JPH11503877A

JPH11503877A - 同調可能でアラインメントが安定した、スペクトル的にフィルタリングされた出口を備えたレーザー光源

Info

Publication number: JPH11503877A
Application number: JP8531477A
Authority: JP
Inventors: ガバート，マンフレッド
Original assignee: ガバート，マンフレッド
Priority date: 1995-04-20
Filing date: 1996-04-19
Publication date: 1999-03-30
Also published as: WO1996033536A1; EP0829120B1; DE59601190D1; US6038239A; DE19515321A1; DE29607659U1; EP0829120A1; AU5647196A

Abstract

(57)【要約】本発明は、広帯域増幅および狭帯域同調可能活性媒質を備えたレーザー光源に関するものであり、装置が複雑でなく、広帯域自発放出とサイドモードの特定な阻止が可能で、光学的安定性に優れた点が特徴である。本発明は本質的にレザー媒質自体と、好ましくは回折限界光システムと、角分散要素または直線分散要素、反射鏡、画像システムと共にキャッツアイ原理による再帰反射体を形成するように配置された好ましくは平面な反射鏡と、さらに、部分的に透過するように設計された反射鏡、そして、スペクトル的にフィルタリングされた放射のみが空間フィルタを通過することができ、スペクトル的にフィルタリングされた放射のみが反射鏡に到達でき、１つの面において、バックカップリングされた放射とデカップリングされた利用可能な放射の分離が行えるように、やはり反射鏡の少なくともほぼ平面内に位置した好ましくは非反射性の空間フィルタとによって成る。本発明の特別な実施例には、２度の分散と、共振器から発せられる以前の利用可能な放射のフィルタリングとが含まれ、これによりルミネセンスとサイドモードが非常に高い割合で阻止される。本発明のこの他の特別な実施例は、多レーザー光源用の上述の原理の使用を含み、この単一光源は１つの要素のみを使用することで同期に同調することができる。

Description

【発明の詳細な説明】同調可能でアラインメントが安定した、スペクトル的にフィルタリングされた出口を備えたレーザー光源本発明は装置が複雑でなく、高度な光学安定性を備え、広帯域自然発光（ＡＳＥ：増幅自然放出光）とサイドモードの特定な阻止が可能な同調レーザー光源に関する。このような光源の利用分野の１つにラマン分光がある。同調可能レーザー光源は多くの形で知られている。図１は半導体レーザー装置を示している。この配置は、適切な変更を加えて、ダイ（色素）レーザーにおいても使用されている。これは本質的にレーザーダイオードＬＤ、コリメータＫＯ、レーザー放射を分散するための回折格子ＧＩ、回折の分散方向に向かって回転可能な平面鏡ＳＰによって構成される。コリメータＫＯによって実質的に平行なビームとなったレーザー放射は、回折格子ＧＩにおいて回折され回転可能鏡ＳＰに到達する。鏡ＳＰに実質的に垂直に当たるようにして回折されたレーザ波長のみが十分な精度で同一光路上に戻り、活性なレーザファセット上に結像して、光学的バックカップリングを生じる。このように、波長範囲はバックカップルし、その結果、単に鏡ＳＰを回折の分散方向に回転させるだけで装置の放出する主要な波長を選択することができる。他方で、利用可能なレーザー放射は回折格子のゼロ次回折によりデカップリングされる。この目的のために、放射は例えばレンズＯによって光導波路ＬＷＬ内に集束される。波長の調整とは無関係に、利用可能な放射は常に同じ位置に現れる。しかしながら一方で、上述した形または類似するタイプの形で幅広く利用されているこのような配置は、微小な調整不良に対しても非常に敏感であるため不利である。例えば、半導体レーザーの光学的に有効なファセットが非常に小さいため、その形状は、分散方向に対して垂直な光路の傾斜に関し特別な安定性を備えている必要がある。