JPH1138057A - 外来ノイズ除去装置及び該外来ノイズ除去装置を具備した輻射測定装置 - Google Patents
外来ノイズ除去装置及び該外来ノイズ除去装置を具備した輻射測定装置Info
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- JPH1138057A JPH1138057A JP9208569A JP20856997A JPH1138057A JP H1138057 A JPH1138057 A JP H1138057A JP 9208569 A JP9208569 A JP 9208569A JP 20856997 A JP20856997 A JP 20856997A JP H1138057 A JPH1138057 A JP H1138057A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電界または磁界の強度分布測定において、外
来ノイズの影響を受け難いＥＭＩ測定装置を提供する。 【解決手段】 中央制御装置２は、直線ステージ３によ
り微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に移動さ
せる。中央制御装置２は、各測定点において微小ループ
アンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発
生する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フー
リエ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち
周波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置
２は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループ
アンテナから得られた周波数スペクトルを比較すること
により、推定された外来ノイズ成分を除去させる。上述
のようにして、必要な測定点の数だけ微小ループアンテ
ナ４を移動させて、磁界を測定し、各測定点における周
波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出して外来ノイ
ズを推定し、除去する。
来ノイズの影響を受け難いＥＭＩ測定装置を提供する。 【解決手段】 中央制御装置２は、直線ステージ３によ
り微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に移動さ
せる。中央制御装置２は、各測定点において微小ループ
アンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発
生する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フー
リエ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち
周波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置
２は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループ
アンテナから得られた周波数スペクトルを比較すること
により、推定された外来ノイズ成分を除去させる。上述
のようにして、必要な測定点の数だけ微小ループアンテ
ナ４を移動させて、磁界を測定し、各測定点における周
波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出して外来ノイ
ズを推定し、除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外来ノイズ除去装
置、より詳細には、ＥＭＩ測定装置、或いは、電磁波源
探査装置等に用いて好適な外来ノイズ除去装置及び該外
来ノイズ除去装置を備えた輻射測定装置に関する。
置、より詳細には、ＥＭＩ測定装置、或いは、電磁波源
探査装置等に用いて好適な外来ノイズ除去装置及び該外
来ノイズ除去装置を備えた輻射測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子部品が実装された回路基板に
おけるノイズ発生源を調べるための輻射測定装置（以
下、ＥＭＩ測定装置という）として、特開平６−５８９
７０号公報に示されているように、複数の磁界プローブ
（垂直コイル）を碁盤目上に配置してなる測定台上に測
定対象物である回路基板を載せて磁界を測定するもの
や、測定台上に回路基体に沿って磁界プローブをＸ−Ｙ
方向に移動させて磁界を測定するものが知られている。
おけるノイズ発生源を調べるための輻射測定装置（以
下、ＥＭＩ測定装置という）として、特開平６−５８９
７０号公報に示されているように、複数の磁界プローブ
（垂直コイル）を碁盤目上に配置してなる測定台上に測
定対象物である回路基板を載せて磁界を測定するもの
や、測定台上に回路基体に沿って磁界プローブをＸ−Ｙ
方向に移動させて磁界を測定するものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のＥＭＩ
測定装置では、回路基板の近傍の磁界の強度分布を調べ
ることにより、回路基板のどの部分がノイズ発生源であ
るかを大まかに知ることはできても、外来ノイズ対策が
施されていないため、被測定物の輻射に比べて外来ノイ
ズの影響が大きい場合、磁界強度分布測定において結果
に対する信頼性に欠けていた。
測定装置では、回路基板の近傍の磁界の強度分布を調べ
ることにより、回路基板のどの部分がノイズ発生源であ
るかを大まかに知ることはできても、外来ノイズ対策が
施されていないため、被測定物の輻射に比べて外来ノイ
ズの影響が大きい場合、磁界強度分布測定において結果
に対する信頼性に欠けていた。
【０００４】本発明の課題は、上記従来技術の欠点を解
消し、外来ノイズ対策を施すことにより、電界または磁
界の強度分布において、外来ノイズの影響を受け難いＥ
ＭＩ測定装置を提供することにある。
消し、外来ノイズ対策を施すことにより、電界または磁
界の強度分布において、外来ノイズの影響を受け難いＥ
ＭＩ測定装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、電界
または磁界を検出する検出手段と、該検出手段を移動す
る移動手段と、前記検出結果から電界または磁界を計算
する計算手段と、該計算の結果をフーリエ変換する変換
手段と、該フーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽
出する抽出手段とを有し、該抽出手段から得られた成分
を外来ノイズとして測定データから差し引くことを特徴
とし、もって、単一のセンサーでも外来ノイズを推定
し、除去することができるようにしたものである。ま
た、外来ノイズ成分の純度の高い被測定物のまわり含む
周波数スペクトルと比較して共通成分を抽出することに
よって、外来ノイズ成分を精度良く推定することができ
るようにしたものである。
または磁界を検出する検出手段と、該検出手段を移動す
る移動手段と、前記検出結果から電界または磁界を計算
する計算手段と、該計算の結果をフーリエ変換する変換
手段と、該フーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽
出する抽出手段とを有し、該抽出手段から得られた成分
を外来ノイズとして測定データから差し引くことを特徴
とし、もって、単一のセンサーでも外来ノイズを推定
し、除去することができるようにしたものである。ま
た、外来ノイズ成分の純度の高い被測定物のまわり含む
周波数スペクトルと比較して共通成分を抽出することに
よって、外来ノイズ成分を精度良く推定することができ
るようにしたものである。
【０００６】請求項２の発明は、電界または磁界を検出
する検出手段と、該検出手段を移動する移動手段と、前
記検出結果から電界または磁界を計算する計算手段と、
過去の測定電界または磁界データを記憶する記憶手段を
有し、該過去の測定電界または磁界データを外来ノイズ
として測定データから差し引くことを特徴とし、もっ
て、単一のセンサーでも外来ノイズを除去することがで
きるようにしたものである。また、外来ノイズの電界ま
たは磁界情報を記録しておき、被測定物が変化しても、
同じ測定点において効率的な外来ノイズ除去が行えるよ
うにしたものである。
する検出手段と、該検出手段を移動する移動手段と、前
記検出結果から電界または磁界を計算する計算手段と、
過去の測定電界または磁界データを記憶する記憶手段を
有し、該過去の測定電界または磁界データを外来ノイズ
として測定データから差し引くことを特徴とし、もっ
て、単一のセンサーでも外来ノイズを除去することがで
きるようにしたものである。また、外来ノイズの電界ま
たは磁界情報を記録しておき、被測定物が変化しても、
同じ測定点において効率的な外来ノイズ除去が行えるよ
うにしたものである。
【０００７】請求項３の発明は、電界または磁界を検出
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段と、該計算結果をフーリエ変換する変換手段
と、フーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽出する
抽出手段とを有し、前記電界または磁界を検出する検出
手段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻
射測定用センサー、その他が補正用センサーであり、前
記抽出手段により各センサーが検出した電界または磁界
の周波数スペクトルの共通成分を抽出し、該共通成分を
外来ノイズとして測定データから差し引くことを特徴と
し、もって、一点のみの測定においても、リアルタイム
で外来ノイズを除去することができるようにしたもので
ある。
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段と、該計算結果をフーリエ変換する変換手段
と、フーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽出する
抽出手段とを有し、前記電界または磁界を検出する検出
手段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻
射測定用センサー、その他が補正用センサーであり、前
記抽出手段により各センサーが検出した電界または磁界
の周波数スペクトルの共通成分を抽出し、該共通成分を
外来ノイズとして測定データから差し引くことを特徴と
し、もって、一点のみの測定においても、リアルタイム
で外来ノイズを除去することができるようにしたもので
ある。
【０００８】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、補正用センサーが輻射測定用センサーを取り囲むよ
うに配置されていることを特徴とし、もって、一点のみ
の測定においても、リアルタイムで外来ノイズを除去す
ることができるようにしたものである。
て、補正用センサーが輻射測定用センサーを取り囲むよ
うに配置されていることを特徴とし、もって、一点のみ
の測定においても、リアルタイムで外来ノイズを除去す
ることができるようにしたものである。
【０００９】請求項５の発明は、請求項３又は４の発明
において、センサーを移動する手段を有し、輻射測定用
センサーと補正用センサーの位置関係が変化することを
特徴とし、もって、一点のみの測定においても、リアル
タイムで外来ノイズを除去することができるようにした
ものである。
において、センサーを移動する手段を有し、輻射測定用
センサーと補正用センサーの位置関係が変化することを
特徴とし、もって、一点のみの測定においても、リアル
タイムで外来ノイズを除去することができるようにした
ものである。
【００１０】請求項６の発明は、請求項３又は４又は５
の発明において、補正用センサーが輻射測定用センサー
よりも指向性の広いことを特徴とし、もって、一点のみ
の測定においても、リアルタイムで外来ノイズを除去す
ることができるようにしたものである。また、外来ノイ
ズ源が輻射測定用センサーの近傍にある場合でも、精度
良く外来ノイズを除去することができるようにしたもの
である。
の発明において、補正用センサーが輻射測定用センサー
よりも指向性の広いことを特徴とし、もって、一点のみ
の測定においても、リアルタイムで外来ノイズを除去す
ることができるようにしたものである。また、外来ノイ
ズ源が輻射測定用センサーの近傍にある場合でも、精度
良く外来ノイズを除去することができるようにしたもの
である。
【００１１】請求項７の発明は、電界または磁界を検出
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段を有し、該電界または磁界を検出する検出手
段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻射
測定用センサー、その他が補正用センサーであり、前記
補正用センサーがシールド板と電界または磁界を検出す
るセンサーで構成され、前記シールド板が補正用センサ
ーと被測定物の間に一体として配置されることを特徴と
し、もって、一点のみの測定においても、リアルタイム
で外来ノイズ成分を除去することができるようにしたも
のである。
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段を有し、該電界または磁界を検出する検出手
段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻射
測定用センサー、その他が補正用センサーであり、前記
補正用センサーがシールド板と電界または磁界を検出す
るセンサーで構成され、前記シールド板が補正用センサ
ーと被測定物の間に一体として配置されることを特徴と
し、もって、一点のみの測定においても、リアルタイム
で外来ノイズ成分を除去することができるようにしたも
のである。
【００１２】請求項８の発明は、請求項７の発明におい
て、前記補正用センサーがシールド材と電界または磁界
を検出するセンサーで構成され、前記シールド材が補正
用センサーを覆うように被測定物の間に一体として配置
されることを特徴とし、もって、一点のみの測定におい
ても、リアルタイムで外来ノイズ成分を除去することが
できるようにしたものである。
て、前記補正用センサーがシールド材と電界または磁界
を検出するセンサーで構成され、前記シールド材が補正
用センサーを覆うように被測定物の間に一体として配置
されることを特徴とし、もって、一点のみの測定におい
ても、リアルタイムで外来ノイズ成分を除去することが
できるようにしたものである。
【００１３】請求項９の発明は、請求項３乃至８のいず
れかの発明において、電界または磁界を検出する検出手
段を移動する手段を有することを特徴とし、もって、一
点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノイズ成
分を除去することができるようにしたものである。ま
た、任意の点で測定が可能になるだけでなく、外来ノイ
ズ成分を精度良く除去することができるようにしたもの
である。
れかの発明において、電界または磁界を検出する検出手
段を移動する手段を有することを特徴とし、もって、一
点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノイズ成
分を除去することができるようにしたものである。ま
た、任意の点で測定が可能になるだけでなく、外来ノイ
ズ成分を精度良く除去することができるようにしたもの
である。
【００１４】請求項１０の発明は、請求項１乃至９のい
ずれかの発明において、前記電界または磁界を検出する
検出手段に複数軸のループからなるループセンサーが用
いられることを特徴とし、もって、複数方向の外来ノイ
ズを一度に除去することができ、測定時間を短縮するこ
とができるようにしたものである。また、精度を向上さ
せることができるようにしたものである。
ずれかの発明において、前記電界または磁界を検出する
検出手段に複数軸のループからなるループセンサーが用
いられることを特徴とし、もって、複数方向の外来ノイ
ズを一度に除去することができ、測定時間を短縮するこ
とができるようにしたものである。また、精度を向上さ
せることができるようにしたものである。
【００１５】請求項１１の発明は、請求項１乃至１０の
いずれかの発明において、前記電界または磁界を検出す
る検出手段にマルチターン化されたセンサーが用いられ
ることを特徴とし、もって、主に低周波数帯域で外来ノ
イズ成分を精度良く除去することができるようにしたも
のである。
いずれかの発明において、前記電界または磁界を検出す
る検出手段にマルチターン化されたセンサーが用いられ
ることを特徴とし、もって、主に低周波数帯域で外来ノ
イズ成分を精度良く除去することができるようにしたも
のである。
【００１６】請求項１２の発明は、請求項１乃至１１の
いずれかの発明において、前記フーリエ変換の結果の振
幅と位相を較正する位相較正手段と、前記較正結果をフ
ーリエ逆変換する逆変換手段とを有し、前記位相較正手
段により前記フーリエ変換の結果の振幅と位相を較正
し、前記逆変換手段により位相較正結果をフーリエ逆変
換することで、各時間における電界または磁界強度を決
位相を含めて導出し、電界または磁界波形を求めること
を特徴とし、もって、波形を導出することができ、外来
ノイズ成分を精度良く除去することができるようにした
ものである。
いずれかの発明において、前記フーリエ変換の結果の振
幅と位相を較正する位相較正手段と、前記較正結果をフ
ーリエ逆変換する逆変換手段とを有し、前記位相較正手
段により前記フーリエ変換の結果の振幅と位相を較正
し、前記逆変換手段により位相較正結果をフーリエ逆変
換することで、各時間における電界または磁界強度を決
位相を含めて導出し、電界または磁界波形を求めること
を特徴とし、もって、波形を導出することができ、外来
ノイズ成分を精度良く除去することができるようにした
ものである。
【００１７】請求項１３の発明は、請求項１乃至１２の
いずれかの発明において、外来ノイズ除去装置を持つこ
とを特徴とし、もって、被測定物の輻射のみ測定するこ
とができるようにしたものである。
いずれかの発明において、外来ノイズ除去装置を持つこ
とを特徴とし、もって、被測定物の輻射のみ測定するこ
とができるようにしたものである。
【００１８】
（第１実施例）図１は、請求項１記載の発明に係るＥＭ
Ｉ測定装置の実施の形態の一例を示す図で、図１（Ａ）
はブロック図、図１（Ｂ）は微小ループアンテナを示
し、図中、１は被測定物、２は中央制御装置、３は直線
ステージ、４は微小ループアンテナ、５はオシロスコー
プ、６はフーリエ変換装置、７は共通成分演算装置であ
る。中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実行される
プログラムを記憶したＲＯＭを備えており、直線ステー
ジ３，オシロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成
分演算装置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４
によりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、各測
定点における周波数スペクトルを記憶するメモリーと、
各測定点における周波数スペクトルを比較し、共通成分
を抽出することによって外来ノイズを推定し、それを除
去する演算機能を備えている。
Ｉ測定装置の実施の形態の一例を示す図で、図１（Ａ）
はブロック図、図１（Ｂ）は微小ループアンテナを示
し、図中、１は被測定物、２は中央制御装置、３は直線
ステージ、４は微小ループアンテナ、５はオシロスコー
プ、６はフーリエ変換装置、７は共通成分演算装置であ
る。中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実行される
プログラムを記憶したＲＯＭを備えており、直線ステー
ジ３，オシロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成
分演算装置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４
によりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、各測
定点における周波数スペクトルを記憶するメモリーと、
各測定点における周波数スペクトルを比較し、共通成分
を抽出することによって外来ノイズを推定し、それを除
去する演算機能を備えている。
【００１９】その際、中央制御装置２は、直線ステージ
