JPH1140955A - ケーブル束クランプ - Google Patents
ケーブル束クランプInfo
- Publication number
- JPH1140955A JPH1140955A JP19557597A JP19557597A JPH1140955A JP H1140955 A JPH1140955 A JP H1140955A JP 19557597 A JP19557597 A JP 19557597A JP 19557597 A JP19557597 A JP 19557597A JP H1140955 A JPH1140955 A JP H1140955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clamp
- cables
- cable
- cable bundle
- bundle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L3/00—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
- F16L3/16—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets with special provision allowing movement of the pipe
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、ケーブル本数が変化しても簡易な
方法で一様な固定強度でクランプでき、かつ大きなよじ
りや屈曲に対してもケーブル束を保護するケーブル束ク
ランプを提供する。 【解決手段】 半導体試験装置の本体とテストヘッド間
を接続するケーブル束の、テストヘッド側のケーブル束
クランプにおいて、クランプ部のケーブルの間に介在
し、ケーブル周囲に周設した紐状弾性体と、該紐状弾性
体とケーブルとを緊締する束線帯とを具備してケーブル
束をクランプ金具で固定している解決手段。
方法で一様な固定強度でクランプでき、かつ大きなよじ
りや屈曲に対してもケーブル束を保護するケーブル束ク
ランプを提供する。 【解決手段】 半導体試験装置の本体とテストヘッド間
を接続するケーブル束の、テストヘッド側のケーブル束
クランプにおいて、クランプ部のケーブルの間に介在
し、ケーブル周囲に周設した紐状弾性体と、該紐状弾性
体とケーブルとを緊締する束線帯とを具備してケーブル
束をクランプ金具で固定している解決手段。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体試験装置の
本体とテストヘッド間を接続するケーブル束の、テスト
ヘッド側のケーブル束クランプに関する。
本体とテストヘッド間を接続するケーブル束の、テスト
ヘッド側のケーブル束クランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の例について、図３〜図６を参
照して説明する。最初に、テストヘッドの概要について
説明する。図３に示すように、半導体試験装置の本体か
らテストヘッドへ、信号と電源を供給しているテストヘ
ッド３０側の構成は、半導体試験装置の本体から供給さ
れたケーブル束１０と、ケーブル束クランプ部２０と、
ウェーハプローバ４０とで構成している。ここにテスト
ヘッドとは、半導体試験装置の一部であり、被試験デバ
イスの例えばウェーハとのインタフェーイスとなる電子
回路部を内蔵している。
照して説明する。最初に、テストヘッドの概要について
説明する。図３に示すように、半導体試験装置の本体か
らテストヘッドへ、信号と電源を供給しているテストヘ
ッド３０側の構成は、半導体試験装置の本体から供給さ
れたケーブル束１０と、ケーブル束クランプ部２０と、
ウェーハプローバ４０とで構成している。ここにテスト
ヘッドとは、半導体試験装置の一部であり、被試験デバ
イスの例えばウェーハとのインタフェーイスとなる電子
回路部を内蔵している。
【０００３】また、図４の側面図を示すように、ウェー
ハ４１を試験する場合は、ウェーハプローバ４０に支持
されたアーム３４が回転してテストヘッド３０上のプロ
ーブカード３１のプローブが、ウェーハプローバ４０内
のウェーハ４１に電気接触して試験をしている。
ハ４１を試験する場合は、ウェーハプローバ４０に支持
されたアーム３４が回転してテストヘッド３０上のプロ
ーブカード３１のプローブが、ウェーハプローバ４０内
のウェーハ４１に電気接触して試験をしている。
【０００４】テストヘッド３０は、プローブカード３１
を交換する場合と、ウェーハ４１を試験する場合とで
は、アーム３４が１８０°回転してテストヘッド筐体３
２が反転することになる。そのため、図３に示すよう
に、ケーブル束クランプ部２０において、テストヘッド
筐体３２が反転するごとに、ケーブル束１０をよじった
り屈曲する大きな力がはたらく。
を交換する場合と、ウェーハ４１を試験する場合とで
は、アーム３４が１８０°回転してテストヘッド筐体３
２が反転することになる。そのため、図３に示すよう
に、ケーブル束クランプ部２０において、テストヘッド
筐体３２が反転するごとに、ケーブル束１０をよじった
り屈曲する大きな力がはたらく。
【０００５】次に、従来のケーブル束クランプについて
説明する。従来のケーブル束クランプは、図５に示すよ
うに、複数本のケーブル１１と、ジッパチューブ１４
と、板状弾性体１５と、ケーブル束１０をクランプ固定
手段２２により締結して固定するクランプ金具２１とで
構成して、テストヘッド筐体３２のクランプ固定台３３
に固着している。また、図６にケーブル束クランプの断
面図を示している。
説明する。従来のケーブル束クランプは、図５に示すよ
