JPH1152013A - Method for confirming stay of ic in moving tray - Google Patents

Method for confirming stay of ic in moving tray

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JPH1152013A
JPH1152013A JP9220845A JP22084597A JPH1152013A JP H1152013 A JPH1152013 A JP H1152013A JP 9220845 A JP9220845 A JP 9220845A JP 22084597 A JP22084597 A JP 22084597A JP H1152013 A JPH1152013 A JP H1152013A
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JP
Japan
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tray
hand
measured
accommodation
supply
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JP9220845A
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Japanese (ja)
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Yoshinori Ohashi
善則 大橋
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Ando Electric Co Ltd
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Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for confirming that an IC stays at each of all storage positions in a tray without lowering production efficiency of a horizontal transfer type autohandler. SOLUTION: While ICs 2 are transferred to a first moving tray 1 by an unloader after an apparatus starts working, the wait time of a storage hand 3 is measured. For a succeeding moving tray 1 and thereafter, before the ICs 2 are carried by the unloader to a predetermined position in the moving tray 1 within the wait time, whether the ICs 2 stay at the predetermined position is confirmed by the storage hand 3. Therefore, a conventional wait time required for the confirmation of the stay of the ICs 2 is saved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、移動トレー内の
ICの残留確認方法についてのものである。特に、水平
搬送式オートハンドラにおけるアンローダでのトレー内
のICの残留確認方法についてのものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for confirming remaining ICs in a movable tray. In particular, the present invention relates to a method for confirming remaining IC in a tray by an unloader in a horizontal transfer type auto handler.

【0002】[0002]

【従来の技術】オートハンドラは、組立完了したICを
自動的にテストシステムに供給し、テスト結果に基づい
て自動的に分類収容する装置である。
2. Description of the Related Art An auto-handler is a device that automatically supplies assembled ICs to a test system and automatically sorts and stores the ICs based on test results.

【0003】図4は、表面実装形のICを水平方向に強
制搬送する水平搬送式オートハンドラの外観図である。
図4では、ICをトレーから装置内に移載する供給ハン
ド4と、測定済のICをトレーに分類収容する収容ハン
ド3で構成されるP&P(ピック・アンド・プレイス)
ユニット8を備えている。
FIG. 4 is an external view of a horizontal transport type auto handler for forcibly transporting a surface mount type IC in a horizontal direction.
In FIG. 4, a P & P (Pick and Place) comprising a supply hand 4 for transferring ICs from the tray into the apparatus and a storage hand 3 for classifying and storing the measured ICs in the tray.
A unit 8 is provided.

【0004】図5は、図4の正面図である。図5におい
て、ローダ6Aに搭載されているトレー1は、分離爪5
により1枚づつ分離され、トレー1内に整列戴置された
ICが、供給ハンド4により装置内に供給される。
FIG. 5 is a front view of FIG. In FIG. 5, the tray 1 mounted on the loader 6A
Then, the ICs separated one by one and placed in the tray 1 are supplied into the apparatus by the supply hand 4.

【0005】供給ハンド4により、トレー1内のICが
全て供給された後は、空トレー1は、空トレー搬送ハン
ド7により、空トレーバッファ部6Bに搬送され、保管
される。
After all the ICs in the tray 1 have been supplied by the supply hand 4, the empty tray 1 is transported to the empty tray buffer 6B by the empty tray transport hand 7 and stored.

【0006】そして、空トレーバッファ部6Bに一時的
に保管された空のトレー1は、空トレー搬送ハンド7に
より、アンローダ6Cに移動する。アンローダ6Cに移
動したトレー1は、収容ハンド3により、測定済のIC
2が供給される。
Then, the empty tray 1 temporarily stored in the empty tray buffer section 6B is moved to the unloader 6C by the empty tray transport hand 7. The tray 1 that has been moved to the unloader 6 </ b> C is
2 are supplied.

【0007】従って、アンローダ6Cに移動したトレー
1には、ICは本来残留していない筈である。
Therefore, no IC should remain on the tray 1 moved to the unloader 6C.

【0008】しかし、供給ハンド4の動作ミスで、アン
ローダ6Cに移動したトレー1にICが残留した場合
は、収容ハンド3は測定済のICをトレー1に収容でき
ず、装置内部でのICの流れが停滞するという問題があ
る。
However, if the IC remains on the tray 1 moved to the unloader 6C due to an operation error of the supply hand 4, the accommodation hand 3 cannot accommodate the measured IC in the tray 1, and the IC inside the apparatus cannot be measured. There is a problem that the flow is stagnant.

【0009】このため、アンローダ6Cに移動したトレ
ー1は、図6に示すように、トレー1内の全収容位置P
11〜P45について、収容ハンド3により、IC2の残留
が確認される。
For this reason, the tray 1 moved to the unloader 6C, as shown in FIG.
About 11 to P 45, the housing hand 3, the residual of IC2 is confirmed.

