JPH11344673A - レボルバ連動照明制御装置 - Google Patents
レボルバ連動照明制御装置Info
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- JPH11344673A JPH11344673A JP10154255A JP15425598A JPH11344673A JP H11344673 A JPH11344673 A JP H11344673A JP 10154255 A JP10154255 A JP 10154255A JP 15425598 A JP15425598 A JP 15425598A JP H11344673 A JPH11344673 A JP H11344673A
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Abstract
像の急激な光量変化を防止して観察者の疲労を軽減す
る。 【解決手段】ダミー像投影系としてNDフィルタユニッ
ト17を配置し、対物レンズ11a〜11cが観察光路
に挿入されていないときにダミー像を観察光路を通して
接眼レンズ14に投影する。
Description
る対物レンズを切り替えるときの観察光路に対する照明
を制御するレボルバ連動照明制御装置に関する。
種工業分野の検査工程等においては、微細な標本を拡大
観察したり、又は観察像をビデオ画像として記録するこ
とのできる顕微鏡が幅広く利用されている。近年、顕微
鏡を使用した検査工程は、生物、医療系分野及び各種工
業系分野において益々増加している。特に半導体検査工
程では、長時間接眼レンズを覗いたまま顕微鏡をブライ
ンド操作することが行われている。このため、観察者に
より少ない疲労で操作を行うことができる顕微鏡が望ま
れている。これらの顕微鏡は、観察者の疲労軽減や操作
の省力化、簡単化を目指し、少ない操作で顕微鏡の設定
を最適化できる構成となっている。又、倍率の異なる対
物レンズ間で接眼像が同等の明るさになる制御を有する
などの工夫がなされている。
や照明光の明るさ調整操作を自動化し、観察法や観察者
の好みの観察状態を簡単に再現可能とするもので、例え
ば特開平8−211295号公報には、観察法を切替え
可能な顕微鏡において観察法と対物レンズとの組み合わ
せに対応して視野絞り及び開口絞りの絞り条件が定めら
れ、観察法及び対物レンズのいずれかに対応して照明光
の明るさ条件が定められた制御パラメータテーブルを備
えている。そして、観察法の切り替え時には、制御パラ
メータテーブルから切り替え後の観察法に対応した照明
光の明るさ条件を読み出し、当該明るさ条件に応じた照
明光を照明光制御手段に指示し、これと共に制御パラメ
ータテーブルから切り替え後の観察法に対応した絞り条
件を読み出して当該絞り条件に応じた絞り径を制御手段
に指示する顕微鏡が記載されている。
にセットされる対物レンズを認識し、次の対物レンズに
対応した適正な明るさNDフィルタを設定可能とするも
ので、例えば特開平5−341197号公報には、レボ
ルバ上に形成された小型永久磁石の位置変化をセンサを
介して回転方向検出部で検知してレボルバの停止位置を
確認し、次にレボルバを回転させた際に小型永久磁石が
僅かに検出位置から所定の回転方向へずれるのをセンサ
を介して回転方向検出部で検知してレボルバの回転動作
開始時にレボルバ正逆転方向信号を出力する。これに併
せて小型永久磁石をセンサで検知してレボルバ番地検出
部でレボルバ停止位置における対物レンズのレボルバ番
地信号を出力する。又、レボルバ回転方向検出部とレボ
ルバ番地検出部とにより特定された対物レンズに対応す
る適性光を設定可能な可変調光部と、この可変調光部の
適性調光動作量を記憶する記憶部とを有し、この記憶部
から対物レンズに対応する適性調光動作量を読み出し、
レボルバの回転動作が行われるのと平行して可変調光部
に所定の動作指令を出力する制御部とを備えたレボルバ
回転動作検出装置及び調光装置が記載されている。
微鏡は、いずれも対物レンズの切り替えに際して、対物
レンズを切り替える前の対物レンズが観察光路中にある
状態と、対物レンズを切り替えた後の対物レンズが観察
光路中にある状態との2つの状態に着目したもので、対
