JPH1138083A - Ic test handler - Google Patents

Ic test handler

Info

Publication number
JPH1138083A
JPH1138083A JP9203843A JP20384397A JPH1138083A JP H1138083 A JPH1138083 A JP H1138083A JP 9203843 A JP9203843 A JP 9203843A JP 20384397 A JP20384397 A JP 20384397A JP H1138083 A JPH1138083 A JP H1138083A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alarm
test
displayed
display
test handler
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9203843A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroki Ikeda
浩樹 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP9203843A priority Critical patent/JPH1138083A/en
Priority to KR1019980026857A priority patent/KR19990013599A/en
Priority to SG1998001751A priority patent/SG78307A1/en
Priority to TW087111247A priority patent/TW373076B/en
Priority to DE19831573A priority patent/DE19831573A1/en
Publication of JPH1138083A publication Critical patent/JPH1138083A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an IC test handler by which detailed information about an issued alarm can be easily obtained. SOLUTION: When any abnormality occurs during the ordinary action of an IC test handier, the display request of an alarm message is sent from a sequence control section 142 in a sequence control board 140 toward an input- output processing section 162 in a user interface(I/F) board 160. The input-output processing section 162 carrys out the display of the requested alarm message, and practices a helpfile housed in a hard disk device 182 to prepare a help picture corresponding to the alarm message, and many help pictures responding to an operators operation indication are displayed in answer to a need.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ等の
各種ICデバイスを試験する際にその搬送等を行うIC
テストハンドラに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC for transporting various IC devices such as semiconductor memories when testing them.
Regarding test handler.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体試験装置を用いて半導体メモリ等
のICデバイスの各種試験を行う場合に、試験対象とな
る複数個のICデバイスを所定の試験位置に設置する必
要がある。このようなICデバイスの設置作業を効率よ
く行うためにICテストハンドラが用いられる。
2. Description of the Related Art When performing various tests on IC devices such as semiconductor memories using a semiconductor test apparatus, it is necessary to install a plurality of IC devices to be tested at predetermined test positions. An IC test handler is used to efficiently perform such an IC device installation operation.

【0003】ICテストハンドラは、ICデバイスの搬
送や並べ替え等を行う機構部と、動作状態や異常を検出
する各種のセンサと、これらのセンサ出力に基づいて機
構部による各動作を制御する制御部と、オペレータが各
種の設定や動作指示を入力する操作部と、各種設定画面
表示や異常発生時のアラーム表示を行うパネルディスプ
レイとを含んで構成されている。上述した制御部は、各
種センサの出力を監視することにより、供給されたIC
デバイスの搬送状態等を検出しており、搬送途中でIC
デバイスの落下等の異常が生じた場合には、直ちに搬送
動作を停止させ、赤色灯の点滅やアラーム表示を行うよ
うになっている。
[0003] The IC test handler includes a mechanism for transporting and rearranging IC devices, various sensors for detecting operating states and abnormalities, and control for controlling each operation by the mechanism based on the output of these sensors. Unit, an operation unit for the operator to input various settings and operation instructions, and a panel display for displaying various setting screens and displaying an alarm when an abnormality occurs. The above-described control unit monitors the output of various sensors to supply the supplied IC.
Detects the transport status of the device, etc.
When an abnormality such as a device drop occurs, the transport operation is immediately stopped, and a red light flashes and an alarm is displayed.

【0004】例えば、ICデバイスの落下等の異常発生
時のアラーム表示は、ICテストハンドラに備わってい
るパネルディスプレイに、発生した異常の種類に対応し
て予め用意されている数十桁の各種のアラームコードを
表示することにより行われる。
[0004] For example, when an abnormality such as a drop of an IC device occurs, an alarm is displayed on a panel display provided in the IC test handler in the order of several tens of digits prepared in advance corresponding to the type of abnormality that has occurred. This is done by displaying an alarm code.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したI
Cテストハンドラにおいて異常が発生した際のアラーム
表示は、パネルディスプレイに所定のアラームコードを
表示することによって行われるため、このアラームコー
ドを見ただけではその内容を把握しにくいという問題が
ある。通常は、各種のアラームコードに対応してその発
生原因やアラーム解除の方法等が記載されたマニュアル
本が用意されており、オペレータは、このマニュアル本
を調べることにより、発生したアラームについての詳細
な情報を得ることができる。
By the way, the above-mentioned I
Since an alarm is displayed by displaying a predetermined alarm code on the panel display when an abnormality occurs in the C test handler, there is a problem that it is difficult to grasp the contents only by looking at the alarm code. Normally, a manual book is prepared that describes the cause of the alarm code and how to reset the alarm in response to various alarm codes, and the operator can check this manual book for detailed information on the alarm that has occurred. Information can be obtained.

【0006】ところが、アラームの発生原因は多岐にわ
たるため(例えばアラームにはジャム、エラー、ステー
タス、ガイドなどがある)、不慣れなオペレータがマニ
ュアル本を調べてアラームの発生原因を探すことは容易
ではない。通常、マニュアル本に記載されている各種の
アラームに関する説明は、ICテストハンドラを操作し
たことがある熟練者を対象に書かれていることが多く、
技術用語による短い表現が用いられている。したがっ
て、必ずしも不慣れなオペレータが理解しやすいとは限
らない。反対に、誰でもが理解できるような表現を用い
て詳細に説明することも考えられるが、技術用語を用い
ない説明では、熟練したオペレータに分かりづらくな
る。
However, since the causes of alarm generation are various (for example, alarms include jams, errors, statuses, and guides), it is not easy for an unskilled operator to search a manual book to find the cause of the alarm. . Usually, descriptions of various alarms described in a manual book are often written for a skilled person who has operated an IC test handler.
Short expressions in technical terms are used. Therefore, it is not always easy for an unskilled operator to understand. Conversely, detailed explanations may be made using expressions that can be understood by anyone. However, explanations that do not use technical terms make it difficult for a skilled operator to understand.

【0007】また、ICテストハンドラ自体の製品寿命
は10年から15年程度であり、使用期間内に試験対象
となるICデバイスの追加や変更等に伴うソフトウエア
の変更が生じた場合には、その都度マニュアル本全体あ
るいはその一部を差し替える必要があるが、この差し替
え作業が適切なタイミングで行われないと、表示された
アラームコードとマニュアル本の記載内容との対応がと
れなくなって、アラーム原因や解除の方法を調べること
は困難となる。例えば、マニュアル本の差し替えページ
の配布を利用者からの申し込みに応じて有料で行う場合
であってこの申し込みが行われていない場合や、差し替
えページはあるがマニュアル本の該当ページの差し替え
作業が行われていない場合等においては、実際に表示さ
れるアラームコードとマニュアル本に記載された内容と
の対応がとれないことになる。
[0007] The product life of the IC test handler itself is about 10 to 15 years, and if the software changes due to the addition or change of the IC device to be tested during the use period, It is necessary to replace the entire manual or a part of it each time, but if this replacement is not performed at the appropriate time, the displayed alarm code will not be able to correspond to the contents of the manual, and the cause of the alarm will be lost. It is difficult to find out how to do this. For example, a manual book replacement page may be distributed for a fee in response to an application from a user and this application has not been made, or if there is a replacement page but the relevant manual book page is replaced. In the case where the alarm code is not set, there is no correspondence between the actually displayed alarm code and the content described in the manual.

