JPH11504128A - Modified (maleic anhydride-styrene) copolymer and related polymer for base material of color filter - Google Patents

Modified (maleic anhydride-styrene) copolymer and related polymer for base material of color filter

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JPH11504128A
JPH11504128A JP8531831A JP53183196A JPH11504128A JP H11504128 A JPH11504128 A JP H11504128A JP 8531831 A JP8531831 A JP 8531831A JP 53183196 A JP53183196 A JP 53183196A JP H11504128 A JPH11504128 A JP H11504128A
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Abstract

(57)【要約】 色フィルターアレイに用いられる色フィルター素子を製造する方法、および該方法に用いられる材料を開示している。該材料としては、改質(無水マレイン酸−スチレン)コポリマーおよびそれに類縁するポリマー類がある。該ポリマーは、保護またはブロッキングコーティングおよび抗浸出/ステイニングコーティングとして明澄または部分的に明澄なビヒクルとして用いられる。さらに、該ポリマーは、色素と組み合わせて、各色に対する素子を製造するのにも用いることができる。これらの材料は従来からのフォトリソグラフ法に適合し得るものである。   (57) [Summary] A method for manufacturing a color filter element used for a color filter array and a material used for the method are disclosed. Such materials include modified (maleic anhydride-styrene) copolymers and related polymers. The polymer is used as a clear or partially clear vehicle as a protective or blocking coating and an anti-leaching / staining coating. In addition, the polymers can be used in combination with dyes to produce devices for each color. These materials are compatible with conventional photolithographic methods.

Description

【発明の詳細な説明】 色フィルターの基材用改質(無水マレイン酸−スチレン)コポリマー および類縁ポリマー この発明は、電磁スペクトルの紫外(uv)、可視、または赤外(ir)領域 の周波数帯を選択的に通す(または遮断する)ようにする有機着色剤と、浸出/ ステイニング抵抗を与えるための光学的に透明なバリヤーコーティングとを含有 するコーティングを有する情報ディスプレイ装置およびセンサーに使用されるポ リマー材料に関する。従来の技術 フラットパネル形のカラーディスプレイおよびカラービデオ検出器の製造には 、着色ポリマーコーティング(以下、色フィルターと称する)を使用して、着色 ピクセル(通常、フラットパネルディスプレイの場合は赤、緑および青、また、 カラービデオ検出器の場合はシアン、マゼンタおよび黄色)のアレイを構成する 。フラットパネルディスプレイにおいては、透明な支持体(基板)上に色フィル ター(カラーフィルター)を或るパターン状に配置して、該色フィルターのアレ イの後方に位置する光源からの光の選択的な通過が行われ得るようにする。カラ ービデオ検出器においては、色フィルターアレイを用いて、該色フィルターアレ イの後方に配置した半導体フォトセル(光電セル)の特定位置のアレイに所定波 長の周囲光を通すようにする。 色フィルタープレートおよびカラービデオ検出器の製造には、フォトリソグラ フ法を用いて着色ピクセルのアレイを画定することが必要である。このピクセル アレイを形成するのに従来より採用されている2つの一般的な方法は、湿式エッ チング法(溶媒エッチング)と乾式エッチング法(プラズマまたは反応性イオン エッチング)である。いずれの方法においても支持体の上に色フィルターを均一 に施着して(典型的には厚さ1〜2μmの色フィルター)フィルムを形成するこ とが必要である。色フィルターの施着は、一般に、スピンコーティング(スピン 塗布)として知られている方法によって行われ、回転している支持体の中心に色 フィルターの溶液をいれ、遠心力により表面上を均一に拡がるようにする。 湿式エッチング法は、多段階法であり、典型的には、1)色フィルターを施着 し、2)弱く加熱(ソフトベーク)してコーティングを部分的に不溶化し、3) フォトレジストを施着し、4)フォトレジストを露光し、5)露光したフォトレ ジストおよびその下の色フィルターから溶媒を除去し、6)残りのフォトレジス トから溶媒を除去し、7)色フィルターを仕上げ硬化させる工程を含む。用いる 色フィルターを追加する毎にこれらの工程を繰り返し、前に加工処理された色フ ィルターの上に後続の色フィルターを施着して前述したような選択的除去により パターンを形成する。 乾式エッチング法は、典型的には、1)色フィルターを施着し、2)強熱(ハ ードベーク)してポリマーを硬化させ、3)フォトレジストを施着し、4)露光 されたフォトレジストから溶媒を除去し、5)反応性プラズマを用いて、残りの フォトレジストおよび色フィルターのうちフォトレジストによって被覆されてい ない区域を除去する工程を含む多段階法である。 多色着色アレイを製造するには、前に加工処理された色フィルターの上に追加 の各色フィルターを被覆することが必要である。前に加工処理された色フィルタ ーの上に別の色フィルターを被覆すると浸出(leaching)と呼ばれる現象が起こ ることがある。すなわち、前に加工処理された色フィルターがポリマーマトリッ クスから拡散して、施着中の後続の層の溶媒中に入り込む。さらに、ステイニン グ(汚染:staining)と呼ばれる別の現象が起こることもあり、施着しようとし ている色フィルターの溶液中の色素が前に加工処理された色フィルター内に拡散 してゆく。両現象は色素の混合をもたらし、色フィルターの色度を減少させるこ とになる。 本発明者の承知している従来技術として米国第4,822,718号、米国特許第4,876 ,165 号、および「染色ポリイミド由来の色フィルター(Color Filters From Dy ed Polyimides)、W.Latham およびD.Hawley 著、Solid State Technology,1 988年5月発行」があり、これらの開示を参考として本明細書に引用する。 浸出およびステイニングによる影響は、色フィルターマトリックス材料として ポリイミド前駆体(ポリアミン酸)を使用することによって減少させてきた(例 えば、米国特許第4,876,165 号および米国特許第4,822,718 号に記載されている )。また、色フィルターとして着色ポリイミドを使用することも、W.Latham お よびD.Hawley による「着色ポリイミド由来の色フィルター(Color Filters Fr om Dyed Polyimides)、Solid State Technology,1988年5月」に記載されてい る。Lathamおよび Hawley によれば、230 ℃において1時間硬化させた着色ポリ イミドは、1から2μmのフィルム厚さに対して浸出およびステイニングに対し てかなりの抵抗性を付与している。しかしながら、着色ポリイミドの浸出および ステイニング抵抗性は、色素の使用量、すなわち、色素対ポリマーの比、色素の 種類、硬化時間/温度、およびポリイミドの構造に依存している。 色フィルターに用いるポリイミドは、常に製造に注意しなければならない。よ く知られているように、ポリイミドの製造に影響する主要な因子には、モノマー 純度、モノマーの添加順序、モノマーの添加速度、反応温度、攪拌の速度および 時間、ならびに周囲の湿度などがある。ポリイミドを用いる色フィルター配合物 においては、細心の配合/評価を行って確立された仕様に従う性能の製品を得る ようにしなければならないことも知られている。 さらに、色フィルターに用いるポリイミドは、適当な硬化が得られるのに充分 な温度に加熱すると、その光学的透明度がある程度損なわれる。この光学的透明 度の喪失は硬化フィルムが黄色に着色することによって示され、これは、電荷移 動錯体の形成に因るものと考えられる。 また、ポリイミドをベースとする色フィルターは、保存寿命(貯蔵寿命)に限 界がある。ポリイミド前駆体(ポリアミン酸)は、アミド結合の連続的な会合/ 解離を受け、経時的に分子量の変動をもたらす。既知のように、この分子量の変 動は、所与のスピン速度(回転速度)で被覆するときにフィルムの厚さの変動を 生来し、また、処理工程の調整を必要とすることもある。発明の開示 したがって、本発明の目的は、着色されたコーティングを後続的に施着するに 際してステイニング阻止能のある透明なポリマーフィルムを形成することができ る組成物を提供することにある。 本発明の更なる目的は、後続の処理工程においてコーティングが溶媒に接触し たときに、色素の浸出を阻止することができるような有機色素を含有する組成物 を提供することにある。 本発明の別の目的は、従来技術よりも有効保存寿命が長く、これによって、長 期間にわたり指定された仕様に従う加工性を維持する最終製品を製造することの できる組成物を提供することにある。 本発明の目的は、浸出を起こさないコーティングを提供することにある。 本発明の他の目的は、ステイニングを起こさない組成物を提供することにある 。 本発明の更に別の目的は、情報ディスプレイ装置およびセンサーに使用される 感光性コーティングを提供することにある。 本発明の目的は、光学的に透明なバリヤーコーティングを提供することにある 。 本発明の目的は、ポジのフォトリソグラフ法およびネガのフォトリソグラフ法 のいずれにおいて用いられ、抵抗率および絶縁耐力を含む電気的特性の良好な色 フィルター基材(ベース)を提供することにある。 本発明の目的は、従来技術よりも全ての色について明澄度の高い、光沢剤/色 対比透過性フィルムを提供することにある。例えば、本発明の透過性フィルムは 、従来技術の青色よりも光沢性の高い青色を形成する。 本発明の別の目的は、一貫した特性を有するように製造することのできる組成 物を提供することにある。 本発明の更に別の目的は、従来の材料よりも長い保存寿命を有する組成物を提 供することにある。 本発明の他の目的は、一成分系を提供することにある。 本発明の目的は、ガラスおよびその他の支持体に確実に付着され得る化合物を 提供することにある。 これらの目的およびその他の目的は、本発明に従い、無水物(酸無水物)から 成る側鎖基を含有する改質コポリマーと2種またはそれ以上の反応性(カルボン 酸に反応することのできる)官能基を含有する材料を組み合わせて単一の化学物 質として、優れた溶媒抵抗性、透明性および熱的安定性を有するポリマーコーテ ィングを提供することにより達成される。本発明に従えば、反応性架橋成分がグ ラフト結合され多官能性架橋成分(好ましくはブロックトポリイソシアネート) (カルボン酸に反応することができる)とブレンドされた無水物側鎖基含有コポ リマーは、優れた透明性、熱的安定性、溶媒抵抗性、浸出抵抗性、およびステイ ニング抵抗性を有することが見出された。 以下の図面および好ましい態様の説明により当業者には本発明の特徴がさらに 明らかになるであろう。図面の簡単な説明 図1は、本発明に従う色フィルター素子の浸出抵抗を示すグラフである。 図2は、本発明に従う別のカラーセットの浸出抵抗を示すグラフである。 図3は、本発明に従うテストカラーホイールを調製するためのフローチャート を示す。 図4は、従来技術によるコーティングのステイニングを示すグラフである。 図5は、本発明に従う明澄コーティングの保護効果を示すグラフである。 図6は、本発明に従う明澄コーティングの調製および使用法を示すフローチャ ートである。 図7は、本発明の一実施例に従う感光性明澄コーティングを使用した場合の保 護効果を示すグラフである。 図8は、本発明に従う明澄コーティングによって保護されたコーティングのス テイニングおよび浸出抵抗を示すグラフである。 図9は、本発明の一実施例に従う感光性明澄コーティングによって得られる浸 出抵抗を示すグラフである。 図10は、厚さの更に薄い保護コーティングを使用した場合における図9に類似 のグラフである。 図11は、従来技術によるカラーシステムを示すフローチャートである。 図12は、本発明に従うカラーシステムの調製を示すフローチャートである。発明を実施するための最良の形態 本発明に従えば、浸出およびステイニング抵抗性を有する透明のポリマーコー ティングが得られるが、このために、無水物から成る側鎖基を含有するコポリマ ーを、該無水物と反応することのできる1種の官能基および熱、光、もしくは化 学的に誘起されて重合化を起こすことのできる1種またはそれ以上の官能基を有 する多官能成分と反応させる。無水物から成る側鎖基を含有するコポリマーとし ては、無水マレイン酸−スチレンコポリマー(例えば、Atochem 社から商品名「 入手できるもの、さらには、Aldrich およびMonomer Polymer Dajac Labsから入 手できるもの)、無水マレイン酸−メチルビニルエーテルコポリマー(例えば、 るもの)、または無水マレイン酸−エチレンコポリマー(例えば、Zeeland Chem icals 社から入手できるもの)などがあり、好ましくは、無水マレイン酸−スチ レンコポリマーである。 多官能成分(以下、反応性グラフト成分と称する)は、好ましくは、アリルア ミン、ジアリルアミン、3−アミノ−1−プロパノールビニルエーテル、アリル アルコール、4−ヒドロキシブチルビニルエーテル、グリセロールジメタクリレ ート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、または2−ヒドロキシエチルアク リレートである。側鎖無水物に対する反応性グラフト成分の化学量論比は、0.5 から1.0の範囲にあり、好ましくは1.0である。側鎖無水物が反応性グラフト成分 に反応すると、該無水物の分裂が起こり、次いで、無水物と反応する反応性グラ フト成分の官能基が水酸基である場合には、カルボン酸(C=0伸縮、1706〜17 60cm-1)およびカルボン酸エステル(C=0伸縮、1715〜1770cm-1)の形成、ま た、無水物と反応する反応性グラフト成分の官能基がアミノ基である場合には、 アミド(C=0伸縮、1630〜1700cm-1)の形成が起こる。なお、上述した赤外C =0伸縮周波数は記述した化学官能基の代表的な吸収周波数を表すものであり、 「有機化合物の分光学的同定(Spectrometric Identification)Silverstein,R obert M.; Bassler,G.Clayton ; Morrill,Terence C.; 第4版、米国ニュ ーヨーク州Wiley 社発行」に記載されている。これらの赤外吸収周波数は、反応 性グラフト成分が無水物含有コポリマーにグラフト結合するときの反応の指標と して用いることができる。水酸基含有化合物またはアミノ基含有化合物がコポリ マーの無水物官能基に反応した結果生じたカルボン酸により、グラフトコポリマ ーは基材の稀水溶液中で溶解し易くなる。グラフト化されないコポリマーの溶解 速度に比べて基材の稀水溶液中での溶解速度が増加していることが、グラフト結 合が達成されたことの定量的な指標となる。グラフト結合度の定量的な尺度を選 るには、塩基を用いる滴定により酸価を測定する。 グラフト化コポリマーを次に、該グラフトコポリマーの側鎖カルボン酸基、ま たは未反応無水物基と反応し得る架橋成分と混合する。該架橋成分としては、メ もの)または多官能性イソシアネートを用いることができる。架橋成分として好 ましいのはブロックト(blocked)ジイソシアネートであり、より好ましいのはブ ロックトポリイソシアネートである。この種のブロックトポリイソシアネートは 、例えば、Miles 社から商品名「Desmodur」として、また、Olin Chemicals社か ら商品名「Luxate」として入手できる。ブロックトイソシアネートを使用すると 保存寿命の長い一成分配合物を調製することができる。これは、所定の温度に加 熱されるまでブロックトイソシアネートは非反応性であるからである。ブロック トイソシアネートをその脱ブロック温度に加熱すると「遊離の」イソシアネート が形成され典型的なイソシアネートの反応が可能となる。 熱硬化工程中にブロックトイソシアネート官能基は、用いたブロッキング剤の 種類に応じて60℃から200 ℃の範囲の温度において、脱ブロックを始め遊離のイ ソシアネートを形成する。このようにして形成された遊離のイソシアネートは次 に、K.J.Saunders著の「有機ポリマー化学(Organic Polymer Chemistry)、米 国ニューヨーク州Chapman and Hall社発行、1973年」に記載されているように、 グラフト化コポリマーのカルボン酸基と反応する。また、イソシアネートが不安 定なプロトンを含有する他の官能基(例えばアミド)、さらには他のイソシアネ ート基に反応する二次的な反応が起こる可能性もある。このような脱ブロックイ ソシアネートの反応により、ポリマーマトリックス中に多数の架橋が生じる。反 応性グラフト成分が不飽和のアルキル基である場合には、200℃を超える温度に おいて側鎖の反応性グラフト成分の不飽和結合が結合して更なる架橋を生じるこ とも考えられる。反応性グラフト成分は、光架橋性の官能基(例えばアクリレー トラジカル)を含有するようにしてもよい。 出発材料となる無水マレイン酸の構造は一般に次式のように表すことができる 。 グラフト化無水マレイン酸コポリマーの構造は次の一般式で表すことができる 。 ここで、Xは、約2から20の炭素原子を含有する直鎖または分枝の不飽和アル コールまたはアミンである。直鎖または分枝の不飽和アルコールおよび/または アミンが混合されていてもよい。mは例えば、0.2 から1であり、nは例えば0. 8 から0である。無水物に加えられている置換基は、さらに複雑で官能性が高く 、 例えば、次にようになっていてもよい。 ここで、Xは、例えば酸素原子または窒素原子である。R1は、約1から6の 炭素原子の直鎖または分枝の2価のアルキレンまたはそのオキシアルキル化誘導 体である。R2は、ビニル、アクリレートまたはメタクリレートラジカルである 。mは例えば0.2 から1であり、nは例えば0.8 から0である。 本発明のグラフト化コポリマー/ブロックトポリイソシアネートは、そのまま 施着されて、均一な被膜厚さを有する光学的に透明、熱的に安定、化学的抵抗性 および浸出/ステイニング抵抗性のバリヤーコーティングを与えることができる 。さらに、本発明のグラフト化コポリマー/ポリイソシアネートブレンドは着色 剤と組み合わせて、情報ディスプレイおよび検出器用の色フィルターに用いられ る浸出/ステイニング抵抗性の均質な着色フィルムコーティングを提供すること もできる。 使用法や用途に応じて、本発明のポリマーコーティング(着色剤と併用しまた は着色剤なしに)は、数ミクロンから数百オングストロームの厚さにすることが できる。従来のスピンコーティングは、グラフト化コポリマーの分子量およびス ピンコーティングにより被覆を行う速度に応じて、一般に、約0.1 μmから10ミ クロンの厚さのフィルムを与える。本発明のポリマーコーティング(着色剤と併 用または着色剤なし)をスピンコーティングするための典型的な速度は、コーテ ィングが施される支持体の種類および大きさならびに使用するコポリマーおよび 架橋剤の分子量、さらにはコーティングの組成に応じて、例えば、500rpmから60 00rpm の範囲にある。ポリマー固形分のレベルを高くし、および/または分子量 のより大きいポリマーを使用し、さらには、他のコーティング法を採用すること により厚さの大きいフィルムを得ることができる。本発明のポリマーコーティン グの典型的な硬化工程は、200 ℃から280 ℃において10分間から60分間の範囲で 実施される。 本発明のポリマーコーティングの特定の用途の例としては、染料または顔料の バインダーとして用いて、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネセントディスプ レイ、プラズマディスプレイ、およびカラービデオ検出器用の荷電結合デバイス 用の色フィルターアレイを形成することが挙げられる。さらに、本発明のポリマ ーコーティングは、浸出/ステイニング抵抗性が充分でないコーティングの上に 施着して該コーティングのステイニングおよび浸出を防止するバリヤーコーティ ングとして機能させることもできる。また、本発明のポリマーコーティングは、 多層のマイクロ回路を製造するに当たって中間層誘電体として用いることもでき る。さらに、本発明のポリマーコーティングは、光学的導波装置の製造に使用す ることもできる。実施例1 攪拌装置、窒素導入管および塩化カルシウム乾燥管を備える反応器内に、800 部のN−メチル−2−ピロリジノンおよび49.8部のアリルアミンを入れる。窒素 で数分間反応器をパージした後、数平均分子量が約350,000 で酸価473 のスチレ ン−無水マレイン酸コポリマー[アルドリッチ(Aldrich)18,293-1]250.56部を 攪拌しながら一度に添加する。N−メチル−2−ピロリジノンをさらに100 部添 加して反応器内壁をリンスする。約48時間攪拌を続ける。得られたポリマーの赤 外スペクトルには、1858cm-1および1780cm-1における酸無水物吸収強度が減少し ており、また、カルボン酸および第2級アミドのC=0伸縮振動にそれぞれ対応 する1732cm-1および1646cm-1における新たな吸収バンドが見られる。生成物の酸 価は157 であった。実施例2 攪拌装置、窒素導入管および塩化カルシウム乾燥管を備える反応器内に、数平 均分子量が約350,000 で酸価473 のスチレン−無水マレイン酸コポリマー(Aldri ch 18,293-1)203.23部およびN−メチル−2−ピロリジノン500部を入れる。窒 素を用いて数分間反応器をパージした後、攪拌しながら電熱マントルで反応器を 25℃から75℃の温度に加熱する。固形分を全て溶解させた後、溶液を放置して約 35℃に冷却する。溶液を攪拌しながら、152.78部のN−メチル−2−ピロリジノ ンに48.50 部のアリルアミンを溶かした溶液を滴下添加する。室温下に約48時間 、攪拌を続ける。生成物の酸価は159 であった。実施例3 攪拌装置、窒素導入管および塩化カルシウム乾燥管を備える反応器内に、100 部のN−メチル−2−ピロリジノンを入れる。窒素で反応器を数百分間パージし た後、数平均分子量が約1600〜2600で酸価が475のスチレン−無水マレイン酸コ ポリマー(Monomer-Polymer & Dajac Labs.社製、カタログ番号9182)46.71 部 を添加する。N−メチル−2−ピロリジノンを更に20部用いて反応器の内壁をリ ンスする。溶液を攪拌しながら、20部のN−メチル−2−ピロリジノンに13.19 部のアリルアミンを溶かした溶液を滴下添加する。室温下に約24時間攪拌を行う 。生成物の酸価は144 であった。