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。そして、中央制御装置２は、各測定点にお
いて微小ループアンテナ４が被測定物１からの電磁波ノ
イズを受けて発生する逆起電圧を、オシロスコープ５に
取り込み、フーリエ変換装置６により周波数領域での磁
界情報すなわち周波数スペクトルに変換させる。さら
に、中央制御装置２は、共通成分演算装置７によりそれ
ぞれの微小ループアンテナから得られた周波数スペクト
ルを比較することにより、推定された外来ノイズ成分を
除去させる。
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。そして、中央制御装置２は、各測定点にお
いて微小ループアンテナ４が被測定物１からの電磁波ノ
イズを受けて発生する逆起電圧を、オシロスコープ５に
取り込み、フーリエ変換装置６により周波数領域での磁
界情報すなわち周波数スペクトルに変換させる。さら
に、中央制御装置２は、共通成分演算装置７によりそれ
ぞれの微小ループアンテナから得られた周波数スペクト
ルを比較することにより、推定された外来ノイズ成分を
除去させる。
【００２０】上述のようにして、必要な測定点の数だけ
微小ループアンテナ４を移動させて、磁界を測定し、各
測定点における周波数スペクトルを比較し、共通成分を
抽出することによって、単一のセンサーでも外来ノイズ
を推定し除去することができる。
微小ループアンテナ４を移動させて、磁界を測定し、各
測定点における周波数スペクトルを比較し、共通成分を
抽出することによって、単一のセンサーでも外来ノイズ
を推定し除去することができる。
【００２１】また、外来ノイズ成分の純度の高い被測定
物のまわりを含む周波数スペクトルを比較し、共通成分
を抽出することによって、外来ノイズ成分を精度良く推
定することができる。また、センサー部を変更すること
によって、電界に関しても同様の処理が行える。
物のまわりを含む周波数スペクトルを比較し、共通成分
を抽出することによって、外来ノイズ成分を精度良く推
定することができる。また、センサー部を変更すること
によって、電界に関しても同様の処理が行える。
【００２２】（第２実施例）図２は、請求項２記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、全図を通して、同様の作用をする部分に
は、同一の参照番号が付してある。中央制御装置２は、
ＣＰＵ及びＣＰＵで実行されるプログラムを記憶したＲ
ＯＭを備えており、直線ステージ３，オシロスコープ
５，データ記憶装置１１を統括制御しつつ、微小ループ
アンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、全図を通して、同様の作用をする部分に
は、同一の参照番号が付してある。中央制御装置２は、
ＣＰＵ及びＣＰＵで実行されるプログラムを記憶したＲ
ＯＭを備えており、直線ステージ３，オシロスコープ
５，データ記憶装置１１を統括制御しつつ、微小ループ
アンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。
【００２３】その際、中央制御装置２は、直線ステージ
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。ここで、被測定物１の電源は落としてお
く。そして、中央制御装置２は、各測定点において微小
ループアンテナ４が電磁波ノイズを受けて発生する逆起
電圧を、外来ノイズの磁界情報としてデータ記憶装置１
１に記憶させる。その後、被測定物１の電源を入れ、同
じ測定点において同様の測定を行う。そして、中央制御
装置２は、電源を入れた場合の磁界情報から電源を切っ
た場合の磁界情報を報じる。
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。ここで、被測定物１の電源は落としてお
く。そして、中央制御装置２は、各測定点において微小
ループアンテナ４が電磁波ノイズを受けて発生する逆起
電圧を、外来ノイズの磁界情報としてデータ記憶装置１
１に記憶させる。その後、被測定物１の電源を入れ、同
じ測定点において同様の測定を行う。そして、中央制御
装置２は、電源を入れた場合の磁界情報から電源を切っ
た場合の磁界情報を報じる。
【００２４】上述のようにして、電源を切った状態での
各測定点における測定により外来ノイズの磁界情報を記
録し、電源を入れた場合での同じ測定点における測定か
ら減じることによって、単一のセンサーでも外来ノイズ
を除去することができる。また、記録された外来ノイズ
の磁界情報を用いることによって、被測定物１が変化し
ても同じ測定点において効率的な外来ノイズ除去が行え
る。また、センサー部を変更することによって、電界に
関しても同様の処理が行える。
各測定点における測定により外来ノイズの磁界情報を記
録し、電源を入れた場合での同じ測定点における測定か
ら減じることによって、単一のセンサーでも外来ノイズ
を除去することができる。また、記録された外来ノイズ
の磁界情報を用いることによって、被測定物１が変化し
ても同じ測定点において効率的な外来ノイズ除去が行え
る。また、センサー部を変更することによって、電界に
関しても同様の処理が行える。
【００２５】（第３実施例）図３は、請求項３記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥ
ＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペク
トルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥ
ＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペク
トルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
【００２６】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域で磁界情報すなわち周波
数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域で磁界情報すなわち周波
数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
【００２７】上述のようにして、輻射測定用微小ループ
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナ４1と同じ特性を持ち平行に配置された外来ノイ
ズ測定用微小ループアンテナ４2の周波数スペクトルを
比較することにより、推定された外来ノイズ成分を除去
することによって、一点のみの測定においてもリアルタ
イムで外来ノイズ成分を除去することができる。
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナ４1と同じ特性を持ち平行に配置された外来ノイ
ズ測定用微小ループアンテナ４2の周波数スペクトルを
比較することにより、推定された外来ノイズ成分を除去
することによって、一点のみの測定においてもリアルタ
イムで外来ノイズ成分を除去することができる。
【００２８】これは、磁界は距離の２乗に比例して減衰
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが，外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんで表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。また、
センサー部を変更することによって、電界に関しても同
様の処理が行える。
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが，外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんで表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。また、
センサー部を変更することによって、電界に関しても同
様の処理が行える。
【００２９】（第４実施例）図４は、請求項４記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥ
ＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペク
トルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥ
ＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペク
トルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
【００３０】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
【００３１】上述のようにして、輻射測定用微小ループ
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナと同じ特性を持ち、輻射測定用微小ループアンテ
ナのまわりを取り囲むように平行に配置された複数の外
来ノイズ測定用微小ループアンテナ４2の周波数スペク
トルを比較することによって、一点のみの測定において
もリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することができ
る。
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナと同じ特性を持ち、輻射測定用微小ループアンテ
ナのまわりを取り囲むように平行に配置された複数の外
来ノイズ測定用微小ループアンテナ４2の周波数スペク
トルを比較することによって、一点のみの測定において
もリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することができ
る。
【００３２】これは、磁界は距離の２乗に比例して減衰
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんど表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。この効