【0008】このように、アラーム発生からアラーム解
除までの一連の対処方法を、マニュアル本を調べること
により誰もが理解することは容易ではなく、熟練度等に
よらずに誰でもが、簡単にアラーム内容や解除方法を理
解できる方法が望まれていた。
As described above, it is not easy for anyone to understand the series of coping methods from the occurrence of an alarm to the release of the alarm by examining the manual book. There was a need for a method that can understand the contents of alarms and how to reset them.

【0009】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、発生したアラームに関する
詳細な情報を容易に得ることができるICテストハンド
ラを提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an IC test handler capable of easily obtaining detailed information on an alarm that has occurred.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のICテストハンドラは、異常検出手段
によって異常の発生を検出したときにアラーム表示手段
によって所定のアラーム表示を行うとともに、ヘルプフ
ァイル格納手段に格納されているヘルプファイルをヘル
プ機能実行手段によって実行することにより、表示され
たアラームの内容解説と解除方法についての詳細情報を
表示する。このように、アラームに対応したヘルプファ
イルを備えることにより、発生したアラームに関する詳
細な情報を容易に得ることができる。また、ICテスト
ハンドラで使用されるソフトウエアを変更したためにア
ラームの解除方法等が変更された場合であっても、この
ソフトウエアの変更と同時にヘルプファイルの内容更新
を行うことにより、発生したアラームとその解除方法等
との対応をとることができる。
In order to solve the above-mentioned problems, an IC test handler of the present invention displays a predetermined alarm by an alarm display means when an abnormality is detected by an abnormality detection means, By executing the help file stored in the help file storage means by the help function execution means, the contents of the displayed alarm and detailed information on the canceling method are displayed. As described above, by providing the help file corresponding to the alarm, detailed information on the generated alarm can be easily obtained. Also, even if the method of resetting the alarm is changed because the software used in the IC test handler is changed, the contents of the help file are updated at the same time as the software change, and the And its release method.

【0011】また、上述したヘルプ機能実行手段によっ
て対話型処理を行って、説明文、図、表、静止画、動
画、アニメーションの少なくとも一つを用いて詳細情報
の表示を行うことにより、発生したアラームに関する内
容解説や解除方法が誰にでも分かりやすくなる。特に、
表示画面の所定箇所が選択指示されたときに、ヘルプ機
能実行手段によって、表示する詳細情報の内容を段階的
に切り替えることにより、オペレータの熟練度等に応じ
て適切な内容の詳細情報を表示させることができる。例
えば、最初は簡単な説明文を表示し、さらに詳細な説明
を求める指示がなされた場合には、詳細な説明文や図、
静止画あるいは動画等を用いて、各オペレータの理解力
に応じた内容表示を行うことができる。
Also, the above-mentioned help function executing means performs interactive processing to display detailed information using at least one of a description, a figure, a table, a still image, a moving image, and an animation. The description of the contents of the alarm and how to reset it will be easy for anyone to understand. Especially,
When a predetermined portion of the display screen is instructed to be selected, the content of the detailed information to be displayed is switched stepwise by the help function executing means, so that the detailed information having an appropriate content is displayed according to the skill level of the operator. be able to. For example, at first, a simple explanation is displayed, and when an instruction for a more detailed explanation is given, a detailed explanation, a figure,
By using a still image or a moving image, the content can be displayed according to the understanding of each operator.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明を適用した一実施形態のI
Cテストハンドラは、何らかの異常が生じてアラーム表
示を行ったときに、熟練度等が異なるオペレータの要求
に応じて、発生したアラームの詳細内容とアラーム解除
を行う方法を画面に表示させることに特徴がある。以
下、一実施形態のICテストハンドラについて、図面を
参照しながら詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention is shown in FIG.
The C test handler is characterized in that, when an alarm is displayed due to some abnormality, the details of the generated alarm and a method for canceling the alarm are displayed on the screen in response to a request from an operator having a different skill level. There is. Hereinafter, an IC test handler according to an embodiment will be described in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は、一実施形態のICテストハンドラ
の外観図であり、一例として水平搬送方式のICテスト
ハンドラの正面図が示されている。同図に示すICテス
トハンドラ100は、複数のカストマトレイの供給と回
収を行うために開閉される開閉扉110と、各種の設定
を行うために必要な操作画面表示や異常発生時に所定の
アラーム表示を行う表示部としてのLCD(液晶表示装
置)112と、試験対象となるICデバイスやこれを載
せたカストマトレイに関する各種の設定値や動作指示等
を入力する操作部としてのキーボード114と、動作状
態に応じて異なる色の照明を点灯あるいは点滅させるシ
グナルタワー116とを備えている。
FIG. 1 is an external view of an IC test handler according to an embodiment. As an example, a front view of a horizontal transport type IC test handler is shown. The IC test handler 100 shown in the figure has an opening / closing door 110 that is opened and closed to supply and collect a plurality of custom trays, an operation screen display required for performing various settings, and a predetermined alarm display when an abnormality occurs. (Liquid Crystal Display) 112 as a display unit for performing an operation, a keyboard 114 as an operation unit for inputting various setting values, operation instructions, and the like relating to an IC device to be tested and a custom tray on which the IC device is mounted, and an operation state And a signal tower 116 for lighting or blinking lights of different colors in accordance with the signal tower.

【0014】図2は、図1に外観を示したICテストハ
ンドラ100の機構部の概略構成を示す図である。同図
に示すように、ICテストハンドラ100は、供給され
たICデバイスを加熱した後に所定位置まで搬送し、試
験終了後に冷却して取り出すための機構部として、スト
ッカ122、吸着ヘッド126、ローダ128、ソーク
チャンバ130、テストチャンバ132、アンソークチ
ャンバ136、アンローダ138を備えている。
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a mechanical section of the IC test handler 100 shown in FIG. As shown in the figure, the IC test handler 100 transports the supplied IC device to a predetermined position after heating, cools and removes the IC device after the test is completed, and the IC test handler 100 includes a stocker 122, a suction head 126, and a loader 128. , A soak chamber 130, a test chamber 132, an unsoak chamber 136, and an unloader 138.

【0015】カストマトレイ120は、複数個のICデ
バイス118を収容する容器であり、ICデバイス11
8の品種や形状に応じて異なったものが使用される。こ
のカストマトレイ120は、ICテストハンドラ100
のユーザによって用意され、形状にある程度の自由度が
許容されるため、予めサイズ等の各種データを設定する
必要がある。
The custom tray 120 is a container for accommodating a plurality of IC devices 118, and
Different types are used depending on the type and shape of the eight types. This custom tray 120 is used for the IC test handler 100.
It is necessary to set various data such as the size in advance because the user has some degree of freedom in the shape.