実施例4 攪拌装置、窒素導入管および塩化カルシウム乾燥管を備える反応器内に、50部 のN−メチル−2−ピロリジノン、50部のジエチレングリコールジメチルエーテ ル、および5.87部のアリルアミンを入れる。窒素で反応器を数分間パージした後 、数平均分子量が約350,000 で酸価が473 のスチレン−無水マレイン酸コポリマ ー(Aldrich 18,293-1)30部を攪拌溶液に添加する。21.74 部のN−メチル−2 −ピロリジノンと21.74 部のジエチレングリコールジメチルエーテルの混合物を 用いて反応器の内壁をリンスする。約48時間攪拌を続ける。生成物の酸価は172 であった。実施例5 攪拌装置、窒素導入管および塩化カルシウム乾燥管を備える反応器内に、数平 均分子量が約350,000 で酸価が473 のスチレン−無水マレイン酸コポリマー(Al drich 18,293-1)40.44部、およびN−メチル−2−ピロリジノン100 部を入れ る。窒素で数分間反応器をパージした後攪拌しながら、8.60部のアリルアルコー ルおよび23.56 部のN−メチル−2−ピロリジノンから成る溶液を添加し、次い で、15.00 部のトリエチルアミンおよび23.56 部のN−メチル−2−ピロリジノ ンを添加する。電熱マントルで反応器を50℃〜65℃に加熱する。約48時間攪拌を 続ける。生成物の酸価は148 であった。実施例6 30.00 部のポリマーブレンド(実施例1に記載のアリルアミングラフト化スチ レン−無水マレイン酸コポリマー溶液150 部、ブロックトポリイソシアネート( Desmodur BL-3175A,Miles社製)51部、N−メチル−2−ピロリジノン10部およ びシクロヘキサノン25部から成る)、 26.55 部のN−メチルピロリジノン、 10.86 部のシクロヘキサノン、 7.22部のソルベントブルー45(Solvent Blue 45)、 2.40部のソルベントブルー67(Solvent Blue 67) から成るコーティング配合を用い、該配合物(ミックス)を約12時間攪拌するこ とにより、青色(ブルー)のコーティングを調製した。次いで、配合物をろ過し てイオン交換樹脂および不溶物を除去した。このコーティングは、フルカラーフ ラットパネル形ディスプレイ用の多色ピクセルアレイの色フィルターとして、該 パネル後方の光源から青色光を選択的に透過させるのに用いることができる。さ らに、このコーティングは、半導体フォト検出素子アレイに青色光を選択的に通 す多色ピクセルアレイの色フィルターとして使用することもできる。このコーテ ィングは、従来から用いられているスピン法またはスプレー法により支持体に施 着して、230 ℃において60分間または250 ℃において30分間で硬化させることが できる。このコーティングは、従来から用いられているプラズマエッチング法に よりパターンを施すことができる。実施例7 以下のコーティング配合、すなわち、 30.00 部のポリマーブレンド(実施例6に記載のもの)、 26.55 部のN−メチルピロリジノン、 10.86 部のシクロヘキサノン、 5.61部のソルベントブルー38(Solvent Blue 38) 4.03部のソルベントイエロー82(Solvent Yellow 82) 施例6と同様の方法により緑色(グリーン)コーティングを調製した。実施例8 以下のコーティング配合、すなわち、 30.00 部のポリマーブレンド(実施例6に記載のもの)、 26.55 部のN−メチルピロリジノン、 10.86 部のシクロヘキサノン、 4.50部のソルベントイエロー82(Solvent Yellow 82)、 5.13部のソルベントレッド119 (Solvent Red 119)、 を用いて、実施例6に記載と同様に赤色(レッド)コーティングを調製した。実施例9 30.00 部のポリマーブレンド(実施例1記載のアリルアミングラフト化スチレ ン−無水マレイン酸コポリマー150 部、ブロックトポリイソシアネート(Desmod ur BL-4165,Miles 社製)75部、N−メチル−2−ピロリジノン10部およびシク ロヘキサノン25部から成るもの)、 28.42 部のN−メチルピロリジノン、 11.30 部のシクロヘキサノン、 7.47部のソルベントブルー45(Solvent Blue 45)、 2.49部のソルベントブルー67(Solvent Blue 67)、 から成るコーティング配合を用いて、実施例6に記載と同様に青色(ブルー)コ ーティングを調製した。実施例10 以下の配合、すなわち、 30.00 部のポリマーブレンド(実施例9に記載のもの)、 28.42 部のN−メチルピロリジノン、 5.80部のソルベントブルー38(Solvent Blue 38)、 4.16部のソルベントイエロー82(Solvent Yellow 82)、 を用いて、実施例6と同様に緑色(グリーン)コーティングを調製した。実施例11 以下の配合、すなわち、 30.00 部のポリマーブレンド(実施例9に記載のもの)、 28.42 部のN−メチルピロリジノン、 11.30 部のシクロヘキサノン、 4.65部のソルベントイエロー82(Solvent Yellow 82)、 5.31部のソルベントレッド119 (Solvent Red 119)、 を用いて、実施例6と同様に赤色(レッド)コーティングを調製した。実施例12 以下のコーティング配合、すなわち、 20.00 部のポリマーブレンド(実施例1に記載のアリルアミングラフト化ス チレン−無水マレイン酸コポリマー溶液100 部、ブロックトポリイソシアネート (Desmadur BL-3175A,Miles社製)18.5部、N−メチル−2−ピロリジノン28.6 8 部、およびシクロヘキサノン51.84 部から成るもの)、 22.06 部のN−メチルピロリジノン、 11.03 部のシクロヘキサノン、 3.36部のソルベントブルー38(Solvent Blue 38)、 を用いて、実施例と同様にして、緑青色(シアン)コーティングを調製した。実施例13 以下のコーティング配合、すなわち、 20.00 部のポリマーブレンド(実施例12に記載のもの)、 17.78 部のN−メチルピロリジノン、 8.89部のシクロヘキサノン、 2.40部のソルベントレッド127 (Solvent Red 127)、 を用いて、実施例6と同様の方法により、紫紅色(マゼンタ)コーティングを調 製した。実施例14 以下のコーティング配合、すなわち、 20.00 部のポリマーブレンド(実施例12に記載のもの)、 24.89 部のN−メチルピロリジノン、 12.44 部のシクロヘキサノン、 4.00部のソルベントイエロー82(Solvent Yellow 82)、 を用いて、実施例6と同様にして、黄色(イエロー)コーティングを調製した。実施例15 5.00部のポリマーブレンド(実施例5に記載のアリルアルコールグラフト化ス チレン−無水マレイン酸コポリマー溶液20.00 部、ブロックトポリイソシアネー ト(Desmodur BL-3175A,Miles社製)5.41部、N−メチルピロリジノン15.36 部 、およびジエチレングリコールジメチルエーテル10.00 部から成る)、 1.00部のN−メチルピロリジノン、 1.38部のジエチレングリコールジメチルエーテル、 4.92部の色素材(56.25 部のソルベントブルー45、18.75 部のソルベントブ ルー67、112.5 部のN−メチルピロリジノン、および112.5 部のジエチレングリ 社製)上で12〜24時間攪拌した後、ろ過を行ってイオン交換樹脂および不溶物を 除去したもの) から成る配合物を用いて、実施例6と同様にして、青色(ブルー)のコーティン グを調製した。実施例16 以下のコーティング配合物、すなわち、 5.00部のポリマーブレンド(実施例15に記載のもの)、 1.00部のN−メチルピロリジノン、 1.38部のジエチレングリコールジメチルエーテル、 4.92部の色素材(43.65 部のソルベントブルー38、31.35 部のソルベントイ エロー82、112.5 部のN−メチル−ピロリジノン、および112.5 部のジエチレン 樹脂(Dow Chemical社製)上で12〜24時間攪拌した後、ろ過を行って不溶物を除 去したもの) から成る配合物を用いて、実施例6に記載のように、緑色(グリーン)コーティ ングを調製した。実施例17 5.00部のポリマーブレンド(実施例15に記載のもの)、 1.00部のN−メチルピロリジノン、 1.38部のジエチレングリコールジメチルエーテル、 4.92部の色素材(35.03 部のソルベントイエロー82、39.97 部のソルベント レッド119 、130 部のN−メチル−ピロリジノン、および130 部のジエチレング 脂Dow Chemical社製)上で攪拌した後、ろ過して不溶物を除去したもの) から成るコーティング配合物を用いて実施例6と同様にして赤色(レッド)コー ティングを調製した。実施例18 以下の配合、すなわち、 5.50部のグラフト化コポリマー(実施例1に記載のもの)、 1.93部のブロックトポリイソシアネート(Desmodur BL-3175A,Miles社製)、 1.19部のソルベントブルー67(Solvent Blue 67)、 1.64部のソルベントブラウン44(Solvent Brown 44)、 11.31 部のシクロヘキサノン、 4.13部のN−メチル−2−ピロリジノン、 を用いて実施例6に記載のように、黒色(ブラック)コーティングを調製した。実施例19 以下の配合、すなわち、 6.37部のグラフト化コポリマー(実施例1に記載のもの)、 2.17部のブロックトポリイソシアネート(Desmodur BL-3175A,Miles社製)、 3.56部のシクロヘキサノン、 3.42部のN−メチル−2−ピロリジノン を用い、該配合物を約1時間攪拌することにより明澄なコーティングを調製した 。次に、配合物を0.2 μmフィルターを用いてろ過した。このコーティングは、 色 フィルターの上の透明バリヤー層として、色フィルターからの色素の浸出を阻止 し、また、後続の処理工程中の色フィルターを阻止するのに用いることができる 。各種の色素(染料)を添加して、特定の波長においては透明であるが他の波長 においては不透明であるようなコーティングを製造することができる。例えば、 アラインメントを決めるのに用いたスペクトルにおいては透明であるが、他の波 長では不透明ないしは着色されているようにコーティングを製造することができ る。実施例20 実施例6に記載した青色フィルター配合物を直径3インチのガラス支持体上に 1000rpm で90秒間スピンコーティング法により施着し、ホットプレート上で30〜 60秒間100 ℃に加熱し、通常の炉中で170 ℃に30分間予備加熱し、さらに、通常 の炉中で250 ℃において30分間強熱(硬化)した。フィルムの厚さ(膜厚)は1. 45μmであった。硬化後の色フィルターの透過スペクトルをラインaとして図1 に示す。コーティングが施着されたガラス支持体を、次に、N−メチル−2−ピ ロリジノンに30秒間浸漬させた後、ドライ窒素を流して乾燥した。再度透過スペ クトルを測定し、図1にラインbとして示す。コーティングが施されてガラス支 持体を再びN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬した後、ドライ窒素を流 して乾燥した。透過スペクトルを再度測定して、図1にラインcとして示してい る。実施例21 実施例7に記載した緑色フィルター配合物を直径3インチのガラス支持体上に 1000rpm で90秒間スピンコーティングにより施着し、ホットプレート上で100 ℃ に30〜60秒間加熱し、通常の炉内で170 ℃に30分間予備加熱し、さらに、通常の 炉内で250 ℃に30分間強熱した(硬化させた)。フィルム厚さは1.24μmであっ た。硬化後の色フィルターの透過スペクトルを図1のラインdで示す。次に、コ ーティングされたガラス支持体をN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬し た後、ドライ窒素を流して乾燥した。再び透過スペクトルを測定して、図1のラ インeとして示す。コーティングされたガラス支持体を再びN−メチル−2−ピ ロリジノンに30秒間浸漬した後、ドライ窒素を流して乾燥した。透過スペクトル を再度測定して、図1のラインfとして示す。実施例22 実施例8に記載した赤色フィルター配合物を直径3インチのガラス支持体上に 1000rpm で90秒間スピンコーティングにより施着し、ホットプレート上で100 ℃ に30〜60秒間加熱し、通常の炉内で170 ℃に30分間予備加熱し、さらに、通常の 炉内で250 ℃に30分間強熱した(硬化させた)。フィルム厚さは1.36μmであっ た。硬化後の色フィルターの透過スペクトルを図1のラインgで示す。次に、コ ーティングされたガラス支持体をN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬し た後、ドライ窒素を流して乾燥した。再び透過スペクトルを測定して、図1のラ インhとして示す。コーティングされたガラス支持体を再びN−メチル−2−ピ ロリジノンに30秒間浸漬した後、ドライ窒素を流して乾燥した。透過スペクトル を再度測定して、図1のラインiとして示す。実施例23 実施例12に記載した緑青(シアン)色フィルター配合物を直径3インチのガラ ス支持体上に2000rpm で90秒間スピンコーティングにより施着し、ホットプレー ト上で100 ℃に30〜60秒間加熱し、さらに、通常の炉内で250 ℃に30分間強熱し た(硬化させた)。フィルム厚さは0.579 μmであった。硬化後の色フィルター の透過スペクトルを図2のラインaで示す。次に、コーティングされたガラス支 持体をN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬した後、ドライ窒素を流して 乾燥した。再び透過スペクトルを測定して、図2のラインbとして示す。コーテ ィングされたガラス支持体を再びN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬し た後、ドライ窒素を流して乾燥した。透過スペクトルを再度測定して、図2のラ インcとして示す。実施例24 実施例14に記載した黄色フィルター配合物を直径3インチのガラス支持体上に 2000rpm で90秒間スピンコーティングにより施着し、ホットプレート上で100 ℃ に30〜60秒間加熱し、さらに、通常の炉内で250 ℃に30分間強熱した(硬化させ た)。フィルム厚さは0.585 μmであった。硬化後の色フィルターの透過スペク トルを図2のラインdで示す。次に、コーティングされたガラス支持体をN−メ チル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬した後、ドライ窒素を流して乾燥した。再 び透過スペクトルを測定して、図2のラインeとして示す。コーティングされた ガラス支持体を再びN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬した後、ドライ 窒素を流して乾燥した。透過スペクトルを再度測定して、図2のラインfとして 示す。実施例25 実施例13に記載した紫紅(マゼンタ)色フィルター配合物を直径3インチのガ ラス支持体上に2000rpm で90秒間スピン−コーティングにより施着し、ホットプ レート上で100 ℃に30〜60秒間加熱し、さらに、通常の炉内で250 ℃に30分間強 熱した(硬化させた)。フィルム厚さは0.708 μmであった。硬化後の色フィル ターの透過スペクトルを図2のラインgで示す。次に、コーティングされたガラ ス支持体をN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬した後、ドライ窒素を流 して乾燥した。再び透過スペクトルを測定して、図2のラインhとして示す。コ ーティングされたガラス支持体を再びN−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸 漬した後、ドライ窒素を流して乾燥した。透過スペクトルを再度測定して、図2 のラインiとして示す。実施例26 以下の配合、すなわち、 6.37部のグラフト化コポリマー(実施例1に記載のもの)、 2.17部のブロックトポリイソシアネート(Desmodur BL-3175A,Miles社製)、 3.56部のシクロヘキサノン、 3.42部のN−メチル−2−ピロリジノン を用いて、該配合物を約1時間攪拌することにより明澄なコーティングを調製し た。次に、0.2 μmフィルターに通して配合物をろ過した。このコーティングは 、色フィルター上の透明バリヤー層として色フィルターからの色素の浸出を阻止 し、また、後続の処理工程における色フィルターのステイニングを阻止するのに 用いることができる。実施例27 実施例25の配合物のステイニング抵抗を評価するために、図3に示し、色フィ ルタープレートを作るのに用いた処理工程と似た工程により、直径3インチガラ ス支持体上に3色カラーホイールを調製した。このカラーホイールの調製の工程 は以下のとおりである。 1)実施例25のコーティングを1220rpm で90秒間スピンコーティングにより明 澄なバリヤーコートとして施着し、ホットプレート上で30〜60秒間100 ℃に加熱 し、通常の炉内で250 ℃に60分間に強熱した(硬化させた)。フィルムの厚さは 1.1 μmであった。この工程によって得られる明澄コートのスペクトルを図4の ラインaとして示す。 2)スピンコーティングにより1200rpm で90秒間、赤色フィルター(Brewer S 加熱し、さらに通常の炉内で164 ℃に30分間加熱した。 3)スピンコーティングにより5000rpm で30秒間、ポジの作業フォトレジスト 熱した。 4)次に、該サンプルを、コーティングされた支持体上に配置した楔形マスク を介して、コンタクトプリンター(密着焼付装置)からの光化学線(150mJ/cm2 )に露光した。 5)0.27Nの水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)に20秒間サンプル を浸漬させた後、脱イオン水でリンスして、露光レジストおよび下層のRed 101 を除去して、Red 101 の半円径パターンを残した。Red 101 上に残存している非 残存するRed 101 を通常の炉内で280 ℃に10分間強熱した(硬化させた)。分析 証明書によれば、Red 101 のフィルム厚さ(膜厚)は1.25μmであった。この工 程後のRed 101 および明澄コートのスペクトルを図4にそれぞれラインbおよび cとして示す。 6)スピンコーティングにより1200rpm で90秒間、緑色フィルター(Brewer S 間加熱し、さらに、通常の炉内で170 ℃に30分間加熱した。スピンコーティング 00-27)を施着し、ホットプレートで100 ℃に30秒間加熱した。次に、このサンプ ルをコーティングされた支持体上に配置され工程4における位置から90°回転さ せた楔形マスクを介して、コンタクトプリンターからの光化学線(150mJ/cm2) に露光した。 7)0.27Nの水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)に20秒間サンプル を浸漬させた後、脱イオン水でリンスして露光レジストおよび下層のGreen 02を 除去してGreen 02の半円径パターンを残した。Green 02上に残存している非露光 するGreen 02を通常の炉内で230 ℃に60分間強熱した(硬化させた)。分析証明 書によればGreen 02のフィルム厚さは約1.20μmであった。この工程後のGreen 02、Red 101 および明澄コートのスペクトルを図4にそれぞれラインd、e、お よびfとして示す。 8)スピンコーティングにより1000rpm で90秒間、青色フィルター(Brewer S 間加熱し、さらに、通常の炉内で155 ℃に30分間加熱した。スピンコーティング 00-27)を施着し、ホットプレートで100 ℃に30秒間加熱した。次に、このサンプ ルをコーティングされた支持体上に配置され工程6における位置から90°回転さ せた楔形マスクを介して、コンタクトプリンターからの光化学線(150mJ/cm2) に露光した。 9)0.27Nの水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)に20秒間サンプル を浸漬させた後、脱イオン水でリンスして露光レジストおよび下層のEXP93004を 除去してEXP93004の半円径パターンを残した。EXP93004上に残存している非露光 するEXP93004を通常の炉内で230 ℃に60分間強熱した(硬化させた)。分析証明 書によればEXP93004のフィルム厚さは約1.00μmであった。この工程後のEXP930 04、Green 02、Red 101 および明澄コートのスペクトルを図4にそれぞれライン g、h、i、およびjとして示す。 図4において、ラインa、c、fおよびjで示される明澄コートの透過率が僅 かに減少しているのは熱的暗色化に因るものである。後続の色フィルター処理工 程のいずれからステイニングが生じていることを示すスペクトル上の証拠は見ら れない。図4のラインgは、青色フィルターの後続工程からのステイニングに因 り赤色フィルターの透過率が減少していることを示す。 上述の工程1)〜9)に従って、第2のカラーホイールを調製した。但し、こ の場合は、工程5)に記載したような赤色フィルターの加工処理後、実施例25の 明澄コートを第2のコートとして施着した。スピンコーティングにより6000rpm で90秒間、第2の明澄コートを施着し、ホットプレート上で100℃に30〜60秒間 加熱し、さらに、通常の炉内で250 ℃に60分間加熱した。第1のカラーホイール に関して工程1)〜9)に記載したように、各硬化加熱後に明澄コートおよび各 色フィルターの透過スペクトルを測定した。図5のラインa〜jは、同じ処理工 程における図4のラインa〜jに対応するものである。図5のラインgは、後続 の青色フィルターの施着により赤色フィルターのステイニングが起こっていない ことを示唆している。図5のラインgによって示される赤色フィルターの透過率 が僅かに減少しているのは色素の熱的暗色化に因るものである。実施例28 攪拌装置、および塩化カルシウム乾燥管を備える反応器内に、50.00 部の Saf が290 のスチレン−無水マレイン酸コポリマー(Atochem SMA3000A)40.00 部を 添加する。固形分が全て溶解した後、2−ヒドロキシエチルアクリレート(HE A)(RohmTech社製AM-414)12.00 部およびトリエチルアミン(Aldrich 23,963 -3)10滴を添加する。室温下に約24時間、攪拌を続行する。実施例29 100mL のポリエチレンビーカー内に、実施例27で調製したグラフト化ポリマー 29.82 部、ジペンタエリストール・ペンター/ヘキサーアクリレート(Brewer S する。この配合物(ミックス)を室温下に1時間攪拌し、琥珀ポリエチレンねじ 込キャップ付ビンに14日間保存する。実施例30 実施例28で調製した配合物10.00 部、ブロックトポリイソシアネート(Desmod サントン(ITX)(First Chemical社製)1.00部、オクチル−パラ−(ジメチ ルアミノ)ベンゾエート(ODAB)0.50部、および1,4−ジアザビシクロ[ 2.2.2 ]オクタン(Aldrich D2,780-2)0.025 部を組み合わせることにより、光 学的透明なネガの作業フォトレジストを調製する。この配合物を室温下に1時間 攪拌して、0.2 μmのフィルターでろ過する。実施例31 実施例29の配合物を評価するため、図6に示し、色フィルタープレートを調製 するのに採用した工程に類似の工程により、直径3インチのガラス支持体上に3 色カラーホイールを調製した。このカラーホイールの調製工程は、以下のとおり である。 