この安定性を得るには回転可能鏡の軸受、回折格子支持、レーザー、コリメータの安定性を備える必要がある。このような形状において、３つの自由度を制御しなければならず、この内の１つ、つまり波長同調のための鏡の回転だけは絶対に必要である。分散要素の分散方向に対して垂直なレーザーの変位は、フォーカスのために必要な、光軸に沿ったレーザーチップの変位と同様に始動パラメータのいずれをも変更することなく最適位置において実行されなければならない。問題を複雑にする１つの点は、独立に調整可能なこれら２つの座標は個別に最適化できないため、当然この２次元の調整方法において最適な位置がただ１つしかないということである。この目的を達成するために特別の方法がしばしば利用されている。このような装置の欠点としては他に、スペクトル的に純粋化した放射よりも、自然放出および幾分強いサイドモードを含む共振器内の全体の放射混合のフラクションの方が利用可能な放射として共振器から取られてしまう点がある。さらに、放射のデカップリングが、バックカップリングが行われる路とは別の路を介して実行されるため、レーザー放射が使用される外部装置からのかろうじて回避可能な反射が共振器内の放射に大きな影響を及ぼす可能性があり、付加的な手段を採用しない限り、バックカップリングが波長を選択する形で通常生じない。これは本質的に少なくとも部分的に反射する、鏡である必要のない面（例えば光導波路、受容面）にレーザーファセットの光学像が生じる場合である。というのも、それらのアレイが再帰反射体として作用するからである。この解決法としては、スペクトル的に非常に純粋な放射を得られる方法と、特別の手段を使ってそのようなレーザー共振器の調整許容量を増やし、比較的頑丈な装置をつくれるようにする方法とが知られている。しかしながら、これまではこれら特徴の両方を組み合わせた装置は知られていなかった。これに関連して、スペクトル的に純粋な放射の製造についての技術状態がDE-A S 29 18 863に記載されている。この発明において、既に共振器を離れた放射が、本質的にスペクトル的に純粋化するための装置へと導かれる。ここでは特に、レーザーの波長選択に使用された分散要素が、かなり同等な状態において前述の装置によっても使用されているため、レーザー波長調整に関係なく適切にフィルタリングされた放射を得ることができる。しかしながら、まだ１つ欠点が残る。これは、分散要素が１つしかなく、この要素が２度使用されるため、放射をフィルタ機構へと再び導くために、またフィルタ機構自体として数々の構成要素を追加しなければならないというものである。上述したDE-AS 29 18 863の別形において、フィルタリングされた放射の一部が共振器内に残留するか、または共振器へと戻される装置が記載されている。しかしながら、ここでも分散要素は別として、レーザーとフィルタ装置の両方が使用されている。さらに、フィルタリングされない放射のかなりの部分が、ここでは必要である分離鏡を介して共振器を離れてしまうため、その部分が損失してしまう。 DE-OS 42 16 001 Alには、スペクトル的に純粋化した放射の製造法が記載されている。ここでは、共振器内の放射全体とスペクトル的に純粋化したフラクションが異なる角度で共振器を通過し、分離を達成させている。しかしながら、いくつかの要素がグレージング入射(grazing incidence)で作動しているため、上述の発明の適用性を阻害する。さらに、スペクトル的に純粋化した放射も再度レーザー媒質を通過するため、スペクトル的純粋性が疑われる。本質的に、外部共振器を備えたレーザーのアラインメント許容を増加するための技術状態に対しては２つの解決法がある。第１の解決法は、P．Zorabedian，W . R．Trutna，Jr．による”Interference-filter-tuned，alignment-stabilized ，semiconductor external-cavity laser，OPTIC LETTERS”Vol．13，No．10，p p826-828に記載されている。ここでは、レーザー放射のアラインメント許容バックカップリングにおいてキャッツアイ再帰反射体（焦点面に鏡を備えた集束レンズ）を使用している。