JPH1137815A

JPH1137815A - 発熱抵抗式流量測定装置およびその温度誤差補正手段

Info

Publication number: JPH1137815A
Application number: JP9189450A
Authority: JP
Inventors: Shinya Igarashi; 信弥五十嵐; Yasuo Makie; 泰生牧絵; Kenji Ota; 健治太田; Atsushi Sugaya; 菅家　　厚; Takashi Kadohiro; 崇角廣
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Car Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Automotive Systems Engineering Co Ltd
Priority date: 1997-07-15
Filing date: 1997-07-15
Publication date: 1999-02-12
Anticipated expiration: 2017-07-15
Also published as: JP3394426B2

Abstract

(57)【要約】【課題】発熱抵抗式流量測定装置による流量検出におい
て、流体温度と回路温度が異なる環境下にても、温度変
化による計測誤差を低減した流量値を得ること。【解決手段】発熱抵抗式流量測定装置の流体の温度変化
による計測誤差を流量によらず一定比率となるように調
整し、流体の温度を基に補正する。一方、回路の温度特
性はほぼ０％となるように調整する。【効果】発熱抵抗式流量測定装置の温度変化による計測
誤差をさらに低減可能となり、制御システムの高精度化
が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、発熱抵抗式流量測
定装置を用いて流体の質量流量を計測するときの、流体
の温度変化により生じる流量計測誤差の補正手段であっ
て、特に内燃機関に吸入される空気流量を計測し、その
空気流量に応じた機関の制御を行うシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明に近い公知例として、発熱抵抗式
空気流量測定装置の温度特性を電子回路の温度特性によ
り相殺する構成とした特開平8−278178 号記載の発熱抵
抗式流量測定装置がある。特開平8−278178 号記載の発
熱抵抗式流量測定装置は、温度変化による計測誤差の空
気流量に対する依存性を、発熱抵抗式流量測定装置が有
する基準電圧発生回路の温度特性に、前記計測誤差を相
殺するような流量依存性を持たせ補正したものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、流体
の温度変化により生じる発熱抵抗体，感温抵抗体等によ
り形成されたブリッジ回路の流量に対応した出力が持つ
温度誤差を、電子回路が持つ温度特性により相殺するも
のである。従って、流体の温度と電子回路の温度に差が
生じる場合には、その補正は機能しないという問題を有
している。

【０００４】本発明は、流体の温度変化により生じる発
熱抵抗式流量測定装置の温度誤差を流体の温度により容
易に補正可能としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、発熱抵抗式流
量測定装置の流体の温度変化により生じる計測誤差を、
流体の温度を基に補正するものであって、その補正を温
度信号のみで一元的に行えるように、発熱抵抗式流量測
定装置の温度誤差を流量によらず一定比率したものであ
る。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１〜図
１７を用いて説明する。

【０００７】本発明の代表的な実施例である温度誤差補
正手段を用いた制御システムの構成図を図１に示す。

【０００８】発熱抵抗式流量測定装置１は、流量検出用
の発熱抵抗体１１と流体の温度に応じた抵抗値となる感
温抵抗体であり発熱抵抗体の加熱温度の基準となる基準
抵抗体１２が流体通路４０の内部に位置するように取り
付けられ、発熱抵抗体１１，基準抵抗体１２とその他の
抵抗１７，１８とでブリッジ回路を構成しており、発熱
抵抗体１１は、基準抵抗体１２が検出している流体温度
に対して常に一定温度高くなるように制御される。従っ
て、発熱抵抗体１１から流体への放熱量と等しい加熱量
を得られるように発熱抵抗体１１に電流が供給されるた
め、発熱抵抗体１１を流れる電流値は流体の流量に対応
した信号となる。この電流を固定抵抗である抵抗１７で
電圧として置き換え、出力特性調整回路１４により調整
されて、流量信号１５を出力するものである。

【０００９】一方、流体温度検出装置２は、サーミスタ
等の感温抵抗体２１を流体通路４０内に配したもので、
その抵抗値自体、あるいは一定電流を供給した時の電圧
値を温度信号２２として出力するものである。