うに、複数本のケーブル１１と、ジッパチューブ１４
と、板状弾性体１５と、ケーブル束１０をクランプ固定
手段２２により締結して固定するクランプ金具２１とで
構成して、テストヘッド筐体３２のクランプ固定台３３
に固着している。また、図６にケーブル束クランプの断
面図を示している。
【０００６】ケーブル１１は、電源を供給する複数の電
源ケーブルと、信号を伝送する複数の同軸ケーブルとが
ある。通常、電源ケーブルと、同軸ケーブルとは区別し
てケーブル束としている。
源ケーブルと、信号を伝送する複数の同軸ケーブルとが
ある。通常、電源ケーブルと、同軸ケーブルとは区別し
てケーブル束としている。
【０００７】また、ジッパチューブ１４は、ジッパによ
り簡単に筒状に被覆できるケーブル保護材である。
り簡単に筒状に被覆できるケーブル保護材である。
【０００８】一般に、ケーブル束をよじったり屈曲した
場合、ケーブル束の周辺部のケーブルは、中心部のケー
ブルに比較して、よじりや屈曲に対する影響が大きいの
で断線しやすい。また、ケーブル束１０の板状弾性体１
５が無い方向の屈曲に対して、強度的に弱くなる。
場合、ケーブル束の周辺部のケーブルは、中心部のケー
ブルに比較して、よじりや屈曲に対する影響が大きいの
で断線しやすい。また、ケーブル束１０の板状弾性体１
５が無い方向の屈曲に対して、強度的に弱くなる。
【０００９】さらに、ケーブル１１の使用本数は、半導
体試験装置の構成により変化するので、板状弾性体１５
は、例えばゴムを使用するが、その厚さ、長さや硬度を
選定して調節する必要がある。
体試験装置の構成により変化するので、板状弾性体１５
は、例えばゴムを使用するが、その厚さ、長さや硬度を
選定して調節する必要がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、従
来のケーブル束クランプは、ケーブル束の内部と周辺部
のケーブルとではよじりや屈曲に対して影響差ができや
すく、また方向性ができやすいという問題があった。ま
た、ケーブルの本数が異なると、一様な固定強度にする
調整が難しいという実用上の不便もあった。
来のケーブル束クランプは、ケーブル束の内部と周辺部
のケーブルとではよじりや屈曲に対して影響差ができや
すく、また方向性ができやすいという問題があった。ま
た、ケーブルの本数が異なると、一様な固定強度にする
調整が難しいという実用上の不便もあった。
【００１１】そこで、本発明は、こうした問題に鑑みな
されたもので、その目的は、ケーブル本数が変化して
も、簡易な方法で一様な固定強度でクランプでき、かつ
大きなよじりや屈曲に対してもケーブル束を保護できる
ケーブル束クランプを提供することにある。
されたもので、その目的は、ケーブル本数が変化して
も、簡易な方法で一様な固定強度でクランプでき、かつ
大きなよじりや屈曲に対してもケーブル束を保護できる
ケーブル束クランプを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】即ち、上記目的を達成す
るためになされた本発明は、半導体試験装置の本体とテ
ストヘッド間を接続するケーブル束の、テストヘッド側
のケーブル束クランプにおいて、クランプ部のケーブル
の間に介在し、ケーブル周囲に周設した紐状弾性体と、
該紐状弾性体とケーブルとを緊締する束線帯と、を具備
してケーブル束をクランプ金具で固定していることを特
徴としたケーブル束クランプを要旨としている。
るためになされた本発明は、半導体試験装置の本体とテ
ストヘッド間を接続するケーブル束の、テストヘッド側
のケーブル束クランプにおいて、クランプ部のケーブル
の間に介在し、ケーブル周囲に周設した紐状弾性体と、
該紐状弾性体とケーブルとを緊締する束線帯と、を具備
してケーブル束をクランプ金具で固定していることを特
徴としたケーブル束クランプを要旨としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、下記の実
施例において説明する。
施例において説明する。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例について、図１と、図２とを
参照して説明する。本発明のケーブル束クランプは、図
１に示すように、複数本のケーブル１１と、ジッパチュ
ーブ１４と、紐状弾性体１２と、束線帯１３と、ケーブ
ル束１０をクランプ固定手段２２により締結して固定す
るクランプ金具２１とで構成して、テストヘッド筐体３
２のクランプ固定台３３に固着している。また、図２に
ケーブル束クランプの断面図を示している。
参照して説明する。本発明のケーブル束クランプは、図
１に示すように、複数本のケーブル１１と、ジッパチュ
ーブ１４と、紐状弾性体１２と、束線帯１３と、ケーブ
ル束１０をクランプ固定手段２２により締結して固定す
るクランプ金具２１とで構成して、テストヘッド筐体３
２のクランプ固定台３３に固着している。また、図２に
ケーブル束クランプの断面図を示している。
【００１５】半導体試験装置の本体とテストヘッドとの
関係と、テストヘッドとウェーハプローバとの関係につ
いては、従来技術と同じであるので説明を省略する。
関係と、テストヘッドとウェーハプローバとの関係につ
いては、従来技術と同じであるので説明を省略する。
【００１６】本発明では、ケーブル束のケーブル間に紐
状弾性体１２を適量介在させ、またケーブル周辺にも紐
状弾性体１２で周設している。ここで、介在させると
は、部材と部材の間に位置させることである。また、周
設するとは、まわりに設けることである。そして、紐状
弾性体は、例えばゴムやスポンジ状の弾性体で、クラン
プ金具の幅よりも長いものを使用する。
状弾性体１２を適量介在させ、またケーブル周辺にも紐
状弾性体１２で周設している。ここで、介在させると