果は、請求項３の発明の効果に比べて精度の面で優れて
いる。これは、周波数スペクトルを比較し、共通成分を
抽出するためのデータ数が増えるためである。
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんど表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。この効
果は、請求項３の発明の効果に比べて精度の面で優れて
いる。これは、周波数スペクトルを比較し、共通成分を
抽出するためのデータ数が増えるためである。
【００３３】（第５実施例）図５は、請求項５記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７，外来ノイズ測定用微小ループアンテナ移動装置１
０を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥＭ
Ｉ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペクト
ルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較し、
共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定し、
それを除去する演算機能を備えて構成される。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７，外来ノイズ測定用微小ループアンテナ移動装置１
０を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥＭ
Ｉ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペクト
ルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較し、
共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定し、
それを除去する演算機能を備えて構成される。
【００３４】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。この手続きを外来ノイズ
測定用微小ループアンテナを外来ノイズ測定用微小ルー
プアンテナ移動装置１０により移動する毎に行う。さら
に、中央制御装置２は、共通成分演算装置７によりそれ
ぞれの微小ループアンテナから得られた周波数スペクト
ルを比較することにより、推定された外来ノイズ成分を
除去させる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。この手続きを外来ノイズ
測定用微小ループアンテナを外来ノイズ測定用微小ルー
プアンテナ移動装置１０により移動する毎に行う。さら
に、中央制御装置２は、共通成分演算装置７によりそれ
ぞれの微小ループアンテナから得られた周波数スペクト
ルを比較することにより、推定された外来ノイズ成分を
除去させる。
【００３５】上述のようにして、輻射測定用微小ループ
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナと同じ特性を持ち、輻射測定用微小ループアンテ
ナのまわりを回転する外来ノイズ測定用微小ループアン
テナ４2のその円周上での任意の地点での周波数スペク
トルを比較することによって、一点のみの測定において
もリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することができ
る。
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナと同じ特性を持ち、輻射測定用微小ループアンテ
ナのまわりを回転する外来ノイズ測定用微小ループアン
テナ４2のその円周上での任意の地点での周波数スペク
トルを比較することによって、一点のみの測定において
もリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することができ
る。
【００３６】これは、磁界は距離の２乗に比例して減衰
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんど表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。この効
果は、請求項３の発明の効果に比べて精度の面で優れて
いる。これは、周波数スペクトルを比較し、共通成分を
抽出するためのデータ数が増えるためである。
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんど表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。この効
果は、請求項３の発明の効果に比べて精度の面で優れて
いる。これは、周波数スペクトルを比較し、共通成分を
抽出するためのデータ数が増えるためである。
【００３７】（第６実施例）図６は、請求項６記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥ
ＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペク
トルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分演算装
置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥ
ＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数スペク
トルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
【００３８】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
【００３９】上述のようにして、輻射測定用微小ループ
アンテナ４1の周波数スペクトルと、より指向性の広い
外来ノイズ測定用モノポールアンテナ４3の周波数スペ
クトルを比較することによって、一点のみの測定におい
てもリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することがで
きる。
アンテナ４1の周波数スペクトルと、より指向性の広い
外来ノイズ測定用モノポールアンテナ４3の周波数スペ
クトルを比較することによって、一点のみの測定におい
てもリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することがで
きる。
【００４０】これは、磁界は距離の２乗に比例して減衰
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小モノポールアンテナの
距離の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源
から輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノ
イズ源から外来ノイズ測定用微小モノポールアンテナの
距離の違いによる影響はほとんど表れないため、各周波
数スペクトルを比較し、共通成分を抽出することによ
り、外来ノイズの推定ができることを利用したものであ
る。
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小モノポールアンテナの
距離の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源
から輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノ
イズ源から外来ノイズ測定用微小モノポールアンテナの
距離の違いによる影響はほとんど表れないため、各周波
数スペクトルを比較し、共通成分を抽出することによ
り、外来ノイズの推定ができることを利用したものであ
る。
【００４１】電磁波は高周波数領域で電界と磁界の結合
が強まる性質があり、アンテナ軸を中心に同心円状に指
向性を持つ電界測定用モノポールアンテナは、ループに
垂直に交わる成分のみ指向性を持つ輻射測定用微小ルー
プアンテナよりも指向性が広いため、高周波数帯域にお
いて、効率の面での優位性が大きくなる。また、外来ノ
イズ源が輻射測定用ループアンテナの近傍にある場合で
も、精度良く外来ノイズを除去することができる。これ
は、輻射測定用微小ループアンテナが感知する外来ノイ
ズ成分を外来ノイズ測定用微小モノポールアンテナの指
向性が広いことから感知しやすいためである。
が強まる性質があり、アンテナ軸を中心に同心円状に指
向性を持つ電界測定用モノポールアンテナは、ループに
垂直に交わる成分のみ指向性を持つ輻射測定用微小ルー
プアンテナよりも指向性が広いため、高周波数帯域にお
いて、効率の面での優位性が大きくなる。また、外来ノ
イズ源が輻射測定用ループアンテナの近傍にある場合で
も、精度良く外来ノイズを除去することができる。これ
は、輻射測定用微小ループアンテナが感知する外来ノイ
ズ成分を外来ノイズ測定用微小モノポールアンテナの指
向性が広いことから感知しやすいためである。
【００４２】（第７実施例）図７は、請求項７記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，共通成分演算装置７を統括制御しつ
つ、微小ループアンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。共
通成分演算装置７は、外来ノイズを除去する演算機能を
備えている。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，共通成分演算装置７を統括制御しつ
つ、微小ループアンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。共
通成分演算装置７は、外来ノイズを除去する演算機能を
備えている。
【００４３】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５で磁界波形に変換
し、共通成分演算装置７により外来ノイズ成分を除去さ
せる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５で磁界波形に変換