【0010】次に、収容ハンド3の構成を図7により説
明する。尚、図7は収容ハンド3の構成図であるが、供
給ハンド4の構成も図7と同じである。図7の3Aは複
動型のシリンダ、3Bは吸着パッド、3Cは円筒、3D
はブラケットである。
Next, the configuration of the accommodation hand 3 will be described with reference to FIG. Although FIG. 7 is a configuration diagram of the accommodation hand 3, the configuration of the supply hand 4 is the same as that of FIG. 7A is a double-acting cylinder, 3B is a suction pad, 3C is a cylinder, 3D.
Is a bracket.

【0011】シリンダ3Aのボディは、ブラケット3D
に固定されている。シリンダ3Aのピストンロッドは、
L字形のアーム31Aに連結している。アーム31A
は、シリンダ3Aのボディとすべり結合している。
[0011] The body of the cylinder 3A is a bracket 3D.
It is fixed to. The piston rod of the cylinder 3A is
It is connected to an L-shaped arm 31A. Arm 31A
Is slidingly connected to the body of the cylinder 3A.

【0012】図7において、シリンダ3Aが駆動する
と、アーム31Aが移動する。言い換えれば、図7のシ
リンダ3Aは、スライドアームつきの空気シリンダであ
る。
In FIG. 7, when the cylinder 3A is driven, the arm 31A moves. In other words, the cylinder 3A in FIG. 7 is an air cylinder with a slide arm.

【0013】また、シリンダ3Aには、検出器31Bが
取り付けられ、ピストンロッドの最突出状態を検知する
ようになっている。
A detector 31B is attached to the cylinder 3A so as to detect the most protruding state of the piston rod.

【0014】アーム31Aは、金具を介して、吸着パッ
ド3Bを保持し、吸着パッド3Bは、剛体の円筒3Cで
覆われている。
The arm 31A holds a suction pad 3B via a metal fitting, and the suction pad 3B is covered with a rigid cylinder 3C.

【0015】上述の構成により、シリンダ3Aを駆動し
て、吸着パッド3Bを降下させれば、吸着パッド3Bが
円筒3Cと共に、ICのパッケージ部に当接する。
With the above configuration, if the suction pad 3B is lowered by driving the cylinder 3A, the suction pad 3B contacts the IC package together with the cylinder 3C.

【0016】従って、吸着パッド3Bの中心部から空気
を吸引すれば、ICを吸着できる。また、吸着パッド3
Bを降下させ、吸引を停止すれば、ICを解放できる。
Therefore, IC can be sucked by sucking air from the center of the suction pad 3B. In addition, suction pad 3
If B is lowered and suction is stopped, the IC can be released.

【0017】次に、図6に戻り、説明を続ける。図6
は、この発明に使用されるトレー1の平面図である。図
6に示されるように、トレー1には複数の溝1Aが縦横
に形成されている。
Next, returning to FIG. 6, the description will be continued. FIG.
1 is a plan view of a tray 1 used in the present invention. As shown in FIG. 6, a plurality of grooves 1A are formed in the tray 1 vertically and horizontally.

【0018】溝1AにIC2が載置されると、IC2の
姿勢が規制され、トレー1にIC2が整列する。
When the IC 2 is placed in the groove 1A, the posture of the IC 2 is regulated, and the IC 2 is aligned on the tray 1.

【0019】また、溝1Aの中心部には、空気が通過す
るための穴1Bが形成され、後述するICの残留確認に
利用される。
A hole 1B through which air passes is formed at the center of the groove 1A, and is used for confirming the remaining IC, which will be described later.

【0020】即ち、図6に示すように、トレー1の収容
位置P11にIC2が残留している場合は、収容ハンド3
の吸着パッド3BがIC2を吸着し、吸着センサがIC
2の存在を感知する。
That is, as shown in FIG. 6, when the IC 2 remains at the accommodation position P 11 of the tray 1, the accommodation hand 3
Suction pad 3B sucks IC2, and the suction sensor
2 senses the presence.

【0021】しかし、IC2がトレー1に残留していな
い場合は、トレー1に設けられた穴1Bを吸引空気が通
過し、吸着センサは感知しない。このようにして、収容
ハンド3の吸着パッド3Bと、トレー1に形成された穴
1Bと、吸着センサの協働により、ICの残留が確認さ
れる。
However, when the IC 2 does not remain on the tray 1, the suction air passes through the hole 1B provided in the tray 1, and the suction sensor does not sense. In this way, by the cooperation of the suction pad 3B of the storage hand 3, the hole 1B formed in the tray 1, and the suction sensor, the remaining of the IC is confirmed.