は、部材と部材の間に位置させることである。また、周
設するとは、まわりに設けることである。そして、紐状
弾性体は、例えばゴムやスポンジ状の弾性体で、クラン
プ金具の幅よりも長いものを使用する。
【００１７】また、ケーブル束の中心部は周辺部よりも
長い紐状弾性体を使用するのが望ましい。さらに、ケー
ブル束に紐状弾性体１２を適量介在させ、またケーブル
周辺にも紐状弾性体１２で周設したあと、束線帯１３に
より緩まないように巻き付けて緊締している。そしてさ
らに、従来同様ジッパチューブ１４で被覆して保護して
いる。
長い紐状弾性体を使用するのが望ましい。さらに、ケー
ブル束に紐状弾性体１２を適量介在させ、またケーブル
周辺にも紐状弾性体１２で周設したあと、束線帯１３に
より緩まないように巻き付けて緊締している。そしてさ
らに、従来同様ジッパチューブ１４で被覆して保護して
いる。
【００１８】また、ケーブル束を固定するクランプ金具
２１は、方向性ができにくくなるように分割して、クラ
ンプ固定手段２２により締結して固定する。
２１は、方向性ができにくくなるように分割して、クラ
ンプ固定手段２２により締結して固定する。
【００１９】ところで、クランプ金具２１は、加工工数
は増加するが、ケーブル束の当たる面を半円形に切削加
工して方向性をさらに少なくしてもよい。また、クラン
プ金具２１とケーブル束１０間に弾性体の円筒を被せる
か、または弾性体のテープを追加して巻き付けてから固
定してもよい。
は増加するが、ケーブル束の当たる面を半円形に切削加
工して方向性をさらに少なくしてもよい。また、クラン
プ金具２１とケーブル束１０間に弾性体の円筒を被せる
か、または弾性体のテープを追加して巻き付けてから固
定してもよい。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
量の調節が簡単な紐状の弾性体を適量介在させることに
より、ケーブル束のケーブル本数が変化しても、一様な
固定強度でクランプできる効果がある。また、ケーブル
束の内部に弾性体が分布して存在することにより、大き
なよじりや屈曲に対してもケーブルを保護する効果が大
きいケーブル束クランプとなる。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
量の調節が簡単な紐状の弾性体を適量介在させることに
より、ケーブル束のケーブル本数が変化しても、一様な
固定強度でクランプできる効果がある。また、ケーブル
束の内部に弾性体が分布して存在することにより、大き
なよじりや屈曲に対してもケーブルを保護する効果が大
きいケーブル束クランプとなる。
【図１】本発明のケーブル束クランプの側面の断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明のケーブル束クランプの断面図である。
【図３】テストヘッドとウェーハプローバとの構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図４】テストヘッドとウェーハプローバとの構成を示
す側面図である。
す側面図である。
【図５】従来のケーブル束クランプの側面の断面図であ
る。
る。
【図６】従来のケーブル束クランプの断面図である。
１０ ケーブル束 １１ ケーブル １２ 紐状弾性体 １３ 束線帯 １４ ジッパチューブ １５ 板状弾性体 ２０ ケーブル束クランプ部 ２１ クランプ金具 ２２ クランプ固定手段 ３０ テストヘッド ３１ プローブカード ３２ テストヘッド筐体 ３３ クランプ固定台 ３４ アーム ４０ ウェーハプローバ ４１ ウェーハ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体試験装置の本体とテストヘッド間
を接続するケーブル束の、テストヘッド側のケーブル束
クランプにおいて、 クランプ部のケーブルの間に介在し、ケーブル周囲に周
設した紐状弾性体と、 該紐状弾性体とケーブルとを緊締する束線帯と、 を具備してケーブル束をクランプ金具で固定しているこ
とを特徴としたケーブル束クランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19557597A JPH1140955A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | ケーブル束クランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19557597A JPH1140955A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | ケーブル束クランプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1140955A true JPH1140955A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16343420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19557597A Withdrawn JPH1140955A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | ケーブル束クランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1140955A (ja) |
-
1997
- 1997-07-22 JP JP19557597A patent/JPH1140955A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |