JPH11352109A - Device and method for inspecting eddy current - Google Patents

Device and method for inspecting eddy current

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JPH11352109A
JPH11352109A JP15944698A JP15944698A JPH11352109A JP H11352109 A JPH11352109 A JP H11352109A JP 15944698 A JP15944698 A JP 15944698A JP 15944698 A JP15944698 A JP 15944698A JP H11352109 A JPH11352109 A JP H11352109A
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JP
Japan
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temperature
probe
eddy current
heater
detection unit
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Application number
JP15944698A
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Japanese (ja)
Inventor
Masaya Yano
将也 矢野
Toshibumi Fukuda
俊文 福田
Tadahiro Minamide
忠寛 南出
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NIPPON FUERUSUTAA KK
Nippon Steel Corp
Original Assignee
NIPPON FUERUSUTAA KK
Sumitomo Metal Industries Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an eddy current inspection device which has a simple structure and can eliminate an error in magnetic field measurement caused by temperature drift in a detection part. SOLUTION: A heater 32 is turned on beforehand to raise the temperature of a probe holder 3, and is set so as to keep the temperature, for example, at 50 deg.C. After the temperature of the probe holder 3 becomes constant, a current is supplied to a probe detection part 2 and a steel pipe T is carried to start the measurement of a decarbonized layer. The magnetic field measurement error of the probe detection part 2 can be eliminated, as the temperature drift in the probe detection part 2 is not generated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電磁誘導法によっ
て磁性材の脱炭素領域,表面疵等の表層部の欠陥を検査
する渦流検査装置及び方法に関し、自己発熱による温度
ドリフトを補正できる渦流検査装置及び検査方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an eddy current inspection apparatus and method for inspecting a surface layer of a magnetic material, such as a decarbonized area and a surface flaw, by an electromagnetic induction method. The present invention relates to an apparatus and an inspection method.

【0002】[0002]

【従来の技術】高温で熱処理した鋼材の表層部に、炭素
濃度が低下した脱炭層が形成されることがある。脱炭層
は局所的に炭素量が少ないために、周囲の組織よりも強
度が低く、脱炭層が深い領域にまで形成された鋼材を強
度が必要とされる部材に用いることはできない。従っ
て、鋼材の表層における脱炭層の有無及び深さを検出す
ることは重要であり、その手段が強く望まれている。
2. Description of the Related Art A decarburized layer having a reduced carbon concentration may be formed on a surface layer of a steel material heat-treated at a high temperature. Since the decarburized layer locally has a small amount of carbon, the strength is lower than the surrounding structure, and a steel material formed up to a region where the decarburized layer is deep cannot be used as a member requiring strength. Therefore, it is important to detect the presence and depth of the decarburized layer on the surface layer of the steel material, and a means for such detection is strongly desired.

【0003】脱炭層の深さを測定する方法として、一般
には、まず鋼材の一部分を切り取り、切り取った部分の
表層部の断面を顕微鏡写真に撮る。この写真を基に検査
員が目視で脱炭層の深さを判定する。しかしながら、こ
の方法は破壊検査であるために鋼材の全長にわたって検
査することが不可能であること、判定終了までに数日を
要するといった問題がある。
[0003] As a method of measuring the depth of the decarburized layer, generally, first, a part of a steel material is cut out, and a cross section of a surface layer portion of the cut part is taken with a micrograph. An inspector visually determines the depth of the decarburized layer based on this photograph. However, since this method is a destructive inspection, it is impossible to inspect the entire length of the steel material, and it takes several days to complete the determination.

