (ko)
AU2755871A (ko)
AU2486471A (ko)
AU3038671A (ko)
AU1109576A (ko)
AU2456871A (ko)
AU2577671A (ko)
AU2588771A (ko)
AU2706571A (ko)
AR202997Q (ko)
AU2669471A (ko)
AU2938071A (ko)
AU2684171A (ko)