JPH1144720A - Electric field sensor and electric field intensity measuring device - Google Patents

Electric field sensor and electric field intensity measuring device

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JPH1144720A
JPH1144720A JP19953697A JP19953697A JPH1144720A JP H1144720 A JPH1144720 A JP H1144720A JP 19953697 A JP19953697 A JP 19953697A JP 19953697 A JP19953697 A JP 19953697A JP H1144720 A JPH1144720 A JP H1144720A
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JP
Japan
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electric field
diode
antenna elements
antenna
field sensor
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Withdrawn
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JP19953697A
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Japanese (ja)
Inventor
Hajime Kato
一 加藤
Ryoichi Kondo
良一 近藤
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electric field sensor having no capacitive error due to unbalance of capacitive coupling caused by asymmetrical structure, by arranging a diode at the central position between antenna elements. SOLUTION: A diode 109 is arranged at a central position between antenna elements 101a, 101b. With this structure, balance of capacitive coupling between the antenna elements 101a, 101b and feeder lines 104 is maintained and generation of capacitive error is prevented. Since the antenna elements 101a, 101b are not made of dielectric and made of metal conductor, they have high mechanical strength, and handling thereof during the measurement is easy. Since all conductors are connected to each other by mechanical fixation, thermo- electromotive force to be generated at the time of temperature change is eliminated in comparison with the connection by the conductive adhesive agent, and conductivity is improved so as to reduce the loss, and accurate measurement is possible with the electric field intensity at several ten mV/m or less. Capacity coupling between the antenna elements 101a, 101b and the feeder lines 104 is balanced so as to prevent the generation of capacitive error.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、空間中の電界強度
の測定に使用される電界センサおよび電界強度測定装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric field sensor and an electric field intensity measuring device used for measuring electric field intensity in a space.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータや携帯電話などの普及に伴
い、これら電子機器から発生する放射電磁波の抑制が課
題になり、電子機器から放射される空間中の電磁波を測
定する技術の開発が望まれている。一般に、電子機器か
ら放射される電磁波の大きさは、電界強度で表される。
ところで、電磁波の電界強度を測定する際に、アンテナ
の給電線路が電界を乱したり、給電線路に励起される誘
導起電力が電界強度測定の誤差の原因になっている。ま
た、広帯域の測定を行うため、バイコニカルアンテナや
ログペリアンテナが提案されているが、アンテナのサイ
ズが大きく、微小な空間分解能を持つ広帯域電界プロー
ブとして使用することが出来なかった。
2. Description of the Related Art With the spread of computers and mobile phones, suppression of radiated electromagnetic waves generated from these electronic devices has become an issue. I have. Generally, the magnitude of an electromagnetic wave radiated from an electronic device is represented by an electric field strength.
By the way, when measuring the electric field strength of the electromagnetic wave, the feed line of the antenna disturbs the electric field, and the induced electromotive force excited in the feed line causes an error in the electric field strength measurement. Further, biconical antennas and log-peripheral antennas have been proposed in order to perform broadband measurement. However, the antenna size is so large that it cannot be used as a broadband electric field probe having a minute spatial resolution.

【0003】そこで、給電線による電界の乱れや、誘導
起電力の励起がない広帯域微小ダイポールアンテナが提
案(National Bureau of Standards Technical Note 10
33:Design and Calibration of the NBS Isotropic El
ectric-Field Monitor:E.B.Larsen)されている。この
広帯域微小ダイポールアンテナを図9に示す。広帯域微
小ダイポールアンテナは、アンテナ素子401a、40
1b、ダイオード409、および給電線路404で構成
されている。アンテナ素子401a、401bは、微小な
空間分解能を持った広帯域微小ダイポールアンテナを実
現するため、信号波長より短く形成され、アンテナ素子
401a、401b間に、ダイオード409が導電性接着
剤411で取り付けられている。民生用通信機器の出力
信号(1W以下)を10m程度離れて受信した場合、ダ
イポールアンテナで測定する電界強度は、数十mV/m
以下になる。そこで、受信信号を検波するためのダイオ
ード409には、感度の良いゼロバイアスショットキバ
リアダイオードが使用される。また、アンテナ素子40
1a、401bから延びる給電線路404は、給電線路4
04に励起する誘導起電力の抑制および電界に対する給
電線路404の影響を小さくするために、約80kΩ/
cmの抵抗率を持つ高抵抗線で構成されている。
[0003] Therefore, a wideband small dipole antenna that does not disturb the electric field due to the feeder line or excite the induced electromotive force is proposed (National Bureau of Standards Technical Note 10).
33: Design and Calibration of the NBS Isotropic El
ectric-Field Monitor: EBLarsen). This wideband small dipole antenna is shown in FIG. The broadband small dipole antenna includes antenna elements 401a and 40a.
1b, a diode 409, and a feed line 404. The antenna elements 401a and 401b are formed to be shorter than the signal wavelength in order to realize a wideband small dipole antenna having minute spatial resolution, and a diode 409 is attached between the antenna elements 401a and 401b with a conductive adhesive 411. I have. When an output signal (1 W or less) of a consumer communication device is received at a distance of about 10 m, the electric field strength measured by the dipole antenna is several tens mV / m.
It becomes below. Therefore, a highly sensitive zero-bias Schottky barrier diode is used as the diode 409 for detecting the received signal. Also, the antenna element 40
Feeding line 404 extending from 1a and 401b is
In order to suppress the induced electromotive force excited in the electric field 04 and to reduce the influence of the feed line 404 on the electric field, about 80 kΩ /
It is composed of a high-resistance wire having a resistivity of 1 cm.

