JPH1197458A - Magazine positioning carrying out device and bonding device with the same - Google Patents

Magazine positioning carrying out device and bonding device with the same

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JPH1197458A
JPH1197458A JP9273438A JP27343897A JPH1197458A JP H1197458 A JPH1197458 A JP H1197458A JP 9273438 A JP9273438 A JP 9273438A JP 27343897 A JP27343897 A JP 27343897A JP H1197458 A JPH1197458 A JP H1197458A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the number of parts and the cost, by using a regulation member which regulates a magazine for preparing a following magazine when collecting a preceding magazine. SOLUTION: Since a magazine M is spaced at a clearance (e) away from a regulation member 73 in a front side, it slides smoothly in contact with a regulation member 74 in a rear side and descends together with a magazine holder 15. When a preceding magazine M is off a roller 81 in a lowest stage due to the descent, a pulse motor rotates positively and the regulation member 73 is in proximity to another regulation member 74. That is, the regulation member 73 fits closely to a following magazine M, and the regulation members 73, 74 in front and in the rear hold the following magazine M therebetween and prepare to hold it not to drop. An empty preceding magazine M alone descends further together with the magazine holder 15 and arrives at a collection position. As a result, it is possible to reduce the umber of parts and the cost.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレーム等
のフレームを収容したマガジンを位置決めし且つ空にな
ったマガジンを排出するマガジン位置決め排出装置及び
該マガジン位置決め排出装置を備えたボンディング装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magazine positioning / discharging apparatus for positioning a magazine containing a frame such as a lead frame and discharging an empty magazine, and a bonding apparatus having the magazine positioning / discharging apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のワイヤボンディング装置として実
開平4−20232号に示すものが知られている。この
装置の一例を図12乃至図14に示す。
2. Description of the Related Art A conventional wire bonding apparatus disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. Hei 4-20232 is known. One example of this device is shown in FIGS.

【0003】図12に示すように、このワイヤボンディ
ング装置は、複数枚のリードフレームL\Fを配列収容
(紙面に対して垂直な方向において配列)したマガジン
Mをローダ151に装填する。
As shown in FIG. 12, in this wire bonding apparatus, a magazine M in which a plurality of lead frames L # F are arranged and accommodated (arranged in a direction perpendicular to the paper surface) is loaded into a loader 151.

【0004】このローダ151は、前記マガジンM内の
各リードフレームL\Fのうち例えば最下段の1枚を送
り出し、このリードフレームL\Fは、図示せぬフレー
ム移送手段により1対のガイドレール157,158に
沿って案内されてボンディングステージのヒータープレ
ート155上に移送される。
The loader 151 sends out, for example, the lowermost one of the lead frames L # F in the magazine M, and the lead frame L # F is supplied to a pair of guide rails by a frame transfer means (not shown). It is guided along 157 and 158 and transferred onto the heater plate 155 of the bonding stage.

【0005】前記リードフレームL\Fがヒータープレ
ート155上に達すると、前記フレーム移送手段はリー
ドフレームL\Fを各ICチップ153の配列ピッチず
つ間欠送りし、ボンディング手段160は、各ICチッ
プ153とリードフレームに形成されているリード(図
示せず)とを導電性のワイヤを用いてボンディング接続
する。ボンディングを完了したリードフレームL\F
は、前記フレーム移送手段によってローダ151と同一
の構成を有するアンローダ162の空のマガジンM内に
収容される。
When the lead frame L @ F reaches the heater plate 155, the frame transfer means intermittently feeds the lead frame L @ F by the arrangement pitch of each IC chip 153, and the bonding means 160 makes the IC chip 153 And a lead (not shown) formed on the lead frame are connected by bonding using a conductive wire. Lead frame LF completed bonding
Is accommodated in the empty magazine M of the unloader 162 having the same configuration as the loader 151 by the frame transfer means.

【0006】ローダ151は、マガジンMをリードフレ
ームL\Fの配列ピッチずつ下降若しくは上昇(紙面に
対して垂直な方向)させて位置決めを行う位置決め手段
165と、この位置決め手段165を搭載した可動ベー
ス166と、この可動ベース166上に配設されマガジ
ンMをその移動方向に対して垂直な水平面内において規
制する規制手段167とを有している。
[0006] The loader 151 is provided with positioning means 165 for lowering or ascending (in a direction perpendicular to the paper surface) the magazine M by an arrangement pitch of the lead frame L\F, and a movable base on which the positioning means 165 is mounted. 166 and regulating means 167 disposed on the movable base 166 to regulate the magazine M in a horizontal plane perpendicular to the moving direction.

【0007】前記可動ベース166は、装置本体の架台
170上に取り付けられて矢印0方向に位置調整可能と
なっている。図13に示す調整手段172は、軸受17
4により軸支されたねじ軸175と、該ねじ軸175に
螺合すると共に可動ベース166に結合されたナット1
76と、該ねじ軸175を回転駆動するパルスモータ1
77とを備えている。
The movable base 166 is mounted on a gantry 170 of the apparatus main body so that the position can be adjusted in the direction of arrow 0. The adjusting means 172 shown in FIG.
4 and a nut 1 screwed to the screw shaft 175 and coupled to the movable base 166.
76 and a pulse motor 1 for driving the screw shaft 175 to rotate.
77.

【0008】位置決め手段165は、軸受180を介し
て可動ベース166上に取り付けられたねじ軸181
と、該ねじ軸181を回転駆動するパルスモータ182
と、該ねじ軸181に螺合した昇降部材183と、該昇
降部材183と結合してマガジンMを担持するマガジン
受部185と、該マガジン受部185の先端部に摺動可
能に設けられてマガジンMを押え保持するチャック18
6とを有している。
The positioning means 165 includes a screw shaft 181 mounted on a movable base 166 via a bearing 180.
And a pulse motor 182 for driving the screw shaft 181 to rotate.
An elevating member 183 screwed to the screw shaft 181, a magazine receiving portion 185 which is connected to the elevating member 183 and carries a magazine M, and is slidably provided at a tip end of the magazine receiving portion 185. Chuck 18 for holding and holding magazine M
6.

【0009】また、図14に示すように、規制手段16
7は、前記可動ベース166に対して固定された略L字
状のフレーム190と、フレーム190の屈曲部の近傍
に断面形状がL字状の規制部材192とを有している。
Also, as shown in FIG.
7 has a substantially L-shaped frame 190 fixed to the movable base 166, and a regulating member 192 having an L-shaped cross section near the bent portion of the frame 190.

【0010】前記フレーム190の一辺には、規制部材
192と協働してマガジンMをその幅方向(矢印R方
向)に移動して規制する規制部材193が設けられてい
る。この規制部材193は、ナット194がねじ軸19
5に螺合して移動可能となっている。また、フレーム1
90上にはねじ軸195を回転駆動するパルスモータ1
97が固設されている。
On one side of the frame 190, there is provided a regulating member 193 which cooperates with the regulating member 192 to regulate the magazine M by moving it in the width direction (the direction of arrow R). The restricting member 193 includes a nut 194 and the screw shaft 19.
5 and can be moved. Also, frame 1
A pulse motor 1 for rotating and driving a screw shaft 195 is provided on
97 is fixedly provided.

【0011】また、前記フレーム190の他辺には、マ
ガジンMをその長さ方向(矢印S方向)に規制するため
の規制部材203が移動可能に取り付けられている。規
制部材203は、ナット204がねじ軸205に螺合し
て移動可能となっている。また、フレーム190上には
ねじ軸205を回転駆動するパルスモータ207が固設
されている。
On the other side of the frame 190, a regulating member 203 for regulating the magazine M in its length direction (the direction of arrow S) is movably mounted. The restricting member 203 is movable with a nut 204 screwed onto a screw shaft 205. Further, a pulse motor 207 for driving the screw shaft 205 to rotate is fixed on the frame 190.