1)スピンコーティングにより1000rpm で90秒間、赤色フィルター(Brewer S し、通常の炉内で151 ℃に30分間加熱した。 2)スピンコーティングにより4000rpm で90秒間、実施例29で調製した透明で ネガの作業フォトレジストを施着し、ホットプレートで100 ℃に3分間加熱した 。 3)次に、該サンプルを、コーティングされた支持体上に配置した楔形マスク を介して、コンタクトプリンターからの光化学線(150mJ/cm2)に露光した後、ホ ットプレート上で100 ℃に2分間加熱した。 4)0.27Nの水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)に20秒間サンプル を浸漬させた後、脱イオン水でリンスして、非露光レジストおよび下層のRed 02 を除去して、Red 02の半円径パターンを残し、頂部に透明な透明レジストの層が あるようにした。残存するRed 02および透明レジストを通常の炉内で230 ℃に30 分間強熱した(硬化させた)。分析証明書によれば、Red 02のフィルム厚さは約 1.2 μmであった。透明レジストのフィルム厚さは約0.35μmであった。この工 程後の透明レジストでコートされたRed 02のスペクトルを図7にラインaとして 示す。 5)スピンコーティングにより1100rpm で90秒間、緑色フィルター(Brewer S 熱し、さらに、通常の炉内で165 ℃に30分間加熱した。スピンコーティングによ り4000rpm で90秒間、実施例29で調製した透明でネガの作業フォトレジスト(Sh た。次に、このサンプルを、コーティングされた支持体上に配置され工程3にお ける位置から90°回転させた楔形マスクを介して、コンタクトプリンターからの 光化学線(150mJ/cm2)に露光した。 6)0.27Nの水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)に20秒間サンプル を浸漬させた後、脱イオン水でリンスして非露光レジストおよび下層のGreen 02 を除去してGreen 02の半円径パターンを残した。次に、残存するGreen 02および 透明レジストを通常の炉内で230 ℃に30分間強熱した(硬化させた)。分析証明 書によれば、Green 02のフィルム厚さは約1.20μmであった。透明レジストのフ ィルム厚さは約0.35μmであった。この工程後の、透明レジストでコートされた Green 02および透明レジストでコートされたRed 02のスペクトルを図7にそれぞ れラインbおよびcとして示す。 7)スピンコーティングにより1200rpm で90秒間、青色フィルター(Brewer S し、さらに、通常の炉内で160 ℃に30分間加熱した。スピンコーティングにより 4000rpm で90秒間、実施例29で調製した透明でネガの作業フォトレジストを施着 し、ホットプレートで100 ℃に3分間加熱した。次に、このサンプルを、コーテ ィングされた支持体上に配置され工程5における位置から90°回転させた楔形マ スクを介して、コンタクトプリンターからの光化学線(150mJ/cm2)に露光した。 8)0.27Nの水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)に20秒間サンプル を浸漬させた後、脱イオン水でリンスして非露光レジストおよび下層のBlue 10 を除去してBlue 10 の半円径パターンを残した。次に、残存するBlue 10 および 透明レジストを通常の炉内で230 ℃に30分間強熱した(硬化させた)。分析証明 書によればGreen 02のフィルム厚さは約1.20μmであった。透明レジストのフィ ルム厚さは約0.35μmであった。この工程後の透明レジストでコートされたBlue 10、透明レジストでコートされたGreen 02、および透明レジストでコートされた Red 02スペクトルを図7にそれぞれラインd、e、およびfとして示す。 図7において、ラインa、c、およびfによって示されるRed 02の透過率、な らびにラインbおよびeによって示されるGreen 02の透過率が僅かに減少してい るのは熱的暗色化および後続の色フィルター処理工程のいずれからの幾分かのス テイニングに因るものであるが、その影響は極めて小さい。 上述の1)〜9)の工程に従って第2のカラーホイールを調製した。但し、T MAH中の現像後にBlue 10 を強熱せず(硬化させず)、その代わりに、カラー ホイールをスピナー(回転板)上に配置して2000rpm で回転させながら、スクィ ーズボトルからN−メチル−2−ピロリジノンを10分間スプレー(噴霧)した。 さらに80秒間、カラーホイールを回転させて該ホイールの乾燥を促進した。図8 は、各強熱およびBlue 10 の除去後のRed 02およびGreen 02のスペクトルを示す ものであり、ラインa、cおよびeは、Red 02の透過スペクトル、またラインb およびdはGreen 02の透過スペクトルを示す。Red 02およびGreen 02について透 過率が僅かに減少しているのは色素の熱的分解に因るものである。これらのスペ クトルから、N−メチル−2−ピロリジノンによるBlue 10 の除去はGreen 02お よびRed 02にステイニングを与えていないこと、また、Blue 10 の除去工程中に Green 02およびRed 02からの色素浸出はないことが示されている。実施例32 直径3インチの3枚のガラス支持体に、スピンコーティングにより800rpmで90 秒間、青色フィルター材料(EXP94056,Brewer Science社製)をコートした。各 サンプルをホットプレート上で30秒間加熱した。サンプル1は通常の炉内で250 ℃に30分間加熱し、サンプル2は通常の炉内で230 ℃に60分間加熱し、さらに、 サンプル3は通常の炉内で165 ℃に30分間加熱した。サンプル2には、スピンコ ーティングにより、実施例29に記載の透明のレジストの1:1稀釈液と Safestr ングは1000rpm で90秒間行い、その後、ホットプレートにより100 ℃に30分間加 熱した。該サンプルをコンタクトプリンターを用いて露光処理し(150mJ/cm2)、 通常の炉内で30分間230 ℃に保持した。スピンカーブからフィルム厚さを測定す ると0.39μmであった。サンプル3には、スピンコーティングにより5000rpm で 90秒間、前述の透明レジスト稀釈液を施着した後、ホットプレートで3分間100 ℃に加熱した。該サンプルをコンタクトプリンターを用いて露光処理(150mJ/cm2 )、通常の炉内に230 ℃で30分間保持した。スピンカーブからフィルム厚さを測 定すると0.1 μmであった。各サンプルをN−メチル−2−ピロリジノンに浸漬 させて溶媒抵抗を測定した。N−メチル−2−ピロリジノンへの浸漬の前後に各 サンプルのスペクトルを測定した。サンプル1は、N−メチル−2−ピロリジノ ン浸漬中に支持体から剥離された。図9のラインaは、透明レジストを施着する 前のサンプル2の青色フィルターの透過スペクトルである。図9のラインbは、 透明レジストが加熱施着されたサンプル2の透過スペクトルである。図9のライ ンcは透明レジストが加熱施着されたサンプル2(N−メチル−2−ピロリジノ ンに30秒間浸漬させた後)の透過スペクトルを示すものである。 図10のラインaは、サンプル3の青色フィルターで、透明レジストを施着し硬 化させた後の透過スペクトルを示す。図10のラインbは、透明レジストが加熱施 着されたサンプル3であって、N−メチル−2−ピロリジノンに30秒間浸漬させ た後の透過スペクトルを示す。 上述の実施例においてはビヒクルと可溶性とが別々のものを使用する場合を示 したが、色素がポリマーの一部を成すようにしてもよく、例えば、付加化合物と してポリマーに結合していてもよい。さらに、ポリマーが、所望の波長の光をろ 過し、透過させ、他の波長を排除するようなポリマーであってもよい。 本明細書に開示した本発明の技術思想に包含される多くの変更が本発明には可 能であることは当業者には明らかであろう。本発明は、本明細書に開示した特定 の実施態様によって限定されるものではなく、請求の範囲によってのみ定められ るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION     Modified (maleic anhydride-styrene) copolymer for base material of color filter     And related polymers   The present invention relates to the ultraviolet (uv), visible, or infrared (ir) region of the electromagnetic spectrum. An organic colorant to selectively pass (or block) the frequency band of Contains optically clear barrier coating to provide staining resistance Used in information display devices and sensors with coatings Regarding rimer material.Conventional technology   For the production of flat panel color displays and color video detectors , Using a colored polymer coating (hereinafter referred to as a color filter) Pixels (typically red, green and blue for flat panel displays, Make up an array of cyan, magenta and yellow for color video detectors) . In flat panel displays, color filters are placed on a transparent support (substrate). The color filters are arranged in a certain pattern. Selective passage of light from a light source located behind b can be performed. Kara -In a video detector, the color filter array is A predetermined wave is applied to an array at a specific position of a semiconductor photocell (photoelectric cell) arranged behind Allow long ambient light through.   The manufacture of color filter plates and color video detectors involves photolithography. It is necessary to define an array of colored pixels using the Huff method. This pixel Two common methods traditionally used to form arrays are wet etching. Etching (solvent etching) and dry etching (plasma or reactive ion) Etching). In each case, the color filter is evenly spread on the support (Typically a 1-2 μm thick color filter) to form a film. Is necessary. The application of the color filter is generally performed by spin coating (spin coating). Coating), which is performed by a method known as Fill the filter solution and spread it evenly on the surface by centrifugal force.   The wet etching method is a multi-step method, typically, 1) applying a color filter. 2) weak heating (soft bake) to partially insolubilize the coating; 3) 4) Exposing the photoresist, 5) Exposing the photoresist The solvent is removed from the dist and the underlying color filter, and 6) the remaining photoresist And 7) finishing and curing the color filter. Use These steps are repeated each time a color filter is added, and the previously processed color filter is processed. A subsequent color filter on the filter and selective removal as described above Form a pattern.   Dry etching typically involves 1) application of a color filter and 2) ignition (c). Bake) to cure the polymer, 3) apply photoresist, 4) expose The solvent is removed from the exposed photoresist and 5) the remaining Photoresist and color filters covered with photoresist It is a multi-step process that includes the step of removing missing areas.   To produce multicolor tinted arrays, add on top of previously processed color filters It is necessary to cover each color filter. Previously processed color filter When another color filter is coated on the screen, a phenomenon called leaching occurs. Sometimes. That is, the previously processed color filter is And diffuses into the solvent of subsequent layers during application. Furthermore, stayin Another phenomenon called "staining" can occur, and the application Dyes in the color filter solution diffuse into the previously processed color filter I will do it. Both phenomena result in the mixing of dyes, which can reduce the chromaticity of the color filter. And   U.S. Pat.No. 4,822,718 and U.S. Pat. No. 165, and “Color Filters From Dy ed Polyimides); Latham and D.M. By Hawley,Solid State Technology, 1 Issued in May 988, the disclosure of which is incorporated herein by reference.   The effects of leaching and staining can be used as color filter matrix material Has been reduced by using a polyimide precursor (polyamic acid) (eg For example, as described in U.S. Pat.No. 4,876,165 and U.S. Pat. ). Also, the use of colored polyimide as a color filter is described in W.S. Latham And D. Hawley's "Color Filters Fr. om Dyed Polyimides),Solid State Technology, May 1988 " You. According to Latham and Hawley, pigmented polyethers cured at 230 ° C for 1 hour Imide is suitable for leaching and staining for film thickness of 1-2 μm To provide considerable resistance. However, leaching of colored polyimide and Staining resistance is determined by the amount of dye used, i.e., the ratio of dye to polymer, Depends on type, cure time / temperature, and polyimide structure.   Polyimides used for color filters must always be manufactured with care. Yo As is well known, the key factors affecting the production of polyimides are monomeric Purity, monomer addition order, monomer addition rate, reaction temperature, stirring rate and Time, as well as ambient humidity. Color filter formulation using polyimide In, a product with the performance according to the established specifications is obtained by careful mixing / evaluation It is also known that you must do so.   In addition, the polyimide used in the color filter is sufficient to provide adequate cure. Heating to moderate temperatures will impair its optical clarity to some extent. This optically transparent Loss of strength is indicated by the cured film tinting yellow, which is due to charge transfer. It is thought to be due to the formation of a dynamic complex.   Color filters based on polyimide have a limited shelf life. There is a world. The polyimide precursor (polyamic acid) has a continuous association of amide bonds / It undergoes dissociation, resulting in a change in molecular weight over time. As is known, this change in molecular weight The movement is caused by the film thickness fluctuation when coating at a given spin speed (rotation speed). Innate and may require adjustment of the processing steps.Disclosure of the invention   It is therefore an object of the present invention to provide for the subsequent application of a colored coating. In this case, a transparent polymer film with stain stopping ability can be formed. To provide a composition.   It is a further object of the present invention that the coating may be contacted with a solvent in a subsequent processing step. Composition containing an organic dye that can prevent leaching of the dye when Is to provide.   Another object of the present invention is to have a longer effective shelf life than the prior art, Manufacturing a final product that maintains workability according to specified specifications over time. It is to provide a composition that can be used.   It is an object of the invention to provide a coating that does not leach.   Another object of the present invention is to provide a composition that does not cause staining. .   Yet another object of the present invention is used in information display devices and sensors. It is to provide a photosensitive coating.   It is an object of the present invention to provide an optically transparent barrier coating. .   