【0004】上述した形式の微少ダイポールアンテナが
空間中の高周波を受信すると、受信信号は、アンテナ素
子401a、401bに取り付けたダイオード409で検
波、直流信号に変換される。ダイオード409で検波さ
れた信号は、給電線路404を伝搬して、次段の増幅器
に送られてゆく。ところが、一般的に高周波信号は、給
電線路や抵抗線を伝搬するときの損失が非常に大きいこ
とが知られている。この例のように、信号が高抵抗線で
構成されている給電線路を伝搬した場合、出力が非常に
小さくなってしまう。高抵抗線伝搬後の小信号を増幅し
た場合、雑音が大きくなり、正確な電界強度の測定を行
うことができない。また、受信直後にアンテナ近傍で高
周波信号を増幅した場合、増幅器自身が電界を乱す原因
になってしまう。そこで、受信した高周波信号をアンテ
ナ素子401a、401bに取り付けたダイオード409
で直接検波し、直流信号に変換して、高抵抗線を伝搬さ
せることで、電界を乱すことがなく、損失の少ない測定
を実現している。しかし、アンテナ素子401a、40
1bとダイオード409の接続を導電性の悪い導電性接
着剤411で行っているので、この部分の損失はどうし
ても大きくなる。また、導電性接着剤411を使用した
場合、温度変化により接合部に熱起電力が発生し、数十
mV/m以下の電界分布測定では無視できないレベルの
誤差になる恐れがあった。
When a small dipole antenna of the type described above receives a high frequency in space, the received signal is detected by a diode 409 attached to the antenna elements 401a and 401b and converted into a DC signal. The signal detected by the diode 409 propagates through the feed line 404 and is sent to the next-stage amplifier. However, it is generally known that a high-frequency signal has a very large loss when propagating through a feed line or a resistance line. As in this example, when a signal propagates through a feed line formed of a high-resistance line, the output becomes very small. When a small signal after the propagation of a high resistance wire is amplified, noise increases, and accurate measurement of electric field strength cannot be performed. Further, when a high-frequency signal is amplified near the antenna immediately after reception, the amplifier itself causes disturbance of the electric field. Therefore, a diode 409 that attaches the received high-frequency signal to the antenna elements 401a and 401b
By directly detecting the signal, converting the signal into a DC signal, and propagating the signal through a high-resistance wire, the electric field is not disturbed, and measurement with little loss is realized. However, the antenna elements 401a, 40
Since the connection between 1b and the diode 409 is made by the conductive adhesive 411 having poor conductivity, the loss at this portion is inevitably increased. In addition, when the conductive adhesive 411 is used, a thermoelectromotive force is generated at the joint due to a change in temperature, and an error of a level that cannot be ignored in measuring an electric field distribution of several tens mV / m or less may be caused.

【0005】更に、上述の広帯域微小ダイポールアンテ
ナを改善する装置として、特開昭53−15728にサ
ブミリ波用ダイオード装置が開示されている。このサブ
ミリ波用ダイオード装置の構成を図10に示す。誘電体
基板508上に設けられた一方のアンテナ素子501a
に検波用ダイオード509の一方の端子を熱圧着する。
他方のアンテナ素子501bには、導体片512に検波
用ダイオード509の他方の端子を熱圧着し、導体片5
12を介して接続する。給電線路504は、アンテナ素
子501a、501bに対し、直角方向に延びたストリッ
プ線路を使用している。給電線路504は、導体片51
2に検波用ダイオード509の他方の端子を熱圧着し、
導体片512を介して接続する。この結果、導電性接着
剤の使用に伴うダイオードの脱落や高抵抗率化による損
失の増加は防止することができる。
Further, as a device for improving the above-mentioned wideband micro dipole antenna, Japanese Patent Laid-Open No. 53-15728 discloses a diode device for submillimeter waves. FIG. 10 shows the configuration of this sub-millimeter wave diode device. One antenna element 501a provided on the dielectric substrate 508
One terminal of the detection diode 509 is thermocompression-bonded.
The other terminal of the detection diode 509 is thermo-compressed to the conductor piece 512 on the other antenna element 501b,
12. As the feed line 504, a strip line extending in a direction perpendicular to the antenna elements 501a and 501b is used. The power supply line 504 includes the conductor piece 51.
2, the other terminal of the detection diode 509 is thermocompressed,
They are connected via conductor pieces 512. As a result, the loss of the diode due to the use of the conductive adhesive and the increase in the loss due to the increase in the resistivity can be prevented.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のように
サブミリ波用ダイオード装置には、以下のような解決す
べき課題があった。 1)装置形状が左右非対称であるため、アンテナ素子間
及び給電線路での容量結合不平衡が発生し容量性誤差の
原因になる。 2)1軸方向のみにアンテナを設けたもので、垂直偏波
と水平偏波のような直交する電界の信号を同時に測定す
ることできず、構造的にも2次元の電界強度成分を同時
に測定できるような2軸アンテナおよびそれ以上の軸を
持つ多軸アンテナを構成することが難しい。 3)また、アンテナの移動回数が多い電界の面分布の測
定では、構造的に機械的強度が弱く、測定中の取扱いが
困難であった。
However, the diode device for submillimeter waves has the following problems to be solved as described above. 1) Since the shape of the device is asymmetrical left and right, capacitive coupling unbalance occurs between the antenna elements and in the feed line, causing a capacitive error. 2) With an antenna provided only in one axis direction, signals of orthogonal electric fields such as vertical polarization and horizontal polarization cannot be measured at the same time, and two-dimensional electric field intensity components are structurally measured at the same time. It is difficult to construct a two-axis antenna and a multi-axis antenna having more axes than possible. 3) Further, in the measurement of the surface distribution of the electric field where the number of times of movement of the antenna is large, the mechanical strength is weak structurally, and handling during the measurement is difficult.

【0007】そこで、本発明の目的は、構造が非対称な
ため発生する容量結合不平衡による容量性誤差がない空
間中の電界強度の測定に使用される電界センサおよび電
界強度測定装置を得ることである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electric field sensor and an electric field intensity measuring device used for measuring an electric field intensity in a space where there is no capacitive error due to capacitive coupling imbalance caused by an asymmetric structure. is there.

【0008】また、本発明の他の目的は、直交成分を同
時に測定できる空間中の電界強度の測定に使用される電
界センサおよび電界強度測定装置を得ることである。
It is another object of the present invention to provide an electric field sensor and an electric field intensity measuring device used for measuring electric field intensity in a space in which orthogonal components can be measured simultaneously.

【0009】さらに、本発明の他の目的は、機械的強度
が強く取扱が容易な空間中の電界強度の測定に使用され
る電界センサおよび電界強度測定装置を得ることであ
る。
Still another object of the present invention is to provide an electric field sensor and an electric field intensity measuring device used for measuring an electric field intensity in a space having high mechanical strength and easy handling.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(4)のいずれかの構成により達成される。 (1)2つのアンテナ素子101a、101bを有するダ
イポールアンテナと、誘電体基板108に設けた2つの
金属導体110a、110b間にダイオード109が接続
されたダイオードモジュール102と、給電線路104
と、を備え、前記ダイオード109を前記アンテナ素子
101a、101b間の中央に位置するように配置し、前
記アンテナ素子101a、101bと前記金属導体110
a、110bと前記給電線路104とを機械的に固着させ
電気的に接続された、電界強度の測定に使用される電界
センサ。
This and other objects are achieved by any one of the following constitutions (1) to (4). (1) A dipole antenna having two antenna elements 101a and 101b, a diode module 102 in which a diode 109 is connected between two metal conductors 110a and 110b provided on a dielectric substrate 108, and a feed line 104
And the diode 109 is disposed so as to be located at the center between the antenna elements 101a and 101b, and the antenna elements 101a and 101b and the metal conductor 110 are disposed.
An electric field sensor used for measuring electric field strength, wherein a and 110b and the feed line 104 are mechanically fixed and electrically connected.