【0016】ストッカ122は、試験前のICデバイス
118を載せたカストマトレイ120や、試験終了後に
試験結果に基づいてカテゴリ別に分類した各ICデバイ
ス118を載せたカストマトレイ120を収容するため
のものである。ストッカ122は、カストマトレイ12
0を多数段積み重ねた積層部を有しており、これが複数
配置されている。ICデバイス118をローダ128側
に供給する場合には、この積層部の最上段のカストマト
レイ120に載っているICデバイス118をピックア
ップしてテストトレイ124に載せた後、ローダ128
側に移送する。積層部の最上段のカストマトレイ120
が空になると、この空トレイを最下段に移動させた後、
エレベータ(図示せず)が上昇して2段目のカストマト
レイ120を最上段に押し上げ、ICデバイス118の
供給が継続される。また、アンローダ138側からIC
デバイス118を収納する場合には、テストトレイ12
4上のICデバイス118を積層部の最上段にある空の
カストマトレイ120上に移送し、所定数のICデバイ
ス118を載せたカストマトレイ120を順次降下させ
ることにより収容が行われる。
The stocker 122 is for accommodating the custom tray 120 on which the IC devices 118 before the test are mounted, and the custom tray 120 mounting the IC devices 118 classified by category based on the test result after the test is completed. is there. The stocker 122 is used for
It has a lamination portion in which a large number of 0s are stacked, and a plurality of these laminations are arranged. When the IC device 118 is supplied to the loader 128 side, the IC device 118 mounted on the uppermost stack tray 120 of the stacking portion is picked up and placed on the test tray 124, and then the loader 128 is loaded.
Transfer to the side. Kasuterei 120 at the top of the stack
When is empty, after moving this empty tray to the bottom,
The elevator (not shown) rises and pushes the second-stage custom tray 120 to the uppermost level, and the supply of the IC device 118 is continued. Also, the IC from the unloader 138 side
When storing the device 118, the test tray 12
4 is transferred onto an empty custom tray 120 at the top of the stacking section, and the custom tray 120 on which a predetermined number of IC devices 118 are mounted is sequentially lowered to be accommodated.

【0017】上述したストッカ122は、図1に示した
開閉扉110を開けた位置にあり、オペレータは、通常
の試験動作においてはこのストッカ122の所定位置に
カストマトレイ120を供給する作業と、ストッカ12
2から試験終了後のICデバイス118が載ったカスト
マトレイ120を回収する作業とを行う。
The above-mentioned stocker 122 is located at a position where the opening and closing door 110 shown in FIG. 1 is opened. In a normal test operation, an operator supplies the custom tray 120 to a predetermined position of the stocker 122, 12
From 2, the operation of collecting the custom tray 120 on which the IC device 118 after the test is mounted is performed.

【0018】上述したカストマトレイ120からテスト
トレイ124へのICデバイス118の載せ変え、ある
いはテストトレイ124からカストマトレイ120への
ICデバイス118の載せ換えは、吸着ヘッド126に
よって行われる。吸着ヘッド126は、ヘッド内部を負
圧にすることによりICデバイス118をピックアップ
するとともに、この負圧状態を解除することにより、保
持しているICデバイス118を解放する。
The replacement of the IC device 118 from the custom tray 120 to the test tray 124 or the replacement of the IC device 118 from the test tray 124 to the custom tray 120 is performed by the suction head 126. The suction head 126 picks up the IC device 118 by applying a negative pressure to the inside of the head, and releases the held IC device 118 by releasing the negative pressure state.

【0019】ローダ128は、ストッカ122のいずれ
かの積層部の最上段にあるカストマトレイ120上のI
Cデバイス118を吸着ヘッド126によってピックア
ップしてテストトレイ124に載せた後に、このテスト
トレイ124をソークチャンバ130に向けて搬送す
る。
The loader 128 is provided on the top of the custom tray 120 at the top of any one of the stackers 122.
After the C device 118 is picked up by the suction head 126 and placed on the test tray 124, the test tray 124 is transported toward the soak chamber 130.

【0020】ソークチャンバ130は、試験前のICデ
バイス118を加熱あるいは冷却して所定温度に維持す
る恒温槽であり、複数のテストトレイ124を収納す
る。ローダ128によって搬送されたテストトレイ12
4は、ソークチャンバ130の最上段にセットされた
後、順次1段ずつ降下する。この降下時間を所定値に設
定することにより、所望の到達温度に達するまでICデ
バイス118の加熱あるいは冷却が行われる。テストト
レイ124は、ソークチャンバ130の最下段に到達し
た後排出されて、テストチャンバ132に搬送される。
The soak chamber 130 is a constant temperature bath for heating or cooling the IC device 118 before the test to maintain the IC device 118 at a predetermined temperature, and stores a plurality of test trays 124. Test tray 12 transported by loader 128
4 is set at the uppermost stage of the soak chamber 130 and then descends one stage at a time. By setting the descent time to a predetermined value, heating or cooling of the IC device 118 is performed until a desired temperature is reached. After reaching the lowermost stage of the soak chamber 130, the test tray 124 is discharged and transported to the test chamber 132.

【0021】テストチャンバ132は、所定温度に維持
されたICデバイス118に対して各種の機能試験を実
施するための恒温槽である。テストチャンバ132で
は、ソークチャンバ130から排出されたテストトレイ
124上の各ICデバイス118を個々にピックアップ
してコンタクト部134に移動させて、各ICデバイス
118に対する各種の機能試験が実施され、試験終了後
にこのICデバイス118が元のテストトレイ124に
収容される。コンタクト部134には、複数個のICソ
ケット(図示せず)が設けられており、これらのそれぞ
れにICデバイス118を装着した後にICデバイス1
18の各端子にテストヘッド(図示せず)を接触させる
ことによりICデバイス118と半導体試験装置200
との電気的な接続を行う。このようにして電気的な接続
が完了した後、半導体試験装置200は、ICデバイス
118に対する機能試験を実施する。テストトレイ12
4上の全てのICデバイス118に対する試験が終了す
ると、このテストトレイ124はアンソークチャンバ1
36側に搬送される。
The test chamber 132 is a thermostat for performing various functional tests on the IC device 118 maintained at a predetermined temperature. In the test chamber 132, each IC device 118 on the test tray 124 discharged from the soak chamber 130 is individually picked up and moved to the contact portion 134, and various functional tests are performed on each IC device 118, and the test ends. Later, the IC device 118 is stored in the original test tray 124. The contact portion 134 is provided with a plurality of IC sockets (not shown), and the IC device 118 is mounted on each of these IC sockets.
By contacting a test head (not shown) with each terminal of the IC device 118 and the semiconductor test apparatus 200
Make an electrical connection with the After the electrical connection is completed in this way, the semiconductor test apparatus 200 performs a function test on the IC device 118. Test tray 12
When the tests on all the IC devices 118 on the test device 4 are completed, the test tray 124 is placed in the unsoak chamber 1.
It is transported to the 36 side.

【0022】アンソークチャンバ136は、急激な温度
ストレスの印加や結露を防止するために、試験時に高温
あるいは低温状態にあるICデバイス118を緩やかに
冷却あるいは加熱して常温に戻す恒温槽である。ICデ
バイス118の試験が終了したテストトレイ124がア
ンソークチャンバ136の最下段に収容された後、順次
1段ずつ上昇し、最上段に達するまでにICデバイス1
18の温度が常温に戻される。最上段にあるテストトレ
イ124は、アンソークチャンバ136から排出され
て、アンローダ138に向けて搬送される。
The unsoak chamber 136 is a constant temperature bath that slowly cools or heats the IC device 118 that is in a high or low temperature state during a test and returns it to normal temperature in order to prevent sudden application of temperature stress and dew condensation. After the test tray 124 in which the test of the IC device 118 has been completed is stored in the lowermost stage of the unsoak chamber 136, the test tray 124 is sequentially moved up by one stage and reaches the uppermost stage.
The temperature of 18 is returned to normal temperature. The test tray 124 at the top is discharged from the unsoak chamber 136 and transported to the unloader 138.

【0023】アンローダ138は、アンソークチャンバ
136から排出された試験終了後のICデバイス118
を良否あるいは特性別に分類して、対応するカストマト
レイ120に移送する。どの分類に属するICデバイス
118をどのカストマトレイ120に分配するかは、予
め設定されている。
The unloader 138 is a part of the IC device 118 discharged from the unsoak chamber 136 after the test.
Are classified according to pass / fail or characteristics, and transferred to the corresponding custom tray 120. Which classification the IC devices 118 belong to and which custom trays 120 to distribute are set in advance.