し、共通成分演算装置７により外来ノイズ成分を除去さ
せる。
【００４４】上述のようにして、輻射測定用微小ループ
アンテナ４1の測定データから、シールド板４4が補正用
センサーと被測定物の間に一体として配置された外来ノ
イズ測定用微小ループアンテナ４2の測定データを減じ
ることによって、一点のみの測定においてもリアルタイ
ムで外来ノイズ成分を除去することができる。ここで、
シールド材は二層構造となっており、被測定物１の方の
面は、被測定物１からの輻射を透過しないように、電磁
波反射材として鉄が用いられており、反対側の面は外来
ノイズを反射しないように電磁波吸収材としてウレタン
が用いられている。また、センサー部を変更することに
よって、電界に関しても同様の処理が行える。
アンテナ４1の測定データから、シールド板４4が補正用
センサーと被測定物の間に一体として配置された外来ノ
イズ測定用微小ループアンテナ４2の測定データを減じ
ることによって、一点のみの測定においてもリアルタイ
ムで外来ノイズ成分を除去することができる。ここで、
シールド材は二層構造となっており、被測定物１の方の
面は、被測定物１からの輻射を透過しないように、電磁
波反射材として鉄が用いられており、反対側の面は外来
ノイズを反射しないように電磁波吸収材としてウレタン
が用いられている。また、センサー部を変更することに
よって、電界に関しても同様の処理が行える。
【００４５】（第８実施例）図８は、請求項８記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，共通成分演算装置７を統括制御しつ
つ、微小ループアンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。共
通成分演算装置７は、外来ノイズを除去する演算機能を
備えている。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、オ
シロスコープ５，共通成分演算装置７を統括制御しつ
つ、微小ループアンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。共
通成分演算装置７は、外来ノイズを除去する演算機能を
備えている。
【００４６】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５で磁界波形に変換
し、共通成分演算装置７により外来ノイズ成分を除去さ
せる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５で磁界波形に変換
し、共通成分演算装置７により外来ノイズ成分を除去さ
せる。
【００４７】上述のようにして、輻射測定用微小ループ
アンテナ４1の測定データから、シールド材４5が補正用
センサーを覆うように、被測定物の間に一体として配置
された外来ノイズ測定用微小ループアンテナ４2の測定
データを減じることによって、一点のみの測定において
もリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することができ
る。ここで、シールド材は二層構造となっており、被測
定物の方の面は、被測定物からの輻射を透過しないよう
に、電磁波反射材として鉄が用いられており、反対側の
面は外来ノイズを反射しないように電磁波吸収材として
ウレタンが用いられている。
アンテナ４1の測定データから、シールド材４5が補正用
センサーを覆うように、被測定物の間に一体として配置
された外来ノイズ測定用微小ループアンテナ４2の測定
データを減じることによって、一点のみの測定において
もリアルタイムで外来ノイズ成分を除去することができ
る。ここで、シールド材は二層構造となっており、被測
定物の方の面は、被測定物からの輻射を透過しないよう
に、電磁波反射材として鉄が用いられており、反対側の
面は外来ノイズを反射しないように電磁波吸収材として
ウレタンが用いられている。
【００４８】この請求項８の発明の効果は、請求項７の
効果に比べて精度の面で優れている。これは、外来ノイ
ズ測定用微小ループアンテナの側面から入射してくる被
測定物からの輻射をカットしやすいためである。また、
請求項７のシールド板付きの微小ループアンテナは、被
測定物からの輻射の低減効果を高めるためには、シール
ド部の大型化が必要だったが、まわりをシールド材で覆
われた微小ループアンテナは、まわりを覆うようにシー
ルドするため、シールド部を小型化しやすい。
効果に比べて精度の面で優れている。これは、外来ノイ
ズ測定用微小ループアンテナの側面から入射してくる被
測定物からの輻射をカットしやすいためである。また、
請求項７のシールド板付きの微小ループアンテナは、被
測定物からの輻射の低減効果を高めるためには、シール
ド部の大型化が必要だったが、まわりをシールド材で覆
われた微小ループアンテナは、まわりを覆うようにシー
ルドするため、シールド部を小型化しやすい。
【００４９】（第９実施例）図９は、請求項９記載の発
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、直
線ステージ３，オシロスコープ５，フーリエ変換装置
６，共通成分演算装置７を統括制御しつつ、微小ループ
アンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置
７は、各測定点における周波数スペクトルを記憶するメ
モリーと、各測定点における周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説明する
ための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰＵで実
行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えており、直
線ステージ３，オシロスコープ５，フーリエ変換装置
６，共通成分演算装置７を統括制御しつつ、微小ループ
アンテナ４によりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置
７は、各測定点における周波数スペクトルを記憶するメ
モリーと、各測定点における周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを推定
し、それを除去する演算機能を備えている。
【００５０】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ移動装置３により、微小ループアンテナ４を順次
所定の測定位置に移動させる。そして、中央制御装置２
は、各測定点において、微小ループアンテナ４が被測定
物１からの電磁波ノイズを受けて発生する逆起電圧を、
オシロスコープ５に取り込み、フーリエ変換装置６によ
り周波数領域での磁界情報すなわち周波数スペクトルに
変換させる。さらに、中央制御装置２は、共通成分演算
装置７によりそれぞれの微小ループアンテナから得られ
た周波数スペクトルを比較することにより、推定された
外来ノイズ成分を除去させる。
ンテナ移動装置３により、微小ループアンテナ４を順次
所定の測定位置に移動させる。そして、中央制御装置２
は、各測定点において、微小ループアンテナ４が被測定
物１からの電磁波ノイズを受けて発生する逆起電圧を、
オシロスコープ５に取り込み、フーリエ変換装置６によ
り周波数領域での磁界情報すなわち周波数スペクトルに
変換させる。さらに、中央制御装置２は、共通成分演算
装置７によりそれぞれの微小ループアンテナから得られ
た周波数スペクトルを比較することにより、推定された
外来ノイズ成分を除去させる。
【００５１】上述のようにして、輻射測定用微小ループ
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナ４2と同じ特性を持ち、平行に配置された外来ノ
イズ測定用微小ループアンテナの周波数スペクトルを比
較することによって、一点のみの測定においてもリアル
タイムで外来ノイズ成分を除去することができる。
アンテナ４1の周波数スペクトルと、その微小ループア
ンテナ４2と同じ特性を持ち、平行に配置された外来ノ
イズ測定用微小ループアンテナの周波数スペクトルを比
較することによって、一点のみの測定においてもリアル
タイムで外来ノイズ成分を除去することができる。
【００５２】これは、磁界は距離の２乗に比例して減衰
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんど表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。
するが、近傍磁界測定においては、輻射測定用微小ルー
プアンテナ近傍の輻射源から輻射測定用微小ループアン
テナまでの距離と輻射測定用微小ループアンテナ近傍の
輻射源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離
の違いによる影響は端的に表れるが、外来ノイズ源から
輻射測定用微小ループアンテナまでの距離と外来ノイズ
源から外来ノイズ測定用微小ループアンテナの距離の違
いによる影響はほとんど表れないため、各周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することにより、外来ノ
イズの推定ができることを利用したものである。
【００５３】また、任意の点で測定が可能になるだけで
なく、各アンテナの複数の測定点における周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することによって、外来
ノイズ成分を精度良く除去することができる。これは、
周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出するための
データ数が増えるためである。
なく、各アンテナの複数の測定点における周波数スペク
トルを比較し、共通成分を抽出することによって、外来
ノイズ成分を精度良く除去することができる。これは、
周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出するための
データ数が増えるためである。
【００５４】（第１０実施例）図１０は、請求項１０記
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、オシロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分