【0011】構成(1)によれば、ダイオード109を
アンテナ素子101a、101b間の中央に位置するよう
に配置したので、アンテナ素子101a、101b間及び
給電線路104との容量結合が平衡に保たれ容量性誤差
が発生しない。また、アンテナ素子101a、101bが
誘電体ではなく金属導体で出来ているので機械的強度が
高く、測定中の取扱いが容易である。さらに、全ての導
体同士の接続は機械的な固着により行われるので、導電
性接着剤による接続に比べ温度変化した場合に発生する
熱起電力がなく、導電率が良く損失も少ないので、数十
mV/m以下の電界強度でも正確に測定することができ
る。
According to the configuration (1), since the diode 109 is disposed so as to be located at the center between the antenna elements 101a and 101b, the capacitive coupling between the antenna elements 101a and 101b and the feed line 104 is maintained in balance. No capacitive error occurs. In addition, since the antenna elements 101a and 101b are made of a metal conductor instead of a dielectric, the mechanical strength is high and handling during measurement is easy. Further, since all the conductors are connected by mechanical fixing, there is no thermo-electromotive force generated when the temperature changes as compared with the connection using a conductive adhesive, and the conductivity is good and the loss is small. Accurate measurement can be performed even at an electric field strength of mV / m or less.

【0012】(2)2つのアンテナ素子201a、20
1bを有するダイポールアンテナと、誘電体基板108
に設けた2つの金属導体110a、101b間にダイオー
ド109が接続されたダイオードモジュール202と、
給電線路204と、を備え、前記ダイオード109を前
記アンテナ素子201a、201b間の中央に位置するよ
うに配置し、前記アンテナ素子201a、201bと前記
金属導体110a、101bと前記給電線路204とを機
械的に固着させ電気的に接続して、誘電体からなる台座
203に嵌着された、電界強度の測定に使用される電界
センサ。
(2) Two antenna elements 201a, 20
1b and a dielectric substrate 108
A diode module 202 in which a diode 109 is connected between two metal conductors 110a and 101b provided in
A feed line 204, and the diode 109 is disposed so as to be located at the center between the antenna elements 201a and 201b, and the antenna elements 201a and 201b, the metal conductors 110a and 101b, and the feed line 204 are mechanically connected to each other. An electric field sensor used for measuring the electric field strength, which is fixedly and electrically connected and fitted to a pedestal 203 made of a dielectric material.

【0013】構成(2)によれば、構成(1)に加え金
属導体のアンテナ素子201a、201b、給電線204
及びダイオードモジュール202が、誘電体の台座20
3に嵌着されるので機械的強度が強く、落下や衝突のよ
うな衝撃を受けても破損する心配がなく取扱が容易であ
る。
According to the configuration (2), in addition to the configuration (1), the antenna elements 201a and 201b made of metal conductors and the feeder 204
And the diode module 202 is mounted on the dielectric pedestal 20.
3, the mechanical strength is high, and it is easy to handle even if it receives an impact such as a drop or a collision without being damaged.

【0014】(3)2つのアンテナ素子301a、30
1bを有するダイポールアンテナと、誘電体基板108
に設けた2つの金属導体110a、110b間にダイオー
ド109が接続されたダイオードモジュール302と、
給電線路304と、を備え、前記ダイオード109を前
記アンテナ素子301a、301b間の中央に位置するよ
うに配置し、前記アンテナ素子301a、301bと前記
金属導体110a、110bと前記給電線路304とを機
械的に固着させ電気的に接続した第1の電界センサ1お
よび第2の電界センサ2を互いに直交方向に設け、誘電
体からなる台座303a、303bに嵌着された、電界強
度の測定に使用される電界センサ。
(3) Two antenna elements 301a, 30
1b and a dielectric substrate 108
A diode module 302 in which a diode 109 is connected between two metal conductors 110a and 110b provided in
A feed line 304, and the diode 109 is disposed so as to be located at the center between the antenna elements 301a and 301b, and the antenna elements 301a and 301b, the metal conductors 110a and 110b, and the feed line 304 are mechanically connected to each other. A first electric field sensor 1 and a second electric field sensor 2 which are fixed and electrically connected to each other are provided in a direction orthogonal to each other, and are used for measuring electric field strength fitted to pedestals 303a and 303b made of a dielectric material. Electric field sensor.

【0015】構成(3)によれば、構成(2)に加え、
直交する2軸のアンテナが存在するので垂直偏波と水平
偏波のような2次元の偏波面が直交している電界強度に
ついて各成分を同時に測定することができる。
According to the configuration (3), in addition to the configuration (2),
Since there are orthogonal two-axis antennas, it is possible to simultaneously measure each component with respect to the electric field strength where two-dimensional polarization planes such as vertical polarization and horizontal polarization are orthogonal.

【0016】なお、構成(1)ないし(3)に加え、ダ
イオードがゼロバイアスショットキバリアダイオードで
あれば、バイアス電流を印加しなくても感度の良い電界
強度測定を行うことができる。
In addition to the configurations (1) to (3), if the diode is a zero-bias Schottky barrier diode, a highly sensitive electric field intensity measurement can be performed without applying a bias current.

【0017】また、構成(2)ないし(3)に加え、使
用する台座が、フッ素樹脂などの低誘電率誘電体を使用
するれば測定値に電気的な影響を与えることがない。
Further, in addition to the constitutions (2) and (3), if the pedestal to be used uses a low dielectric constant dielectric such as a fluororesin, the measured value does not have any electrical influence.

【0018】(4)構成(1)ないし構成(3)のいず
れか1つに記載した電界センサとともに使用される電界
強度測定装置であって、微小信号増幅器と、前記信号の
測定器と、を備えた電界強度測定装置。
(4) An electric field strength measuring device used together with the electric field sensor according to any one of the constitutions (1) to (3), wherein a small signal amplifier and a measuring device for the signal are provided. Electric field strength measuring device provided.