【0012】次に、ローダ151の動作について説明す
る。
Next, the operation of the loader 151 will be described.

【0013】図14に示す各規制部材192、193及
び203により囲まれる空間内に、上方から複数のマガ
ジンMを重ねて挿入し、図13に示すマガジン受部18
5上に載置する。図14に示す各パルスモータ197、
207は正回転して規制部材193及び203を規制部
材192に向けて検知手段212及び213が検知する
まで移動させて各マガジンMを規制する。
A plurality of magazines M are inserted from above into a space surrounded by the regulating members 192, 193 and 203 shown in FIG.
5. Place on top. Each pulse motor 197 shown in FIG.
207 rotates forward to move the regulating members 193 and 203 toward the regulating member 192 until the detecting means 212 and 213 detect them, thereby regulating each magazine M.

【0014】次に、図13に示すパルスモータ182が
回転して各マガジンMはマガジン受部185と共に収容
しているリードフレームL\Fの配列ピッチずつ下降す
る。このマガジンMの下降動作に連動して、リードフレ
ームL\Fが1枚ずつマガジン外に取り出され、ボンデ
ィングが行われる。
Next, the pulse motor 182 shown in FIG. 13 is rotated, and each magazine M is lowered by the arrangement pitch of the lead frames L # F housed together with the magazine receiving portion 185. In conjunction with the lowering operation of the magazine M, the lead frames L # F are taken out of the magazine one by one, and bonding is performed.

【0015】先行する最下段のマガジンM内のすべての
リードフレームL\Fについてボンディングが終了して
該マガジンMが空になると、図14に示したマガジンプ
ッシャー210が突出動作して上方に位置する後続の2
つ目のマガジンMが規制部材192に対して押圧固定す
る。そして、空になった1つ目のマガジンMのみがマガ
ジン受部185と共に更に下降して回収位置に達したマ
ガジン受部185上から回収する。
When the bonding is completed for all the lead frames L\F in the preceding lowermost magazine M and the magazine M is emptied, the magazine pusher 210 shown in FIG. Subsequent 2
The second magazine M is pressed and fixed to the regulating member 192. Then, only the first empty magazine M is further lowered together with the magazine receiving portion 185 and collected from the magazine receiving portion 185 that has reached the collecting position.

【0016】1つ目のマガジンが回収されると、マガジ
ン受部185は再び上昇して2つ目のマガジンMの底面
に当接して受ける。この時点でマガジンプッシャー21
0は引込動作してマガジンMをマガジン受部185によ
り担持する。以下、1つ目のマガジンと同様の一連の動
作が行われ、この2つ目のマガジンM内の各リードフレ
ームL\Fに関してもボンディングが行われる。
When the first magazine is collected, the magazine receiving portion 185 rises again and contacts the bottom surface of the second magazine M to receive it. At this point, the magazine pusher 21
0 carries out the pull-in operation and carries the magazine M by the magazine receiving portion 185. Hereinafter, a series of operations similar to those of the first magazine are performed, and bonding is also performed on each lead frame L # F in the second magazine M.

【0017】図13に示すマガジン排出手段は、二点鎖
線及び実線で示す排出位置及び非排出位置の間で往復動
自在にしてマガジンMを排出するための排出部材217
と、該排出部材217を作動させるエアシリンダ機構な
どの駆動手段(図示せず)とからなる。
The magazine discharging means shown in FIG. 13 is a discharging member 217 for discharging the magazine M by reciprocating between a discharging position and a non-discharging position shown by a two-dot chain line and a solid line.
And driving means (not shown) such as an air cylinder mechanism for operating the discharge member 217.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】従来の装置では、先行
のマガジンMを回収するときにマガジンプッシャー21
0を用いて後続のマガジンを待機させる。このマガジン
プッシャー210はエアシリンダーを用いているため、
エアシリンダーとエアー供給のための配管部品、電磁弁
とドライバなど多くの部品を必要とし、原価低減の妨げ
や、故障率の増加という課題がある。
In the conventional apparatus, when the preceding magazine M is collected, the magazine pusher 21 is used.
Use 0 to wait for the next magazine. Since this magazine pusher 210 uses an air cylinder,
It requires many parts such as an air cylinder and piping parts for supplying air, a solenoid valve and a driver, and thus poses problems such as hindering cost reduction and increasing the failure rate.

【0019】本発明の目的は、上記従来技術の欠点に鑑
みてなされたものであって、部品点数の削減を図ること
により原価低減等を達成したマガジン位置決め排出装置
及びこれを具備したボンディング装置を提供することで
ある。
An object of the present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks of the prior art, and is intended to provide a magazine positioning / ejecting apparatus which achieves cost reduction by reducing the number of parts and a bonding apparatus having the same. To provide.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明は、フレームを複
数枚配列収容するマガジンを供給位置に保持してフレー
ム配列方向に移動位置決めして所定回収位置まで移動さ
せる位置決め手段と、前記マガジンをその移動方向に対
して略垂直な方向において規制する規制手段と、前記回
収位置に至ったマガジンを排出するマガジン排出手段と
を備えたマガジン位置決め排出装置において、前記規制
手段は、相対的に可動にして前記マガジンとの当接部に
摩擦部材が設けられて該マガジンを規制する規制部材
と、該規制部材を制御部からの指令パルスにより移動さ
せる駆動手段と、前記駆動手段の回転量に応じたフィー
ドバックパルス信号を発生させる信号発生手段とを備
え、前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位置
に移動させる際、後続のマガジンを前記規制部材により
挟持して待機するとき、前記信号発生手段からのフィー
ドバックパルス信号が得られなくなった後、所定回数若
しくは所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出さ
せる構成としたものである。
According to the present invention, there is provided a positioning means for holding a magazine for accommodating a plurality of frames at a supply position, moving and positioning the magazine in a direction in which the frames are arranged, and moving the magazine to a predetermined collection position. In a magazine positioning / ejecting device including a regulating unit that regulates in a direction substantially perpendicular to the moving direction and a magazine discharging unit that discharges the magazine that has reached the collection position, the regulating unit is relatively movable. A regulating member provided with a friction member at a contact portion with the magazine to regulate the magazine; a driving unit for moving the regulating member by a command pulse from a control unit; and a feedback according to a rotation amount of the driving unit. Signal generating means for generating a pulse signal, wherein when the positioning means moves the preceding magazine to the collecting position, When the magazine is pinched by the regulating member and is on standby, the command pulse is sent to the driving means a predetermined number of times or for a predetermined time after the feedback pulse signal from the signal generating means is no longer obtained. .

【0021】また、本発明の前記駆動手段は、ねじ軸
と、このねじ軸を回転駆動するパルスモータと、ねじ軸
に螺合するナットで構成されてなるものである。
The driving means of the present invention comprises a screw shaft, a pulse motor for driving the screw shaft to rotate, and a nut screwed to the screw shaft.

【0022】また、本発明の前記信号発生手段は、エン
コーダで構成されてなるものである。
Further, the signal generating means of the present invention is constituted by an encoder.

【0023】また、本発明の前記摩擦部材は、ウレタン
ゴム、合成樹脂若しくは鋼材等で接触面積を小さくして
ポイントで押圧する部材からなるものである。
Further, the friction member according to the present invention is a member which is made of urethane rubber, synthetic resin, steel, or the like and has a small contact area and is pressed at a point.

