JPH1167129A - 偏向励起放射線を利用するｘ線蛍光測定システムおよびｘ線管 - Google Patents
偏向励起放射線を利用するｘ線蛍光測定システムおよびｘ線管Info
- Publication number
- JPH1167129A JPH1167129A JP10178660A JP17866098A JPH1167129A JP H1167129 A JPH1167129 A JP H1167129A JP 10178660 A JP10178660 A JP 10178660A JP 17866098 A JP17866098 A JP 17866098A JP H1167129 A JPH1167129 A JP H1167129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray tube
- radiation
- deflected
- rays
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/02—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
本発明は、Ｘ線測定システム、特に偏向Ｘ線を生成する
方法に関する。本発明は、低い効率にもかかわらず陽極
材料としてベリリウムを使用するという考えに基づく。
ベリリウム陽極が生成したＸ線スペクトルの一部は偏向
放射線、特にその高エネルギー部分である。本発明のシ
ステムは、スペクトルの低エネルギー部分をフィルタで
除去し、それによって残りの強度に偏向した放射線をＸ
線測定の励起放射線として使用することができる。本発
明のシステムは、散乱媒体の使用に基づく一般的な先行
技術の解決策で使用するほど強力でないＸ線管によっ
て、ある強度の偏向Ｘ線を達成することができる。
方法に関する。本発明は、低い効率にもかかわらず陽極
材料としてベリリウムを使用するという考えに基づく。
ベリリウム陽極が生成したＸ線スペクトルの一部は偏向
放射線、特にその高エネルギー部分である。本発明のシ
ステムは、スペクトルの低エネルギー部分をフィルタで
除去し、それによって残りの強度に偏向した放射線をＸ
線測定の励起放射線として使用することができる。本発
明のシステムは、散乱媒体の使用に基づく一般的な先行
技術の解決策で使用するほど強力でないＸ線管によっ
て、ある強度の偏向Ｘ線を達成することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸ線蛍光測定システ
ム、特に偏向Ｘ線を生成する方法に関する。
ム、特に偏向Ｘ線を生成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線蛍光分析では、測定値の感度は検査
中の試料またはサンプルから発生するバックグラウンド
放射線によって制限される。バックグラウンド放射線の
大部分は、放射線源から発生した励起放射線が検出器へ
散乱した結果である。広帯域励起放射線を使用する場
合、試料から散乱する励起放射線は強力なバックグラウ
ンド放射線として知覚される。励起放射線は、使用する
Ｘ線管の材料から発生する多少の蛍光放射線も含み、場
合によってはコリメータなど、測定システムの他の構成
要素も蛍光放射線を生成する。バックグラウンド放射線
のこれら源の影響力は、偏向励起放射線を使用すること
によって、検出器への励起放射線の散乱を最小限に抑え
ることによって低下させることができる。このことを、
図１ａおよび図１ｂに関してさらに詳細に説明する。
中の試料またはサンプルから発生するバックグラウンド
放射線によって制限される。バックグラウンド放射線の
大部分は、放射線源から発生した励起放射線が検出器へ
散乱した結果である。広帯域励起放射線を使用する場
合、試料から散乱する励起放射線は強力なバックグラウ
ンド放射線として知覚される。励起放射線は、使用する
Ｘ線管の材料から発生する多少の蛍光放射線も含み、場
合によってはコリメータなど、測定システムの他の構成
要素も蛍光放射線を生成する。バックグラウンド放射線
のこれら源の影響力は、偏向励起放射線を使用すること
によって、検出器への励起放射線の散乱を最小限に抑え
ることによって低下させることができる。このことを、
図１ａおよび図１ｂに関してさらに詳細に説明する。
【０００３】均等に偏向したＸ線が媒質から散乱する
と、それは同時に偏向する。散乱した放射線の極性は、
所与の散乱角度にしたがって強度および方向が変化す
る。入射放射線に対して９０°の角度で散乱する放射線
は、入射放射線及び散乱放射線の方向によって規定され
た面に対して垂直方向に偏向する。他の方向に偏向した
入射放射線の部分は、ほぼ完全に消去される。これを図
１ａに示す。放射線源１０は全方向に偏向放射線を放射
し、これは散乱体２０から散乱する。当然、あらゆる方
向に散乱する放射線もあるが、本明細書の検討では９０
°の角度で散乱する放射線しか扱わない。直角に散乱し
た放射線は、入射放射線の方向及び散乱放射線の方向に
よって規定された面に対して垂直の方向Ｅsに強く偏向
する。前記面に平行に偏向する入射放射線の部分Ｅp
は、理想的なケースでは、９０°の角度では散乱しな
い。
と、それは同時に偏向する。散乱した放射線の極性は、
所与の散乱角度にしたがって強度および方向が変化す
る。入射放射線に対して９０°の角度で散乱する放射線
は、入射放射線及び散乱放射線の方向によって規定され
た面に対して垂直方向に偏向する。他の方向に偏向した
入射放射線の部分は、ほぼ完全に消去される。これを図
１ａに示す。放射線源１０は全方向に偏向放射線を放射
し、これは散乱体２０から散乱する。当然、あらゆる方
向に散乱する放射線もあるが、本明細書の検討では９０
°の角度で散乱する放射線しか扱わない。直角に散乱し
た放射線は、入射放射線の方向及び散乱放射線の方向に
よって規定された面に対して垂直の方向Ｅsに強く偏向
する。前記面に平行に偏向する入射放射線の部分Ｅp
は、理想的なケースでは、９０°の角度では散乱しな
い。
【０００４】図１ｂで示すように、散乱放射線の偏向を
測定システムに利用することができる。図は、散乱体２
０によって散乱した偏向励起放射線を試料３０に伝え、
励起放射線によって生成された蛍光放射線を検出器４０
によって調べるシステムを描く。典型的な測定システム
は、コリメータ５０も使用する。検出器および試料によ
って規定された直線が、放射線源１０によって生成され
た励起放射線および散乱体２０によって散乱した放射線
によって規定された面に対して垂直に延在するように、
試料に対して検出器を配置すると、理想的なケースで
は、試料３０から検出器４０へ散乱する励起放射線がま
ったくない。これは、試料３０が偏向励起放射線しか受
けないせいである。この偏向励起放射線は散乱体２０か
ら散乱し、散乱体２０、試料３０および検出器４０によ
って規定された面に平行な偏向方向を有する。図１ａに
示す原理によると、この方法で偏向した放射線は、試料
３０から検出器に向かって散乱した放射線から消去さ
れ、したがって理想的なケースでは、試料３０から検出
