JPH11348243A - メタルマスク版洗浄装置 - Google Patents
メタルマスク版洗浄装置Info
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- JPH11348243A JPH11348243A JP19944298A JP19944298A JPH11348243A JP H11348243 A JPH11348243 A JP H11348243A JP 19944298 A JP19944298 A JP 19944298A JP 19944298 A JP19944298 A JP 19944298A JP H11348243 A JPH11348243 A JP H11348243A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ドブ漬け超音波洗浄方式のメタル版洗浄装置
において、通常の超音波洗浄工程後、メタル版に付着し
ている残滓または汚れを洗い流すことのできるメタルマ
スク版洗浄装置を提供することにある。 【解決手段】 通常の超音波洗浄後、該洗浄液が洗浄槽
３へ戻ってきてから、ポンプ２で該洗浄液を汲み上げ
て、前記洗浄槽３中のメタルマスク版へ放出しながら、
前記洗浄槽３底部の電磁バルブ４を開けたままにしてお
く、すなわち前記メタルマスク版を掛け洗いし得るよう
にする。
において、通常の超音波洗浄工程後、メタル版に付着し
ている残滓または汚れを洗い流すことのできるメタルマ
スク版洗浄装置を提供することにある。 【解決手段】 通常の超音波洗浄後、該洗浄液が洗浄槽
３へ戻ってきてから、ポンプ２で該洗浄液を汲み上げ
て、前記洗浄槽３中のメタルマスク版へ放出しながら、
前記洗浄槽３底部の電磁バルブ４を開けたままにしてお
く、すなわち前記メタルマスク版を掛け洗いし得るよう
にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、メタルマスク版全
体を洗浄槽に溜めた洗浄液に漬けた状態にて、超音波洗
浄する装置の改良発明に係わるものであり、メタルマス
ク版洗浄装置に関する。
体を洗浄槽に溜めた洗浄液に漬けた状態にて、超音波洗
浄する装置の改良発明に係わるものであり、メタルマス
ク版洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】メタルマスク版（以後、メタル版とも称
する）全体を洗浄液中にドブンと漬ける、いわゆるドブ
漬けした状態で超音波洗浄する装置が知られ、使われて
きている。従来、洗浄槽中で洗浄液にメタル版をドブ漬
けして、超音波洗浄した後の洗浄液には、クリームハン
ダの滓（残滓）やメタル版から剥離した各種の汚れが、
特に洗浄液表面付近に、浮遊しており、洗浄液を洗浄槽
底部のバルブから（洗浄液タンクへ）落と（排出）する
と、それらの残滓または汚れがメタル版に付着してしま
う、という問題点があった。
する）全体を洗浄液中にドブンと漬ける、いわゆるドブ
漬けした状態で超音波洗浄する装置が知られ、使われて
きている。従来、洗浄槽中で洗浄液にメタル版をドブ漬
けして、超音波洗浄した後の洗浄液には、クリームハン
ダの滓（残滓）やメタル版から剥離した各種の汚れが、
特に洗浄液表面付近に、浮遊しており、洗浄液を洗浄槽
底部のバルブから（洗浄液タンクへ）落と（排出）する
と、それらの残滓または汚れがメタル版に付着してしま
う、という問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の技術
の有する問題点に鑑み、成されたもので、その目的とす
るところは、ドブ漬け超音波洗浄方式のメタル版洗浄装
置において、通常の従来の超音波洗浄工程後、メタル版
に付着してくる残滓または汚れを洗い流すことのできる
メタルマスク版洗浄装置を提供することにある。
の有する問題点に鑑み、成されたもので、その目的とす
るところは、ドブ漬け超音波洗浄方式のメタル版洗浄装