【0024】また、本発明は、フレームを複数枚配列収
容するマガジンを供給位置に保持してフレーム配列方向
に移動位置決めして所定回収位置まで移動させる位置決
め手段と、前記マガジンをその移動方向に対して略垂直
な方向において規制する規制手段と、前記回収位置に至
ったマガジンを排出するマガジン排出手段と、前記フレ
ームを前記マガジンとボンディングステージとの間で移
送するフレーム移送手段と、前記ボンディングステージ
に至ったフレームに対してボンディング作業を施すボン
ディング手段とを備えたボンディング装置において、前
記規制手段は、相対的に可動にして前記マガジンとの当
接部に摩擦部材が設けられて該マガジンを規制する規制
部材と、該規制部材を制御部からの指令パルスにより移
動させる駆動手段と、前記駆動手段の回転量に応じたフ
ィードバックパルス信号を発生させる信号発生手段とを
備え、前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位
置に移動させる際、後続のマガジンを前記規制部材によ
り挟持して待機するとき、前記信号発生手段からのフィ
ードバックパルス信号が得られなくなった後、所定回数
若しくは所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出
させる構成としたものである。
Further, the present invention provides a positioning means for holding a magazine in which a plurality of frames are arranged and accommodated in a supply position, moving and positioning the magazine in a frame arrangement direction, and moving it to a predetermined collection position, and Regulating means for regulating in a substantially vertical direction, a magazine discharging means for discharging the magazine reaching the collection position, a frame transferring means for transferring the frame between the magazine and the bonding stage, and In a bonding apparatus having a bonding unit for performing a bonding operation on a reached frame, the restricting unit is relatively movable, and a friction member is provided at a contact portion with the magazine to regulate the magazine. Restriction member and driving means for moving the restriction member by a command pulse from a control unit Signal generating means for generating a feedback pulse signal according to the rotation amount of the driving means, when the positioning means moves the preceding magazine to the recovery position, the subsequent magazine is held by the regulating member In the standby mode, the command pulse is transmitted to the driving means a predetermined number of times or for a predetermined time after the feedback pulse signal from the signal generation means is no longer obtained.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の実施例としてのワイヤボンディング装置を説明す
る。但し、従来のワイヤボンディング装置と同一の構成
及び機能を有する部分は説明が重複するため省略し要部
のみの説明とする。また、以下の説明において、従来の
ワイヤボンディング装置と同一の構成部分には同じ参照
符号を付している。なお、本実施例では、ワイヤボンデ
ィング装置を例として説明するが、本発明はダイボンデ
ィング等のボンディング装置にも適用可能である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a wire bonding apparatus as an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, portions having the same configuration and function as those of the conventional wire bonding apparatus will not be described again, and description thereof will be omitted. In the following description, the same components as those of the conventional wire bonding apparatus are denoted by the same reference numerals. In this embodiment, a wire bonding apparatus will be described as an example, but the present invention is also applicable to a bonding apparatus such as a die bonding.

【0026】本発明によるワイヤボンディング装置は、
図10及び図11に示す規制手段にその特徴を有してい
るが、以下の説明では図1乃至図3から順次説明を行
う。
The wire bonding apparatus according to the present invention comprises:
The regulating means shown in FIGS. 10 and 11 has the feature thereof, but in the following description, it will be described sequentially from FIG. 1 to FIG.

【0027】図1乃至図3において、マガジン位置決め
排出装置としてのローダ1は図12における各ガイドレ
ール157、158及びボンディング手段160の左
側、すなわちリードフレーム搬送方向上流側に配置され
ている。このローダ1には未ボンディング状態のリード
フレームL\Fを多数配列収容したマガジンMが装填さ
れ、このマガジンMからリードフレームL\Fを1枚ず
つ取り出してボンディング手段160に向けて供給す
る。なお、図12に示すように各ガイドレール157、
158の右側には、他のマガジン位置決め排出装置とし
て、空のマガジンMが装填されたアンローダ(図示せ
ず)が配設されている。このアンローダは、前記ボンデ
ィング手段160によりボンディングされて搬送されて
くるリードフレームL\FをマガジンM内に順次受け入
れて配列収納する。このアンローダは上記ローダ1と同
一の構成であるのでアンローダについての説明は省略
し、ローダ1についてのみ説明する。
1 to 3, the loader 1 as a magazine positioning and discharging device is disposed on the left side of each of the guide rails 157 and 158 and the bonding means 160 in FIG. 12, that is, on the upstream side in the lead frame transport direction. The loader 1 is loaded with a magazine M in which a large number of unbonded lead frames L # F are accommodated, and the lead frames L # F are taken out of the magazine M one by one and supplied to the bonding means 160. In addition, as shown in FIG.
On the right side of 158, an unloader (not shown) loaded with an empty magazine M is provided as another magazine positioning / ejecting device. The unloader sequentially receives and arranges the lead frames L\F bonded and transported by the bonding means 160 in the magazine M. Since this unloader has the same configuration as the above-described loader 1, description of the unloader is omitted, and only the loader 1 will be described.

【0028】ローダ1は、図2乃至図4に示すように位
置決め手段5を有している。この位置決め手段5は、多
数のリードフレームL\Fを収容したマガジンMを装着
してマガジンMをその収容したリードフレームL\Fの
配列ピッチずつ間欠的に下降させて位置決めする。ま
た、図1に示す押出手段6は、前記位置決め手段5によ
るマガジンMの間欠的な下降位置決め動作に合わせてマ
ガジンM内の各リードフレームL\Fを最下段のものか
ら1枚ずつボンディング位置に向けて移送し押し出す。
この押出手段6によりマガジンM外に押し出されたリー
ドフレームL\Fは、図示しないフレーム移送手段によ
ってボンディング位置に向けて移送され、ボンディング
終了後はフレーム移送手段によってアンローダ上のマガ
ジンM内に収容される。
The loader 1 has a positioning means 5 as shown in FIGS. The positioning means 5 mounts a magazine M accommodating a large number of lead frames L # F, and intermittently lowers and positions the magazine M by the arrangement pitch of the accommodated lead frames L # F. The pushing means 6 shown in FIG. 1 moves each lead frame L フ レ ー ム F in the magazine M one by one from the lowest one to the bonding position in accordance with the intermittent lowering positioning operation of the magazine M by the positioning means 5. Transfer and push out.
The lead frame L # F pushed out of the magazine M by the pushing means 6 is transferred to a bonding position by a frame transfer means (not shown), and after the bonding is completed, is housed in the magazine M on the unloader by the frame transfer means. You.

【0029】前記位置決め手段5は、図4に示すように
装置架台170に固定されたベース8上に軸受10を介
して矢印Z方向に取付けられたねじ軸12と、ブラケッ
ト19を介してベース8に取り付けられたねじ軸12を
回転駆動するパルスモータ13と、ねじ軸12に螺合し
た昇降部材14と、昇降部材14に結合し、マガジンM
を受けるマガジン受部15(可動担持部材)とを有して
いる。このマガジン受部15の位置検出は、パルスモー
タ13の回転量に応じたパルス信号を発生するエンコー
ダ(図示せず)からの信号により検出する構成となって
いる。
As shown in FIG. 4, the positioning means 5 includes a screw shaft 12 mounted on a base 8 fixed to an apparatus mount 170 via a bearing 10 in the direction of arrow Z, and a base 8 via a bracket 19. A pulse motor 13 for rotating and driving a screw shaft 12 attached to the shaft, an elevating member 14 screwed to the screw shaft 12, and coupled to the elevating member 14, the magazine M
And a magazine receiving portion 15 (movable supporting member) for receiving the same. The position of the magazine receiver 15 is detected by a signal from an encoder (not shown) that generates a pulse signal according to the rotation amount of the pulse motor 13.

【0030】ねじ軸12の上端部及びパルスモータ13
の出力軸13aには夫々歯付ベルト車12b,13bが
嵌着され、これら両歯付ベルト車に歯付ベルト17が掛
け回されている。
The upper end of the screw shaft 12 and the pulse motor 13
The toothed belt wheels 12b and 13b are fitted on the output shaft 13a of the first embodiment, respectively, and the toothed belt 17 is wound around these two toothed belt wheels.

