JPH1138205A - 光量補正フィルター製造装置およびこの装置で製造された光量補正フィルターを用いたカラー受像管製造方法 - Google Patents
光量補正フィルター製造装置およびこの装置で製造された光量補正フィルターを用いたカラー受像管製造方法Info
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- JPH1138205A JPH1138205A JP9192106A JP19210697A JPH1138205A JP H1138205 A JPH1138205 A JP H1138205A JP 9192106 A JP9192106 A JP 9192106A JP 19210697 A JP19210697 A JP 19210697A JP H1138205 A JPH1138205 A JP H1138205A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 50
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 90
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 64
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 23
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
- C23C14/044—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks using masks to redistribute rather than totally prevent coating, e.g. producing thickness gradient
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光装置を複雑化することなく所望する透過
率分布を正確にかつ容易に実現できる光量補正フィルタ
ー、およびこの光量補正フィルターの製造装置、ならび
にこの光量補正フィルターを用いたカラー受像管の製造
方法を提供する。 【解決手段】 真空引きされた容器４内に、蒸着源２と
透明基板３と蒸着量分布コントロール板１とを備え、蒸
着源２と透明基板３との間に蒸着量分布コントロール板
１を設け、透明基板３に蒸着源２の金属を蒸着させて光
量補正フィルターを製造する光量補正フィルター製造装
置において、透明基板３に蒸着する金属の蒸着量を制御
して、透明基板３に所望する透過率分布が得られるよう
に、蒸着量分布コントロール板１に複数の開口部が形成
されている。
率分布を正確にかつ容易に実現できる光量補正フィルタ
ー、およびこの光量補正フィルターの製造装置、ならび
にこの光量補正フィルターを用いたカラー受像管の製造
方法を提供する。 【解決手段】 真空引きされた容器４内に、蒸着源２と
透明基板３と蒸着量分布コントロール板１とを備え、蒸
着源２と透明基板３との間に蒸着量分布コントロール板
１を設け、透明基板３に蒸着源２の金属を蒸着させて光
量補正フィルターを製造する光量補正フィルター製造装
置において、透明基板３に蒸着する金属の蒸着量を制御
して、透明基板３に所望する透過率分布が得られるよう
に、蒸着量分布コントロール板１に複数の開口部が形成
されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー受像管を製
造する際に使用する光量補正フィルターに関し、詳しく
は、露光装置を複雑化することなく所望する透過率分布
を正確にかつ容易に実現できる光量補正フィルター、お
よびこの光量補正フィルターの製造装置に関するもので
ある。
造する際に使用する光量補正フィルターに関し、詳しく
は、露光装置を複雑化することなく所望する透過率分布
を正確にかつ容易に実現できる光量補正フィルター、お
よびこの光量補正フィルターの製造装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般に、カラー受像管の前面パネルの内
面には、写真法によって、青，緑，赤の３色の蛍光体層
が規則的に形成されている。また、この３色の蛍光体層
の周辺には、コントラストを向上させるために、ブラッ
クマトリックスと呼ばれる光吸収層が形成されている。
そして、この蛍光体層およびブラックマトリックスを前
面パネルの内面に形成する際には、カラー受像管製造用
の露光装置が使用される。
面には、写真法によって、青，緑，赤の３色の蛍光体層
が規則的に形成されている。また、この３色の蛍光体層
の周辺には、コントラストを向上させるために、ブラッ
クマトリックスと呼ばれる光吸収層が形成されている。
そして、この蛍光体層およびブラックマトリックスを前
面パネルの内面に形成する際には、カラー受像管製造用
の露光装置が使用される。
【０００３】図８は、カラー受像管製造用の露光装置の
概略構成図を示したものである。この図８に示すよう
に、カラー受像管製造用の露光装置は、光源部９、補正
レンズ１０および光量補正フィルター１１を用いて構成
されている。そして、光源部９から照射された光が、補
正レンズ１０および光量補正フィルター１１を通して、
前面パネル１２の内面に存する蛍光面を露光するように
なっている。ここで、光量補正フィルター１１は、補正
レンズ１０を通ってきた光源部９からの光の光量分布
が、前面パネル１２の内面において均一になるように補
正している。
概略構成図を示したものである。この図８に示すよう
に、カラー受像管製造用の露光装置は、光源部９、補正
レンズ１０および光量補正フィルター１１を用いて構成
されている。そして、光源部９から照射された光が、補
正レンズ１０および光量補正フィルター１１を通して、
前面パネル１２の内面に存する蛍光面を露光するように
なっている。ここで、光量補正フィルター１１は、補正
レンズ１０を通ってきた光源部９からの光の光量分布
が、前面パネル１２の内面において均一になるように補
正している。
【０００４】以上のような機能を有する光量補正フィル
ターを用いて光源部から照射される光の光量分布を補正