演算装置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４に
よりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数
スペクトルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを
比較し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを
推定し、それを除去する演算機能を備えている。
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、オシロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分
演算装置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４に
よりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数
スペクトルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを
比較し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを
推定し、それを除去する演算機能を備えている。
【００５５】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
【００５６】上述のようにして、請求項１乃至９の微小
ループアンテナにＸＹＺ軸のループを併せ持った三成分
を同時測定する微小ループアンテナ４6を用いることに
より、複数方向の外来ノイズ成分を一度に除去すること
ができ、測定時間を短縮することができる。また、三成
分の周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出するこ
とによって、外来ノイズ成分を精度良く除去することが
できる。これは、周波数スペクトルを比較し、共通成分
を抽出するためのデータ数が増えるためである。
ループアンテナにＸＹＺ軸のループを併せ持った三成分
を同時測定する微小ループアンテナ４6を用いることに
より、複数方向の外来ノイズ成分を一度に除去すること
ができ、測定時間を短縮することができる。また、三成
分の周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出するこ
とによって、外来ノイズ成分を精度良く除去することが
できる。これは、周波数スペクトルを比較し、共通成分
を抽出するためのデータ数が増えるためである。
【００５７】（第１１実施例）図１１は、請求項１１記
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、オシロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分
演算装置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４に
よりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数
スペクトルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを
比較し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを
推定し、それを除去する演算機能を備えている。
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、オシロスコープ５，フーリエ変換装置６，共通成分
演算装置７を統括制御しつつ、微小ループアンテナ４に
よりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７は、周波数
スペクトルを記憶するメモリーと、周波数スペクトルを
比較し、共通成分を抽出することによって外来ノイズを
推定し、それを除去する演算機能を備えている。
【００５８】その際、中央制御装置２は、微小ループア
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
ンテナ４が被測定物１からの電磁波ノイズを受けて発生
する逆起電圧を、オシロスコープ５に取り込み、フーリ
エ変換装置６により周波数領域での磁界情報すなわち周
波数スペクトルに変換させる。さらに、中央制御装置２
は、共通成分演算装置７によりそれぞれの微小ループア
ンテナから得られた周波数スペクトルを比較することに
より、推定された外来ノイズ成分を除去させる。
【００５９】上述のようにして、請求項１乃至１０の微
小ループアンテナのマルチターン化された微小ループア
ンテナ４7を用いることによって、主に低周波数帯域で
利得が向上し、より微小な磁界値を測定できるため、外
来ノイズ成分を精度良く除去することができる。
小ループアンテナのマルチターン化された微小ループア
ンテナ４7を用いることによって、主に低周波数帯域で
利得が向上し、より微小な磁界値を測定できるため、外
来ノイズ成分を精度良く除去することができる。
【００６０】（第１２実施例）図１２は、請求項１２記
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、直線ステージ３，オシロスコープ５，フーリエ変換
装置６，共通成分演算装置７，アンテナ較正装置８，フ
ーリエ逆変換装置９を統括制御しつつ、微小ループアン
テナ４によりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７
は、各測定点における磁界波形を記憶するメモリーと、
各磁界波形を比較する演算機能を備えている。
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、直線ステージ３，オシロスコープ５，フーリエ変換
装置６，共通成分演算装置７，アンテナ較正装置８，フ
ーリエ逆変換装置９を統括制御しつつ、微小ループアン
テナ４によりＥＭＩ測定を行う。共通成分演算装置７
は、各測定点における磁界波形を記憶するメモリーと、
各磁界波形を比較する演算機能を備えている。
【００６１】その際、中央制御装置２は、直線ステージ
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。そして、中央制御装置２は、各測定点にお
いて、微小ループアンテナ４が被測定物１からの電磁波
ノイズを受けて発生する逆起電圧を、オシロスコープ５
に取り込み、フーリエ変換装置６により周波数領域での
磁界情報すなわち周波数スペクトルに変換させ、アンテ
ナ較正装置８により較正を行い、フーリエ逆変換装置９
により時間領域での磁界情報すなわち磁界波形に変換さ
せる。さらに、中央制御装置２は、共通成分演算装置７
により微小ループアンテナから得られた複数の磁界波形
を比較することにより、推定された外来ノイズ成分を除
去させる。
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。そして、中央制御装置２は、各測定点にお
いて、微小ループアンテナ４が被測定物１からの電磁波
ノイズを受けて発生する逆起電圧を、オシロスコープ５
に取り込み、フーリエ変換装置６により周波数領域での
磁界情報すなわち周波数スペクトルに変換させ、アンテ
ナ較正装置８により較正を行い、フーリエ逆変換装置９
により時間領域での磁界情報すなわち磁界波形に変換さ
せる。さらに、中央制御装置２は、共通成分演算装置７
により微小ループアンテナから得られた複数の磁界波形
を比較することにより、推定された外来ノイズ成分を除
去させる。
【００６２】上述のようにして、請求項１乃至１１の外
来ノイズ除去装置にアンテナ較正装置と、フーリエ逆変
換装置とを付加することにより、磁界波形を導出するこ
とができ、その磁界波形を外来ノイズの判別に用いるこ
とによって、外来ノイズ成分を精度良く除去することが
できる。
来ノイズ除去装置にアンテナ較正装置と、フーリエ逆変
換装置とを付加することにより、磁界波形を導出するこ
とができ、その磁界波形を外来ノイズの判別に用いるこ
とによって、外来ノイズ成分を精度良く除去することが
できる。
【００６３】（第１３実施例）図１３は、請求項１３記
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、直線ステージ３，オシロスコープ５，フーリエ変換
装置６，共通成分演算装置７，データ記憶装置１１を統
括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥＭＩ測定
を行う。共通成分演算装置７は、各測定点における周波
数スペクトルを記憶するメモリーと、各測定点における
周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出することに
よって、外来ノイズを推定し、それを除去する演算機能
を備えている。
載の発明に係るＥＭＩ測定装置の実施の形態の一例を説
明するための図で、中央制御装置２は、ＣＰＵ及びＣＰ
Ｕで実行されるプログラムを記憶したＲＯＭを備えてお
り、直線ステージ３，オシロスコープ５，フーリエ変換
装置６，共通成分演算装置７，データ記憶装置１１を統
括制御しつつ、微小ループアンテナ４によりＥＭＩ測定
を行う。共通成分演算装置７は、各測定点における周波
数スペクトルを記憶するメモリーと、各測定点における
周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出することに
よって、外来ノイズを推定し、それを除去する演算機能
を備えている。
【００６４】その際、中央制御装置２は、直線ステージ
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。そして、中央制御装置２は、各測定点にお
いて、微小ループアンテナ４が被測定物１からの電磁波
ノイズを受けて発生する逆起電圧を、オシロスコープ５
に取り込み、フーリエ変換装置６により周波数領域での
磁界情報すなわち周波数スペクトルに変換させる。さら
に、中央制御装置２は、共通成分演算装置７により、そ
れぞれの微小ループアンテナから得られた周波数スペク
トルを比較することにより、推定された外来ノイズ成分
を、測定点において微小ループアンテナから得られた全