【0004】また、他の方法として、渦流検査装置を用
いて非破壊的に脱炭層を検出する方法がある。渦流検査
装置は電磁誘導現象を利用してコイルのインピーダンス
出力の変化を検出するものであり、検出結果により鋼材
表層部の状態を検査する。例えば鋼材表面の疵を検出す
る場合には、検出部としてプローブを挿入したコイル、
即ちプローブコイルを2つ用い、一方のインピーダンス
出力に変化が生じた場合に双方の出力の差を検出し、検
出結果から疵の有無を判別する。また、このような渦流
検査装置では、コイルに電流が供給された際にプローブ
が発熱し、検出部の温度に変動(温度ドリフト)が生じ
る。この温度ドリフトがインピーダンス出力に影響を与
えるが、双方のコイルで同程度の影響を受けるために、
これらの出力差に関しては温度ドリフトの影響は互いに
相殺されている。この装置を用いて脱炭層を検出した場
合は、鋼材の全長にわたって検査することができる。し
かしながら、2つのコイルのインピーダンス出力の差で
は、鋼材表層に均一に脱炭層が存在する場合には検出差
が生じず、脱炭層の深さに応じた検出結果を得ることは
できないという問題があった。
As another method, there is a method of non-destructively detecting a decarburized layer using an eddy current inspection device. The eddy current inspection device detects a change in the impedance output of the coil by using an electromagnetic induction phenomenon, and inspects a state of a steel material surface layer based on a detection result. For example, when detecting a flaw on the surface of a steel material, a coil into which a probe is inserted as a detection unit,
That is, two probe coils are used, and when a change occurs in one of the impedance outputs, the difference between the two outputs is detected, and the presence or absence of a flaw is determined from the detection result. Further, in such an eddy current inspection apparatus, when current is supplied to the coil, the probe generates heat, and the temperature of the detection unit fluctuates (temperature drift). Although this temperature drift affects the impedance output, both coils are equally affected,
With respect to these output differences, the effects of temperature drift cancel each other out. If a decarburized layer is detected using this device, it can be inspected over the entire length of the steel material. However, the difference between the impedance outputs of the two coils does not produce a detection difference when the decarburized layer is present uniformly on the surface of the steel material, and there is a problem that the detection result cannot be obtained according to the depth of the decarburized layer. Was.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで本願出願人は、
1つのコイルを用いた自己比較方式により脱炭層の深さ
を検出する渦流検査装置を提案している(特開平2−24
7556号公報)。この方法により鋼材の脱炭層の深さを検
出することができる。しかしながら、上述したように2
つのコイルのインピーダンス出力差を利用する方法では
検出部の温度ドリフトの影響は受けないが、1つのコイ
ルの出力を用いる場合は検出部の温度変化がインピーダ
ンス出力に大きく影響する。特に、高感度出力を用いて
脱炭層を検出する場合は、この影響を無視できないとい
う問題があった。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the applicant of the present application
An eddy current inspection device has been proposed which detects the depth of a decarburized layer by a self-comparison method using one coil (Japanese Patent Laid-Open No. 2-24).
No. 7556). With this method, the depth of the decarburized layer of the steel material can be detected. However, as mentioned above,
In the method using the impedance output difference between the two coils, the influence of the temperature drift of the detection unit is not affected. However, when the output of one coil is used, the temperature change of the detection unit greatly affects the impedance output. In particular, when a decarburized layer is detected using a high-sensitivity output, there is a problem that this effect cannot be ignored.

【0006】このような温度ドリフトによる検出結果の
誤差を補正するために、本願出願人は特開平5−332810
号公報において、湯面レベル計に用いている渦流センサ
の温度を一定に維持できる渦流検査装置を提案してい
る。この装置では、鋳込み前にセンサ部の温度を鋳込み
途中の予定温度に維持しておき、鋳込み開始時にセンサ
部を冷却しつつ、センサ部が有するコイルの温度を測定
する。測定されたコイルの温度に応じて湯面レベル計の
測定値を補正している。これにより、温度ドリフトによ
る検出結果の誤差は補正される。
In order to correct the error of the detection result due to such a temperature drift, the present applicant has disclosed Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-332810.
In Japanese Patent Laid-Open Publication No. H11-264, an eddy current inspection device capable of maintaining a constant temperature of an eddy current sensor used for a level gauge has been proposed. In this apparatus, the temperature of the sensor section is maintained at a predetermined temperature during casting before casting, and the temperature of the coil of the sensor section is measured while cooling the sensor section at the start of casting. The measured value of the level gauge is corrected according to the measured coil temperature. Thereby, the error of the detection result due to the temperature drift is corrected.