する方法としては、例えば、特公昭５８−４３８５３号
公報に開示されているように、多数のストライプ状の遮
光部を設け、この遮光部の幅により遮光部と遮光部間の
透光部との面積比を調整した光量補正フィルターを用い
て、光透過率を所定の分布とするものがある。また、例
えば、特開平６−１０３８９５号公報に開示されている
ように、蒸着膜を用いて構成された光量補正フィルター
を用いて、光透過率をコントロールするものもある。
ターを用いて光源部から照射される光の光量分布を補正
する方法としては、例えば、特公昭５８−４３８５３号
公報に開示されているように、多数のストライプ状の遮
光部を設け、この遮光部の幅により遮光部と遮光部間の
透光部との面積比を調整した光量補正フィルターを用い
て、光透過率を所定の分布とするものがある。また、例
えば、特開平６−１０３８９５号公報に開示されている
ように、蒸着膜を用いて構成された光量補正フィルター
を用いて、光透過率をコントロールするものもある。
【０００５】上記、蒸着膜を用いて構成された光量補正
フィルターは、例えば、図９に示すような装置を用いて
製造される。この図９は、従来技術に係る光量補正フィ
ルターの製造装置の概略構成図を示したものであり、透
明基板３と蒸着源２との間に、開口部１４を有する遮蔽
板（蒸着パターン）１３が設けられている。この製造装
置は、遮蔽板１３を回転させ、さらにその回転速度を角
度によって変化させ、その開口部と遮蔽部の時間積分比
によって蒸着量をコントロールして、透明基板３上に所
望する補正透過率分布を得るような構成となっている。
フィルターは、例えば、図９に示すような装置を用いて
製造される。この図９は、従来技術に係る光量補正フィ
ルターの製造装置の概略構成図を示したものであり、透
明基板３と蒸着源２との間に、開口部１４を有する遮蔽
板（蒸着パターン）１３が設けられている。この製造装
置は、遮蔽板１３を回転させ、さらにその回転速度を角
度によって変化させ、その開口部と遮蔽部の時間積分比
によって蒸着量をコントロールして、透明基板３上に所
望する補正透過率分布を得るような構成となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】近年、高精細度なカラ
ーモニターディスプレイ管およびハイビジョン用受像管
においては、大型化、広角偏向化、スクリーン面の平坦
化と併せて、色の再現性、白色の均一性が厳しく求めら
れているため、蛍光面の形成工程、特にブラックマトリ
ックスの形成工程において複雑で精度の高い露光補正が
必要になる。その結果、レンズの集光発散の効果が複雑
になり、ブラックマトリックスのサイズコントロールを
行う光量補正フィルターには、それに相当する複雑でか
つ精度の高い補正を行う透過率分布が要求される。
ーモニターディスプレイ管およびハイビジョン用受像管
においては、大型化、広角偏向化、スクリーン面の平坦
化と併せて、色の再現性、白色の均一性が厳しく求めら
れているため、蛍光面の形成工程、特にブラックマトリ
ックスの形成工程において複雑で精度の高い露光補正が
必要になる。その結果、レンズの集光発散の効果が複雑
になり、ブラックマトリックスのサイズコントロールを
行う光量補正フィルターには、それに相当する複雑でか
つ精度の高い補正を行う透過率分布が要求される。
【０００７】しかしながら、上記従来技術に係る多数の
ストライプ状の遮光部を設けた光量補正フィルターを用
いた補正方法においては、露光装置内に光量補正フィル
ターを揺動させる機構を設けなければならず、カラー受
像管製造工程において数多く使用しなければならない露
光装置の構造が複雑化する。また、上記従来技術に係る
蒸着膜を用いて構成された光量補正フィルターの製造方
法においては、開口部形状および回転速度等による開口
部と遮蔽部との時間積分によって、蒸着量を間接的に制
御するので、実現できる透過率分布に限界があり、かつ
その制御が非常に複雑であった。結果として所望するブ
ラックマトリックスのサイズ分布を許容範囲の５％以内
に完全に収めることが非常に困難であり、十分な白色品
質を得ることが非常に難しかった。
ストライプ状の遮光部を設けた光量補正フィルターを用
いた補正方法においては、露光装置内に光量補正フィル
ターを揺動させる機構を設けなければならず、カラー受
像管製造工程において数多く使用しなければならない露
光装置の構造が複雑化する。また、上記従来技術に係る
蒸着膜を用いて構成された光量補正フィルターの製造方
法においては、開口部形状および回転速度等による開口
部と遮蔽部との時間積分によって、蒸着量を間接的に制
御するので、実現できる透過率分布に限界があり、かつ
その制御が非常に複雑であった。結果として所望するブ
ラックマトリックスのサイズ分布を許容範囲の５％以内
に完全に収めることが非常に困難であり、十分な白色品
質を得ることが非常に難しかった。
【０００８】そこで、本発明は、このような課題を解決
するためになされたもので、露光装置を複雑化すること
なく所望する透過率分布を正確にかつ容易に実現できる
光量補正フィルター、およびこの光量補正フィルターの
製造装置、ならびにこの光量補正フィルターを用いたカ
ラー受像管の製造方法を提供することを目的とするもの
である。
するためになされたもので、露光装置を複雑化すること
なく所望する透過率分布を正確にかつ容易に実現できる
光量補正フィルター、およびこの光量補正フィルターの
製造装置、ならびにこの光量補正フィルターを用いたカ
ラー受像管の製造方法を提供することを目的とするもの
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る光量補正フィルター製造装置は、真空引
きされた容器内に、蒸着源と透明基板と蒸着量分布コン
トロール板とを備え、前記蒸着源と前記透明基板との間
に前記蒸着量分布コントロール板を配置し、前記透明基
板に前記蒸着源の被蒸着物質を蒸着させて光量補正フィ
ルターを製造する光量補正フィルター製造装置におい
て、前記透明基板に蒸着する被蒸着物質の蒸着量を制御
して、前記透明基板に所望する透過率分布が得られるよ
うに、前記蒸着量分布コントロール板に複数の開口部が
形成されていることを特徴とする。本発明に係る光量補