体の周波数スペクトルから除去させ、データ記憶装置１
１に記憶させる。
３により微小ループアンテナ４を順次所定の測定位置に
移動させる。そして、中央制御装置２は、各測定点にお
いて、微小ループアンテナ４が被測定物１からの電磁波
ノイズを受けて発生する逆起電圧を、オシロスコープ５
に取り込み、フーリエ変換装置６により周波数領域での
磁界情報すなわち周波数スペクトルに変換させる。さら
に、中央制御装置２は、共通成分演算装置７により、そ
れぞれの微小ループアンテナから得られた周波数スペク
トルを比較することにより、推定された外来ノイズ成分
を、測定点において微小ループアンテナから得られた全
体の周波数スペクトルから除去させ、データ記憶装置１
１に記憶させる。
【００６５】上述のようにして、必要な測定点の数だけ
微小ループアンテナ４を移動させて磁界を測定し、各測
定点における周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽
出することによって外来ノイズを推定し、全体の周波数
スペクトルから減じることによって、被測定物の輻射の
み測定することができる。また、外来ノイズ成分の純度
の高い被測定物のまわりを含む周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって、被測定物からの
輻射を精度良く測定することができる。また、センサー
部を変更することによって、電界に関しても同様の処理
が行える。
微小ループアンテナ４を移動させて磁界を測定し、各測
定点における周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽
出することによって外来ノイズを推定し、全体の周波数
スペクトルから減じることによって、被測定物の輻射の
み測定することができる。また、外来ノイズ成分の純度
の高い被測定物のまわりを含む周波数スペクトルを比較
し、共通成分を抽出することによって、被測定物からの
輻射を精度良く測定することができる。また、センサー
部を変更することによって、電界に関しても同様の処理
が行える。
【００６６】
【発明の効果】請求項１の発明は、電界または磁界を検
出する検出手段と、該検出手段を移動する移動手段と、
前記検出結果から電界または磁界を計算する計算手段
と、該計算の結果をフーリエ変換する変換手段と、該フ
ーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽出する抽出手
段とを有し、該抽出手段から得られた成分を外来ノイズ
とし、測定データから差し引くようにしたので、単一の
センサーでも外来ノイズを推定し、除去することができ
る。また、外来ノイズ成分の純度の高い被測定物のまわ
り含む周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出する
ことによって、外来ノイズ成分を精度良く推定すること
ができる。
出する検出手段と、該検出手段を移動する移動手段と、
前記検出結果から電界または磁界を計算する計算手段
と、該計算の結果をフーリエ変換する変換手段と、該フ
ーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽出する抽出手
段とを有し、該抽出手段から得られた成分を外来ノイズ
とし、測定データから差し引くようにしたので、単一の
センサーでも外来ノイズを推定し、除去することができ
る。また、外来ノイズ成分の純度の高い被測定物のまわ
り含む周波数スペクトルを比較し、共通成分を抽出する
ことによって、外来ノイズ成分を精度良く推定すること
ができる。
【００６７】請求項２の発明は、電界または磁界を検出
する検出手段と、検出手段を移動する移動手段と、前記
検出結果から電界または磁界を計算する計算手段と、過
去の測定電界または磁界データを記憶する記憶手段を有
し、該過去の測定電界または磁界データを外来ノイズと
し、測定データから差し引くようにしたので、単一のセ
ンサーでも外来ノイズを除去することができる。また、
外来ノイズの電界または磁界情報が記録されているた
め、被測定物が変化しても、同じ測定点において効率的
な外来ノイズ除去が行える。
する検出手段と、検出手段を移動する移動手段と、前記
検出結果から電界または磁界を計算する計算手段と、過
去の測定電界または磁界データを記憶する記憶手段を有
し、該過去の測定電界または磁界データを外来ノイズと
し、測定データから差し引くようにしたので、単一のセ
ンサーでも外来ノイズを除去することができる。また、
外来ノイズの電界または磁界情報が記録されているた
め、被測定物が変化しても、同じ測定点において効率的
な外来ノイズ除去が行える。
【００６８】請求項３の発明は、電界または磁界を検出
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段と、計算結果をフーリエ変換する変換手段
と、フーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽出する
抽出手段とを有し、前記電界または磁界を検出する検出
手段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻
射測定用センサー、その他が補正用センサーであり、前
記抽出手段により各センサーが検出した電界または磁界
の周波数スペクトルの共通成分を抽出し、それを外来ノ
イズとして測定データから差し引くようにしたので、一
点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノイズを
除去することができる。
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段と、計算結果をフーリエ変換する変換手段
と、フーリエ変換の複数の結果から共通成分を抽出する
抽出手段とを有し、前記電界または磁界を検出する検出
手段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻
射測定用センサー、その他が補正用センサーであり、前
記抽出手段により各センサーが検出した電界または磁界
の周波数スペクトルの共通成分を抽出し、それを外来ノ
イズとして測定データから差し引くようにしたので、一
点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノイズを
除去することができる。
【００６９】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、補正用センサーが輻射測定用センサーを取り囲むよ
うに配置されるので、一点のみの測定においても、リア
ルタイムで外来ノイズを除去することができ、この効果
は、請求項３の発明の効果に比べて精度の面で優れてい
る。
て、補正用センサーが輻射測定用センサーを取り囲むよ
うに配置されるので、一点のみの測定においても、リア
ルタイムで外来ノイズを除去することができ、この効果
は、請求項３の発明の効果に比べて精度の面で優れてい
る。
【００７０】請求項５の発明は、請求項３又は４の発明
において、センサーを移動する手段を有し、輻射測定用
センサーと補正用センサーの位置関係が変化するので、
一点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノイズ
を除去することができ、この効果は、請求項３の発明の
効果に比べて精度の面で優れている。
において、センサーを移動する手段を有し、輻射測定用
センサーと補正用センサーの位置関係が変化するので、
一点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノイズ
を除去することができ、この効果は、請求項３の発明の
効果に比べて精度の面で優れている。
【００７１】請求項６の発明は、請求項３又は４又は５
の発明において、補正用センサーが輻射測定用センサー
よりも指向性の広いので、一点のみの測定においても、
リアルタイムで外来ノイズを除去することができる。ま
た、外来ノイズ源が輻射測定用センサーの近傍にある場
合でも、精度良く外来ノイズを除去することができる。
の発明において、補正用センサーが輻射測定用センサー
よりも指向性の広いので、一点のみの測定においても、
リアルタイムで外来ノイズを除去することができる。ま
た、外来ノイズ源が輻射測定用センサーの近傍にある場
合でも、精度良く外来ノイズを除去することができる。
【００７２】請求項７の発明は、電界または磁界を検出
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段を有し、前記電界または磁界を検出する検出
手段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻
射測定用センサー、その他が補正用センサーであり、補
正用センサーがシールド板と電界または磁界を検出する
センサーで構成され、シールド板が補正用センサーと被
測定物の間に一体として配置されるので、一点のみの測
定においても、リアルタイムで外来ノイズ成分を除去す
ることができる。
する検出手段と、検出結果から電界または磁界を計算す
る計算手段を有し、前記電界または磁界を検出する検出
手段が複数のセンサーで構成され、そのうちの１つが輻
射測定用センサー、その他が補正用センサーであり、補
正用センサーがシールド板と電界または磁界を検出する
センサーで構成され、シールド板が補正用センサーと被
測定物の間に一体として配置されるので、一点のみの測
定においても、リアルタイムで外来ノイズ成分を除去す
ることができる。
【００７３】請求項８の発明は、請求項７の発明におい
て、補正用センサーがシールド材と電界または磁界を検
出するセンサーで構成され、シールド材が補正用センサ
ーを覆うように被測定物の間に一体として配置されるの
で、一点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノ
イズ成分を除去することができ、この効果は、請求項７
の発明の効果に比べて精度の面で優れている。また、シ
ールド部を小型化しやすい。
て、補正用センサーがシールド材と電界または磁界を検
出するセンサーで構成され、シールド材が補正用センサ
ーを覆うように被測定物の間に一体として配置されるの
で、一点のみの測定においても、リアルタイムで外来ノ
イズ成分を除去することができ、この効果は、請求項７