置において、通常の従来の超音波洗浄工程後、メタル版
に付着してくる残滓または汚れを洗い流すことのできる
メタルマスク版洗浄装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる請求項１
のメタルマスク版洗浄装置は、上記した課題を解決した
もので、次のようなものである。洗浄液タンクから洗浄
槽へ洗浄液をポンプで送り出し、前記洗浄槽でメタルマ
スク版全体を洗浄液中に漬けた状態で超音波洗浄した
後、前記洗浄槽底部のバルブを開けて該洗浄液を前記洗
浄液槽へ戻す方式の超音波洗浄装置において、前記超音
波洗浄後、該洗浄液が前記洗浄槽へ戻ってきてから、前
記ポンプで該洗浄液を汲み上げて、前記洗浄槽中の前記
メタルマスク版へ放出しながら、前記洗浄槽下部の前記
バルブを開けたままにしておく。当業者が定める所定時
間経過後、前記ポンプが停止し、洗浄液が全てまたは概
ね落下すれば、メタル版を洗浄槽から取り出す。このよ
うに、請求項１の発明は、通常のドブ漬け超音波洗浄
後、前記メタルマスク版を洗浄液で掛け洗いし得るよう
にしたことを特徴としている。
のメタルマスク版洗浄装置は、上記した課題を解決した
もので、次のようなものである。洗浄液タンクから洗浄
槽へ洗浄液をポンプで送り出し、前記洗浄槽でメタルマ
スク版全体を洗浄液中に漬けた状態で超音波洗浄した
後、前記洗浄槽底部のバルブを開けて該洗浄液を前記洗
浄液槽へ戻す方式の超音波洗浄装置において、前記超音
波洗浄後、該洗浄液が前記洗浄槽へ戻ってきてから、前
記ポンプで該洗浄液を汲み上げて、前記洗浄槽中の前記
メタルマスク版へ放出しながら、前記洗浄槽下部の前記
バルブを開けたままにしておく。当業者が定める所定時
間経過後、前記ポンプが停止し、洗浄液が全てまたは概
ね落下すれば、メタル版を洗浄槽から取り出す。このよ
うに、請求項１の発明は、通常のドブ漬け超音波洗浄
後、前記メタルマスク版を洗浄液で掛け洗いし得るよう
にしたことを特徴としている。
【０００５】また、本発明に係わる請求項２のメタルマ
スク版洗浄装置は、上記した課題を解決したもので、次
のようなものである。
スク版洗浄装置は、上記した課題を解決したもので、次
のようなものである。
【０００６】洗浄液タンクから洗浄槽へ洗浄液をポンプ
で送り出し、前記洗浄槽でメタルマスク版全体を洗浄液
中に漬けた状態で超音波洗浄した後、前記洗浄槽底部の
バルブを開けて該洗浄液を前記洗浄液槽へ戻す方式の超
音波洗浄装置において、前記超音波洗浄後、該洗浄液が
前記洗浄槽へ戻ってきてから、前記洗浄槽底部のバルブ
を閉め、前記ポンプで該洗浄液を汲み上げて前記洗浄槽
へ送り出し、前記メタルマスク版が洗浄槽中に漬った状
態となったとき、前記洗浄槽底部の前記バルブを開けた
状態にて、所定時間、メタルマスク版を超音波洗浄しな
がら、前記ポンプで前記洗浄液タンクから前記洗浄槽へ
該洗浄液を送り込み続ける。当業者が定める前記所定時
間経過後、前記メタルマスク版は、前記洗浄槽から取り
出されることになる。すなわち、請求項２の発明は、通
常のドブ漬け超音波洗浄後、メタル版を洗浄液に漬けて
超音波を掛けながら、かつ洗浄液ですすぎ洗いし得るよ
うにしたことを特徴としている。
で送り出し、前記洗浄槽でメタルマスク版全体を洗浄液
中に漬けた状態で超音波洗浄した後、前記洗浄槽底部の
バルブを開けて該洗浄液を前記洗浄液槽へ戻す方式の超
音波洗浄装置において、前記超音波洗浄後、該洗浄液が
前記洗浄槽へ戻ってきてから、前記洗浄槽底部のバルブ
を閉め、前記ポンプで該洗浄液を汲み上げて前記洗浄槽
へ送り出し、前記メタルマスク版が洗浄槽中に漬った状
態となったとき、前記洗浄槽底部の前記バルブを開けた
状態にて、所定時間、メタルマスク版を超音波洗浄しな
がら、前記ポンプで前記洗浄液タンクから前記洗浄槽へ
該洗浄液を送り込み続ける。当業者が定める前記所定時
間経過後、前記メタルマスク版は、前記洗浄槽から取り
