JPH1193942A - Dynamic pressure bearing, manufacture of dynamic pressure bearing, and deflection scanning device using dynamic pressure bearing - Google Patents

Dynamic pressure bearing, manufacture of dynamic pressure bearing, and deflection scanning device using dynamic pressure bearing

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JPH1193942A
JPH1193942A JP27644497A JP27644497A JPH1193942A JP H1193942 A JPH1193942 A JP H1193942A JP 27644497 A JP27644497 A JP 27644497A JP 27644497 A JP27644497 A JP 27644497A JP H1193942 A JPH1193942 A JP H1193942A
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JP
Japan
Prior art keywords
dynamic pressure
fixed sleeve
pressure bearing
diamond
deflection scanning
Prior art date
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Pending
Application number
JP27644497A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazumi Sato
一身 佐藤
Mikio Nakasugi
幹夫 中杉
Masayoshi Asami
政義 浅見
Fumihiro Hisazumi
史啓 久積
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Canon Inc
Canon Precision Inc
Original Assignee
Canon Inc
Canon Precision Inc
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Publication date
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Publication of JPH1193942A publication Critical patent/JPH1193942A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dynamic pressure bearing suitably used for a deflection scanning device by providing a fixed sleeve for making a rotating shaft a dynamic pressure bearing, the fixed sleeve is finish worked by cutting with a diamond tool. SOLUTION: A diamond tool 42 is formed of a shank 40 having an outer diameter slightly smaller than the bore diameter of a fixed sleeve 29 to be worked and a diamond tip 41 brazed to a U-shaped cut-out provided on the tip of the shank 40. The fixed sleeve 29 is chucked on a lathe and finished by cutting with the diamond tool. Consequently, the fixed sleeve 29 can be worked with precision of a cylindricity of 1 μm or less, a roundness of 0.5 μm or less, a dispersion of herringbone groove depth of ± 1 μm or less and a surface roughness of 0.3 μm or less. Thus, a dynamic pressure bearing improved in precision of cylindricity, roundness and surface roughness, and a method for manufacturing a dynamic pressure bearing for deflection scanning device can be provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、動圧軸受、動圧軸受製
造方法、さらに、レーザビームプリンタやレーザファク
シミリ等の画像形成装置に用いられ、動圧軸受を備えた
偏向走査装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dynamic pressure bearing, a method for manufacturing a dynamic pressure bearing, and a deflection scanning apparatus having a dynamic pressure bearing used in an image forming apparatus such as a laser beam printer or a laser facsimile. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザビームプリンタやレーザファクシ
ミリ等の画像形成装置に用いられる偏向走査装置は、高
速回転する回転多面鏡によってレーザビーム等の光ビー
ムを反射させる。このようにして得られた回転多面鏡の
走査光を回転ドラム上の感光体に結像させて静電潜像を
形成する。次いで、感光体の静電潜像を現像装置によっ
てトナー像に顕像化し、これを記録紙等の記録媒体に転
写して定着装置へ送り、記録媒体上のトナーを加熱定着
させることで印刷が行われる。
2. Description of the Related Art A deflection scanning device used in an image forming apparatus such as a laser beam printer or a laser facsimile reflects a light beam such as a laser beam by a rotating polygon mirror rotating at a high speed. The scanning light of the rotating polygon mirror thus obtained is formed on a photosensitive member on a rotating drum to form an electrostatic latent image. Next, the electrostatic latent image on the photoreceptor is visualized into a toner image by a developing device, transferred to a recording medium such as recording paper and sent to a fixing device, and the toner on the recording medium is heated and fixed to perform printing. Done.

【0003】回転多面鏡を回転させるモータの軸受には
回転ムラや騒音、振動が少ないことが要請され、そのた
め高い加工精度が要求される。そのような高い軸受精度
を確保する手段の一つとして、回転によって発生する流
体の動圧で軸支する動圧軸受が使用されている。この動
圧軸受は、固定スリーブの内径に少なくとも一つのパタ
ーンの動圧発生溝が形成され、回転軸と前記固定スリー
ブの相対運動のポンピング作用により軸荷重を支承する
ように構成される。
[0003] The bearing of a motor for rotating a rotary polygon mirror is required to have low rotation unevenness, noise and vibration, and therefore high processing accuracy is required. As one of means for ensuring such high bearing accuracy, a dynamic pressure bearing which is supported by a dynamic pressure of a fluid generated by rotation is used. The dynamic pressure bearing has at least one pattern of dynamic pressure generating grooves formed in the inner diameter of the fixed sleeve, and is configured to support an axial load by a pumping action of a relative motion between the rotating shaft and the fixed sleeve.