【００１０】上記の流量信号１５及び温度信号２２は、
その他の信号３１と共に、コントロールユニット４に入
力される。入力された各信号はＡ／Ｄコンバータ７によ
りディジタル値に変換され、マイコン９内で処理され
る。ここで、流量信号は実際には流量に対して非線形な
電圧信号であるため、ディジタル値に変換後さらに流量
変換部６においてリニアな流量値に換算され、さらに、
温度補正部３において、流体の温度変化による計測誤差
を補正した流量信号となり、温度誤差を低減した流量値
が得られる。この温度補正後の流量信号，温度信号及び
その他の信号を制御部５に入力し、その機関あるいは設
備の制御信号３２をＤ／Ａコンバータ等のインターフェ
ース８を介してコントロールユニット４により出力する
ことができる。

【００１１】次に、本発明に用いる発熱抵抗式流量測定
装置の一実施例として、内燃機関の吸入空気流量を測定
するための発熱抵抗式空気流量測定装置の構造につい
て、図２に示す横断面図と図３の上流側から見た外観図
を用いて説明する。

【００１２】発熱抵抗式空気流量測定装置の構造は、従
来品と変える必要はなく、ここでは本実施例の概略のみ
説明する。発熱抵抗式流量測定装置は、電子回路を構成
する回路基板５２を内装するハウジング５１、ハウジン
グ５１と固定された副通路構成部材５６、流体通路とな
るボディ４１により構成される。流量検出用の発熱抵抗
体１１及び基準抵抗体１２は、両端に導電性のリード５
４を有し、リード５４の両端をターミナル５３に固定す
ることにより副通路４３の内部に配置固定される。ター
ミナル５３は導電性部材であり、ハウジング５１の内部
へ連通して回路基板５２とワイヤ５７にて接続される。
計測対象である吸入空気４４は、ボディ４１にて形成さ
れる流体通路を主通路４２とし、その一部の流れが副通
路４３に分岐され発熱抵抗体１１の放熱量を基に電子回
路にて空気流量に対応した信号を得る。この信号をコネ
クタ５５より外部機器へ出力するものである。

【００１３】また、上記発熱抵抗式空気流量測定装置の
電子回路図を図４に示す。電子回路は、発熱抵抗体１１
の加熱温度を制御し、流量に対応した信号１９が得られ
る制御回路６１と、ツェナーダイオード６４，ダイオー
ド６５の温度特性を利用して温度変化による出力変化を
補正するための温度補償回路６２と、前記流量に対応し
た信号１９のゼロレベルとゲインを調整して所定の流量
特性に合わせるための出力特性調整回路６３に大別され
る。

【００１４】制御回路６１は、図１に示した単純ブリッ
ジ回路とは構成が異なるが、基準抵抗体１２の抵抗値に
対応する空気温度に対して発熱抵抗体１１が一定温度高
くなるように制御するもので、単純ブリッジと同じ機能
を有する回路である。

【００１５】温度補償回路６２は、ツェナーダイオード
６４とダイオード６５の温度特性を利用して、抵抗６６
または抵抗６７を調整することにより、任意の温度特性
を有する出力特性調整回路６３の基準電圧６８が得られ
るものである。

【００１６】出力特性調整回路６３は、制御回路６１の
流量に対応した信号１９を入力して、オペアンプ６９に
よりゼロスパン調整して所定の流量特性に合わせた流量
信号１５を得るものである。ここで、ゼロ点調整の基準
となる電圧は温度補償回路６２により任意の温度特性に
調整されたものであるため、流量信号１５の温度特性が
調整可能となる。

【００１７】上記の発熱抵抗式流量測定装置の流量信号
の持つ温度特性を、２０℃における出力特性を誤差０％
として、８０℃及び−４０℃と温度を変化させた時の計
測誤差として、従来の温度誤差調整を行った場合を図５
から図７に示す。

【００１８】図５は、回路基板上の抵抗や素子の温度特
性を無視して、流体の温度のみが８０℃または−４０℃
に変化した時の計測誤差を示したものである。流体の温
度が変化した時の流量計測誤差は、その流体の熱伝導率
や動粘性係数等の物性値が変化すること、また、リード
等の熱伝導率等も影響を受けることから、図５に示すよ
うに流量により異なる計測誤差、すなわち流量依存性を
持つ。

【００１９】この計測誤差は、基準抵抗体１２と直列に
配された抵抗１３によって調整可能であり、従来、その
計測誤差が全流量域でゼロに近付くように、図５に示す
程度に抵抗１３を設定していた。

【００２０】一方、回路基板上の抵抗や素子の温度特性
は、各素子，各抵抗の温度特性の総和として現れるが、
前述のように温度補償回路により調整可能である。その
温度特性は流量によらず一定電圧となるが、流量に換算
した時の計測誤差は低流量で大きく、高流量で小さくな
る。従って、図５に示した計測誤差の流量依存性を少し
でも打ち消すように、図６に示すように若干の計測誤差
を持たせた温度特性となるように調整する。

