JPH1154029A - Manufacture of base board for display panel - Google Patents
Manufacture of base board for display panelInfo
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- JPH1154029A JPH1154029A JP21100497A JP21100497A JPH1154029A JP H1154029 A JPH1154029 A JP H1154029A JP 21100497 A JP21100497 A JP 21100497A JP 21100497 A JP21100497 A JP 21100497A JP H1154029 A JPH1154029 A JP H1154029A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルを初めとする各種のディスプレイパネルに使
用される微細隔壁を有するディスプレイパネル用基板の
製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a display panel substrate having fine partition walls used for various display panels including a plasma display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】壁掛けテレビ等への応用もなされている
プラズマディスプレイパネルの基本的構造は、例えば、
図3に示すとおりである。即ち、前面パネルAと背面パ
ネルBとを、両パネルにそれぞれ形成したストライプ状
電極A1、B1が互いに対向するように重ね合わせ、そ
の交点におけるストライプ状又は格子状の隔壁C内で放
電を起こすことにより、発光させるものである。2. Description of the Related Art The basic structure of a plasma display panel, which is also applied to a wall-mounted television, is, for example,
As shown in FIG. That is, the front panel A and the back panel B are overlapped so that the striped electrodes A1 and B1 formed on both panels are opposed to each other, and a discharge is caused in the striped or grid-shaped partition C at the intersection. To emit light.
【0003】隔壁Cは、光のクロストークを防ぐととも
に、画面のコントラストを作るために設けられているも
ので、非常に微細なものである。例えば、ストライプ状
のものにあっては、幅約30μm、高さ約200μm
で、100μm程度の間隔でパネル前面にわたって形成
されている。そして、このような微細寸法の隔壁Cの内
部には、蛍光体が塗布され、Ne、Xe等の不活性ガス
が封入される。よって、複雑でかつ鮮明な画像を得ると
いう観点から当然に隔壁Cに要求されるファインパター
ン化とともに、蛍光体の塗布量を一定にし、前面パネル
Aと密着して不活性ガスの漏出を防止する観点等から
も、隔壁Cの寸法精度が高いことが要求される。The partition C is provided to prevent crosstalk of light and to provide a contrast of a screen, and is very fine. For example, in the case of a stripe, a width of about 30 μm and a height of about 200 μm
And formed over the front surface of the panel at intervals of about 100 μm. Then, a phosphor is applied to the inside of the partition C having such fine dimensions, and an inert gas such as Ne or Xe is sealed therein. Therefore, from the viewpoint of obtaining a complicated and clear image, the fine pattern required for the partition wall C is of course required, the coating amount of the phosphor is made constant, and the leakage of the inert gas is prevented by being in close contact with the front panel A. From the viewpoint and the like, the dimensional accuracy of the partition wall C is required to be high.
【0004】従来、このような隔壁Cを形成する方法と
して、スクリーン印刷法やサンドブラスト法が採用され
ている。スクリーン印刷法は、ガラス基板上に、ガラス
ペーストを印刷し、乾燥する操作を、毎回位置合わせし
て10回程度繰り返すもので、所謂重ね刷りにより隔壁
を形成するものである。サンドブラスト法は、ガラスペ
ーストをガラス基板の前面に塗布したのち、フォトレジ
ストで被覆し、露光、現像し、その後、レジストパター
ンで被覆されない部分をサンドブラストして、隔壁を形
成するものである。Conventionally, a screen printing method or a sand blast method has been adopted as a method for forming such a partition C. In the screen printing method, an operation of printing a glass paste on a glass substrate and drying the glass paste is repeated about 10 times each time with positioning, and a partition is formed by so-called overprinting. In the sand blasting method, a glass paste is applied to the front surface of a glass substrate, coated with a photoresist, exposed and developed, and thereafter, a portion not covered with the resist pattern is sand blasted to form a partition.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】スクリーン印刷法によ
る隔壁の形成方法においては、毎回の位置合わせとスク
リーンの歪みとによりファインパターン化が困難とな
り、この困難性が特に大画面化に際しての大きな障害と
なっている。スクリーン印刷法を適用した場合のこのよ
うな問題の発生は、隔壁原料液が液ダレしやすいという
ことも理由の一つである。また、サンドブラスト法によ
る隔壁の形成方法によっては、主に深さが不均一になり
やすいという問題を解決することができず、やはりファ
インパターン化、大画面化が困難になっている。さら
に、いずれの方法においても、寸法精度を高めようとす
れば長時間を要するため、それが製造コストを上昇させ
る要因ともなっている。In the method of forming the partition wall by the screen printing method, it is difficult to form a fine pattern due to the alignment and the distortion of the screen each time, and this difficulty is a major obstacle particularly in increasing the screen size. Has become. The occurrence of such a problem when the screen printing method is applied is also one of the reasons that the partition wall raw material liquid is easily dripped. Further, depending on the method of forming the partition walls by the sandblast method, the problem that the depth tends to be non-uniform cannot be mainly solved, and it is also difficult to form a fine pattern and enlarge the screen. Further, in any of the methods, it takes a long time to increase the dimensional accuracy, which causes a rise in manufacturing cost.