出されることになる。すなわち、請求項２の発明は、通
常のドブ漬け超音波洗浄後、メタル版を洗浄液に漬けて
超音波を掛けながら、かつ洗浄液ですすぎ洗いし得るよ
うにしたことを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】先ず、請求項１の実施の形態を説
明する。洗浄液にドブ漬け状態にて、メタル版の超音波
洗浄が終わると、メタルマスク版洗浄装置の制御装置
は、洗浄槽底部の電磁バルブを開け、洗浄液を洗浄液タ
ンクへ戻す。このとき、戻ってくる洗浄液は、フィルタ
で濾すようにしておいてもよいし、それが好ましい。洗
浄タンクへ洗浄液がある程度の量、戻ってきたら、前記
制御装置は、洗浄槽底部の前記電磁バルブを開けたまま
にしておき、ポンプで洗浄液を洗浄槽上部から洗浄槽内
へ放出するように制御する。
明する。洗浄液にドブ漬け状態にて、メタル版の超音波
洗浄が終わると、メタルマスク版洗浄装置の制御装置
は、洗浄槽底部の電磁バルブを開け、洗浄液を洗浄液タ
ンクへ戻す。このとき、戻ってくる洗浄液は、フィルタ
で濾すようにしておいてもよいし、それが好ましい。洗
浄タンクへ洗浄液がある程度の量、戻ってきたら、前記
制御装置は、洗浄槽底部の前記電磁バルブを開けたまま
にしておき、ポンプで洗浄液を洗浄槽上部から洗浄槽内
へ放出するように制御する。
【０００８】よって、メタル版は、洗浄液で掛け洗いさ
れることになる。所定時間、メタル版を掛け洗いする
と、前記洗浄装置は、ポンプを停止させる。洗浄液が洗
浄槽から洗浄タンクへ戻ったと判断したら、例えば、ポ
ンプ停止後、所定時間が経過したら、前記制御装置は、
前記電磁バルブを閉じる。ユーザは、メタル版を洗浄槽
から取り出すことができる。
れることになる。所定時間、メタル版を掛け洗いする
と、前記洗浄装置は、ポンプを停止させる。洗浄液が洗
浄槽から洗浄タンクへ戻ったと判断したら、例えば、ポ
ンプ停止後、所定時間が経過したら、前記制御装置は、
前記電磁バルブを閉じる。ユーザは、メタル版を洗浄槽
から取り出すことができる。
【０００９】次に、請求項２の発明の実施の形態を説明
する。通常のドブ漬け状態での超音波洗浄後、メタルマ
スク洗浄装置の制御装置は、洗浄槽底部の電磁バルブを
開けて、洗浄液を洗浄タンクへ戻す。洗浄タンクへ洗浄
液が戻ってきたら、前記制御装置は、前記電磁バルブを
閉めるとともに、ポンプを駆動させ、洗浄タンクの洗浄
液を洗浄槽へ放出する。前記電磁バルブは、閉じている
ので、洗浄槽には、洗浄液が溜まっていく。洗浄槽に所
定量、洗浄液が溜まると、前記制御装置は、それを認識
することができる。従来のドブ漬けのメタルマスク版洗
浄装置は、通常フロートを備えており、洗浄槽へ必要量
の洗浄液が溜まったことを検出できるようになっている
からである。
する。通常のドブ漬け状態での超音波洗浄後、メタルマ
スク洗浄装置の制御装置は、洗浄槽底部の電磁バルブを
開けて、洗浄液を洗浄タンクへ戻す。洗浄タンクへ洗浄
液が戻ってきたら、前記制御装置は、前記電磁バルブを
閉めるとともに、ポンプを駆動させ、洗浄タンクの洗浄
液を洗浄槽へ放出する。前記電磁バルブは、閉じている
ので、洗浄槽には、洗浄液が溜まっていく。洗浄槽に所
定量、洗浄液が溜まると、前記制御装置は、それを認識
することができる。従来のドブ漬けのメタルマスク版洗
浄装置は、通常フロートを備えており、洗浄槽へ必要量
の洗浄液が溜まったことを検出できるようになっている
からである。
【００１０】洗浄槽に所要量の洗浄液が溜まったことを
前記制御装置が認識すると、前記制御装置は、前記電磁
バルブを開けて、メタル版を超音波洗浄する。このと
き、ポンプは駆動させたままであり、洗浄液は、洗浄槽
へ放出され続けている。前記電磁バルブは開いており、
洗浄槽のメタル版は、洗浄液に漬かった状態で超音波洗
浄されており、洗浄液は、洗浄槽から洗浄タンク、洗浄
タンクから洗浄槽と循環している状態で所定時間、すな
わち前記メタル版を所定時間、超音波すすぎ洗いする