【0007】しかしながら、検出対象の鋼材は脱炭層の
検出時には加熱されないので、脱炭層の検出結果の補正
はコイルの供給電流に起因する検出部の温度ドリフトに
対してのみ行えば良い。従って、上述した特開平5−33
2810号公報による提案の湯面レベル計用の渦流検査装置
を用いた場合は、鋼材の表層部の検出には必要がない部
分をも含んでおり、構成が大がかりであるという問題が
あった。
However, since the steel material to be detected is not heated when the decarburized layer is detected, the detection result of the decarburized layer needs to be corrected only for the temperature drift of the detecting section caused by the current supplied to the coil. Therefore, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-33
In the case of using the eddy current inspection device for a level gauge proposed in Japanese Patent Publication No. 2810, there is a problem that a portion of the steel material that is not necessary for detection of a surface layer portion is included and the configuration is large.

【0008】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
であり、簡単な構成で、温度ドリフトによる検出信号の
誤差をなくすことができる渦流検査装置を提供すること
を目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an eddy current inspection apparatus which can eliminate a detection signal error due to a temperature drift with a simple configuration.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】第1発明に係る渦流検査
装置は、ホルダに支持された検出部が磁性材の所定の領
域を磁化しつつ該領域の近傍の磁場を計測することによ
り、前記磁性材の表層部を検査する渦流検査装置におい
て、前記ホルダはヒータを設けており、該ヒータに電力
を供給して前記ヒータの温度を制御する制御部を備える
ことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an eddy current inspection apparatus, wherein a detector supported by a holder measures a magnetic field near a predetermined region of a magnetic material while magnetizing the predetermined region. In the eddy current inspection device for inspecting a surface portion of a magnetic material, the holder is provided with a heater, and includes a control unit that supplies power to the heater to control the temperature of the heater.

【0010】第1発明にあっては、ホルダが備えるヒー
タにより前記検出部が加熱されるので、自己発熱による
検出部の温度ドリフトが防止できる。
[0010] In the first aspect, since the detection section is heated by the heater provided in the holder, temperature drift of the detection section due to self-heating can be prevented.

【0011】第2発明に係る渦流検査装置は、第1発明
において、前記検出部は、前記磁性材を磁化するための
プローブコイルを備え、前記ホルダは前記検出部を装入
すべき貫通孔を有して前記ヒータを前記貫通孔の周壁に
埋設してあることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the eddy current inspection apparatus according to the first aspect, the detection unit includes a probe coil for magnetizing the magnetic material, and the holder includes a through hole into which the detection unit is to be inserted. And the heater is embedded in a peripheral wall of the through hole.

【0012】第2発明にあっては、前記ヒータが前記検
出部の周囲に配されているので、前記検出部の温度を一
定に維持し易い。
According to the second aspect of the present invention, since the heater is disposed around the detecting section, it is easy to maintain the temperature of the detecting section constant.

【0013】第3発明に係る渦流検査装置は、第2発明
において、前記ヒータは、前記プローブコイルの軸方向
に略平行に電流が流れるべく電熱線を配してあることを
特徴とする。
An eddy current inspection apparatus according to a third invention is characterized in that, in the second invention, the heater is provided with a heating wire so that a current flows substantially parallel to an axial direction of the probe coil.

【0014】前記プローブコイルに電流が流れた際に、
コイルの近傍にプローブ軸方向の磁束が生じる。従っ
て、ヒータを前記プローブコイルと同心円状に配した場
合は、磁性材を磁化するための磁束と同方向の磁束がヒ
ータの近傍に生じてしまい、磁性材の磁化に影響を及ぼ
す虞がある。第3発明にあっては、前記ヒータに、前記
プローブコイルの軸方向に略平行に電流が流れるので、
前記プローブコイルに生じる磁束に影響を及ぼさない。
When a current flows through the probe coil,
Magnetic flux in the probe axis direction is generated near the coil. Therefore, when the heater is arranged concentrically with the probe coil, a magnetic flux in the same direction as the magnetic flux for magnetizing the magnetic material is generated near the heater, which may affect the magnetization of the magnetic material. According to the third aspect, a current flows through the heater substantially in parallel with the axial direction of the probe coil.
It does not affect the magnetic flux generated in the probe coil.