【0006】そこで本発明は、上記問題点を解決し、マ
スター成形型の微細パターンを、簡便な方法により、し
かも精緻に転写することができる、プラズマディスプレ
イパネル用としても好適なディスプレイパネル用基板の
製造方法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, and enables a fine pattern of a master mold to be transferred in a simple and precise manner. It is intended to provide a manufacturing method.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者は、まず従来の
スクリーン印刷法による隔壁の形成時における隔壁原料
液のダレによる問題の発生に着目し、次にこの隔壁原料
液をそのまま使用するのではなく、坦体に含浸保持させ
て使用することにより液ダレ自体を解消できることを見
出し、さらにこの望ましい坦体について研究を重ねた結
果、本発明を完成するに至ったものである。The inventor of the present invention pays attention to the occurrence of a problem due to dripping of the partition wall material liquid at the time of forming the partition wall by the conventional screen printing method, and then uses this partition wall material liquid as it is. Instead, it was found that the liquid dripping itself could be eliminated by using the carrier by impregnating and holding it, and as a result of further research on this desirable carrier, the present invention was completed.
【0008】本発明は、上記目的を達成するための手段
として、請求項1の成形型の微細パターンの形成面上に
隔壁原料液を含浸させた多孔質シートを置き、更にその
上にガラス板を重ねて置く第1工程と、押圧しながら加
熱する第2工程と、成形型を脱離し、残部のガラス板と
多孔質シートを、多孔質シートを燃焼除去できる温度で
焼成する第3工程とを具備することを特徴とするディス
プレイパネル用基板の製造方法を提供する。According to the present invention, as a means for achieving the above object, a porous sheet impregnated with a partition raw material liquid is placed on the fine pattern forming surface of the mold according to claim 1, and a glass plate is further placed thereon. A second step of heating while pressing, a second step of removing the mold, and firing the remaining glass plate and porous sheet at a temperature at which the porous sheet can be removed by burning. The present invention provides a method for manufacturing a display panel substrate, comprising:
【0009】また、本発明は、上記目的を達成するため
の手段として、請求項2の第1工程において、ガラス板
上に隔壁原料液を含浸させた多孔質シートを置き、その
上に成形型の微細パターンの形成面を重ねて置く、請求
項1記載のディスプレイパネル用基板の製造方法を提供
する。According to the present invention, as a means for achieving the above-mentioned object, in the first step of claim 2, a porous sheet impregnated with a partition wall raw material liquid is placed on a glass plate, and a molding die is placed thereon. 2. The method for manufacturing a display panel substrate according to claim 1, wherein the formation surfaces of the fine patterns are overlapped.
【0010】また、本発明は、上記目的を達成するため
の手段として、請求項3のプラズマディスプレイパネル
用基板である請求項1又は2記載のディスプレイパネル
用基板の製造方法を提供する。Further, the present invention provides a method for manufacturing a display panel substrate according to claim 1 or 2, which is a plasma display panel substrate according to claim 3 as means for achieving the above object.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
のディスプレイパネル用基板の製造方法について説明す
る。図1は、本発明の製造方法を説明するための概略正
面図であり、図2は、本発明の製造方法を説明するため
の概略正面図であり、かつディスプレイパネル用基板の
概略正面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method for manufacturing a display panel substrate according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic front view for explaining the manufacturing method of the present invention, and FIG. 2 is a schematic front view for explaining the manufacturing method of the present invention and a schematic front view of a display panel substrate. is there.