物レンズを切り替える前の対物レンズが観察光路中にあ
る状態での接眼レンズの明るさと、対物レンズを切り替
えた後の対物レンズが観察光路中にある状態での接眼レ
ンズの明るさとを最適な明るさである数[lx]になる
ようNDフィルタ、開口絞り、光源などの各種光学部材
で制御している。
て、対物レンズを切り替える前の対物レンズが観察光路
中にある状態と、対物レンズを切り替えた後の対物レン
ズが観察光路中にある状態との間の過渡的な状態、すな
わちいずれの対物レンズも観察光路中にない状態では、
観察者は、シャッタなどにより遮光された真っ暗な像
か、又は何等制御されていない対物レンズが切り替わる
前の対物レンズが観察光路中にあるときの像が切り替え
に連れて移動し、いずれの対物レンズも観察光路中にな
い暗い像になり、そして対物レンズを切り換えた後の像
を観察するものとなる。このとき、対物レンズの切り替
えに要する時間は、通常、0.5[s]〜1[s]を要
する。この対物レンズの切り替えに際して観察者は、自
分の意思に依らずいずれの対物レンズも観察光路中にな
い状態の暗い像に順応してしまいその疲労は少なくな
い。
際して接眼像の急激な光量変化を防止して観察者の疲労
を軽減できるレボルバ連動照明制御装置を提供すること
を目的とする。
の対物レンズを装着したレボルバを回転させて1つの対
物レンズを観察光路に挿入するレボルバ連動照明制御装
置において、対物レンズが観察光路に挿入されていない
ときにダミー像を観察光路に投影するダミー像投影手段
を備えたレボルバ連動照明制御装置である。
バ連動照明制御装置において、対物レンズが観察光路に
挿入されていないときに観察光路に投影されるダミー像
の色調を選択する色調選択手段を備えた。
形態について図面を参照して説明する。図1はレボルバ
連動照明制御装置を適用した顕微鏡装置の全体構成図で
ある。例えばハロゲンランプである照明用光源1から放
射される照明用光の光路上には、コレクタレンズ2、分
割ブリズム3が配置され、この分割ブリズム3により分
割された一方の光路a上には、NDフィルタユニット
4、視野絞り5、反射ミラー6が配置され、さらにこの
反射ミラー6の反射光路上には開口絞り7、コンデンサ
8が配置され、ステージ9上に載せられた標本Sに対す
る照明光学系が構成されている。
NDフィルタ4a、原点センサ4b及び円形NDフィル
タ4aを所定の角度づつ回転させるパルスモータ4cか
ら構成されている。円形NDフィルタ4aは、図2に示
すように円周方向に透過率Tが連続的に変化するもので
ある。この円形NDフィルタ4aの中心回転軸は、パル
スモータ4cに連結されており、光軸と平行に配置さ
れ、回転角θにより所望の透過率Tの部分を光路上に配
置できるものとなっている。又、原点センサ4bは、円
形NDフィルタ4aに形成された原点スリット4dを検
出する機能を有している。パルスモータ4cは、例えば
256ステップで円形NDフィルタ4aを一回転駆動す
るものとなっている。
直交する平面内で二次元移動して標本Sの操作が自在に
なっているとともに、ピント合わせのために観察光路の
光軸方向に移動自在に構成されている。このステージ9
の上方には、レボルバ10が回転自在に設けられ、この
レボルバ10に装着された複数の対物レンズ11a〜1
1cのうち1つの対物レンズを切り替えて観察光路中に
挿入するようになっている。レボルバ10は、例えば顕
微鏡のアーム先端に回転自在に取り付けられている。そ
して、このアーム先端部の観察光路上には、分割プリズ
ム12が配置されている。この分割プリズム12の透過
光路上には、観察用プリズム13が配置され、この観察
用プリズム13により分岐された光路上に接眼レンズ1
4が配置されるとともに透過光路上にレンズ15を介し
てカメラ等が配置されている。
た他方の光路b上には、ダミー像投影系として反射ミラ
ー16を介してNDフィルタユニット17、フロスト1
8及びレンズ19が配置され、さらに分割プリズム12
に導くようになっている。このうちNDフィルタユニッ
ト17は、円形NDフィルタ17a、原点センサ17b
及び円形NDフィルタ17aを所定の角度づつ回転させ
るパルスモータ17cから構成されている。円形NDフ
