JPH1183693A - ダストサンプラー - Google Patents
ダストサンプラーInfo
- Publication number
- JPH1183693A JPH1183693A JP24510897A JP24510897A JPH1183693A JP H1183693 A JPH1183693 A JP H1183693A JP 24510897 A JP24510897 A JP 24510897A JP 24510897 A JP24510897 A JP 24510897A JP H1183693 A JPH1183693 A JP H1183693A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- cyclone
- suction
- nozzle
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 サイクロンへの気体の流入量は確保しなが
ら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダストサンプラ
ーを提供する。 【解決手段】 サイクロンと，このサイクロンの下流に
配設されたフィルターと，このフィルターの下流から気
体を吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの上部
から大流量の気体を吸引して吐出するブロアーを具備す
るダストサンプラーにおいて，前記サイクロンへ気体を
導入する気体導入手段は複数箇所で気体の吸入を可能に
形成した。
ら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダストサンプラ
ーを提供する。 【解決手段】 サイクロンと，このサイクロンの下流に
配設されたフィルターと，このフィルターの下流から気
体を吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの上部
から大流量の気体を吸引して吐出するブロアーを具備す
るダストサンプラーにおいて，前記サイクロンへ気体を
導入する気体導入手段は複数箇所で気体の吸入を可能に
形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，クリーンルーム内の浮
遊微粒子（パーティクル）の元素や組成を分析装置で分
析する際に，分析に先立って微粒子を収集するためのサ
イクロンを用いた高速集塵機（ダストサンプラー）に関
し，集塵すべき箇所の吸入流体の量が少なくてもサイク
ロンとしての機能を維持する様にしたダストサンプラー
に関するものである。
遊微粒子（パーティクル）の元素や組成を分析装置で分
析する際に，分析に先立って微粒子を収集するためのサ
イクロンを用いた高速集塵機（ダストサンプラー）に関
し，集塵すべき箇所の吸入流体の量が少なくてもサイク
ロンとしての機能を維持する様にしたダストサンプラー
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３はダストサンプラーの従来例を示す
構成図である。図において，１はサイクロンであり，そ
の内壁は鏡面に仕上げられている。２ａはサイクロンの
下部１ｂとフィルターホルダー３を結ぶチューブ，４は
フィルターホルダー３に収納されたフィルター，５は例
えば５ｌ／ｍｉｎ程度の小流量の流体を吸引して吐出す
るポンプ，２ｂはフィルターホルダー３とポンプ５を結
ぶチューブ，６は流量計，７は例えば１ｍ3／ｍｉｎ程
度の大流量の流体を吸引して吐出するブロアー，２ｄは
サイクロンの上部１ａとブロア７を結ぶチューブであ
る。
構成図である。図において，１はサイクロンであり，そ
の内壁は鏡面に仕上げられている。２ａはサイクロンの
下部１ｂとフィルターホルダー３を結ぶチューブ，４は
フィルターホルダー３に収納されたフィルター，５は例
えば５ｌ／ｍｉｎ程度の小流量の流体を吸引して吐出す
るポンプ，２ｂはフィルターホルダー３とポンプ５を結
ぶチューブ，６は流量計，７は例えば１ｍ3／ｍｉｎ程
度の大流量の流体を吸引して吐出するブロアー，２ｄは
サイクロンの上部１ａとブロア７を結ぶチューブであ
る。
【０００３】なお，ポンプ５の吸引量は流量計の流量を
見ながらニードル弁６ａにより所望の値に調整する。上
記の構成においてブロア７が駆動されるとサイクロン１
は，その入り口から例えば１ｍ3／ｍｉｎ程度の大容量
の空気を吸入する。このようにして吸引された空気は図
の破線で示すように，サイクロン１内で円運動をしなが
らサイクロン１内で下方に移動し，その後一気にサイク
ロンの上部１ａに吸上げられる。
見ながらニードル弁６ａにより所望の値に調整する。上
記の構成においてブロア７が駆動されるとサイクロン１
は，その入り口から例えば１ｍ3／ｍｉｎ程度の大容量