【0019】構成(4)によれば、電界強度の測定につ
き構成(1)ないし構成(3)の特徴を有する電界強度
測定装置を得ることができる。
According to the configuration (4), it is possible to obtain an electric field intensity measuring apparatus having the features of the constitutions (1) to (3) for measuring the electric field intensity.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の詳細を具体例に
基づき説明する。図1は、本発明の電界強度の測定に使
用される電界センサの具体例1を説明するための斜視
図、図2は、その展開図、図3は、ダイオードモジュー
ル102の平面図(a)、および正面図(b)である。本
発明に係わる空間中の電界強度の測定に使用される電界
センサは、2つのアンテナ素子101a、101bを有す
るダイポールアンテナと、誘電体基板108に設けた2
つの金属導体110a、110b間にダイオード109が
接続されたダイオードモジュール102と、給電線路1
04とを備えている。ダイオード109をアンテナ素子
101a、101b間の中央に位置するように配置し、ア
ンテナ素子101a、101bと、金属導体110a、1
10bと、給電線路104とを螺着し、機械的に固着さ
せ、電気的に接続している。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below based on specific examples. FIG. 1 is a perspective view for explaining a specific example 1 of the electric field sensor used for measuring the electric field intensity of the present invention, FIG. 2 is a developed view thereof, and FIG. 3 is a plan view of the diode module 102 (a). , And a front view (b). The electric field sensor used for measuring the electric field strength in the space according to the present invention is a dipole antenna having two antenna elements 101a and 101b and a dipole antenna provided on a dielectric substrate 108.
A diode module 102 having a diode 109 connected between two metal conductors 110a and 110b;
04. The diode 109 is disposed so as to be located at the center between the antenna elements 101a and 101b, and the antenna elements 101a and 101b and the metal conductors 110a and 110b are disposed.
10b and the power supply line 104 are screwed, mechanically fixed, and electrically connected.

【0021】前記具体例1によれば、ダイオード109
をアンテナ素子101a、101b間の中央に位置するよ
うに配置したので、アンテナ素子101a、101b間お
よび給電線路104との容量結合が平衡に保たれ容量性
誤差が発生しない。また、アンテナ素子101a、10
1bが誘電体ではなく金属導体で出来ているので機械的
強度が高く、測定中の取扱いが容易である。さらに、全
ての導体同士の接続は機械的な固着により行われるの
で、導電性接着剤による接続に比べ温度変化した場合に
発生する熱起電力がなく、導電率が良く損失も少ないの
で、数十mV/m以下の電界強度でも正確に測定するこ
とができる。
According to the first embodiment, the diode 109
Is disposed so as to be located at the center between the antenna elements 101a and 101b, the capacitive coupling between the antenna elements 101a and 101b and the feed line 104 is kept in balance, and no capacitive error occurs. Also, the antenna elements 101a, 10a
Since 1b is made of a metal conductor instead of a dielectric, it has high mechanical strength and is easy to handle during measurement. Further, since all the conductors are connected by mechanical fixing, there is no thermo-electromotive force generated when the temperature changes as compared with the connection using a conductive adhesive, and the conductivity is good and the loss is small. Accurate measurement can be performed even at an electric field strength of mV / m or less.

【0022】図3は、ダイオードモジュール102の平
面図(a)、および正面図(b)である。ダイオードモジ
ュールは、誘電体基板108に設けた2つの金属導体1
10a、110bと、2つの金属導体110a、110b間
に接続されたダイオード109で構成されている。誘電
体基板108は、幅5mm、長さ50mm、厚さ0.8
mmのガラスエポキシ基板に銅等の金属導体を蒸着し、
エッチングにより中央部の金属導体が幅1mm除去され
ている。ダイオード109の2つの電極はそれぞれ誘電
体基板108上の2つの金属導体110a、110b間に
熱圧着で接続してある。この際、ダイオード109は、
誘電体基板108の中央に位置するように配置する。な
お、ダイオード109と誘電体基板108上の2つの金
属導体110a、110bの接続は、熱起電力の発生を抑
制するために、ダイオード109の電極と誘電体基板1
08上の金属導体を十分に密着させて接続できればよ
く、熱圧着、半田付けが好ましい。
FIG. 3 is a plan view (a) and a front view (b) of the diode module 102. The diode module includes two metal conductors 1 provided on a dielectric substrate 108.
10a and 110b, and a diode 109 connected between the two metal conductors 110a and 110b. The dielectric substrate 108 has a width of 5 mm, a length of 50 mm, and a thickness of 0.8.
Deposit metal conductors such as copper on a glass epoxy board of mm,
The metal conductor at the center was removed by 1 mm in width by etching. The two electrodes of the diode 109 are connected between two metal conductors 110a and 110b on the dielectric substrate 108 by thermocompression bonding. At this time, the diode 109
It is arranged so as to be located at the center of the dielectric substrate 108. The connection between the diode 109 and the two metal conductors 110a and 110b on the dielectric substrate 108 is made by connecting the electrode of the diode 109 to the dielectric substrate 1 in order to suppress the generation of thermoelectromotive force.
It is sufficient that the metal conductor on the substrate 08 can be brought into close contact with the metal conductor, and thermocompression bonding and soldering are preferable.

【0023】ここで使用するダイオード109は、ゼロ
バイアスショットキバリアダイオードが望ましい。一般
的な送信電力で信号を送信した場合、アンテナで受信す
る電界強度は、数十mV/m以下である。数十mV/m
以下の信号をダイオードで検波する場合、通常のダイオ
ードでは測定信号にバイアス電流を印加しない限りしき
い値を越えないので感度が著しく低下する。そのため、
数十mV/m以下の電界強度測定に通常のダイオードを
使用することが困難である。感度の良い電界強度測定を
行うためには、バイアス電流の印加が不要なゼロバイア
スショットキーダイオードを使用することが必要であ
る。ショットキバリアダイオードは、金属と半導体との
接触によって生じる電位障壁を利用したダイオードで、
応答時間が早く、立ち上がり電位が低い等の特徴を持っ
ている。ショットキバリアダイオードの中でバイアス電
流を印加しなくても信号の入力だけで動作するものがゼ
ロバイアスショットキバリアダイオードである。
The diode 109 used here is desirably a zero bias Schottky barrier diode. When a signal is transmitted with general transmission power, the electric field strength received by the antenna is several tens mV / m or less. Tens of mV / m
In the case where the following signals are detected by a diode, the sensitivity of a normal diode significantly decreases because the threshold does not exceed unless a bias current is applied to the measurement signal. for that reason,
It is difficult to use a normal diode for measuring an electric field strength of several tens mV / m or less. In order to perform highly sensitive electric field strength measurement, it is necessary to use a zero-bias Schottky diode that does not require application of a bias current. A Schottky barrier diode is a diode that utilizes a potential barrier generated by contact between a metal and a semiconductor.
It has features such as fast response time and low rising potential. Among the Schottky barrier diodes, those that operate only by inputting a signal without applying a bias current are zero-bias Schottky barrier diodes.