【0024】上述したカストマトレイ120やテストト
レイ124の搬送制御、ソークチャンバ130やアンソ
ークチャンバ136における加熱冷却制御、ICデバイ
ス118の識別管理制御等の一連の制御がシーケンス制
御部(後述する)によって行われる。
A sequence control unit (described later) performs a series of controls such as the above-described transport control of the custom tray 120 and the test tray 124, heating and cooling control in the soak chamber 130 and the unsoak chamber 136, and identification management control of the IC device 118. Done.

【0025】図3は、本実施形態のICテストハンドラ
100の動作を制御する制御機構の概略を示すブロック
図である。図3に示すように、本実施形態のICテスト
ハンドラ100は、図2に示す機構部の動作を制御して
半導体試験装置200による機能試験を実施するために
必要な構成を備えるシーケンス制御ボード140と、オ
ペレータが各種の設定データを入力したりオペレータに
対してアラーム表示等を行うために必要な構成を備える
ユーザインタフェース(I/F)ボード160と、ロー
ダ128やアンローダ138を移動させるパルスモータ
やサーボモータ(図示せず)を回転駆動するモータコン
トローラ(MC)170、172と、ICデバイス11
8のピックアップや解放を行うとともにその保持状態を
検出するために各吸着ヘッド126毎に設けられる電磁
弁174および吸着センサ176とを含んで構成されて
いる。
FIG. 3 is a block diagram schematically showing a control mechanism for controlling the operation of the IC test handler 100 according to the present embodiment. As shown in FIG. 3, the IC test handler 100 according to the present embodiment has a sequence control board 140 having a configuration necessary for controlling the operation of the mechanical unit shown in FIG. A user interface (I / F) board 160 provided with a configuration necessary for the operator to input various setting data and display an alarm to the operator, a pulse motor for moving the loader 128 and the unloader 138, Motor controllers (MC) 170 and 172 for rotationally driving a servo motor (not shown), and the IC device 11
8 includes an electromagnetic valve 174 and a suction sensor 176 provided for each suction head 126 for picking up and releasing the pickup 8 and detecting its holding state.

【0026】シーケンス制御ボード140は、シーケン
ス制御部142、入出力制御部144、温度制御部14
6、ユーザインタフェース(I/F)変換部148、テ
スタインタフェース(I/F)部150とを含んで構成
されている。シーケンス制御部142は、プロセッサと
メモリを含んでおり、複数のタスクの並列処理が可能な
専用のオペレーティングシステム(OS)を用いて所定
のプログラムを実行することにより実現される。入出力
制御部144は、シーケンス制御部142からの指示に
応じて、図2に示した機構部の動作を制御するためのも
のであり、モータコントローラ170、172や電磁弁
174に対して動作指示を送る。また、入出力制御部1
44は、吸着センサ176の出力を検出してICデバイ
ス118の有無をシーケンス制御部142に知らせる。
温度制御部146は、ソークチャンバ130、アンソー
クチャンバ136およびテストチャンバ132の温度を
制御する。ユーザインタフェース変換部148は、シー
ケンス制御ボード140とユーザインタフェースボード
160との間のデータの入出力を制御するためのもので
ある。
The sequence control board 140 includes a sequence control unit 142, an input / output control unit 144, and a temperature control unit 14.
6, a user interface (I / F) conversion unit 148, and a tester interface (I / F) unit 150. The sequence control unit 142 includes a processor and a memory, and is realized by executing a predetermined program using a dedicated operating system (OS) capable of parallel processing of a plurality of tasks. The input / output control unit 144 is for controlling the operation of the mechanism unit shown in FIG. 2 in accordance with an instruction from the sequence control unit 142, and instructs the motor controllers 170 and 172 and the solenoid valve 174 to operate. Send. Also, the input / output control unit 1
44 detects the output of the suction sensor 176 and notifies the sequence controller 142 of the presence or absence of the IC device 118.
The temperature control unit 146 controls the temperatures of the soak chamber 130, the unsoak chamber 136, and the test chamber 132. The user interface conversion unit 148 controls data input / output between the sequence control board 140 and the user interface board 160.

【0027】ユーザインタフェースボード160は、入
出力処理部162および入出力インタフェース(I/
F)部164を含んで構成されている。入出力処理部1
62は、プロセッサとメモリを含んだパーソナルコンピ
ュータ本体(パソコン本体)であり、一般のパーソナル
コンピュータで汎用されているオペレーティングシステ
ム(例えばマイクロソフト社のWindows(登録商
標))を用いて、各種データの入力や表示およびアラー
ム発生時には所定のヘルプ画面の表示を行う。入出力イ
ンタフェース部164は、入出力処理部162とLCD
112、キーボード114、マウス180、ハードディ
スク装置(HDD)182、スピーカ184とを接続す
るためのものであり、接続する機器に応じた所定の規格
に適合したコネクタ形状を有する。また、ハードディス
ク装置182には、上述したヘルプ画面表示に必要なヘ
ルプファイルが格納されている。
The user interface board 160 includes an input / output processing unit 162 and an input / output interface (I /
F) section 164 is included. Input / output processing unit 1
Reference numeral 62 denotes a personal computer main body (personal computer main body) including a processor and a memory, and inputs and outputs various data by using an operating system (for example, Windows (registered trademark) of Microsoft Corporation) widely used in general personal computers. When a display and an alarm occur, a predetermined help screen is displayed. The input / output interface unit 164 includes an input / output processing unit 162 and an LCD.
The connector 112 is for connecting the keyboard 112, the keyboard 114, the mouse 180, the hard disk drive (HDD) 182, and the speaker 184, and has a connector shape conforming to a predetermined standard corresponding to a device to be connected. The hard disk device 182 stores a help file necessary for displaying the help screen described above.

【0028】上述したシーケンス制御部142、入出力
制御部144および吸着センサ176が異常検出手段
に、入出力処理部162およびLCD112がアラーム
表示手段に、ハードディスク装置182がヘルプファイ
ル格納手段に、入出力処理部162がヘルプ機能実行手
段にそれぞれ対応する。
The above-described sequence control unit 142, input / output control unit 144 and suction sensor 176 serve as abnormality detecting means, the input / output processing unit 162 and LCD 112 serve as alarm display means, the hard disk drive 182 serves as help file storage means, and the input / output means. The processing units 162 each correspond to a help function execution unit.

【0029】本実施形態のICテストハンドラ100
は、上述した構成を有しており、次に通常動作において
何らかの異常が発生してアラーム表示を行う場合の動作
を説明する。例えば、通常動作としてカストマトレイ1
20からテストトレイ124にICデバイス118を載
せ換える動作を考え、その途中でICデバイス118が
落下するものとする。
The IC test handler 100 according to the present embodiment
Has the above-described configuration, and an operation when an alarm is displayed when some abnormality occurs in the normal operation will be described next. For example, as a normal operation,
Consider an operation of replacing the IC device 118 on the test tray 124 from 20 and assume that the IC device 118 falls during the operation.

【0030】図4は、カストマトレイ120からテスト
トレイ124に載せ換える場合の動作手順を示す流れ図
であり、図3に示すシーケンス制御部142によって実
行される動作タスクによって一連の動作が行われる。
FIG. 4 is a flow chart showing an operation procedure when changing from the custom tray 120 to the test tray 124. A series of operations are performed by an operation task executed by the sequence control unit 142 shown in FIG.