【0015】第4発明に係る渦流検査方法は、検出部が
磁性材の所定の領域を磁化しつつ該領域の近傍の磁場を
計測することにより前記磁性材の表層部を検査する渦流
検査方法において、予め、前記検出部をヒータにより所
定温度まで加熱する過程と、その後、前記検出部の温度
を一定に維持しつつ前記検出部による計測を行なう過程
とを有することを特徴とする。
An eddy current inspection method according to a fourth aspect of the present invention is the eddy current inspection method for inspecting a surface portion of the magnetic material by measuring a magnetic field in the vicinity of the predetermined region while magnetizing a predetermined region of the magnetic material. The method further includes a step of heating the detection unit to a predetermined temperature by a heater in advance, and a step of performing measurement by the detection unit while maintaining the temperature of the detection unit constant.

【0016】第4発明にあっては、磁性材の表層部の検
出を行なう以前に、ヒータにより前記検出部を加熱して
温度を一定に保っているので、検出部の温度ドリフトに
よる測定値の誤差をなくすことができる。
According to the fourth aspect of the present invention, before the detection of the surface portion of the magnetic material, the heater is heated to maintain the temperature constant by the heater. Errors can be eliminated.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態を
示す図面に基づき具体的に説明する。図1は、本発明に
係る渦流検査装置の主な構成を示す模式的構成図であ
る。図に示すように、平置された検出対象の鋼管Tの表
層部に対応する位置にプローブ検出部2が非接触に又は
接触して配されている。プローブ検出部2は略直方体状
のプローブホルダ3内に支持されており、鋼管Tの搬送
によりプローブホルダ3が備える案内車輪33が回転し
て鋼管T上で一定距離を隔てて平行移動する。プローブ
検出部2は脱炭層検出制御部4により交流電流が供給さ
れて鋼管Tを磁化し、鋼管Tのプローブ検出部2近傍で
の漏洩磁場を検出して、その検出信号を脱炭層検出制御
部4に出力するようになっている。またプローブホルダ
3は、後述するようにヒータを有しており、温度制御部
5により温度制御されるようになっている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to the drawings showing the embodiments. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a main configuration of an eddy current inspection device according to the present invention. As shown in the figure, a probe detection unit 2 is arranged in a position corresponding to the surface layer of a steel pipe T to be detected placed flat, in a non-contact or in contact manner. The probe detector 2 is supported in a probe holder 3 having a substantially rectangular parallelepiped shape. When the steel tube T is transported, the guide wheel 33 provided in the probe holder 3 rotates and moves parallel on the steel tube T at a predetermined distance. The probe detecting unit 2 is supplied with an alternating current by the decarburized layer detection control unit 4 to magnetize the steel pipe T, detects a leakage magnetic field near the probe detector 2 of the steel pipe T, and converts the detection signal to a decarbonized layer detection control unit. 4 is output. Further, the probe holder 3 has a heater as described later, and the temperature is controlled by the temperature control unit 5.

【0018】図2は、プローブ検出部2及び脱炭層検出
制御部4の構成を示す模式的ブロック図であり、プロー
ブホルダ3を省略して示している。プローブ検出部2
は、鉄心21、鉄心21に巻回された励磁用のコイル2
2、鉄心21の先端部に設けられた磁場検出器23及び
熱電対24を備えて構成されている。コイル22は鉄心
21の軸を中心に巻回されたプローブコイルである。磁
場検出器23は、鋼管Tの表面に略平行な方向及び略垂
直な方向の夫々の磁場の強さを検出する検出素子(コイ
ル)を備えている。鉄心21には熱電対が取付けられて
おり、プローブ検出部2の温度を測定する。
FIG. 2 is a schematic block diagram showing the configuration of the probe detection section 2 and the decarburized layer detection control section 4, in which the probe holder 3 is omitted. Probe detector 2
Is an iron core 21, an exciting coil 2 wound around the iron core 21.
2. It comprises a magnetic field detector 23 and a thermocouple 24 provided at the tip of the iron core 21. The coil 22 is a probe coil wound around the axis of the iron core 21. The magnetic field detector 23 includes a detection element (coil) that detects the strength of the magnetic field in a direction substantially parallel to the surface of the steel pipe T and a direction substantially perpendicular to the surface of the steel pipe T. A thermocouple is attached to the iron core 21, and measures the temperature of the probe detector 2.

