JPH1176960A - 超音波洗浄方法及び装置 - Google Patents
超音波洗浄方法及び装置Info
- Publication number
- JPH1176960A JPH1176960A JP24081097A JP24081097A JPH1176960A JP H1176960 A JPH1176960 A JP H1176960A JP 24081097 A JP24081097 A JP 24081097A JP 24081097 A JP24081097 A JP 24081097A JP H1176960 A JPH1176960 A JP H1176960A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- cleaning
- cleaned
- gear
- reflecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波洗浄器の超音波を洗浄対象物全面に当
てる。 【解決手段】 洗浄液３を溜めた洗浄槽１内に収納され
た超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂと該超音波発振面
２ｂに超音波反射面６ａが対向するよう配置された反射
板６の間に洗浄対象物を載置し、前記超音波洗浄器２の
超音波発振面２ｂから反射板６の超音波反射面６ａに向
かって発振された超音波Ｗ及び前記反射板６の超音波反
射面６ａに反射して洗浄対象物側へ戻ってきた超音波Ｗ
を前記洗浄対象物に当て、該洗浄対象物を超音波洗浄す
る。
てる。 【解決手段】 洗浄液３を溜めた洗浄槽１内に収納され
た超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂと該超音波発振面
２ｂに超音波反射面６ａが対向するよう配置された反射
板６の間に洗浄対象物を載置し、前記超音波洗浄器２の
超音波発振面２ｂから反射板６の超音波反射面６ａに向
かって発振された超音波Ｗ及び前記反射板６の超音波反
射面６ａに反射して洗浄対象物側へ戻ってきた超音波Ｗ
を前記洗浄対象物に当て、該洗浄対象物を超音波洗浄す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面が汚れた洗浄
対象物を洗浄する超音波洗浄方法及び装置に関するもの
である。
対象物を洗浄する超音波洗浄方法及び装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】機械部品等の検査対象物の非破壊検査に
は、検査対象物に磁粉をかけて調べる磁気探傷検査があ
り、斯かる磁気探傷検査を行った場合には、検査終了後
に検査対象物に付着した磁粉を取り除くため、洗浄液を
満たした洗浄槽に検査対象物を浸漬して超音波洗浄が行
われている。
は、検査対象物に磁粉をかけて調べる磁気探傷検査があ
り、斯かる磁気探傷検査を行った場合には、検査終了後
に検査対象物に付着した磁粉を取り除くため、洗浄液を
満たした洗浄槽に検査対象物を浸漬して超音波洗浄が行
われている。
【０００３】而して、従来の超音波洗浄方法及び装置
を、図４、図５により説明すると、上面が開口した直方
体状の洗浄槽１の底部には、磁気探傷検査の終了した洗
浄対象物が載置できるよう所要広さの水平な超音波発振
面２ａを上側に有する超音波洗浄器２を備えており、超
音波洗浄器２は、図５に示す如く上側の超音波発振面２
ａから垂直上方へ超音波Ｗ（共振周波数１９．５〜５０
ＫＨｚ）を発振できるよう、内部に超音波発生用振動子
を有している。
を、図４、図５により説明すると、上面が開口した直方
体状の洗浄槽１の底部には、磁気探傷検査の終了した洗
浄対象物が載置できるよう所要広さの水平な超音波発振
面２ａを上側に有する超音波洗浄器２を備えており、超
音波洗浄器２は、図５に示す如く上側の超音波発振面２
ａから垂直上方へ超音波Ｗ（共振周波数１９．５〜５０
ＫＨｚ）を発振できるよう、内部に超音波発生用振動子
を有している。
【０００４】洗浄槽１内には、磁粉で汚れた洗浄対象物
が洗浄液３中へ浸漬されるよう、エタノール等の有機溶
剤や灯油が洗浄液３として収納されている。
が洗浄液３中へ浸漬されるよう、エタノール等の有機溶
剤や灯油が洗浄液３として収納されている。
【０００５】洗浄対象物として、図４、図５に示す如く
大径円盤状の歯車本体４ａの中心に小径円筒体状の軸部
４ｂを接続したギア４を洗浄する場合には、ギア４を洗
浄液３中へ浸漬すると共に、該ギア４を超音波洗浄器２
の超音波発振面２ａ上に、ギア４の歯車本体４ａの外周