【0022】次に、アンローダ6Cにおける移動トレー
1内のICの残留確認の手順を、図8のフローチャート
により説明する。アンローダ6Cにトレー1が搬送され
ると、図8のステップ201では、収容ハンド3をトレ
ー1の収容位置、例えばP11に移動させる。ステップ2
02では、収容ハンド3を降下させる。ステップ203
では、収容ハンド3でIC2の残留を確認する。
Next, the procedure for confirming the remaining IC in the movable tray 1 in the unloader 6C will be described with reference to the flowchart of FIG. When the tray 1 is conveyed to the unloader 6C, in step 201 of FIG. 8, the housing hand 3 accommodating position of the tray 1, for example, is moved to P 11. Step 2
In 02, the containing hand 3 is lowered. Step 203
Then, the remaining of the IC 2 is confirmed by the accommodation hand 3.

【0023】ステップ203でIC2の残留が検出され
た場合には、ステップ204で収容ハンド3を上昇させ
る。ステップ205では、ICの残留アラームを出力す
る。前記残留アラームが出力されると、装置は停止し、
オペレータによりトレー1内に残留しているICが取り
除かれる。
If the residual IC 2 is detected in step 203, the accommodation hand 3 is raised in step 204. In step 205, an IC residual alarm is output. When the residual alarm is output, the device stops,
The IC remaining in the tray 1 is removed by the operator.

【0024】そして、装置が再稼働したら、ステップ2
02の前段に戻り、再度、トレー1の収容位置P11での
IC2の残留が確認される。
When the apparatus is restarted, step 2
Returning to the previous stage 02, again, residual IC2 at the housing position P 11 of the tray 1 is confirmed.

【0025】また、ステップ203において、IC2の
残留が検出されない場合は、ステップ206で収容ハン
ド3を上昇させる。ステップ207では、トレー1内に
次の確認位置ががあるかを判断する。ステップ207
で、次の確認位置がある場合は、ステップ201の前段
に戻り、収容ハンド3を次の確認位置、例えばP12に移
動させる。
If no residual IC 2 is detected in step 203, the containing hand 3 is raised in step 206. In step 207, it is determined whether or not the next confirmation position exists in the tray 1. Step 207
In, if there is a next check position, returns to the previous stage in step 201, the receiving hands 3 following confirmation position, for example, is moved to P 12.

【0026】以上の動作を繰り返し、トレー1上の全て
の収容位置P11〜P45についてIC2の残留が確認され
る。
By repeating the above operation, it is confirmed that the IC 2 remains at all the accommodation positions P 11 to P 45 on the tray 1.

【0027】ステップ207で、トレー1上の全ての溝
1Aに対し、IC2の残留確認が終了した後は、ステッ
プ208に進み、収容ハンド3を待機位置に移動させ、
一連の動作を終了する。そして、ICが残留していない
ことが確認されたトレー1に対し、収容ハンド3による
測定済ICの収納動作が開始される。
In step 207, after confirming the remaining of the IC 2 in all the grooves 1A on the tray 1, the process proceeds to step 208, in which the accommodation hand 3 is moved to the standby position.
A series of operations ends. Then, the storing operation of the measured IC by the storing hand 3 is started in the tray 1 in which it is confirmed that no IC remains.

【0028】次に、装置内部の構成を図9により説明す
る。図9は図4の平面図である。図9の6Eは供給シャ
トル、6Fは供給・収容ステージ、6Gはターンテーブ
ル、6Hはコンタクタ、6Jは収容竿送り機構、60は
チャンバである。
Next, the configuration inside the apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a plan view of FIG. In FIG. 9, 6E is a supply shuttle, 6F is a supply and storage stage, 6G is a turntable, 6H is a contactor, 6J is a storage rod feed mechanism, and 60 is a chamber.

【0029】供給ハンド4は、ローダ6Aでのトレー1
から、IC2を供給シャトル6Eに移載する。供給シャ
トル6Eは、IC2を供給・収容ステージ6Fに移動さ
せる。IC2は、供給・収容ステージ6Fからチャンバ
60内のターンテーブル6Gに移載される。チャンバ6
0内で所定温度となったIC2は、コンタクタ6Hで測
定され、測定済IC2は、収容竿送り機構6Jを経てア
ンローダ6Cに移動する。収容竿送り機構6Jの終端
に、IC2が移載されるまで、収容ハンド3は待機して
いる。
The supply hand 4 is a tray 1 on the loader 6A.
After that, the IC 2 is transferred to the supply shuttle 6E. The supply shuttle 6E moves the IC 2 to the supply / storage stage 6F. The IC 2 is transferred from the supply / storage stage 6F to the turntable 6G in the chamber 60. Chamber 6
The IC2 that has reached the predetermined temperature within 0 is measured by the contactor 6H, and the measured IC2 moves to the unloader 6C via the accommodation rod feeding mechanism 6J. The accommodation hand 3 is on standby until the IC 2 is transferred to the end of the accommodation rod feeding mechanism 6J.