と、前記制御装置は、超音波を停止させ、前記ポンプを
停止させるとともに、前記電磁バルブを開ける。洗浄槽
から洗浄液が洗浄タンクへ戻れば、ユーザは、メタル版
を洗浄槽から取り出すことができる。
前記制御装置が認識すると、前記制御装置は、前記電磁
バルブを開けて、メタル版を超音波洗浄する。このと
き、ポンプは駆動させたままであり、洗浄液は、洗浄槽
へ放出され続けている。前記電磁バルブは開いており、
洗浄槽のメタル版は、洗浄液に漬かった状態で超音波洗
浄されており、洗浄液は、洗浄槽から洗浄タンク、洗浄
タンクから洗浄槽と循環している状態で所定時間、すな
わち前記メタル版を所定時間、超音波すすぎ洗いする
と、前記制御装置は、超音波を停止させ、前記ポンプを
停止させるとともに、前記電磁バルブを開ける。洗浄槽
から洗浄液が洗浄タンクへ戻れば、ユーザは、メタル版
を洗浄槽から取り出すことができる。
【００１１】
【実施例】本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置は、
その構成は、従来のドブ漬けの超音波洗浄装置と同様で
ある。すなわち、洗浄タンク、洗浄槽、電磁バルブ、ポ
ンプ、超音波振動子及び制御装置を主構成要素としてい
る。また、請求項１の発明と請求項２の発明は、全く同
じ構成であって構わない。前記制御装置の制御方式が異
なるだけである。つまり、制御装置に内臓されているプ
ログラム、実質的ににはＲＯＭに内臓されているプログ
ラムが異なるだけである。もちろん、１台の超音波洗浄
装置において、請求項１の発明と請求項２の発明を同時
に実施しても良い。請求項１の発明である掛け洗いのプ
ログラムと請求項２の発明であるすすぎ洗いのプログラ
ムの両方を制御装置に搭載し、ユーザが場合に応じて選
択できるようにしておけばよいわけである。
その構成は、従来のドブ漬けの超音波洗浄装置と同様で
ある。すなわち、洗浄タンク、洗浄槽、電磁バルブ、ポ
ンプ、超音波振動子及び制御装置を主構成要素としてい
る。また、請求項１の発明と請求項２の発明は、全く同
じ構成であって構わない。前記制御装置の制御方式が異
なるだけである。つまり、制御装置に内臓されているプ
ログラム、実質的ににはＲＯＭに内臓されているプログ
ラムが異なるだけである。もちろん、１台の超音波洗浄
装置において、請求項１の発明と請求項２の発明を同時
に実施しても良い。請求項１の発明である掛け洗いのプ
ログラムと請求項２の発明であるすすぎ洗いのプログラ
ムの両方を制御装置に搭載し、ユーザが場合に応じて選
択できるようにしておけばよいわけである。
【００１２】図１は、本発明に係わるメタルマスク版洗
浄装置の一実施例を示す略斜視図である。図１は、従来
のドブ漬け超音波洗浄後、掛け洗いをしているところを
示している。なお、図１においてメタル版は図示してい
ないが、実際には、当然、洗浄槽３の中に入っている。
浄装置の一実施例を示す略斜視図である。図１は、従来
のドブ漬け超音波洗浄後、掛け洗いをしているところを
示している。なお、図１においてメタル版は図示してい
ないが、実際には、当然、洗浄槽３の中に入っている。
【００１３】電磁バルブ４が開いており、洗浄液は、洗
浄タンク１から洗浄槽３、洗浄槽３から洗浄タンク１へ
と循環している。つまり、メタル版を洗浄液で掛け洗い
している。なお、洗浄液循環系のどこかにフィルタ６を
設け、洗浄液を濾過することが望まれる。このようにし
て、いわゆる掛け洗いにより、メタル版に付着している
クリームハンダ等の残滓を洗い流すことができる。
浄タンク１から洗浄槽３、洗浄槽３から洗浄タンク１へ
と循環している。つまり、メタル版を洗浄液で掛け洗い
している。なお、洗浄液循環系のどこかにフィルタ６を
設け、洗浄液を濾過することが望まれる。このようにし
て、いわゆる掛け洗いにより、メタル版に付着している
クリームハンダ等の残滓を洗い流すことができる。
【００１４】図２は、本発明に係わるメタルマスク版洗