【0012】第1工程において、まず、成形型6の微細
パターン50の形成面上に隔壁原料液を含浸させた多孔
質シート20を置き、次に、多孔質シート20の上にさ
らにガラス板30を重ねて置く。このとき、隔壁原料液
は多孔質シート20に含浸保持されているので、作業中
において液ダレが生じることはなく、取扱も容易であ
る。In the first step, first, the porous sheet 20 impregnated with the partition raw material liquid is placed on the surface of the mold 6 on which the fine pattern 50 is formed, and then the glass sheet 30 is further placed on the porous sheet 20. Put on each other. At this time, since the partition wall raw material liquid is impregnated and held in the porous sheet 20, no liquid dripping occurs during the operation and the handling is easy.
【0013】この成形型6はマスター型となるものであ
り、微細パターン50を形成できるものであれば、その
材質は特に制限されるものではない。その微細パターン
50は目的とするディスプレイパネル用基板の隔壁を形
成するためのものであり、前記隔壁のパターンとは凹凸
反転像をなすものである。また、この成形型6の微細パ
ターン50は、ストライプ状又は格子状のものであり、
その寸法の一例を挙げると、ストライプ状のもので、幅
60μm、深さ200μm、間隔160μm程度のもの
である。この成形型6の表面には、離型性を向上させる
ため、サブミクロンのフッ素系樹脂の粒子を分散したメ
ッキ層を、例えば、株式会社ヒキフネや大阪ガスケミカ
ル株式会社による無電解ニッケル−PTFE分散メッキ
を施すことができる。The molding die 6 is a master die, and its material is not particularly limited as long as it can form the fine pattern 50. The fine pattern 50 is for forming a partition of a target display panel substrate, and the pattern of the partition forms an inverted image of unevenness. The fine pattern 50 of the molding die 6 has a stripe shape or a lattice shape,
An example of the dimensions is a stripe-shaped one having a width of 60 μm, a depth of 200 μm, and an interval of about 160 μm. In order to improve the releasability, a plating layer in which submicron fluororesin particles are dispersed is coated on the surface of the mold 6 by, for example, electroless nickel-PTFE dispersion by Hikifune Co., Ltd. or Osaka Gas Chemical Co., Ltd. Plating can be applied.
【0014】多孔質シート20は、それに含浸させた隔
壁原料液が成形型6の微細パターン50を転写し、最終
的に隔壁を形成することを補助する作用をなすものであ
る。よって、この転写を良好に行うため、それに要する
だけの隔壁原料液を含浸・保持できる程度の細孔を有し
ているもの、好ましくはこの細孔を均一に分散して有し
ているものであれば、基本的にはどのような材質のもの
でもよい。また、微細パターン50の転写を容易にさせ
るため、できるだけ薄いものであることが好ましい。こ
のような多孔質シート20としては、紙、合成紙、プラ
スチックフィルム及びシート、プラスチックフォーム、
布、不織布のようなものを挙げることができる。好適な
ものとしては、超高分子量ポリエチレンの不織布用シー
トを使用することができる。The porous sheet 20 has the function of assisting the transfer of the fine pattern 50 of the molding die 6 by the impregnating raw material liquid impregnated therein and finally forming the partition. Therefore, in order to perform this transfer satisfactorily, those having pores of such a degree that they can impregnate and hold only the partition wall material liquid necessary for the transfer, preferably those having the pores dispersed uniformly. Basically, any material may be used. Further, in order to facilitate the transfer of the fine pattern 50, it is preferable that the pattern is as thin as possible. Examples of such a porous sheet 20 include paper, synthetic paper, plastic films and sheets, plastic foam,
Cloths and nonwoven fabrics can be mentioned. As a preferable example, a sheet for nonwoven fabric of ultrahigh molecular weight polyethylene can be used.