【0030】[0030]

【発明が解決しようとする課題】次に、収容ハンド3に
よる確認動作と、待機動作と、収納動作の時間的な流れ
を図10のタイムチャートにより説明する。
Next, the time sequence of the checking operation, the standby operation, and the storing operation by the storing hand 3 will be described with reference to the time chart of FIG.

【0031】図10の時刻t1〜t2において、全ての
溝1AについてICの残留が確認される。ICの残留確
認動作が終了すると、収容ハンド3を待機位置に移動さ
せ、時刻t2〜t3の待機時間T1に、収容ハンド3を
待機させておく。
From time t1 to t2 in FIG. 10, the remaining IC is confirmed in all the grooves 1A. When the remaining operation of the IC is completed, the accommodation hand 3 is moved to the standby position, and the accommodation hand 3 is made to stand by during the standby time T1 between time t2 and t3.

【0032】時刻t3に、待機位置に測定済IC2が到
着すると、収容ハンド3は、IC2をトレー1の収容位
置P11に収納する。
[0032] in time t3, when the Measured IC2 arrives at the standby position, accommodating hand 3, to accommodate the IC2 in the receiving position P 11 of the tray 1.

【0033】そして、収容位置P11にICを収納した後
は、収容ハンド3を待機位置に移動させ、時刻t4〜t
5の待機時間t2後に、待機位置にIC2が到着する
と、IC2を次の収容位置P21に収納する。
[0033] Then, after storing the IC in the accommodating position P 11 moves the housing hand 3 to the stand-by position, time t4~t
After 5 standby time t2, when IC2 arrives at the standby position, accommodating the IC2 to the next receiving position P 21.

【0034】図10に示すように、時刻t1〜t2間の
時間T0において、トレー1上の全ての溝1Aに対し、
一括してICの残留が確認される。この間に、収納され
るべき測定済ICが待機位置に到着しても、収容ハンド
3は移載動作に移行しない。
As shown in FIG. 10, at time T0 between times t1 and t2, all the grooves 1A on the tray 1
It is confirmed that the IC remains in a lump. During this time, even if the measured IC to be stored arrives at the standby position, the storage hand 3 does not shift to the transfer operation.

【0035】その結果、収容ハンド3によるICの収納
動作が停滞し、測定済ICを排出できなくなり、装置の
生産効率が低下する。
As a result, the accommodating operation of the IC by the accommodating hand 3 stagnates, the measured IC cannot be discharged, and the production efficiency of the apparatus is reduced.

【0036】即ち、従来の方法では、収容ハンド3によ
るトレー1内のICの残留が確認されている間は、装置
内部のICの流れは停止し、水平搬送式オートハンドラ
の稼働効率が低下する。
That is, in the conventional method, the flow of the IC inside the apparatus is stopped while the IC remains in the tray 1 by the storage hand 3 is confirmed, and the operation efficiency of the horizontal transfer type auto handler is reduced. .

【0037】更に、従来は、トレー1が交換される度
に、ICの残留が確認される一定時間T0が占有され、
測定済ICの収納動作のタイミングを逸してしまい、装
置の生産効率を低下させている。
Further, conventionally, every time the tray 1 is replaced, a fixed time T0 for occupying the remaining IC is occupied.
The timing of the storing operation of the measured IC is missed, and the production efficiency of the device is reduced.

【0038】この発明は、装置の生産効率を低下させる
ことなく、トレー内の全てのIC収容位置に対してIC
の残留を確認する方法を提供することを目的とする。
According to the present invention, the ICs can be stored in all the IC accommodation positions in the tray without reducing the production efficiency of the apparatus.
It is an object of the present invention to provide a method for confirming the residual of the compound.

【0039】[0039]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明は、ローダ6Aでのトレー1は、複数のI
C2を縦横に搭載し、最上段のトレー1内のIC2を供
給ハンド4は、逐次移載し、移載完了後のトレー1は、
アンローダ6Cに移動し、アンローダ6Cでの移動トレ
ー1に測定済みのIC2が収容ハンド3で移載される前
に移動トレー1内にIC2の残留が確認される水平搬送
式オートハンドラであって、装置稼働後のアンローダ6
Cでの初回の移動トレー1にIC2が移載される間に、
収容ハンド3の待機時間が計測され、アンローダ6Cで
の次回以降の移動トレー1は、前記待機時間内に、移動
トレー1内の所定位置にIC2が移載される前に、前記
所定位置でのIC2の残留が収容ハンド3で確認され
る。
In order to achieve this object, according to the present invention, the tray 1 of the loader 6A is provided with a plurality of I
C2 is mounted vertically and horizontally, and the supply hand 4 sequentially transfers the IC2 in the uppermost tray 1, and the tray 1 after the transfer is completed is
A horizontal transport type auto handler that moves to the unloader 6C and confirms that the IC 2 remains in the movable tray 1 before the measured IC 2 is transferred to the movable tray 1 by the unloader 6C by the accommodation hand 3; Unloader 6 after device operation
While IC2 is transferred to the first moving tray 1 in C,
The standby time of the accommodation hand 3 is measured, and the next and subsequent mobile trays 1 in the unloader 6C are moved to the predetermined position in the mobile tray 1 before the IC 2 is transferred to the predetermined position within the standby time. The remaining of the IC 2 is confirmed by the accommodation hand 3.