の空気を吸入する。このようにして吸引された空気は図
の破線で示すように，サイクロン１内で円運動をしなが
らサイクロン１内で下方に移動し，その後一気にサイク
ロンの上部１ａに吸上げられる。
【０００４】また，サイクロン１内に吸引された空気に
含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１の内
壁に押付けられ，その後鏡面に加工されたサイクロン１
の下部へ落下する。このようにして落下した微粒子はポ
ンプ５により吸引され，チューブ２ａを通ってフィルタ
ー４上の例えば５〜１０ｍｍ程度の極く小さな面積上に
補集される。
含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１の内
壁に押付けられ，その後鏡面に加工されたサイクロン１
の下部へ落下する。このようにして落下した微粒子はポ
ンプ５により吸引され，チューブ２ａを通ってフィルタ
ー４上の例えば５〜１０ｍｍ程度の極く小さな面積上に
補集される。
【０００５】１１はパーティクルカウンターであり、フ
ィルター４側に吸引されるパーティクルの数を計数して
過不足のない微粒子をフィルター上に収集するためのも
のである。
ィルター４側に吸引されるパーティクルの数を計数して
過不足のない微粒子をフィルター上に収集するためのも
のである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなダストサ
ンプラーはクリーンルームに配置され，その部屋の清浄
度を測定するための集塵手段として用いるものである
が，例えば装置内の局部の発塵を調査したい様な場合、
大流量の吸引では吸引範囲が広くなって局部の調査が困
難になる。その場合、吸引口の断面積を小さくするとサ
イクロン内が負圧になってブロアに負担がかかり好まし
くない。ブロアの負担を軽減するためにブロアへの供給
電圧を低くして吸引量を少なくすることが考えられる。
ンプラーはクリーンルームに配置され，その部屋の清浄
度を測定するための集塵手段として用いるものである
が，例えば装置内の局部の発塵を調査したい様な場合、
大流量の吸引では吸引範囲が広くなって局部の調査が困
難になる。その場合、吸引口の断面積を小さくするとサ
イクロン内が負圧になってブロアに負担がかかり好まし
くない。ブロアの負担を軽減するためにブロアへの供給
電圧を低くして吸引量を少なくすることが考えられる。
【０００７】しかし、サイクロンは大容量の空気を吸入
し吸引された空気に含まれている微粒子を遠心力によっ
てサイクロン１の内壁に押付けて鏡面に加工されたサイ
クロン１の下部へ落下させるものである。従って、吸入
量が低下すると気体と微粒子の分離が困難になりサイク
ロンとしての機能を果たせないという問題があった。
し吸引された空気に含まれている微粒子を遠心力によっ
てサイクロン１の内壁に押付けて鏡面に加工されたサイ
クロン１の下部へ落下させるものである。従って、吸入
量が低下すると気体と微粒子の分離が困難になりサイク
ロンとしての機能を果たせないという問題があった。
【０００８】本発明は上記従来技術の問題を解決するた
めになされたもので，サイクロンへの気体の流入量は確
保しながら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダスト
サンプラーを提供することを目的とする。
めになされたもので，サイクロンへの気体の流入量は確
保しながら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダスト
サンプラーを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
本発明の構成は，サイクロンと，このサイクロンの下流
に配設されたフィルターと，このフィルターの下流から
気体を吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの上
部から大流量の気体を吸引して吐出するブロアーを具備
するダストサンプラーにおいて，前記サイクロンへ気体
を導入する気体導入手段は複数箇所で気体の吸入を可能
に形成したものである。
本発明の構成は，サイクロンと，このサイクロンの下流
に配設されたフィルターと，このフィルターの下流から
気体を吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの上
部から大流量の気体を吸引して吐出するブロアーを具備
するダストサンプラーにおいて，前記サイクロンへ気体
を導入する気体導入手段は複数箇所で気体の吸入を可能
に形成したものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明によるダストサンプ
ラーの実施の形態の一例を示す構成図である。なお、図
３の従来例と同一要素には同一符号を付して重複する説
明は省略する。図１において２０は気体導入手段であ
り、通常状態での気体導入口の径はＤ0であるとする。
そして、ここでは局所の気体を吸入するために、先端部
に内径Ｄ 1を有するノズル２１が装着されている。
ラーの実施の形態の一例を示す構成図である。なお、図
３の従来例と同一要素には同一符号を付して重複する説
明は省略する。図１において２０は気体導入手段であ
り、通常状態での気体導入口の径はＤ0であるとする。
そして、ここでは局所の気体を吸入するために、先端部
に内径Ｄ 1を有するノズル２１が装着されている。
【００１１】また、本実施例においては，気体導入手段
２０の途中にフィルター２３を有する吸気手段２２が設
けられている。フィルター２３は局部以外からのパーテ
ィクルの侵入を阻止する部材として機能する。なお、サ
イクロン１はブロア７で例えば１．２ｍ3／ｍｉｎの気
体を吸入した場合に最適に機能するものとする。
２０の途中にフィルター２３を有する吸気手段２２が設
けられている。フィルター２３は局部以外からのパーテ
ィクルの侵入を阻止する部材として機能する。なお、サ
イクロン１はブロア７で例えば１．２ｍ3／ｍｉｎの気
体を吸入した場合に最適に機能するものとする。
【００１２】上記の構成において、ノズル２１を例えば
機器（図示省略）内の微粒子発生個所に配置する。そし
て、このノズル部分で０．２ｍ3／ｍｉｎの気体を吸入
する場合は、吸気手段２２で１．０ｍ3／ｍｉｎの気体
を吸入する。なお、吸気手段２２の吸気量はノズル２１
の吸入口の径Ｄ1の変更に応じて替えるものとし、ノズ
ル２１と吸気手段２２からの吸入量が常に１．２ｍ3／
ｍｉｎになるように設計する。
機器（図示省略）内の微粒子発生個所に配置する。そし
て、このノズル部分で０．２ｍ3／ｍｉｎの気体を吸入
する場合は、吸気手段２２で１．０ｍ3／ｍｉｎの気体
を吸入する。なお、吸気手段２２の吸気量はノズル２１
の吸入口の径Ｄ1の変更に応じて替えるものとし、ノズ
ル２１と吸気手段２２からの吸入量が常に１．２ｍ3／
ｍｉｎになるように設計する。
【００１３】図２は最適吸入量が１．２ｍ3のサンプラ
を用い、図１に示す吸気手段２２を閉としてノズル２１
の内径を変化させたときの気体吸入量の変化を示すもの
である。図によればノズルの内径を１２．５ｍｍとした
ときに０．３６ｍ3／ｍｉｎ、１７．５ｍｍとしたとき
に０．５６ｍ3／ｍｉｎ、２５ｍｍとしたときに０．７
２ｍ3／ｍｉｎ程度の吸入量となることが分かる。従っ
て、このノズル２１からの吸引量に吸気手段２２からの
吸引量を加えた全体の吸引量が１．２ｍ3／ｍｉｎとな
る様に吸引手段の吸引量を調節する。
を用い、図１に示す吸気手段２２を閉としてノズル２１
の内径を変化させたときの気体吸入量の変化を示すもの
である。図によればノズルの内径を１２．５ｍｍとした
ときに０．３６ｍ3／ｍｉｎ、１７．５ｍｍとしたとき
に０．５６ｍ3／ｍｉｎ、２５ｍｍとしたときに０．７
２ｍ3／ｍｉｎ程度の吸入量となることが分かる。従っ
て、このノズル２１からの吸引量に吸気手段２２からの
吸引量を加えた全体の吸引量が１．２ｍ3／ｍｉｎとな
る様に吸引手段の吸引量を調節する。
【００１４】なお、本発明の実施の形態ではノズル２１
と吸気手段２２を夫々一つ設けた例について説明した
が、例えば気体導入手段２０を分岐してノズル２１を複
数カ所に配置してもよく、吸気手段２２も複数カ所に設
けてもよい。要はノズル２１側で局所の吸引が可能であ
り、吸引手段で吸入する量と合わせて全体として所定の
吸引量に達すればよい。
と吸気手段２２を夫々一つ設けた例について説明した
が、例えば気体導入手段２０を分岐してノズル２１を複
数カ所に配置してもよく、吸気手段２２も複数カ所に設
けてもよい。要はノズル２１側で局所の吸引が可能であ
り、吸引手段で吸入する量と合わせて全体として所定の
吸引量に達すればよい。
【００１５】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様
に本発明によれば，サイクロンと，このサイクロンの下
流に配設されたフィルターと，このフィルターの下流か
ら気体を吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの
上部から大流量の気体を吸引して吐出するブロアーを具
備するダストサンプラーにおいて，前記サイクロンへ気
体を導入する気体導入手段は複数箇所で気体の吸入を可
能に形成したので，サイクロンへの気体の流入量は確保
しながら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダストサ
ンプラーを実現すサイクロンへの気体の流入量は確保し
ながら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダストサン
プラーを実現することができる。