【0024】次に、アンテナ素子101a、101bは、
長さ75mm、幅5mm、厚さ3mmの金属棒を使用す
る。金属棒は角柱である必要はなく、円柱であってもか
まわないが、アンテナ素子101a、101bとダイオー
ドモジュール102が十分固着するように固着部分を平
坦に削る必要がある。給電線路104には、抵抗率が3
50Ω/cmの高抵抗線を使用した。給電線路104
は、アンテナ素子101a、101b 、ダイオードモジ
ュール102と共にポリカーボネート製のネジ105、
ナット106、及び金属製のワッシャー107を用いて
十分に圧着するように固定してダイポールアンテナを構
成する。ここで、各部を十分圧着して信号の導通を良好
にすることにより損失を減らし微小な誤差を防ぐことが
できる。ネジ105及びナット106の材質は電気的影
響がないように金属製を避け、樹脂製を使用することが
望ましい。
Next, the antenna elements 101a and 101b are
A metal bar having a length of 75 mm, a width of 5 mm, and a thickness of 3 mm is used. The metal rod does not need to be a prism, and may be a cylinder, but it is necessary to flatten the fixed portion so that the antenna elements 101a and 101b and the diode module 102 are sufficiently fixed. The feed line 104 has a resistivity of 3
A high resistance wire of 50 Ω / cm was used. Feeding line 104
Is a polycarbonate screw 105 together with the antenna elements 101a, 101b and the diode module 102,
A dipole antenna is formed by using a nut 106 and a metal washer 107 so as to be sufficiently press-bonded. Here, it is possible to reduce the loss and prevent a minute error by sufficiently compressing the respective parts to improve the signal conduction. It is desirable that the screws 105 and nuts 106 be made of resin instead of metal so that there is no electrical influence.

【0025】この本発明の電界強度の測定に使用される
電界センサの具体例1によれば、全ての導体同士の接続
は、熱圧着および螺着により行われるので、導電性接着
剤の接続に比べ温度変化した場合に発生する熱起電力が
なく、導電率が良く損失も少ないので、数十mV/m以
下の電界強度でも正確に測定することができる。また、
アンテナ素子が誘電体ではなく金属導体でできているの
で機械的強度が高く、測定中の取扱いが容易である。さ
らに、ダイオードをアンテナ素子間の中央に位置するよ
うに配置したので、アンテナ素子間及び給電線路との容
量結合が平衡に保たれ容量性誤差が発生しない。
According to the specific example 1 of the electric field sensor used for measuring the electric field intensity of the present invention, all the conductors are connected by thermocompression bonding and screwing. In comparison, since there is no thermoelectromotive force generated when the temperature changes, the conductivity is high, and the loss is small, it is possible to accurately measure even an electric field strength of several tens mV / m or less. Also,
Since the antenna element is made of a metal conductor instead of a dielectric, it has high mechanical strength and is easy to handle during measurement. Furthermore, since the diode is arranged so as to be located at the center between the antenna elements, the capacitive coupling between the antenna elements and between the antenna element and the feed line is kept in balance, and no capacitive error occurs.

【0026】次に図4、図5を参照して、本発明の電界
強度の測定に使用される電界センサの具体例2を説明す
る。図4は、本発明の電界強度の測定に使用される電界
センサの具体例2を説明するための斜視図、図5は、そ
の展開図である。本発明に係わる電界強度の測定に使用
される電界センサの具体例2は、2つのアンテナ素子2
01a、201bを有するダイポールアンテナと、誘電体
基板108に設けた2つの金属導体110a、110b間
にダイオード109が接続されたダイオードモジュール
202と、給電線路204とを備え、前記ダイオード1
09を前記アンテナ素子201a、201b間の中央に位
置するように配置し、前記アンテナ素子201a、20
1bと、前記金属導体110a、110bと、前記給電線
路204とを機械的に固着させ電気的に接続して、低誘
電率誘電体からなる台座203に嵌着されている。
Next, a second embodiment of the electric field sensor used for measuring the electric field intensity according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a perspective view for explaining a specific example 2 of the electric field sensor used for measuring the electric field intensity according to the present invention, and FIG. 5 is a developed view thereof. The specific example 2 of the electric field sensor used for measuring the electric field strength according to the present invention has two antenna elements 2
01a and 201b, a diode module 202 in which a diode 109 is connected between two metal conductors 110a and 110b provided on a dielectric substrate 108, and a feed line 204.
09 is located at the center between the antenna elements 201a and 201b, and the antenna elements 201a and 201b
1b, the metal conductors 110a and 110b, and the power supply line 204 are mechanically fixed and electrically connected to each other, and fitted to a pedestal 203 made of a low dielectric constant dielectric.

【0027】前記具体例2によれば、具体例1に加え金
属導体のアンテナ素子201、給電線路204およびダ
イオードモジュール202が低誘電率誘電体の台座20
3に嵌着されるので機械的強度が強く、落下や衝突のよ
うな衝撃を受けても破損する心配がなく取扱が容易であ
る。なお、使用する台座203は、フッ素樹脂などの低
誘電率誘電体を使用するので測定値に電気的な影響を与
えることがない。
According to the specific example 2, in addition to the specific example 1, the metal conductor antenna element 201, the feed line 204 and the diode module 202 are formed of the low dielectric constant pedestal 20.
3, the mechanical strength is high, and it is easy to handle even if it receives an impact such as a drop or a collision without being damaged. The pedestal 203 used is made of a low dielectric constant dielectric material such as fluororesin, so that the measured value does not have any electrical influence.

【0028】前記具体例2で使用するアンテナ素子20
1a、201b、ダイオードモジュール202は、前記具
体例1と同一の形状及び作成方法のものを使用する。給
電線路204も具体例1と同一の抵抗率をもつ物を使用
した。
The antenna element 20 used in the specific example 2
1a, 201b and the diode module 202 have the same shape and the same manufacturing method as those of the first embodiment. The feed line 204 having the same resistivity as that of the specific example 1 was used.

【0029】アンテナ素子201a、201bおよびダイ
オードモジュール202を固定する台座203は、直径
70mm、厚さ15mmのフッ素樹脂にアンテナ素子20
1a、201bおよびダイオードモジュール202をはめ
込むことができるように幅5mm、深さ5mmの溝を掘
削する。台座203の材質は、フッ素樹脂等の低誘電率
誘電体であればよい。
The pedestal 203 for fixing the antenna elements 201a and 201b and the diode module 202 is made of fluororesin having a diameter of 70 mm and a thickness of 15 mm.
A groove having a width of 5 mm and a depth of 5 mm is excavated so that 1a, 201b and the diode module 202 can be fitted. The material of the pedestal 203 may be a low dielectric constant dielectric such as a fluororesin.