下端部と軸部４ｂの反歯車本体４ａ側端部の外周下端部
が超音波発振面２ａ上に接するよう載置し、超音波洗浄
器２の超音波発振面２ａから超音波Ｗを約１０秒間発振
する。
大径円盤状の歯車本体４ａの中心に小径円筒体状の軸部
４ｂを接続したギア４を洗浄する場合には、ギア４を洗
浄液３中へ浸漬すると共に、該ギア４を超音波洗浄器２
の超音波発振面２ａ上に、ギア４の歯車本体４ａの外周
下端部と軸部４ｂの反歯車本体４ａ側端部の外周下端部
が超音波発振面２ａ上に接するよう載置し、超音波洗浄
器２の超音波発振面２ａから超音波Ｗを約１０秒間発振
する。
【０００６】超音波Ｗは、超音波洗浄器２の超音波発振
面２ａの上方に位置するギア４の一部に当たり、磁粉の
汚れを剥離、分散して、ギア４の超音波Ｗの当たる部分
を洗浄する。
面２ａの上方に位置するギア４の一部に当たり、磁粉の
汚れを剥離、分散して、ギア４の超音波Ｗの当たる部分
を洗浄する。
【０００７】又、ギア４の反超音波洗浄器２側の超音波
Ｗが当らない部分は、洗浄されないため、最初の洗浄が
終了した後、人の手によりギア４を周方向に１２０゜回
転（図４の矢印Ｒ方向）して超音波発振面２ａ上に載置
し、再び約１０秒間、超音波Ｗを当て洗浄する。
Ｗが当らない部分は、洗浄されないため、最初の洗浄が
終了した後、人の手によりギア４を周方向に１２０゜回
転（図４の矢印Ｒ方向）して超音波発振面２ａ上に載置
し、再び約１０秒間、超音波Ｗを当て洗浄する。
【０００８】上記のギア４の回転と洗浄の操作をギア４
が周方向に１回転するまで繰返してギア４の全面を洗浄
することができる。
が周方向に１回転するまで繰返してギア４の全面を洗浄
することができる。
【０００９】ギア４に付着した磁粉が洗浄により除去さ
れたかどうかは、洗浄の終了したギア４にブラックライ
トを照射し目視により確認する。
れたかどうかは、洗浄の終了したギア４にブラックライ
トを照射し目視により確認する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の超
音波洗浄方法及び装置においては、超音波洗浄器２の超
音波発振面２ａから発振された超音波Ｗが洗浄対象物に
一定方向からのみしか当たらないため、一定方向の面の
みしか洗浄できず、従って人の手で洗浄対象物を回転さ
せて、まだ洗浄されていない部分に超音波Ｗを当てて洗
浄するという作業を要し、手間がかかると共に、洗浄に
時間がかかるという問題があった。
音波洗浄方法及び装置においては、超音波洗浄器２の超
音波発振面２ａから発振された超音波Ｗが洗浄対象物に
一定方向からのみしか当たらないため、一定方向の面の
みしか洗浄できず、従って人の手で洗浄対象物を回転さ
せて、まだ洗浄されていない部分に超音波Ｗを当てて洗
浄するという作業を要し、手間がかかると共に、洗浄に
時間がかかるという問題があった。
【００１１】本発明は上述の実情に鑑み、洗浄対象物の
全面の洗浄に手間がかからず短時間で行うことのできる
超音波洗浄方法及び装置を提供することを目的としたも
のである。
全面の洗浄に手間がかからず短時間で行うことのできる
超音波洗浄方法及び装置を提供することを目的としたも
のである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波洗浄方法
は、洗浄液を溜めた洗浄槽内に収納された超音波洗浄器
の超音波発振面と該超音波発振面に超音波反射面が対向
するよう配置された反射板の間に洗浄対象物を載置し、
前記超音波洗浄器の超音波発振面から反射板の超音波反
射面に向かって発振された超音波及び前記反射板の超音
波反射面に反射して洗浄対象物側へ戻ってきた超音波を
前記洗浄対象物に当て、該洗浄対象物を超音波洗浄す
る。
は、洗浄液を溜めた洗浄槽内に収納された超音波洗浄器
の超音波発振面と該超音波発振面に超音波反射面が対向
するよう配置された反射板の間に洗浄対象物を載置し、
前記超音波洗浄器の超音波発振面から反射板の超音波反
射面に向かって発振された超音波及び前記反射板の超音
波反射面に反射して洗浄対象物側へ戻ってきた超音波を
前記洗浄対象物に当て、該洗浄対象物を超音波洗浄す
る。
【００１３】本発明の超音波洗浄装置は、洗浄対象物を
浸漬して洗浄するための洗浄液が溜められる洗浄槽と、
洗浄液を満たした前記洗浄槽内に収納される超音波洗浄
器と、該超音波洗浄器の超音波発振面に超音波反射面が
対向するよう前記洗浄槽内の洗浄液内に収納される反射
板を備える。
浸漬して洗浄するための洗浄液が溜められる洗浄槽と、
洗浄液を満たした前記洗浄槽内に収納される超音波洗浄
器と、該超音波洗浄器の超音波発振面に超音波反射面が
対向するよう前記洗浄槽内の洗浄液内に収納される反射