【００２１】上記により、実際に流体と回路が同じ温度
に変化した時の計測誤差は図７のようになる。発熱抵抗
式流量測定装置は流体温度を基準とした放熱量により流
量を計測しているため、他の流量計測法と比べて温度変
化による計測誤差は小さく、図７に示した最大誤差は数
％であり、従来あまり問題視されていなかった。

【００２２】しかし、近年さらなる高精度化が要求され
ており、温度変化による計測誤差の低減が必要となっ
た。この手段のひとつとして前述の従来技術として挙げ
た特開平8−278178 号記載の発熱抵抗式流量測定装置が
ある。これは、温度補償回路６２の出力となる基準電圧
６８の温度特性に流量依存性を持たせ、流体温度変化に
より生じる計測誤差の流量依存性を相殺するようにした
ものである。

【００２３】すなわち、前述の従来の温度誤差調整を行
った場合に対して、流体の温度変化による計測誤差は同
じ（図８）であるが、回路基板の温度特性を図９のよう
に調整可能とし、流体と回路が同じ温度に変化した時の
計測誤差を図１０のようにほぼ０％としたものである。

【００２４】しかし、特開平8−278178 号記載の調整法
においても、流体の温度と回路の温度がほぼ等しい場合
には有効であるが、両者に温度差が生じると適切な補正
はできなくなる。例えば、自動車のエンジンに吸入され
る空気流量を測定する発熱抵抗式空気流量測定装置で
は、発熱抵抗式空気流量測定装置がエンジンルーム内に
装着されエンジンからの熱を受けて回路部が加熱された
状態で冷気を吸入した時等は、吸入空気の温度は２０℃
程度でありながら回路部が８０℃程度まで加熱されてい
るような状況が考えられる。また、十分にエンジンが暖
機された後、極寒の屋外に出た時等は、逆に回路部は２
０℃程度でありながら吸入空気の温度は−４０℃程度と
いう状況も考えられる。

【００２５】従って、前述の例では、回路基板の温度特
性がそのまま、流量信号の計測誤差となり、後述の例で
は吸入空気の温度変化による計測誤差が回路の温度特性
で補正されずにそのまま流量信号の計測誤差として現れ
る。

【００２６】そこで、本発明は流体の温度変化により生
じる計測誤差を、流体の温度により補正することで低減
し、回路基板の抵抗や素子の温度特性は、前述の温度補
償回路６２にてほぼ０％となるように調整することによ
り、流体の温度と回路部の温度が異なる場合において
も、常に温度誤差を抑えた流量値が得られるようにした
ものである。

【００２７】しかし、流体の温度変化により生じる計測
誤差には、前述のように従来の調整では流量依存性を持
つため、流量と温度のマップにより補正係数を求める等
のやや負荷のかかる補正が必要となる。

【００２８】本発明は、この補正を非常に容易に行うた
めに、流体の温度変化による計測誤差を、あえて０％を
狙わず流量依存性が無くなるように、流量によらず一定
の計測誤差を生じるように発熱抵抗式流量測定装置を調
整したものである。反対に、回路の温度特性は、流体の
温度変化による計測誤差を打ち消すような調整は行わ
ず、計測誤差が生じない（ほぼ０％となる）ように調
整、あるいは設定すれば良い。

【００２９】上記の流体の温度変化による計測誤差の調
整は、例えば基準抵抗体１２と直列に配置された抵抗１
３の抵抗値を変えることにより行える。抵抗１３の抵抗
値を変更した時の流体の温度を２０℃から８０℃また
は、−４０℃とした時の計測誤差を図１１に従来の調整
と比較して示す。抵抗１３の抵抗値を変更した開発品
は、流体の温度変化による計測誤差が、８０℃でマイナ
ス誤差となるが流量によらずほぼ一定比率であり、−４
０℃ではプラス誤差で一定比率となる。この流体の温度
変化による計測誤差が流量依存性を持たずフラットにな
る時の計測誤差は、発熱抵抗体１１や基準抵抗体１２の
構成材料や構造によっても異なるが、性能，信頼性の面
から０％でフラットとするのは困難なことがあるため、
あえて０％にせずとも、設定の容易な抵抗値の変更で流
量依存性がなくなるように調整することが、本発明のポ
イントである。