正フィルター製造装置によれば、所望する透過率分布を
有する光量補正フィルターを、正確にかつ容易に製造す
ることができる。
の本発明に係る光量補正フィルター製造装置は、真空引
きされた容器内に、蒸着源と透明基板と蒸着量分布コン
トロール板とを備え、前記蒸着源と前記透明基板との間
に前記蒸着量分布コントロール板を配置し、前記透明基
板に前記蒸着源の被蒸着物質を蒸着させて光量補正フィ
ルターを製造する光量補正フィルター製造装置におい
て、前記透明基板に蒸着する被蒸着物質の蒸着量を制御
して、前記透明基板に所望する透過率分布が得られるよ
うに、前記蒸着量分布コントロール板に複数の開口部が
形成されていることを特徴とする。本発明に係る光量補
正フィルター製造装置によれば、所望する透過率分布を
有する光量補正フィルターを、正確にかつ容易に製造す
ることができる。
【００１０】また、本発明に係る光量補正フィルター製
造装置においては、前記開口部の形状が、ストライプ状
であることが好ましい。この好ましい例によれば、前記
開口部の縦方向のピッチに相当する透過率分布の細かな
ムラを容易に解消することができる。
造装置においては、前記開口部の形状が、ストライプ状
であることが好ましい。この好ましい例によれば、前記
開口部の縦方向のピッチに相当する透過率分布の細かな
ムラを容易に解消することができる。
【００１１】また、本発明に係る光量補正フィルター製
造装置においては、前記蒸着源、前記透明基板および前
記蒸着量分布コントロール板の少なくとも一つが、他の
部材に対して揺動可能であるように構成されていること
が好ましい。この好ましい例によれば、前記開口部のピ
ッチに相当する透過率分布の細かなムラを容易に解消す
ることができる。
造装置においては、前記蒸着源、前記透明基板および前
記蒸着量分布コントロール板の少なくとも一つが、他の
部材に対して揺動可能であるように構成されていること
が好ましい。この好ましい例によれば、前記開口部のピ
ッチに相当する透過率分布の細かなムラを容易に解消す
ることができる。
【００１２】また、前記揺動の方向は、前記蒸着量分布
コントロール板に形成されている開口部の長手方向とほ
ぼ直角の方向であることが好ましい。この好ましい例に
よれば、前記開口部のピッチに相当する透過率分布の細
かなムラをより効果的に解消することができる。
コントロール板に形成されている開口部の長手方向とほ
ぼ直角の方向であることが好ましい。この好ましい例に
よれば、前記開口部のピッチに相当する透過率分布の細
かなムラをより効果的に解消することができる。
【００１３】また、前記蒸着源の形状が、線状または面
状であることが好ましい。この好ましい例によれば、前
記開口部のピッチに相当する透過率分布の細かなムラを
より効果的に解消することができ、光量補正フィルター
を形成する際の透過率の制御をより簡便化することが可
能となる。
状であることが好ましい。この好ましい例によれば、前
記開口部のピッチに相当する透過率分布の細かなムラを
より効果的に解消することができ、光量補正フィルター
を形成する際の透過率の制御をより簡便化することが可
能となる。
【００１４】また、スパッタリングによって、前記透明
基板に前記蒸着源の被蒸着物質を蒸着させることが好ま
しい。この好ましい例によれば、蒸着位置による蒸着量
の不均一性が解消されるので、所望する透過率分布を有
する光量補正フィルターを正確にかつ容易に製造するこ
とができる。
基板に前記蒸着源の被蒸着物質を蒸着させることが好ま
しい。この好ましい例によれば、蒸着位置による蒸着量
の不均一性が解消されるので、所望する透過率分布を有
する光量補正フィルターを正確にかつ容易に製造するこ
とができる。
【００１５】さらに、上記目的を達成するための本発明
に係るカラー受像管製造方法は、カラー受像管を構成す
る前面パネルに露光を施す工程と、前記前面パネルを用
いてカラー受像管を製造する工程とを有するカラー受像
管製造方法において、前記前面パネルに露光を施す際
に、上述した光量補正フィルター製造装置で製造された
光量補正フィルターを用いることを特徴とする。本発明
に係るカラー受像管製造方法によれば、カラー受像管の
白色品質を効果的に向上させることができる。
に係るカラー受像管製造方法は、カラー受像管を構成す
る前面パネルに露光を施す工程と、前記前面パネルを用
いてカラー受像管を製造する工程とを有するカラー受像
管製造方法において、前記前面パネルに露光を施す際
に、上述した光量補正フィルター製造装置で製造された
光量補正フィルターを用いることを特徴とする。本発明
に係るカラー受像管製造方法によれば、カラー受像管の
白色品質を効果的に向上させることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。図１は、本発明の第一の実
施形態に係る光量補正フィルターの製造装置の概略構成
図を示している。本実施形態における光量補正フィルタ
ーの製造装置は、真空にしたベルジャー４中に、蒸着量
分布コントロール板１、蒸着源２および透明基板３を設
けて構成されている。蒸着分布コントロール板１は、透
明基板３とほぼ並行な４ｍｍピッチの複数個の孔を有す
るステンレス鋼等で形成されている。一例として、長辺
４０ｍｍ短辺３０ｍｍの長方形のステンレス鋼板の場
合、孔は８〜９個程度形成されることになる。蒸着源２
は、タングステン板で形成された通電により加熱される
ヒーターボードに、インコーネルやクローム等の半透明
膜を形成できる物質を載置して構成されている。透明基
板３は、光量補正フィルターを形成する基材であり、光
学用ガラス等で形成されている。この透明基板３に蒸着
源２の金属を蒸着させることにより、光量補正フィルタ
ーが形成される。
て、図面を用いて説明する。図１は、本発明の第一の実
施形態に係る光量補正フィルターの製造装置の概略構成
図を示している。本実施形態における光量補正フィルタ
ーの製造装置は、真空にしたベルジャー４中に、蒸着量
分布コントロール板１、蒸着源２および透明基板３を設
けて構成されている。蒸着分布コントロール板１は、透
明基板３とほぼ並行な４ｍｍピッチの複数個の孔を有す
るステンレス鋼等で形成されている。一例として、長辺
４０ｍｍ短辺３０ｍｍの長方形のステンレス鋼板の場
合、孔は８〜９個程度形成されることになる。蒸着源２