器４０の方向に散乱する放射線はない。したがって、試
料３０から出る蛍光放射線は、より明瞭に知覚される。
測定システムに利用することができる。図は、散乱体２
０によって散乱した偏向励起放射線を試料３０に伝え、
励起放射線によって生成された蛍光放射線を検出器４０
によって調べるシステムを描く。典型的な測定システム
は、コリメータ５０も使用する。検出器および試料によ
って規定された直線が、放射線源１０によって生成され
た励起放射線および散乱体２０によって散乱した放射線
によって規定された面に対して垂直に延在するように、
試料に対して検出器を配置すると、理想的なケースで
は、試料３０から検出器４０へ散乱する励起放射線がま
ったくない。これは、試料３０が偏向励起放射線しか受
けないせいである。この偏向励起放射線は散乱体２０か
ら散乱し、散乱体２０、試料３０および検出器４０によ
って規定された面に平行な偏向方向を有する。図１ａに
示す原理によると、この方法で偏向した放射線は、試料
３０から検出器に向かって散乱した放射線から消去さ
れ、したがって理想的なケースでは、試料３０から検出
器４０の方向に散乱する放射線はない。したがって、試
料３０から出る蛍光放射線は、より明瞭に知覚される。
【０００５】このような構造の一つの欠点は、効率が低
いことである。散乱放射線を可能な限り完全に偏向する
には、散乱角度が可能な限り直角に近くなければなら
ず、それによってコリメータは各範囲のビームの限界を
可能な限り狭くなるよう決定しなければならない。しか
し、ビームを狭くするとビームの強度が低下してしま
う。これは、放射能源１０の出力を増加させることによ
って補償することができるが、その結果、装置の価格が
高騰する。図２に示すような方法は、Richard W. Ryon
およびJohn D. Zahrtの論文「偏向ビームＸ線蛍光」（A
dvances in X-ray Analysis, vol.38, pp.491-515, 199
4)でさらに詳細に説明されている。
いことである。散乱放射線を可能な限り完全に偏向する
には、散乱角度が可能な限り直角に近くなければなら
ず、それによってコリメータは各範囲のビームの限界を
可能な限り狭くなるよう決定しなければならない。しか
し、ビームを狭くするとビームの強度が低下してしま
う。これは、放射能源１０の出力を増加させることによ
って補償することができるが、その結果、装置の価格が
高騰する。図２に示すような方法は、Richard W. Ryon
およびJohn D. Zahrtの論文「偏向ビームＸ線蛍光」（A
dvances in X-ray Analysis, vol.38, pp.491-515, 199
4)でさらに詳細に説明されている。
【０００６】図１ｂの基本的構造は、効率を改善するた
めに様々な修正がされている。一つの解決策は、散乱体
２０を通過する励起放射線の部分を利用し、これを２次
目標に伝え、そこで蛍光放射線を生成する。この蛍光放
射線は散乱体２０から散乱し、したがって試料に向かっ
て散乱する偏向放射線の強度が上がる。このような機構
は、例えばIgor Tolonnikoffの「蛍光の強度を増加させ
バックグラウンドを減少させるＥＤＸＲＦの幾何学的考
察」(Advances in X-ray Analysis, vol.35, p.1009, 1
994)という出版物で説明されている。
めに様々な修正がされている。一つの解決策は、散乱体
２０を通過する励起放射線の部分を利用し、これを２次
目標に伝え、そこで蛍光放射線を生成する。この蛍光放
射線は散乱体２０から散乱し、したがって試料に向かっ
て散乱する偏向放射線の強度が上がる。このような機構
は、例えばIgor Tolonnikoffの「蛍光の強度を増加させ
バックグラウンドを減少させるＥＤＸＲＦの幾何学的考
察」(Advances in X-ray Analysis, vol.35, p.1009, 1
994)という出版物で説明されている。
【０００７】上述の出版物は、偏向放射線を生成する円
形の幾何形状など、他のタイプの散乱幾何形状も開示し
ている。散乱体を使用することにより、ほぼ連続的な励
起放射線スペクトルを達成することができる。しかし、
これらすべての解決策の欠点は、検査する試料に、放射
線源の外部にある散乱媒体で散乱した放射線が供給され
試料に到達する放射線が放射線源の強度の小さい部分の
強度となることである。
形の幾何形状など、他のタイプの散乱幾何形状も開示し
ている。散乱体を使用することにより、ほぼ連続的な励
起放射線スペクトルを達成することができる。しかし、
これらすべての解決策の欠点は、検査する試料に、放射
線源の外部にある散乱媒体で散乱した放射線が供給され
試料に到達する放射線が放射線源の強度の小さい部分の
強度となることである。
【０００８】偏向放射線はブラッグ回折を使用し、波長
に従って選択した適切な格子により生成することもでき
る。低エネルギーでは、波長に従った寸法の積層構造を
使用することが可能である。高エネルギーでは、格子は
結晶質材料で作成しなければならない。この種の解決策
は、単一波長の放射線を生成するのみであり、可能な用
途が限られる。この種の解決策は、散乱媒体の使用に基
づいたのと同じ欠点、つまり効率の低さによって阻害さ
れる。というのは、放射線源によって生成される放射線
エネルギーの大部分が消去されるからである。
に従って選択した適切な格子により生成することもでき
る。低エネルギーでは、波長に従った寸法の積層構造を
使用することが可能である。高エネルギーでは、格子は
結晶質材料で作成しなければならない。この種の解決策
は、単一波長の放射線を生成するのみであり、可能な用
途が限られる。この種の解決策は、散乱媒体の使用に基
づいたのと同じ欠点、つまり効率の低さによって阻害さ
れる。というのは、放射線源によって生成される放射線
エネルギーの大部分が消去されるからである。
【０００９】偏向Ｘ線の優れた発生源の一つは、シンク
ロトロン放射である。シンクロトロン放射は本質的に偏
向し、非常に高い強度を有し、それがシンクロトロン放
射がＸ線蛍光の測定に関してほぼ理想的な励起放射線で
ある理由である。しかし、シンクロトロンは非常に嵩張
り、高価な装置で、これが商業的使用およびその用途の
主な制約となる。したがって、これは主に基本的な科学
的研究に最も適している。
ロトロン放射である。シンクロトロン放射は本質的に偏
向し、非常に高い強度を有し、それがシンクロトロン放
射がＸ線蛍光の測定に関してほぼ理想的な励起放射線で
ある理由である。しかし、シンクロトロンは非常に嵩張
り、高価な装置で、これが商業的使用およびその用途の
主な制約となる。したがって、これは主に基本的な科学
的研究に最も適している。
【００１０】Ｘ線の生成は、通常はＸ線管によって実施
される。以下の記述は、従来通りのＸ線管の基本的構造
について簡単に扱う。図２ａおよび図２ｂは従来通りの
基本的な２タイプのＸ線管を示す。図２ａの機構は、厚
い陽極を使用する場合に典型的な機構である。Ｘ線管の
陰極１１０を、フィラメントおよび電流Ｉで加熱し、高
圧ＨＶを陰極１１０と陽極１２０との間に結合する。陰