An object of the present invention is to provide a positive photolithographic method and a negative photolithographic method. Color with good electrical properties including resistivity and dielectric strength It is to provide a filter base material (base).   It is an object of the present invention to provide a brightener / color that is clearer for all colors than the prior art. An object of the present invention is to provide a comparatively permeable film. For example, the permeable film of the present invention , Forming a blue color with a higher gloss than the blue color of the prior art.   Another object of the invention is a composition that can be manufactured to have consistent properties. To provide things.   Yet another object of the present invention is to provide a composition having a longer shelf life than conventional materials. To provide.   Another object of the present invention is to provide a one-component system.   It is an object of the present invention to provide compounds that can be reliably adhered to glass and other supports. To provide.   These and other objects, according to the present invention, from anhydrides (acid anhydrides) Modified copolymer containing side groups and two or more reactive Combining materials containing functional groups (which can react with acids) into a single chemical Polymer coating with excellent solvent resistance, transparency and thermal stability This is achieved by providing According to the present invention, the reactive crosslinking component is Raft-bonded polyfunctional crosslinking component (preferably blocked polyisocyanate) Copolymers containing anhydride side groups blended with (capable of reacting with carboxylic acids) Rimmer has excellent clarity, thermal stability, solvent resistance, leaching resistance, and stay It has been found to have skinning resistance.   BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The following drawings and description of the preferred embodiments further illustrate the features of the present invention to those skilled in the art. Will be clear.BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES   FIG. 1 is a graph showing leaching resistance of a color filter element according to the present invention.   FIG. 2 is a graph showing the leaching resistance of another color set according to the present invention.   FIG. 3 is a flowchart for preparing a test color wheel according to the present invention. Is shown.   FIG. 4 is a graph showing the staining of a coating according to the prior art.   FIG. 5 is a graph showing the protective effect of the clear coating according to the present invention.   FIG. 6 is a flow chart illustrating the preparation and use of a clear coating according to the present invention. It is.   FIG. 7 shows the security when using a photosensitive clear coating according to one embodiment of the present invention. It is a graph which shows a protective effect.   FIG. 8 shows a coating of a coating protected by a clear coating according to the invention. It is a graph which shows tanning and leaching resistance.   FIG. 9 illustrates the immersion obtained by the photosensitive clear coating according to one embodiment of the present invention. It is a graph which shows output resistance.   FIG. 10 is similar to FIG. 9 with a thinner protective coating. It is a graph of.   FIG. 11 is a flowchart showing a color system according to the related art.   FIG. 12 is a flowchart illustrating the preparation of a color system according to the present invention.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION   According to the present invention, a transparent polymer coating having leaching and staining resistance is provided. Of a copolymer containing side groups consisting of anhydrides. Is converted to one functional group capable of reacting with the anhydride and heat, light or chemical It has one or more functional groups that can be chemically induced to cause polymerization. React with the polyfunctional component. Copolymer containing side groups consisting of anhydride Is a maleic anhydride-styrene copolymer (for example, trade name "Atochem" What is available, as well as input from Aldrich and Monomer Polymer Dajac Labs Available), maleic anhydride-methyl vinyl ether copolymer (e.g., Or maleic anhydride-ethylene copolymer (eg, Zeeland Chem) icals), and preferably maleic anhydride-styrene. It is a ren copolymer.   The polyfunctional component (hereinafter referred to as a reactive graft component) is preferably an allylic component. Min, diallylamine, 3-amino-1-propanol vinyl ether, allyl Alcohol, 4-hydroxybutyl vinyl ether, glycerol dimethacrylate Or 2-hydroxyethyl methacrylate or 2-hydroxyethyl acrylate Relate. The stoichiometric ratio of the reactive graft component to the side chain anhydride is 0.5 To 1.0, preferably 1.0. Side chain anhydride is reactive graft component Reacts with the anhydride to cause cleavage of the anhydride, which in turn reacts with the anhydride. In the case where the functional group of the soft component is a hydroxyl group, a carboxylic acid (C = 0 stretch, 1706 to 17 60cm-1) And carboxylic esters (C = 0 stretch, 1715 to 1770 cm)-1) Formation Further, when the functional group of the reactive graft component that reacts with the anhydride is an amino group, Amide (C = 0 stretch, 1630-1700cm-1) Formation occurs. Note that the infrared C = 0 Stretch frequency represents a representative absorption frequency of the described chemical functional group, "Spectrometric Identification of Organic Compounds Silverstein, R obert M. Bassler, G .; Clayton; Morrill, Terence C .; ; 4th edition, New York -Published by Wiley, York. These infrared absorption frequencies Of reaction when the hydrophilic graft component is grafted to the anhydride-containing copolymer and Can be used. When the hydroxyl group-containing compound or amino group-containing compound is copoly The resulting carboxylic acid reacts with the anhydride functionality of the Becomes easy to dissolve in a dilute aqueous solution of the substrate. Dissolution of non-grafted copolymer The increased rate of dissolution of the substrate in dilute aqueous solution compared to the rate It is a quantitative indicator that the combination has been achieved. Select a quantitative measure of graft bonding For this purpose, the acid number is determined by titration with a base.   The grafted copolymer is then converted to pendant carboxylic acid groups of the graft copolymer, Or with a crosslinking component capable of reacting with unreacted anhydride groups. As the crosslinking component, ) Or polyfunctional isocyanates. Good as a crosslinking component Preferred is a blocked diisocyanate, more preferred is a blocked diisocyanate. It is a locked polyisocyanate. This type of blocked polyisocyanate For example, the trade name "Desmodur" from Miles, or Olin Chemicals Available under the trade name "Luxate". When using blocked isocyanates One-component formulations with a long shelf life can be prepared. This is a function of the given temperature. This is because the blocked isocyanate is non-reactive until heated. block "Free" isocyanate when the isocyanate is heated to its deblocking temperature Is formed to allow the typical isocyanate reaction.   During the heat curing step, the blocked isocyanate functional groups At a temperature in the range of 60 ° C to 200 ° C depending on the type, free block Form a cyanate. The free isocyanate thus formed is And K. J. Saunders, Organic Polymer Chemistry, US As published in Chapman and Hall, New York, 1973, '' Reacts with carboxylic acid groups of the grafted copolymer. Also, isocyanate is anxious Other functional groups (e.g. amides) containing defined protons, as well as other isocyanates Secondary reactions can occur that react with the phosphate group. Such deblocking The reaction of the cyanate causes a number of crosslinks in the polymer matrix. Anti If the reactive graft component is an unsaturated alkyl group, the temperature may exceed 200 ° C. In this case, the unsaturated bonds of the reactive graft component of the side chain may bind to each other to cause further crosslinking. You might also say that. The reactive graft component is a photo-crosslinkable functional group (for example, Triradical).   The structure of the starting maleic anhydride can generally be represented by the following formula: .   The structure of the grafted maleic anhydride copolymer can be represented by the general formula .   Where X is a linear or branched unsaturated alkyl containing about 2 to 20 carbon atoms. Cole or amine. Linear or branched unsaturated alcohols and / or The amine may be mixed. m is, for example, 0.2 to 1, and n is, for example, 0. 8 to 0. Substituents added to the anhydride are more complex and more functional , For example, it may be as follows.   Here, X is, for example, an oxygen atom or a nitrogen atom. R1Is about 1 to 6 Linear or branched divalent alkylene of carbon atom or its oxyalkylation induction Body. RTwoIs a vinyl, acrylate or methacrylate radical . m is, for example, 0.2 to 1, and n is, for example, 0.8 to 0.   The grafted copolymer / blocked polyisocyanate of the present invention is Optically clear, thermally stable, chemically resistant, with applied and uniform coating thickness And can provide a leaching / staining resistant barrier coating . Further, the grafted copolymer / polyisocyanate blends of the present invention are colored. Used in information displays and color filters for detectors To provide a homogeneous colored film coating with high leaching / staining resistance Can also.   Depending on the method of use and application, the polymer coating of the present invention (used in combination with a colorant or Without colorant) can be from a few microns to a few hundred Angstroms thick it can. Conventional spin coating relies on the molecular weight and Generally, from about 0.1 μm to 10 μm, depending on the speed at which the coating is performed by pin coating. Gives a film of cron thickness. The polymer coating of the present invention (together with the colorant) Typical speed for spin coating (with or without colorant) is The type and size of the substrate to be coated, the copolymer used and Depending on the molecular weight of the crosslinker, and also the composition of the coating, for example, from 500 rpm to 60 It is in the range of 00rpm. Increase the level of polymer solids and / or molecular weight Use a larger polymer and use other coating methods With this, a film having a large thickness can be obtained. Polymer coating of the present invention The typical curing process for a brush is at 200 ° C to 280 ° C for 10 to 60 minutes. Will be implemented.   