浄装置の一実施例を示す斜視図である。図２は、従来の
ドブ漬け洗浄後、メタル版（図示せず）をすすぎなが
ら、超音波洗浄しているところを示したものである。従
来のドブ漬け洗浄後、洗浄液を一旦排出し、電磁バルブ
４を閉める。ポンプ２は、洗浄液を洗浄槽３へ入れてメ
タル版をドブ漬け状態にする。しかる後、図２のよう
に、電磁バルブ４を開け、洗浄液を循環させながら、メ
タル版を超音波洗浄する。
浄装置の一実施例を示す斜視図である。図２は、従来の
ドブ漬け洗浄後、メタル版（図示せず）をすすぎなが
ら、超音波洗浄しているところを示したものである。従
来のドブ漬け洗浄後、洗浄液を一旦排出し、電磁バルブ
４を閉める。ポンプ２は、洗浄液を洗浄槽３へ入れてメ
タル版をドブ漬け状態にする。しかる後、図２のよう
に、電磁バルブ４を開け、洗浄液を循環させながら、メ
タル版を超音波洗浄する。
【００１５】つまり、超音波を掛けながら、メタル版を
洗浄液ですすぎ洗いするわけである。通常のドブ漬け超
音波洗浄後に洗浄液に浮遊しているために、メタル版に
付着してくるクリームハンダ等の残滓を除去することが
できる。特に、洗浄液循環系にフィルタ６を設けている
場合は、前記残滓を強力に除去することができる。
洗浄液ですすぎ洗いするわけである。通常のドブ漬け超
音波洗浄後に洗浄液に浮遊しているために、メタル版に
付着してくるクリームハンダ等の残滓を除去することが
できる。特に、洗浄液循環系にフィルタ６を設けている
場合は、前記残滓を強力に除去することができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、以上説明してきたように構成
されているので、次に記載する効果を奏する。従来のド
ブ漬け式のメタル版超音波洗浄装置と同様の構成で、通
常の超音波洗浄後、メタル版を掛け洗いまたは超音波す
すぎ洗いできる。制御装置５に電磁バルブ４、ポンプ２
及び超音波振動子７を制御するプログラムをそれぞれ搭
載することによって可能である。
されているので、次に記載する効果を奏する。従来のド
ブ漬け式のメタル版超音波洗浄装置と同様の構成で、通
常の超音波洗浄後、メタル版を掛け洗いまたは超音波す
すぎ洗いできる。制御装置５に電磁バルブ４、ポンプ２
及び超音波振動子７を制御するプログラムをそれぞれ搭
載することによって可能である。
【００１７】従って、従来の通常の超音波洗浄後、メタ
ル版にクリームハンダ等の残滓ないし汚れが付着してき
たとしても、それらを掛け洗いまたは超音波すすぎ洗い
で除去できるメタルマスク版洗浄装置を提供することが
できる。
ル版にクリームハンダ等の残滓ないし汚れが付着してき
たとしても、それらを掛け洗いまたは超音波すすぎ洗い
で除去できるメタルマスク版洗浄装置を提供することが
できる。
【図１】本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置の一実
施例を示す略斜視図
施例を示す略斜視図
【図２】本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置の一実
施例を示す略斜視図
施例を示す略斜視図
１ 洗浄液タンク ２ ポンプ ３ 洗浄槽 ４ 電磁バルブ ５ 制御装置 ６ フィルタ ７ 超音波振動子 開 電磁バルブの開閉状態 ＯＮ、ＯＦＦ 超音波振動子の駆動状態
Claims (2)
- 【請求項１】 洗浄液タンクから洗浄槽へ洗浄液をポン
プで送り出し、前記洗浄槽でメタルマスク版全体を洗浄
液中に漬けた状態で超音波洗浄した後、前記洗浄槽底部
のバルブを開けて該洗浄液を前記洗浄液槽へ戻す方式の
超音波洗浄装置において、 前記超音波洗浄後、該洗浄液が前記洗浄槽へ戻ってきて
から、前記ポンプで該洗浄液を汲み上げて、前記洗浄槽
中の前記メタルマスク版へ放出しながら、前記洗浄槽下
部の前記バルブを開けたままにしておく、すなわち前記
メタルマスク版を掛け洗いし得るようにしたことを特徴