【0019】脱炭層検出制御部4は、コイル22に交流
電流を供給する第1の電源部41と、磁場検出器23に
給電する第2の電源部42と、磁場検出器23の検出信
号が入力される検出波形表示部42及び脱炭層深さ検出
部44とを備える。また温度制御部5は、熱電対24の
検出信号が入力される温度検出部51を備える。第1の
電源部41によりコイル22が通電された際に、電磁誘
導により鉄心21の軸方向の磁束が生じて鋼管Tの磁化
が行われる(図2参照)。磁場検出器23に第2の電源
部42から電流が供給され、鋼管Tを長さ方向に移動さ
せることにより、磁化された鋼管Tの表面の漏洩磁場が
連続的に検出される。検出信号は検出波形表示部42及
び脱炭層深さ検出部44に夫々入力され、脱炭層とその
深さとが検出される。ここでの脱炭層の検出及びその深
さの検出については、上述した特開平2−247556号公報
に記載しており、その説明はここでは省略する。
The decarburized layer detection control section 4 includes a first power supply section 41 for supplying an alternating current to the coil 22, a second power supply section 42 for supplying power to the magnetic field detector 23, and a detection signal from the magnetic field detector 23. A detection waveform display unit 42 and a decarburized layer depth detection unit 44 to be input are provided. Further, the temperature control unit 5 includes a temperature detection unit 51 to which a detection signal of the thermocouple 24 is input. When the coil 22 is energized by the first power supply unit 41, magnetic flux is generated in the axial direction of the iron core 21 by electromagnetic induction, and the steel pipe T is magnetized (see FIG. 2). A current is supplied from the second power supply unit 42 to the magnetic field detector 23, and the steel tube T is moved in the length direction, whereby the leakage magnetic field on the surface of the magnetized steel tube T is continuously detected. The detection signal is input to the detection waveform display section 42 and the decarburized layer depth detecting section 44, respectively, and the decarburized layer and its depth are detected. The detection of the decarburized layer and the detection of the depth are described in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-247556, and the description thereof is omitted here.

【0020】図3は、本発明の特徴となるプローブホル
ダの構造を示す模式的斜視図である。プローブホルダ3
は合成樹脂製で略直方体状を有しており、両側面下部に
4つの案内車輪33,33…を取り付けている。図3で
は案内車輪は省略して示している。プローブホルダ3に
は略中央に貫通孔31を設けており、貫通孔31内にプ
ローブ検出部2が装入され、保持されている。プローブ
ホルダ3はヒータ32を設けている。図4は貫通孔31
の周壁の展開図である。ヒータ32は貫通孔31の周壁
内に電熱線を埋設しており、電熱線はプローブ検出部2
のコイル22によって生じる磁束に影響を及ぼさない方
向に配されている。具体的には、図4に示すように、電
熱線は貫通孔31の軸方向に平行に配されて開口近傍で
ヘアピンカーブ状に折り返され、再び軸方向に平行に配
され、これが貫通孔31の周壁の全周にわたって繰り返
されている。このように、ヒータ32にはコイル22の
軸方向に平行な方向に電流が流れるので、ヒータ32が
通電された際にプローブ検出部2のコイル22により生
じる磁束に影響を及ぼすことはない。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing the structure of a probe holder which is a feature of the present invention. Probe holder 3
Are made of synthetic resin and have a substantially rectangular parallelepiped shape, and four guide wheels 33, 33,. In FIG. 3, the guide wheels are omitted. The probe holder 3 is provided with a through hole 31 substantially at the center, and the probe detecting section 2 is inserted and held in the through hole 31. The probe holder 3 has a heater 32. FIG.
FIG. The heater 32 embeds a heating wire in the peripheral wall of the through hole 31, and the heating wire is
Are arranged in a direction that does not affect the magnetic flux generated by the coil 22. Specifically, as shown in FIG. 4, the heating wire is arranged in parallel to the axial direction of the through-hole 31, is folded in a hairpin curve shape near the opening, and is again arranged in parallel to the axial direction. Is repeated over the entire circumference of the peripheral wall. As described above, since the current flows through the heater 32 in a direction parallel to the axial direction of the coil 22, it does not affect the magnetic flux generated by the coil 22 of the probe detection unit 2 when the heater 32 is energized.