【0040】この発明の方法によれば、トレー内のIC
の残留確認のタイミングを、従来のように、トレーが交
換された後に所定時間内に一括して設定するのではな
く、トレー内にICを収納する際に分割して設定するこ
とにより、これまでICの残留確認に要していた時間
を、収容ハンドの待機時間内に吸収できる。
According to the method of the present invention, the IC in the tray
Instead of setting the timing of the residual check of the IC collectively within a predetermined time after the tray is replaced as in the conventional case, the timing is set separately when the IC is stored in the tray. The time required for confirming the remaining IC can be absorbed within the waiting time of the accommodation hand.

【0041】即ち、従来は図10に示すように、収容ハ
ンド3は、トレー1内の目的の収容位置の溝1AにIC
を収納した後、待機位置に移動する。待機時間Tnにお
いて、次のICが到着する間、収容ハンド3は待機位置
で待機していた。
That is, conventionally, as shown in FIG. 10, the accommodation hand 3 inserts the IC into the groove 1A at the intended accommodation position in the tray 1.
Then, it moves to the standby position. During the standby time Tn, while the next IC arrives, the accommodation hand 3 is waiting at the standby position.

【0042】この発明は、ICが到着するまでの前述の
待機時間を利用して、収容ハンド3がトレー1内の所定
の収容位置にICを収納した後、前記待機時間内に次の
収容位置の溝に対し、ICの残留を確認する。
According to the present invention, after the receiving hand 3 stores the IC in the predetermined storing position in the tray 1 using the above-described waiting time until the IC arrives, the next storing position is stored within the standby time. Confirm that the IC remains in the groove.

【0043】ここで、次のICが到着するまでの収容ハ
ンド3の前記待機時間は、ICのテスト時間により変化
する。ICのテスト時間が長くなれば、収容ハンド3の
待機時間も長くなる。装置は次の測定済ICが到着する
までの収容ハンド3の待機時間の存在を検知して、前記
待機時間に次の収容位置のICの残留を確認し、装置の
生産効率を向上させる。
Here, the standby time of the accommodation hand 3 until the next IC arrives changes depending on the test time of the IC. The longer the IC test time, the longer the standby time of the containing hand 3. The apparatus detects the existence of a standby time of the accommodation hand 3 until the next measured IC arrives, confirms the remaining IC at the next accommodation position during the standby time, and improves the production efficiency of the apparatus.

【0044】[0044]

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
添付図面を参照して説明する。図1は、水平搬送式オー
トハンドラのアンローダでの部分構成図である。図1に
おいて、収容ハンド3は、昇降すると共に、装置の指令
に従ってXY平面を移動する。収容ハンド3の移動手段
については、割愛する。また、トレー1には、説明の便
宜上、ICの収容位置の番地P11〜P45を付した。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a partial configuration diagram of an unloader of a horizontal transport type auto handler. In FIG. 1, the containing hand 3 moves up and down and moves on the XY plane according to a command from the apparatus. The moving means of the accommodation hand 3 is omitted. Further, the tray 1, for convenience of explanation, given the address P 11 to P 45 of the stowed position of the IC.

【0045】次に、図1の動作を説明する。収容ハンド
3が、IC2をトレー1内に収納し、待機位置に移動し
た後、次のICが到着するまでの収容ハンド3の待機時
間は、装置の稼動状況やICのテスト時間により左右さ
れるため、装置稼動前に予測することはできない。
Next, the operation of FIG. 1 will be described. After the housing hand 3 stores the IC 2 in the tray 1 and moves to the standby position, the standby time of the housing hand 3 until the next IC arrives depends on the operation status of the apparatus and the IC test time. Therefore, it cannot be predicted before the operation of the apparatus.

【0046】したがって、装置稼動後の最初のトレー1
に対しては、空トレー搬送ハンド7によりアンローダ6
Cにトレー1が搬送されてきたときに、一括してICの
残留を確認する。そして、最初のトレー1内に測定済I
C2を収納するときに、収容ハンド3の待機時間を計測
しておく。
Therefore, the first tray 1 after the operation of the apparatus
To the unloader 6 by the empty tray transfer hand 7
When the tray 1 is transported to C, the remaining ICs are checked all together. Then, in the first tray 1, the measured I
When storing C2, the standby time of the storing hand 3 is measured.

