JPH11351870A - 自動位置測定装置及び方法 - Google Patents
自動位置測定装置及び方法Info
- Publication number
- JPH11351870A JPH11351870A JP16257598A JP16257598A JPH11351870A JP H11351870 A JPH11351870 A JP H11351870A JP 16257598 A JP16257598 A JP 16257598A JP 16257598 A JP16257598 A JP 16257598A JP H11351870 A JPH11351870 A JP H11351870A
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- measuring
- measuring device
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 外乱光や隣接ターゲットから所定のターゲッ
トを識別できるようにすること。 【解決手段】 測定位置に色付きターゲット３を配置
し、測定機１でターゲット３を撮影し、色差画像変換装
置５で撮影画像からターゲット３を識別し、ターゲット
３の位置を求め、測定機１をターゲット３の方向に制御
する自動位置測定装置及び方法。
トを識別できるようにすること。 【解決手段】 測定位置に色付きターゲット３を配置
し、測定機１でターゲット３を撮影し、色差画像変換装
置５で撮影画像からターゲット３を識別し、ターゲット
３の位置を求め、測定機１をターゲット３の方向に制御
する自動位置測定装置及び方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、位置の自動検知に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＮＡＴＭ工法によるトンネル工事
では、トンネル内壁の変形を迅速にとられ、その結果を
設計・施工に反映させるために、内空変位計測及び天端
沈下計測を頻繁に行う必要がある。
では、トンネル内壁の変形を迅速にとられ、その結果を
設計・施工に反映させるために、内空変位計測及び天端
沈下計測を頻繁に行う必要がある。
【０００３】そこで、特に、トンネル内部のように外乱
光となる水銀灯などの照明が点在していても、確実に位
置（変位も含む）を計測できることが望まれている。
光となる水銀灯などの照明が点在していても、確実に位
置（変位も含む）を計測できることが望まれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】＜イ＞本発明は、確実
に位置を測定できるようにすることにある。 ＜ロ＞本発明は、外乱光からターゲットを識別できるよ
うにすることにある。 ＜ハ＞本発明は、隣接のターゲットを相互に識別できる
ようにすることにある。
に位置を測定できるようにすることにある。 ＜ロ＞本発明は、外乱光からターゲットを識別できるよ
うにすることにある。 ＜ハ＞本発明は、隣接のターゲットを相互に識別できる
ようにすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、トンネル内の
測定位置に配置されたターゲットを撮影し、ターゲット
の位置を測定する測定機と、ターゲットの撮影画像から
位置を求め、測定機をターゲットの方向に制御する演算
制御装置とを備えていることを特徴とする、自動位置測
定装置、又は、測定位置に配置された色付きターゲット
を撮影し、ターゲットの位置を測定する測定機と、ター
ゲットを識別する色差画像変換装置と、ターゲットの画
像から位置を求め、測定機をターゲットの方向に制御す
る演算制御装置とを備えていることを特徴とする、自動
位置測定装置、又は、測定位置に色付きターゲットを配
置し、測定機でターゲットを撮影し、色差画像変換装置
で撮影画像からターゲットを識別し、ターゲットの位置
を求め、測定機をターゲットの方向に制御することを特
徴とする、自動位置測定方法にある。
測定位置に配置されたターゲットを撮影し、ターゲット
の位置を測定する測定機と、ターゲットの撮影画像から
位置を求め、測定機をターゲットの方向に制御する演算
制御装置とを備えていることを特徴とする、自動位置測
定装置、又は、測定位置に配置された色付きターゲット
を撮影し、ターゲットの位置を測定する測定機と、ター
ゲットを識別する色差画像変換装置と、ターゲットの画
像から位置を求め、測定機をターゲットの方向に制御す
る演算制御装置とを備えていることを特徴とする、自動
位置測定装置、又は、測定位置に色付きターゲットを配
置し、測定機でターゲットを撮影し、色差画像変換装置
で撮影画像からターゲットを識別し、ターゲットの位置
を求め、測定機をターゲットの方向に制御することを特
徴とする、自動位置測定方法にある。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。
の形態を説明する。
【０００７】＜イ＞自動位置測定装置 自動位置測定装置は、ターゲット３の位置を自動的に測
定するものであり、例えば、図１のように、トンネル４
内の測定位置に配置されたターゲット３を測定機１で撮