の発明の効果に比べて精度の面で優れている。また、シ
ールド部を小型化しやすい。
【００７４】請求項９の発明は、請求項３乃至８のいず
れかの発明において、電界または磁界を検出する検出手
段を移動する手段を有するので、一点のみの測定におい
ても、リアルタイムで外来ノイズ成分を除去することが
できる。また、任意の点で測定が可能になるだけでな
く、外来ノイズ成分を精度良く除去することができる。
れかの発明において、電界または磁界を検出する検出手
段を移動する手段を有するので、一点のみの測定におい
ても、リアルタイムで外来ノイズ成分を除去することが
できる。また、任意の点で測定が可能になるだけでな
く、外来ノイズ成分を精度良く除去することができる。
【００７５】請求項１０の発明は、請求項１乃至９のい
ずれかの発明において、電界または磁界を検出する検出
手段に複数軸のループからなるループセンサーが用いら
れるので、複数方向の外来ノイズを一度に除去すること
ができ、測定時間を短縮することができる。また、精度
を向上させることができる。
ずれかの発明において、電界または磁界を検出する検出
手段に複数軸のループからなるループセンサーが用いら
れるので、複数方向の外来ノイズを一度に除去すること
ができ、測定時間を短縮することができる。また、精度
を向上させることができる。
【００７６】請求項１１の発明は、請求項１乃至１０の
いずれかの発明において、電界または磁界を検出する検
出手段にマルチターン化されたセンサーが用いられるの
で、主に低周波数帯域で外来ノイズ成分を精度良く除去
することができる。
いずれかの発明において、電界または磁界を検出する検
出手段にマルチターン化されたセンサーが用いられるの
で、主に低周波数帯域で外来ノイズ成分を精度良く除去
することができる。
【００７７】請求項１２の発明は、請求項１乃至１１の
いずれかの発明において、前記フーリエ変換の結果の振
幅と位相を較正する位相較正手段と、前記較正結果をフ
ーリエ逆変換する逆変換手段とを有し、前記位相較正手
段により前記フーリエ変換の結果の振幅と位相を較正
し、前記逆変換手段により位相較正結果をフーリエ逆変
換することで、各時間における電界または磁界強度を決
位相を含めて導出し、電界または磁界波形を求めるの
で、波形を導出することができ、外来ノイズ成分を精度
良く除去することができる。
いずれかの発明において、前記フーリエ変換の結果の振
幅と位相を較正する位相較正手段と、前記較正結果をフ
ーリエ逆変換する逆変換手段とを有し、前記位相較正手
段により前記フーリエ変換の結果の振幅と位相を較正
し、前記逆変換手段により位相較正結果をフーリエ逆変
換することで、各時間における電界または磁界強度を決
位相を含めて導出し、電界または磁界波形を求めるの
で、波形を導出することができ、外来ノイズ成分を精度
良く除去することができる。
【００７８】請求項１３の発明は、請求項１乃至１２の
いずれかの発明において、外来ノイズ除去装置を持つの
で、被測定物の輻射のみ測定することができる。
いずれかの発明において、外来ノイズ除去装置を持つの
で、被測定物の輻射のみ測定することができる。
【図１】 請求項１記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図２】 請求項２記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図３】 請求項３記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図４】 請求項４記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図５】 請求項５記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図６】 請求項６記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図７】 請求項７記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図８】 請求項８記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図９】 請求項９記載の発明に係るＥＭＩ測定装置の
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び微小
ループアンテナを示す図である。
【図１０】 請求項１０記載の発明に係るＥＭＩ測定装
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
【図１１】 請求項１１記載の発明に係るＥＭＩ測定装
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
【図１２】 請求項１２記載の発明に係るＥＭＩ測定装
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
【図１３】 請求項１３記載の発明に係るＥＭＩ測定装
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
置の実施の形態の一例を説明するためのブロック図及び
微小ループアンテナを示す図である。
１…被測定物、２…中央制御装置、３…直線ステージ、
４…微小ループアンテナ、５…オシロスコープ、６…フ
ーリエ変換装置、７…共通成分演算装置、８…アンテナ
較正装置、９…フーリエ逆変換装置、１０…補正用セン
サー移動装置、１１…データ記憶装置。
４…微小ループアンテナ、５…オシロスコープ、６…フ
ーリエ変換装置、７…共通成分演算装置、８…アンテナ
較正装置、９…フーリエ逆変換装置、１０…補正用セン
サー移動装置、１１…データ記憶装置。
Claims (13)
- 【請求項１】 電界または磁界を検出する検出手段と、
該検出手段を移動する移動手段と、前記検出結果から電
界または磁界を計算する計算手段と、該計算の結果をフ
ーリエ変換する変換手段と、該フーリエ変換の複数の結
果から共通成分を抽出する抽出手段とを有し、該抽出手
段から得られた成分を外来ノイズとし、測定データから
差し引くことを特徴とする外来ノイズ除去装置。 - 【請求項２】 電界または磁界を検出する検出手段と、
該検出手段を移動する移動手段と、前記検出結果から電
界または磁界を計算する計算手段と、過去の測定電界ま
たは磁界データを記憶する記憶手段を有し、該過去の測
定電界または磁界データを外来ノイズとし、測定データ
から差し引くことを特徴とする外来ノイズ除去装置。 - 【請求項３】 電界または磁界を検出する検出手段と、
検出結果から電界または磁界を計算する計算手段と、該
計算結果をフーリエ変換する変換手段と、フーリエ変換
の複数の結果から共通成分を抽出する抽出手段とを有
し、前記電界または磁界を検出する検出手段が複数のセ
ンサーで構成され、そのうちの１つが輻射測定用センサ
ー、その他が補正用センサーであり、前記抽出手段によ
り各センサーが検出した電界または磁界の周波数スペク
トルの共通成分を抽出し、該共通成分を外来ノイズとし
て測定データから差し引くことを特徴とする外来ノイズ
除去装置。 - 【請求項４】 請求項３において、補正用センサーが輻
射測定用センサーを取り囲むように配置されていること
を特徴とする外来ノイズ除去装置。 - 【請求項５】 請求項３又は４において、前記センサー
を移動する手段を有し、前記輻射測定用センサーと補正
用センサーの位置関係が変化することを特徴とする外来
ノイズ除去装置。 - 【請求項６】 請求項３又は４又は５において、前記補
正用センサーが輻射測定用センサーよりも指向性の広い
ことを特徴とする外来ノイズ除去装置。 - 【請求項７】 電界または磁界を検出する検出手段と、
検出結果から電界または磁界を計算する計算手段を有
し、前記電界または磁界を検出する検出手段が複数のセ
ンサーで構成され、そのうちの１つが輻射測定用センサ
ー、その他が補正用センサーであり、前記補正用センサ
ーがシールド板と電界または磁界を検出するセンサーで
構成され、前記シールド板が補正用センサーと被測定物
の間に一体として配置されていることを特徴とする外来
ノイズ除去装置。 - 【請求項８】 請求項７において、前記補正用センサー
がシールド材と電界または磁界を検出するセンサーで構
成され、前記シールド材が補正用センサーを覆うように
被測定物の間に一体として配置されていることを特徴と
する外来ノイズ除去装置。 - 【請求項９】 請求項３乃至８のいずれかにおいて、前
記電界または磁界を検出する検出手段を移動する手段を
有することを特徴とする外来ノイズ除去装置。 - 【請求項１０】 請求項１乃至９のいずれかにおいて、
電界または磁界を検出する検出手段に複数軸のループか
らなるループセンサーが用いられることを特徴とする外
来ノイズ除去装置。 - 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれかにおい
て、前記電界または磁界を検出する検出手段にマルチタ
ーン化されたセンサーが用いられていることを特徴とす
る外来ノイズ除去装置。 - 【請求項１２】 請求項１乃至１１のいずれかにおい
て、前記フーリエ変換の結果の振幅と位相を較正する位
相較正手段と、前記較正結果をフーリエ逆変換する逆変
換手段とを有し、前記位相較正手段により前記フーリエ
変換の結果の振幅と位相を較正し、前記逆変換手段によ
り位相較正結果をフーリエ逆変換することで、各時間に
おける電界または磁界強度を位相を含めて導出し、電界
または磁界波形を求めることを特徴とする外来ノイズ除
去装置。 - 【請求項１３】 請求項１乃至１２のいずれかの外来ノ
イズ除去装置を具備することを特徴とする輻射測定装
置。
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|---|---|---|---|
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ID=16558362
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1997
- 1997-07-17 JP JP20856997A patent/JP4030155B2/ja not_active Expired - Fee Related
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