は、タングステン板で形成された通電により加熱される
ヒーターボードに、インコーネルやクローム等の半透明
膜を形成できる物質を載置して構成されている。透明基
板３は、光量補正フィルターを形成する基材であり、光
学用ガラス等で形成されている。この透明基板３に蒸着
源２の金属を蒸着させることにより、光量補正フィルタ
ーが形成される。
【００１７】以上の光量補正フィルターの製造装置の構
成をさらに具体的に説明すると、蒸着量分布コントロー
ル板１は、蒸着源２と透明基板３との間に設けられてお
り、さらに、蒸着量分布コントロール板１は、モータ６
に接続されたクランク５によって、開口部（複数個の
孔）の長手方向とほぼ直交する方向に揺動する構成とな
っている。また、この蒸着量分布コントロール板１の蒸
着源２と透明基板３の任意の位置とを結ぶ直線上に相当
する孔は、その位置において所望する透明基板３の透過
率を実現するサイズを有している。すなわち、蒸着源２
から飛び出した蒸着分子が、蒸着量分布コントロール板
１の孔を通過して透明基板３に到達し、透明基板３上に
半透明膜を形成する。この孔のサイズが大きければ、そ
れだけ透明基板３への蒸着分子の到達量が多くなり、透
明基板３の透過率が下がることとなる。したがって、こ
の蒸着量分布コントロール板１には、透明基板３の所望
する場所に必要な透過率を得る蒸着量をコントロールす
るために、その場所によって開口部の開口径（後述）を
変化させている。以上のようにして半透明膜が形成され
た透明基板３が、光量補正フィルターとなる。
成をさらに具体的に説明すると、蒸着量分布コントロー
ル板１は、蒸着源２と透明基板３との間に設けられてお
り、さらに、蒸着量分布コントロール板１は、モータ６
に接続されたクランク５によって、開口部（複数個の
孔）の長手方向とほぼ直交する方向に揺動する構成とな
っている。また、この蒸着量分布コントロール板１の蒸
着源２と透明基板３の任意の位置とを結ぶ直線上に相当
する孔は、その位置において所望する透明基板３の透過
率を実現するサイズを有している。すなわち、蒸着源２
から飛び出した蒸着分子が、蒸着量分布コントロール板
１の孔を通過して透明基板３に到達し、透明基板３上に
半透明膜を形成する。この孔のサイズが大きければ、そ
れだけ透明基板３への蒸着分子の到達量が多くなり、透
明基板３の透過率が下がることとなる。したがって、こ
の蒸着量分布コントロール板１には、透明基板３の所望
する場所に必要な透過率を得る蒸着量をコントロールす
るために、その場所によって開口部の開口径（後述）を
変化させている。以上のようにして半透明膜が形成され
た透明基板３が、光量補正フィルターとなる。
【００１８】図２は、蒸着量分布コントロール板１の拡
大図を示している。その中で、図２（ａ）は開口部８が
スリット状のもの、図２（ｂ）は開口部８が長方形状の
もの、図２（ｃ）は開口部８が円形状のものを示してい
る。ここで、開口部８が長方形状のもの、円形状のもの
のいずれにおいても、開口部８がスリット状のものと同
じ方向が長手方向であるような開口分布特性を得ること
ができるように、図中の縦方向における開口の度合い
が、横方向における開口の度合いよりも大きくなるよう
に開口部８自体の形状、開口部８の配置パターンが決め
られる。
大図を示している。その中で、図２（ａ）は開口部８が
スリット状のもの、図２（ｂ）は開口部８が長方形状の
もの、図２（ｃ）は開口部８が円形状のものを示してい
る。ここで、開口部８が長方形状のもの、円形状のもの
のいずれにおいても、開口部８がスリット状のものと同
じ方向が長手方向であるような開口分布特性を得ること
ができるように、図中の縦方向における開口の度合い
が、横方向における開口の度合いよりも大きくなるよう
に開口部８自体の形状、開口部８の配置パターンが決め
られる。
【００１９】図２において、ＰおよびＰ１は、遮蔽部７
を挟んで隣り合う開口部８の図中横方向の中心間距離、
Ｐ２は、図中縦方向の中心間距離を示し、ＷまたはＷ１
は、開口部８の幅（径）を示している。そして、それぞ
れの蒸着量分布コントロール板１の開口率は、図中に示
されるそれぞれの式であらわされる。また、本実施形態
においては、以上の３種類の開口部形状を示したが、本
発明はこれらの形状に限定されるものではなく、例え
ば、三角形状、正方形状、六角形状および楕円形状等の
他の形状であっても、蒸着量分布コントロール板１に適
当に分布させることにより、本実施形態と同様の効果を
得ることができる。
を挟んで隣り合う開口部８の図中横方向の中心間距離、
Ｐ２は、図中縦方向の中心間距離を示し、ＷまたはＷ１
は、開口部８の幅（径）を示している。そして、それぞ
れの蒸着量分布コントロール板１の開口率は、図中に示
されるそれぞれの式であらわされる。また、本実施形態
においては、以上の３種類の開口部形状を示したが、本
発明はこれらの形状に限定されるものではなく、例え
ば、三角形状、正方形状、六角形状および楕円形状等の
他の形状であっても、蒸着量分布コントロール板１に適
当に分布させることにより、本実施形態と同様の効果を
得ることができる。
【００２０】開口部８の形状を、長方形、円形、三角形
等とした場合、スリット状の開口部８のものと比較し
て、蒸着量分布コントロール板１の強度が高くなり、蒸
着量分布コントロール板１の固定等の取扱上は有利であ
る。しかし、縦方向および横方向の両方に遮蔽部が存在
するため、この遮蔽部による金属蒸着量の遮蔽効果を考
慮した蒸着量分布コントロール板１の揺動条件等を決め
る必要がある。具体的には、開口の長手方向（図中縦方
向）と垂直な方向のみならず、少なくとも長手方向の成
分を持った揺動とすることが必要である。
等とした場合、スリット状の開口部８のものと比較し
て、蒸着量分布コントロール板１の強度が高くなり、蒸
着量分布コントロール板１の固定等の取扱上は有利であ
る。しかし、縦方向および横方向の両方に遮蔽部が存在
するため、この遮蔽部による金属蒸着量の遮蔽効果を考
慮した蒸着量分布コントロール板１の揺動条件等を決め
る必要がある。具体的には、開口の長手方向（図中縦方
向）と垂直な方向のみならず、少なくとも長手方向の成
分を持った揺動とすることが必要である。
【００２１】また、開口部８の形状を、長方形、円形、