【0004】例えば、図5は特開平7−199105号
に記載された一従来例による偏向走査装置の主要部を示
す断面図である。この偏向走査装置は、固定スリーブ1
01に嵌合する回転軸102にフランジ部材103を一
体化して該フランジ部材103にロータフレーム10
4、ロータマグネット105を固着し、回転多面鏡10
6をフランジ部材103に押圧してこれらと一体的に結
合させるとともに、固定スリーブ101をハウジング1
07に固定支持させ、モータ回路基板110上に立設さ
せたステータコイル108を励磁することで、ロータマ
グネット105と回転多面鏡106を一体的に回転させ
るものである。
For example, FIG. 5 is a sectional view showing a main part of a deflection scanning apparatus according to a conventional example described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-199105. The deflection scanning device includes a fixed sleeve 1
01, a flange 103 is integrated with a rotating shaft 102 to be fitted to the rotor frame 10.
4. The rotor magnet 105 is fixed and the rotating polygon mirror 10 is fixed.
6 is pressed against the flange member 103 to be integrally connected thereto, and the fixed sleeve 101 is attached to the housing 1.
07, the rotor magnet 105 and the rotating polygon mirror 106 are integrally rotated by exciting the stator coil 108 erected on the motor circuit board 110.

【0005】109は固定スリーブの内周面に設けたヘ
リングボーン状の溝を示し、この溝には潤滑油が注油さ
れラジアル動圧軸受を構成する。また回転軸102の下
端面には、スラスト板111による動圧スラスト軸受が
構成されている。前記固定スリーブ101は、その内周
面を例えば特開平7−246436号に記載されるよう
な構成によってボールサイジングを行うことで仕上げさ
れている。また特開平2−80814号のような構成に
よりローラバニッシングで仕上げるといった方法もあ
る。
Reference numeral 109 denotes a herringbone-shaped groove provided on the inner peripheral surface of the fixed sleeve, and lubricating oil is injected into this groove to constitute a radial dynamic pressure bearing. On the lower end surface of the rotating shaft 102, a dynamic pressure thrust bearing constituted by a thrust plate 111 is formed. The fixed sleeve 101 is finished by performing ball sizing on the inner peripheral surface thereof by, for example, a configuration described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-246436. There is also a method of finishing by roller burnishing with a configuration as disclosed in JP-A-2-80814.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の技術によれば、偏向走査装置における偏向器の回
転スリーブの内径加工仕上げをボールサイジングやロー
ラバニッシングによって行っているため、最終的なヘリ
ングボーン状の溝の深さがばらつくとともに回転スリー
ブ内径の円筒度や真円筒も悪くなる。また、ボールサイ
ジングの場合、ボールをスリーブ内径に通す際に、スリ
ーブ内面に溝加工時の盛り上がり部がボールによって削
られボール表面や内周面に付着し、内周面を粗くする可
能性もある。またツールの磨耗、傷の発生等によって軸
受内径の所定精度が得られないことがある。このように
ラジアル動圧軸受の各構成精度が得られていない軸受を
偏向走査装置に用いた場合、軸受剛性が不安定となり、
回転ムラの悪化や軸振れ、振動の増加の原因になる。ま
た耐久性の低下を引き起こす。
However, according to the above-mentioned prior art, the inner diameter of the rotary sleeve of the deflector in the deflection scanning device is finished by ball sizing or roller burnishing. As the depth of the groove fluctuates, the cylindricity of the inner diameter of the rotating sleeve and the true cylinder also deteriorate. Also, in the case of ball sizing, when the ball is passed through the inner diameter of the sleeve, the raised portion during groove processing on the inner surface of the sleeve is shaved by the ball and adheres to the ball surface and the inner peripheral surface, and the inner peripheral surface may be roughened. . Also, a predetermined accuracy of the bearing inner diameter may not be obtained due to wear of the tool, generation of scratches, and the like. When a radial dynamic pressure bearing in which the accuracy of each component is not obtained is used for a deflection scanning device, the bearing rigidity becomes unstable,
It causes deterioration of rotation unevenness, shaft runout, and increase in vibration. In addition, the durability is reduced.

【0007】本発明は、偏向走査装置に用いられるのに
適した動圧軸受、およびそのような動圧軸受の製造方法
を提供することを目的とする。
It is an object of the present invention to provide a dynamic pressure bearing suitable for use in a deflection scanning device, and a method of manufacturing such a dynamic pressure bearing.

【0008】本発明は、また、偏向走査装置における偏
向器の軸受特性を改善し、耐久性を向上させることを目
的とする。
Another object of the present invention is to improve the bearing characteristics of the deflector in the deflection scanning device and improve the durability.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の動圧軸受は、内径にボール転造によって
浅溝が形成され、その後ダイヤモンドバイトによる切削
によって仕上げ加工が行なわれた、回転軸を動圧軸受す
るための固定スリーブを有することを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, a hydrodynamic bearing of the present invention has a shallow groove formed in the inner diameter by ball rolling, and then is finished by cutting with a diamond cutting tool. And a fixed sleeve for dynamic bearing the rotating shaft.

【0010】また、本発明の動圧軸受の製造方法は、回
転軸を動圧軸受するための固定スリーブの内径にボール
転造によって浅溝を形成し、その後ダイヤモンドバイト
による切削によって仕上げ加工を行うことを特徴とす
る。
Further, in the method of manufacturing a dynamic pressure bearing of the present invention, a shallow groove is formed by ball rolling in the inner diameter of a fixed sleeve for dynamic pressure bearing of a rotating shaft, and then finishing is performed by cutting with a diamond bite. It is characterized by the following.

【0011】さらにまた、本発明の偏向走査装置は、固
定スリーブに回転自在に嵌合する回転軸と、前記回転軸
に支持された回転多面鏡と、前記回転軸に支持されたロ
ータマグネットとこれに対向するステータを備えた駆動
部を有し、前記固定スリーブの内周面に動圧発生のため
の浅溝を設け、前記回転軸との隙間に潤滑油が介在する
オイル動圧軸受を構成する偏向走査装置であって、前記
固定スリーブの内径はボール転造によって浅溝が形成さ
れ、その後、仕上げ加工にダイヤモンドバイトを用いて
切削が行なわれることを特徴とする。
Still further, the deflection scanning apparatus of the present invention comprises: a rotating shaft rotatably fitted to a fixed sleeve; a rotating polygon mirror supported by the rotating shaft; a rotor magnet supported by the rotating shaft; An oil dynamic pressure bearing having a drive unit provided with a stator facing the rotary shaft, a shallow groove for generating dynamic pressure provided on an inner peripheral surface of the fixed sleeve, and lubricating oil interposed in a gap between the rotating shaft and the rotating shaft. In the deflection scanning device, a shallow groove is formed in the inner diameter of the fixed sleeve by ball rolling, and thereafter, cutting is performed using a diamond bite for finishing.

【0012】また浅溝の加工前に天然のダイヤモンドの
単結晶のバイトを用いて切削しておくとよい。また浅溝
加工と天然ダイヤモンドの単結晶バイトによる内径加工
がワャックで加工するのがよい。
Further, it is preferable to use a natural diamond single crystal cutting tool before machining the shallow groove. In addition, it is preferable that the shallow groove processing and the inner diameter processing using a single crystal tool of natural diamond be processed by a wax.

【0013】[0013]

【作用】上述の構成を有する偏向走査装置では、軸受固
定スリーブの内径仕上げを刃物先端の形状創成を高精度
に行える天然ダイヤモンドの単結晶バイトを用いて切削
によって行うため、固定スリーブの内径の円筒度、表面
粗さ、動圧発生用のヘリングボーン状の溝の深さといっ
たラジアル動圧軸受を構成する各部分の寸法精度が向上
し、偏向器の軸受特性が改善するとともに耐久性も向上
する。
In the deflection scanning device having the above-described configuration, the inner diameter of the bearing fixing sleeve is finished by cutting with the use of a natural diamond single crystal cutting tool capable of creating the shape of the blade tip with high precision. The dimensional accuracy of each part constituting the radial dynamic pressure bearing, such as the degree, surface roughness, and depth of the herringbone-shaped groove for generating dynamic pressure, is improved, and the bearing characteristics of the deflector are improved and the durability is also improved. .

【0014】また、浅溝の加工前にも天然ダイヤモンド
の単結晶のバイトを用いて切削することで、浅溝加工前
のブランク状態での円筒度、真円度、表面粗さが向上す
るため、浅溝の形状が安定するとともに、仕上げ加工時
の取り代を少なくすることができ、円筒度、真円度、溝
深さ等の精度がさらに向上する。
Further, by cutting using a single crystal tool of natural diamond before machining the shallow groove, the cylindricity, roundness, and surface roughness in a blank state before the machining of the shallow groove are improved. In addition, the shape of the shallow groove is stabilized, and the machining allowance at the time of finishing can be reduced, and the accuracy of cylindricity, roundness, groove depth, and the like is further improved.