【００３０】また、この一定比率の計測誤差は、温度に
対して図１２に示すようにほぼ直線的な相関を示す。従
って、この流体の温度変化による計測誤差の補正は、例
えば実測された流体温度と基準温度（本実施例では２０
℃）との温度差に図１２の傾き係数をかけ合わせること
で補正誤差が得られ、その誤差分発熱抵抗式流量測定装
置から得られた流量を補正してやれば、流量によらず流
体の温度変化による計測誤差を補正した流量が得られ
る。このように、本発明は簡単な一次式にて流体の温度
変化による計測誤差の補正が可能なため、その補正処理
が非常に容易で処理部の負荷が小さくてすむ。

【００３１】一方、回路の温度特性は、前述のように基
準電圧回路６２により、回路の温度特性がほぼ０％とな
るように調整するか、あるいは、抵抗や素子の温度特性
がほとんどないように設定することで、図１３に示すよ
うに計測誤差をほぼ０％とする。

【００３２】従って、前述流体の温度変化による計測誤
差の補正手段を発熱抵抗式流量測定装置の外部の処理装
置や制御装置で行う場合、発熱抵抗式流量測定装置の総
合温度誤差は図１４に示すように流体温度による計測誤
差とほぼ等しい。しかし、流体温度による計測誤差は補
正処理部で流体の温度を基に補正されるため、補正後の
流量値は図１５に示すように温度変化による誤差がほぼ
０％となる。この方法によれば、流体温度と回路温度の
影響を独立に補正しているため、前述のように流体温度
と回路温度が異なる環境においても、温度による計測誤
差を低減した流量が得られる。

【００３３】次に、前述の流体温度による計測誤差の補
正処理部を有する発熱抵抗式流量測定装置の一実施例に
ついて、その発熱抵抗式流量測定装置の横断面図である
図１６を用いて説明する。

【００３４】流量を検出する発熱抵抗体１１及び流体の
発熱抵抗体の加熱温度の基準となる基準抵抗体１２は、
電子回路５２を内装するハウジング５１に一体に形成さ
れた副通路４３の内部に配置され、ターミナル５３及び
ワイヤ５７を介して電子回路５２と電気的に接続してい
る。

【００３５】電子回路５２は、前述の制御回路６１，基
準電圧回路６２，出力特性調整回路６３に加えて、ｃｐ
ｕ７１，Ａ／Ｄコンバータ７２，メモリ７３，インター
フェース７４等を有し、電子回路内でディジタル変換
し、演算処理することを可能としたものである。また、
流体の温度計測にはサーミスタ等を別に配置する方法が
考えられるが、前記の基準抵抗体１２の両端電圧から流
体温度を求めることも可能である。基準抵抗体１２の両
端電圧は流量によりそこを流れる電流が変化するため、
そのまま流体温度を得ることはできない。しかし、本実
施例ではcpu71 による演算処理が可能であり、また、流
量信号が得られるため、基準抵抗体１２の両端電圧から
流量に対応した値を演算処理することにより流体温度に
対応した信号を求めることが可能となる。従って、Ａ／
Ｄコンバータによりディジタル変換された流量信号の流
体の温度変化による計測誤差を前述のように流量によら
ず一定比率となるように調整しておき、ｃｐｕ７１によ
り流体の温度を基に補正することにより、温度誤差を低
減することが可能となる。

【００３６】また、本実施例では、回路基板５２が主通
路４２の内部に設置されているため、外部に置かれた場
合より回路温度も流体温度に近付くので、流体温度と回
路温度をほぼ等しいものとして、総合的に温度誤差を補
正することも可能である。しかし、回路温度は流体より
も外部の熱をハウジングを伝わる熱伝導により受けやす
いことや、回路の抵抗や素子等からの自己加熱もあるた
め、流体と回路は全く同じ温度とはならないので、前述
のように回路の温度特性は、個別に温度誤差がほぼ０％
となるように調整しておくことが望ましい。

【００３７】このように、ｃｐｕ７１により演算補正さ
れた流量信号や、流体の温度信号は、インターフェース
７４を介してコネクタターミナル７５から外部機器へ出
力される。また、演算処理のための係数等の数値データ
はメモリ７３に保管されているため、このメモリ７３内
のデータを書き替えることで個別に調整することも可能
である。