共振器内部の平行な光路には、選択要素として干渉フィルタが設けられている。レーザー放射を同調するために、前述のフィルタが回転可能に支持される。利用可能な放射のデカップリングは、外部共振器と対向する側に設けられたレーザーチップのファセットから行われる。しかしながら、この装置には、十分な追加手段を使用しないと広帯域自然放出とサイドモードが分離されず、また、干渉フィルタの特性による制限があるという欠点がある。 EP0,525,752 Alにも、外部共振器を備えたアラインメント安定レーザーの製造法が記載されている。ここでも原則としてキャッツアイ再帰反射体が使用されているが、その効果は１つの組合せに限定されている。プリズムとシリンダレンズの適切な組合せの手段により、また、回折格子を共振器として使用することにより、レーザーファセットが分散方向に垂直にのみ回折格子上にイメージされることがわかった。しかしながら、分散方向においては、回折格子とぶつかる放射ビームは主に平行であり比較的幅広である。この方法において、レーザー波長の同調に回折格子を制限なしに使用でき、他方で、この装置が分散方向に垂直な回折の傾斜に対して主に耐性があることがわかった。しかしながらこの装置は、さらに手段を追加しなければ、利用可能な放射のフラクションから広帯域自然放出とサイドモードのどちらをも分離できない。そこで本発明は従来技術の欠点に鑑み、これらの限定を克服するレーザー光源を提供する。従って本発明は、構造が複雑でなく、アラインメント許容に優れ、ＡＳＥ（増幅自然放出光）およびサイドモードが実質的に存在しないといった特性を備えた、広帯域増幅、狭帯域同調レーザー媒質（特に半導体レーザー）用の共振装置を探す目的に基づくものである。この目的は、主クレームの特徴部分の特徴と、前文のそれぞれの特徴とを組合せた手段により達成することができる。本発明の便宜的な実施例は従クレームに含まれている。ここでは、コリメートされたレーザー放射が角分散要素または直線分散要素を通過し、共振器の場所に空間フィルタを備えた特殊なキャッツアイ再帰反射体に実質的に到達し、そのため分散要素の分散に関連してスペクトル的にフィルタリングされた放射のみが空間フィルタを通過することができ、さらに上述した反射鏡が部分的透過性として設計されているため、同じ、選択された放射がアラインメント安定バックカップリングに使用され、利用可能フラクションとして共振器より外に出される。デカップリング面から共振器内へと反射された放射のフラクションもバックカップリングに使用されるため、デカップリング面における望まない反射の問題が除去される。同様に、このような起こりうる干渉バックカップリングは選択された波長のみを含んでいるため、手段を追加しなくても、利用可能放射を処理する装置からの反射の妨害は少ない。次に図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。図１は既知の従来技術による同調可能レーザー光源を示している。図２は本発明の基本的な別形を示す略図である図３は第１実施例を示す略図である。図４は第２の特殊な実施例を示す略図である。図５は第３の特殊な実施例を示す略図である。図６は第４の特殊な実施例を示す略図である。図７はレーザー媒質の特殊な配置を示す略図である。図８はレーザー媒質の図７とは異なる特殊な配置を示す略図である。図２に本発明の基本的な別形を示す。まず、本発明においてレーザーダイオードであるレーザー媒質ＬＤからの放射が、回折限界像を許容し、非球面構造であることが便宜的であるコリメータＫＯによって比較的平行なビームに変換される。このビームが、この場合において回折格子であり、またこの場合の分極方向における所望の波長範囲に対して非常に効率良く機能するように便宜的に設計された、分散方向に回転可能に配置された分散要素ＧＩへと伝搬される。散乱光が少ないため、この目的のためにはホログラフィーを用して製造した回折格子が特に適している。選択された各々の波長の回折放射は、本実施例においてはスリットとして設計された空間フィルタＳＰの平面に光有効レーザーファセットの像を生じる回折限界レンズである結像系の部分Ｏへと伝搬される。