Examples of particular applications of the polymer coatings of the present invention include dye or pigment Used as a binder for liquid crystal displays, electroluminescent displays Charge-coupled devices for ray, plasma display, and color video detectors To form a color filter array for use. Further, the polymer of the present invention -The coating should be on top of the coating with insufficient leaching / staining resistance A barrier coat for applying to prevent staining and leaching of the coating It can also function as a ring. Further, the polymer coating of the present invention, Can also be used as an interlayer dielectric in the manufacture of multilayer microcircuits You. Further, the polymer coatings of the present invention can be used in the manufacture of optical waveguide devices. You can also.Example 1   In a reactor equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube and calcium chloride drying tube, 800 Parts of N-methyl-2-pyrrolidinone and 49.8 parts of allylamine. nitrogen After purging the reactor for several minutes with styrene with a number average molecular weight of about 350,000 and an acid number of 473 -Maleic anhydride copolymer (Aldrich 18,293-1) 250.56 parts Add all at once with stirring. Add another 100 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone To rinse the inner wall of the reactor. Continue stirring for about 48 hours. Red of the obtained polymer 1858 cm in outer spectrum-1And 1780cm-1Acid anhydride absorption strength in And corresponds to C = 0 stretching vibration of carboxylic acid and secondary amide, respectively. 1732cm-1And 1646cm-1A new absorption band is seen. Product acid The value was 157.Example 2   In a reactor equipped with a stirrer, nitrogen introduction tube and calcium chloride drying tube, Styrene-maleic anhydride copolymer having an average molecular weight of about 350,000 and an acid number of 473 (Aldri ch 18,293-1) 203.23 parts and 500 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone are charged. Nitrification After purging the reactor with nitrogen for several minutes, the reactor is heated with an electric heating mantle while stirring. Heat to a temperature between 25 ° C and 75 ° C. After dissolving all solids, leave the solution Cool to 35 ° C. While stirring the solution, 152.78 parts of N-methyl-2-pyrrolidino A solution of 48.50 parts of allylamine is added dropwise to the solution. About 48 hours at room temperature Continue stirring. The acid number of the product was 159.Example 3   In a reactor equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube and calcium chloride drying tube, 100 Of N-methyl-2-pyrrolidinone. Purge the reactor with nitrogen for several hundred minutes After that, a styrene-maleic anhydride copolymer having a number average molecular weight of about 1600 to 2600 and an acid value of 475 is used. 46.71 parts of polymer (Monomer-Polymer & Dajac Labs., Catalog number 9182) Is added. The inner wall of the reactor was cleaned using an additional 20 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone. Sensation. While stirring the solution, add 13.19 to 20 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone. A solution of part of allylamine is added dropwise. Stir at room temperature for about 24 hours . The acid number of the product was 144.Example 4   50 parts in a reactor equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube and calcium chloride drying tube N-methyl-2-pyrrolidinone, 50 parts of diethylene glycol dimethyl ether And 5.87 parts of allylamine. After purging the reactor with nitrogen for several minutes Styrene-maleic anhydride copolymer having a number average molecular weight of about 350,000 and an acid value of 473. 30 parts of (Aldrich 18,293-1) are added to the stirred solution. 21.74 parts of N-methyl-2 -A mixture of pyrrolidinone and 21.74 parts of diethylene glycol dimethyl ether To rinse the inner wall of the reactor. Continue stirring for about 48 hours. The acid number of the product is 172 Met.Example 5   In a reactor equipped with a stirrer, nitrogen introduction tube and calcium chloride drying tube, Styrene-maleic anhydride copolymer having an average molecular weight of about 350,000 and an acid value of 473 (Al drich 18,293-1) 40.44 parts and N-methyl-2-pyrrolidinone 100 parts You. After purging the reactor with nitrogen for several minutes, stirring and stirring 8.60 parts of allyl alcohol And a solution consisting of 23.56 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone, With 15.00 parts of triethylamine and 23.56 parts of N-methyl-2-pyrrolidino Add Heat the reactor to 50-65 ° C with an electric heating mantle. Stir for about 48 hours to continue. The acid number of the product was 148.Example 6   30.00 parts of the polymer blend (the allylamine grafted stainless steel described in Example 1) 150 parts of a len-maleic anhydride copolymer solution, a blocked polyisocyanate ( Desmodur BL-3175A, manufactured by Miles) 51 parts, N-methyl-2-pyrrolidinone 10 parts and And 25 parts of cyclohexanone),     26.55 parts of N-methylpyrrolidinone,     10.86 parts of cyclohexanone,     7.22 parts of Solvent Blue 45,     2.40 parts of Solvent Blue 67 The mixture is mixed for about 12 hours using a coating formulation consisting of And a blue coating was prepared. The formulation is then filtered To remove the ion exchange resin and insolubles. This coating is a full color As a color filter for a multi-color pixel array for rat panel displays, It can be used to selectively transmit blue light from a light source behind the panel. Sa In addition, the coating selectively transmits blue light to the semiconductor photodetector array. It can also be used as a color filter for multicolor pixel arrays. This coat The spinning is applied to the support by a conventional spin or spray method. And cured at 230 ° C for 60 minutes or 250 ° C for 30 minutes. it can. This coating is applied to the conventionally used plasma etching method. More patterns can be applied.Example 7   The following coating formulation:     30.00 parts of the polymer blend (as described in Example 6),     26.55 parts of N-methylpyrrolidinone,     10.86 parts of cyclohexanone,     5.61 parts of Solvent Blue 38     4.03 parts of Solvent Yellow 82 A green coating was prepared in the same manner as in Example 6.Example 8   The following coating formulation:     30.00 parts of the polymer blend (as described in Example 6),     26.55 parts of N-methylpyrrolidinone,     10.86 parts of cyclohexanone,     4.50 parts of Solvent Yellow 82,     5.13 parts of Solvent Red 119, Was used to prepare a red coating as described in Example 6.Example 9   30.00 parts of the polymer blend (the allylamine grafted polystyrene described in Example 1) -Maleic anhydride copolymer 150 parts, blocked polyisocyanate (Desmod ur BL-4165, manufactured by Miles) 75 parts, N-methyl-2-pyrrolidinone 10 parts and Consisting of 25 parts of rohexanone),     28.42 parts of N-methylpyrrolidinone,     11.30 parts of cyclohexanone,     7.47 parts of Solvent Blue 45,     2.49 parts of Solvent Blue 67, Using a coating formulation consisting of A coating was prepared.Example 10   The following formulation:     30.00 parts of the polymer blend (as described in Example 9),     28.42 parts of N-methylpyrrolidinone,     5.80 parts of Solvent Blue 38,     4.16 parts of Solvent Yellow 82, Was used to prepare a green coating in the same manner as in Example 6.Example 11   The following formulation:     30.00 parts of the polymer blend (as described in Example 9),     28.42 parts of N-methylpyrrolidinone,     11.30 parts of cyclohexanone,     4.65 parts of Solvent Yellow 82,     5.31 parts of Solvent Red 119, Was used to prepare a red coating in the same manner as in Example 6.Example 12   The following coating formulation:     20.00 parts of the polymer blend (the allylamine grafted sued described in Example 1) 100 parts of a tylene-maleic anhydride copolymer solution, blocked polyisocyanate (Desmadur BL-3175A, manufactured by Miles) 18.5 parts, N-methyl-2-pyrrolidinone 28.6 8 parts, and 51.84 parts of cyclohexanone),     22.06 parts of N-methylpyrrolidinone,     11.03 parts of cyclohexanone,     3.36 parts of Solvent Blue 38, , A green-blue (cyan) coating was prepared in the same manner as in the example.Example 13   The following coating formulation:     20.00 parts of the polymer blend (as described in Example 12),     17.78 parts of N-methylpyrrolidinone,     8.89 parts of cyclohexanone,     2.40 parts of Solvent Red 127, A purple-red (magenta) coating was prepared in the same manner as in Example 6 using Made.Example 14   The following coating formulation:     20.00 parts of the polymer blend (as described in Example 12),     24.89 parts of N-methylpyrrolidinone,     12.44 parts of cyclohexanone,     4.00 parts of Solvent Yellow 82 (Solvent Yellow 82), Was used to prepare a yellow (yellow) coating in the same manner as in Example 6.Example 15   5.00 parts of the polymer blend (the allyl alcohol grafted suture described in Example 5) Tylene-maleic anhydride copolymer solution 20.00 parts, blocked polyisocyanate (Desmodur BL-3175A, manufactured by Miles) 5.41 parts, N-methylpyrrolidinone 15.36 parts , And 10.00 parts of diethylene glycol dimethyl ether),     1.00 part of N-methylpyrrolidinone,     1.38 parts of diethylene glycol dimethyl ether,     4.92 parts of color material (56.25 parts of solvent blue 45, 18.75 parts of solvent blue Ro 67, 112.5 parts of N-methylpyrrolidinone, and 112.5 parts of diethyleneglycol After stirring for 12 to 24 hours, the ion-exchange resin and insolubles were filtered. Removed) In the same manner as in Example 6, using a formulation consisting of Was prepared.Example 16   The following coating formulation:     5.00 parts of the polymer blend (as described in Example 15),     1.00 part of N-methylpyrrolidinone,     1.38 parts of diethylene glycol dimethyl ether,     4.92 parts color material (43.65 parts solvent blue 38, 31.35 parts solvent blue Yellow 82, 112.5 parts of N-methyl-pyrrolidinone, and 112.5 parts of diethylene After stirring on a resin (manufactured by Dow Chemical) for 12 to 24 hours, filtration was performed to remove insolubles. Left) A green coating was prepared as described in Example 6 using a formulation consisting of Was prepared.Example 