【0015】また、溝加工と内径加工をワンチャックで
加工することにより、溝加工時ならびにダイヤモンドバ
イトによる仕上げ加工時の同軸度が出し易くなり、溝深
さのばらつき等を小さくすることが可能となる。
Further, by performing the groove processing and the inner diameter processing with one chuck, the coaxiality can be easily obtained at the time of the groove processing and at the time of the finishing processing with the diamond tool, and the variation in the groove depth can be reduced. Become.

【0016】[0016]

【実施例】本発明を図1に図示の実施例に基づいて詳細
に説明する。図1は本発明の実施例の偏向走査装置の概
略平面図である。光学箱21の一部にはレーザユニット
22が取り付けられており、このレーザユニット22か
らのレーザ光束の進行方向には、シリンドリカルレンズ
23および偏向器24が光学箱21の内部に配置されて
いる。偏向器24の回転多面鏡35により偏向されたレ
ーザ光束の進行方向には、レンズ25、26が光学箱2
1の内部に配置され、感光ドラム27が光学箱21の外
部に配置されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the embodiment shown in FIG. FIG. 1 is a schematic plan view of a deflection scanning device according to an embodiment of the present invention. A laser unit 22 is attached to a part of the optical box 21, and a cylindrical lens 23 and a deflector 24 are arranged inside the optical box 21 in a traveling direction of a laser beam from the laser unit 22. In the traveling direction of the laser beam deflected by the rotary polygon mirror 35 of the deflector 24, the lenses 25 and 26
1, and the photosensitive drum 27 is disposed outside the optical box 21.

【0017】偏向器24では、図2の断面図に示すよう
に光学箱21に固定されるモータ回路基板38に固定ス
リーブ29が立設され、固定スリーブ29には回転軸3
0が回転自在に嵌合されている。回転軸30の外周には
アルミニウム、黄銅等により形成されたフランジ部材3
1が焼嵌め、圧入等により固定され、このフランジ部材
31の上面には上述した回転多面鏡35が押えばね33
にり固定され、フランジ部材31の外周下部に駆動マグ
ネット34が焼嵌め、接着等もしくは一体成形されるこ
とにより固定されている。モータ回路基板38の上面に
は、ステータ50が駆動マグネット34に対向するよう
に配置されている。
In the deflector 24, a fixed sleeve 29 is erected on a motor circuit board 38 fixed to the optical box 21 as shown in the sectional view of FIG.
0 is rotatably fitted. A flange member 3 made of aluminum, brass or the like is provided on the outer periphery of the rotating shaft 30.
1 is fixed by shrink-fitting, press-fitting, or the like.
The drive magnet 34 is glued and fixed to the lower portion of the outer periphery of the flange member 31 by shrink fitting, bonding or the like, or integrally formed. A stator 50 is disposed on the upper surface of the motor circuit board 38 so as to face the drive magnet 34.

【0018】また、固定スリーブ29の内径はヘリング
ボーン状の溝36、37を有している。51はスラスト
板で回転軸30の下部の球面部(大きな半径の円弧形
状)と当接している。39は固定スリーブ29と回転3
0の隙間に注油された潤滑油である。ここで固定スリー
ブの内径は、例えば特開昭54−84155号に開示さ
れているような溝加工工具により複数のボールを前記固
定スリーブの内径面に押し付けながら塑性加工を行い、
その後、図3の模式図に示すようなダイヤモンドバイト
で切削加工することで仕上げられている。
The inner diameter of the fixed sleeve 29 has herringbone grooves 36 and 37. Reference numeral 51 denotes a thrust plate which is in contact with a spherical portion (arc having a large radius) below the rotary shaft 30. 39 is fixed sleeve 29 and rotation 3
This is the lubricating oil that has been injected into gap 0. Here, the inner diameter of the fixed sleeve is subjected to plastic working while pressing a plurality of balls against the inner diameter surface of the fixed sleeve by a groove processing tool as disclosed in, for example, JP-A-54-84155.
Then, it is finished by cutting with a diamond tool as shown in the schematic diagram of FIG.