【0030】台座203の形状は、アンテナ素子201
a、201b間および給電線路204での容量結合不平衡
により発生する容量性誤差を防ぐために、最も対称な形
状である円盤状に加工した。しかし、台座203の形状
は円盤状である必要はなく、左右の対称性が保たれてい
れば、三角形や四角形のような多角形の物であってもよ
い。
The shape of the pedestal 203 is the same as that of the antenna element 201.
In order to prevent a capacitive error occurring due to a capacitive coupling imbalance between a and 201b and in the feed line 204, the disk was machined into the most symmetrical disk shape. However, the shape of the pedestal 203 need not be a disk shape, and may be a polygonal object such as a triangle or a quadrangle as long as left-right symmetry is maintained.

【0031】アンテナ素子201a、201bおよびダイ
オードモジュール202を台座203に設けた溝部には
め込み、ネジ止めが出来るようにアンテナ素子201
a、201b、ダイオードモジュール202および台座2
03に貫通する穴をあける。更に、台座203に給電線
路204が通るための穴をあける。アンテナ素子201
a、201b、ダイオードモジュール202および台座2
03にあける穴は、全て左右の対称性を保った場所にあ
ける必要がある。構造を左右対称にすることで、アンテ
ナ素子201a、201b間および給電線路204での容
量結合が平衡になり、容量性誤差がなくなる。
The antenna elements 201a and 201b and the diode module 202 are fitted into grooves provided in the pedestal 203, and the antenna elements 201a and 201b are screwed.
a, 201b, diode module 202 and pedestal 2
Drill a hole through 03. Further, a hole is formed in the pedestal 203 so that the feed line 204 can pass therethrough. Antenna element 201
a, 201b, diode module 202 and pedestal 2
All holes to be drilled in 03 must be made in a place where left and right symmetry is maintained. By making the structure symmetrical, the capacitive coupling between the antenna elements 201a and 201b and the feed line 204 is balanced, and the capacitive error is eliminated.

【0032】台座203に給電線路204を通し、アン
テナ素子201a、201b、ダイオードモジュール20
2を台座203の溝部にはめ込んだあと、ポリカーボネ
ート製のネジ205およびナット206と金属製のワッ
シャー207を用いてアンテナ素子201とダイオード
モジュール202及びアンテナ素子201と給電線20
4が十分圧着するように固定してダイポールアンテナを
構成する。各部を十分に圧着する事により信号の導通を
良好にして損失を減らすことが出来る。ネジ205及び
ナット206も材質は電気的影響をなくすために金属製
ではなく、樹脂製のものを使用する必要がある。
The feeder line 204 is passed through the pedestal 203, and the antenna elements 201a and 201b, the diode module 20
2 is inserted into the groove of the pedestal 203, and then the antenna element 201, the diode module 202, the antenna element 201, and the feeder line 20 are formed using polycarbonate screws 205 and nuts 206 and metal washers 207.
4 is fixed so as to be sufficiently pressed to form a dipole antenna. By sufficiently crimping each part, signal conduction can be improved and loss can be reduced. The screws 205 and nuts 206 need to be made of resin instead of metal in order to eliminate electric influence.

【0033】次に図6、図7を参照して、本発明の電界
強度の測定に使用される電界センサの具体例3を説明す
る。図6は、本発明の電界強度の測定に使用される電界
センサの具体例3を説明するための斜視図、図7は、そ
の展開図である。本発明の電界強度測定装置は、アンテ
ナ素子301a、301b 、ダイオードモジュール30
2、台座303、給電線路304で構成されている。ア
ンテナ素子301a、301bおよびダイオードモジュー
ル302は、具体例1と同一の形状および加工を施した
ものを2組用意し、第1のアンテナと、直交する第2の
アンテナとして使用する。給電線路304も具体例1と
同一の高抵抗線を使用した。台座303は、アンテナ素
子301a、301bおよびダイオードモジュール302
をはめ込むことができるように、幅5mm、深さ3.5
mmの溝を掘削する。更に、台座303には直交するア
ンテナ素子301をはめ込むことが出来るように、先ほ
ど掘削した溝に対して直交した第2の溝を掘削する。第
2の溝は幅5mm、深さ2.5mmとする。具体例2と
同様に、アンテナ素子301a、301b とダイオード
モジュール302を溝にはめ込み、ネジ止め用の穴およ
び給電線路304を通すための穴をあける。台座303
に給電線路304を通し、アンテナ素子301a、30
1b 、ダイオードモジュール302を溝にはめ込んだ
後、ポリカーボネート製のネジ305、ナット306お
よび金属製のワッシャー307を用いてアンテナ素子3
01a、301b とダイオードモジュール302、アン
テナ素子301と給電線路304が十分に圧着するよう
に固定してダイポールアンテナを構成する。各部を十分
に圧着する事により、信号の導通を良好にして損失を減
らすことが出来る。
Next, a third embodiment of the electric field sensor used for measuring the electric field intensity according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a perspective view illustrating a specific example 3 of the electric field sensor used for measuring the electric field intensity according to the present invention, and FIG. 7 is a developed view thereof. The electric field strength measuring apparatus of the present invention includes the antenna elements 301a and 301b, the diode module 30
2. It comprises a pedestal 303 and a feed line 304. As the antenna elements 301a and 301b and the diode module 302, two sets each having the same shape and processing as those of the first embodiment are prepared, and used as a first antenna and a second antenna orthogonal to the first antenna. The same high resistance wire as that of the specific example 1 was used for the feed line 304. The pedestal 303 includes the antenna elements 301a and 301b and the diode module 302.
5mm wide and 3.5mm deep so that
Drill a mm groove. Further, a second groove orthogonal to the previously excavated groove is excavated so that the orthogonal antenna element 301 can be fitted into the pedestal 303. The second groove has a width of 5 mm and a depth of 2.5 mm. As in the specific example 2, the antenna elements 301a and 301b and the diode module 302 are fitted into the grooves, and holes for screwing and holes for passing the feed line 304 are formed. Pedestal 303
Through the feed line 304 and the antenna elements 301a, 30
1b, After inserting the diode module 302 into the groove, the antenna element 3 is formed using a polycarbonate screw 305, a nut 306, and a metal washer 307.
01a, 301b and the diode module 302, and the antenna element 301 and the feed line 304 are fixed so as to be sufficiently press-bonded to form a dipole antenna. By sufficiently crimping each part, it is possible to improve signal conduction and reduce loss.