【0031】まず、シーケンス制御部142によって実
行される動作タスク(本実施形態では、通常動作を行う
種々のタスクを総括して動作タスクと称して説明を行う
ものとする)は、入出力制御部144を介して電磁弁1
74を駆動し、吸着ヘッド126によってカストマトレ
イ120上のICデバイス118の吸着を行う(ステッ
プ401)。吸着動作終了後に、動作タスクは、入出力
制御部144に入力される吸着センサ176の出力に基
づいて、吸着ヘッド126の先端にICデバイス118
が吸着されているか否かを確認する(ステップ40
2)。
First, an operation task executed by the sequence control unit 142 (in the present embodiment, various tasks for performing a normal operation will be collectively referred to as an operation task) will be described below. 144 via solenoid valve 1
The IC 74 is driven to suck the IC device 118 on the custom tray 120 by the suction head 126 (step 401). After the end of the suction operation, the operation task is based on the output of the suction sensor 176 input to the input / output control unit 144 and the IC device 118 is attached to the tip of the suction head 126.
It is confirmed whether or not is adsorbed (step 40).
2).

【0032】ICデバイス118が吸着されていること
を確認すると、次に動作タスクは、ICデバイス118
を吸着した状態で吸着ヘッド126を上昇させ(ステッ
プ403)、位置センサ(図示せず)によってICデバ
イス118が所定位置に達したことを確認して上昇動作
を停止する(ステップ404)。その後、動作タスク
は、吸着センサ176の出力に基づいて、上昇動作にお
いて吸着ヘッド126からICデバイス118が落下し
たか否かを確認する(ステップ405)。
After confirming that the IC device 118 is being sucked, the operation task proceeds to the next step.
The suction head 126 is lifted in a state in which the IC device 118 is sucked (step 403), and it is confirmed that the IC device 118 has reached a predetermined position by a position sensor (not shown), and the lifting operation is stopped (step 404). Thereafter, the operation task checks whether or not the IC device 118 has dropped from the suction head 126 in the ascent operation based on the output of the suction sensor 176 (Step 405).

【0033】ICデバイス118が落下していないこと
を確認すると、次に動作タスクは、吸着ヘッド126が
取り付けされたアームを移動させるモータ(図示せず)
を回転駆動し、吸着ヘッド126を水平方向に移動させ
ることによりICデバイスの搬送を行い(ステップ40
6)、モータの搬送距離により停止位置を確認して搬送
動作を終了する(ステップ407)。その後、動作タス
クは、吸着センサ176の出力に基づいて、搬送動作に
おいて吸着ヘッド126からICデバイス118が落下
したか否かを確認する(ステップ408)。
After confirming that the IC device 118 has not fallen, the operation task is next to a motor (not shown) for moving the arm on which the suction head 126 is mounted.
Is rotated to move the suction head 126 in the horizontal direction to carry the IC device (step 40).
6), the stop position is confirmed based on the transport distance of the motor, and the transport operation ends (step 407). Thereafter, the operation task checks whether or not the IC device 118 has dropped from the suction head 126 in the transport operation based on the output of the suction sensor 176 (Step 408).

【0034】ICデバイス118が落下していないこと
を確認すると、次に動作タスクは、ICデバイスを吸着
した状態で吸着ヘッド126を下降させ(ステップ40
9)、位置センサによってICデバイス118が所定位
置に達したことを確認して下降動作を停止する(ステッ
プ410)。その後、動作タスクは、吸着センサ176
の出力に基づいて、下降動作において吸着ヘッド126
からICデバイス118が落下したか否かを確認する
(ステップ411)。
After confirming that the IC device 118 has not dropped, the operation task is to lower the suction head 126 with the IC device being suctioned (step 40).
9) When the position sensor confirms that the IC device 118 has reached the predetermined position, the lowering operation is stopped (step 410). Thereafter, the operation task is performed by the suction sensor 176.
Based on the output of the suction head 126 in the descending operation.
It is checked whether or not the IC device 118 has dropped (step 411).

【0035】ところで、動作タスクは、上述したステッ
プ402、405、408、411のそれぞれにおい
て、ICデバイス118が落下したか否かを確認してい
るが、例えばステップ409の下降動作中にICデバイ
ス118が落下すると、その異常事態を検出し(ステッ
プ412)、シーケンス制御部142によって実行され
る状態管理タスク(以後、単に「状態管理タスク」と称
する)に対してアラームの出力を要請する(ステップ4
13)。
By the way, the operation task checks whether or not the IC device 118 has dropped in each of the above-mentioned steps 402, 405, 408, and 411. Falls, the abnormal state is detected (step 412), and an alarm is requested to be output to a state management task (hereinafter, simply referred to as “state management task”) executed by the sequence control unit 142 (step 4).
13).

【0036】図5は、通常動作中に異常が発生した場合
のICテストハンドラ100の動作手順を示す流れ図で
あり、状態管理タスクによって行われる動作が示されて
いる。動作タスクからアラームの出力要請を受けた状態
管理タスクは、現在出力されているアラームと重複した
アラームの要請でないことを確認し(ステップ50
1)、このアラームの累積発生数をカウントアップする
(ステップ502)。なお、現在出力されているアラー
ムと重複したアラームの出力要請がなされる場合とは、
発生したアラームの原因となる異常事態を解除せずに動
作の再スタートが指示されて、同一の原因に基づいてア
ラームの出力要請がなされる場合であり、上述した累積
発生数のカウントアップの動作等は行われない。また、
同一のアラームの累積発生数が頻繁にカウントアップさ
れて大きな値になると、構造上の不具合のおそれがある
ため、この累積発生数を監視することにより、早期の対
策を立てることができる。
FIG. 5 is a flowchart showing the operation procedure of the IC test handler 100 when an abnormality occurs during the normal operation, and shows the operation performed by the state management task. The status management task, which has received the alarm output request from the operation task, confirms that the alarm output request does not overlap with the currently output alarm (step 50).
1), the cumulative number of occurrences of this alarm is counted up (step 502). When an alarm output request that duplicates the currently output alarm is made,
This is the case where the restart of the operation is instructed without canceling the abnormal situation that caused the alarm that has occurred, and an alarm output request is made based on the same cause. Is not performed. Also,
If the cumulative number of occurrences of the same alarm is frequently counted up and becomes a large value, there is a risk of structural failure. Therefore, by monitoring the cumulative number of occurrences, an early measure can be taken.

【0037】次に、状態管理タスクは、ユーザインタフ
ェース変換部148を介して、ユーザインタフェースボ
ード160内の入出力処理部162に対してアラームメ
ッセージの表示を依頼し、入出力処理部162によって
LCD112の画面上に所定のアラーム表示が行われる
(ステップ503)。また、状態管理タスクは、入出力
制御部144を介してアラームブザー(図示せず)から
異常事態を知らせる警告音を出力し(ステップ50
4)、シグナルタワー116を赤色点滅させるとともに
(ステップ505)、ICテストハンドラ100全体の
動作を停止させる(ステップ506)。
Next, the status management task requests the input / output processing unit 162 in the user interface board 160 to display an alarm message via the user interface conversion unit 148, and the input / output processing unit 162 displays the alarm message on the LCD 112. A predetermined alarm is displayed on the screen (step 503). Further, the state management task outputs a warning sound from an alarm buzzer (not shown) via the input / output control unit 144 to notify an abnormal situation (step 50).
4) The signal tower 116 flashes red (step 505), and the operation of the entire IC test handler 100 is stopped (step 506).