17     5.00 parts of the polymer blend (as described in Example 15),     1.00 part of N-methylpyrrolidinone,     1.38 parts of diethylene glycol dimethyl ether,     4.92 parts of color material (35.03 parts solvent yellow 82, 39.97 parts solvent yellow Red 119, 130 parts of N-methyl-pyrrolidinone, and 130 parts of diethylene glycol After stirring on Dow Chemical Co., Ltd.) and filtering to remove insolubles) Red coating using a coating formulation consisting of Was prepared.Example 18   The following formulation:     5.50 parts of the grafted copolymer (as described in Example 1),     1.93 parts of blocked polyisocyanate (Desmodur BL-3175A, manufactured by Miles),     1.19 parts of Solvent Blue 67,     1.64 parts of Solvent Brown 44,     11.31 parts of cyclohexanone,     4.13 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone, Was used to prepare a black coating as described in Example 6.Example 19   The following formulation:     6.37 parts of grafted copolymer (as described in Example 1),     2.17 parts of blocked polyisocyanate (Desmodur BL-3175A, manufactured by Miles),     3.56 parts of cyclohexanone,     3.42 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone A clear coating was prepared by stirring the formulation for about 1 hour using . Next, the formulation was filtered using a 0.2 μm filter. This coating is color As a clear barrier layer on the filter, prevents dye leaching from the color filter And can also be used to block color filters during subsequent processing steps . By adding various dyes (dyes), it is transparent at a specific wavelength, but other wavelengths Can produce coatings that are opaque. For example, Transparent in the spectrum used to determine the alignment, but other Long can produce the coating as opaque or colored You.Example 20   The blue filter formulation described in Example 6 was applied to a 3 inch diameter glass support. Spin at 1000rpm for 90 seconds and apply on a hot plate for 30 ~ Heat to 100 ° C for 60 seconds, preheat to 170 ° C for 30 minutes in a normal furnace, and The sample was heated (cured) at 250 ° C. for 30 minutes in a furnace. The film thickness (film thickness) is 1. It was 45 μm. FIG. 1 shows the transmission spectrum of the cured color filter as line a. Shown in The glass substrate with the coating was then applied to the N-methyl-2-pi After being immersed in loridinone for 30 seconds, it was dried by flowing dry nitrogen. Again the transmission spectrum The vector was measured and is shown as line b in FIG. Glass support with coating The carrier was immersed again in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds, and then flushed with dry nitrogen. And dried. The transmission spectrum was measured again and is shown as line c in FIG. You.Example 21   The green filter formulation described in Example 7 was placed on a 3 inch diameter glass support. Spin coating at 1000rpm for 90 seconds, 100 ℃ on hot plate For 30-60 seconds, preheat to 170 ° C for 30 minutes in a normal furnace, and Ignition (curing) in oven at 250 ° C. for 30 minutes. The film thickness is 1.24μm. Was. The transmission spectrum of the color filter after curing is shown by line d in FIG. Next, Immersed glass substrate in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds After that, drying was performed by flowing dry nitrogen. The transmission spectrum was measured again, and Shown as in e. The coated glass support is again treated with N-methyl-2-pi After being immersed in loridinone for 30 seconds, it was dried by flowing dry nitrogen. Transmission spectrum Is again measured and is shown as line f in FIG.Example 22   The red filter formulation described in Example 8 was applied to a 3 inch diameter glass support. Spin coating at 1000rpm for 90 seconds, 100 ℃ on hot plate For 30-60 seconds, preheat to 170 ° C for 30 minutes in a normal furnace, and Ignition (curing) in oven at 250 ° C. for 30 minutes. The film thickness was 1.36 μm. Was. The transmission spectrum of the cured color filter is shown by line g in FIG. Next, Immersed glass substrate in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds After that, drying was performed by flowing dry nitrogen. The transmission spectrum was measured again, and Shown as in h. The coated glass support is again treated with N-methyl-2-pi After being immersed in loridinone for 30 seconds, it was dried by flowing dry nitrogen. Transmission spectrum Is again measured and is shown as line i in FIG.Example 23   A green-blue (cyan) filter formulation as described in Example 12 was applied to a 3 inch diameter glass. Spin coating at 2000 rpm for 90 seconds on the support And heat to 250 ° C for 30 minutes in a normal furnace. (Cured). The film thickness was 0.579 μm. Color filter after curing Is shown by the line a in FIG. Next, the coated glass support After immersing the carrier in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds, Dried. The transmission spectrum was measured again and is shown as line b in FIG. Coat The coated glass support was immersed again in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds. After that, drying was performed by flowing dry nitrogen. The transmission spectrum was measured again, and the graph of FIG. Shown as in c.Example 24   The yellow filter formulation described in Example 14 was applied to a 3 inch diameter glass support. Spin at 2000 rpm for 90 seconds and spin on hotplate at 100 ° C For 30-60 seconds, and then ignite for 30 minutes at 250 ° C in a normal furnace (cured T). The film thickness was 0.585 μm. Color filter transmission after curing The torque is indicated by line d in FIG. Next, the coated glass support was After immersion in chill-2-pyrrolidinone for 30 seconds, it was dried by flowing dry nitrogen. Again And the transmission spectrum was measured and is shown as line e in FIG. Coated The glass support was immersed again in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds and then dried. Dried with a stream of nitrogen. The transmission spectrum is measured again, and as a line f in FIG. Show.Example 25   The purple (magenta) filter formulation described in Example 13 was applied to a 3 inch diameter filter. Spin-coated on a glass support at 2000 rpm for 90 seconds, hot-press Heat to 100 ° C for 30 to 60 seconds on the plate, and further increase to 250 ° C for 30 minutes in a normal furnace. Heated (cured). The film thickness was 0.708 μm. Color fill after curing The transmission spectrum of the filter is shown by line g in FIG. Next, the coated gala After immersing the substrate in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds, dry nitrogen was introduced. And dried. The transmission spectrum was measured again and is shown as line h in FIG. Ko The coated glass support is immersed again in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds. After immersion, it was dried by flowing dry nitrogen. The transmission spectrum was measured again, and FIG. As a line i.Example 26   The following formulation:     6.37 parts of grafted copolymer (as described in Example 1),     2.17 parts of blocked polyisocyanate (Desmodur BL-3175A, manufactured by Miles),     3.56 parts of cyclohexanone,     3.42 parts of N-methyl-2-pyrrolidinone A clear coating was prepared by stirring the formulation for about 1 hour using Was. Next, the formulation was filtered through a 0.2 μm filter. This coating , As a transparent barrier layer on the color filter, prevents dye leaching from the color filter And to prevent staining of color filters in subsequent processing steps. Can be used.Example 27   To evaluate the staining resistance of the formulation of Example 25, shown in FIG. A process similar to the process used to make the luter plate yields a 3 inch A three-color wheel was prepared on a substrate. Process of preparing this color wheel Is as follows.   1) The coating of Example 25 was clarified by spin coating at 1220 rpm for 90 seconds. Apply as a clear barrier coat and heat to 100 ° C for 30-60 seconds on a hot plate Then, it was ignited (cured) at 250 ° C. for 60 minutes in a normal furnace. The thickness of the film It was 1.1 μm. The spectrum of the clear coat obtained by this step is shown in FIG. Shown as line a.   2) Red filter (Brewer S) at 1200 rpm for 90 seconds by spin coating. Heated and further heated in a conventional furnace to 164 ° C. for 30 minutes.   3) Positive working photoresist at 5000rpm for 30 seconds by spin coating Heated.   4) Next, the sample is placed on a coated support, wedge-shaped mask Actinic radiation (150mJ / cm) from a contact printer (contact printing device)Two ).   5) Sample for 20 seconds in 0.27N tetramethylammonium hydroxide (TMAH) And then rinsed with deionized water to expose the exposed resist and the underlying Red 101 Was removed to leave a semicircular pattern of Red 101. Non-remaining on Red 101 The remaining Red 101 was ignited (cured) at 280 ° C. for 10 minutes in a conventional furnace. analysis According to the certificate, the film thickness (film thickness) of Red 101 was 1.25 μm. This work The spectra of Red 101 and the clear coat after this process are shown in FIG. Indicated as c.   6) Green filter (Brewer S) at 1200rpm for 90 seconds by spin coating. For an additional 30 minutes at 170 ° C. in a conventional furnace. Spin coating 00-27) and heated on a hot plate to 100 ° C. for 30 seconds. Next, this sump Placed on the coated support and rotated 90 ° from the position in step 4. Actinic radiation from a contact printer (150 mJ / cmTwo) Exposure.   7) Sample for 20 seconds in 0.27N tetramethylammonium hydroxide (TMAH) After immersion, rinse with deionized water to remove exposed resist and underlying Green 02. Removal left Green 02 semicircular pattern. Non-exposure remaining on Green 02 The resulting Green 02 was ignited (cured) at 230 ° C. for 60 minutes in a conventional furnace. Proof of analysis According to the book, the film thickness of Green 02 was about 1.20 μm. Green after this process 02, the spectra of Red 101 and the clear coat are shown in FIG. And f.   8) Blue filter (Brewer S) for 90 seconds at 1000 rpm by spin coating. For a further 30 minutes at 155 ° C. in a conventional furnace. Spin coating 00-27) and heated on a hot plate to 100 ° C. for 30 seconds. Next, this sump Is placed on the coated support and rotated 90 ° from the position in step 6. Actinic radiation from a contact printer (150 mJ / cmTwo) Exposure.   