【0031】ローダ1は、位置決め手段5により移動さ
れるマガジンMをその移動方向、すなわち各リードフレ
ームL\Fの配列方向に対して垂直な面内において規制
する規制手段を有する。
The loader 1 has regulating means for regulating the magazine M moved by the positioning means 5 in the direction of its movement, that is, in a plane perpendicular to the arrangement direction of the lead frames L\F.

【0032】図1乃至図3に示すように、前記規制手段
は、ベース8上に固設された固定フレーム21と、各々
固定フレーム21上に矢印Gにて示す方向において往復
動自在に設けられた一対の可動フレーム23及び24
と、各可動フレーム23、24を夫々移動させる駆動手
段26及び27と、後述する信号発生手段としてのエン
コーダ40,50及び70とを有している。
As shown in FIGS. 1 to 3, the restricting means is provided on a fixed frame 21 fixed on the base 8, and is reciprocally movable on the fixed frame 21 in a direction indicated by an arrow G. Pair of movable frames 23 and 24
And driving means 26 and 27 for moving the movable frames 23 and 24, respectively, and encoders 40, 50 and 70 as signal generating means described later.

【0033】両可動フレーム23、24と固定フレーム
21との間には、トラックレール29a、30a及びス
ライダ29b、30bからなる直動案内ユニットが介装
されて両可動フレーム23、24が矢印G方向に可動と
なっている。
A linear motion guide unit comprising track rails 29a, 30a and sliders 29b, 30b is interposed between the movable frames 23, 24 and the fixed frame 21 so that the movable frames 23, 24 move in the direction of arrow G. It is movable.

【0034】前記駆動手段26は、図1及び図2に示す
ように軸受33を介して固定フレーム21に取り付けら
れたねじ軸34と、ねじ軸34を回転駆動するパルスモ
ータ35と、ねじ軸34に螺合すると共に可動フレーム
23に固着されたナット36とを有している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the driving means 26 includes a screw shaft 34 mounted on the fixed frame 21 via a bearing 33, a pulse motor 35 for rotating the screw shaft 34, and a screw shaft 34. , And a nut 36 fixed to the movable frame 23.

【0035】ねじ軸34の一端部及びパルスモータ35
の出力軸35aには各々歯付ベルト車34b,35bが
嵌着され、これら両歯付ベルト車に歯付ベルト37が掛
け回されてパルスモータ35からの動力がねじ軸34に
伝達される。また、ねじ軸34の一端部にはカップリン
グ39を介して信号発生手段としてのエンコーダ40が
連結されている。このエンコーダ40は、前記パルスモ
ータ35の回転量に応じたフィードバックパルス信号を
発する。
One end of the screw shaft 34 and the pulse motor 35
The output shaft 35a is fitted with toothed belt wheels 34b, 35b, respectively, and the toothed belt 37 is wound around these toothed belt wheels, and the power from the pulse motor 35 is transmitted to the screw shaft 34. An encoder 40 as a signal generating means is connected to one end of the screw shaft 34 via a coupling 39. The encoder 40 issues a feedback pulse signal according to the rotation amount of the pulse motor 35.

【0036】一方、可動フレーム24を駆動する駆動手
段27に関しても同様であり、図1及び図3に示すよう
に、軸受43を介して固定フレーム21に取り付けられ
たねじ軸44と、ねじ軸44を回転駆動するパルスモー
タ45と、ねじ軸44に螺合すると共に可動フレーム2
4に固着されたナット46とを有している。
On the other hand, the same applies to the driving means 27 for driving the movable frame 24. As shown in FIGS. 1 and 3, a screw shaft 44 attached to the fixed frame 21 via a bearing 43, and a screw shaft 44 And a movable frame 2 which is screwed onto the screw shaft 44 and drives the movable frame 2
4 and a nut 46 fixed to the nut 4.

【0037】ねじ軸44の一端部及びパルスモータ45
の出力軸45aには各々歯付ベルト車44b,45bが
嵌着され、両歯付ベルト車に歯付ベルト47が掛け回さ
れて動力伝達が行われる。また、ねじ軸44の一端部に
はカップリング49を介して信号発生手段としてのエン
コーダ50が連結されている。このエンコーダ50は、
前記パルスモータ45の回転量に応じたフィードバック
パルス信号を発する。
One end of the screw shaft 44 and the pulse motor 45
The toothed belt wheels 44b, 45b are fitted on the output shaft 45a, and the toothed belt 47 is wrapped around the both toothed belt wheels to transmit power. An encoder 50 as a signal generating unit is connected to one end of the screw shaft 44 via a coupling 49. This encoder 50
A feedback pulse signal according to the rotation amount of the pulse motor 45 is issued.

【0038】図1及び図3に示すように、可動フレーム
24上には、可動ブラケット53が矢印H(図1参照)
にて示す方向において往復動自在に設けられている。こ
の可動ブラケット53は、可動ブラケット53と可動フ
レーム24との間にトラックレール54a及びスライダ
54bからなる直動案内ユニットが介装されて可動す
る。
As shown in FIGS. 1 and 3, a movable bracket 53 has an arrow H on the movable frame 24 (see FIG. 1).
It is provided so as to be able to reciprocate in the direction indicated by. The movable bracket 53 is movable with a linear guide unit including a track rail 54a and a slider 54b interposed between the movable bracket 53 and the movable frame 24.

【0039】前記可動ブラケット53を移動させる駆動
手段56は、軸受63を介して可動フレーム24に取付
けられたねじ軸64と、ねじ軸64を回転駆動するパル
スモータ65と、ねじ軸64に螺合すると共に可動ブラ
ケット53に固着されたナット66とを有している。
Driving means 56 for moving the movable bracket 53 includes a screw shaft 64 attached to the movable frame 24 via a bearing 63, a pulse motor 65 for rotating and driving the screw shaft 64, and a screw shaft 64. And a nut 66 fixed to the movable bracket 53.

【0040】ねじ軸64の一端部及びパルスモータ65
の出力軸65aには各々歯付ベルト車64b、65bが
嵌着され、両歯付ベルト車に歯付ベルト67が掛け回さ
れてパルスモータ65からの動力がねじ軸64に伝達さ
れる。また、ねじ軸64の一端部にはカップリング69
を介して信号発生手段としてのエンコーダ70が連結さ
れている。このエンコーダ70は、前記パルスモータ6
5の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発す
る。
One end of the screw shaft 64 and the pulse motor 65
The toothed belt wheels 64b, 65b are respectively fitted to the output shaft 65a, and the toothed belt 67 is wound around the both toothed belt wheels, and the power from the pulse motor 65 is transmitted to the screw shaft 64. A coupling 69 is provided at one end of the screw shaft 64.
And an encoder 70 as a signal generating means. The encoder 70 is provided with the pulse motor 6
5 generates a feedback pulse signal corresponding to the amount of rotation.

【0041】前記可動フレーム23及び24並びに可動
ブラケット53には、マガジンMを規制するための長尺
の規制部材73,74及び75が上下方向(矢印Z方
向)において延在して配設されている。これら規制部材
73乃至75は、これらを夫々搭載した可動フレーム2
3、24並びに可動ブラケット53の作動により互いに
相対的に近接及び離間する。
On the movable frames 23 and 24 and the movable bracket 53, long restricting members 73, 74 and 75 for restricting the magazine M are provided so as to extend in the vertical direction (the direction of arrow Z). I have. These restricting members 73 to 75 are the movable frame 2 on which they are mounted, respectively.
Due to the operation of the movable brackets 3 and 24 and the movable bracket 53, they are relatively close to and separated from each other.