【0019】このダイヤモンドバイト42は加工対象と
なる固定スリーブ29の内径よりわずかに小さい外径の
シャンク40、および前記シャンク40の先端に設けら
れたコの字型の切りかきにろう付けされたダイヤモンド
チップ41により構成されている(図3b参照)。旋盤
に固定スリーブ29をチャッキングし、本実施例のダイ
ヤモンドバイトで切削し仕上げた結果、円筒度1μm以
下、真円度0.5μm以下、ヘリングボーン状の溝深さ
のばらつき±1μm以下、表面粗さ0.3μm以下の精
度で加工することができた。なお、本テスト加工におい
て、前記ダイヤモンドチップ41として天然ダイヤモン
ドを採用している。
The diamond cutting tool 42 has a shank 40 having an outer diameter slightly smaller than the inner diameter of the fixed sleeve 29 to be machined, and a diamond brazed to a U-shaped cutout provided at the tip of the shank 40. It is composed of a chip 41 (see FIG. 3b). As a result of chucking the fixed sleeve 29 on the lathe and cutting and finishing with the diamond bite of this embodiment, the cylindricity is 1 μm or less, the roundness is 0.5 μm or less, the variation of the herringbone groove depth ± 1 μm or less, the surface Processing was possible with an accuracy of a roughness of 0.3 μm or less. In this test processing, natural diamond is used as the diamond tip 41.

【0020】天然ダイヤモンドは通常の切削加工工具材
料の高速銅鋼や超硬合金に比べて、刃先の形状創成を高
精度に行うことができるため、刃物形状の加工対象への
転写性が良好であり、チャックによる変形等の付加的な
要素を除けば、工具と加工対象との間の相対運動の軌跡
が加工対象にそのまま転写される「母性原則」がほぼ成
り立つ。この時理論表面粗さAは送り速度をf、刃物の
先端半径をRとすると A=f2 /8R と表すことができる。例えば送り速度0.02mm/r
ev、先端半径0.2mmとすると理論表面粗さ0.2
5μmが得られる。
Since natural diamond can create the shape of the cutting edge with higher precision than the ordinary cutting tool materials of high-speed copper steel and cemented carbide, the transferability of the blade shape to the object to be machined is good. Except for an additional element such as deformation due to the chuck, the "maternal principle" that the trajectory of the relative motion between the tool and the processing target is directly transferred to the processing target is substantially satisfied. At this time, the theoretical surface roughness A can be expressed as A = f 2 / 8R where f is the feed speed and R is the tip radius of the blade. For example, feed rate 0.02mm / r
ev, the theoretical surface roughness 0.2 when the tip radius is 0.2 mm
5 μm is obtained.

【0021】一方、本発明の偏向走査装置に用いるオイ
ル動圧軸受は回転中のラジアル軸受面は非接触である
が、回転の停止により回転軸30と固定スリーブ29は
接触する。このため固定スリーブ29の内周面の表面粗
さが大きいと度重なる接触により凝着や磨耗を起こし、
起動・停止に対する耐久性が低下する。この対策として
固定スリーブ29の内周面のヘリングボーン状の溝3
6、37以外の停止時に回転軸30が当接する非溝加工
部の表面粗さは1μm以下にする必要がある。また、一
般にオイル動圧軸受の軸受隙間は3〜20μmであり、
前記非溝加工部の真円度には通常1μm以下の精度が要
求される。従来のボールサイジングやローラバニッシン
グでは部分的なはがれやむしれがなければ、前述の表面
粗さを達成することは比較的容易であるが、真円度、円
筒度が大きく崩れる結果となっている。しかしながら、
本発明の加工方法によれば良好な表面粗さおよび真円度
を同時に得ることができる。
On the other hand, in the oil dynamic pressure bearing used in the deflection scanning device of the present invention, the radial bearing surface during rotation is not in contact, but the rotation shaft 30 comes into contact with the fixed sleeve 29 when the rotation is stopped. For this reason, if the surface roughness of the inner peripheral surface of the fixed sleeve 29 is large, adhesion and wear occur due to repeated contact,
The durability against start / stop decreases. As a countermeasure, the herringbone-shaped groove 3 on the inner peripheral surface of the fixed sleeve 29 is used.
The surface roughness of the non-grooved portion where the rotating shaft 30 contacts at the time of stop other than 6 and 37 needs to be 1 μm or less. Generally, the bearing clearance of an oil dynamic pressure bearing is 3 to 20 μm,
The roundness of the non-grooved portion usually requires an accuracy of 1 μm or less. With the conventional ball sizing and roller burnishing, it is relatively easy to achieve the above-mentioned surface roughness if there is no partial peeling or peeling, but the roundness and cylindricity are largely lost. However,
According to the processing method of the present invention, good surface roughness and roundness can be simultaneously obtained.