【0034】構成2と同様に、台座303の形状はアン
テナ素子301a、301b 間および給電線路304で
の容量結合不平衡により発生する容量性誤差を防ぐため
に最も対称な形状である円盤状にした。台座303の形
状は、円盤状である必要はなく、四角形のような多角形
でもかまわないが、完全に対称な形状でアンテナ素子3
01a、301b 間および給電線路304での容量結合
不平衡が生じることがないようにする必要がある。アン
テナ同士が直交するように台座303を組み合わせて、
ネジ止めをするための穴をあける。ネジ止めするための
穴は対称性を保つ位置にあける必要がある。台座303
同士をポリカーボネート等の樹脂製のネジ305とナッ
ト306で固定して、2軸ダイポールアンテナを構成す
る。台座303同士を固定するネジ305およびナット
306は、電気的影響がないように金属製を避けて、ポ
リカーボネート等の樹脂製を使用することが望ましい。
As in the configuration 2, the pedestal 303 has a disk shape, which is the most symmetrical shape, in order to prevent a capacitive error caused by capacitive coupling imbalance between the antenna elements 301a and 301b and the feed line 304. The shape of the pedestal 303 does not need to be a disk shape, and may be a polygon such as a quadrangle, but the antenna element 3 has a completely symmetric shape.
It is necessary to prevent the occurrence of capacitive coupling unbalance between the power supply line 304a and the power supply line 304a. Combining the pedestals 303 so that the antennas are orthogonal to each other,
Drill holes for screwing. The holes for screwing must be drilled in a position that maintains symmetry. Pedestal 303
The two are fixed with screws 305 and nuts 306 made of resin such as polycarbonate to form a two-axis dipole antenna. The screws 305 and the nuts 306 for fixing the pedestals 303 to each other are preferably made of resin such as polycarbonate instead of metal so as not to have an electric influence.

【0035】3次元空間の電界強度成分を測定する場
合、2軸アンテナの第1又は第2のアンテナを軸に90
°回転させることにより測定することができる。しか
し、測定を簡略化するために、第1および第2のアンテ
ナに直交する方向に第3のアンテナを設けることによ
り、3次元空間の電界強度成分を同時に測定することが
できる。
When measuring the electric field strength component in the three-dimensional space, the first or second antenna of the two-axis antenna is set to 90 degrees.
° can be measured by rotating. However, by providing the third antenna in a direction orthogonal to the first and second antennas to simplify the measurement, it is possible to simultaneously measure the electric field strength components in the three-dimensional space.

【0036】次に図8を参照して、本発明の電界強度の
測定に使用される電界強度測定装置の具体例を説明す
る。図8は、本発明の電界強度の測定に使用される電界
強度測定装置の具体例を説明するためのブロック図であ
る。本発明に係わる電界強度の測定に使用される電界強
度測定装置は、具体例1ないし具体例3のいずれか1つ
に記載した電界センサとともに使用される電界強度測定
装置であり、公知の直流増幅器などの微小信号増幅器
と、前記信号の測定器とを備えている。
Next, with reference to FIG. 8, a specific example of the electric field intensity measuring apparatus used for measuring the electric field intensity according to the present invention will be described. FIG. 8 is a block diagram for explaining a specific example of the electric field intensity measuring device used for measuring the electric field intensity according to the present invention. An electric field intensity measuring device used for measuring electric field intensity according to the present invention is an electric field intensity measuring device used together with the electric field sensor described in any one of Embodiments 1 to 3, and is a known DC amplifier. Etc., and a measuring device for the signal.

【0037】微小信号増幅器は、通常使用される増幅器
では、温度変化のためドリフト電圧が発生し、測定誤差
要因になってしまう。本発明の微小信号増幅器は、数十
mV/m以下の電界強度であっても正確な測定ができる
ように、ドリフト電圧が5μV以下の微少信号増幅器を
使用する。増幅後の信号は、電圧計、オシロスコープな
どを用いて測定を行う。
In a small signal amplifier, a drift voltage is generated due to a temperature change in a commonly used amplifier, which causes a measurement error. The small signal amplifier of the present invention uses a small signal amplifier having a drift voltage of 5 μV or less so that accurate measurement can be performed even with an electric field strength of several tens mV / m or less. The amplified signal is measured using a voltmeter, an oscilloscope, or the like.

【0038】本具体例によれば、電界強度の測定につい
て具体例1ないし具体例3の特徴を有する電界強度測定
装置を得ることができる。
According to this embodiment, an electric field intensity measuring apparatus having the features of the first to third embodiments for measuring the electric field intensity can be obtained.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下のような効果を奏する。 (1)導体の接続を圧着又は熱圧着で行っているので、
温度上昇に伴う熱起電力が発生がなく数十mV/m以下
の電界強度の測定でも誤差なしに行うことができる。ま
た、導体を圧着又は熱圧着で接続するので導電性が良好
で導電性接着剤を使用したときに比べ損失が非常に小さ
い。機械的強度も導電性接着剤を使用したときに比べ強
く取扱いが容易である。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. (1) Since the conductors are connected by crimping or thermocompression,
The measurement of the electric field strength of several tens mV / m or less can be performed without error without generating the thermoelectromotive force due to the temperature rise. Further, since the conductors are connected by crimping or thermocompression bonding, the conductivity is good and the loss is very small as compared with the case where a conductive adhesive is used. The mechanical strength is also stronger and easier to handle than when using a conductive adhesive.

【0040】(2)アンテナ素子に金属棒を用いるた
め、誘電体を使用したときに比べ機械的強度が強く取扱
いが容易になる。
(2) Since the metal rod is used for the antenna element, the mechanical strength is high and the handling is easy as compared with the case where a dielectric is used.

【0041】(3)装置全体の形状が完全に対称なの
で、アンテナ素子間及び給電線での容量結合不平衡によ
る容量性誤差が発生することがない。
(3) Since the overall shape of the device is completely symmetric, no capacitive error occurs due to capacitive coupling imbalance between the antenna elements and the feed line.

【0042】(4)アンテナ素子とダイオードモジュー
ルを低誘電率誘電体の台座に組み込むので機械的強度が
強く取扱いが容易である。
(4) Since the antenna element and the diode module are incorporated in the low dielectric constant pedestal, the mechanical strength is high and the handling is easy.