板を備える。
【００１４】本発明の超音波洗浄方法及び装置では、超
音波洗浄器の超音波発振面により反射板の超音波反射面
に向かって発振された超音波を直接洗浄対象物に当てる
と共に反射板の超音波反射面で反射して洗浄対象物側へ
戻ってきた超音波を洗浄対象物に当てるため、洗浄対象
物を回転させなくても当該洗浄対象物の全面を超音波洗
浄でき、従って洗浄に手間がかからず短時間で行うこと
ができる。
音波洗浄器の超音波発振面により反射板の超音波反射面
に向かって発振された超音波を直接洗浄対象物に当てる
と共に反射板の超音波反射面で反射して洗浄対象物側へ
戻ってきた超音波を洗浄対象物に当てるため、洗浄対象
物を回転させなくても当該洗浄対象物の全面を超音波洗
浄でき、従って洗浄に手間がかからず短時間で行うこと
ができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示
例と共に説明する。
例と共に説明する。
【００１６】図１、図２は、本発明の超音波洗浄方法及
び装置を示し、図中、図４、図５と同一の符号を付した
部分は同一物を表わしている。
び装置を示し、図中、図４、図５と同一の符号を付した
部分は同一物を表わしている。
【００１７】従来例と同様な洗浄槽１の底部には、洗浄
槽１の底面より一回り小さい広さの長方形の台座５を有
しており、台座５の長手方向の一端部側には、洗浄槽１
内に収まる大きさの超音波洗浄器２を備えている。又、
超音波洗浄器２は、台座５の長手方向他端部側に面する
垂直面が超音波発振面２ｂとなっており、超音波発振面
２ｂから台座５の長手方向他端部側に向って水平に超音
波Ｗ（例えば共振周波数２８ＫＨｚ）を発振するよう、
超音波洗浄器２の内部に超音波発生用振動子を備えてい
る。
槽１の底面より一回り小さい広さの長方形の台座５を有
しており、台座５の長手方向の一端部側には、洗浄槽１
内に収まる大きさの超音波洗浄器２を備えている。又、
超音波洗浄器２は、台座５の長手方向他端部側に面する
垂直面が超音波発振面２ｂとなっており、超音波発振面
２ｂから台座５の長手方向他端部側に向って水平に超音
波Ｗ（例えば共振周波数２８ＫＨｚ）を発振するよう、
超音波洗浄器２の内部に超音波発生用振動子を備えてい
る。
【００１８】台座５の長手方向の他端部側には、厚さ約
１．６ｍｍのステンレス又はチタン若しくは鉄等の金属
性の反射板６が、台座５上に設置された反射板支持台７
を介して、反射板支持台７よりも超音波洗浄器２側に位
置するよう取付けられている。
１．６ｍｍのステンレス又はチタン若しくは鉄等の金属
性の反射板６が、台座５上に設置された反射板支持台７
を介して、反射板支持台７よりも超音波洗浄器２側に位
置するよう取付けられている。
【００１９】反射板６の超音波反射面６ａは、超音波洗
浄器２の超音波発振面２ｂと対向配置されるようになっ
ていると共に、反射板６の超音波反射面６ａは、超音波
洗浄器２の超音波発振面２ｂの幅及び高さと略等しい幅
及び高さを有し、しかも、図１に示す如く、超音波洗浄
器２の超音波発振面２ｂから発振されて反射板６の超音
波反射面６ａで反射した超音波Ｗは台座５の長手方向に
延びる中央線Ａ上の集点に集束するよう、反射板６は上
面からみて反射板６の中央部から側部へ行くに従って超
音波洗浄器２方向へ近接するよう円弧状（曲率 Ｒ２０
０ｍｍ・円周１２５６ｍｍ）に湾曲している。
浄器２の超音波発振面２ｂと対向配置されるようになっ
ていると共に、反射板６の超音波反射面６ａは、超音波
洗浄器２の超音波発振面２ｂの幅及び高さと略等しい幅
及び高さを有し、しかも、図１に示す如く、超音波洗浄
器２の超音波発振面２ｂから発振されて反射板６の超音
波反射面６ａで反射した超音波Ｗは台座５の長手方向に
延びる中央線Ａ上の集点に集束するよう、反射板６は上
面からみて反射板６の中央部から側部へ行くに従って超
音波洗浄器２方向へ近接するよう円弧状（曲率 Ｒ２０
０ｍｍ・円周１２５６ｍｍ）に湾曲している。
【００２０】洗浄槽１内には、従来例と同様に磁粉で汚
れた洗浄対象物が洗浄液３中へ浸漬されるよう、エタノ
ール等の有機溶剤や灯油が洗浄液３として収納されてい
る。
れた洗浄対象物が洗浄液３中へ浸漬されるよう、エタノ
ール等の有機溶剤や灯油が洗浄液３として収納されてい
る。
【００２１】以下、本発明の実施の形態例の作用を説明
する。
する。
【００２２】洗浄対象物として従来の場合と同様、ギア
４を洗浄する際には、洗浄槽１内に溜めた洗浄液３に浸
漬した超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂと反射板６の