スリットＳＰは、選択された波長の周囲の狭く限定された波長区間の放射のみを通過させる。スリットＳＰは、スリットを通過できない放射のフラクションが少しも反射されることのないように便宜的に選択されている。これはスリットＳＰを黒色にすることで、および／またスリットのつめ(jaw) を適切に配置することにより達成できる。スリットＳＰとほぼ同じ平面には、平面を研磨し、部分的鏡をコーティングした光導波路ＬＷＬが設けられている。透過光との反射光の比率は、適切な部分鏡コーティングを設けることにより最適化することができる。反射鏡Ｒの表面は溝ＳＰと共に選択的なバックカップリングを提供する。同時に、この方法で透過された放射が利用可能な放射として光導波路ＬＷＬ内に供給される。分散方向に垂直な方向への回折格子ＧＩの傾斜、または同等に有効なフォルト(equally effective faults)、もしくは光導波路ファセットの傾斜を含むアラインメントの逸脱は、前述のキャッツアイ再帰反射鏡のため、比較的小さな効果を有し、前述の高いアライメント安定性が得られる。特にラマン分光への使用と同様に、多くの場合、スペクトル的に純粋な放射、頑丈な形状、そして同時に高い有効な放射パワーが必要である。次に別の実施例を提供する（図３）。片側が広範囲に反射が減少した広域干渉縞(broad-fringe) レーザーダイオードがレーザー媒質として機能する。このようなダイオードの光有効ファセットは、しばしば低パワーレーザーダイオードのものよりも広いため（一般には、例えば、低パワーレーザーダイオードの数μｍと比較した場合、０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ広い）、共振器の配置を修正する必要がある。広域ファセットに関連して所望のスペクトルの狭い帯域を得ることができる唯一の配置は、ファセットをスリットＳＰおよび格子溝と平行にするものである。しかしながら、半導体レーザーは通常ｐｎ接合に平行に偏光されたＥベクトルと共に放出される（光有効ファセットは常にｐｎ接合面にある）。しかしながら、格子ＧＩの最高回折効率は、Ｅベクトルが格子溝とほぼ垂直になる位置でしか得られない。この問題を解決するには、例えばλ／２プレートといった適切な９０°偏光回転子ＰＤをコリメータＫＯと格子ＧＩの間の平行な光路内に挿入する。次に、形状が、上述したような選択されたスペクトル狭帯域を可能にするべく設計されたものである場合、放射が回折ＧＩに到達する前に、放射の偏光は高い回折効率に必要な方向へと回転される。回折格子ＧＩを前後方向に通過すると、偏光回転子ＦＤが再び作用し、それによりバックカップリングされた放射が本来の偏光方向においてレーザーとぶつかる。広域干渉縞レーザーの使用に関するその他の問題は、通常、レーザーファセットの像が大きくなり過ぎてしまうために十分に細い光導波路内へのカップリングが不可能になってしまうことである。このような状況のために前述の像が本来のファセットに関連した倍数で拡大される。上述の問題は、レーザーファセットを光導波路の端部にではなく、むしろ平凸レンズとして設計されたデカップリングレンズＬの部分的に鏡をコーティングした面の平面上に結像することで解決できる。前述レンズＬの焦点平面においては、レンズＬ上に結像されるレーザーファセット像のサイズは重要ではない。ここで、レンズＬの焦点平面における焦点スポットのサイズはその焦点距離およびレンズＬ上にレーザーファセットの像を造り出すのに用いられた放射の開口のみに依存する。上述したレーザーファセットの拡大された像に関連して、この開口が比較的小さいため、この原理によれば、十分に細い光導波路ＬＷＬ内へのカップリングが有効であると言える。レーザーダイオードの列を、広域干渉縞レーザーの代わりとして使用することも可能である。この場合、実質的に各ダイオードが自体と正確なバックカップリングを行うので、本発明の配置が有効である。本発明の別の実施例では図３に示したレーザーダイオードの列を使用しているが、バックカップリングおよびデカップリング要素として、図２に示したものと同様に平面を研磨して部分的に鏡のコーティングを施した、光導波路ＬＷＬの端部を、各ダイオードの像にそれぞれ光導波路ＬＷＬが与えられる方法で使用している点が前述の実施例とは異なる。