【0047】ここで、収容ハンド3の待機時間が存在す
る場合には、装置は2枚目以降のトレー1について、収
容ハンド3の待機時間内に、ICの残留を確認する。
Here, if there is a waiting time for the accommodation hand 3, the apparatus confirms the remaining IC for the second and subsequent trays 1 within the waiting time for the accommodation hand 3.

【0048】図1において、トレー1が交換されると、
収容ハンド3は、まず、トレー1の収容位置P11に移動
し、シリンダ3Aを駆動して吸着パッド3Bを降下さ
せ、収容位置P11でのICの残留を確認する。ICの残
留の有無が確認されると、次の吸着パッド3Bを上昇さ
せ、収容ハンド3を待機位置に移動させる。
In FIG. 1, when the tray 1 is replaced,
Accommodating hand 3 is first moved to the accommodation position P 11 of the tray 1, by driving the cylinder 3A lowering the suction pad 3B, confirms the remaining IC in stowed position P 11. When it is confirmed whether or not the IC remains, the next suction pad 3B is raised, and the accommodation hand 3 is moved to the standby position.

【0049】次に、前述以降の動作を、図2のフローチ
ャートにより説明する。図2のステップ101では、測
定済IC2を吸着した収容ハンド3を、トレー1上の収
容位置P11まで移動させる。ステップ102では、収容
ハンド3を降下させる。ステップ103では、吸着して
いた測定済IC2を収容位置P11に収納する。ステップ
104では、収容ハンド3を上昇させる。
Next, the following operation will be described with reference to the flowchart of FIG. In step 101 of FIG. 2, the housing hand 3 adsorbed the Measured IC 2, is moved to the stowed position P 11 on the tray 1. In step 102, the containing hand 3 is lowered. In step 103, for accommodating the Measured IC2 adsorbed on the stowed position P 11. In step 104, the containing hand 3 is raised.

【0050】以上のステップで、測定済IC2がトレー
1の収容位置P11にに収納される。次に、ステップ10
5では、トレー1内に次の収容位置が存在するか確認さ
れる。ステップ105で、次の収容位置がある場合は、
ステップ106に進む。
[0050] In the above steps, Measured IC2 is accommodated in the accommodating position P 11 of the tray 1. Next, step 10
In 5, it is confirmed whether the next storage position exists in the tray 1. In step 105, if there is a next accommodation position,
Proceed to step 106.

【0051】ステップ106では、収容ハンド3は、ト
レー1上の次の収容位置、例えばP21に移動し、ステッ
プ107では、シリンダ3Aを駆動して吸着パッド3B
を降下させる。次に、ステップ108では、収容位置P
12でICの残留が確認される。
In Step 106, receiving the hand 3, the following accommodation position on the tray 1, for example, moved to P 21, in step 107, the suction pads 3B by driving the cylinder 3A
Descend. Next, in step 108, the accommodation position P
At 12 it is confirmed that the IC remains.

【0052】ステップ108で、ICの残留が確認され
た場合は、ステップ109で収容ハンド3を上昇させ、
ステップ110でIC残留アラームを出力し、装置を停
止する。収容位置P21でIC2を取り除き、装置を再稼
働すると、ステップ107の前段に戻り、収容位置P21
でIC2の残留が確認される。
If it is confirmed in step 108 that the IC remains, the accommodation hand 3 is raised in step 109,
At step 110, an IC residual alarm is output, and the apparatus is stopped. The accommodation position P 21 in IC2 removed, and re-running the device returns to the previous stage in step 107, receiving position P 21
Indicates that IC2 remains.

【0053】ステップ108で、IC2の残留が無い場
合は、ステップ111で収容ハンド3を上昇させ、ステ
ップ112で収容ハンド3を待機位置に移動させ、一連
の動作を終了する。尚、ステップ105で、次の収容位
置が無い場合は、ステップ112に進む。
If there is no remaining IC2 in step 108, the containing hand 3 is raised in step 111, and the containing hand 3 is moved to the standby position in step 112, and a series of operations is ended. If there is no next storage position in step 105, the process proceeds to step 112.

【0054】次に、図2の動作を図3のタイムチャート
により説明する。図3の時刻t1において、測定済IC
2が待機位置に到着すると、収容ハンド3は収容位置P
11にIC2を収納する。そして、収容ハンド3が待機位
置に復帰後の時刻t2から次の測定済IC2が待機位置
に到着する時刻t3間の待機時間S1内に、次の収容位
置P21でのIC2の残留が確認される。
Next, the operation of FIG. 2 will be described with reference to the time chart of FIG. At time t1 in FIG. 3, the measured IC
When 2 arrives at the standby position, the accommodation hand 3 moves to the accommodation position P
11 houses IC2. Then, the accommodation hand 3 to the waiting time in S1 of between time t3 the next Measured IC2 from the time t2 after the return to the standby position arrives at the standby position, the residual of IC2 at the next receiving position P 21 is confirmed You.