【0022】また浅溝の加工前にも天然タイヤモンドの
単結晶のバイトを用いて切削することで、浅溝加工前の
ブランクの状態での円筒度、真円度、表面粗さが向上す
るため、浅溝の形状が安定するとともに、仕上げ加工時
の取り代を少なくすることができ、円筒度、真円度、溝
深さ等の精度がさらに向上する。
Further, by cutting using a single crystal tool bit of natural tire diamond before machining the shallow groove, the cylindricity, roundness and surface roughness of the blank before the shallow groove machining are improved. Therefore, the shape of the shallow groove can be stabilized, and the machining allowance at the time of finishing can be reduced, and the accuracy of cylindricity, roundness, groove depth, and the like can be further improved.

【0023】また、図4の変形例に示すように旋盤上
で、前述したボールによる浅溝加工工具52と前記ダイ
ヤモンドバイト42による仕上げ加工ならびに浅溝加工
前の前記ダイヤモンドバイト42による内径加工をワン
チャックで加工することで、浅溝加工ならびにダイヤモ
ンドバイトによる仕上げ加工の同軸が精度良く出せるた
めさらに溝深さのばらつきを小さく抑えることができ
る。浅溝加工工具52とダイヤモンドバイト42は、
X、Y方向に可動のステージに取付けられており、仕上
げ加工の同軸が精度良く出せ、また、このダイヤモノド
バイト42は浅溝加工後と浅溝加工前のいずれにも共通
に用いることができる。
Further, as shown in a modified example of FIG. 4, on the lathe, the above-mentioned shallow groove machining tool 52 with the ball and the finish machining with the diamond tool 42 and the inner diameter machining with the diamond tool 42 before the shallow groove machining are performed in one operation. By processing with the chuck, the coaxialness of the shallow groove processing and the finishing processing with the diamond bite can be accurately obtained, so that the variation in the groove depth can be further suppressed. The shallow groove machining tool 52 and the diamond tool 42 are
Attached to a stage movable in the X and Y directions, the coaxial finishing can be accurately performed, and the diamond bit 42 can be used in common both after and before shallow groove processing. .

【0024】このような構成により、偏向器24の回転
軸30は、下端の球面部の一部がスラスト板38に当接
することにより支持され回転する。このとき、ラジアル
方向は固定スリーブ29の内径に設けられたヘリングボ
ーン状の溝と注油された潤滑油のポンピング作用によっ
て回転軸30が浮上し、非接触で回転することができ
る。そして、レーザユニット22からのレーザ光束は、
シリンドリカルレンズ23により偏向器24の回転多面
鏡35に集光され、回転多面鏡35により偏向走査され
る。偏向されたレーザ光束は、レンズ25、26により
感光体27に集光されながら等速度で走査される。
With such a configuration, the rotation shaft 30 of the deflector 24 is supported and rotated by a part of the spherical portion at the lower end contacting the thrust plate 38. At this time, in the radial direction, the rotary shaft 30 floats by the pumping action of the lubricating oil injected into the herringbone-shaped groove provided on the inner diameter of the fixed sleeve 29 and can be rotated in a non-contact manner. And the laser beam from the laser unit 22 is
The light is condensed on the rotating polygon mirror 35 of the deflector 24 by the cylindrical lens 23 and is deflected and scanned by the rotating polygon mirror 35. The deflected laser beam is scanned at a constant speed while being focused on the photoconductor 27 by the lenses 25 and 26.

【0025】ここで、固定スリーブ29の内径部が精度
良く加工されているので、ヘリングボーン状の溝によっ
て発生するポンピング作用にばらつきが少なく安定した
ラジアル動圧を発生することができ、偏向器24の回転
ムラや軸倒れ、振動が少ない。また、ボールサイジング
やバニッシングのように固定スリーブ内径に傷や凝着は
がれによる凹凸がないので磨耗やかじりといった耐久性
に関しても向上する。
Since the inner diameter of the fixed sleeve 29 is precisely machined, a stable radial dynamic pressure can be generated with little variation in the pumping action generated by the herringbone-shaped groove. Less rotation unevenness, shaft tilt and vibration. In addition, since there is no unevenness due to scratches or adhesion peeling on the inner diameter of the fixed sleeve as in ball sizing or burnishing, durability such as wear and galling is improved.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
円筒度、真円度、表面粗さの精度を向上させた動圧軸
受、さらにそのよう動圧軸受を製造する方法が得られ
る。
As described above, according to the present invention,
A dynamic pressure bearing with improved accuracy of cylindricity, roundness, and surface roughness, and a method of manufacturing such a dynamic pressure bearing can be obtained.