影し、演算制御装置２によりターゲット３の撮影画像か
らターゲット３の位置を求め、測定機１をターゲット３
の方向に制御し、ターゲット３の位置を自動的に測定す
るものである。更に、ターゲット３の位置を継続して測
定することにより、測定位置の変位を求めることができ
る。特に、ＮＡＴＭ工法のように、トンネル４内部の内
空変位や天端沈下などの変位量を測定する場合、自動位
置測定装置で定期的に変位を測定できる。
定するものであり、例えば、図１のように、トンネル４
内の測定位置に配置されたターゲット３を測定機１で撮
影し、演算制御装置２によりターゲット３の撮影画像か
らターゲット３の位置を求め、測定機１をターゲット３
の方向に制御し、ターゲット３の位置を自動的に測定す
るものである。更に、ターゲット３の位置を継続して測
定することにより、測定位置の変位を求めることができ
る。特に、ＮＡＴＭ工法のように、トンネル４内部の内
空変位や天端沈下などの変位量を測定する場合、自動位
置測定装置で定期的に変位を測定できる。
【０００８】また、図２のように、ターゲット３に色を
付与し、色付けターゲット３を測定機１で撮影し、色差
画像変換装置５を用いてターゲット３の画像を抽出す
る。その後は、色付きでないターゲット３の場合と同様
に、抽出画像から演算制御装置２によりターゲット３の
位置を求め、測定機１をターゲット３の方向に制御し、
ターゲット３の位置を自動的に測定し、ターゲット３の
位置をより正確に測定できる。
付与し、色付けターゲット３を測定機１で撮影し、色差
画像変換装置５を用いてターゲット３の画像を抽出す
る。その後は、色付きでないターゲット３の場合と同様
に、抽出画像から演算制御装置２によりターゲット３の
位置を求め、測定機１をターゲット３の方向に制御し、
ターゲット３の位置を自動的に測定し、ターゲット３の
位置をより正確に測定できる。
【０００９】＜ロ＞測定機 測定機１は、ターゲット３を撮影し、ターゲット３の位
置を測定する装置である。例えば、測定機１は、トータ
ルステーションのＭＥＴ２ＮＶ（株式会社ソキア製）を
使用できる。このトータルステーションは、ＣＣＤカメ
ラでターゲットを撮影でき、サーボモータなどの駆動部
を駆動（縦軸と横軸の２軸の回転）し、決められた位置
を正確に視準できる。また、パソコンなどの外部の演算
制御装置２から送信されるコマンドでＣＣＤカメラ部や
駆動部などを制御でき、また、測定された距離と角度の
データは、演算制御装置２に出力できる。このトータル
ステーションは、自動的に測距や測角の３次元データを
得ることができる。更に、ターゲットに白色光などの光
を照射する投光器を備えている。
置を測定する装置である。例えば、測定機１は、トータ
ルステーションのＭＥＴ２ＮＶ（株式会社ソキア製）を
使用できる。このトータルステーションは、ＣＣＤカメ
ラでターゲットを撮影でき、サーボモータなどの駆動部
を駆動（縦軸と横軸の２軸の回転）し、決められた位置
を正確に視準できる。また、パソコンなどの外部の演算
制御装置２から送信されるコマンドでＣＣＤカメラ部や
駆動部などを制御でき、また、測定された距離と角度の
データは、演算制御装置２に出力できる。このトータル
ステーションは、自動的に測距や測角の３次元データを
得ることができる。更に、ターゲットに白色光などの光
を照射する投光器を備えている。
【００１０】＜ハ＞ターゲット ターゲット３は、測定機１で撮影でき、視準できるもの
である。ターゲット３は、反射シート、蛍光シート、蓄
光シート、赤外発光シートなどのシートを使用できる。
例えば、反射シートは、四角形の反射面を有し、測定機
１の投光器１１などで白色光などの光を照射すると、非
常に明るい反射光が得られる。
である。ターゲット３は、反射シート、蛍光シート、蓄
光シート、赤外発光シートなどのシートを使用できる。
例えば、反射シートは、四角形の反射面を有し、測定機
１の投光器１１などで白色光などの光を照射すると、非
常に明るい反射光が得られる。
【００１１】ターゲット３に各種の色を付すことによ
り、色毎にターゲット３を識別できる。また、特定の色
を指定することにより、照明などの外乱光とも区別でき
る。例えば、反射シートに色付きフィルム（赤、青、
黄、緑、オレンジ、ピンク、白色＝透明など）を貼り付
け、色付きターゲットが得られる。
り、色毎にターゲット３を識別できる。また、特定の色
を指定することにより、照明などの外乱光とも区別でき
る。例えば、反射シートに色付きフィルム（赤、青、
黄、緑、オレンジ、ピンク、白色＝透明など）を貼り付
け、色付きターゲットが得られる。
【００１２】＜ニ＞演算制御装置 演算制御装置２は、撮影されたターゲット３の画像の位
置を求め、測定機１を制御するものである。例えば、演
算制御装置２は、パソコンに演算制御ソフトであるＣ−
ｐｏｉｎｔ（株式会社ソキア製）を組み込むことで得ら
れる。演算制御装置２は、例えば、ターゲット３の位置
を指示すると、測定機１が視準し、視準した位置で画像
処理を行い、最も光量の強い光束の位置計算を行う。計
算した位置に測定機１を移動し、測距を行い、ターゲッ
トまでの距離を計測する。測距データに基づいてカメラ
の焦点を合わせる。再度、画像処理を行い、ターゲット