とするメタルマスク版洗浄装置。 - 【請求項２】 洗浄液タンクから洗浄槽へ洗浄液をポン
プで送り出し、前記洗浄槽でメタルマスク版全体を洗浄
液中に漬けた状態で超音波洗浄した後、前記洗浄槽底部
のバルブを開けて該洗浄液を前記洗浄液槽へ戻す方式の
超音波洗浄装置において、 前記超音波洗浄後、該洗浄液が前記洗浄槽へ戻ってきて
から、前記洗浄槽底部のバルブを閉め、前記ポンプで該
洗浄液を汲み上げて前記洗浄槽へ送り出し、前記メタル
マスク版が洗浄槽中に漬った状態となったとき、前記洗
浄槽底部の前記バルブを開けた状態にて、所定時間、メ
タルマスク版を超音波洗浄しながら、前記ポンプで前記
洗浄液タンクから前記洗浄槽へ該洗浄液を送り込み続け
る、すなわちメタルマスク版をすすぎ洗いし得るように
したことを特徴とするメタルマスク版洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19944298A JP3951157B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | メタルマスク版洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19944298A JP3951157B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | メタルマスク版洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11348243A true JPH11348243A (ja) | 1999-12-21 |
| JP3951157B2 JP3951157B2 (ja) | 2007-08-01 |
Family
ID=16407893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19944298A Expired - Fee Related JP3951157B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | メタルマスク版洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3951157B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105944997A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-09-21 | 江苏大亿智能科技有限公司 | 悬浮式高频传导清洗装置 |
| CN110280534A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-27 | 云谷（固安）科技有限公司 | 一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法 |
-
1998
- 1998-06-11 JP JP19944298A patent/JP3951157B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105944997A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-09-21 | 江苏大亿智能科技有限公司 | 悬浮式高频传导清洗装置 |
| CN110280534A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-27 | 云谷（固安）科技有限公司 | 一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3951157B2 (ja) | 2007-08-01 |
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