【0038】このようにして、状態管理タスクによっ
て、異常事態発生時の一連の処理が行われ、オペレータ
によって通常動作の再スタートの指示が行われるまで、
ICテストハンドラ100全体の動作停止状態が維持さ
れる。
In this manner, the state management task performs a series of processes when an abnormal situation occurs, and continues until the operator gives an instruction to restart the normal operation.
The operation stop state of the entire IC test handler 100 is maintained.

【0039】次に、上述した状態管理タスクからアラー
ムの表示依頼を受けた入出力処理部162のアラーム表
示動作について説明する。図6は、入出力処理部162
によって行われるアラーム表示の動作手順を示す流れ図
である。状態管理タスクからのアラーム表示依頼を受け
取ると、入出力処理部162は、発生した異常事態に対
応した所定のアラームメッセージを表示するとともに
(ステップ601)、この内容の補足説明を行うため
に、予め用意されているヘルプファイルを起動する(ス
テップ602)。
Next, an alarm display operation of the input / output processing unit 162 that has received an alarm display request from the state management task will be described. FIG. 6 shows the input / output processing unit 162
Is a flowchart showing an operation procedure of an alarm display performed by the CPU. Upon receiving the alarm display request from the state management task, the input / output processing unit 162 displays a predetermined alarm message corresponding to the abnormal situation that has occurred (step 601), and additionally provides a supplementary explanation of the contents. The prepared help file is started (step 602).

【0040】図7は、アラームメッセージの表示画面を
示す図である。同図に示す表示画面に含まれるアラーム
メッセージは、数十桁程度のアラームコードであり、従
来から行われているアラーム表示の内容と同じものであ
る。したがって、操作に熟練していないオペレータは、
その表示を見ただけでは、発生したアラームの内容や解
除の方法を理解することは容易ではない。
FIG. 7 is a diagram showing a display screen of an alarm message. The alarm message included in the display screen shown in FIG. 3 is an alarm code of about several tens of digits, and is the same as the content of an alarm display conventionally performed. Therefore, an operator who is not skilled in operation
It is not easy to understand the content of the generated alarm and the method of canceling it just by looking at the display.

【0041】入出力処理部162は、アラームメッセー
ジの表示動作と並行して、アラーム表示の内容解説と異
常事態の解除方法についてのガイド表示がオペレータに
よって要求されているか否かを監視している(ステップ
603)。マウス180を用いることによって、図7に
示した表示画面内の「ガイド表示」ボタンがオペレータ
によってクリックされると、次に入出力処理部162
は、それまで表示していたアラームメッセージに対応す
る具体的な内容解説とアラームの解除方法を表示する
(ステップ604)。
In parallel with the alarm message display operation, the input / output processing unit 162 monitors whether or not the operator is required to provide a description of the contents of the alarm display and a guide display on a method of canceling the abnormal situation (see FIG. 4). Step 603). When the "guide display" button in the display screen shown in FIG. 7 is clicked by the operator by using the mouse 180, the input / output processing unit 162
Displays a specific description of the content of the alarm message that has been displayed and a method of canceling the alarm (step 604).

【0042】図8は、ガイド表示ボタンをクリックした
ときの表示画面を示す図である。同図に示すように、こ
の表示画面には、内容解説と解除方法の具体的な内容を
示す文章が含まれているとともに、これらの文章の理解
を容易にする図や表あるいは写真等の静止画が含まれて
いる。したがって、オペレータは、これらの表示内容を
見ることにより、アラームメッセージの意味するところ
を容易に理解することができ、発生したアラームを解除
するにはどのようにすればよいかがわかる。
FIG. 8 is a diagram showing a display screen when the guide display button is clicked. As shown in this figure, this display screen contains texts that explain the content and the specific content of the cancellation method, and also includes a static image such as a diagram, table, or photo that facilitates understanding of these texts. Paintings are included. Therefore, the operator can easily understand the meaning of the alarm message by looking at these displayed contents, and can know how to cancel the generated alarm.

【0043】例えば、図8に示した表示画面および後述
する図9、図10に示す表示画面は、汎用OSであるW
indows(登録商標)上でヘルプファイルを実行す
ることにより作成され、表示される。このヘルプファイ
ルは、1つの情報が割り当てられたトピックを複数個集
めたものであり、各トピックの間につながりを持たせ
て、関連する情報を調べやすくしている点に特徴があ
る。図8に示す画面においては、内容解説の文章中や解
除方法の文章中や図、表、静止画中にホットスポットと
称される部分があり、このホットスポットをマウス18
0によってクリックすることにより、図9に示すよう
に、その部分についての用語の意味等が含まれるポップ
アップウインドウを表示させることができる。あるい
は、画面右上の「?」マークをクリックした後に、用語
の意味等を知りたい事項にマウス180のポインタを移
動させてクリックすることにより、上述したポップアッ
プウインドウを表示させることもできる。
For example, the display screen shown in FIG. 8 and the display screens shown in FIGS.
It is created and displayed by executing the help file on Windows (registered trademark). This help file is a collection of a plurality of topics to which one piece of information is assigned, and is characterized in that links are provided between the topics so that related information can be easily searched. On the screen shown in FIG. 8, there is a part called a hot spot in the text of the content explanation, the text of the canceling method, the figure, the table, and the still image.
By clicking with 0, a pop-up window including the meaning of the term for the portion can be displayed as shown in FIG. Alternatively, after clicking the "?" Mark at the upper right of the screen, the above-described pop-up window can be displayed by moving the pointer of the mouse 180 to an item for which the user wants to know the meaning of the term and clicking.

【0044】また、図8に示した表示画面にはさらに詳
細ガイドを表示させる場合を考慮して「詳細ガイド」ボ
タンが用意されている。なお、図8に示した内容解説の
理解が容易であり、発生したアラームの解除方法の理解
も容易である場合には、「詳細ガイド」ボタンを設けな
くてもよい。
The display screen shown in FIG. 8 is provided with a "detailed guide" button in consideration of a case where a detailed guide is displayed. Note that when it is easy to understand the content explanation shown in FIG. 8 and it is easy to understand the method of canceling the generated alarm, the "detailed guide" button may not be provided.

【0045】「詳細ガイド」ボタンが表示されている場
合には、入出力処理部162は、詳細ガイドの表示がオ
ペレータによって要求されているか否かを監視しており
(ステップ605)、オペレータによって「詳細ガイ
ド」ボタンがマウス180を用いてクリックされると、
図8に示した表示画面中の内容解説あるいは解除方法の
文章や図あるいは静止画だけでは理解し難いと思われる
内容についての詳細ガイドを出力する。
If the "detailed guide" button is displayed, the input / output processing unit 162 monitors whether or not the display of the detailed guide is requested by the operator (step 605). When the "Detailed guide" button is clicked using the mouse 180,
It outputs a detailed explanation of the contents on the display screen shown in FIG.