３のエッジ抽出を行う。４本のエッジの交点座標からタ
ーゲット３の中心位置を計算する。
置を求め、測定機１を制御するものである。例えば、演
算制御装置２は、パソコンに演算制御ソフトであるＣ−
ｐｏｉｎｔ（株式会社ソキア製）を組み込むことで得ら
れる。演算制御装置２は、例えば、ターゲット３の位置
を指示すると、測定機１が視準し、視準した位置で画像
処理を行い、最も光量の強い光束の位置計算を行う。計
算した位置に測定機１を移動し、測距を行い、ターゲッ
トまでの距離を計測する。測距データに基づいてカメラ
の焦点を合わせる。再度、画像処理を行い、ターゲット
３のエッジ抽出を行う。４本のエッジの交点座標からタ
ーゲット３の中心位置を計算する。
【００１３】＜ホ＞色差画像変換装置 色差画像変換装置５は、色画像データから所定の色の画
像を抽出する装置である。例えば、色差画像変換装置５
は、高速色画像変換装置ＫＡ−２００Ａ（倉敷紡績株式
会社製）を使用できる。その入力データは、測定機のＣ
ＣＤカメラからの色画像をＲＧＢ変換器４で３原色に分
けて得られたものを使用できる。
像を抽出する装置である。例えば、色差画像変換装置５
は、高速色画像変換装置ＫＡ−２００Ａ（倉敷紡績株式
会社製）を使用できる。その入力データは、測定機のＣ
ＣＤカメラからの色画像をＲＧＢ変換器４で３原色に分
けて得られたものを使用できる。
【００１４】色差画像変換装置５は、例えば、色画像
と、予め登録しておいた基準色との色差値を濃淡白黒映
像信号として出力する。つまり、色画像の中で基準色に
近い部分は白っぽく、離れた部分は黒っぽくして出力す
る。
と、予め登録しておいた基準色との色差値を濃淡白黒映
像信号として出力する。つまり、色画像の中で基準色に
近い部分は白っぽく、離れた部分は黒っぽくして出力す
る。
【００１５】色付きターゲット３と色差画像変換装置５
を組み合わせることにより、カメラの視野内に外乱光や
他の色付きターゲット３が複数存在していても、これら
の外乱光や他の色付きターゲットをカットすることがで
きる。特に、青と緑の判別が非常に有効である。
を組み合わせることにより、カメラの視野内に外乱光や
他の色付きターゲット３が複数存在していても、これら
の外乱光や他の色付きターゲットをカットすることがで
きる。特に、青と緑の判別が非常に有効である。
【００１６】以下に、色付きターゲットの位置測定方法
を説明する。
を説明する。
【００１７】＜イ＞ターゲットの指定と登録 ターゲットの位置測定は、例えば図３において、まず、
測定機１の投光器１１でターゲット３を照射し（Ｓ１、
Ｓ２）、測定機１のＣＣＤカメラでターゲット３を撮影
する。撮影画像は演算制御装置２の表示装置に表示さ
れ、画面上で測定すべき各ターゲット３の位置を指定す
る。それと共に、色付きターゲット３の場合、ターゲッ
ト毎にその色を色差画像変換装置５に登録する。青と赤
のターゲット３が撮影された場合、青のターゲット位置
をカーソルなどで指定し、その青色を色差画像変換装置
５に登録する。次に、赤のターゲット３も同様に処理す
る。
測定機１の投光器１１でターゲット３を照射し（Ｓ１、
Ｓ２）、測定機１のＣＣＤカメラでターゲット３を撮影
する。撮影画像は演算制御装置２の表示装置に表示さ
れ、画面上で測定すべき各ターゲット３の位置を指定す
る。それと共に、色付きターゲット３の場合、ターゲッ
ト毎にその色を色差画像変換装置５に登録する。青と赤
のターゲット３が撮影された場合、青のターゲット位置
をカーソルなどで指定し、その青色を色差画像変換装置
５に登録する。次に、赤のターゲット３も同様に処理す
る。
【００１８】＜ロ＞ターゲットの画像処理 色差画像変換装置は、登録された青色の箇所を抽出する
（Ｓ３）。その結果、青のターゲットの箇所３１は、強
度が高く、白っぽくなり、ランプの箇所６や赤のターゲ
ットの箇所３２は、青成分が少ないので、強度が低く、
黒っぽくなる。この画像を２値化して、白っぽい箇所の
み抽出し、青のターゲット３の中心位置を演算処理する
（Ｓ４）。
（Ｓ３）。その結果、青のターゲットの箇所３１は、強
度が高く、白っぽくなり、ランプの箇所６や赤のターゲ
ットの箇所３２は、青成分が少ないので、強度が低く、
黒っぽくなる。この画像を２値化して、白っぽい箇所の
み抽出し、青のターゲット３の中心位置を演算処理する
（Ｓ４）。
【００１９】＜ハ＞ターゲットの測距と測角 青のターゲット３の中心が求まると、測定機１の制御信
号を送り、モータなどを制御して、測定機１をターゲッ
ト３の中心に向け、焦点を合わせる（Ｓ５）。測定機１
の向きから、ターゲット３の位置の角度が求まり、距離
測定手段でターゲット３までの距離を測定する。ここで
求まった測距データと測角データは演算制御装置２で読
み込まれる。赤色のターゲットなど他のターゲットも同
様に処理されて、自動的の各ターゲット３の測距データ
と測角データを求めることができる。
号を送り、モータなどを制御して、測定機１をターゲッ
ト３の中心に向け、焦点を合わせる（Ｓ５）。測定機１
の向きから、ターゲット３の位置の角度が求まり、距離
測定手段でターゲット３までの距離を測定する。ここで
求まった測距データと測角データは演算制御装置２で読
み込まれる。赤色のターゲットなど他のターゲットも同
