JPH1172199A - ボンベ配管ガス供給システム装置 - Google Patents
ボンベ配管ガス供給システム装置Info
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- JPH1172199A JPH1172199A JP24943397A JP24943397A JPH1172199A JP H1172199 A JPH1172199 A JP H1172199A JP 24943397 A JP24943397 A JP 24943397A JP 24943397 A JP24943397 A JP 24943397A JP H1172199 A JPH1172199 A JP H1172199A
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- supply system
- gas supply
- cylinder
- cylinder pipe
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置を操作する場合に、高い信頼性を有する
ガス供給システム装置を提供すること。 【解決手段】 第１のボンベ配管ガス供給システム装置
部１０と第２のボンベ配管ガス供給システム装置部２０
とで構成された遠隔手動操作型のボンベ配管ガス供給シ
ステム装置であって、前記第１の装置部１０は、原料ガ
スボンベ１、接続口２、配管ライン３、複数の手動開閉
バルブ４１，４２，４３、緊急遮断安全アクチュエータ
５、ロボットアームアクチュエータ６等によって構成さ
れており、一方、第２の装置部２０は、それら前記第１
の装置部１０の構成部分と同じダミー部で構成されてい
て、それら第２の装置部２０の各部分の機械的動作は、
サーボ駆動制御システム部３０によって機械的に同じ動
きを第１の装置部１０内の各部分へアクチュエートさせ
る遠隔手動操作型のボンベ配管ガス供給システム装置。
ガス供給システム装置を提供すること。 【解決手段】 第１のボンベ配管ガス供給システム装置
部１０と第２のボンベ配管ガス供給システム装置部２０
とで構成された遠隔手動操作型のボンベ配管ガス供給シ
ステム装置であって、前記第１の装置部１０は、原料ガ
スボンベ１、接続口２、配管ライン３、複数の手動開閉
バルブ４１，４２，４３、緊急遮断安全アクチュエータ
５、ロボットアームアクチュエータ６等によって構成さ
れており、一方、第２の装置部２０は、それら前記第１
の装置部１０の構成部分と同じダミー部で構成されてい
て、それら第２の装置部２０の各部分の機械的動作は、
サーボ駆動制御システム部３０によって機械的に同じ動
きを第１の装置部１０内の各部分へアクチュエートさせ
る遠隔手動操作型のボンベ配管ガス供給システム装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場等、各
種半導体デバイスを作製する工場の製造装置に使用され
るガス供給システム装置に関するものであり、本装置に
同じダミーの装置を追加して、遠隔操作型のボンベ配管
ガス供給システム装置に関するものである。
種半導体デバイスを作製する工場の製造装置に使用され
るガス供給システム装置に関するものであり、本装置に
同じダミーの装置を追加して、遠隔操作型のボンベ配管
ガス供給システム装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の手動型ボンベ配管ガス供給システ
ム装置の例を図２に示す。
ム装置の例を図２に示す。
【０００３】従来のボンベ配管ガス供給システム装置１
００は、半導体工場の各主要設備（拡散炉、ＣＶＤ炉、
ドライエッチング炉、他）に使用するガスを供給するた
めの装置であって、原料ガスボンベ１ａ、配管ライン３
ａと接続口２ａ等からなる配管系と途中の手動開閉バル
ブ４１ａ，４２ａ，４３ａ等のバルブ、緊急遮断安全ア
クチュエータ５ａ、ガスセンサ、排気ダクト６他等によ
って構成されている。
００は、半導体工場の各主要設備（拡散炉、ＣＶＤ炉、
ドライエッチング炉、他）に使用するガスを供給するた
めの装置であって、原料ガスボンベ１ａ、配管ライン３
ａと接続口２ａ等からなる配管系と途中の手動開閉バル
ブ４１ａ，４２ａ，４３ａ等のバルブ、緊急遮断安全ア
クチュエータ５ａ、ガスセンサ、排気ダクト６他等によ
って構成されている。
【０００４】手動操作方法は、以下のごとくである。 Ａ）原料ガスボンベ１ａを配管端部、接続口２ａに接続
してシステム配管内に限定して、配管内に気密試験を行
う（他の不活性ガス、Ｎ2あるいはＡｒガスを用いて気
密試験を実施する）。 Ｂ）気密試験合格となった以降、実使用操作にはいる。
まず、原料ガスボンベ１ａの元バルブを緊急遮断安全ア
クチュエータを装着した後、手動にて静かに開閉する。 Ｃ）次いで、配管系の出力端部のバルブを開けて、成膜