【0015】多孔質シート20に含浸させる隔壁原料液
としては、含浸ができる程度の浸透性及び不燃性を有し
ており、かつ硬化して隔壁を形成できるものであれば特
に制限されるものではない。このような隔壁原料液とし
ては、ケイ素含有ポリマーを形成する商品名 HEAT
LESS GLASSのGS−600シリーズ(ホーマ
ーテクノロジー株式会社)、ペルヒドロポリシラザンの
ようなポリシラザン類、例えば商品名東燃ポリシラザン
(東燃株式会社)、無機バインダーである商品名 レッ
ドプルーフのMR−10シリーズ(株式会社熱研)、従
来より使用されているガラスペースト等を挙げることが
できる。この隔壁原料液は隔壁となるものであるため、
ディスプレイパネルのコントラストを得る上で有利にな
るように、必要に応じて黒色等の暗色系の着色剤を配合
することができる。The partition wall material liquid to be impregnated into the porous sheet 20 is not particularly limited as long as it has permeability and nonflammability enough to be impregnated, and can be cured to form a partition wall. Absent. As such a partition wall raw material liquid, a product name HEAT for forming a silicon-containing polymer is used.
LESS GLASS GS-600 series (Homer Technology Co., Ltd.), polysilazanes such as perhydropolysilazane, for example, trade name Tonen polysilazane (Tonen Corporation), trade name of inorganic binder Red Proof MR-10 series (Ltd.) Thermal research), and conventionally used glass pastes. Since the partition wall material liquid is to be a partition wall,
If necessary, a dark colorant such as black can be blended so as to be advantageous in obtaining the contrast of the display panel.
【0016】多孔質シート20に隔壁原料液を含浸させ
る方法としては、隔壁原料液内に多孔質シートを浸漬す
る方法、多孔質シートに隔壁原料液を塗布する方法等を
適用することができる。As a method for impregnating the porous sheet 20 with the partition wall raw material liquid, a method of immersing the porous sheet in the partition wall raw material liquid, a method of applying the partition wall raw material liquid to the porous sheet, and the like can be applied.
【0017】ガラス板30は、そのまま背面ガラス基板
3とすることができるものである。また、このガラス板
30は、製造時において多孔質シート20を支持して作
業性を向上させるものである。The glass plate 30 can be used as the rear glass substrate 3 as it is. The glass plate 30 supports the porous sheet 20 at the time of manufacturing to improve workability.
【0018】次に、第2工程において、押圧しながら加
熱する。この押圧により、多孔質シート20は、成形型
6の微細パターン50に押しつけられ、微細パターン5
0の形状に対応して変形する。同時に、加熱により多孔
質シート20に含浸された隔壁原料液が硬化するので、
前記変形はそのまま保持され、微細パターン50が多孔
質シート20に反転した状態で転写される。このとき、
硬化した隔壁原料液を含む多孔質シート20はガラス板
30にも密着する。また、この工程においては、次工程
における成形型6を脱離作業をより容易になすため、硬
化を完了させずに微細パターン50の凹凸形状が保持で
きる程度で硬化を停止させることもできる。Next, in the second step, heating is performed while pressing. By this pressing, the porous sheet 20 is pressed against the fine pattern 50 of the mold 6 and the fine pattern 5
Deforms corresponding to 0 shape. At the same time, since the partition wall raw material liquid impregnated in the porous sheet 20 is cured by heating,
The deformation is kept as it is, and the fine pattern 50 is transferred to the porous sheet 20 in an inverted state. At this time,
The porous sheet 20 containing the hardened partition wall material liquid is also in close contact with the glass plate 30. In this step, in order to make the work of removing the molding die 6 in the next step easier, the curing can be stopped to the extent that the unevenness of the fine pattern 50 can be maintained without completing the curing.