様に処理されて、自動的の各ターゲット３の測距データ
と測角データを求めることができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、次のような効果を得ることが
できる。 ＜イ＞外乱光が点在していても、ターゲットを確実に捉
えることができる。 ＜ロ＞異なった色のターゲットを使用することにより、
複数のターゲットを識別することができる。 ＜ハ＞自動位置測定装置をトンネル内で使用することに
より、トンネル内壁の変形を迅速に捉えることができ
る。
できる。 ＜イ＞外乱光が点在していても、ターゲットを確実に捉
えることができる。 ＜ロ＞異なった色のターゲットを使用することにより、
複数のターゲットを識別することができる。 ＜ハ＞自動位置測定装置をトンネル内で使用することに
より、トンネル内壁の変形を迅速に捉えることができ
る。
【図１】自動位置測定装置をトンネル内で使用する説明
図
図
【図２】色付きターゲットを使用した自動位置測定装置
の構成図
の構成図
【図３】ターゲットの画像処理の流れ図
１・・・測定機 １１・・投光器 ２・・・演算制御装置 ３・・・ターゲット ３１・・青のターゲットの箇所 ３２・・赤のターゲットの箇所 ４・・・ＲＧＢ変換器 ５・・・色差画像変換装置 ６・・・ランプの箇所
Claims (3)
- 【請求項１】トンネル内の測定位置に配置されたターゲ
ットを撮影し、ターゲットの位置を測定する測定機と、 ターゲットの撮影画像から位置を求め、測定機をターゲ
ットの方向に制御する演算制御装置とを備えていること
を特徴とする、 自動位置測定装置。 - 【請求項２】測定位置に配置された色付きターゲットを
撮影し、ターゲットの位置を測定する測定機と、 ターゲットを識別する色差画像変換装置と、 ターゲットの画像から位置を求め、測定機をターゲット
の方向に制御する演算制御装置とを備えていることを特
徴とする、 自動位置測定装置。 - 【請求項３】測定位置に色付きターゲットを配置し、 測定機でターゲットを撮影し、 色差画像変換装置で撮影画像からターゲットを識別し、 ターゲットの位置を求め、 測定機をターゲットの方向に制御することを特徴とす
る、 自動位置測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16257598A JPH11351870A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | 自動位置測定装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16257598A JPH11351870A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | 自動位置測定装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11351870A true JPH11351870A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15757201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16257598A Pending JPH11351870A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | 自動位置測定装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11351870A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002063241A1 (fr) * | 2001-02-08 | 2002-08-15 | Nkk Corporation | Procede de mesure de coordonnees tridimensionnelles, dispositif de mesure de coordonnees tridimensionnelles et procede permettant la construction d"une structure de grande dimension |
| JP2004508572A (ja) * | 2000-09-11 | 2004-03-18 | ライカ ゲオシステムズ アー ゲー | 光測定システムにおける測定ポイントを識別する方法 |
| JP2011252803A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Ihi Corp | 写真計測用ターゲット及び写真計測方法 |
| JP2012251827A (ja) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Ohbayashi Corp | 鋼管の建入誤差の測定方法、鋼管 |
| JP2014085134A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Topcon Corp | ３次元測量装置及び３次元測量システム |