三角形等とした場合、Ｐ１が２〜４ｍｍ程度で、Ｐ２が
３〜１０ｍｍ程度であるので、開口部８の個数は、３０
〜２００個程度となる。
三角形等とした場合、Ｐ１が２〜４ｍｍ程度で、Ｐ２が
３〜１０ｍｍ程度であるので、開口部８の個数は、３０
〜２００個程度となる。
【００２２】なお、補正フィルターの透過率は、光源か
らパネルまでの距離が短いパネル中央部で低くすること
が一般的であるので、蒸着量分布コントロール板１の開
口率は、その中央部で大きくすることが必要となる。し
たがって、図２（ａ）、図２（ｂ）および図２（ｃ）に
示すように、蒸着量分布コントロール板１の中央寄りの
方が、原則的に大きな開口を有するようになっている。
ただし、このことは必ず中央部に最も大きな開口を設け
ることを意味するものではなく、また、中心軸に対して
軸対称に開口を設けることのみを意味するものではな
い。
らパネルまでの距離が短いパネル中央部で低くすること
が一般的であるので、蒸着量分布コントロール板１の開
口率は、その中央部で大きくすることが必要となる。し
たがって、図２（ａ）、図２（ｂ）および図２（ｃ）に
示すように、蒸着量分布コントロール板１の中央寄りの
方が、原則的に大きな開口を有するようになっている。
ただし、このことは必ず中央部に最も大きな開口を設け
ることを意味するものではなく、また、中心軸に対して
軸対称に開口を設けることのみを意味するものではな
い。
【００２３】図３は、蒸着量分布コントロール板１の開
口率と光量補正フィルターの透過率との関係を示したグ
ラフである。図３において、横軸は、スクリーン中央か
らの距離を示し、縦軸は、蒸着量分布コントロール板１
の開口率および光量補正用フィルターの透過率を示して
いる。所望する光量補正フィルターの透過率分布が図３
の□で示される分布１５であるとすると、これを実現す
るための蒸着量分布コントロール板１の開口率（あるい
は孔の面積）の分布は◆で示される分布１６となる。こ
れらの関係は、任意の点Ｆ１の透過率Ｔｒを蒸着量分布
コントロール板１の孔のサイズであらわすと、以下の
［数１］となる。
口率と光量補正フィルターの透過率との関係を示したグ
ラフである。図３において、横軸は、スクリーン中央か
らの距離を示し、縦軸は、蒸着量分布コントロール板１
の開口率および光量補正用フィルターの透過率を示して
いる。所望する光量補正フィルターの透過率分布が図３
の□で示される分布１５であるとすると、これを実現す
るための蒸着量分布コントロール板１の開口率（あるい
は孔の面積）の分布は◆で示される分布１６となる。こ
れらの関係は、任意の点Ｆ１の透過率Ｔｒを蒸着量分布
コントロール板１の孔のサイズであらわすと、以下の
［数１］となる。
【００２４】
【数１】
【００２５】図４は、蒸着量分布コントロール板１の開
口率と光量補正フィルターの透過率との関係式、いわゆ
る上記［数１］の各パラメータを示す図である。この図
４において、蒸着源２から透明基板３に下ろした垂線を
蒸着中心線と呼ぶと、Ｔｒｏは、透明基板３と蒸着中心
線との交点Ｆ０での透過率を示し、Ｒ１は、その交点Ｆ
０から透明基板３上の任意の点Ｆ１までの距離を示し、
Ｌは、蒸着源２から透明基板３までの距離を示し、Ｌ’
は、蒸着量分布コントロール板１から透明基板３までの
距離を示し、Ｃ０は、蒸着量分布コントロール板１と蒸
着中心線との交点Ｐ０での開口率（または孔面積）を示
し、Ｃ１は、透明基板３上の点Ｆ１と蒸着源２とを結ぶ
直線と蒸着量分布コントロール板１との交点Ｐ１におけ
る開口率（または孔面積）を示している。
口率と光量補正フィルターの透過率との関係式、いわゆ
る上記［数１］の各パラメータを示す図である。この図
４において、蒸着源２から透明基板３に下ろした垂線を
蒸着中心線と呼ぶと、Ｔｒｏは、透明基板３と蒸着中心
線との交点Ｆ０での透過率を示し、Ｒ１は、その交点Ｆ
０から透明基板３上の任意の点Ｆ１までの距離を示し、
Ｌは、蒸着源２から透明基板３までの距離を示し、Ｌ’
は、蒸着量分布コントロール板１から透明基板３までの
距離を示し、Ｃ０は、蒸着量分布コントロール板１と蒸
着中心線との交点Ｐ０での開口率（または孔面積）を示
し、Ｃ１は、透明基板３上の点Ｆ１と蒸着源２とを結ぶ
直線と蒸着量分布コントロール板１との交点Ｐ１におけ
る開口率（または孔面積）を示している。
【００２６】図５は、Ｌ＝１２０ｍｍ、Ｔｒｏ＝６０
％、Ｃ０＝３０％のときの蒸着量分布コントロール板１
の開口率とフィルター透過率との関係を示したグラフで
あり、実線がＲ１＝４０ｍｍの場合を示し、破線がＲ１
＝８０ｍｍの場合を示している。この図５において、横
軸は、蒸着量分布コントロール板１の開口率Ｃ１を示
し、縦軸は、透明基板３（光量補正フィルター）の任意
の点Ｆ１の透過率Ｔｒを示している。この図５の関係に
より、蒸着量分布コントロール板１の開口率を変化させ
ることにより、光量補正フィルターのフィルター透過率
を変化させることが可能となる。
％、Ｃ０＝３０％のときの蒸着量分布コントロール板１
の開口率とフィルター透過率との関係を示したグラフで
あり、実線がＲ１＝４０ｍｍの場合を示し、破線がＲ１
＝８０ｍｍの場合を示している。この図５において、横
軸は、蒸着量分布コントロール板１の開口率Ｃ１を示
し、縦軸は、透明基板３（光量補正フィルター）の任意
の点Ｆ１の透過率Ｔｒを示している。この図５の関係に
より、蒸着量分布コントロール板１の開口率を変化させ
ることにより、光量補正フィルターのフィルター透過率
を変化させることが可能となる。
【００２７】図６は、従来技術と本実施形態とを比較し
たグラフであり、透明基板上に形成された光量補正フィ
ルターの任意の軸上の透過率分布と、それに対応するス
クリーン面上のブラックマトリックスのサイズとの関係
を示している。この図６において、横軸はフィルター中
央からの距離（位置）を示し、縦軸は光量補正フィルタ
ーのフィルター透過率およびブラックマトリックスのサ
イズを示している。ただし、フィルター透過率は光量補
正フィルターの対応する位置に相当するスクリーン上の
位置で示している。また、破線は目標値を示し、一点鎖
線は従来技術の値を示し、実線は本実施形態の値を示し
ている。
たグラフであり、透明基板上に形成された光量補正フィ
ルターの任意の軸上の透過率分布と、それに対応するス