極１１０から放射された電子は、陰極と陽極との間の電
界で加速し、陽極に衝突する。陽極の原子と衝突する
と、電子は１回以上の衝突で運動エネルギーを喪失し、
例えば減速放射線を生成する。電子は陽極材料の原子を
励起させる役割も果たし、これによって励起状態の下方
遷移が生じ、その結果、特徴的なＸ線が放射される。そ
の結果生じるＸ線は、管筐体１４０に含まれる窓１３０
によってＸ線管から送出される。窓は通常、非常に単純
なスペクトルで、したがってＸ線管が生成した放射線に
よる測定の結果と容易に識別できる何らかの軽量材料、
通常はベリリウムの薄膜で構成される。
される。以下の記述は、従来通りのＸ線管の基本的構造
について簡単に扱う。図２ａおよび図２ｂは従来通りの
基本的な２タイプのＸ線管を示す。図２ａの機構は、厚
い陽極を使用する場合に典型的な機構である。Ｘ線管の
陰極１１０を、フィラメントおよび電流Ｉで加熱し、高
圧ＨＶを陰極１１０と陽極１２０との間に結合する。陰
極１１０から放射された電子は、陰極と陽極との間の電
界で加速し、陽極に衝突する。陽極の原子と衝突する
と、電子は１回以上の衝突で運動エネルギーを喪失し、
例えば減速放射線を生成する。電子は陽極材料の原子を
励起させる役割も果たし、これによって励起状態の下方
遷移が生じ、その結果、特徴的なＸ線が放射される。そ
の結果生じるＸ線は、管筐体１４０に含まれる窓１３０
によってＸ線管から送出される。窓は通常、非常に単純
なスペクトルで、したがってＸ線管が生成した放射線に
よる測定の結果と容易に識別できる何らかの軽量材料、
通常はベリリウムの薄膜で構成される。
【００１１】図２ｂの基本的構造は、薄いいわゆる透過
陽極を使用する。このような構造では、陽極１２０は窓
としても機能する。大抵の典型的な解決策では、陽極は
実際の窓として機能するキャリア材料の上に薄い金属層
からなる。通常では、透過陽極のキャリア材料はベリリ
ウムの膜を備え、その表面上に実際の陽極として機能す
るスカンジウムなどのこれより重い金属の薄い層を設け
る。
陽極を使用する。このような構造では、陽極１２０は窓
としても機能する。大抵の典型的な解決策では、陽極は
実際の窓として機能するキャリア材料の上に薄い金属層
からなる。通常では、透過陽極のキャリア材料はベリリ
ウムの膜を備え、その表面上に実際の陽極として機能す
るスカンジウムなどのこれより重い金属の薄い層を設け
る。
【００１２】特許公報DD 264 360およびDD 273 332は、
実際の陽極材料としてベリリウムの使用を開示する。上
記の公報で開示された解決策の目的は、可能な限り単純
なＸ線スペクトルを提供することである。というのは、
陽極材料に比較的重い金属を使用すると、放射線スペク
トルの結果が非常に複雑になってしまうからである。上
述の解決策の第二の目的は、単純なＸ線管構成を達成す
ることである。しかし、陽極材料が生成するＸ線は、材
料の原子番号の２乗にほぼ比例する強度を有する。した
がって、このような解決策は効率が低いという欠点を有
し、そのためベリリウムなどの軽い元素は通常、陽極材
料として使用されない。上記で指摘したように、陽極材
料は通常、スカンジウムなどの比較的重い金属を備え、
改善された強度を生成する。
実際の陽極材料としてベリリウムの使用を開示する。上
記の公報で開示された解決策の目的は、可能な限り単純
なＸ線スペクトルを提供することである。というのは、
陽極材料に比較的重い金属を使用すると、放射線スペク
トルの結果が非常に複雑になってしまうからである。上
述の解決策の第二の目的は、単純なＸ線管構成を達成す
ることである。しかし、陽極材料が生成するＸ線は、材
料の原子番号の２乗にほぼ比例する強度を有する。した
がって、このような解決策は効率が低いという欠点を有
し、そのためベリリウムなどの軽い元素は通常、陽極材
料として使用されない。上記で指摘したように、陽極材
料は通常、スカンジウムなどの比較的重い金属を備え、
改善された強度を生成する。
【００１３】偏向放射線は、外部の偏向要素を使用せず
に、Ｘ線管によって直接生成することができる。単一の
衝突で電子によって生成された放射線は偏向し、したが
って非常に薄い陽極を使用する場合は、大部分の電子は
陽極材料の原子と１回しか衝突しないので、偏向した減
速放射線が現れる。
に、Ｘ線管によって直接生成することができる。単一の
衝突で電子によって生成された放射線は偏向し、したが
って非常に薄い陽極を使用する場合は、大部分の電子は
陽極材料の原子と１回しか衝突しないので、偏向した減
速放射線が現れる。
【００１４】厚い陽極によって生成される減速放射線の
スペクトルは、スペクトルの低エネルギー端で測定され
る。スペクトルのこの部分では、放射線は全方向に偏向
する。というのは、いくつかの衝突の結果として電子が
徐々に減速するにつれ、低エネルギーの減速放射線が生
じるからである。偏向放射線は、放射線スペクトルの高
エネルギー端にもある程度現れ、ここで放射線は、１回
の衝突で運動エネルギーの大部分を喪失した電子から発
生する。しかし、陽極材料の順序数が増加するにつれ、
偏向放射線の割合は劇的に減少する。上記のRyonおよび
Zahrtによる論文によると、散乱媒体による偏向放射線
の生成が実際問題として最も効果的な方法であることが
証明されたと実際に指摘されている。
スペクトルは、スペクトルの低エネルギー端で測定され
る。スペクトルのこの部分では、放射線は全方向に偏向
する。というのは、いくつかの衝突の結果として電子が
徐々に減速するにつれ、低エネルギーの減速放射線が生
じるからである。偏向放射線は、放射線スペクトルの高
エネルギー端にもある程度現れ、ここで放射線は、１回
の衝突で運動エネルギーの大部分を喪失した電子から発
生する。しかし、陽極材料の順序数が増加するにつれ、
偏向放射線の割合は劇的に減少する。上記のRyonおよび
Zahrtによる論文によると、散乱媒体による偏向放射線
の生成が実際問題として最も効果的な方法であることが
証明されたと実際に指摘されている。
【００１５】様々な材料によって生成されたＸ線の偏向
は、例えばPaul KirkpatrickおよびLucille Wiedmannの
「理論上連続的なＸ線エネルギーおよび偏向」(Physica
l Review 67(1945)321)という論文で、より詳しく検討
されている。
は、例えばPaul KirkpatrickおよびLucille Wiedmannの
「理論上連続的なＸ線エネルギーおよび偏向」(Physica
l Review 67(1945)321)という論文で、より詳しく検討
されている。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、以前
に知られている技術より単純な偏向Ｘ線源を提供するこ
とである。本発明の別の目的は、散乱媒体に基づく先行
技術の解決策より効果的な偏向Ｘ線源を提供することで
ある。本発明のさらに別の目的は、先行技術の解決策よ
り単純なＸ線蛍光測定システムを提供することである。
に知られている技術より単純な偏向Ｘ線源を提供するこ
とである。本発明の別の目的は、散乱媒体に基づく先行