【0055】時刻t3に、測定済IC2が待機位置に到
着すると、収容ハンド3は、次の収容位置P21にIC2
を収納する。同様に、収容ハンド3が待機位置に復帰後
の時刻t4から次の測定済IC2が待機位置に到着する
時刻t5間の待機時間S2内に、次の収容位置P31での
IC2の残留が確認される。
[0055] to the time t3, when the Measured IC2 arrives at the standby position, accommodating hand 3, to the next of the stowed position P 21 IC2
To store. Similarly, the receiving hands 3 within the waiting time S2 of between time t5 next Measured IC2 from the time t4 after the return to the standby position reaches the standby position, confirmed IC2 remaining at the next receiving position P 31 Is done.

【0056】このようにして、トレー1の所定の収容位
置へ測定済のICを収納した後、待機時間を利用して、
次の収容位置でのICの残留が確認され、トレー1内の
ICの収納動作と並行して、トレー1内の全ての収容位
置に対してICの残留が確認できる。
After the measured IC is stored in the predetermined storage position of the tray 1 in this way, the standby time is used to
The remaining IC at the next accommodation position is confirmed, and the IC can be confirmed at all accommodation positions in the tray 1 in parallel with the operation of accommodating the IC in the tray 1.

【0057】[0057]

【発明の効果】この発明は、測定済ICを収納するため
のトレーと、平面のXY座標上を移動し、前記トレー内
の任意の位置に測定済ICを吸着搬送する手段を備える
水平搬送式オートハンドラであって、前記吸着搬送手段
は、前記トレー内の任意の位置に測定済ICを収納した
後に、次のICの収容位置でのICの残留を確認し、前
記トレー内の全ての前記収容位置に対してICの残留を
確認することにより、測定部におけるICの測定を中断
することなく、トレー内の全てのIC収容位置に対して
ICの残留を確認することができるので、装置の生産効
率が向上する。
According to the present invention, there is provided a horizontal transfer type comprising a tray for storing measured ICs, and means for moving on a plane XY coordinate and sucking and transferring the measured ICs to an arbitrary position in the tray. An auto-handler, wherein the suction and conveyance unit, after storing the measured IC at an arbitrary position in the tray, confirms that the IC remains at the next IC storage position, and checks all the ICs in the tray. By confirming the remaining IC at the accommodation position, the IC can be confirmed at all the IC accommodation positions in the tray without interrupting the measurement of the IC in the measuring section. Production efficiency is improved.

【0058】[0058]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施の形態による方法を説明するた
めの部分構成図である。
FIG. 1 is a partial configuration diagram for explaining a method according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の動作を説明するフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart illustrating the operation of FIG.

【図3】図2の動作を説明するタイムチャートである。FIG. 3 is a time chart for explaining the operation of FIG. 2;

【図4】この発明に係る水平搬送式オートハンドラの外
観図である。
FIG. 4 is an external view of a horizontal transfer type auto handler according to the present invention.

【図5】図4の正面図である。FIG. 5 is a front view of FIG. 4;

【図6】図5のトレーの平面図である。FIG. 6 is a plan view of the tray of FIG. 5;

【図7】図5の収容ハンド3の構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of a storage hand 3 of FIG.

【図8】従来のICの残留確認方法のフローチャートで
ある。
FIG. 8 is a flowchart of a conventional method for confirming residual IC.

【図9】図4の平面図である。FIG. 9 is a plan view of FIG. 4;

【図10】図8の動作を説明するタイムチャートであ
る。
FIG. 10 is a time chart for explaining the operation of FIG. 8;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 トレー 1A 溝 1B 穴 2 IC 3 収容ハンド 3A シリンダ 3B 吸着パッド 3C 円筒 3D ブラケット 6A ローダ 6B 空トレーバッファ部 6C アンローダ 6D 不良品収容部 6E 供給シャトル 6F 供給・収容ステージ 6G ターンテーブル 6H コンタクタ 60 チャンバ 6J 収容竿送り機構 Reference Signs List 1 tray 1A groove 1B hole 2 IC 3 accommodation hand 3A cylinder 3B suction pad 3C cylinder 3D bracket 6A loader 6B empty tray buffer section 6C unloader 6D defective storage section 6E supply shuttle 6F supply / storage stage 6G turntable 6H contactor 60 chamber Storage rod feed mechanism