このようにして多重レーザー光源が得られ、これにより全ての副光源をたった１つの要素で同期同調することができる。光導波路ＬＷＬ内にカップリングするために、レーザー放射は相互に離間した状態で同時に伝搬される。この特性はラマン分光において特に有利である。これは、多重スペクトルを記憶するラマンスペクトロメーターは既に利用可能であり、ラマン放射は通常光導波路ＬＷＬを介してスペクトロメーターへと伝搬されるためである。ある状況においては、空間フィルタＳＰは反射鏡Ｒから空間的に離した配置が有利な場合もある。この場合、空間フィルタＳＰの結像はビーム方向に見て空間フィルタＳＰの後方で生じ、反射鏡Ｒは空間フィルタＳＰの結像位置に配置される。この原理の例は図４に図示される。本発明の別形（図５）においては、デカップリングしたルミネセンスおよびサイドモードをさらに低減している。片側をデリフレフト(dereflected)したレーザーダイオードＬＤより放出され、コリメータＫＯによって平行ビームに広く変換されたこの場合の放射は、まず回折格子ＧＩによって回折され、レンズＯに入る。すなわち、レンズＯの光学軸に対して平行移動される。レンズＯはその焦点周囲に回折限界像を生じることが好ましい。そこには、分散方向において薄く、同時に第１空間フィルタと第１反射鏡として機能する高度反射の平面ファセットが配されている。このファセットより反射された狭域波長範囲は、前進ビームと比較して、レンズＯの光軸に対して逆方向に変位して再度レンズＯに入る。その後、回折格子ＧＩにおいて放射の２度目の回折が行われ、次に放射は、部分的透過反射鏡Ｒ上にレーザーファセットの回折限界像を生じる投射レンズＡ内に伝搬される。反射鏡Ｒと同じ平面上に配置され、スリットとして設計された空間フィルタＳＰは、選択された波長インターバルの外でさらに放射を遮断する。反射鏡Ｒは部分的透過をするように設計されているため、選択された放射の一部が光路を逆方向に再伝搬し、高い安定性で再びレーザーダイオードＬＤ内に結合される。とりわけ、基本的な別形と比較した本実施例の利点は、放射がデカップリング以前に場所の異なる回折格子を２回通過し、この回折によって、弱いが避けることが不可能な散乱光のデカップリングされたフラクションが劇的に減少する点である。これに加えてファセットＦが第二伝搬における画定された入口スリットとして機能する。この溝は便宜的に空洞内で固定した形（例えばＨ形）に配され、その壁はほぼ黒色であり、いかなるラマン効果も呈さない。レーザーダイオードＬＤからの光路と反射鏡Ｒまでの光路はダイアフラムによって合理的に互いに遮蔽されているため、例えば回折格子から溝ＳＰに到達する分散光は最低量である。レーザーダイオードＬＤ内に再び結合された放射が回折格子を計４回通過するため、利用できる放射エネルギーは基本的な別形のものよりも少ない。しかしながら、非常に高い回折効率を有する回析格子が入手可能であるため、このエネルギーの損失は重要ではない。この別形の変更例を図６に示す。前述の別形とは異なり、回折格子ＧＩにおいて最初の回折をされた、中心軸を有するビームは、光軸からわずかに外れた場所にあるレンズＯにぶつかるため、このビームはファセットＦより反射されたビームとオーバーラップする。ビームは回折格子ＧＩによって再び回折され、次にレーザーダイオードＬＤより放出されたビームとオーバーラップする。このようにして回折格子によって２度回折され、前進ビームと重なった放射のフラクションは、レーザーダイオード内での再度のカップリングにただちに使用することができる一方で、回折格子ＧＩにおける２度目の回折で前進ビームと重ならなかったビームのフラクションは、鏡Ｔによって遮蔽（マスクアウト）される。この方法で共振器から導き出された放射は、焦点平面に出口溝ＳＰを備えた投射レンズＡへと伝搬される。前出の例（図５）のように回折格子ＧＩを２度通過した後、使用可能な放射が得られる。別の実施例では装置がさらに単純化されており、同時に、有効な共振器の長さの縮小が達成されている。第１実施例においては、結像レンズＯが省略されている。