【0021】以上の如き構成の渦流検査装置を用いて鋼
管Tの脱炭層を検出する場合は、まず、温度制御部5に
よりヒータ32を通電してプローブホルダ3の温度を上
昇させ、プローブ検出部2の温度、即ち温度検出部51
が示す温度が例えば50℃を保つように設定する。熱電
対24によりプローブ検出部2の温度を測定し、温度が
一定になった後、第1の電源部41及び第2の電源部4
2によりコイル22及び磁場検出器23に電流を供給
し、鋼管Tを搬送して脱炭層の検出及びその深さの測定
を開始する。なお、プローブ検出部2の温度は、コイル
22及び磁場検出器23の温度上昇分を考慮して高く設
定してあるので、電力供給により自己発熱が生じても温
度は一定に保たれる。
When the decarburized layer of the steel pipe T is detected by using the eddy current inspection device having the above-described configuration, first, the heater 32 is energized by the temperature control unit 5 to raise the temperature of the probe holder 3, and the probe detection unit 2, the temperature detector 51
Is set so as to keep the temperature indicated by, for example, 50 ° C. The temperature of the probe detector 2 is measured by the thermocouple 24, and after the temperature has become constant, the first power supply 41 and the second power supply 4
2, a current is supplied to the coil 22 and the magnetic field detector 23, and the steel pipe T is transported to start detection of the decarburized layer and measurement of its depth. Since the temperature of the probe detection unit 2 is set high in consideration of the temperature rise of the coil 22 and the magnetic field detector 23, the temperature is kept constant even when self-heating occurs due to the power supply.

【0022】このように、本実施の形態の装置を用いる
ことにより、脱炭層の検出中のプローブ検出部2の温度
を一定に保つことができるので、簡単な構成の装置で、
プローブ検出部の温度ドリフトに起因する検出信号の誤
差を防止できると言える。
As described above, by using the apparatus of the present embodiment, the temperature of the probe detector 2 during the detection of the decarburized layer can be kept constant.
It can be said that an error in the detection signal due to the temperature drift of the probe detector can be prevented.

【0023】なお、本実施の形態では、鋼管Tをプロー
ブ検出部2に対して移動せしめつつ脱炭層を検出する場
合を例に挙げて説明しているが、これに限るものではな
く、鋼管Tを停止させ、任意の箇所にプローブ検出部2
を近づけて脱炭層を検出するようにしてあっても同様の
効果を得ることができる。
In this embodiment, the case where the decarburized layer is detected while moving the steel pipe T with respect to the probe detecting section 2 is described as an example. However, the present invention is not limited to this. Is stopped, and the probe detector 2 is
The same effect can be obtained even if the decarburized layer is detected by bringing the distance closer.