ィルタ17aは、上記図2に示すと同様に円周方向に透
過率Tが連続的に変化して形成されている。この円形N
Dフィルタ17aの中心回転軸は、パルスモータ17c
に連結されており、光軸と平行に配置され、回転角θに
より所望の透過率Tの部分を光路上に配置できるものと
なっている。又、原点センサ17bは、円形NDフィル
タ17aに形成された原点スリットを検出する機能を有
している。パルスモータ17cは、例えば256ステッ
プで円形NDフィルタ17aを一回転駆動するものとな
っている。
4、17及びレボルバ10を駆動制御して顕微鏡装置を
統括制御するもので、図4に示すようにCPU21に対
してROM22、RAM23及びスイッチ入力部(SW
入力部)24が接続され、かつレボルバ駆動回路25に
対して指令を発するとともに、各原点センサ4b、17
bの出力信号を受けて各NDフィルタユニット4、17
の駆動回路26、27に対して指令を発する機能を有し
ている。
したプログラムが記憶され、RAM23には制御演算用
のデータが格納されるものとなっている。スイッチ入力
部24は、2つの対物レンズ切替えスイッチSW1 、S
W2 が設けられており、このうち対物レンズ切替えスイ
ッチSW1 は、各対物レンズ11a〜11cを対物レン
ズ11b→11cの方向に切替え、他方の対物レンズ切
替えスイッチSW2 は、各対物レンズ11a〜11cを
対物レンズ11b→11aの方向に切替えるものであ
る。
回転駆動するためのパルスモータ(不図示)が接続さ
れ、CPU21から発せられる指令によりそのパルスモ
ータを回転駆動する機能を有している。
のパルスモータ4cが接続され、CPU21から発せら
れる指令によりそのパルスモータ4cを回転駆動する機
能を有している。しかるに、CPU21は、原点センサ
4bにより検出される円形NDフィルタ4aの原点スリ
ット4dの出力信号を受け、例えばアドレス情報X:0
〜255により原点スリット4dからの回転角に基づい
てNDフィルタユニット4での透過率を制御するものと
なっている。
7のパルスモータ17cが接続され、CPU21から発
せられる指令によりそのパルスモータ17cを回転駆動
する機能を有している。しかるに、CPU21は、上記
同様に、原点センサにより検出される円形NDフィルタ
17aの原点スリットの出力信号を受け、例えばアドレ
ス情報X:0〜255により原点スリットからの回転角
に基づいてNDフィルタユニット17での透過率を制御
するものとなっている。
いて図5に示す制御フローチャートに従って説明する。
通常観察の初期状態として、対物レンズ11bが観察光
路上に挿入されており、観察光路側のNDフィルタユニ
ット4の透過率が〜100[%]で例えばアドレス情
報:62に設定され、ダミー像投影側のNDフィルタユ
ニット17の透過率が〜0[%]で例えばアドレス情
報:192に設定されている。
力部24の対物レンズ切替えスイッチSW1 が押し操作
されると、CPU21は、ステップ#1において対物レ
ンズ切替えスイッチSW1 の押し操作を判断し、次のス
テップ#2において標本照明光を減光しつつ、続くステ
ップ#3でダミー照明光を増光する。すなわち、CPU
21は、NDフィルタユニット4の透過率を100→0
[%]になるように駆動パルス数を算出し、円形NDフ
ィルタ4aの回転方向を判定(例えば駆動パルス数:1
31、回転方向:照明用光源1側から見て反時計回り)
し、駆動回路26を介してパルスモータ4cの回転駆動
を開始する。
ット17の透過率を0→100[%]になるように駆動
パルス数を算出し、円形NDフィルタ17aの回転方向
を判定(例えば駆動パルス数:131、回転方向:照明
用光源1側から見て時計回り)し、駆動回路27を介し
てパルスモータ17cの回転駆動を開始する。
てダミー像投影の終了、すなわち標本照明光の減光とダ
ミー照明光の増光が完了したか否かを待つ。そして、C
PU21は、駆動回路26からの終了信号を受け取り、
かつ駆動回路27からの終了信号を受け取ると、ダミー
像投影の終了と判断する。
率を100→0[%]にし、かつNDフィルタユニット
17の透過率を0→100[%]にすると、分割プリズ
ム3からNDフィルタユニット4、視野絞り5、反射ミ