この機能は、この目的のために結像格子として設計され、使用する波長範囲において十分な回折限界結像特性を備えた回折格子ＧＩが代わって果たしている。また別の実施例では、結像格子はさらにコリメータＫＯの機能も果たすように設計されている。本発明の適用性は半導体レーザー装置に制限されるものではない。片側がデリフレクトされたレーザーダイオードの代わりに、別のレーザー媒質、例えばダイ（色素）を使用することもできる。これは適切なポンピング源及び例えば光路がスリット内に結像される共振器ターミナルミラーと共に使用する。図７は１つの可能な原理であり、集束レンズＬ１、共振器末端鏡として機能する鏡Ｍ１を備えた再帰反射体を示している。もう１つの集束レンズＬ２は空間フィルタ内に平行な光路を投影する。２つの集束レンズの間にはレーザー媒質ＬＭが設けられている。このような配置は、本発明のレーザー光源におけるレーザーダイオードの代わりとして使用することができる。この場合、空間フィルタＲＦが、片側がデリフレクトされたレーザーダイオードの出口ファセットの役割を果たす。また別の例を図８に示す。ここでは集束レンズＬ３が図２〜図６に示したコリメータＫＯの役割を果たす。分散要素ＧＩ（図２〜図６）の分散方向において小さく、集束レンズＬ３の焦点平面に配置されることが好ましい、好ましくは平坦な鏡が、集束レンズＬ３と共に再帰反射体を構成する。光路内にレーザー媒質ＬＭを配置し、適切なポンプ機構を設けることでレーザー光源が完成する。この場合、空間フィルタＲＦの形あるいは少なくともレーザーダイオードの光有効出口ファセットの形に画定された出口ファセットがないため、図５または図６による形状が特に適している。本発明はここで説明した実施例に限定されるものではない。むしろ、本発明の範囲を逸脱しない限り、上述した特徴を組み合わせてこの他の実施例を実行することが可能である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)，ＵＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ【要約の続き】で阻止される。本発明のこの他の特別な実施例は、多レーザー光源用の上述の原理の使用を含み、この単一光源は１つの要素のみを使用することで同期に同調することができる。

Claims

【特許請求の範囲】１．本質的にレーザー媒質から成り、共振器末端鏡と、結像系と、角または直線分散要素と、反射鏡とを含む同調可能レーザー光源であって、反射鏡（Ｒ）が結像系の少なくとも一部（Ｏ）と共に、キャッツアイ原理による広範囲の方向独立再帰反射体を形成する方法で配置されるか、もしくは反射鏡（Ｒ）がレーザー媒質の出口面の結像位置に配置されており、さらに、反射鏡（Ｒ）が部分的に透過し、同時に空間フィルタ（ＳＰ）またはその像が反射鏡（Ｒ）の少なくともほぼ平面内に位置するため、スペクトル的にフィルタリングされた放射のみが空間フィルタ（ＳＰ）を通過することができ、それにより反射鏡（Ｒ）へと到達し、そこでバックカップリングする反射とデカップリングした使用可能な放射の分離が行われるように設計されていることを特徴とする同調可能レーザー光源。２．本質的にレーザー媒質から成り、共振器末端鏡と、角または直線分散要素と、結像系と、２つの反射鏡とを含む同調可能レーザー光源であって、前記レーザー光源において、各々が集束レンズ（Ｏ、Ａ）と前記反射鏡（Ｆ、Ｒ）の１つを構成する、キャッツアイ原理による２つの再帰反射体（Ｏ、Ｆ；Ａ、Ｒ）が焦点面内に配置され、さらに、分散要素（ＧＩ）に対する平行ビームとしてのレーザー媒質により放出された放射を伝導するように光学手段が設けられ、前記手段の光軸が第２再帰反射体（Ａ、Ｒ）の光軸と平行に配置され、これらの２本の光軸が、前記分散要素（ＧＩ）を通過した後に、第１再帰反射体（Ｏ、Ｆ）にその光軸に対して対称的また平行に到達し、同時に、第１再帰反射体（Ｏ、Ｆ）に関する反射鏡（Ｆ）が分散要素（ＧＩ）の分散方向に対して小型サイズであるため、分散要素（ＧＩ）からの放射の狭域波長範囲のみが反射鏡（Ｆ）より反射され、また同時に、空間フィルタが第２再帰反射体（Ａ、Ｒ）の反射鏡（Ｒ）の直前に配置され、この空間フィルタもまた分散要素（ＧＩ）の分散方向において小型の幾何学的大きさのみにおいて透過性を有するため、同様にそこまで到達した放射の狭域波長範囲のみが空間フィルタ（ＳＰ）を通過することが可能であり、そして最後に、対応する反射鏡（Ｒ）が部分的に透過するべく設計されているため、その場所において、２度の分散でフィルタリングされた放射が一方で共振器から外へと出され、他方でフィルタリングされた放射の反射されたフラクションが再びレーザー媒質（ＬＤ）内で逆方向でカップリングされることを特徴とする同調可能レーザー光源。