技術の解決策より効果的な偏向Ｘ線源を提供することで
ある。本発明のさらに別の目的は、先行技術の解決策よ
り単純なＸ線蛍光測定システムを提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】目的は、Ｘ線管の陽極材
料としてベリリウムを使用し、生じるＸ線からスペクト
ルの低エネルギー部分をフィルタリングして、励起放射
線に非常に適したスペクトルの強く偏向した高エネルギ
ー部分を残すことによって達成される。このような偏向
Ｘ線源を使用すると、単純なＸ線蛍光測定システムが生
じ、装置のサイズが縮小されて、装置の価格が下がる。
料としてベリリウムを使用し、生じるＸ線からスペクト
ルの低エネルギー部分をフィルタリングして、励起放射
線に非常に適したスペクトルの強く偏向した高エネルギ
ー部分を残すことによって達成される。このような偏向
Ｘ線源を使用すると、単純なＸ線蛍光測定システムが生
じ、装置のサイズが縮小されて、装置の価格が下がる。
【００１８】本発明のＸ線蛍光測定システムは、システ
ムのＸ線管の陰極から分離された電子が衝突するように
なっている前記Ｘ線管陽極の少なくともある部分が、少
なくとも部分的に偏向するＸ線を生成するために、基本
的にベリリウムから作成されており、システムがさら
に、少なくとも部分的に偏向したＸ線の不完全な偏向ス
ペクトル部分を少なくとも部分的に消去するためのフィ
ルタを備えることを特徴とする。
ムのＸ線管の陰極から分離された電子が衝突するように
なっている前記Ｘ線管陽極の少なくともある部分が、少
なくとも部分的に偏向するＸ線を生成するために、基本
的にベリリウムから作成されており、システムがさら
に、少なくとも部分的に偏向したＸ線の不完全な偏向ス
ペクトル部分を少なくとも部分的に消去するためのフィ
ルタを備えることを特徴とする。
【００１９】本発明はＸ線管にも関連し、これは陰極か
ら分離された電子が衝突するようになっている陽極の少
なくともある部分が、少なくとも部分的に偏向するＸ線
を生成するために、本質的にベリリウムで作成され、さ
らに、前記少なくとも部分的に偏向したＸ線の不完全な
偏向スペクトル部分を少なくとも部分的に消去するため
のフィルタを備えることを特徴とする。
ら分離された電子が衝突するようになっている陽極の少
なくともある部分が、少なくとも部分的に偏向するＸ線
を生成するために、本質的にベリリウムで作成され、さ
らに、前記少なくとも部分的に偏向したＸ線の不完全な
偏向スペクトル部分を少なくとも部分的に消去するため
のフィルタを備えることを特徴とする。
【００２０】本発明は、偏向Ｘ線を生成するベリリウム
陽極を装備したＸ線管の使用にも関連する。本発明は、
効率の低さにもかかわらず陽極材料としてベリリウムを
使用するという考えに基づく。ベリリウム陽極によって
生成されるＸ線スペクトルの一部は、偏向放射線、特に
その高エネルギー部分で構成される。本発明のシステム
を使用して、スペクトルの低エネルギー部分をフィルタ
で除去し、それによって残りの強く偏向した放射線をＸ
線蛍光測定で励起放射線として使用できるようにする。
本発明のシステムは、散乱媒体の使用に基づく普通の先
行技術の解決策で使用するものほど強力でないＸ線管に
よって、ある強度の偏向Ｘ線を達成することができる。
次に、本発明について添付の図面を参照しながら、さら
に詳細に説明する。
陽極を装備したＸ線管の使用にも関連する。本発明は、
効率の低さにもかかわらず陽極材料としてベリリウムを
使用するという考えに基づく。ベリリウム陽極によって
生成されるＸ線スペクトルの一部は、偏向放射線、特に
その高エネルギー部分で構成される。本発明のシステム
を使用して、スペクトルの低エネルギー部分をフィルタ
で除去し、それによって残りの強く偏向した放射線をＸ
線蛍光測定で励起放射線として使用できるようにする。
本発明のシステムは、散乱媒体の使用に基づく普通の先
行技術の解決策で使用するものほど強力でないＸ線管に
よって、ある強度の偏向Ｘ線を達成することができる。
次に、本発明について添付の図面を参照しながら、さら
に詳細に説明する。
【００２１】
【実施例】図面においては、一致する構成要素に同じ番
号を使用する。図３は、本発明の一つのＸ線蛍光測定シ
ステムを示す。Ｘ線管２１０はベリリウム製の陽極１２
０を含む。あるいは、陽極は、その表面にベリリウム層
を設けた他の材料で作成することもできる。電子は、陰
極１１０から放射され、高圧ＨＶによって加速されて、
陽極１２０上でベリリウムと衝突し、Ｘ線を生成する。
このＸ線は窓１３０によってＸ線管から送出され、その
後、その所与の部分が放射スペクトルの高エネルギー端
から分離される。この所与の部分は、例えばスペクトル
の基本的波長帯の上部２０％で構成してもよい。フィル
タの下流では、放射線はコリメータ５０を通って試料３
０へと搬送され、ここでこの放射線は蛍光放射線を励起
する。試料３０から放射された放射線は、第２コリメー
タ５０を通して検出器４０へと搬送される。
号を使用する。図３は、本発明の一つのＸ線蛍光測定シ
ステムを示す。Ｘ線管２１０はベリリウム製の陽極１２
０を含む。あるいは、陽極は、その表面にベリリウム層
を設けた他の材料で作成することもできる。電子は、陰
極１１０から放射され、高圧ＨＶによって加速されて、
陽極１２０上でベリリウムと衝突し、Ｘ線を生成する。
このＸ線は窓１３０によってＸ線管から送出され、その
後、その所与の部分が放射スペクトルの高エネルギー端
から分離される。この所与の部分は、例えばスペクトル
の基本的波長帯の上部２０％で構成してもよい。フィル
タの下流では、放射線はコリメータ５０を通って試料３
０へと搬送され、ここでこの放射線は蛍光放射線を励起
する。試料３０から放射された放射線は、第２コリメー
タ５０を通して検出器４０へと搬送される。
【００２２】図４は、図１と同じ方法でこのような測定
システムの動作を示す。ベリリウム陽極を装備したＸ線
管２１０が生成する放射線は、図４のベクトルＥpおよ
びＥsで表される全方向の偏向を明らかにする。しか
し、このようなＸ線が生成した放射線の偏向は、前述し
たエネルギー依存性を有し、したがってフィルタ２００
によって放射線から低エネルギー・スペクトル部分を消
去することにより、本質的にスペクトルの偏向した高エ
ネルギー部分しか残らず、これは方向Ｅpに偏向する。
この偏向放射線を試料３０に伝達して、偏向方向Ｅpが
Ｘ線管２１０、試料３０および検出器４０によって規定
される面と一致するように検出器を配置すると、Ｘ線管
から来る励起放射線は、検出器への散乱が最小限にな
る。したがって、試料３０から放射される蛍光放射線を
より正確に知覚するよう、検出器へ直接散乱する励起放
射線の量を最小限に抑えるため、このようなシステムを
使用することができる。
システムの動作を示す。ベリリウム陽極を装備したＸ線
管２１０が生成する放射線は、図４のベクトルＥpおよ
びＥsで表される全方向の偏向を明らかにする。しか
し、このようなＸ線が生成した放射線の偏向は、前述し
たエネルギー依存性を有し、したがってフィルタ２００