装置、他装置へ、原料ガスを供給する。
してシステム配管内に限定して、配管内に気密試験を行
う（他の不活性ガス、Ｎ2あるいはＡｒガスを用いて気
密試験を実施する）。 Ｂ）気密試験合格となった以降、実使用操作にはいる。
まず、原料ガスボンベ１ａの元バルブを緊急遮断安全ア
クチュエータを装着した後、手動にて静かに開閉する。 Ｃ）次いで、配管系の出力端部のバルブを開けて、成膜
装置、他装置へ、原料ガスを供給する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の手動型ボンベ配
管ガス供給システム装置には、以下の問題点がある。手
動操作時には、すべて作業者が装置にはりつく必要があ
り、また、信頼性に欠ける。
管ガス供給システム装置には、以下の問題点がある。手
動操作時には、すべて作業者が装置にはりつく必要があ
り、また、信頼性に欠ける。
【０００６】本発明の課題は、上記の問題点を解決し装
置を操作する場合に、遠隔操作ができる、高い信頼性を
有するガス供給システム装置を提供することにある。
置を操作する場合に、遠隔操作ができる、高い信頼性を
有するガス供給システム装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも原
料ガスボンベ、接続口、配管ライン、複数の開閉バル
ブ、緊急遮断安全アクチュエータ、ロボットアームによ
って構成された第１のボンベ配管ガス供給システム装置
部と、前記第１のボンベ配管ガス供給システム装置部と
同じ構成を有する第２のボンベ配管ガス供給システム装
置部とからなり、前記第２のボンベ配管ガス供給システ
ム装置部の各部分の機械的動作は、サーボ駆動制御シス
テム部によって機械的に同じ動きを第１のボンベ配管ガ
ス供給システム装置部内の各部分へもたらすボンベ配管
ガス供給システム装置である。
料ガスボンベ、接続口、配管ライン、複数の開閉バル
ブ、緊急遮断安全アクチュエータ、ロボットアームによ
って構成された第１のボンベ配管ガス供給システム装置
部と、前記第１のボンベ配管ガス供給システム装置部と
同じ構成を有する第２のボンベ配管ガス供給システム装
置部とからなり、前記第２のボンベ配管ガス供給システ
ム装置部の各部分の機械的動作は、サーボ駆動制御シス
テム部によって機械的に同じ動きを第１のボンベ配管ガ
ス供給システム装置部内の各部分へもたらすボンベ配管
ガス供給システム装置である。
【０００８】又、本発明は、前記第１のボンベ配管ガス
供給システム装置部と、前記第２のボンベ配管ガス供給
システム装置部とを、所定の距離をおいて設置し、前記
第１のボンベ配管ガス供給システム装置部を前記第２の
ボンベ配管ガス供給システム装置部で遠隔操作している
上記ボンベ配管ガス供給システム装置である。
供給システム装置部と、前記第２のボンベ配管ガス供給
システム装置部とを、所定の距離をおいて設置し、前記
第１のボンベ配管ガス供給システム装置部を前記第２の
ボンベ配管ガス供給システム装置部で遠隔操作している
上記ボンベ配管ガス供給システム装置である。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のボンベ配管ガス供給シス
テム装置について説明する。
テム装置について説明する。
【００１０】本発明は、第１のボンベ配管ガス供給シス
テム装置部（以下、第１の装置部と称す）と第１のボン
ベ配管ガス供給システム装置のダミーの第２ボンベ配管
ガス供給システム装置部（以下、第２の装置部と称す）
とで構成された遠隔手動操作型のボンベ配管ガス供給シ
ステム装置である。第２の装置部からと第１の装置部へ
の各部の伝達駆動は、サーボ駆動制御システム部によっ
て、その機能が結合されている。
テム装置部（以下、第１の装置部と称す）と第１のボン
ベ配管ガス供給システム装置のダミーの第２ボンベ配管
ガス供給システム装置部（以下、第２の装置部と称す）
とで構成された遠隔手動操作型のボンベ配管ガス供給シ
ステム装置である。第２の装置部からと第１の装置部へ
の各部の伝達駆動は、サーボ駆動制御システム部によっ
て、その機能が結合されている。
【００１１】作業者は、従来の技術で述べた先の操作の
Ａ）とボンベの交換作業は、第１の装置部にて作業する
が、以降の前記Ｂ），Ｃ）の作業は、ダミーである第２
の装置部において作業をし、万が一の第１の装置部の火
災等の影響を受けないようにしている。
Ａ）とボンベの交換作業は、第１の装置部にて作業する
が、以降の前記Ｂ），Ｃ）の作業は、ダミーである第２
の装置部において作業をし、万が一の第１の装置部の火
災等の影響を受けないようにしている。
【００１２】
【実施例】図１に、本発明の遠隔手動操作型のボンベ配
管ガス供給システム装置の実施例を示す。
管ガス供給システム装置の実施例を示す。
【００１３】１０は第１の装置部であり、２０はダミー