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定済ICを収納するためのトレー
(1)と、平面のXY座標上を移動し、前記トレー
(1)内の任意の位置に測定済ICを吸着搬送する手段
を備える水平搬送式オートハンドラであって、 前記吸着搬送手段は、前記トレー(1)内の任意の位置
に測定済ICを収納した後に、次のICの収容位置での
ICの残留を確認し、 前記トレー(1)内の全ての前記収容位置に対してIC
の残留を確認することを特徴とする移動トレー内のIC
の残留確認方法。
1. A horizontal plane comprising a tray (1) for storing a measured IC, and means for moving on a plane XY coordinate and sucking and transferring the measured IC to an arbitrary position in the tray (1). A transport type auto handler, wherein the suction transport unit stores the measured IC at an arbitrary position in the tray (1), and then confirms that the IC remains at the next IC storage position; (1) IC for all the accommodation positions in
IC in moving tray characterized by confirming residual
How to check for residue.
【請求項2】 ローダ(6A)でのトレー(1)は、複
数のIC(2)を縦横に搭載し、最上段の前記トレー
(1)内のIC(2)を供給ハンド(4)は、逐次移載
し、移載完了後の前記トレー(1)は、アンローダ(6
C)に移動し、アンローダ(6C)での前記移動トレー
(1)に測定済みのIC(2)が収容ハンド(3)で移
載される前に前記移動トレー(1)内にIC(2)の残
留が確認される水平搬送式オートハンドラであって、 装置稼働後のアンローダ(6C)での初回の前記移動ト
レー(1)にIC(2)が移載される間に、前記収容ハ
ンド(3)の待機時間が計測され、 アンローダ(6C)での次回以降の前記移動トレー
(1)は、前記待機時間内に、前記移動トレー(1)内
の所定位置にIC(2)が移載される前に、前記所定位
置でのIC(2)の残留が収容ハンド(3)で確認され
ることを特徴とする移動トレー内のICの残留確認方
法。
2. A tray (1) of the loader (6A) has a plurality of ICs (2) mounted vertically and horizontally, and an IC (2) in the uppermost tray (1) is supplied with a supply hand (4). The tray (1) is sequentially transferred, and after the transfer is completed, the tray (1) is unloaded.
C), and before the measured IC (2) is transferred to the moving tray (1) by the unloader (6C) by the accommodation hand (3), the IC (2) is stored in the moving tray (1). ) Is a horizontal transfer type auto-handler in which the IC (2) is transferred to the first moving tray (1) by the unloader (6C) after the apparatus is operated. The standby time of (3) is measured, and the IC (2) is moved to a predetermined position in the mobile tray (1) within the standby time during the next and subsequent times in the unloader (6C). A method for confirming the residual IC in the movable tray, wherein the residual of the IC (2) at the predetermined position is confirmed by the accommodation hand (3) before being loaded.
【請求項3】 前記供給ハンド(4)は、IC(2)を
吸脱着する吸着パッド(3B)をもち、前記吸着パッド
(3B)の空気回路に吸着センサを備え、前記トレー
(1)は、IC(2)を収容する溝(1A)の底面に貫
通する穴(1B)を形成し、前記吸着パッド(3B)を
溝底面に近接させ、前記吸着センサの感知で前記トレー
(1)内のIC(2)の残留を確認する請求項1・2記
載の移動トレー内のICの残留確認方法。
3. The supply hand (4) has a suction pad (3B) for adsorbing and desorbing an IC (2), and has a suction sensor in an air circuit of the suction pad (3B). A hole (1B) is formed in the bottom of the groove (1A) for accommodating the IC (2), the suction pad (3B) is brought close to the groove bottom, and the tray (1) is detected by the suction sensor. 3. The method according to claim 1, wherein the remaining IC (2) is confirmed.
【請求項4】 供給ハンド(4)は、ローダ(6A)で
のトレー(1)からIC(2)を供給シャトル(6E)
に移載し、前記供給シャトル(6E)は、IC(2)を
供給・収容ステージ(6F)に移動し、前記供給・収容
ステージ(6F)から、IC(2)は、チャンバ(6
0)内のターンテーブル(6G)に移載され、チャンバ
(60)内で所定温度となったIC(2)は、コンタク
タ(6H)で測定され、測定済IC(2)は、収容竿送
り機構(6J)を経てアンローダ(6C)側に移動する
水平搬送式オートハンドラに適用される請求項1〜3記
載の移動トレー内のICの残留確認方法。
4. A supply hand (4) supplies an IC (2) from a tray (1) on a loader (6A) to a supply shuttle (6E).
And the supply shuttle (6E) moves the IC (2) to the supply / storage stage (6F). From the supply / storage stage (6F), the IC (2) is moved to the chamber (6).
The IC (2) transferred to the turntable (6G) in the chamber (0) and having reached a predetermined temperature in the chamber (60) is measured by the contactor (6H), and the measured IC (2) is sent to the accommodation rod. 4. The method according to claim 1, wherein the method is applied to a horizontal transport type auto handler that moves to an unloader (6C) side via a mechanism (6J).
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020026931A1 (en) * 2018-07-31 2020-02-06 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component count management system and component count management method

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