【0046】図10は、詳細表示ボタンをクリックした
ときの表示画面の具体例を示す図である。同図に示す表
示画面には、図8に示した表示画面には含まれていなか
った補足説明とともに動画あるいはアニメーションが含
まれている。ヘルプファイルにビデオファイルを含ませ
ることにより、ヘルプ画面において動画表示を行うこと
もできる。例えば、落下したICデバイス118を回収
するために、他の構造を排除する必要がある場合に、そ
の手順を動画(あるいはアニメーション)によって説明
することができれば、理解も容易であり、操作に熟練し
ていないオペレータであっても、表示にしたがってアラ
ームを解除することができる。また、入出力処理部16
2は、必要に応じて、図10に示した表示と並行して、
スピーカ184から操作ガイダンス音声を出力する。
FIG. 10 is a diagram showing a specific example of the display screen when the detail display button is clicked. The display screen shown in FIG. 8 includes a moving image or an animation together with supplementary explanations not included in the display screen shown in FIG. By including a video file in the help file, a moving image can be displayed on the help screen. For example, if it is necessary to remove another structure in order to collect the dropped IC device 118, if the procedure can be explained by a moving image (or an animation), it is easy to understand and the operation becomes skillful. Even an operator who has not done so can reset the alarm according to the display. Also, the input / output processing unit 16
2, if necessary, in parallel with the display shown in FIG.
The operation guidance sound is output from the speaker 184.

【0047】このようにして表示画面を見ながらオペレ
ータによってアラームが解除された後、再スタートスイ
ッチ(図示せず)が押されると、状態管理タスクは、ユ
ーザインタフェース変換部148を介して入出力処理部
162に対してアラームメッセージ画面およびこれに関
連するヘルプ画面の表示を停止する旨の指示を送るとと
もに、入出力制御部144を介して指示を送って、シグ
ナルタワー116を緑色点灯に切り替えるとともにアラ
ームブザーによる警告音の出力を停止する。以後、動作
タスクによる通常動作が再開される。
After the alarm is released by the operator while watching the display screen in this way, when the restart switch (not shown) is pressed, the state management task executes the input / output processing via the user interface conversion unit 148. An instruction to stop displaying the alarm message screen and the related help screen is sent to the unit 162, and an instruction is sent via the input / output control unit 144 to switch the signal tower 116 to green lighting and to output the alarm. Stop outputting the buzzer sound. Thereafter, the normal operation by the operation task is restarted.

【0048】このように、本実施形態のICテストハン
ドラ100においては、何らかの異常が発生してアラー
ム表示を行ったときに、その具体的な内容やアラーム解
除の方法をオペレータからの要求に応じて図や静止画を
含むヘルプ画面として段階的に表示しており、必要に応
じてさらに用語の解説を表示させたり、動画を含む詳細
ガイド情報を表示させることができる。したがって、各
オペレータは、熟練度に応じて表示内容を選択すること
により、発生したアラームの内容や解除の方法を詳細に
知ることができる。
As described above, in the IC test handler 100 of the present embodiment, when an alarm is displayed due to occurrence of any abnormality, the specific contents and the method of canceling the alarm are determined according to the request from the operator. It is displayed step-by-step as a help screen including diagrams and still images. If necessary, explanations of terms can be displayed, and detailed guide information including moving images can be displayed. Therefore, each operator can know the details of the generated alarm and the method of canceling the alarm by selecting the display content according to the skill level.

【0049】また、試験対象となるICデバイスの追加
や変更等に伴うソフトウエアの変更が生じた場合であっ
ても、この変更されたソフトウエアに対応するヘルプフ
ァイルを同時に変更することにより、表示されたアラー
ム内容とその解説内容等の対応がとれなくなるといった
不都合がなくなる。
Even if the software is changed due to the addition or change of the IC device to be tested, the help file corresponding to the changed software is displayed by simultaneously changing the help file. The inconvenience of not being able to take correspondence between the contents of the alarm and the contents of the explanation is eliminated.

【0050】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。例えば、上述した実施形態では、ICデ
バイス118が途中で落下したときに発生するアラーム
について考えたが、それ以外の異常事態に対応したアラ
ームについても同様に考えることができる。また、入出
力処理部162が使用するOSとしてWindows
(登録商標)を考えたが、同等の機能を有するOSを用
いるようにしてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, an alarm that occurs when the IC device 118 falls on the way is considered, but an alarm corresponding to another abnormal situation can be similarly considered. The OS used by the input / output processing unit 162 is Windows
(Registered trademark) is considered, but an OS having an equivalent function may be used.

【0051】また、上述した実施形態では、ユーザイン
タフェースボード160にパソコンとしての機能を持た
せるようにしたが、ICテストハンドラ100とは別に
パソコンを接続し、この接続されたパソコンの画面上で
上述したオンラインヘルプの表示動作を行うようにして
もよい。
In the above-described embodiment, the user interface board 160 has a function as a personal computer. However, a personal computer is connected separately from the IC test handler 100, and the above-described screen is displayed on the screen of the connected personal computer. The online help display operation may be performed.

【0052】また、上述した実施形態では、水平搬送式
のICテストハンドラ100について説明したが、自動
落下方式あるいはこれら2つの方式を組み合わせたIC
テストハンドラにおいて、アラーム発生時のオンライン
マニュアル表示を行うようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the horizontal transport type IC test handler 100 has been described. However, the automatic dropping type or the IC combining these two types is used.
The test handler may display an online manual when an alarm occurs.

【0053】[0053]

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、異常
検出手段によって異常の発生を検出したときにアラーム
表示手段によって所定のアラーム表示を行うとともに、
ヘルプファイル格納手段に格納されているヘルプファイ
ルをヘルプ機能実行手段によって実行してこの表示され
たアラームの内容解説と解除方法についての詳細情報を
表示しており、アラームに対応したヘルプファイルを備
えることにより、発生したアラームに関する詳細な情報
を容易に得ることができる。
As described above, according to the present invention, when an abnormality is detected by the abnormality detecting means, a predetermined alarm is displayed by the alarm displaying means.
The help file stored in the help file storage means is executed by the help function execution means to display the explanation of the contents of the displayed alarm and detailed information on the method of canceling the alarm, and a help file corresponding to the alarm is provided. Accordingly, detailed information on the generated alarm can be easily obtained.

【0054】また、上述したヘルプ機能実行手段によっ
て対話型処理を行うことにより、説明文、図、表、静止
画、動画、アニメーションの少なくとも一つを用いて詳
細情報の表示を行うことにより、発生したアラームに関
する内容解説や解除方法が誰にでも分かりやすくなる。
特に、表示画面の所定箇所が選択指示されたときに、ヘ
ルプ機能実行手段によって、表示する詳細情報の内容を
段階的に切り替えることにより、オペレータの熟練度等
に応じて適切な内容の詳細情報を表示させることができ
る。
Also, by performing interactive processing by the help function executing means described above, detailed information is displayed by using at least one of a description, a figure, a table, a still image, a moving image, and an animation. Anybody can easily understand the explanation about the alarm and how to cancel it.
In particular, when a predetermined portion of the display screen is instructed to be selected, the content of the detailed information to be displayed is switched stepwise by the help function executing means, so that the detailed information having an appropriate content can be provided according to the skill level of the operator. Can be displayed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】一実施形態のICテストハンドラの外観図であ
る。
FIG. 1 is an external view of an IC test handler according to an embodiment.

【図2】ICテストハンドラの機構部の概略構成を示す
図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mechanical unit of the IC test handler.

【図3】ICテストハンドラの動作を制御する制御機構
の概略を示すブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram schematically showing a control mechanism for controlling the operation of the IC test handler.

【図4】カストマトレイからテストトレイに載せ換える
場合の動作手順を示す流れ図である。
FIG. 4 is a flowchart showing an operation procedure when changing from a custom tray to a test tray.

【図5】通常動作中に異常が発生した場合のICテスト
ハンドラの動作手順を示す流れ図である。
FIG. 5 is a flowchart showing an operation procedure of the IC test handler when an abnormality occurs during a normal operation.