【0027】また、本発明に係る偏向走査装置は、ラジ
アル動圧軸受を構成するヘリングボーン状の溝を設けた
固定スリーブの内径仕上げをダイヤモンドバイトで切削
することによって行っているため、またはダイヤモンド
バイトで切削加工した後にボールによってヘリングボー
ン状の溝を設け、再度内径仕上げとしてダイヤモンドバ
イトによる切削を行うことによって固定スリーブの円筒
度、真円度、ヘリンクボーン状の溝の深さといった各構
成要素の精度が向上し、安定したラジアル動圧を発生さ
せることができる。従って、回転ムラ、軸倒れ、振動と
いった軸受の特性を改善することができ、回転多面鏡の
回転を安定させることができる。また軸とスリーブの接
触、かじりを防止して耐久性を向上させる。
In the deflection scanning device according to the present invention, the inner diameter of a fixed sleeve provided with a herringbone-shaped groove constituting a radial dynamic pressure bearing is finished by cutting with a diamond tool. After cutting with a ball, a herringbone-shaped groove is provided by a ball, and cutting with a diamond bite is performed again as an inner diameter finish, so that each component such as the cylindricity of the fixed sleeve, roundness, and the depth of the herringbone-shaped groove And the stable radial dynamic pressure can be generated. Therefore, it is possible to improve the characteristics of the bearing, such as uneven rotation, shaft tilt, and vibration, and to stabilize the rotation of the rotary polygon mirror. Further, the contact between the shaft and the sleeve and galling are prevented to improve durability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明の実施例の偏向走査装置の平面
図である。
FIG. 1 is a plan view of a deflection scanning device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は、本発明の実施例の偏向走査装置の断面
図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the deflection scanning device according to the embodiment of the present invention.

【図3】図3は、偏向走査装置で用いる軸受の加工に用
いるダイヤモノドバイトの図であり、そのうち、図3a
はその側面図であり、図3bはその端面図である。
FIG. 3 is a diagram of a diamond bite used for machining a bearing used in a deflection scanning device, of which FIG.
Is a side view thereof, and FIG. 3b is an end view thereof.

【図4】図4は、実施例の変形例の模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram of a modification of the embodiment.

【図5】図5は、従来例の偏向走査装置の主要断面図で
ある。
FIG. 5 is a main sectional view of a conventional deflection scanning device.

【符号の説明】 21 光学箱 28 モータ回路基板 29 固定スリーブ 30 回転軸 31 フランジ部材 32 押えばね 34 駆動マグネット 35 回転多面鏡 36、37 ヘリングボーン状の溝 51 スラスト板 39 潤滑油 40 シャンク 41 ダイヤモンドチップ 42 ダイヤモンドバイト[Description of Signs] 21 Optical box 28 Motor circuit board 29 Fixed sleeve 30 Rotating shaft 31 Flange member 32 Pressing spring 34 Drive magnet 35 Rotating polygon mirror 36, 37 Herringbone-shaped groove 51 Thrust plate 39 Lubricating oil 40 Shank 41 Diamond chip 42 diamond bite