【００３８】最後に、本発明を内燃機関の制御に用いた
時の実施例を内燃機関の構成図である図１７を基に説明
する。

【００３９】エンジンシリンダ１０１に吸入される空気
は、スロットルバルブ１０２及びアイドルコントロール
バルブ１０３により制御される。その吸入空気１１０は
外部よりエアクリーナ１０４に吸入され、フィルタ１０
５を介して発熱抵抗式流量測定装置１，スロットルボデ
ィ１１５を通過して、エンジンシリンダ１０１に吸入さ
れ、燃焼後排気１１１として排出される。また、エアク
リーナ１０４の内部には吸気温度センサ１０６が、排気
管には空燃比センサ１０７が、またエンジンにはクラン
ク角センサ１０８が、スロットルボディ１１５にはスロ
ットル開度センサ１０９が設置され、コントロールユニ
ット１１２に、空気流量信号，吸気温度信号，空燃比信
号，クランク角度（エンジン回転数）信号，スロットル
開度信号が入力される。コントロールユニット１１２は
これらの入力信号を基に機関を最適に制御するためのイ
ンジェクタ１１３の燃料制御信号やアイドルコントロー
ルバルブ１０３の開度信号を出力するものである。

【００４０】ここで、発熱抵抗式流量測定装置１の吸気
温度変化により生じる計測誤差を流量によらず一定比率
となるように調整しておくことにより、コントロールユ
ニット１１２内で吸気温度信号を基に補正可能となるた
め、吸気温度による計測誤差を低減した流量値が得ら
れ、機関のより高精度な制御が可能となる。

【００４１】

【発明の効果】本発明によれば、発熱抵抗式流量測定装
置の流体の温度変化による計測誤差を流体温度により容
易に補正できるので、発熱抵抗式流量測定装置の回路の
温度特性を計測誤差を生じないように調整することによ
り、流体の温度と回路温度が異なる環境下においても、
計測誤差を大幅に低減した流量値を得ることが可能とな
り、発熱抵抗式流量測定装置を用いたシステムの高精度
化が、システムの大きな変更を必要とせずに容易に達成
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の代表的な実施例である制御システムの
構成図。