の第２の装置部であり、これら第１の装置部１０と第２
の装置部２０を結合するものとして、サーボ駆動制御シ
ステム部３０がある。
の第２の装置部であり、これら第１の装置部１０と第２
の装置部２０を結合するものとして、サーボ駆動制御シ
ステム部３０がある。
【００１４】第１の装置部１０と第２の装置部２０と
は、所定の距離を保っており、この距離は、第２の装置
部２０にいてモニター作業する作業者が、第１の装置部
１０での事故に対して影響を受けない範囲距離を設定す
る。
は、所定の距離を保っており、この距離は、第２の装置
部２０にいてモニター作業する作業者が、第１の装置部
１０での事故に対して影響を受けない範囲距離を設定す
る。
【００１５】第１の装置部１０について、以下に説明す
る。１は原料ガスボンベであり、２はボンベの接続口、
３は配管ライン、４１，４２，４３は、電気駆動の開閉
バルブである。
る。１は原料ガスボンベであり、２はボンベの接続口、
３は配管ライン、４１，４２，４３は、電気駆動の開閉
バルブである。
【００１６】５は緊急遮断安全アクチュエータであっ
て、原料ガスボンベ１の元バルブ１ｃの上にかぶさって
緊急閉動作を行う安全アクチュエータである。
て、原料ガスボンベ１の元バルブ１ｃの上にかぶさって
緊急閉動作を行う安全アクチュエータである。
【００１７】６はロボットアーム・アクチュエータであ
って、原料ガスボンベ１にかぶさった緊急遮断安全アク
チュエータ５を外側から挟んで開方向、閉方向の回転動
作を行うものである。これは、同様のダミーのロボット
アーム・アクチュエータ６１が、第２の装置部２０にあ
って、このダミーのロボットアーム・アクチュエータ６
１の動作が、サーボ駆動制御システム部３０を通じて、
そのままロボットアーム・アクチュエータ６の動作とな
っている。７は、配管パージと気密試験用とを兼用した
パージ用付属Ｎ2ボンベ（付属ボンベ）である。
って、原料ガスボンベ１にかぶさった緊急遮断安全アク
チュエータ５を外側から挟んで開方向、閉方向の回転動
作を行うものである。これは、同様のダミーのロボット
アーム・アクチュエータ６１が、第２の装置部２０にあ
って、このダミーのロボットアーム・アクチュエータ６
１の動作が、サーボ駆動制御システム部３０を通じて、
そのままロボットアーム・アクチュエータ６の動作とな
っている。７は、配管パージと気密試験用とを兼用した
パージ用付属Ｎ2ボンベ（付属ボンベ）である。
【００１８】第２の装置部２０について、以下に説明す
る。この内部の各部分は、第１の装置部１０にある各部
と形状、および位置関係も、全く同様のダミー形状とし
ている。
る。この内部の各部分は、第１の装置部１０にある各部
と形状、および位置関係も、全く同様のダミー形状とし
ている。
【００１９】即ち、ダミーの原料ガスボンベ１１、接続
口２１、配管ライン３１、電気駆動の開閉バルブ４１
１，４２１，４３１、緊急遮断安全アクチュエータ５
１、ロボットアーム・アクチュエータ６１、ダミーの配
管パージ用付属Ｎ2ボンベ７１が設置されている。
口２１、配管ライン３１、電気駆動の開閉バルブ４１
１，４２１，４３１、緊急遮断安全アクチュエータ５
１、ロボットアーム・アクチュエータ６１、ダミーの配
管パージ用付属Ｎ2ボンベ７１が設置されている。
【００２０】以上のダミーの第２の装置部の各部分は、
その機械的な働きは、そのままサーボ駆動制御システム
部３０を経由して、第１の装置部の対応する部分を同期
してアクチュエートする。
その機械的な働きは、そのままサーボ駆動制御システム
部３０を経由して、第１の装置部の対応する部分を同期
してアクチュエートする。
【００２１】例えば、第２の装置部内のロボットアーム
・アクチュエータ６１をボンベ開の方向（左方向回転）
に回転すると、サーボ機構によって同じ回転角だけ、第
１の装置部内のロボットアーム・アクチュエータ６を回
転させる。従って、原料ガスボンベの元バルブ１ｃが開
となる。一方、逆方向回転（右回転方向）とすれば、原
料ガスボンベ１の元バルブを閉とする方向に回転する。
・アクチュエータ６１をボンベ開の方向（左方向回転）
に回転すると、サーボ機構によって同じ回転角だけ、第
１の装置部内のロボットアーム・アクチュエータ６を回
転させる。従って、原料ガスボンベの元バルブ１ｃが開
となる。一方、逆方向回転（右回転方向）とすれば、原
料ガスボンベ１の元バルブを閉とする方向に回転する。
【００２２】以上、本装置によれば、第１の装置部での
ボンベの交換、気密試験が合格すれば、あとは、作業者
がある程度所定の距離、離れた第２の装置部２０内にお
いて、その後の作業を行うことが可能となる。
ボンベの交換、気密試験が合格すれば、あとは、作業者
がある程度所定の距離、離れた第２の装置部２０内にお
いて、その後の作業を行うことが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】以上、本発明によれば、ダミー装置を用