クリーン面上のブラックマトリックスのサイズとの関係
を示している。この図６において、横軸はフィルター中
央からの距離（位置）を示し、縦軸は光量補正フィルタ
ーのフィルター透過率およびブラックマトリックスのサ
イズを示している。ただし、フィルター透過率は光量補
正フィルターの対応する位置に相当するスクリーン上の
位置で示している。また、破線は目標値を示し、一点鎖
線は従来技術の値を示し、実線は本実施形態の値を示し
ている。
【００２８】この図６から明らかなように、従来技術に
係る光量補正フィルターは透過率分布の目標値の複雑な
変化に充分な対応をすることができず、この光量補正フ
ィルターを用いて形成されたブラックマトリックスにつ
いても、そのサイズの目標値とのズレは５％以内に入っ
ていない。一方、本実施形態に係る光量補正フィルター
は透過率分布の目標値の複雑な変化に充分に対応してお
り、所望する複雑な目標に対しても±５％以内の透過率
分布を得ることができる。したがって、本実施形態に係
る光量補正フィルターを用いて形成されたブラックマト
リックスのサイズについても、そのサイズの目標値をほ
ぼ達成することが可能である。
係る光量補正フィルターは透過率分布の目標値の複雑な
変化に充分な対応をすることができず、この光量補正フ
ィルターを用いて形成されたブラックマトリックスにつ
いても、そのサイズの目標値とのズレは５％以内に入っ
ていない。一方、本実施形態に係る光量補正フィルター
は透過率分布の目標値の複雑な変化に充分に対応してお
り、所望する複雑な目標に対しても±５％以内の透過率
分布を得ることができる。したがって、本実施形態に係
る光量補正フィルターを用いて形成されたブラックマト
リックスのサイズについても、そのサイズの目標値をほ
ぼ達成することが可能である。
【００２９】また、本実施形態においては、蒸着量分布
コントロール板１、蒸着源２および透明基板３のいずれ
かひとつを他の２つに対して揺動させることが好まし
い。この好ましい例によれば、蒸着量分布コントロール
板１上に形成されている孔（開口部８）のピッチに対応
した蒸着量の細かなムラを抑えることができる。なぜな
ら、開口部８によって金属蒸気が通過する部分と、遮蔽
部７によって金属蒸気が遮られる部分とによって起こる
蒸着量の細かな不均一性が、蒸着量分布コントロール板
１を揺動することによって均一化されるからである。な
お、蒸着量分布コントロール板１、蒸着源２および透明
基板３のいずれかを揺動させる際には、揺動幅を開口部
８のピッチの整数倍としたり、上記のいずれかを等速で
揺動させることによって一層の効果を得ることができ
る。さらに、揺動させる場合には、揺動方向を開口部８
の長手方向とほぼ直角方向に揺動させることが好まし
い。この好ましい例によれば、開口部８のピッチに対応
した蒸着量の細かなムラを効果的に抑えることができ
る。なぜなら揺動方向がムラの発生する方向とほぼ一致
するためである。
コントロール板１、蒸着源２および透明基板３のいずれ
かひとつを他の２つに対して揺動させることが好まし
い。この好ましい例によれば、蒸着量分布コントロール
板１上に形成されている孔（開口部８）のピッチに対応
した蒸着量の細かなムラを抑えることができる。なぜな
ら、開口部８によって金属蒸気が通過する部分と、遮蔽
部７によって金属蒸気が遮られる部分とによって起こる
蒸着量の細かな不均一性が、蒸着量分布コントロール板
１を揺動することによって均一化されるからである。な
お、蒸着量分布コントロール板１、蒸着源２および透明
基板３のいずれかを揺動させる際には、揺動幅を開口部
８のピッチの整数倍としたり、上記のいずれかを等速で
揺動させることによって一層の効果を得ることができ
る。さらに、揺動させる場合には、揺動方向を開口部８
の長手方向とほぼ直角方向に揺動させることが好まし
い。この好ましい例によれば、開口部８のピッチに対応
した蒸着量の細かなムラを効果的に抑えることができ
る。なぜなら揺動方向がムラの発生する方向とほぼ一致
するためである。
【００３０】なお、本実施形態においては、蒸着源２が
点状蒸着源である場合について説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、例えば、蒸着源の形状が
線状あるいは面状であってもよい。蒸着源の形状を面状
とすれば、光量補正フィルターを形成する際の透過率の
コントロールを、より簡便化することができる。
点状蒸着源である場合について説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、例えば、蒸着源の形状が
線状あるいは面状であってもよい。蒸着源の形状を面状
とすれば、光量補正フィルターを形成する際の透過率の
コントロールを、より簡便化することができる。
【００３１】図７は、本発明の第二の実施形態に係る光
量補正フィルターの製造装置の概略構成図を示してい
る。本実施形態における光量補正フィルターの製造装置
は、真空にしたベルジャー４中に、蒸着量分布コントロ
ール板１、クローム陰極等の蒸着源２ｂおよび透明基板
３を設けて構成されている。蒸着源２ｂと透明基板３と
の間には、直流電源が接続されている。
量補正フィルターの製造装置の概略構成図を示してい
る。本実施形態における光量補正フィルターの製造装置
は、真空にしたベルジャー４中に、蒸着量分布コントロ
ール板１、クローム陰極等の蒸着源２ｂおよび透明基板
３を設けて構成されている。蒸着源２ｂと透明基板３と
の間には、直流電源が接続されている。
【００３２】本実施形態においては、両極（蒸着源２ｂ
と透明基板３と）に高電圧を加えてグロー放電させ、放
電に伴うスパッタリング現象によって、透明基板３に半
透明膜を形成させる。
と透明基板３と）に高電圧を加えてグロー放電させ、放
電に伴うスパッタリング現象によって、透明基板３に半
透明膜を形成させる。
【００３３】本実施形態と第一の実施形態との異なる点
は、第一の実施形態が真空蒸着によって透明基板に半透
明膜を形成させる構成となっているのに対して、本実施
形態がスパッタリングによって透明基板に半透明膜を形
成させる構成となっている点である。その他の構成につ
いては、基本的には、本実施形態と第一の実施形態とは
同様であり、本実施形態においても、蒸着量分布コント