【図２】本発明に用いる発熱抵抗式流量測定装置の一実
施例の横断面図。

【図３】図２を上流側から見た外観図。

【図４】図２の発熱抵抗式流量測定装置の電子回路図。

【図５】発熱抵抗式流量測定装置の流体温度による計測
誤差の一従来例。

【図６】発熱抵抗式流量測定装置の回路温度特性の一従
来例。

【図７】発熱抵抗式流量測定装置の総合温度誤差の一従
来例。

【図８】発熱抵抗式流量測定装置の流体温度による計測
誤差の一従来例。

【図９】発熱抵抗式流量測定装置の回路温度特性の一従
来例。

【図１０】発熱抵抗式流量測定装置の総合温度誤差の一
従来例。

【図１１】本発明の発熱抵抗式流量測定装置の流体温度
による計測誤差。

【図１２】本発明の発熱抵抗式流量測定装置の流体温度
と計測誤差の関係。

【図１３】本発明の発熱抵抗式流量測定装置の回路温度
特性。

【図１４】本発明の発熱抵抗式流量測定装置の補正前の
総合温度誤差。

【図１５】本発明の発熱抵抗式流量測定装置の補正後の
総合温度誤差。

【図１６】本発明の補正処理部を有する発熱抵抗式流量
測定装置の一実施例の横断面図。

【図１７】本発明を用いた内燃機関の制御システム構成
図。

【符号の説明】

１…発熱抵抗式流量測定装置、２…流体温度検出装置、
３…温度補正部、４…コントロールユニット、５…制御
部、６…流量変換部、７…Ａ／Ｄコンバータ、８…イン
ターフェース、９…マイコン、１１…発熱抵抗体、１２
…基準抵抗体、１３…抵抗、１５…流量信号、１６…電
源端子、１７…ブリッジ抵抗１、１８…ブリッジ抵抗
２、１９…流量に対応したブリッジ信号、２１…感温抵
抗体、２２…温度信号、４０…流体通路、４１…ボデ
ィ、４２…主通路、４３…副通路、５１…ハウジング、
５３…ターミナル、５４…リード、５５…コネクタ、５
６…副通路構成部材、５７…ワイヤ、６１…制御回路、
６３…出力特性調整回路、６４…ツェナーダイオード、
６５…ダイオード、６６，６７…抵抗、６８…基準電
圧、６９…オペアンプ、１０１…エンジンシリンダ、１
０２…スロットルバルブ、１０３…アイドルコントロー
ルバルブ、１０４…エアクリーナ、１０５…フィルタ、
１１５…スロットルボディ、１０６…吸気温度センサ、
１０７…空燃比センサ、１０８…クランク角センサ、１
０９…スロットル開度センサ、１１０…吸入空気、１１
１…排気、１１２…コントロールユニット、１１３…イ
ンジェクタ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者太田健治茨城県ひたちなか市大字高場2520番地株式会社日立製作所自動車機器事業部内 (72)発明者菅家厚茨城県日立市大みか町七丁目１番１号株式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者角廣崇茨城県ひたちなか市高場2477番地株式会社日立カーエンジニアリング内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】発熱抵抗式流量測定装置の流体の温度変化
により生じる流量計測誤差を、流量によらず一定比率と
なるように調整し、その流量計測値を流体の温度により
流量によらず一率に補正することを特徴とする発熱抵抗
式流量測定装置の温度誤差補正手段。
【請求項２】発熱抵抗式流量測定装置の流体の温度変化
により生じる流量計測誤差を、流量によらず一定比率と
なるように調整し、その流量計測値と流体温度の関数に
より前記流量計測誤差を補正することを特徴とする発熱
抵抗式流量測定装置の温度誤差補正手段。
【請求項３】発熱抵抗式流量測定装置の流体の温度変化
により生じる流量計測誤差を、流量によらず一定比率と
なるように調整し、その流量計測値の補正係数を流体温
度の一次関数として求め、前記流量計測誤差を補正する
ことを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置の温度誤差補
正手段。
【請求項４】発熱抵抗式流量測定装置の流体の温度変化
により生じる流量測定誤差を、流量によらず一定比率と
なるように調整し、流量に対応した信号を出力する発熱
抵抗式流量測定装置と、流体の温度を検出し、温度に対応した信号を出力する温
度測定装置と、発熱抵抗式流量測定装置の出力信号と温度測定装置の出
力信号を入力し、その温度信号を基に発熱抵抗式流量測
定装置の流体の温度変化により生じる流量計測誤差を補
正する請求項１項乃至３項のいずれか記載の温度誤差補
正手段と、を備えた流量計測システム。
【請求項５】請求項４記載の流量計測システムと、前記
発熱抵抗式流量測定装置の温度誤差を補正して得られた
流量に応じた設備や機関の制御を行う手段と、を備えた
制御システム。
【請求項６】発熱抵抗式流量測定装置の出力信号と流体
温度検出装置の出力信号を入力し、発熱抵抗式流量測定
装置の流体の温度変化により生じる流量計測誤差を補正
した流量値を出力する処理装置を有するユニットと、補
正した流体に応じた設備や機関の制御信号を出力するコ
ントロールユニットと、を備えた制御システム。
【請求項７】請求項１から３のいずれか記載の温度誤差
補正を行うために、流体の温度変化により生じる流量計
測誤差を流量によらず一定比率となるように調整してい
ることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
【請求項８】発熱抵抗体からの放熱量、あるいは加熱さ
れた抵抗体の温度を基に、流体の流量に対応した信号を
出力する発熱抵抗式流量測定装置において、その流量計
測部と、流体の温度を検出する温度測定部と、流体の温
度変化により生じる流量計測誤差を請求項１から３のい
ずれか記載の温度誤差補正手段により補正する機能を持
つ処理部をひとつのユニットに一体化していることを特
徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
【請求項９】請求項８記載の発熱抵抗式流量測定装置に
おいて、発熱（加熱）抵抗体と共にブリッジ回路を構成
し、流体の温度に対応した抵抗値となる感温抵抗体であ
り発熱抵抗体の加熱温度の基準となる基準抵抗体により
流体の温度を求め、その温度により流体の温度変化によ
り生じる流量計測誤差を補正することを特徴とする発熱
抵抗式流量測定装置。
【請求項１０】請求項８または請求項９に記載の発熱抵
抗式流量測定装置において、前記処理部に入力される流
量に対応した信号の流体の温度変化により生じる流量計
測誤差を、流量によらず一定比率となるように調整し
て、その流量計測誤差を流体の温度により補正した流量
信号と、流体の温度に対応した温度信号を出力すること
を特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
【請求項１１】請求項１ないし請求項１０において、流
量測定用の発熱抵抗体と共にブリッジ回路を構成し発熱
抵抗体の加熱温度の基準となる前記基準抵抗体と直列に
配した抵抗の抵抗値により、流体の温度変化により生じ
る流量計測誤差を、流量によらず一定比率となるように
調整していることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置
または温度誤差手段または制御システムまたは流量計測
システム。