に本発明によれば，サイクロンと，このサイクロンの下
流に配設されたフィルターと，このフィルターの下流か
ら気体を吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの
上部から大流量の気体を吸引して吐出するブロアーを具
備するダストサンプラーにおいて，前記サイクロンへ気
体を導入する気体導入手段は複数箇所で気体の吸入を可
能に形成したので，サイクロンへの気体の流入量は確保
しながら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダストサ
ンプラーを実現すサイクロンへの気体の流入量は確保し
ながら、局所のみの気体の吸入を可能にしたダストサン
プラーを実現することができる。
【図１】本発明の実施の形態の一例を示すダストサンプ
ラーの構成図である。
ラーの構成図である。
【図２】ノズルの内径と吸引流量の関係を示す図であ
る。
る。
【図３】従来のダストサンプラーを示す構成図である。
１ サイクロン ２ チューブ ３ フィルターホルダ ４ フィルター ５ 吸引ポンプ ６ 流量計 ７ ブロアー １１ パーティクルカウンタ １２ 加振器 ２０ 気体導入手段 ２１ ノズル ２２ 吸引手段 ２３ フィルター
Claims (3)
- 【請求項１】サイクロンと，このサイクロンの下流に配
設されたフィルターと，このフィルターの下流から気体
を吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの上部か
ら大流量の気体を吸引して吐出するブロアーを具備する
ダストサンプラーにおいて，前記サイクロンへ気体を導
入する気体導入手段は複数箇所で気体の吸入を可能に形
成したことを特徴とするダストサンプラー。 - 【請求項２】気体導入手段の少なくとも一つの吸入口に
フィルターを設けたことを特徴とする請求項１記載のダ
ストサンプラー。 - 【請求項３】サイクロンに流入する気体が所定の流量に
なる様に前記複数の吸入口からの流入量を調整したこと
を特徴とする請求項１記載のダストサンプラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24510897A JPH1183693A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | ダストサンプラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24510897A JPH1183693A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | ダストサンプラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1183693A true JPH1183693A (ja) | 1999-03-26 |
Family
ID=17128748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24510897A Pending JPH1183693A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | ダストサンプラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1183693A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104280203A (zh) * | 2013-07-01 | 2015-01-14 | 中国农业科学院农业资源与农业区划研究所 | 沙尘采集仪 |
| KR20180088007A (ko) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 건국대학교 산학협력단 | 대기오염 측정 분석을 위한 수분 전처리 장치의 배출장치 및 배출방법 |
-
1997
- 1997-09-10 JP JP24510897A patent/JPH1183693A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104280203A (zh) * | 2013-07-01 | 2015-01-14 | 中国农业科学院农业资源与农业区划研究所 | 沙尘采集仪 |
| KR20180088007A (ko) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 건국대학교 산학협력단 | 대기오염 측정 분석을 위한 수분 전처리 장치의 배출장치 및 배출방법 |
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