３．本質的にレーザー媒質から成り、共振器末端鏡と、角または直線分散要素と、結像系と、２つの反射鏡とを含む同調可能レーザー光源であって、前記レーザー光源において、集束レンズ（Ｏ）と反射鏡（Ｆ）により構成され、キャッツアイ原理に基づいた再帰反射体（Ｏ、Ｆ）が焦点面上に配置され、さらに、分散要素（ＧＩ）に対する平行ビームとしてレーザー媒質から放出された放射を伝導するべく光学手段が設けられ、前記手段の光軸が、前記分散要素（ＧＩ）を通過した後に、その光軸に対する平行移動において再帰反射体（Ｏ、Ｆ）に到達し、反射鏡（Ｆ）は前記分散要素（ＧＩ）の分散方向に関連して小型サイズであるため、分散要素（ＧＩ）から分散された放射の狭域波長範囲のみが反射され、集束レンズ（Ｏ）を前方に通過するビームと、後退方向に通過するビームとが部分的にオーバーラップするため、レーザー媒質より放出されたビームのクロスセクションにおいて、前記分散要素（ＧＩ）によって２度目の分散をされたビームのフラクションが再度レーザー媒質に当たり、同時に、分散要素により２度目の分散をされたビームの本質的にオーバーラップしないフラクションが鏡（Ｔ）を介して焦点面に空間フィルタ（Ｓ）を有する集束レンズ（Ａ）へと伝搬され、前記フィルタ（Ｓ）は分散要素の分散方向における小さな幾何学的大きさのみにおいて透過性を有するため、そこまで到達した放射の狭域波長範囲のみが利用可能な放射として共振器から外へ出されることを特徴とする同調可能レーザー光源。４．反射鏡（Ｒ）の有効面が平面であることを特徴とする前記請求項のいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。５．分散要素（ＧＩ）が完全にまたは部分的に結像系の機能も果たすことを特徴とする前記請求項のいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。６．光導波路（ＬＷＬ）の部分反射前面が反射鏡（Ｒ）として機能するため、その出口において、利用可能なスペクトル的にフィルタリングされたレーザーエネルギーが得られることを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。７．部分的に反射し、デカップリングレンズ（Ｌ）の必ずしも第１面である必要のない面が反射鏡（Ｒ）として機能することを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。８．分散要素（ＧＩ）が回折格子であることを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。９．９０°偏光回転子（ＰＤ）がビーム方向から見て回折格子（ＧＩ）の前に配置されており、レーザー放射の偏光方向に依存する最高の回折効率で回折格子（ＧＩ）を使用するために、放射は、偏光の本来の方向においてレーザー媒質（ＬＤ）にぶつかりながら、再びレーザー媒質（ＬＤ）内にカップリングされることを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。 10．半導体レーザーがレーザー媒質として機能することを特徴とする前出の請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。 11．半導体レーザーの出口ファセットが実質的にデリフレクトされていることを特徴とする請求項１０に記載の同調可能レーザー光源。 12．