ラー6、開口絞り7、コンデンサ8、ステージ9上の標
本S、対物レンズ11b、分割プリズム12を通って接
眼レンズに向かう標本像の明るさは、図6に示すように
減光し、これと共に分割プリズム3からNDフィルタユ
ニット17、フロスト18、レンズ19、分割プリズム
12を通って接眼レンズに向かうダミー像の明るさは、
増光する。
は、ステップ#5においてレボルバ駆動回路25に対し
て例えば対物レンズ11b→11cの方向へ移動させる
レボルバ駆動指令を発し、次のステップ#6において対
物レンズが11b→11cに切り替わりレボルバ駆動終
了を待つ。
U21は、ステップ#7に移って標本照明光を増光しつ
つ、続くステップ#8でダミー照明光を減光する。すな
わち、CPU21は、NDフィルタユニット4の透過率
を0→100[%]になるように駆動パルス数を算出
し、円形NDフィルタ4aの回転方向を判定し、駆動回
路26を介してパルスモータ4cの回転駆動を開始す
る。
ット17の透過率を100→0[%]になるように駆動
パルス数を算出し、円形NDフィルタ17aの回転方向
を判定し、駆動回路27を介してパルスモータ17cの
回転駆動を開始する。
てダミー像投影から標本像投影に戻るのを待ち、駆動回
路26からの終了信号を受け取り、かつ駆動回路27か
らの終了信号を受け取ると、通常の観察状態と判断して
ステップ#1に復帰する。
は、対物レンズ11a〜11cが観察光路に挿入されて
いないときにダミー像を観察光路に投影するようにした
ので、対物レンズ11a〜11cが観察光路中にある標
本観察中の接眼像と、対物レンズ11a〜11cの切り
替えに際して対物レンズ11a〜11cが観察光路中に
無いときの接眼像との各明るさの変化を少なくでき、対
物レンズ11a〜11cの切り替えに際して接眼像の急
激な光量変化を防止して観察者の疲労を軽減できる。
ィルタユニット17は、上記する構成に限らず、例えば
液晶NDフィルタ等を用いてもよい。(2) 次に、本発明
の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。
なお、図1及び図4と同一部分には同一符号を付してそ
の詳しい説明は省略する。
た顕微鏡装置の全体構成図である。例えばハロゲンラン
プから成るダミー照明用光源30が設けられている。こ
のダミー照明用光源30から放射されるダミー照明光の
光路上には、コレクタレンズ31、フロスト18、ND
フィルタユニット17、カラーフィルタターレット32
及びレンズ19が配置され、分割プリズム12に導くも
のとなっている。
は、4つのスロットを有し、これらスロットにそれぞれ
グリーンフィルタ32a、ブルーフィルタ32b、イエ
ローフィルタ32c、無色フィルタ32dが装着されて
いる。これらフィルタ32a、32b、32c、32d
は、パルスモータ32eの回転駆動によりダミー照明光
の光路上に挿入されるようになっている。
ット4、17、レボルバ10及びカラーフィルタターレ
ット32を駆動制御して顕微鏡装置を統括制御するもの
で、図8に示すようにCPU34に対してROM22、
RAM23及びスイッチ入力部24が接続され、かつレ
ボルバ駆動回路25に対して指令を発するとともに、各
原点センサ4b、17bの出力信号を受けて各NDフィ
ルタユニット4、17の駆動回路26、27に対して指
令を発し、さらにカラーフィルタターレット駆動回路3
5に指令を発して駆動制御する機能を有している。この
うちカラーフィルタターレット駆動回路35は、パルス
モータ32eが接続され、CPU34から発せられる指
令を受けてカラーフィルタターレット32を回転駆動す
る機能を有している。
いて上記図5及び図9に示す制御フローチャートに沿っ
て説明する。通常観察の初期状態として、対物レンズ1
1bが観察光路上に挿入されており、観察光路側のND
フィルタユニット4の透過率が〜100[%]で例えば
アドレス情報:62に設定され、かつダミー像投影側の
NDフィルタユニット17の透過率が〜0[%]で例え
ばアドレス情報:192に設定されている。
えばダミー照明光の光軸上にグリーンフィルタ32aが
挿入されている。対物レンズを切り替えるためにスイッ
チ入力部24の対物レンズ切替えスイッチSW1 が押し