【0024】次に、上述した渦流検査装置を用いて、鋼
管Tの任意の箇所について、プローブ検出部2の温度を
一定にした場合と変化させた場合とのインピーダンス出
力値を夫々測定し、比較した。結果を図5及び表1に示
す。図5はインピーダンス出力値を示すグラフであり、
縦軸は励磁用のコイル22の電流が零のときの磁場検出
器の電流値Yを示し、横軸は励磁用コイル22の電流が
最大のときの磁場検出器の電流値Xを示している。夫々
の測定時刻に対するインピーダンス値をグラフ中にプロ
ットしている。表1には、測定時刻に対するインピーダ
ンス値(X,Y)とプローブ検出部2の温度とを示し
た。
Next, by using the above-described eddy current inspection device, the impedance output value of the arbitrary portion of the steel pipe T when the temperature of the probe detector 2 is kept constant and when it is changed is measured and compared. did. The results are shown in FIG. FIG. 5 is a graph showing the impedance output value,
The vertical axis shows the current value Y of the magnetic field detector when the current of the exciting coil 22 is zero, and the horizontal axis shows the current value X of the magnetic field detector when the current of the exciting coil 22 is the maximum. . The impedance value for each measurement time is plotted in the graph. Table 1 shows the impedance values (X, Y) and the temperature of the probe detector 2 with respect to the measurement time.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】表1に示すように、検出時刻16:54 から1
7:25 までの期間はプローブホルダ3のヒータ32に通
電を行なわなかった。グラフに示すように、この期間の
インピーダンス値はX値がほぼ一定であり、Y値が時間
と共に増加している。時刻17:25 にヒータ32の電源を
オンにした。プローブ検出部2の温度が上昇するに従
い、インピーダンス値は不規則に変化している。そし
て、温度制御部5によりプローブ検出部2の温度がほぼ
50℃に一定した時刻18:05 以降では、インピーダンス
値はほぼ一定となり、時刻20:30 の検出終了までほぼ一
定値を示した。
As shown in Table 1, from the detection time 16:54 to 1
During the period until 7:25, the heater 32 of the probe holder 3 was not energized. As shown in the graph, in the impedance value during this period, the X value is almost constant, and the Y value increases with time. At time 17:25, the power of the heater 32 was turned on. As the temperature of the probe detector 2 increases, the impedance value changes irregularly. Then, after time 18:05 when the temperature of the probe detection unit 2 became constant at approximately 50 ° C. by the temperature control unit 5, the impedance value became approximately constant and showed a substantially constant value until the detection was completed at time 20:30.

【0027】この結果から、本実施の形態の渦流検査装
置は、簡単な構成でありながらプローブ検出部2の温度
を一定に維持でき、磁場測定の誤差をなくして鋼管Tの
脱炭層及びその深さを高精度に検出できることが判る。
From these results, the eddy current inspection apparatus according to the present embodiment can maintain the temperature of the probe detector 2 constant with a simple configuration, eliminate errors in magnetic field measurement, remove the decarburized layer of the steel pipe T and its depth. It can be seen that the height can be detected with high accuracy.

【0028】なお、上述した本実施の形態では、鋼管T
の表層部の脱炭層を検出する場合を説明しているが、こ
れに限るものではなく、鋼管の内面側を検出する場合で
も適用でき、また、管状ではない鋼材に適用した場合で
も同様の効果を得る。
In the present embodiment, the steel pipe T
It describes the case of detecting the decarburized layer of the surface layer of the above.However, the present invention is not limited to this, and it can be applied to the case where the inner surface side of the steel pipe is detected. Get.

【0029】また、脱炭層を検出する場合に限らず、疵
等の表面欠陥を検出する場合にも本発明の渦流検査装置
及び方法を適用でき、同様の効果を得る。
The eddy current inspection apparatus and method of the present invention can be applied to not only the case of detecting a decarburized layer but also the case of detecting a surface defect such as a flaw, and obtain the same effect.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上のように、本発明においては、磁性
材の表層状態を検査する検出部がホルダに保持され、該
ホルダにヒータを設けているので、自己発熱による検出
部の温度ドリフトが生じることがなく、磁性材の表層部
の欠陥の検出を高精度に行なうことができる。また、ホ
ルダが有する貫通孔にプローブ検出部を保持した場合
に、貫通孔の周壁にヒータを埋設してあるので、検出部
を所定温度に保ちやすいなど、本発明は優れた効果を奏
する。
As described above, in the present invention, since the detector for inspecting the surface state of the magnetic material is held by the holder and the holder is provided with the heater, the temperature drift of the detector due to self-heating is reduced. Without the occurrence, it is possible to detect a defect in the surface layer portion of the magnetic material with high accuracy. Further, when the probe detection section is held in the through hole of the holder, the heater is embedded in the peripheral wall of the through hole, so that the present invention has an excellent effect such that the detection section can be easily maintained at a predetermined temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る渦流検査装置の主な構成を示す模
式的構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a main configuration of an eddy current inspection device according to the present invention.