9) Sample for 20 seconds in 0.27N tetramethylammonium hydroxide (TMAH) And then rinse with deionized water to remove the exposed resist and the underlying EXP93004. Removed leaving a semicircular pattern of EXP93004. Non-exposure remaining on EXP93004 The EXP93004 was heated (cured) at 230 ° C. for 60 minutes in a normal furnace. Proof of analysis According to the book, the film thickness of EXP93004 was about 1.00 μm. EXP930 after this process The spectra of the 04, Green 02, Red 101, and clear coat lines are shown in FIG. Shown as g, h, i, and j.   In FIG. 4, the transmittance of the clear coat indicated by lines a, c, f and j is small. The decrease is due to thermal darkening. Subsequent color filter processing There is no spectral evidence that staining is occurring from any of the steps. Not. Line g in FIG. 4 is due to staining from the subsequent process of the blue filter. This indicates that the transmittance of the red filter has decreased.   According to the above steps 1) to 9), a second color wheel was prepared. However, this In the case of Example 25, after processing the red filter as described in Step 5), A clear coat was applied as a second coat. 6000rpm by spin coating Apply a second clear coat for 90 seconds on a hot plate at 100 ° C. for 30-60 seconds Heated and further heated to 250 ° C. for 60 minutes in a conventional furnace. First color wheel As described in steps 1) to 9), the clear coat and each The transmission spectrum of the color filter was measured. Lines a to j in FIG. This corresponds to the lines a to j in FIG. The line g in FIG. The red filter is not stained due to the application of the blue filter Suggest that. The transmittance of the red filter indicated by line g in FIG. Is slightly reduced due to the thermal darkening of the dye.Example 28   In a reactor equipped with a stirrer and a calcium chloride drying tube, 50.00 parts of Saf Adds 40.00 parts of 290 styrene-maleic anhydride copolymer (Atochem SMA3000A) Added. After all the solids are dissolved, 2-hydroxyethyl acrylate (HE A) 12.00 parts of (RohmTech AM-414) and triethylamine (Aldrich 23,963 -3) Add 10 drops. Continue stirring at room temperature for about 24 hours.Example 29   In a 100 mL polyethylene beaker, place the grafted polymer prepared in Example 27. 29.82 parts, dipentaerythitol penter / hexa-acrylate (Brewer S I do. This mixture (mix) is stirred at room temperature for 1 hour, and amber polyethylene screw For 14 days.Example 30   10.00 parts of the formulation prepared in Example 28, blocked polyisocyanate (Desmod 1.00 part of Sandton (ITX) (manufactured by First Chemical Company), octyl-para- (dimethyl Ruamino) benzoate (ODAB) 0.50 parts and 1,4-diazabicyclo [ 2.2.2] Octane (Aldrich D2, 780-2) A chemically transparent negative working photoresist is prepared. Allow this formulation to stand at room temperature for 1 hour Stir and filter through a 0.2 μm filter.Example 31   To evaluate the formulation of Example 29, a color filter plate was prepared as shown in FIG. A process similar to the one used to perform the above was performed on a 3 inch diameter glass support. A color wheel was prepared. The preparation process of this color wheel is as follows It is.   1) Red filter (Brewer S) at 1000 rpm for 90 seconds by spin coating. Then, it was heated to 151 ° C. for 30 minutes in a normal furnace.   2) Spin-coat at 4000 rpm for 90 seconds for the transparent, prepared in Example 29 Negative working photoresist was applied and heated on a hotplate to 100 ° C. for 3 minutes .   3) Next, the sample is placed on a coated support with a wedge-shaped mask Actinic radiation from contact printer (150mJ / cmTwo), And The plate was heated to 100 ° C. for 2 minutes on a plate.   4) Sample for 20 seconds in 0.27N tetramethylammonium hydroxide (TMAH) And then rinsed with deionized water to remove unexposed resist and underlying Red 02 Is removed, leaving a semicircular pattern of Red 02, and a transparent transparent resist layer on the top I did it. Residual Red 02 and transparent resist at 230 ° C in a normal furnace Heated (cured) for a minute. According to the certificate of analysis, the film thickness of Red 02 is about It was 1.2 μm. The film thickness of the transparent resist was about 0.35 μm. This work The spectrum of Red 02 coated with the transparent resist is shown in FIG. 7 as line a. Show.   5) Spin coating at 1100 rpm for 90 seconds, green filter (Brewer S) Heated and further heated in a conventional furnace to 165 ° C. for 30 minutes. By spin coating The transparent and negative working photoresist prepared in Example 29 (Sh Was. Next, the sample was placed on a coated support and subjected to step 3. Through a wedge-shaped mask rotated 90 ° from the Actinic radiation (150mJ / cmTwo).   6) Sample for 20 seconds in 0.27N tetramethylammonium hydroxide (TMAH) And then rinse with deionized water to remove unexposed resist and underlying Green 02 Was removed to leave a semicircular pattern of Green 02. Next, the remaining Green 02 and The transparent resist was ignited (cured) at 230 ° C. for 30 minutes in a conventional furnace. Proof of analysis According to the book, the film thickness of Green 02 was about 1.20 μm. Transparent resist The film thickness was about 0.35 μm. After this step, it was coated with a transparent resist Fig. 7 shows the spectra of Green 02 and Red 02 coated with a transparent resist. This is shown as lines b and c.   7) Blue filter (Brewer S) for 90 seconds at 1200 rpm by spin coating. Then, it was heated to 160 ° C. for 30 minutes in a normal furnace. By spin coating Apply the transparent negative working photoresist prepared in Example 29 at 4000 rpm for 90 seconds Then, the mixture was heated to 100 ° C. for 3 minutes on a hot plate. Next, this sample is Wedge-shaped tool placed on the support and rotated 90 ° from the position in step 5 Actinic radiation from a contact printer (150 mJ / cmTwo).   8) Sample for 20 seconds in 0.27N tetramethylammonium hydroxide (TMAH) And then rinse with deionized water to remove unexposed resist and underlying Blue 10 Was removed to leave a semicircular pattern of Blue 10. Next, the remaining Blue 10 and The transparent resist was ignited (cured) at 230 ° C. for 30 minutes in a conventional furnace. Proof of analysis According to the book, the film thickness of Green 02 was about 1.20 μm. Transparent resist filter The lum thickness was about 0.35 μm. Blue coated with transparent resist after this process 10, Green 02 coated with transparent resist, and coated with transparent resist The Red 02 spectrum is shown in FIG. 7 as lines d, e, and f, respectively.   In FIG. 7, the transmittance of Red 02, indicated by lines a, c and f, The transmission of Green 02, indicated by lines b and e, is slightly reduced. Only some of the heat from the thermal darkening and subsequent color filtering steps. This is due to tainting, but its effect is extremely small.   A second color wheel was prepared according to the above steps 1) to 9). Where T Do not ignite (harden) Blue 10 after development in MAH; Place the wheel on the spinner (rotating plate) and rotate the wheel N-methyl-2-pyrrolidinone was sprayed from the bottle for 10 minutes. The color wheel was rotated for an additional 80 seconds to accelerate drying of the wheel. FIG. Shows spectra of Red 02 and Green 02 after removal of each ignition and Blue 10 Lines a, c and e are the transmission spectra of Red 02 and line b And d show the transmission spectrum of Green 02. About Red 02 and Green 02 The slight decrease in the percentage is due to the thermal decomposition of the dye. These specs Removal of Blue 10 from the reactor by N-methyl-2-pyrrolidinone was performed using Green 02 and And Red 02 are not stained, and during the removal of Blue 10 No dye leaching from Green 02 and Red 02 is shown.Example 32   Three glass supports of 3 inches in diameter were spin-coated at 800 rpm for 90 minutes. For a second, a blue filter material (EXP94056, manufactured by Brewer Science) was coated. each The sample was heated on a hot plate for 30 seconds. Sample 1 is 250 At 30 ° C. for 30 minutes, sample 2 was heated to 230 ° C. for 60 minutes in a normal furnace, Sample 3 was heated to 165 ° C for 30 minutes in a conventional furnace. Sample 2 contains a spin 1: 1 dilution of the clear resist described in Example 29 with Safestr The coating was performed at 1000 rpm for 90 seconds, and then heated to 100 ° C for 30 minutes on a hot plate. Heated. The sample was exposed to light using a contact printer (150 mJ / cmTwo), The temperature was maintained at 230 ° C. for 30 minutes in a normal furnace. Measure film thickness from spin curve The result was 0.39 μm. Sample 3 was spin-coated at 5000 rpm After applying the above-mentioned transparent resist diluent for 90 seconds, 100 minutes on a hot plate for 3 minutes. Heated to ° C. The sample was exposed to light using a contact printer (150 mJ / cmTwo ), And kept in a normal furnace at 230 ° C. for 30 minutes. Measure film thickness from spin curve It was 0.1 μm. Each sample is immersed in N-methyl-2-pyrrolidinone Then, the solvent resistance was measured. Before and after immersion in N-methyl-2-pyrrolidinone The spectrum of the sample was measured. Sample 1 was N-methyl-2-pyrrolidino Peeled off from the support during immersion. Line a in FIG. 9 applies a transparent resist 9 is a transmission spectrum of a blue filter of Sample 2 before. The line b in FIG. 9 is a transmission spectrum of Sample 2 to which a transparent resist was applied by heating. The lie in FIG. Sample c (N-methyl-2-pyrrolidino) to which a transparent resist was applied by heating. (After immersion for 30 seconds in a gas turbine).   The line a in FIG. 10 is a blue filter of Sample 3, which is coated with a transparent resist and hardened. 2 shows a transmission spectrum after the conversion. Line b in FIG. 10 indicates that the transparent resist is heated. Sample 3 attached, immersed in N-methyl-2-pyrrolidinone for 30 seconds FIG.   In the above embodiment, the case where the vehicle and the soluble agent are used separately is shown. However, the dye may form part of the polymer, for example, And bonded to the polymer. In addition, the polymer filters light of the desired wavelength. It may be a polymer that passes, transmits and excludes other wavelengths.   Many modifications included in the technical concept of the present invention disclosed in the present specification are applicable to the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that this is possible. The present invention relates to the specifics disclosed herein. It is not limited by the embodiment of the invention, but is defined only by the claims. Things.