| CN104674860A (zh) * | 2015-02-16 | 2015-06-03 | 中交一航局第二工程有限公司 | 海底隧道中的导线贯通测量方法 |
| CN105823460A (zh) * | 2015-01-27 | 2016-08-03 | 株式会社拓普康 | 测量系统、测量方法、测量机以及测量用反射目标 |
| JP2018048509A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 清水建設株式会社 | トンネル掘削の管理方法および管理装置 |
| CN111305859A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-06-19 | 中铁工程装备集团技术服务有限公司 | 基于双目视觉的盾构机自动导向系统和方法 |
-
1998
- 1998-06-10 JP JP16257598A patent/JPH11351870A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004508572A (ja) * | 2000-09-11 | 2004-03-18 | ライカ ゲオシステムズ アー ゲー | 光測定システムにおける測定ポイントを識別する方法 |
| WO2002063241A1 (fr) * | 2001-02-08 | 2002-08-15 | Nkk Corporation | Procede de mesure de coordonnees tridimensionnelles, dispositif de mesure de coordonnees tridimensionnelles et procede permettant la construction d"une structure de grande dimension |
| US6559931B2 (en) | 2001-02-08 | 2003-05-06 | Nkk Corporation | Three-dimensional (3-D) coordinate measuring method, 3-D coordinate measuring apparatus, and large-structure building method |
| JP2011252803A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Ihi Corp | 写真計測用ターゲット及び写真計測方法 |
| JP2012251827A (ja) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Ohbayashi Corp | 鋼管の建入誤差の測定方法、鋼管 |
| JP2014085134A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Topcon Corp | ３次元測量装置及び３次元測量システム |
| CN105823460A (zh) * | 2015-01-27 | 2016-08-03 | 株式会社拓普康 | 测量系统、测量方法、测量机以及测量用反射目标 |
| JP2016138802A (ja) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | 株式会社トプコン | 測量システム、測量方法、測量機及び測量用反射ターゲット |
| US10264221B2 (en) | 2015-01-27 | 2019-04-16 | Kabushiki Kaisha Topcon | Measurement system, measurement method, survey machine, and reflection target for measurement |
| CN104674860A (zh) * | 2015-02-16 | 2015-06-03 | 中交一航局第二工程有限公司 | 海底隧道中的导线贯通测量方法 |
| JP2018048509A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 清水建設株式会社 | トンネル掘削の管理方法および管理装置 |
| CN111305859A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-06-19 | 中铁工程装备集团技术服务有限公司 | 基于双目视觉的盾构机自动导向系统和方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20031215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050225 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20061222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070109 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070508 |