超音波反射面６ａの間にギア４を配置し、ギア４の歯車
本体４ａの外周下端部を台座５上に支持させ、軸部４ｂ
を台座５上に載置した設置台８に支持させる。この際、
ギア４は、軸線が超音波洗浄器２から発振された超音波
Ｗの進行方向と略同一方向へ向くように配置し、超音波
洗浄器２の超音波発振面２ｂから超音波Ｗを約１０秒間
発振する。
４を洗浄する際には、洗浄槽１内に溜めた洗浄液３に浸
漬した超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂと反射板６の
超音波反射面６ａの間にギア４を配置し、ギア４の歯車
本体４ａの外周下端部を台座５上に支持させ、軸部４ｂ
を台座５上に載置した設置台８に支持させる。この際、
ギア４は、軸線が超音波洗浄器２から発振された超音波
Ｗの進行方向と略同一方向へ向くように配置し、超音波
洗浄器２の超音波発振面２ｂから超音波Ｗを約１０秒間
発振する。
【００２３】超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂから発
振された超音波Ｗは、超音波洗浄器２側から直接ギア４
に当ると共に、反射板６の超音波反射面６ａによって反
射されて反射板６側から戻り、超音波反射面６ａの焦点
に集束しつつギア４に当たり、ギア４全面の磁粉の汚れ
を剥離、分散して、ギア４の全面を洗浄する。
振された超音波Ｗは、超音波洗浄器２側から直接ギア４
に当ると共に、反射板６の超音波反射面６ａによって反
射されて反射板６側から戻り、超音波反射面６ａの焦点
に集束しつつギア４に当たり、ギア４全面の磁粉の汚れ
を剥離、分散して、ギア４の全面を洗浄する。
【００２４】このため、人の手で洗浄対象物を回転させ
るという作業を減らせるので、手間がかからず短時間で
洗浄対象物の洗浄を行うことができる。
るという作業を減らせるので、手間がかからず短時間で
洗浄対象物の洗浄を行うことができる。
【００２５】ギア４に付着した磁粉が洗浄により除去さ
れたかどうかは、洗浄の終了したギア４にブラックライ
トを照射し目視により確認する。
れたかどうかは、洗浄の終了したギア４にブラックライ
トを照射し目視により確認する。
【００２６】図３は、本発明の他の実施の形態例を示し
ており、図中、図１、図２と同一の符号を付した部分は
同一物を表わしている。
ており、図中、図１、図２と同一の符号を付した部分は
同一物を表わしている。
【００２７】而して、図３に示す超音波洗浄装置にあっ
ては、反射板６の超音波反射面６ｂは、超音波洗浄器２
の超音波発振面２ｂと対向配置されるようになっている
と共に、反射板６の超音波反射面６ｂは、超音波洗浄器
２の超音波発振面２ｂの幅及び高さと略等しい幅及び高
さを有し、しかも、図３に示す如く、超音波洗浄器２の
超音波発振面２ｂから発振されて反射板６の超音波反射
面６ｂで反射した超音波Ｗは台座５から所定高さの位置
で台座５の長手方向に平行に延びる中央線Ｂ上の集点に
集束するよう、反射板６は側面からみて反射板６の中央
部から上部及び下部へ行くに従って超音波洗浄器２方向
へ近接するよう円弧状に湾曲している。
ては、反射板６の超音波反射面６ｂは、超音波洗浄器２
の超音波発振面２ｂと対向配置されるようになっている
と共に、反射板６の超音波反射面６ｂは、超音波洗浄器
２の超音波発振面２ｂの幅及び高さと略等しい幅及び高
さを有し、しかも、図３に示す如く、超音波洗浄器２の
超音波発振面２ｂから発振されて反射板６の超音波反射
面６ｂで反射した超音波Ｗは台座５から所定高さの位置
で台座５の長手方向に平行に延びる中央線Ｂ上の集点に
集束するよう、反射板６は側面からみて反射板６の中央
部から上部及び下部へ行くに従って超音波洗浄器２方向
へ近接するよう円弧状に湾曲している。
【００２８】以下、本発明の他の実施の形態例の作用を
説明する。
説明する。
【００２９】洗浄対象物としてギア４を洗浄する際に
は、図１、図２に示した場合と同様にギア４を配置し、
超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂから超音波Ｗを発振
する。
は、図１、図２に示した場合と同様にギア４を配置し、
超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂから超音波Ｗを発振
する。
【００３０】超音波洗浄器２の超音波発振面２ｂから発
振された超音波Ｗは、超音波洗浄器２側から直接ギア４
に当ると共に、反射板６の超音波反射面６ｂによって反
射されて反射板６側から超音波反射面６ｂの焦点に集束
しつつギア４に当たり、ギア４全面の磁粉の汚れを剥