によって放射線から低エネルギー・スペクトル部分を消
去することにより、本質的にスペクトルの偏向した高エ
ネルギー部分しか残らず、これは方向Ｅpに偏向する。
この偏向放射線を試料３０に伝達して、偏向方向Ｅpが
Ｘ線管２１０、試料３０および検出器４０によって規定
される面と一致するように検出器を配置すると、Ｘ線管
から来る励起放射線は、検出器への散乱が最小限にな
る。したがって、試料３０から放射される蛍光放射線を
より正確に知覚するよう、検出器へ直接散乱する励起放
射線の量を最小限に抑えるため、このようなシステムを
使用することができる。
【００２３】図３および図４で示す測定システムでは、
Ｘ線管２１０とフィルタ２００との間に１つ以上のコリ
メータも配置することができる。図３に関連して既に指
摘したように、陽極１２０にはベリリウム以外の材料で
作成した筐体を設けることができ、陽極の筐体をベリリ
ウム層で被覆することができる。Ｘ線管で従来使用され
ているエネルギーでは、ベリリウム中で電子が停止する
距離は１０分の数ミリメートルであり、したがってベリ
リウム層は１０分の数ミリメートルより厚くする必要は
必ずしもない。
Ｘ線管２１０とフィルタ２００との間に１つ以上のコリ
メータも配置することができる。図３に関連して既に指
摘したように、陽極１２０にはベリリウム以外の材料で
作成した筐体を設けることができ、陽極の筐体をベリリ
ウム層で被覆することができる。Ｘ線管で従来使用され
ているエネルギーでは、ベリリウム中で電子が停止する
距離は１０分の数ミリメートルであり、したがってベリ
リウム層は１０分の数ミリメートルより厚くする必要は
必ずしもない。
【００２４】偏向Ｘ線の生成は、透過陽極を設けたＸ線
管を使用して実施することもできる。このタイプの実施
例では、陽極は実質的にベリリウムで構成され、Ｘ線管
に窓を提供する。
管を使用して実施することもできる。このタイプの実施
例では、陽極は実質的にベリリウムで構成され、Ｘ線管
に窓を提供する。
【００２５】本発明の一つの好ましい実施例では、フィ
ルタ２００はＸ線管２１０の一体部品である。フィルタ
２００は、たとえばＸ線管の筐体などへ、Ｘ線管の窓か
ら適切な距離であるいは窓に接触させて、何らかの以前
に知られている技術で固定することができる。検査すべ
き目標により、適切なフィルタ材料は、それによって生
成される蛍光放射線が検査するスペクトル部分に入らな
いようなものでよい。幾つかの考えられる材料は、例え
ばチタン、鋼鉄およびモリブデンなどである。本発明の
一つの好ましい実施例では、Ｘ線管の筐体材料が、少な
くともフィルタ２００の一部を構成する。このタイプの
実施例では、図５ａで示すように、Ｘ線管は別個の窓を
含む必要はまったくない。筐体材料を、フィルタリング
能力が所望の用途に十分になるよう選択することができ
れば、別個のフィルタも不要である。筐体材料が減速放
射線を望んだほど完全にフィルタリングすることができ
ない場合は、図５ｂで示すように、Ｘ線管筐体の表面
に、フィルタリングを最適にするため適切な材料の１つ
以上の余分な層２００’を設けることができる。
ルタ２００はＸ線管２１０の一体部品である。フィルタ
２００は、たとえばＸ線管の筐体などへ、Ｘ線管の窓か
ら適切な距離であるいは窓に接触させて、何らかの以前
に知られている技術で固定することができる。検査すべ
き目標により、適切なフィルタ材料は、それによって生
成される蛍光放射線が検査するスペクトル部分に入らな
いようなものでよい。幾つかの考えられる材料は、例え
ばチタン、鋼鉄およびモリブデンなどである。本発明の
一つの好ましい実施例では、Ｘ線管の筐体材料が、少な
くともフィルタ２００の一部を構成する。このタイプの
実施例では、図５ａで示すように、Ｘ線管は別個の窓を
含む必要はまったくない。筐体材料を、フィルタリング
能力が所望の用途に十分になるよう選択することができ
れば、別個のフィルタも不要である。筐体材料が減速放
射線を望んだほど完全にフィルタリングすることができ
ない場合は、図５ｂで示すように、Ｘ線管筐体の表面
に、フィルタリングを最適にするため適切な材料の１つ
以上の余分な層２００’を設けることができる。
【００２６】本発明の解決策は、おおむねすべてのＸ線
蛍光測定システムに適用できるが、その感度によって、
特に極めて低い濃度の重金属の分析に適用することがで
きる。この解決策は、例えば金のＫ線の分析で、１ｐｐ
ｍ未満の感度でも達成するという非常に高い感度を達成
することができる。本発明の解決策は、例えば生体組織
からでさえＬ線によって鉛を分析することもでき、人体
組織、特に骨への鉛分蓄積を分析することができる。本
発明の解決策は、非常に低濃度の金、プラチナ、さらに
例えば鉱業用途などで稀土類金属の分析にも使用できる
ので有利である。一つの顕著な好ましい用途は、組織の
測定ばかりでなく水路などの環境からも重金属の分析を
行うことである。
蛍光測定システムに適用できるが、その感度によって、
特に極めて低い濃度の重金属の分析に適用することがで
きる。この解決策は、例えば金のＫ線の分析で、１ｐｐ
ｍ未満の感度でも達成するという非常に高い感度を達成
することができる。本発明の解決策は、例えば生体組織
からでさえＬ線によって鉛を分析することもでき、人体
組織、特に骨への鉛分蓄積を分析することができる。本
発明の解決策は、非常に低濃度の金、プラチナ、さらに
例えば鉱業用途などで稀土類金属の分析にも使用できる
ので有利である。一つの顕著な好ましい用途は、組織の
測定ばかりでなく水路などの環境からも重金属の分析を
行うことである。
【００２７】フィルタ２００は、先行技術で既知の任意
のフィルタを備えることができる。本発明の測定システ
ムは、先行技術の解決策より著しく単純である。本発明
の測定システムには、偏向放射線を生成するために別個
の散乱体を設ける必要がない。本発明の測定システムは
効率の点で優れ、これによって所与の強度の偏向放射線
出力を生成するために、先行技術の解決策で使用したＸ
線管ほど強力でないＸ線管を使用すれば十分である。こ
のような理由から、本発明の測定システムは、偏向放射
線を利用した対応する先行技術のＸ線蛍光測定システム
よりコンパクトで、製造費が低い。
のフィルタを備えることができる。本発明の測定システ
ムは、先行技術の解決策より著しく単純である。本発明
の測定システムには、偏向放射線を生成するために別個
の散乱体を設ける必要がない。本発明の測定システムは
効率の点で優れ、これによって所与の強度の偏向放射線
出力を生成するために、先行技術の解決策で使用したＸ
線管ほど強力でないＸ線管を使用すれば十分である。こ
のような理由から、本発明の測定システムは、偏向放射
線を利用した対応する先行技術のＸ線蛍光測定システム
よりコンパクトで、製造費が低い。
【００２８】本発明を幾つかの好ましい実施例に関連し
て以上で述べてきたが、本発明は添付の請求の範囲で規
定された本発明の概念の範囲内で、様々な方法で変更で
きることが明白である。
て以上で述べてきたが、本発明は添付の請求の範囲で規
定された本発明の概念の範囲内で、様々な方法で変更で
きることが明白である。