【図6】入出力処理部により行われるアラーム表示の動
作手順を示す流れ図である。
FIG. 6 is a flowchart illustrating an operation procedure of alarm display performed by an input / output processing unit;

【図7】アラームメッセージの表示画面を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing a display screen of an alarm message.

【図8】ガイド表示ボタンをクリックしたときの表示画
面を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a display screen when a guide display button is clicked.

【図9】ポップアップウィンドウを一部に表示させた表
示画面を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a display screen in which a popup window is partially displayed.

【図10】詳細表示ボタンをクリックしたときの表示画
面を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a display screen when a detail display button is clicked.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 ICテストハンドラ 112 LCD 114 キーボード 142 シーケンス制御部 148 ユーザインタフェース(I/F)変換部 162 入出力処理部 164 入出力インタフェース(I/F)部 180 マウス 182 ハードディスク装置(HDD) 100 IC test handler 112 LCD 114 Keyboard 142 Sequence control unit 148 User interface (I / F) conversion unit 162 Input / output processing unit 164 Input / output interface (I / F) unit 180 Mouse 182 Hard disk device (HDD)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 異常の発生を検出する異常検出手段と、 前記異常検出手段によって異常の発生を検出したとき
に、所定のアラーム表示を行うアラーム表示手段と、 表示されたアラームの内容解説と解除方法についての詳
細情報を少なくとも含むヘルプファイルを格納するヘル
プファイル格納手段と、 前記ヘルプファイルを実行することにより、前記アラー
ム表示手段によって表示されたアラームの内容解説と解
除方法についての詳細情報を表示するヘルプ機能実行手
段と、 を備えることを特徴とするICテストハンドラ。
1. An abnormality detecting means for detecting the occurrence of an abnormality, an alarm display means for displaying a predetermined alarm when the occurrence of the abnormality is detected by the abnormality detecting means, a description and cancellation of the displayed alarm A help file storing means for storing a help file including at least detailed information on a method; and executing the help file to display detailed information on the contents of an alarm displayed by the alarm display means and a canceling method. An IC test handler comprising: a help function executing unit.
【請求項2】 請求項1において、 前記ヘルプ機能実行手段は、対話型処理を行うことによ
って、説明文、図、表、静止画、動画、アニメーション
の少なくとも一つを用いることにより、前記詳細情報の
表示を行うことを特徴とするICテストハンドラ。
2. The detailed information according to claim 1, wherein the help function executing means performs at least one of a description, a figure, a table, a still image, a moving image, and an animation by performing an interactive process. An IC test handler for displaying the following.
【請求項3】 請求項1または2において、 前記ヘルプ機能実行手段は、表示画面の所定箇所が選択
指示されたときに、表示する前記詳細情報の内容を段階
的に切り替えることを特徴とするICテストハンドラ。
3. The IC according to claim 1, wherein the help function execution means switches the content of the detailed information to be displayed in a stepwise manner when a predetermined position on the display screen is instructed to be selected. Test handler.
JP9203843A 1997-07-14 1997-07-14 Ic test handler Pending JPH1138083A (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9203843A JPH1138083A (en) 1997-07-14 1997-07-14 Ic test handler
KR1019980026857A KR19990013599A (en) 1997-07-14 1998-07-03 Mr. I. Test handler
SG1998001751A SG78307A1 (en) 1997-07-14 1998-07-10 Ic test handler Ic test handler
TW087111247A TW373076B (en) 1997-07-14 1998-07-10 IC test handler
DE19831573A DE19831573A1 (en) 1997-07-14 1998-07-14 Testing arrangement for integrated circuits

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9203843A JPH1138083A (en) 1997-07-14 1997-07-14 Ic test handler

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1138083A true JPH1138083A (en) 1999-02-12

Family

ID=16480626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9203843A Pending JPH1138083A (en) 1997-07-14 1997-07-14 Ic test handler

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1138083A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003500854A (en) * 1999-05-21 2003-01-07 リーハイトン エレクトロニクス インコーポレイテツド Test method and apparatus for sheet-like material
JP2007327969A (en) * 2007-08-03 2007-12-20 Horiba Ltd Water quality measuring device
WO2008075439A1 (en) * 2006-12-21 2008-06-26 Advantest Corporation Electronic component testing equipment and method of testing electronic component
CN102654472A (en) * 2011-03-03 2012-09-05 株式会社堀场制作所 Measuring device
TWI696234B (en) * 2017-02-28 2020-06-11 日商精工愛普生股份有限公司 Electronic parts conveying device and electronic parts inspection device

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003500854A (en) * 1999-05-21 2003-01-07 リーハイトン エレクトロニクス インコーポレイテツド Test method and apparatus for sheet-like material
JP4931280B2 (en) * 1999-05-21 2012-05-16 リーハイトン エレクトロニクス インコーポレイテツド Test method and apparatus for sheet-like material
WO2008075439A1 (en) * 2006-12-21 2008-06-26 Advantest Corporation Electronic component testing equipment and method of testing electronic component
JPWO2008075439A1 (en) * 2006-12-21 2010-04-08 株式会社アドバンテスト Electronic component testing apparatus and electronic component testing method
JP5022381B2 (en) * 2006-12-21 2012-09-12 株式会社アドバンテスト Electronic component testing apparatus and electronic component testing method
JP2007327969A (en) * 2007-08-03 2007-12-20 Horiba Ltd Water quality measuring device
JP4732406B2 (en) * 2007-08-03 2011-07-27 株式会社堀場製作所 Water quality measuring device
CN102654472A (en) * 2011-03-03 2012-09-05 株式会社堀场制作所 Measuring device
JP2012184964A (en) * 2011-03-03 2012-09-27 Horiba Ltd Measuring apparatus
US9360450B2 (en) 2011-03-03 2016-06-07 Horiba, Ltd. Measuring device with error content question sentence and user-selectable choices
TWI696234B (en) * 2017-02-28 2020-06-11 日商精工愛普生股份有限公司 Electronic parts conveying device and electronic parts inspection device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5800944B2 (en) Specimen automation system
JP5089307B2 (en) Sample analyzer
TW312827B (en)
JP5973859B2 (en) Inspection equipment
JP2010161346A (en) Substrate processing apparatus and display method for substrate processing apparatus
JP2006071359A (en) Remote control method, remote control system, state report device and control device
JPH1138083A (en) Ic test handler
JPH11223634A (en) Specimen processing system
JP3602720B2 (en) Substrate processing equipment
US20110055438A1 (en) Substrate processing apparatus and display method of substrate processing apparatus
JP2014151995A (en) Production management system and production management method, control program, and readable storage medium
CN109690324B (en) Automatic analysis device, remote maintenance system and maintenance method
JP5129281B2 (en) Remote management system
WO2020026350A1 (en) Trace assistance device
JP6439044B2 (en) Automatic analyzer
WO2017033598A1 (en) Automatic analysis device
KR19990013599A (en) Mr. I. Test handler
JP5331916B2 (en) Sample analyzer
JP6827380B2 (en) Inspection equipment and maintenance guidance method
JP2008147443A (en) Process control system, and process control method
JPWO2020240773A1 (en) Parts mounting management device, parts mounting management method, parts mounting management program, recording medium
KR101942222B1 (en) Operating systems for semiconductor wafer automation machine
JPH1138084A (en) Ic test handler
JPH1183848A (en) Testing device
JP2009535741A (en) Automated programming system using non-text user interface

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20021210