【図2】プローブ形検出部及び脱炭層検出制御部の構成
を示す模式的ブロック図である。
FIG. 2 is a schematic block diagram illustrating a configuration of a probe type detection unit and a decarburized layer detection control unit.

【図3】本発明に係るプローブホルダの構造を示す模式
的斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing the structure of a probe holder according to the present invention.

【図4】図3のプローブホルダが有する貫通孔の周壁の
展開図である。
FIG. 4 is a development view of a peripheral wall of a through hole of the probe holder of FIG. 3;

【図5】本発明の渦流検査装置のインピーダンス出力値
を比較結果と共に示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing an impedance output value of the eddy current inspection device of the present invention together with a comparison result.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 プローブ検出部 3 プローブホルダ 22 コイル 23 磁場検出器 31 貫通孔 32 ヒータ T 鋼管 2 Probe Detector 3 Probe Holder 22 Coil 23 Magnetic Field Detector 31 Through Hole 32 Heater T Steel Pipe

フロントページの続き (72)発明者 福田 俊文 和歌山県和歌山市湊1850番地 住金制御エ ンジニアリング株式会社内 (72)発明者 南出 忠寛 大阪府八尾市萱振町7丁目73番2号 日本 フェルスター株式会社内Continued on the front page (72) Inventor Toshifumi Fukuda 1850 Minato, Wakayama-shi, Wakayama Sumikin Control Engineering Co., Ltd. Inside the corporation

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ホルダに支持された検出部が磁性材の所
定の領域を磁化しつつ該領域の近傍の磁場を計測するこ
とにより、前記磁性材の表層部を検査する渦流検査装置
において、 前記ホルダはヒータを設けており、該ヒータに電力を供
給して前記ヒータの温度を制御する制御部を備えること
を特徴とする渦流検査装置。
1. An eddy current inspection device for inspecting a surface layer portion of a magnetic material by measuring a magnetic field in the vicinity of the predetermined region of a magnetic material while a detection unit supported by a holder magnetizes the predetermined region of the magnetic material. An eddy current inspection device, comprising: a holder provided with a heater; and a controller for supplying power to the heater to control the temperature of the heater.
【請求項2】 前記検出部は、前記磁性材を磁化するた
めのプローブコイルを備え、前記ホルダは前記検出部を
装入すべき貫通孔を有して前記ヒータを前記貫通孔の周
壁に埋設してある請求項1記載の渦流検査装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein the detection unit includes a probe coil for magnetizing the magnetic material, the holder includes a through hole into which the detection unit is to be inserted, and the heater is embedded in a peripheral wall of the through hole. The eddy current inspection device according to claim 1, wherein
【請求項3】 前記ヒータは、前記プローブコイルの軸
方向に略平行に電流が流れるべく電熱線を配してある請
求項2記載の渦流検査装置。
3. The eddy current inspection device according to claim 2, wherein the heater is provided with a heating wire so that a current flows substantially parallel to an axial direction of the probe coil.
【請求項4】 検出部が磁性材の所定の領域を磁化しつ
つ該領域の近傍の磁場を計測することにより前記磁性材
の表層部を検査する渦流検査方法において、予め、前記
検出部をヒータにより所定温度まで加熱する過程と、そ
の後、前記検出部の温度を一定に維持しつつ前記検出部
による計測を行なう過程とを有することを特徴とする渦
流検査方法。
4. An eddy current inspection method for inspecting a surface layer of a magnetic material by measuring a magnetic field in the vicinity of the predetermined region while magnetizing a predetermined region of the magnetic material. A step of heating to a predetermined temperature, and a step of subsequently performing measurement by the detection unit while maintaining the temperature of the detection unit constant.
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