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅見 政義 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 久積 史啓 東京都目黒区中根2丁目4番19号 キヤノ ン精機株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Masayoshi Asami 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Fumihiro Kuzumi 2-4-1-19 Nakane, Meguro-ku, Tokyo Kyano N Seiki Co., Ltd.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 内径にボール転造によって浅溝が形成さ
れ、その後ダイヤモンドバイトによる切削によって仕上
げ加工が行なわれた、回転軸を動圧軸受するための固定
スリーブを有することを特徴とする動圧軸受。
1. A hydrodynamic bearing having a fixed sleeve for forming a shallow groove on an inner diameter by ball rolling and then finishing by cutting with a diamond tool for hydrodynamic bearing a rotating shaft. bearing.
【請求項2】 請求項1記載の動圧軸受において、ボー
ル転造を行う前に前記ダイヤモンドバイトを用いて切削
が行われ、ブランク状態の固定スリーブの円筒度、真円
度、表面粗さの精度が向上させられていることを特徴と
する動圧軸受。
2. The dynamic pressure bearing according to claim 1, wherein cutting is performed using the diamond tool before rolling the ball, and the cylindricity, roundness, and surface roughness of the blank fixed sleeve are reduced. A dynamic pressure bearing characterized by improved accuracy.
【請求項3】 回転軸を動圧軸受するための固定スリー
ブの内径にボール転造によって浅溝を形成し、その後ダ
イヤモンドバイトによる切削によって仕上げ加工を行う
ことを特徴とする動圧軸受の製造方法。
3. A method of manufacturing a dynamic pressure bearing, comprising forming a shallow groove by ball rolling in the inner diameter of a fixed sleeve for dynamic pressure bearing of a rotating shaft, and then performing finishing by cutting with a diamond bite. .
【請求項4】 請求項3記載の動圧軸受の製造方法にお
いて、ボール転造を行う前に前記ダイヤモンドバイトを
用いて切削を行いブランク状態の固定スリーブの円筒
度、真円度、表面粗さの精度を向上させることを特徴と
する動圧軸受の製造方法。
4. The method of manufacturing a dynamic pressure bearing according to claim 3, wherein the ball is cut using the diamond tool before ball rolling, and the fixed sleeve in a blank state has a cylindricity, a roundness, and a surface roughness. A method for manufacturing a dynamic pressure bearing, characterized by improving the accuracy of the bearing.
【請求項5】 固定スリーブに回転自在に嵌合する回転
軸と、前記回転軸に支持された回転多面鏡と、前記回転
軸に支持されたロータマグネットとこれに対向するステ
ータを備えた駆動部を有し、前記固定スリーブの内周面
に動圧発生のための浅溝を設け、前記回転軸との隙間に
潤滑油が介在するオイル動圧軸受を構成する偏向走査装
置であって、前記固定スリーブの内径はボール転造によ
って浅溝が形成され、その後、仕上げ加工にダイヤモン
ドバイトを用いて切削が行なわれることを特徴とする偏
向走査装置。
5. A drive unit comprising: a rotary shaft rotatably fitted to a fixed sleeve; a rotary polygon mirror supported by the rotary shaft; a rotor magnet supported by the rotary shaft; and a stator opposed to the rotor magnet. Having a shallow groove for generating dynamic pressure on the inner peripheral surface of the fixed sleeve, the deflection scanning device constituting an oil dynamic pressure bearing in which lubricating oil is interposed in the gap between the rotating shaft, A deflection scanning device characterized in that a shallow groove is formed in the inner diameter of a fixed sleeve by ball rolling, and thereafter, cutting is performed using a diamond bite for finishing.
【請求項6】 前記固定スリーブの内径にボール転造に
よって浅溝が形成される前に、前記ダイヤモンドバイト
を用いて切削を行うことを特徴とする請求項5に記載の
偏向走査装置。
6. The deflection scanning apparatus according to claim 5, wherein cutting is performed using the diamond tool before a shallow groove is formed in the inner diameter of the fixed sleeve by ball rolling.
【請求項7】 前記ボール転造による溝加工と前記ダイ
ヤモンドバイトによる内径加工がワンチャックで行われ
ることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の偏
向走査装置。
7. The deflection scanning device according to claim 5, wherein the groove processing by the ball rolling and the inner diameter processing by the diamond tool are performed by one chuck.
【請求項8】 前記ダイヤモンドバイトのダイヤとして
天然ダイヤモンドの単結晶を用いることを特徴とする請
求項5から請求項7のいずれか1つに記載の偏向走査装
置。
8. The deflection scanning device according to claim 5, wherein a single crystal of natural diamond is used as the diamond of the diamond cutting tool.
【請求項9】 前記固定スリーブの内周面において、動
圧発生のための浅溝以外の非溝加工部分の真円度が1μ
m以下であり、かつその表面粗さが1μm以下であるこ
とを特徴とする請求項5から8のいずれか1つに記載の
偏向走査装置。
9. A non-grooved portion other than a shallow groove for generating dynamic pressure on the inner peripheral surface of the fixed sleeve has a roundness of 1 μm.
The deflection scanning device according to any one of claims 5 to 8, wherein the deflection scanning device has a surface roughness of 1 m or less.
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JP2005335055A (en) * 2004-04-28 2005-12-08 Nissan Motor Co Ltd Apparatus and method for machining circular bore

Cited By (2)

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