離、分散して、ギア４の全面を洗浄する。
振された超音波Ｗは、超音波洗浄器２側から直接ギア４
に当ると共に、反射板６の超音波反射面６ｂによって反
射されて反射板６側から超音波反射面６ｂの焦点に集束
しつつギア４に当たり、ギア４全面の磁粉の汚れを剥
離、分散して、ギア４の全面を洗浄する。
【００３１】このため、本実施の形態においても人の手
で洗浄対象物を回転させるという作業を減らせるので、
洗浄対象物の全面の洗浄に手間がかからず短時間で行う
ことができる。
で洗浄対象物を回転させるという作業を減らせるので、
洗浄対象物の全面の洗浄に手間がかからず短時間で行う
ことができる。
【００３２】なお、本発明の実施の形態は、上述の形態
例のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱
しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論で
ある。
例のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱
しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論で
ある。
【００３３】
【発明の効果】本発明の超音波洗浄方法及び装置によれ
ば、超音波洗浄器の超音波発振面により反射板の超音波
反射面に向かって発振された超音波を直接洗浄対象物に
当てると共に反射板の超音波反射面で反射して洗浄対象
物側へ戻ってきた超音波を洗浄対象物に当てるため、洗
浄対象物を回転させなくても当該洗浄対象物の全面を超
音波洗浄でき、従って洗浄に手間がかからず短時間で行
うことができるという優れた効果を奏し得る。
ば、超音波洗浄器の超音波発振面により反射板の超音波
反射面に向かって発振された超音波を直接洗浄対象物に
当てると共に反射板の超音波反射面で反射して洗浄対象
物側へ戻ってきた超音波を洗浄対象物に当てるため、洗
浄対象物を回転させなくても当該洗浄対象物の全面を超
音波洗浄でき、従って洗浄に手間がかからず短時間で行
うことができるという優れた効果を奏し得る。
【図１】本発明の超音波洗浄方法に用いる超音波洗浄装
置の一例を示す平面図である。
置の一例を示す平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ方向の矢視図である。
【図３】本発明の超音波洗浄方法に用いる超音波洗浄装
置の他の実施の形態例の縦断面図である。
置の他の実施の形態例の縦断面図である。
【図４】従来の超音波洗浄装置の一例を示す平面図であ
る。
る。
【図５】図４のＶ−Ｖ方向の矢視図である。
１ 洗浄槽 ２ 超音波洗浄器 ２ｂ 超音波発振面 ３ 洗浄液 ６ 反射板 ６ａ 超音波反射面 Ｗ 超音波
Claims (2)
- 【請求項１】 洗浄液を溜めた洗浄槽内に収納された超
音波洗浄器の超音波発振面と該超音波発振面に超音波反
射面が対向するよう配置された反射板の間に洗浄対象物
を載置し、前記超音波洗浄器の超音波発振面から反射板
の超音波反射面に向かって発振された超音波及び前記反
射板の超音波反射面に反射して洗浄対象物側へ戻ってき
た超音波を前記洗浄対象物に当て、該洗浄対象物を超音
波洗浄することを特徴とする超音波洗浄方法。 - 【請求項２】 洗浄対象物を浸漬して洗浄するための洗
浄液が溜められる洗浄槽と、洗浄液を満たした前記洗浄
槽内に収納される超音波洗浄器と、該超音波洗浄器の超
音波発振面に超音波反射面が対向するよう前記洗浄槽内
の洗浄液内に収納される反射板を備えたことを特徴とす
る超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24081097A JPH1176960A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 超音波洗浄方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24081097A JPH1176960A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 超音波洗浄方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1176960A true JPH1176960A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17065030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24081097A Pending JPH1176960A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 超音波洗浄方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1176960A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199039A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面温度測定装置 |