【0043】(5)2軸微小ダイポールアンテナを容易
に作成することができ、2次元の直交する電界強度成分
を同時に測定することができる。
(5) A two-axis micro dipole antenna can be easily formed, and two-dimensional orthogonal electric field strength components can be measured simultaneously.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電界センサの具体例1を示す斜視図で
ある。
FIG. 1 is a perspective view showing a specific example 1 of an electric field sensor of the present invention.

【図2】本発明の電界センサの具体例1の展開図であ
る。
FIG. 2 is a development view of Example 1 of the electric field sensor of the present invention.

【図3】前記具体例1のダイオードモジュールの平面図
(a)および正面図(b)である。
FIG. 3 is a plan view (a) and a front view (b) of the diode module of Example 1;

【図4】本発明の電界センサの具体例2を示す斜視図で
ある。
FIG. 4 is a perspective view showing a specific example 2 of the electric field sensor of the present invention.

【図5】本発明の電界センサの具体例2の展開図であ
る。
FIG. 5 is a development view of Example 2 of the electric field sensor of the present invention.

【図6】本発明の電界センサの具体例3を示す斜視図で
ある。
FIG. 6 is a perspective view showing a specific example 3 of the electric field sensor of the present invention.

【図7】本発明の電界センサの具体例3の展開図であ
る。
FIG. 7 is a development view of Example 3 of the electric field sensor of the present invention.

【図8】本発明の電界強度測定装置の具体例を示すブロ
ック図である。
FIG. 8 is a block diagram showing a specific example of the electric field strength measuring device of the present invention.

【図9】従来の微小ダイポールアンテナを示す正面図で
ある。
FIG. 9 is a front view showing a conventional small dipole antenna.

【図10】従来のサブミリ波用ダイオード装置を示す斜
視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing a conventional sub-millimeter wave diode device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101a、101b、201a、201b、301a、301b アンテナ素子 102、202、302 ダイオードモジュール 203、303a、303b 台座 104、204、304 給電線路 105、205、305 樹脂製ネジ 106、206、306 樹脂製ナット 107、207、307 ワッシャー 108 誘電体基板 109、209、309 ダイオード 110a、110b 金属導体 101a, 101b, 201a, 201b, 301a, 301b Antenna element 102, 202, 302 Diode module 203, 303a, 303b Base 104, 204, 304 Feed line 105, 205, 305 Resin screw 106, 206, 306 Resin nut 107 , 207, 307 Washer 108 Dielectric substrate 109, 209, 309 Diode 110a, 110b Metal conductor

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成9年8月25日[Submission date] August 25, 1997

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図8[Correction target item name] Fig. 8

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図8】 FIG. 8

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2つのアンテナ素子を有するダイポール
アンテナと、誘電体基板に設けた2つの金属導体間にダ
イオードが接続されたダイオードモジュールと、給電線
路と、を備え、 前記ダイオードを前記アンテナ素子間の中央に位置する
ように配置し、前記アンテナ素子と前記金属導体と前記
給電線路とを機械的に固着させ電気的に接続された、電
界強度の測定に使用される電界センサ。
1. A dipole antenna having two antenna elements, a diode module in which a diode is connected between two metal conductors provided on a dielectric substrate, and a feed line, wherein the diode is connected between the antenna elements. An electric field sensor used for measuring electric field intensity, wherein the electric field sensor is disposed so as to be located at the center of the antenna, and the antenna element, the metal conductor, and the feed line are mechanically fixed and electrically connected.
【請求項2】 2つのアンテナ素子を有するダイポール
アンテナと、誘電体基板に設けた2つの金属導体間にダ
イオードが接続されたダイオードモジュールと、給電線
路と、を備え、 前記ダイオードを前記アンテナ素子間の中央に位置する
ように配置し、前記アンテナ素子と前記金属導体と前記
給電線路とを機械的に固着させ電気的に接続して、誘電
体からなる台座に嵌着された、電界強度の測定に使用さ
れる電界センサ。
2. A dipole antenna having two antenna elements, a diode module in which a diode is connected between two metal conductors provided on a dielectric substrate, and a feed line, wherein the diode is connected between the antenna elements. The antenna element, the metal conductor, and the feed line are mechanically fixed and electrically connected to each other, and the electric field strength is fitted to a pedestal made of a dielectric material. Electric field sensor used for
【請求項3】 2つのアンテナ素子を有するダイポール
アンテナと、誘電体基板に設けた2つの金属導体間にダ
イオードが接続されたダイオードモジュールと、給電線
路と、を備え、 前記ダイオードを前記アンテナ素子間の中央に位置する
ように配置し、前記アンテナ素子と前記金属導体と前記
給電線路とを機械的に固着させ電気的に接続した、第1
の電界センサおよび第2の電界センサを互いに直交方向
に設け、誘電体からなる台座に嵌着された、電界強度の
測定に使用される電界センサ。
3. A dipole antenna having two antenna elements, a diode module in which a diode is connected between two metal conductors provided on a dielectric substrate, and a feed line, wherein the diode is connected between the antenna elements. The antenna element, the metal conductor, and the feed line are mechanically fixed and electrically connected to each other.
An electric field sensor used for measuring electric field strength, wherein the electric field sensor and the second electric field sensor are provided in a direction orthogonal to each other and fitted to a pedestal made of a dielectric material.
【請求項4】 請求項1ないし請求項3に記載された電
界センサであって、 前記ダイオードは、ゼロバイアスショットキバリアダイ
オードである、電界強度の測定に使用される電界セン
サ。
4. The electric field sensor according to claim 1, wherein the diode is a zero-bias Schottky barrier diode, and is used for measuring an electric field intensity.
【請求項5】 請求項2ないし請求項4に記載された電
界センサであって、 前記誘電体は、フッ素樹脂である、電界強度の測定に使
用される電界センサ。
5. The electric field sensor according to claim 2, wherein the dielectric is a fluororesin, and is used for measuring an electric field intensity.
【請求項6】 請求項1ないし請求項5のいずれか1項
に記載した電界センサとともに使用される電界強度測定
装置であって、 微小信号増幅器と、前記信号の測定器と、を備えた電界
強度測定装置。
6. An electric field intensity measuring device used together with the electric field sensor according to claim 1, wherein the electric field comprises a small signal amplifier and a measuring device for the signal. Strength measuring device.
JP19953697A 1997-07-25 1997-07-25 Electric field sensor and electric field intensity measuring device Withdrawn JPH1144720A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100307756B1 (en) * 1999-09-30 2001-11-02 김춘호 Sensor of electromagnetic wave detector
JP2005203709A (en) * 2004-01-19 2005-07-28 Tokyo Electron Ltd Plasma processing apparatus

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JP4694130B2 (en) * 2004-01-19 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 Plasma processing equipment

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