操作されると、CPU34は、上記同様に、ステップ#
1においてNDフィルタユニット4の透過率を100→
0[%]になるように駆動パルス数を算出し、円形ND
フィルタ4aの回転方向を判定し、駆動回路26を介し
てパルスモータ4cの回転駆動を開始する。
いてNDフィルタユニット17の透過率を0→100
[%]になるように駆動パルス数を算出し、円形NDフ
ィルタ17aの回転方向を判定し、駆動回路27を介し
てパルスモータ17cの回転駆動を開始する。
てダミー像投影の終了を待ち、駆動回路26からの終了
信号を受け取り、かつ駆動回路27からの終了信号を受
け取ると、ダミー像投影の終了と判断する。
率を100→0[%]にし、かつNDフィルタユニット
17の透過率を0→100[%]にしたときの接眼レン
ズに向かう標本像の明るさは、上記図6に示すように減
光する。
のダミー像は、カラーフィルタターレット32のグリー
ンフィルタ32aを透過することによりグリーン色にな
つて接眼レンズに到達する。
は、上記同様にステップ#5においてレボルバ駆動回路
25に対して例えば対物レンズ11b→11cの方向へ
移動させるレボルバ駆動指令を発し、次のステップ#6
において対物レンズが11b→11cに切り替わりレボ
ルバ駆動終了を待つ。そして、レボルバ駆動が終了する
と、CPU34は、ステップ#7に移って標本照明光を
増光しつつ、続くステップ#8でダミー照明光を減光す
る。
てダミー像投影から標本像投影に戻るのを待ち、駆動回
路26からの終了信号を受け取り、かつ駆動回路27か
らの終了信号を受け取ると、通常の観察状態と判断して
ステップ#1に復帰する。
スイッチ入力部24のカラーフィルタ切替えスイッチS
W2 が押し操作されると、CPU34を図9に示すステ
ップ#10においてカラーフィルタ切替えスイッチSW
2 の入力を検知し、ステップ#11においてフィルタス
ターレット駆動回路35を介してカラーフィルタスター
レット32の回転駆動を開始する。次にCPU34は、
ステップ#12においてカラーフィルタの切替え終了待
ち、例えば駆動開始後からの所定時間の経過によりカラ
ーフィルタの切替え終了と判断する。
は、ダミー照明光の光路上にグリーンフィルタ32a、
ブルーフィルタ32b、イエローフィルタ32c及び無
色フィルタ32dを装着したカラーフィルタターレット
32を配置したので、対物レンズ11a〜11cが観察
光路中にある標本観察中の接眼像と、対物レンズ11a
〜11cの切り替えに際して対物レンズ11a〜11c
が観察光路中に無いときの接眼像との各明るさの変化を
少なくでき、対物レンズ11a〜11cの切り替えに際
して接眼像の急激な光量変化を防止でき、さらに肉眼に
優しい色調、又は好みの色調のダミー照明光を選ぶこと
ができて観察者の疲労を軽減できる。
これを顕微鏡鏡筒部等に配置することが可能であり、顕
微鏡内部の光路構成を簡単にすることができる。なお、
本発明は、上記第1及び第2の実施の形態に限定される
ものでなく次の通り変形してもよい。
ー照明用光源30のダミー照明光路上にカラーフィルタ
ターレット32を配置しているが、このカラーフィルタ
ターレット32を上記第1の実施の形態におけるダミー
像投影系に配置してもよいことは言うまでもない。
D等を用いてもよく、この場合、NDフィルタユニット
19に代わり例えばCPU34からのPWM制御により
高輝度LEDを調光することが可能であり、より簡単な
構成とすることができる。カラーフィルタターレット3
2は、4つのスロットにグリーンLED、ブルーLE
D、イエロLED、白色(無色)LEDを配置する構成
をとってもよい。
2によれば、対物レンズの切り替えに際して接眼像の急
激な光量変化を防止して観察者の疲労を軽減できるレボ
ルバ連動照明制御装置を提供できる。
しい色調又は好みの色調のダミー照明光を選ぶことがで
きて観察者の疲労を軽減できるレボルバ連動照明制御装
置を提供できる。
用した顕微鏡装置の第1の実施の形態を示す全体構成
図。
ルタの構成図。
の明るさとを示す図。
用した顕微鏡装置の第2の実施の形態を示す全体構成
図。
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の対物レンズを装着したレボルバを