-
1997
- 1997-09-05 JP JP24081097A patent/JPH1176960A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199039A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面温度測定装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6276370B1 (en) | Sonic cleaning with an interference signal | |
| JPH1176960A (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
| JP2001162238A (ja) | ディスク洗浄用メガソニック共振器およびその使用方法 | |
| JPH0273151A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2006035139A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2011031156A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2000301087A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP3960516B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP3879580B2 (ja) | 超音波振動振幅測定装置 | |
| JP3444574B2 (ja) | 基板洗浄ノズル | |
| JP2001085380A (ja) | 半導体基板の洗浄装置 | |
| JPH07328572A (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
| JPH09122611A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH0766166A (ja) | 高周波洗浄装置 | |
| JP2868679B2 (ja) | 流体攪拌器 | |
| JPH06333906A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH0947733A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2622883B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH09122612A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2003320326A (ja) | 超音波洗浄方法及び洗浄装置 | |
| KR970003426Y1 (ko) | 초음파 식기 세척기의 진동자 장착구조 | |
| SU988288A1 (ru) | Устройство дл ультразвукового фокусированного воздействи на биологические ткани | |
| JPH09283485A (ja) | ウエット処理方法およびウエット処理装置 | |
| JPH0347577A (ja) | ドラム洗浄方法 | |
| JP3367336B2 (ja) | 洗浄物の乾燥装置及び方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040604 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20061115 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070410 |