【図１ａ】図１ａは散乱したＸ線の偏向を示す図であ
る。
る。
【図１ｂ】図１ｂは散乱媒体の使用に基づく偏向Ｘ線蛍
光測定システムを示す図である。
光測定システムを示す図である。
【図２ａ】図２ａは従来通りのＸ線管の基本的構造を示
す図である。
す図である。
【図２ｂ】図２ｂは従来通りのＸ線管の別の基本的構造
を示す図である。
を示す図である。
【図３】図３は本発明の一つのＸ線蛍光測定システムを
示す図である。
示す図である。
【図４】図４はのＸ線蛍光測定システムで発生する放射
能の偏向レベルを示す図である。
能の偏向レベルを示す図である。
【図５ａ】図５ａは本発明の一つのＸ線管の構成を示す
図である。
図である。
【図５ｂ】図５ｂは本発明の別のＸ線管の構成を示す図
である。
である。
３０ 試料 ４０ 検出器 ５０ コリメータ １１０ 陰極 １２０ 陽極 １３０ 窓 ２００ フィルタ ２１０ Ｘ線管
Claims (7)
- 【請求項１】 励起放射線を生成するＸ線管と、検査す
る目標から放射される蛍光放射線を測定する検出器（４
０）とを備えたＸ線蛍光測定システムであって、 前記Ｘ線管の陰極から分離された電子が衝突するように
なっている前記Ｘ線管の陽極（１２０）の少なくともあ
る部分が、少なくとも部分的に偏向したＸ線を生成する
ために本質的にベリリウムから作成され、 システムがさらに、少なくとも部分的に偏向したＸ線の
不完全な偏向スペクトル部分を少なくとも部分的に消去
するためのフィルタ（２００）を備えることを特徴とす
るシステム。 - 【請求項２】 前記Ｘ線管の陽極（１２０）が完全にベ
リリウムで作成されることを特徴とする、請求項１に記
載のシステム。 - 【請求項３】 偏向放射線を生成するＸ線管であって、
陰極から分離された電子が衝突するようになっている陽
極（１２０）の少なくともある部分が、少なくとも部分
的に偏向するＸ線を生成するために、本質的にベリリウ
ムで作成され、 前記少なくとも部分的に偏向したＸ線の不完全な偏向ス
ペクトル部分を少なくとも部分的に消去するために、得
られたＸ線をフィルタリングするようになっていること
を特徴とするＸ線管。 - 【請求項４】 陽極（１２０）が完全にベリリウムで作
成されることを特徴とする、請求項３に記載のＸ線管。 - 【請求項５】 前記少なくとも部分的に偏向したＸ線の
不完全な偏向スペクトル部分を少なくとも部分的に消去
するために、Ｘ線管の筐体が得られたＸ線をフィルタリ
ングするようになっていることを特徴とする、請求項３
に記載のＸ線管。 - 【請求項６】 筐体に加えて、少なくとも１つのフィル
タリング材料の層（２００、２００’）を含むことを特
徴とする、請求項３に記載のＸ線管。 - 【請求項７】 偏向Ｘ線を生成するために、ベリリウム
陽極を装備したＸ線管の使用。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI972755A FI102697B (fi) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | Polarisoitua herätesäteilyä hyödyntävä röntgenfluoresenssimittausjärje stely ja röntgenputki |
| FI972755 | 1997-06-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1167129A true JPH1167129A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=8549137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10178660A Pending JPH1167129A (ja) | 1997-06-26 | 1998-06-25 | 偏向励起放射線を利用するｘ線蛍光測定システムおよびｘ線管 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6049589A (ja) |
| EP (1) | EP0887639B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1167129A (ja) |
| AU (1) | AU728117B2 (ja) |
| CA (1) | CA2241640A1 (ja) |
| DE (1) | DE69800159T2 (ja) |
| FI (1) | FI102697B (ja) |
| RU (1) | RU2199112C2 (ja) |
| ZA (1) | ZA985538B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007327756A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Sii Nanotechnology Inc | 蛍光ｘ線分析装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20213975U1 (de) * | 2002-09-06 | 2002-12-19 | Lzh Laserzentrum Hannover Ev | Einrichtung zur Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung |
| DE102004025997A1 (de) * | 2004-05-27 | 2005-12-22 | Feinfocus Gmbh | Einrichtung zur Erzeugung und Emission von XUV-Strahlung |
| DE102005018342B4 (de) * | 2005-04-20 | 2012-05-24 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung |
| DE102005041923A1 (de) * | 2005-09-03 | 2007-03-08 | Comet Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung |
| ES2478090T3 (es) | 2011-06-10 | 2014-07-18 | Outotec Oyj | Tubo de rayos X y analizador de fluorescencia de rayos X que utiliza radiación de excitación selectiva |
| RU2555191C1 (ru) * | 2014-04-24 | 2015-07-10 | Владимир Константинович Егоров | Устройство для рентгенофлуоресцентного анализа материалов с формированием потока возбуждения плоским рентгеновским волноводом-резонатором |