いてガス供給システムを遠隔手動操作することができ、
安全な信頼性の高い遠隔手動操作型ボンベ配管ガス供給
システム装置を提供できる。
いてガス供給システムを遠隔手動操作することができ、
安全な信頼性の高い遠隔手動操作型ボンベ配管ガス供給
システム装置を提供できる。
【図１】本発明による遠隔手動操作型ボンベ配管ガス供
給システム装置を示す説明図。
給システム装置を示す説明図。
【図２】従来のボンベ配管ガス供給システム装置の例を
示す説明図。
示す説明図。
１，１ａ，１１ 原料ガスボンベ １ｂ，１ｃ，１１ａ 元バルブ ２，２ａ，２１ 接続口 ３，３ａ，３１ 配管ライン ５，５ａ，５１ 緊急遮断安全アクチュエータ ６，６１ ロボットアーム・アクチュエータ ６ａ 排気ダクト ７，７ａ，７１ パージ用付属Ｎ2ボンベ １０ 第１の（ボンベ配管ガス供給システム）装置部 ２０ 第２の（ボンベ配管ガス供給システム）装置部 ３０ サーボ駆動制御システム部 ４１，４２，４３，４１１，４２１，４３１ 電気駆
動の開閉バルブ ４１ａ，４２ａ，４３ａ 手動開閉バルブ １００ 従来のボンベ配管ガス供給システム装置
動の開閉バルブ ４１ａ，４２ａ，４３ａ 手動開閉バルブ １００ 従来のボンベ配管ガス供給システム装置
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも原料ガスボンベ、接続口、配
管ライン、複数の開閉バルブ、緊急遮断安全アクチュエ
ータ、ロボットアームによって構成された第１のボンベ
配管ガス供給システム装置部と、前記第１のボンベ配管
ガス供給システム装置部と同じ構成を有する第２のボン
ベ配管ガス供給システム装置部とからなり、前記第２の
ボンベ配管ガス供給システム装置部の各部分の機械的動
作は、サーボ駆動制御システム部によって機械的に同じ
動きを第１のボンベ配管ガス供給システム装置部内の各
部分へもたらすことを特徴とするボンベ配管ガス供給シ
ステム装置。 - 【請求項２】 前記第１のボンベ配管ガス供給システム
装置部と、前記第２のボンベ配管ガス供給システム装置
部とを、所定の距離をおいて設置し、前記第１のボンベ
配管ガス供給システム装置部を前記第２のボンベ配管ガ
ス供給システム装置部で遠隔操作していることを特徴と
するボンベ配管ガス供給システム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24943397A JPH1172199A (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | ボンベ配管ガス供給システム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24943397A JPH1172199A (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | ボンベ配管ガス供給システム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1172199A true JPH1172199A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=17192903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24943397A Pending JPH1172199A (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | ボンベ配管ガス供給システム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1172199A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114962998A (zh) * | 2021-02-25 | 2022-08-30 | 三星电子株式会社 | 传送机器人、气体供应柜和包括其的气体供应系统 |
-
1997
- 1997-08-28 JP JP24943397A patent/JPH1172199A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114962998A (zh) * | 2021-02-25 | 2022-08-30 | 三星电子株式会社 | 传送机器人、气体供应柜和包括其的气体供应系统 |
| CN114962998B (zh) * | 2021-02-25 | 2024-04-05 | 三星电子株式会社 | 传送机器人、气体供应柜和包括其的气体供应系统 |
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