ロール板１は、第一の実施形態と同様の構造を有し、同
様に機能する（図２〜図６参照）。
は、第一の実施形態が真空蒸着によって透明基板に半透
明膜を形成させる構成となっているのに対して、本実施
形態がスパッタリングによって透明基板に半透明膜を形
成させる構成となっている点である。その他の構成につ
いては、基本的には、本実施形態と第一の実施形態とは
同様であり、本実施形態においても、蒸着量分布コント
ロール板１は、第一の実施形態と同様の構造を有し、同
様に機能する（図２〜図６参照）。
【００３４】なお、以上の各実施形態において、蒸着源
の大きさをｓ、蒸着量分布コントロール板１上に形成さ
れている開口部のピッチをｐとすると、Ｌ’／Ｌ＝ｐ／
ｓ／ｎ（ｎは１以上の整数値）、または、Ｌ’／Ｌがｐ
／ｓに対して十分大きければ、開口部のピッチに相当す
る細かなムラを一層効果的に抑えることができる。
の大きさをｓ、蒸着量分布コントロール板１上に形成さ
れている開口部のピッチをｐとすると、Ｌ’／Ｌ＝ｐ／
ｓ／ｎ（ｎは１以上の整数値）、または、Ｌ’／Ｌがｐ
／ｓに対して十分大きければ、開口部のピッチに相当す
る細かなムラを一層効果的に抑えることができる。
【００３５】また、以上の各実施形態においては、モー
タ６とクランク５とを用いて蒸着量分布コントロール板
１を揺動させる場合について説明したが、本発明はこれ
らの構成に限定されるものではなく、例えば、モータと
カムとによる方法、ステッピングモータとボールネジと
による方法、あるいはリニアモータによる方法等の他の
方法を用いて蒸着量分布コントロール板１を揺動させて
もよい。
タ６とクランク５とを用いて蒸着量分布コントロール板
１を揺動させる場合について説明したが、本発明はこれ
らの構成に限定されるものではなく、例えば、モータと
カムとによる方法、ステッピングモータとボールネジと
による方法、あるいはリニアモータによる方法等の他の
方法を用いて蒸着量分布コントロール板１を揺動させて
もよい。
【００３６】また、以上の各実施形態においては、蒸着
されて半透明膜を形成する被蒸着物質として、インコー
ネルやクローム等を用いる場合について説明したが、本
発明はこれらの物質に限定されるものではなく、例え
ば、銀、ロジウム等の金属およびその他の無機物質等で
も、同様に適用することが可能であり、かつ、同様の効
果を得ることができる。
されて半透明膜を形成する被蒸着物質として、インコー
ネルやクローム等を用いる場合について説明したが、本
発明はこれらの物質に限定されるものではなく、例え
ば、銀、ロジウム等の金属およびその他の無機物質等で
も、同様に適用することが可能であり、かつ、同様の効
果を得ることができる。
【００３７】さらに、以上の各実施形態によれば、従来
技術において形成された光量補正フィルターよりも露光
時の光量分布の補正の精度が向上した光量補正フィルタ
ーを得ることができる。したがって、カラー受像管を構
成する前面パネルの露光等を行うカラー受像管製造用の
露光装置を構成する際に、この光量補正フィルターを用
いれば、カラー受像管の白色品質を効果的に向上させる
ことができる。この光量補正フィルターを用いて製造さ
れた実際のディスプレイ用カラー受像管においては、白
色ムラが殆ど感じられなかった。この効果を数値で示せ
ば、従来技術に係る製造方法においては、露光時のパネ
ル上における照度分布に５〜１５％程度の補正のこりが
あって、白色ムラが感知できるレベルであったが、本発
明に係る製造方法によれば、照度分布の差補正のこりを
５％以下に抑えることができ、白色品質を向上すること
ができた。これは、先に説明したように、ブラックマト
リックスサイズ分布を目標値に対して±５％以内におさ
めることができるからである。
技術において形成された光量補正フィルターよりも露光
時の光量分布の補正の精度が向上した光量補正フィルタ
ーを得ることができる。したがって、カラー受像管を構
成する前面パネルの露光等を行うカラー受像管製造用の
露光装置を構成する際に、この光量補正フィルターを用
いれば、カラー受像管の白色品質を効果的に向上させる
ことができる。この光量補正フィルターを用いて製造さ
れた実際のディスプレイ用カラー受像管においては、白
色ムラが殆ど感じられなかった。この効果を数値で示せ
ば、従来技術に係る製造方法においては、露光時のパネ
ル上における照度分布に５〜１５％程度の補正のこりが
あって、白色ムラが感知できるレベルであったが、本発
明に係る製造方法によれば、照度分布の差補正のこりを
５％以下に抑えることができ、白色品質を向上すること
ができた。これは、先に説明したように、ブラックマト
リックスサイズ分布を目標値に対して±５％以内におさ
めることができるからである。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
露光装置を複雑化することなく所望する透過率分布を正
確にかつ容易に実現できる光量補正フィルター、および
この光量補正フィルターの製造装置を得ることができ、
さらに、この光量補正フィルターを用いることにより、
カラー受像管の白色品質を向上させることが可能なカラ
ー受像管の製造方法を得ることができる。
露光装置を複雑化することなく所望する透過率分布を正
確にかつ容易に実現できる光量補正フィルター、および
この光量補正フィルターの製造装置を得ることができ、
さらに、この光量補正フィルターを用いることにより、
カラー受像管の白色品質を向上させることが可能なカラ
ー受像管の製造方法を得ることができる。
【図１】本発明の第一の実施形態に係る光量補正フィル
ターの製造装置の概略構成図
ターの製造装置の概略構成図
【図２】図１の光量補正フィルターの製造装置を構成す
る蒸着量分布コントロール板の拡大図
る蒸着量分布コントロール板の拡大図
【図３】蒸着量分布コントロール板の開口率の分布と光
量補正フィルターの透過率の分布との関係を示したグラ
フ
量補正フィルターの透過率の分布との関係を示したグラ
フ
【図４】蒸着量分布コントロール板の開口率と光量補正
フィルターの透過率との関係式のパラメータを示す図
フィルターの透過率との関係式のパラメータを示す図
【図５】蒸着量分布コントロール板の開口率と光量補正
フィルターの透過率との関係を示したグラフ