【0019】この押圧及び加熱手段としては、例えば図
1に示すように、固定盤P1と、上下方向に移動可能で
ある可動盤P2とからなるヒートプレス機Pを使用する
ことができる。即ち、固定盤P1上に成形型6、多孔質
シート20及びガラス板30をこの順序で置き、可動盤
P2を下降してガラス基板に圧着させた状態で、押圧し
ながら加熱するものである。このとき、成形型6、多孔
質シート20及びガラス板30を予め組み合わせておい
たものを固定盤P1上に置くこともできるし、ガラス板
30、多孔質シート20及び成形型6の順序で固定盤P
1上に置くこともできる。加熱終了後、今度は可動盤P
2を上昇させて、成形型6、多孔質シート20及びガラ
ス板30を取り出す。なお、この押圧作業において均一
な押圧状態を確保するため、熱伝導性のよいクッション
材を固定盤P1や可動盤P2の間に挟み込んでもよい。As the pressing and heating means, for example, as shown in FIG. 1, a heat press P comprising a fixed plate P1 and a movable plate P2 which can be moved in the vertical direction can be used. That is, the molding die 6, the porous sheet 20, and the glass plate 30 are placed on the fixed plate P1 in this order, and the movable plate P2 is lowered and pressed against the glass substrate while being heated while being pressed. At this time, a combination of the forming die 6, the porous sheet 20, and the glass plate 30 in advance can be placed on the fixing plate P1, or the glass plate 30, the porous sheet 20, and the forming die 6 can be fixed in this order. Board P
1 can also be placed. After heating, this time the movable platen P
The mold 2, the porous sheet 20 and the glass plate 30 are taken out by raising 2. In order to ensure a uniform pressing state in this pressing operation, a cushion material having good heat conductivity may be interposed between the fixed board P1 and the movable board P2.
【0020】この押圧力は、多孔質シート20の種類、
厚さ、さらには隔壁原料液の含浸量及び種類等により異
なるものであり、これらの要素を総合的に考慮して決定
する。また、加熱条件は、多孔質シート20に含浸させ
た隔壁原料液の種類及び量に応じて決定する。This pressing force depends on the type of the porous sheet 20,
The thickness differs depending on the impregnation amount and type of the partition wall raw material liquid, and is determined by comprehensively considering these factors. The heating condition is determined according to the type and amount of the partition wall raw material liquid impregnated in the porous sheet 20.
【0021】次に、第3工程において、成形型6を脱離
し、残部のガラス板30と多孔質シート20を、多孔質
シート20を燃焼除去できる温度で焼成する。このよう
に焼成することにより、有機質の多孔質シート20のみ
が燃焼して揮発除去される。このようにして、図2に示
すような、成形型6の微細パターン50が精緻に反転・
転写された微細パターン51を有する隔壁2と、それを
支持するガラス基板3からなるディスプレイパネル用基
板10を得ることができる。Next, in a third step, the mold 6 is detached, and the remaining glass plate 30 and the porous sheet 20 are fired at a temperature at which the porous sheet 20 can be burned off. By firing in this manner, only the organic porous sheet 20 is burned and volatilized and removed. In this way, as shown in FIG.
The display panel substrate 10 including the partition wall 2 having the transferred fine pattern 51 and the glass substrate 3 supporting the partition wall 2 can be obtained.
【0022】このようにして得られるディスプレイパネ
ル用基板10は、常法にしたがい、アドレス用電極の取
り付けや、蛍光体の塗布等をすることにより、目的とす
るプラズマディスプレイパネル等のディスプレイパネル
を得ることができる。The display panel substrate 10 thus obtained is obtained by attaching address electrodes, applying a fluorescent material, etc. in a conventional manner to obtain a desired display panel such as a plasma display panel. be able to.
【0023】[0023]
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳しく説
明するが、本発明はこれらにより限定されるものではな
い。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples, but it should not be construed that the invention is limited thereto.
【0024】実施例1 本発明の製造方法を適用し、図3に示すようなストライ
プ状の隔壁を有するプラズマディスプレイパネル用基板
を製造した。以下、図1及び2をもとに説明する。ま
ず、幅60μm、高さ200μm、間隔160μmの微
細パターン50を有する金属成形型6を用意し、ヒート
プレス機Pの固定盤P1の上に置いた。次に、この金属
成形型6の微細パターン50の形成面上に、多孔質シー
ト20である厚み150μmの超高分子量ポリエチレン
の不織布用シートに、隔壁原料液として商品名 HEA
TLESS GLASS(GS−600−1;稀釈剤と
してイソプロピルアルコールを含有している)を含浸さ
せたものを置いた。その後、塗布面に基板となるガラス
板30を置いた。なお、前記の含浸処理は、HEATL
ESS GLASSを不織布用シートに塗り込むことに
より行った。次に、ヒートプレス機の可動盤P2を下降
させ、ガラス板30に押しつけた状態で、約15g/cm
2 の圧力を加えながら、約130℃で20〜30分間程
度加熱保持し、HEATLESS GLASSを硬化さ
せた。硬化が完了したのち、可動盤P2を上昇させ、金
属成形型6を脱離し、図2に示すような、ディスプレイ
パネル用基板の前駆体を得た。その後、これを加熱炉に
入れ、約500℃で約30分間保持し、前記不織布用シ
ートを燃焼して除去し、図2に示すような、隔壁2とガ
ラス基板3を有するディスプレイパネル用基板10を得
た。このディスプレイパネル用基板10の表面を顕微鏡
により観察したところ、金属成形型6の微細パターン5
0がそのまま反転・転写された、幅60μm、高さ20
0μm、間隔160μmの精緻な微細パターン51の隔
壁2が形成されていることを確認した。Example 1 By applying the manufacturing method of the present invention, a substrate for a plasma display panel having striped partition walls as shown in FIG. 3 was manufactured. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. First, a metal mold 6 having a fine pattern 50 having a width of 60 μm, a height of 200 μm, and an interval of 160 μm was prepared and placed on a fixed plate P1 of a heat press P. Next, on the surface of the metal mold 6 on which the fine patterns 50 are formed, a porous sheet 20 of a 150 μm-thick ultra-high molecular weight polyethylene nonwoven fabric sheet is used as a partition wall raw material liquid HEA.
The one impregnated with TTLESS GLASS (GS-600-1; containing isopropyl alcohol as diluent) was placed. Thereafter, a glass plate 30 serving as a substrate was placed on the application surface. In addition, the above-mentioned impregnation processing is performed by HEATL.
This was performed by applying ESS GLASS to a nonwoven fabric sheet. Next, the movable platen P2 of the heat press machine was lowered, and was pressed against the glass plate 30 to about 15 g / cm.
While applying the pressure of 2 , heating and holding at about 130 ° C. for about 20 to 30 minutes cured the HEATLESS GLASS. After the curing was completed, the movable platen P2 was raised, the metal mold 6 was detached, and a precursor for a display panel substrate as shown in FIG. 2 was obtained. Thereafter, this is placed in a heating furnace, and is held at about 500 ° C. for about 30 minutes, and the nonwoven fabric sheet is burned and removed. As shown in FIG. 2, a display panel substrate 10 having a partition wall 2 and a glass substrate 3 is provided. I got When the surface of the display panel substrate 10 was observed with a microscope, the fine pattern 5 of the metal mold 6 was observed.
0 is reversed and transferred as it is, width 60 μm, height 20
It was confirmed that the partition walls 2 having a fine pattern 51 of 0 μm and a spacing of 160 μm were formed.
【0025】[0025]
【発明の効果】本発明の製造方法においては、通常は液
ダレしやすい隔壁原料液が多孔質シートに含浸保持され
ている。このため、液ダレにともなう問題の発生が完全
に防止できるだけでなく、取扱も容易であるため、作業
性を著しく向上できる。また、処理時間も短縮できるた
め、製造コストも低下できる。本発明の製造方法を適用
することにより、隔壁のファインパターン化が達成でき
るため、高品質のプラズマディスプレイパネル等に適用
するディスプレイパネル用基板を提供することができ
る。According to the production method of the present invention, the raw material for partition walls, which is usually easily dripped, is impregnated and held in the porous sheet. For this reason, not only the occurrence of the problem due to the liquid dripping can be completely prevented, but also the handling is easy, so that the workability can be remarkably improved. Further, the processing time can be shortened, so that the manufacturing cost can be reduced. By applying the manufacturing method of the present invention, fine patterning of the partition wall can be achieved, so that a display panel substrate applied to a high-quality plasma display panel or the like can be provided.
【図1】本発明の製造方法を説明するための概略正面図
である。FIG. 1 is a schematic front view for explaining a manufacturing method of the present invention.
【図2】本発明の製造方法を説明するための概略正面図
である。FIG. 2 is a schematic front view for explaining the manufacturing method of the present invention.
【図3】プラズマディスプレイパネルの構造例を示す概
略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view showing a structural example of a plasma display panel.
2 隔壁 3 ガラス基板 6 成形型 10 ディスプレイパネル用基板 20 多孔質シート 30 ガラス板 50 微細パターン 51 微細パターン 2 Partition wall 3 Glass substrate 6 Mold 10 Display panel substrate 20 Porous sheet 30 Glass plate 50 Fine pattern 51 Fine pattern
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成9年8月18日[Submission date] August 18, 1997
【手続補正1】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】0014[Correction target item name] 0014
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【0014】多孔質シート20は、それに含浸させた隔
壁原料液が成形型6の微細パターン50を転写し、最終
的に隔壁を形成することを補助する作用をなすものであ
る。よって、この転写を良好に行うため、それに要する
だけの隔壁原料液を含浸・保持できる程度の細孔を有し
ているもの、好ましくはこの細孔を均一に分散して有し
ているものであれば、基本的にはどのような材質のもの
でもよい。また、微細パターン50の転写を容易にさせ
るため、できるだけ薄いものであることが好ましい。こ
のような多孔質シート20としては、紙、合成紙、プラ
スチックフィルム及びシート、プラスチックフォーム、
布、不織布のようなものを挙げることができる。好適な
ものとしては、超高分子量ポリエチレンの不織布様シー
トを使用することができる。The porous sheet 20 has the function of assisting the transfer of the fine pattern 50 of the molding die 6 by the impregnating raw material liquid impregnated therein and finally forming the partition. Therefore, in order to perform this transfer satisfactorily, those having pores of such a degree that they can impregnate and hold only the partition wall material liquid necessary for the transfer, preferably those having the pores dispersed uniformly. Basically, any material may be used. Further, in order to facilitate the transfer of the fine pattern 50, it is preferable that the pattern is as thin as possible. Examples of such a porous sheet 20 include paper, synthetic paper, plastic films and sheets, plastic foam,
Cloths and nonwoven fabrics can be mentioned. As a preferable one, a nonwoven fabric-like sheet of ultrahigh molecular weight polyethylene can be used.
【手続補正2】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】0024[Correction target item name] 0024
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【0024】実施例1 本発明の製造方法を適用し、図3に示すようなストライ
プ状の隔壁を有するプラズマディスプレイパネル用基板
を製造した。以下、図1及び2をもとに説明する。ま
ず、幅60μm、高さ200μm、間隔160μmの微
細パターン50を有する金属成形型6を用意し、ヒート
プレス機Pの固定盤P1の上に置いた。次に、この金属
成形型6の微細パターン50の形成面上に、多孔質シー
ト20である厚み150μmの超高分子量ポリエチレン
の不織布様シートに、隔壁原料液として商品名 HEA
TLESS GLASS(GS−600−1;稀釈剤と
してイソプロピルアルコールを含有している)を含浸さ
せたものを置いた。その後、塗布面に基板となるガラス
板30を置いた。なお、前記の含浸処理は、HEATL
ESS GLASSを不織布様シートに塗り込むことに
より行った。次に、ヒートプレス機の可動盤P2を下降
させ、ガラス板30に押しつけた状態で、約15g/cm
2 の圧力を加えながら、約130℃で20〜30分間程
度加熱保持し、HEATLESS GLASSを硬化さ
せた。硬化が完了したのち、可動盤P2を上昇させ、金
属成形型6を脱離し、図2に示すような、ディスプレイ
パネル用基板の前駆体を得た。その後、これを加熱炉に
入れ、約500℃で約30分間保持し、前記不織布様シ
ートを燃焼して除去し、図2に示すような、隔壁2とガ
ラス基板3を有するディスプレイパネル用基板10を得
た。このディスプレイパネル用基板10の表面を顕微鏡
により観察したところ、金属成形型6の微細パターン5
0がそのまま反転・転写された、幅60μm、高さ20
0μm、間隔160μmの精緻な微細パターン51の隔
壁2が形成されていることを確認した。 ─────────────────────────────────────────────────────
Example 1 By applying the manufacturing method of the present invention, a substrate for a plasma display panel having striped partition walls as shown in FIG. 3 was manufactured. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. First, a metal mold 6 having a fine pattern 50 having a width of 60 μm, a height of 200 μm, and an interval of 160 μm was prepared and placed on a fixed plate P1 of a heat press P. Next, on the surface of the metal mold 6 on which the fine patterns 50 are formed, a nonwoven fabric-like sheet of ultra-high molecular weight polyethylene having a thickness of 150 μm, which is a porous sheet 20,
The one impregnated with TTLESS GLASS (GS-600-1; containing isopropyl alcohol as diluent) was placed. Thereafter, a glass plate 30 serving as a substrate was placed on the application surface. In addition, the above-mentioned impregnation processing is performed by HEATL.
The test was performed by applying ESS GLASS to a nonwoven fabric-like sheet. Next, the movable platen P2 of the heat press machine was lowered, and was pressed against the glass plate 30 to about 15 g / cm.
While applying the pressure of 2 , heating and holding at about 130 ° C. for about 20 to 30 minutes cured the HEATLESS GLASS. After the curing was completed, the movable platen P2 was raised, the metal mold 6 was detached, and a precursor for a display panel substrate as shown in FIG. 2 was obtained. Thereafter, this is placed in a heating furnace and held at about 500 ° C. for about 30 minutes, and the nonwoven fabric-like sheet is removed by burning. As shown in FIG. I got When the surface of the display panel substrate 10 was observed with a microscope, the fine pattern 5 of the metal mold 6 was observed.
0 is reversed and transferred as it is, width 60 μm, height 20
It was confirmed that the partition walls 2 having a fine pattern 51 of 0 μm and a spacing of 160 μm were formed. ────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成9年8月27日[Submission date] August 27, 1997
【手続補正1】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】0003[Correction target item name] 0003
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【0003】隔壁Cは、光のクロストークを防ぐととも
に、画面のコントラストを作るために設けられているも
ので、非常に微細なものである。例えば、ストライプ状
のものにあっては、幅約30μm、高さ約200μm
で、100μm程度の間隔でパネル全面にわたって形成
されることが要求されている。そして、このような微細
寸法の隔壁Cの内部には、蛍光体が塗布され、Ne、X
e等の不活性ガスが封入される。よって、複雑でかつ鮮
明な画像を得るという観点から当然に隔壁Cに要求され
るファインパターン化とともに、蛍光体の塗布量を一定
にし、前面パネルAと密着して不活性ガスの漏出を防止
する観点等からも、隔壁Cの寸法精度が高いことが要求
される。The partition C is provided to prevent crosstalk of light and to provide a contrast of a screen, and is very fine. For example, in the case of a stripe, a width of about 30 μm and a height of about 200 μm
Therefore, it is required to form the entire surface of the panel at intervals of about 100 μm. Then, a phosphor is applied to the inside of the partition C having such fine dimensions, and Ne, X
An inert gas such as e is sealed. Therefore, from the viewpoint of obtaining a complicated and clear image, the fine pattern required for the partition wall C is of course required, the coating amount of the phosphor is made constant, and the leakage of the inert gas is prevented by being in close contact with the front panel A. From the viewpoint and the like, the dimensional accuracy of the partition wall C is required to be high.
Claims (3)
原料液を含浸させた多孔質シートを置き、さらにその上
にガラス板を重ねて置く第1工程と、押圧しながら加熱
する第2工程と、成形型を脱離し、残部のガラス基板と
多孔質シートを、多孔質シートを燃焼除去できる温度で
焼成する第3工程とを具備することを特徴とするディス
プレイパネル用基板の製造方法。1. A first step in which a porous sheet impregnated with a partition wall raw material liquid is placed on a surface on which a fine pattern of a mold is formed, and a glass plate is further placed thereon, and a second step of heating while pressing. A method for manufacturing a display panel substrate, comprising: a step of removing a mold and baking the remaining glass substrate and porous sheet at a temperature at which the porous sheet can be removed by burning.
料液を含浸させた多孔質シートを置き、その上に成形型
の微細パターンの形成面を重ねて置く、請求項1記載の
ディスプレイパネル用基板の製造方法。2. The display panel according to claim 1, wherein in the first step, a porous sheet impregnated with a partition wall raw material liquid is placed on a glass plate, and a surface on which a fine pattern of a mold is formed is placed thereon. Method of manufacturing substrates.
レイパネルである請求項1又は2記載のディスプレイパ
ネル用基板の製造方法。3. The method for manufacturing a display panel substrate according to claim 1, wherein the display panel is a plasma display panel.
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