| RU2584066C1 (ru) * | 2014-12-18 | 2016-05-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ) | Устройство для энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа на основе вторичных излучателей |
| SE543606C2 (en) * | 2018-08-03 | 2021-04-13 | Orexplore Ab | Density analysis of geological sample |
| CN116577364B (zh) * | 2023-07-12 | 2023-10-10 | 生态环境部华南环境科学研究所(生态环境部生态环境应急研究所) | 一种基于x射线荧光光谱的固废成分分析装置及方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE264360C (ja) * | ||||
| US2168780A (en) * | 1930-12-06 | 1939-08-08 | Dimitry E Oishevsky | X-ray tube |
| US2922904A (en) * | 1957-12-30 | 1960-01-26 | Gen Electric | Target window for x-ray microscopes |
| FR2054468A6 (ja) * | 1969-07-11 | 1971-04-23 | Chalons Francois | |
| US3752989A (en) * | 1972-01-27 | 1973-08-14 | Us Commerce | Method of producing an intense, high-purity k x-ray beam |
| US3944822A (en) * | 1974-09-30 | 1976-03-16 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The U. S. Environmental Protection Agency | Polarization excitation device for X-ray fluorescence analysis |
| SE415804B (sv) * | 1978-06-21 | 1980-10-27 | Nils Johannes Baecklund | Sett att medelst rontgenstralning meta halten eller mengden av ett forutbestemt grundemne i ett prov, samt anordning for utforande av settet |
| US4637042A (en) * | 1980-04-18 | 1987-01-13 | The Machlett Laboratories, Incorporated | X-ray tube target having electron pervious coating of heat absorbent material on X-ray emissive surface |
| JPS58108637A (ja) * | 1981-12-22 | 1983-06-28 | Kikuta Koizumi | 軟ｘ線管球 |
| DD273332A1 (de) * | 1985-12-27 | 1989-11-08 | Rudolstadt Roehrenwerk | Roentgenroehre fuer die untersuchung von stoffen |
| DD264360A3 (de) * | 1985-12-27 | 1989-02-01 | Rudolstadt Roehrenwerk | Roentgenroehre fuer die untersuchung von stoffen |
| FR2593324B1 (fr) * | 1986-01-17 | 1988-03-25 | Thomson Cgr | Anode tournante avec graphite pour tube radiogene |
| GB9317371D0 (en) * | 1993-08-20 | 1993-10-06 | Oxford Analytical Instr Ltd | X-ray fluorescence inspection apparatus |
-
1997
- 1997-06-26 FI FI972755A patent/FI102697B/fi active
-
1998
- 1998-06-24 US US09/103,389 patent/US6049589A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-24 CA CA002241640A patent/CA2241640A1/en not_active Abandoned
- 1998-06-25 JP JP10178660A patent/JPH1167129A/ja active Pending
- 1998-06-25 RU RU98113412/28A patent/RU2199112C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1998-06-25 ZA ZA9805538A patent/ZA985538B/xx unknown
- 1998-06-25 AU AU73150/98A patent/AU728117B2/en not_active Ceased
- 1998-06-26 EP EP98660066A patent/EP0887639B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-26 DE DE69800159T patent/DE69800159T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007327756A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Sii Nanotechnology Inc | 蛍光ｘ線分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2199112C2 (ru) | 2003-02-20 |
| EP0887639A1 (en) | 1998-12-30 |
| AU7315098A (en) | 1999-01-07 |
| US6049589A (en) | 2000-04-11 |
| FI972755A (fi) | 1998-12-27 |
| AU728117B2 (en) | 2001-01-04 |