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Claims (1)

【特許請求の範囲】 1.フォトリソグラフィにより色フィルター素子を製造する方法において、フ ィルター支持体に実質的に非粒子状のフィルター材料の層を施着し、ここで、該 フィルターコーティング材料がビヒクルとそれに混合された可溶性色素とを含み 、該可溶性色素が熱的に安定であり該ビヒクルと組み合わせられてバックライト のレベルを低くしながら高い色コントラストと明度を生じるようにする工程、フ ィルター支持体上のフィルターコーティング材料の層にフォトレジストを施着す る工程、フォトリソグラフィによりフォトレジストに像を形成し現像して該フォ トレジストにパターンを形成する工程、パターン形成されたフォトレジストをエ ッチングすることにより該パターンをフィルターコーティング材料に転写して、 色フィルター材料に色フィルター素子のパターンを形成する工程、色フィルター 素子を硬化させて該素子を実質的に不溶化する工程を含み、硬化した該フィルタ ー素子が、着色光を高い明度を有しながら確実に透過させ分解する安定な色素を 含有し、さらに、硬化した該フィルター素子が、後続のフィルターを隣接して施 着することによる浸出およびステイニングに対して高い抵抗性を有する安定な色 素を含有しているようにすることを特徴とする方法。 2.支持体が、複数の色に対するフィルター素子から成る実質的に平面状のア レイによりコートされていることを特徴とする請求項1の方法。 3.色フィルター素子内のフィルターコーティング材料を配向させてアライン メントを行う工程を含むことを特徴とする請求項2の方法。 4.配向したフィルターコーティング材料に液晶材料を施着する工程を含むこ とを特徴とする請求項3の方法。 5.ビヒクルは、反応性架橋成分がグラフト結合し、且つ多官能性架橋成分と ブレンドされた無水物含有改質コポリマーを含むことを特徴とする請求項1の方 法。 6.マイクロフォトリソグラフィによりマイクロ電子フィルター素子を製造す る方法において、フィルター支持体に実質的に非粒子状のフィルター材料の層を 施着し、ここで、該フィルターコーティング材料がビヒクルとそれに混合された 可溶性色素とを含み、該可溶性色素が熱的に安定であり該ビヒクルと組み合わせ られてバックライトのレベルを低くしながら高い色コントラストと明度を生じる ようにする工程、色フィルター材料上にパターンを形成し、エッチングを行い色 フィルター素子を形成する工程、色フィルター素子を硬化させて該素子を実質的 に不溶化させる工程、着色されたフィルター素子にバリヤーコーティングを施着 する工程、バリヤーコーティングを硬化させて該バリヤーコーティングを実質的 に不溶化する工程を含み、硬化したフィルター素子が、着色光を高い明度を有し ながら確実に透過させ分解する安定な色素を含有し、さらに、硬化したバリヤー コーティングが、後続のフィルターを隣接して施着することによる浸出およびス テイニングに対して高い抵抗性を与えるようにすることを特徴とする方法。 7.マイクロフォトリソグラフィによりマイクロ電子フィルター素子を製造す る方法において、フィルター支持体に実質的に非粒子状のフィルター材料の層を 施着し、ここで、該フィルターコーティング材料がビヒクルとそれに混合された 可溶性色素とを含み、該可溶性色素が熱的に安定であり該ビヒクルと組み合わせ られてバックライトのレベルを低くしながら高い色コントラストと明度を生じる ようにする工程、フィルター支持体上のフィルターコーティング材料の層に感光 性バリヤーコーティングを施着する工程、リソグラフィーにより感光性バリヤー コーティングをパターン形成し、該感光性バリヤーコーティングのパターンを現 像する工程、エッチングにより該パターンをフィルターコーティング材料に転写 して、パターン形成されたバリヤーコーティングで覆われた色フィルター素子を 形成する工程、色フィルター素子およびバリヤーコーティングを硬化させて該色 フィルター素子およびバリヤーコーティングを実質的に不溶化する工程を含み、 硬化した色フィルター素子が着色光を高い明度を有しながら確実に透過させ分解 する安定な色素を含有し、さらに、硬化したバリヤーコーティングが、後続のフ ィルターを隣接して施着することによる浸出およびステイニングに対して高い抵 抗性を与えるようにすることを特徴とする。 8.フォトリソグラフィに用いられる吸光性コーティング材料であって、ビヒ クルとそれに混合された可溶性吸光色素とを含み、該可溶性色素が熱的に安定で ありビヒクルと組み合わせられてバックライトのレベルを低くしながら高い色コ ントラストと明度を生じるものであり、該ビヒクルは、反応性架橋成分がグラフ ト結合され且つ多官能性架橋成分とブレンドされた無水物含有改質コポリマーを 含むことを特徴とするコーティング材料。 9.パターン形成されたフィルター素子を有する色フィルター支持体であって 、該フィルター素子が、実質的に非粒子状のフィルターコーティング材料を含み 、該フィルターコーティング材料が、ビヒクルとそれに混合された可溶性色素と を 含み、該可溶性色素は熱的に安定でありビヒクルと組み合わせられてバックライ トのレベルを低くしながら高い色コントラストと明度を生じるものであり、さら に、該フィルター素子が隣接フィルターからの浸出およびステイニングに対して 高い抵抗性を有することを特徴とする色フィルター支持体。 10.ビヒクルは、反応性架橋成分がグラフト結合し且つ多官能性架橋成分とブ レンドされた無水物含有改質コポリマーを含むことを特徴とする請求項9のフィ ルター支持体。[Claims]   1. In a method of manufacturing a color filter element by photolithography, Applying a layer of substantially non-particulate filter material to the filter support, wherein The filter coating material comprises a vehicle and a soluble dye mixed therewith. Wherein the soluble dye is thermally stable and is combined with the vehicle to provide a backlight Process to produce high color contrast and lightness while lowering the level of light Applying a photoresist to the layer of filter coating material on the filter support Forming an image on a photoresist by photolithography, developing the photoresist, Forming a pattern on the photoresist, removing the patterned photoresist By transferring the pattern to the filter coating material by Process of forming color filter element pattern on color filter material, color filter Curing the filter, comprising curing the element to substantially insolubilize the element. -The device uses stable dyes that reliably transmit and decompose colored light while maintaining high brightness. Containing and further cured, the filter element can be applied to a subsequent filter adjacently. Stable color with high resistance to leaching and staining by wearing A method characterized in that it contains an element.   2. The support is a substantially planar array of filter elements for multiple colors. The method of claim 1 wherein the method is coated with a ray.   3. Orient and align the filter coating material in the color filter element 3. The method of claim 2 including the step of performing a statement.   4. Include the step of applying a liquid crystal material to the oriented filter coating material 4. The method of claim 3, wherein:   5. The vehicle has a reactive cross-linking component grafted thereto and a polyfunctional cross-linking component. 2. The method of claim 1, comprising a blended anhydride-containing modified copolymer. Law.   6. Manufacture microelectronic filter elements by microphotolithography In a method, a layer of substantially non-particulate filter material is applied to a filter support. Applied, wherein the filter coating material was mixed with the vehicle A soluble dye, wherein the soluble dye is thermally stable and is combined with the vehicle. Low backlight level produces high color contrast and lightness Process, forming a pattern on the color filter material, etching and color Forming a filter element, curing the color filter element to substantially Apply barrier coating to colored filter elements Curing the barrier coating to substantially effect the barrier coating. Including a step of insolubilizing the cured filter element, the colored light has high brightness It contains a stable dye that transmits and decomposes reliably, while it is hardened. The coating is leached and swollen by applying a subsequent filter adjacent A method characterized by providing high resistance to tainting.   7. Manufacture microelectronic filter elements by microphotolithography In a method, a layer of substantially non-particulate filter material is applied to a filter support. Applied, wherein the filter coating material was mixed with the vehicle A soluble dye, wherein the soluble dye is thermally stable and is combined with the vehicle. Low backlight level produces high color contrast and lightness To expose the layer of filter coating material on the filter support Process of applying a barrier coating, a photosensitive barrier by lithography Pattern the coating to reveal the pattern of the photosensitive barrier coating The pattern is transferred to the filter coating material by the imaging process and etching Color filter elements covered with a patterned barrier coating Forming, curing the color filter element and barrier coating to form the color Substantially insolubilizing the filter element and the barrier coating, The cured color filter element reliably transmits and decomposes colored light while maintaining high brightness In addition, the cured barrier coating contains a stable dye that High resistance to leaching and staining due to adjacent application of the filter It is characterized by providing resistance.   8. A light-absorbing coating material used for photolithography. A soluble light-absorbing dye mixed therewith, wherein the soluble dye is thermally stable. High color coordination while lowering backlight level in combination with vehicle The vehicle produces contrast and lightness, and the vehicle has a reactive cross-linking component An anhydride-containing modified copolymer, which is bonded to a polyfunctional crosslinking component and blended with A coating material comprising:   9. A color filter support having a patterned filter element, Wherein the filter element comprises a substantially non-particulate filter coating material The filter coating material comprises a vehicle and a soluble dye mixed therewith. To The soluble dye is thermally stable and combined with the vehicle It produces high color contrast and lightness while lowering the In addition, the filter element is resistant to leaching and staining from adjacent filters. A color filter support having high resistance.   Ten. The vehicle is grafted with the reactive cross-linking component and blocks with the multifunctional cross-linking component. 10. The filter of claim 9 comprising a rendered anhydride-containing modified copolymer. Luther support.
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