回転させて1つの前記対物レンズを観察光路に挿入する
レボルバ連動照明制御装置において、 前記対物レンズが前記観察光路に挿入されていないとき
にダミー像を前記観察光路に投影するダミー像投影手
段、を具備したことを特徴とするレボルバ連動照明制御
装置。 - 【請求項2】 前記対物レンズが前記観察光路に挿入さ
れていないときに前記観察光路に投影される前記ダミー
像の色調を選択する色調選択手段を備えたことを特徴と
する請求項1記載のレボルバ連動照明制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15425598A JP4157195B2 (ja) | 1998-06-03 | 1998-06-03 | レボルバ連動照明制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15425598A JP4157195B2 (ja) | 1998-06-03 | 1998-06-03 | レボルバ連動照明制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11344673A true JPH11344673A (ja) | 1999-12-14 |
JP4157195B2 JP4157195B2 (ja) | 2008-09-24 |
Family
ID=15580220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15425598A Expired - Fee Related JP4157195B2 (ja) | 1998-06-03 | 1998-06-03 | レボルバ連動照明制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4157195B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005173487A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Olympus Corp | 蛍光顕微鏡およびコンピュータプログラム |
JP2007121337A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点スキャナシステム |
JP2013088597A (ja) * | 2011-10-18 | 2013-05-13 | Sony Corp | 動作制御装置および動作制御方法、撮像装置、並びにプログラム |
US9288398B2 (en) | 2011-10-18 | 2016-03-15 | Sony Corporation | Action control device, action control method, imaging device, and program to reduce focus lag |
-
1998
- 1998-06-03 JP JP15425598A patent/JP4157195B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US9182650B2 (en) | 2011-10-18 | 2015-11-10 | Sony Corporation | Action control device, action control method, imaging device, and program |
US9288398B2 (en) | 2011-10-18 | 2016-03-15 | Sony Corporation | Action control device, action control method, imaging device, and program to reduce focus lag |
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---|---|
JP4157195B2 (ja) | 2008-09-24 |
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