| FI102697B1 (fi) | 1999-01-29 |
| EP0887639B1 (en) | 2000-05-24 |
| ZA985538B (en) | 1999-12-24 |
| FI972755A0 (fi) | 1997-06-26 |
| DE69800159T2 (de) | 2001-05-10 |
| CA2241640A1 (en) | 1998-12-26 |
| DE69800159D1 (de) | 2000-06-29 |
| FI102697B (fi) | 1999-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7664230B2 (en) | X-ray tubes | |
| Ding et al. | Monolithic polycapillary X-ray optics engineered to meet a wide range of applications | |
| US20020064253A1 (en) | Apparatus and method for generating a high intensity X-ray beam with a selectable shape and wavelength | |
| JPH1167129A (ja) | 偏向励起放射線を利用するｘ線蛍光測定システムおよびｘ線管 | |
| AU2012203317B2 (en) | X-Ray tube and x-ray fluorescence analyser utilizing selective excitation radiation | |
| Wobrauschek et al. | X‐ray fluorescence analysis with a linear polarized beam after bragg reflection from a flat or a curved single crystal | |
| US6326617B1 (en) | Photoelectron spectroscopy apparatus | |
| Gordon et al. | The application of synchrotron radiation to microprobe trace-element analysis of biological samples | |
| US6487269B2 (en) | Apparatus for analysing a sample | |
| Drummond et al. | Four classes of selected area XPS (SAXPS): an examination of methodology and comparison with other techniques | |
| US5257303A (en) | Surface channeled X-ray tube | |
| US3502925A (en) | High intensity x-ray source | |
| Rao et al. | Estimation of monochromaticity, solid angle correction and some considerations on secondary target arrangement using x-ray tube | |
| Holý et al. | Basic elements of the equipment | |
| Kumakhov | X-ray and neutron polycapillary optics: status and perspectives | |
| Friedman et al. | Basic Theory and Fundamentals of Fluorescent X-ray Spectrographic Analysis | |
| Glotin et al. | Tunable X-rays generation in a free-electron laser by intracavity Compton backscattering | |
| Rao et al. | Rayleigh scattering of 16.58 keV photons in the atomic region 59⩽ Z⩽ 82 at q= 0.9457 h Å− 1 | |
| Valkovic | First centenary of Röntgen's discovery of X-rays | |
| SU1689818A1 (ru) | Источник коллимированного рентгеновского излучени | |
| Arduini et al. | A compact source of intense 1–100 keV monochromatic X-rays from low energy protons | |
| Bruch et al. | Application of high-resolution, high-sensitivity spectrometry in the extreme ultraviolet wavelength range for diagnostics of single and double electron capture processes in He2++ He and Ar8++ He collisions | |
| Sterk | X-Ray Techniques in the 1 to 400 Å Range | |
| Marfeld et al. | Fluor'X: a near monochromatic x-ray source | |
| McDONALD | Proposal for an experimental study of nonlinear Compton scattering |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050623 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060728 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060728 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060728 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060728 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070827 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070919 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080303 |