半導体レーザーの列がレーザー媒質（ＬＤ）として機能することを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。 13．光導波路の部分反射入口ファセットが各単一レーザー像の位置に在るため、多重の同期同調可能レーザー光源が得られ、それにより、これらの単一レーザー光源の放射が互いに比較的遠く離れた位置に同時に伝導されることを特徴とする請求項１２に記載の同調可能レーザー光源。 14．レーザー媒質（ＬＤ）と分散要素（ＧＩ）の間にコリメータ（ＫＯ）が設けられていることを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。 15．共振器末端鏡もしくは再帰反射体（Ｌ１、Ｍ１）と、レーザー媒質（ＬＭ）と、レンズ（Ｌ２）と、レンズの焦点面内の空間フィルタとから成る形態が、前記共振器末端鏡を有するレーザー媒質として存在し、空間フィルタを有する前記形態がレーザーダイオードの出口ファセットと同様に配置されていることを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。 16．共振器末端鏡が、レーザーダイオードの出口ファセットではなくレンズＫＯの後部焦点面に配置されており、レーザー媒質が前記共振末端鏡（Ｍ２）と分散要素（ＧＩ）との間のいずれかの場所に位置することを特徴とする前記請求項の少なくともいずれか１項に記載の同調可能レーザー光源。 17．共振器末端鏡（Ｍ２）が、分散要素（ＧＩ）の分散方向において小さな幾何学的大きさを有することを特徴とする請求項１６に記載の同調可能レーザー光源。 18．共振器末端鏡を有するレーザー媒質から放出されたビームが、その伝搬方向と交差して分散され、集束され、焦点またはその近辺において、放射の狭域波長範囲のみが通過し、フィルタリングの後も焦点または焦点の像において有効である方法でフィルタリングされ、放射のフラクションがレーザー共振器内に反射され、その他のフラクションはレーザー放射を使用するために透過されることを特徴とする、レーザー共振器からのデカップリング、また同時にレーザー共振器内へのバックカップリングに用いるためのスペクトル的にフィルタリングされたレーザー放射を得る方法。 19．共振器末端鏡を有するレーザー媒質から放出されたビームが、その伝搬方向と交差して分散され、集束され、フィルタリングされ、同時に焦点またはその近辺において、放射の狭域波長範囲のみが戻る方法で反射され、前進および後退ビームが互いに平行移動するが同要素を通過し、分散が１度目と同様に同要素において２度目でも有効であり、再度集束が実行され、放射の狭域波長範囲のみが通過し、その結果フィルタリングの後も焦点または焦点の画像において有効である方法で、焦点またはその近辺において空間フィルタリングが行われ、部分的反射が行われるために放射のフラクションが同じ路を通りレーザー媒質へと戻り、他のフラクションがレーザー放射を使用するために透過されることを特徴とする、レーザー共振器からのデカップリング、また同時にレーザー共振器内へのバックカップリングに用いるためのスペクトル的にフィルタリングされたレーザー放射を得る方法。 20．バックカップリングされた放射とデカップリングされた放射の分離が１つの面において行われることを特徴とする請求項１８、請求項１９のいずれか１項に記載の方法。 21．共振器末端鏡を有するレーザー媒質より放出されたビームがその伝搬方向と交差して分散され、集束され、フィルタリングされ、同時に焦点またはその近辺において、放射の狭域波長範囲のみが戻される方法で反射され、前進および後退ビームが互いにオーバーラップするように相互に平行移動され、同要素において１度目と同様２度目の分散も有効であり、オーバーラップしないビームフラクションが分離され、再度集束され、レーザー放射の使用のために放射の狭域波長範囲のみがレーザー共振器より発され、オーバーラップするビームフラクションがレーザー媒質へと戻る方法で、焦点またはその近辺において空間フィルタリングが行われることを特徴とする、レーザー共振器からのデカップリング、また同時にレーザー共振器内へのバックカップリングに用いるためのスペクトル的にフィルタリングされたレーザー放射を得る方法。