フィルターの透過率との関係を示したグラフ
【図６】本実施形態と従来技術とにおける透明基板上に
形成された光量補正フィルターの任意の軸上の透過率分
布と、それに対応するスクリーン面上のブラックマトリ
ックスのサイズとの関係を示したグラフ
形成された光量補正フィルターの任意の軸上の透過率分
布と、それに対応するスクリーン面上のブラックマトリ
ックスのサイズとの関係を示したグラフ
【図７】本発明の第二の実施形態に係る光量補正フィル
ターの製造装置の概略構成図
ターの製造装置の概略構成図
【図８】カラー受像管製造用の露光装置の概略構成図
【図９】従来技術に係る光量補正フィルターの製造装置
の概略構成図
の概略構成図
１ 蒸着量分布コントロール板 ２ 蒸着源 ２ｂ 蒸着源（クローム陰極） ３ 透明基板 ４ ベルジャー ５ クランク ６ モータ ７ 遮蔽部 ８ 開口部 ９ 光源部 １０ 補正レンズ １１ 光量補正フィルター １２ 前面パネル
Claims (7)
- 【請求項１】 真空引きされた容器内に、蒸着源と透明
基板と蒸着量分布コントロール板とを備え、前記蒸着源
と前記透明基板との間に前記蒸着量分布コントロール板
を配置し、前記透明基板に前記蒸着源の被蒸着物質を蒸
着させて光量補正フィルターを製造する光量補正フィル
ター製造装置において、前記透明基板に蒸着する被蒸着
物質の蒸着量を制御して、前記透明基板に所望する透過
率分布が得られるように、前記蒸着量分布コントロール
板に複数の開口部が形成されていることを特徴とする光
量補正フィルター製造装置。 - 【請求項２】 前記開口部の形状が、ストライプ状であ
る請求項１に記載の光量補正フィルター製造装置。 - 【請求項３】 前記蒸着源、前記透明基板および前記蒸
着量分布コントロール板の少なくとも一つが、他の部材
に対して揺動可能であるように構成されている請求項１
または２に記載の光量補正フィルター製造装置。 - 【請求項４】 前記揺動の方向が、前記蒸着量分布コン
トロール板に形成されている開口部の長手方向とほぼ直
角の方向である請求項３に記載の光量補正フィルター製
造装置。 - 【請求項５】 前記蒸着源の形状が、線状または面状で
ある請求項１から４のいずれか１項に記載の光量補正フ
ィルター製造装置。 - 【請求項６】 スパッタリングによって、前記透明基板
に前記蒸着源の被蒸着物質を蒸着させる請求項１から５
のいずれか１項に記載の光量補正フィルター製造装置。 - 【請求項７】 カラー受像管を構成する前面パネルに露
光を施す工程と、前記前面パネルを用いてカラー受像管
を製造する工程とを有するカラー受像管製造方法におい
て、前記前面パネルに露光を施す際に、請求項１から６
のいずれか１項に記載の光量補正フィルター製造装置で
製造された光量補正フィルターを用いることを特徴とす
るカラー受像管製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19210697A JP3505067B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 光量補正フィルター製造装置およびこの装置で製造された光量補正フィルターを用いたカラー受像管製造方法 |
| US09/107,004 US6235165B1 (en) | 1997-07-17 | 1998-06-30 | Method of making a light quantity correction filter and method of manufacturing a color cathode ray tube using the light quantity correction filter made by the method |
| US09/412,770 US6447963B2 (en) | 1997-07-17 | 1999-10-04 | Method of making a light quantity correction filter and method of manufacturing a color cathode ray tube using the light quantity correction filter made by the method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19210697A JP3505067B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 光量補正フィルター製造装置およびこの装置で製造された光量補正フィルターを用いたカラー受像管製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1138205A true JPH1138205A (ja) | 1999-02-12 |
| JP3505067B2 JP3505067B2 (ja) | 2004-03-08 |
Family
ID=16285766
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19210697A Expired - Fee Related JP3505067B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 光量補正フィルター製造装置およびこの装置で製造された光量補正フィルターを用いたカラー受像管製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6235165B1 (ja) |
| JP (1) | JP3505067B2 (ja) |
Cited By (2)
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3505067B2 (ja) | 2004-03-08 |
| US6235165B1 (en) | 2001-05-22 |
| US6447963B2 (en) | 2002-09-10 |
| US20010046633A1 (en) | 2001-11-29 |
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