【0042】前記規制部材73は全体として矩形板状に
形成され、一対設けられている。また、他の規制部材7
4及び75は1本ずつ設けられ、図1に示すように各々
断面形状はL字状となっている。マガジンMは、両規制
部材74及び75の各一辺に形成された規制面74a、
75aと前記矩形板状の規制部材73とによって、リー
ドフレームL\Fの移送方向に対して垂直な方向、すな
わち該マガジンの幅方向において規制される。また、両
規制部材74及び75の各他辺に形成された規制面74
b、75bによりマガジンMの長さ方向、すなわちリー
ドフレーム移送方向における規制が行われる。なお、図
2に示すように、規制部材74には、リードフレームL
\Fをボンディング位置に向けて搬送する際に該リード
フレームL\Fを通過させるためのスリット74dが形
成されている。
The regulating member 73 is formed in a rectangular plate shape as a whole, and is provided in a pair. In addition, other regulating members 7
4 and 75 are provided one by one, and each has an L-shaped cross section as shown in FIG. The magazine M includes regulating surfaces 74a formed on each side of the regulating members 74 and 75,
75a and the rectangular plate-shaped regulating member 73 regulate the direction perpendicular to the transport direction of the lead frame L # F, that is, the width direction of the magazine. In addition, regulating surfaces 74 formed on the other sides of both regulating members 74 and 75, respectively.
The control in the length direction of the magazine M, that is, the lead frame transfer direction is performed by b and 75b. Note that, as shown in FIG.
A slit 74d is formed to allow the lead frame L # F to pass when the #F is transported toward the bonding position.

【0043】また、図1及び図2に示すように、マガジ
ンMの幅方向における片側に配置された各規制部材73
には、リードフレーム搬送レベル80に対応する位置を
始めとして、その長手方向に沿って複数のローラ81が
設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 2, each of the regulating members 73 arranged on one side of the magazine M in the width direction.
Are provided with a plurality of rollers 81 along the longitudinal direction, starting from the position corresponding to the lead frame transport level 80.

【0044】次に、ワイヤボンディング装置の動作につ
いて説明する。
Next, the operation of the wire bonding apparatus will be described.

【0045】まず、本発明によるワイヤボンディング装
置において、リードフレームL\Fの種類が変更される
場合の調整動作について、図5乃至図8を参照して説明
する。
First, the adjustment operation when the type of the lead frame L # F is changed in the wire bonding apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0046】キーボードからの操作指令に基づき、ワイ
ヤボンディング装置の制御部は、図1に示す各パルスモ
ータ35、45及び65を夫々逆回転させて各ねじ軸3
4,44及び64を回転駆動して各可動フレーム23,
24及び可動ブラケット53を移動させ、各規制部材7
3,74及び75を図5に示すように外側、すなわち互
いに離間する方向に移動させ、夫々の基準位置に位置決
めする(第1基準位置)。また、各規制部材73,7
4,75の相互近接方向における第2基準位置は、各規
制部材73、74、75の相互の間隔が最小のマガジン
の外径寸法よりも小となるように設定されている。従っ
て、制御部は、各規制部材73、74、75が互いに近
接する方向に移動を開始後、前記第2基準位置に至るこ
とによってマガジンが装填されていないことを検知す
る。また、各規制部材73、74、75が前記第1基準
位置から第2基準位置に向う間に各エンコーダ40,5
0及び70からのフィードバックパルス信号が得られな
くなることによってマガジンMの規制完了及びその存在
を検知する。
Based on an operation command from the keyboard, the control unit of the wire bonding apparatus rotates the respective pulse motors 35, 45 and 65 shown in FIG.
, 44 and 64 to rotate each movable frame 23,
24 and the movable bracket 53, and
The members 3, 74 and 75 are moved outward as shown in FIG. 5, that is, in a direction away from each other, and are positioned at respective reference positions (first reference positions). In addition, each regulating member 73, 7
The second reference positions in the mutually approaching direction of the magazines 4 and 75 are set such that the spacing between the regulating members 73, 74 and 75 is smaller than the minimum outer diameter of the magazine. Therefore, the control unit detects that the magazine is not loaded by reaching the second reference position after each of the regulating members 73, 74, and 75 starts moving in the direction approaching each other. Also, while each of the regulating members 73, 74, 75 moves from the first reference position to the second reference position, each encoder 40, 5
When the feedback pulse signals from 0 and 70 cannot be obtained, the completion of the regulation of the magazine M and its presence are detected.

【0047】ここで幅方向規制について説明すると、各
規制部材73,74,75が相互に離間して第1基準位
置に達すると、各規制部材の間に新たに取り扱うべきリ
ードフレームを収容したマガジンMを例えば2つ、上下
に重ねた状態で上方から挿入してマガジン受部15上に
載置する。
Here, the width direction regulation will be described. When the regulation members 73, 74, 75 are separated from each other and reach the first reference position, a magazine accommodating a lead frame to be newly handled between the regulation members. For example, two Ms are inserted from above in a state of being vertically stacked and placed on the magazine receiving portion 15.

【0048】この状態で作動指令が発せられると、例え
ば、マガジンMの幅方向片側に位置する規制部材73を
駆動するパルスモータ35が正回転して図6に示すよう
に規制部材73が他側の規制部材74,75に向けて移
動する。これによりマガジンMは規制部材73により押
圧されて両規制部材74,75に押し付けられ、各規制
部材73,74,75により幅方向において挾持された
状態となる。この挾持状態になると、移動して来た規制
部材73はそれ以上移動できなくなりパルスモータ35
が停止し、エンコーダ40からのフィードバックパルス
信号も得られなくなる。制御部はマガジン幅方向の規制
完了と共にマガジンの存在を確認してパルスモータ35
への給電を停止する。
When an operation command is issued in this state, for example, the pulse motor 35 for driving the regulating member 73 located on one side in the width direction of the magazine M rotates forward, and as shown in FIG. Move toward the regulating members 74 and 75. As a result, the magazine M is pressed by the regulating members 73 and pressed against the two regulating members 74 and 75, and is held in the widthwise direction by the respective regulating members 73, 74 and 75. In this state, the regulating member 73 that has moved cannot move any further, and the pulse motor 35
Stops, and the feedback pulse signal from the encoder 40 cannot be obtained. The control unit confirms the presence of the magazine upon completion of the regulation in the magazine width direction and checks the pulse motor 35.
Stop supplying power to

【0049】次に、長さ方向規制について説明すると、
パルスモータ65が正回転してマガジンMの長さ方向で
片側に位置する規制部材75が図7に示す他側の規制部
材74に向けて移動する。これによりマガジンMは規制
部材75により押圧されて規制部材74に押し付けら
れ、両規制部材74,75により長さ方向において挾持
された状態となる。前記規制部材73の近接動作と同様
の挾持状態になると、規制部材75はそれ以上移動でき
なくなりパルスモータ65が停止し、エンコーダ70か
らのフィードバックパルス信号も得られなくなる。前記
制御部はマガジン長さ方向の規制完了を確認してパルス
モータ65への給電を停止する。
Next, the length direction regulation will be described.
When the pulse motor 65 rotates forward, the regulating member 75 located on one side in the longitudinal direction of the magazine M moves toward the regulating member 74 on the other side shown in FIG. As a result, the magazine M is pressed by the regulating member 75 and pressed against the regulating member 74, so that the magazine M is held in the longitudinal direction by the regulating members 74 and 75. When the restricting member 73 is in the same holding state as the proximity operation, the restricting member 75 cannot move any more, the pulse motor 65 stops, and the feedback pulse signal from the encoder 70 cannot be obtained. The control unit confirms the completion of the regulation in the magazine length direction, and stops the power supply to the pulse motor 65.

【0050】前記マガジンMは、各規制部材73、7
4、75により囲まれた状態で上下方向に移動自在とな
り、位置決め手段5によるマガジンMの昇降動作が可能
となる。
The magazine M is provided with each of the regulating members 73, 7
In the state surrounded by 4 and 75, the magazine M can be freely moved up and down, and the positioning means 5 can move the magazine M up and down.

【0051】次に、パルスモータ35が逆回転すると共
にパルスモータ45が正回転すると、図8に示すよう
に、各規制部材73、74、75がマガジン幅方向に同
じ分解能及び同じ速度で同期して移動してリードフレー
ムL\Fを案内する経路の中心110に対して、マガジ
ンMの幅方向における中心が一致した時点で停止する。
Next, when the pulse motor 35 rotates in the reverse direction and the pulse motor 45 rotates in the forward direction, as shown in FIG. 8, the regulating members 73, 74, and 75 synchronize in the magazine width direction with the same resolution and the same speed. The magazine M stops when the center in the width direction of the magazine M coincides with the center 110 of the path for guiding the lead frame L # F.

【0052】前記のようにマガジンMの幅方向中心をリ
ードフレーム搬送経路の中心110に一致させるように
各規制部材73、74、75を同じ方向に移動させる際
(図8に図示の状態)、これらの各規制部材の移動量
は、その前工程として行われる一方の規制部材73のみ
の第1基準位置から停止位置までの移動量をWとするな
らば、W/2に設定される。
When the control members 73, 74, and 75 are moved in the same direction so that the center of the magazine M in the width direction coincides with the center 110 of the lead frame transport path as described above (the state shown in FIG. 8). The amount of movement of each of these regulating members is set to W / 2 if the amount of movement from the first reference position to the stop position of only one regulating member 73 performed as a preceding step is W.

【0053】なお、上記マガジンMの位置出し動作と並
行して図12に示すガイドレール157、158が、マ
ガジンMに収容されるリードフレームL\Fを搬送でき
るようにそのレール間隔を調整する。このレール間隔の
調整は前記各規制部材73、74及び75の調整と同様
に行われる。
In parallel with the positioning operation of the magazine M, the guide rails 157 and 158 shown in FIG. 12 adjust the interval between the rails so that the lead frame L # F accommodated in the magazine M can be transported. The adjustment of the rail interval is performed in the same manner as the adjustment of each of the regulating members 73, 74 and 75.

【0054】上述のようにして、新たに取り扱うべきリ
ードフレームL\F及びマガジンMに応じた調整が完了
する。制御部は、調整を完了すると、各規制部材73、
74及び75並びに各ガイドレール157、158(図
12参照)の設定位置を記憶手段としてのRAMに入力
して記憶させる。そして、再び同種のリードフレームL
\F及びマガジンMが取り扱われる際にこの記憶した情
報を読み出して直ちに位置設定を行う。このように、各
規制部材73、74、75並びに各ガイドレール15
7、158の位置設定を自動的にデジタル制御にて行
い、品種毎のデータを記憶し、必要に応じて該データを
読み出すので品種交換時の設定が容易に行え、時間の短
縮、作業の簡素化が図られる。
As described above, the adjustment according to the lead frame L # F and the magazine M to be newly handled is completed. When the control unit completes the adjustment, each control member 73,
The setting positions of the guide rails 74 and 75 and the guide rails 157 and 158 (see FIG. 12) are input and stored in a RAM serving as storage means. Then, the same kind of lead frame L
When the F and the magazine M are handled, the stored information is read out and the position is set immediately. Thus, each of the regulating members 73, 74, 75 and each of the guide rails 15
7 and 158 are automatically set by digital control, data for each product type is stored, and the data is read out as necessary. This facilitates the setting at the time of product type replacement, shortening time and simplifying work. Is achieved.

【0055】前記幅方向並びに長さ方向の調整完了後、
図1に示す押出手段6が作動して2つのマガジンMのう
ち、下側のマガジンM内に収容されているリードフレー
ムL\Fの押出動作について説明する。
After the completion of the adjustment in the width direction and the length direction,
The pushing operation of the lead frame L # F housed in the lower magazine M of the two magazines M by the operation of the pushing means 6 shown in FIG. 1 will be described.

【0056】図9(a)は、リードフレームL/Mのう
ち最下段の1枚が押し出される時のマガジン受部15及
び各マガジンMのリードフレーム搬送レベル80に対す
る位置を示している。
FIG. 9A shows the magazine receiving portion 15 and the position of each magazine M with respect to the lead frame transport level 80 when one of the lowermost ones of the lead frames L / M is pushed out.

【0057】図9(b)は、1つ目のマガジンM内のす
べてのリードフレームL\Fについてボンディングが終
了した状態におけるマガジン受部15及び各マガジンM
のリードフレーム搬送レベル80に対する位置を示して
いる。
FIG. 9B shows the magazine receiving portion 15 and each of the magazines M in a state where the bonding has been completed for all the lead frames L $ F in the first magazine M.
Of the lead frame with respect to the lead frame transport level 80 is shown.

【0058】図9(c)及び(d)は、1つ目、すなわ
ち下段のマガジンM内のすべてのリードフレームL\F
についてボンディングが終了して該マガジンMが空にな
ると、上方に位置する2つ目のマガジンMが規制部材7
4、75に対して押圧固定され、空になった1つ目のマ
ガジンMのみがマガジン受部15と共に更に下降させら
れて回収位置に達し、該マガジン受部15上から回収さ
れる過程を示す。
FIGS. 9C and 9D show the first, that is, all the lead frames L リ ー ド F in the lower magazine M.
When the magazine M is emptied after bonding is completed, the second magazine M located above is
4 shows a process in which only the first magazine M, which has been pressed and fixed against 4, 75 and is empty, is further lowered together with the magazine receiving portion 15 to reach the collection position and is collected from above the magazine receiving portion 15. .

【0059】次に、図9(d)に示す1つ目のマガジン
M、つまり先行の空のマガジンを回収する際に後続の2
つ目のマガジンMを待機させる動作について図10を参
照して説明する。
Next, when collecting the first magazine M shown in FIG.
The operation of waiting the second magazine M will be described with reference to FIG.

【0060】図10の及びに示すように、マガジン
Mは前側の規制部材73に対して隙間eを隔てられてい
るため、後側の規制部材74,75に対しては円滑に摺
接し、マガジン受部15と共に下降するが、この下降に
より先行のマガジンMが最下段のローラ81を外れる
と、図2に示すパルスモータ35が正回転して規制部材
73が他方の規制部材74(及び75)に向けて近接す
る。つまり、図10のに示すように、規制部材73が
後続のマガジンMに密着し、前後の規制部材73,74
(及び75)がこの後続のマガジンMを挟み込み落下し
ないように保持して待機状態とする。
As shown in FIGS. 10 and 10, the magazine M is separated from the front regulating member 73 by a gap e, so that the magazine M slides smoothly against the rear regulating members 74 and 75, When the preceding magazine M comes off the lowermost roller 81 due to the lowering, the pulse motor 35 shown in FIG. 2 rotates forward and the regulating member 73 causes the other regulating member 74 (and 75) to rotate. Approaching towards. That is, as shown in FIG. 10, the regulating member 73 is in close contact with the subsequent magazine M, and
(And 75) hold the subsequent magazine M so as not to be pinched and fall to a standby state.

【0061】図1に示すパルスモータ35への指令パル
スが制御部からの指令により発せられると、パルスモー
タ35は駆動され、図5及び図6に示す各規制部材73
が第1基準位置から第2基準位置に向けて移動する。こ
のとき、エンコーダ40からのフィードバックパルス信
号は、前記パルスモータ35の回転量に応じた信号が得
られる。図11は、このフィードバックパルス信号をO
Nで示している。そして、前記規制部材73がマガジン
Mを挟持すると、前記フィードバックパルス信号は得ら
れなくなる。図11はこれをOFFで示している。
When a command pulse to the pulse motor 35 shown in FIG. 1 is issued by a command from the control unit, the pulse motor 35 is driven, and each of the regulating members 73 shown in FIGS.
Moves from the first reference position to the second reference position. At this time, as the feedback pulse signal from the encoder 40, a signal corresponding to the rotation amount of the pulse motor 35 is obtained. FIG. 11 shows this feedback pulse signal as O
Indicated by N. When the regulating member 73 clamps the magazine M, the feedback pulse signal cannot be obtained. FIG. 11 shows this as OFF.

【0062】しかしながら、本発明によるボンディング
装置では、このフィードバックパルス信号が得られなく
なった後、すなわちOFFとなった後も制御部は更に指
令パルスを所定回数若しくは所定時間送りその後パルス
モータを停止する。図11では、指令パルスONの連続
した指令状態を示している。これはフィードバックパル
ス信号が得られなくなった後に指令パルスを更に送るこ
とによりマガジンを確実に保持させるための安全率をみ
るためである。
However, in the bonding apparatus according to the present invention, after the feedback pulse signal is no longer obtained, that is, after the feedback pulse signal is turned off, the control unit further sends a command pulse a predetermined number of times or for a predetermined time and then stops the pulse motor. FIG. 11 shows a continuous command state where the command pulse is ON. This is to check the safety factor for reliably holding the magazine by further sending a command pulse after the feedback pulse signal can no longer be obtained.

【0063】こうすることによって、規制部材73はマ
ガジンMを確実に保持してマガジンMの落下を防止す
る。
Thus, the regulating member 73 securely holds the magazine M and prevents the magazine M from falling.

【0064】このようにして後続のマガジンMが待機状
態とされ、図10の及び図11に示すように、空にな
った先行のマガジンMのみがマガジン受部15と共に更
に下降して回収位置に至る。
In this way, the succeeding magazine M is brought into a standby state, and as shown in FIGS. 10 and 11, only the emptied preceding magazine M is further lowered together with the magazine receiving portion 15 to the collection position. Reach.

【0065】1つ目のマガジンMが回収されると、図9
の(e)に示すようにマガジン受部15が再び上昇して
2つ目のマガジンMの底面に当接する。この時点で、前
記パルスモータ35が逆回転して規制部材73,74,
75による2つ目のマガジンMの挟持状態が解除され、
2つ目のマガジンMがマガジン受部15により担持され
る。このときの規制部材73の戻り量は、あらかじめ設
定されたパルスモータ35の回転角度により決定され
る。
When the first magazine M is collected, FIG.
(E), the magazine receiving portion 15 rises again and contacts the bottom surface of the second magazine M. At this point, the pulse motor 35 rotates in the reverse direction and the regulating members 73, 74,
The pinching state of the second magazine M by 75 is released,
The second magazine M is carried by the magazine receiving unit 15. The return amount of the regulating member 73 at this time is determined by a preset rotation angle of the pulse motor 35.

【0066】なお、本実施例では、規制部材73を作動
させて2つ目、つまり後続のマガジンMを待機状態とす
るが、装置の左右方向で移動する規制部材75を作動さ
せて該マガジンMを狭持状態としてもよい。
In the present embodiment, the regulating member 73 is operated to put the second, subsequent magazine M into a standby state. However, the regulating member 75 which moves in the left-right direction of the apparatus is actuated to operate the magazine M. May be held.

【0067】前記2つ目のマガジンMがマガジン受部1
5上に担持されたら、以下、1つ目のマガジンに対する
と同様の一連の動作が行われ、この2つ目のマガジンM
内の各リードフレームL\Fに関してもボンディングが
行われる。なお、図9(d)に示すように、この時、更
に次のマガジンM(二点鎖線で示す)が追加される。
The second magazine M is the magazine receiving section 1
5, a series of operations similar to those for the first magazine are performed, and the second magazine M
Bonding is also performed for each lead frame L # F. At this time, as shown in FIG. 9D, the next magazine M (shown by a two-dot chain line) is further added.

【0068】図2に示すように、マガジンMの回収位置
には受台111が設けられており、マガジン受部15が
最下降位置に至るとマガジンMは受台111上に載置さ
れる。なお、マガジンMは、マガジン受部15が最下降
位置に達するよりも少し上方で受台111の上面に当接
して載置され、図9(d)に示すように、マガジン受部
15は最下降位置に達した時点でマガジンMから離脱す
る。なお、図9(d)において、この離脱の距離をαで
示している。
As shown in FIG. 2, a receiving stand 111 is provided at the collection position of the magazine M, and when the magazine receiving section 15 reaches the lowest position, the magazine M is placed on the receiving stand 111. Note that the magazine M is placed in contact with the upper surface of the receiving stand 111 slightly above the magazine receiving portion 15 reaching the lowermost position, and as shown in FIG. When it reaches the lowering position, it leaves the magazine M. In FIG. 9D, the distance of the separation is indicated by α.

【0069】また、図2に示すようにマガジン排出手段
は、各々二点鎖線及び実線で示す排出位置及び非排出位
置の間で往復動自在にしてマガジンMを排出するための
排出部材117と、この排出部材117をその出力軸1
18aの往復動によって作動させる駆動手段としての
(エア)シリンダ機構118とからなる。
Further, as shown in FIG. 2, the magazine discharging means includes a discharging member 117 for reciprocatingly discharging the magazine M between a discharging position and a non-discharging position indicated by a two-dot chain line and a solid line, respectively. This discharging member 117 is connected to the output shaft 1
And (air) cylinder mechanism 118 as a driving means operated by the reciprocating motion of 18a.

【0070】また、図10に示す規制部材73に設けら
れた各ローラ81は、規制部材73の一端にて固定され
た板ばね81aの自由端部に装着されており、図10の
に示すように、規制部材73のマガジンMに対する近
接動作に伴って該板ばね81aが撓む。
Each of the rollers 81 provided on the regulating member 73 shown in FIG. 10 is mounted on the free end of a leaf spring 81a fixed at one end of the regulating member 73, as shown in FIG. Then, the leaf spring 81a bends as the regulating member 73 approaches the magazine M.

【0071】図10に示す前記規制部材73のマガジン
Mとの当接部には、ウレタンゴムやネオプレーンゴム、
合成樹脂など、比較的高い摩擦係数を有する摩擦部材7
3cが貼設されており、これによって後続のマガジンM
をしっかりと保持することが可能となっている。また、
鋼材等で接触面積を小さくしてポイントで押圧する部材
であってもよい。
A urethane rubber or a neoprene rubber,
Friction member 7 having a relatively high friction coefficient, such as synthetic resin
3c is affixed, so that the subsequent magazine M
Can be held firmly. Also,
It may be a member made of steel or the like to reduce the contact area and press at a point.

【0072】[0072]

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、先行のマガジンを回収する際に後続のマガジンを待
機させるために、マガジンを規制する作用をなす規制部
材を兼用している。よって、部品点数の大幅な削減が可
能となり、原価低減や信頼性の向上に貢献できる。
As described above, in the present invention, in order to make the following magazine stand by when collecting the preceding magazine, the regulating member serving to regulate the magazine is also used. Therefore, the number of parts can be significantly reduced, which can contribute to cost reduction and improvement in reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るワイヤボンディング装置の一部断
面を含む平面図である。
FIG. 1 is a plan view including a partial cross section of a wire bonding apparatus according to the present invention.

【図2】図1の一部断面を含むA−A矢視図である。FIG. 2 is an AA arrow view including a partial cross section of FIG. 1;

【図3】図1のB−B矢視図である。FIG. 3 is a view taken in the direction of arrows BB in FIG. 1;

【図4】図1の一部断面を含むC−C矢視図である。FIG. 4 is a view taken in the direction of arrows CC including a partial cross section of FIG.

【図5】図1乃至図4に示したワイヤボンディング装置
の動作説明図である。
FIG. 5 is an operation explanatory diagram of the wire bonding apparatus shown in FIGS. 1 to 4;

【図6】図1乃至図4に示したワイヤボンディング装置
の動作説明図である。
FIG. 6 is an operation explanatory diagram of the wire bonding apparatus shown in FIGS. 1 to 4;

【図7】図1乃至図4に示したワイヤボンディング装置
の動作説明図である。
FIG. 7 is an operation explanatory view of the wire bonding apparatus shown in FIGS. 1 to 4;

【図8】図1乃至図4に示したワイヤボンディング装置
の動作説明図である。
FIG. 8 is an operation explanatory diagram of the wire bonding apparatus shown in FIGS. 1 to 4;

【図9】図1乃至図4に示したワイヤボンディング装置
の動作説明図である。
FIG. 9 is an operation explanatory view of the wire bonding apparatus shown in FIGS. 1 to 4;

【図10】図1乃至図4に示したワイヤボンディング装
置の動作説明図である。
FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the wire bonding apparatus shown in FIGS. 1 to 4;

【図11】図10に示す規制部材のタイムチャートであ
る。
11 is a time chart of the regulating member shown in FIG.

【図12】従来のワイヤボンディング装置の平面図であ
る。
FIG. 12 is a plan view of a conventional wire bonding apparatus.

【図13】図12に示したワイヤボンディング装置の一
部断面を含む側面図である。
FIG. 13 is a side view including a partial cross section of the wire bonding apparatus shown in FIG.

【図14】図12に示したワイヤボンディング装置の要
部の平面図である。
FIG. 14 is a plan view of a main part of the wire bonding apparatus shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

M マガジン L\F リードフレーム
(フレーム) 1 ローダ(マガジン
位置決め排出装置) 5 位置決め手段 6 押出手段 8 ベース 13、35、45、65 パルスモータ 14 昇降部材 15 マガジン受部(可
動担持部材) 21 固定フレーム 23、24 可動フレーム 26、27、56 駆動手段 40、50、70、113 エンコーダ 53 可動ブラケット 73、74、75 規制部材 80 リードフレーム搬
送レベル 111 受台 117 排出部材 155 ヒータープレート 157、158 ガイドレール 170 装置架台
M Magazine L\F Lead frame (frame) 1 Loader (magazine positioning and discharging device) 5 Positioning means 6 Pushing means 8 Base 13, 35, 45, 65 Pulse motor 14 Elevating member 15 Magazine receiving part (movable supporting member) 21 Fixed frame 23, 24 Movable frame 26, 27, 56 Driving means 40, 50, 70, 113 Encoder 53 Movable bracket 73, 74, 75 Restriction member 80 Lead frame transport level 111 Cradle 117 Ejection member 155 Heater plate 157, 158 Guide rail 170 Equipment stand

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フレームを複数枚配列収容するマガジン
を供給位置に保持してフレーム配列方向に移動位置決め
して所定回収位置まで移動させる位置決め手段と、 前記マガジンをその移動方向に対して略垂直な方向にお
いて規制する規制手段と、 前記回収位置に至ったマガジンを排出するマガジン排出
手段とを備えたマガジン位置決め排出装置において、 前記規制手段は、 相対的に可動にして前記マガジンとの当接部に摩擦部材
が設けられて該マガジンを規制する規制部材と、 該規制部材を制御部からの指令パルスにより移動させる
駆動手段と、 前記駆動手段の回転量に応じたフィードバックパルス信
号を発生させる信号発生手段とを備え、 前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位置に移
動させる際、後続のマガジンを前記規制部材により挟持
して待機するとき、前記信号発生手段からのフィードバ
ックパルス信号が得られなくなった後、所定回数若しく
は所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出させる
構成としたことを特徴とするマガジン位置決め排出装
置。
1. A positioning means for holding a magazine accommodating a plurality of frames in a supply position, moving and positioning the magazine in a frame arrangement direction, and moving the magazine to a predetermined collection position, and moving the magazine substantially perpendicular to the moving direction. In a magazine positioning / ejecting device provided with a regulating means for regulating in a direction, and a magazine discharging means for discharging the magazine which has reached the collection position, the regulating means is relatively movable and is provided at a contact portion with the magazine. A regulating member provided with a friction member for regulating the magazine; a driving unit for moving the regulating member by a command pulse from a control unit; and a signal generating unit for generating a feedback pulse signal according to a rotation amount of the driving unit. When the positioning means moves the preceding magazine to the collection position, the subsequent magazine is regulated Magazine positioning characterized in that the command pulse is transmitted to the driving means a predetermined number of times or for a predetermined time after the feedback pulse signal from the signal generation means is no longer obtained when the apparatus is in a standby state while being sandwiched by materials. Discharge device.
【請求項2】 前記駆動手段は、ねじ軸と、このねじ軸
を回転駆動するパルスモータと、ねじ軸に螺合するナッ
トで構成されてなることを特徴とする請求項1に記載の
マガジン位置決め装置。
2. The magazine positioning apparatus according to claim 1, wherein said driving means comprises a screw shaft, a pulse motor for rotating and driving said screw shaft, and a nut screwed to said screw shaft. apparatus.
【請求項3】 前記信号発生手段は、エンコーダである
ことを特徴とする請求項1に記載のマガジン位置決め装
置。
3. The magazine positioning device according to claim 1, wherein said signal generating means is an encoder.
【請求項4】 前記摩擦部材は、ウレタンゴム、合成樹
脂若しくは鋼材等で接触面積を小さくしてポイントで押
圧する部材からなることを特徴とする請求項1に記載の
マガジン位置決め装置。
4. The magazine positioning apparatus according to claim 1, wherein the friction member is made of urethane rubber, synthetic resin, steel, or the like, and is a member that has a small contact area and is pressed at a point.
【請求項5】 フレームを複数枚配列収容するマガジン
を供給位置に保持してフレーム配列方向に移動位置決め
して所定回収位置まで移動させる位置決め手段と、 前記マガジンをその移動方向に対して略垂直な方向にお
いて規制する規制手段と、 前記回収位置に至ったマガジンを排出するマガジン排出
手段と、前記フレームを前記マガジンとボンディングス
テージとの間で移送するフレーム移送手段と、 前記ボンディングステージに至ったフレームに対してボ
ンディング作業を施すボンディング手段とを備えたボン
ディング装置において、 前記規制手段は、 相対的に可動にして前記マガジンとの当接部に摩擦部材
が設けられて該マガジンを規制する規制部材と、 該規制部材を制御部からの指令パルスにより移動させる
駆動手段と、 前記駆動手段の回転量に応じたフィードバックパルス信
号を発生させる信号発生手段とを備え、 前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位置に移
動させる際、後続のマガジンを前記規制部材により挟持
して待機するとき、前記信号発生手段からのフィードバ
ックパルス信号が得られなくなった後、所定回数若しく
は所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出させる
構成としたことを特徴とするボンディング装置。
5. A positioning means for holding a magazine for accommodating a plurality of frames at a supply position, moving and positioning the magazine in a direction in which the frames are arranged, and moving the magazine to a predetermined collection position, wherein the magazine is substantially perpendicular to the moving direction. Regulating means for regulating the direction, a magazine discharging means for discharging the magazine that has reached the collection position, a frame transferring means for transferring the frame between the magazine and the bonding stage, and a frame that has reached the bonding stage. A bonding member having bonding means for performing a bonding operation with respect to the bonding device, wherein the regulating means is relatively movable, and a friction member is provided at a contact portion with the magazine to regulate the magazine; and Driving means for moving the regulating member by a command pulse from a control unit; Signal generating means for generating a feedback pulse signal according to the amount of rotation of the means, when the positioning means moves the preceding magazine to the collection position, and when the subsequent magazine is held by the regulating member to stand by A bonding apparatus, wherein the command pulse is transmitted to the driving means a predetermined number of times or for a predetermined time after the feedback pulse signal from the signal generating means is no longer obtained.
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KR100332985B1 (en) * 2000-04-18 2002-04-15 김영건 Magazine mounting apparatus for semiconductor package

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