JPH11340300A - ウェーハ収納容器載置用ステージ - Google Patents
ウェーハ収納容器載置用ステージInfo
- Publication number
- JPH11340300A JPH11340300A JP10146393A JP14639398A JPH11340300A JP H11340300 A JPH11340300 A JP H11340300A JP 10146393 A JP10146393 A JP 10146393A JP 14639398 A JP14639398 A JP 14639398A JP H11340300 A JPH11340300 A JP H11340300A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- wafer
- cassette
- positioning
- storage container
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェーハカセットをカセットステージ上に載
置する際の位置決めを容易に行うことができ、異なった
外形のウェーハカセットに対しても容易に対応すること
ができるウェーハ収納容器載置用ステージを提供する。 【解決手段】 ウェーハ収納容器１をステージ４上に載
置する際に、ウェーハ収納容器１を案内しその位置決め
を行うべく、ステージ４の側面にウェーハ収納容器１の
底部２１に対応して位置決め部１３が形成されているこ
とを特徴とする。
置する際の位置決めを容易に行うことができ、異なった
外形のウェーハカセットに対しても容易に対応すること
ができるウェーハ収納容器載置用ステージを提供する。 【解決手段】 ウェーハ収納容器１をステージ４上に載
置する際に、ウェーハ収納容器１を案内しその位置決め
を行うべく、ステージ４の側面にウェーハ収納容器１の
底部２１に対応して位置決め部１３が形成されているこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ収納容器
載置用ステージに関し、特に、ウェーハ収納容器をステ
ージ上に載置する際に、前記ウェーハ収納容器を容易に
載置することができるウェーハ収納容器載置用ステージ
に関するものである。
載置用ステージに関し、特に、ウェーハ収納容器をステ
ージ上に載置する際に、前記ウェーハ収納容器を容易に
載置することができるウェーハ収納容器載置用ステージ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程等においては、３
００ｍｍ径等の大径のウェーハを保管・運搬する際に、
ウェーハカセットと称されるウェーハ収納容器が用いら
れている。このウェーハカセットは、複数枚のウェーハ
を搬送、保護すべく、これらのウェーハを横置き状態も
しくは縦置き状態で収納するもので、その底部は、図５
に示すように、略円筒状のカセット本体（収納容器）１
の底面１ａに、３本の位置決め用の溝２ａ〜２ｃが中心
３から放射状かつ周方向に等間隔に形成される。
００ｍｍ径等の大径のウェーハを保管・運搬する際に、
ウェーハカセットと称されるウェーハ収納容器が用いら
れている。このウェーハカセットは、複数枚のウェーハ
を搬送、保護すべく、これらのウェーハを横置き状態も
しくは縦置き状態で収納するもので、その底部は、図５
に示すように、略円筒状のカセット本体（収納容器）１
の底面１ａに、３本の位置決め用の溝２ａ〜２ｃが中心
３から放射状かつ周方向に等間隔に形成される。
【０００３】一方、カセットステージは、ウェーハカセ
ットを載置するためにロードポート等に設けられたもの
で、図６に示すように、アルミニウム板等からなる厚み
のある矩形状の平坦なベースプレート４の上面４ａの前
記ウェーハカセットの溝２ａ〜２ｃに対応する位置に、
キネマティックピン５ａ〜５ｃと称される３本の位置決
めピンが設けられる。また、前記ベースプレート４の上
面４ａ上には、ウェーハカセットの有無を検出するカセ
ット有無センサ７が取り付けられる。
ットを載置するためにロードポート等に設けられたもの
で、図６に示すように、アルミニウム板等からなる厚み
のある矩形状の平坦なベースプレート４の上面４ａの前
記ウェーハカセットの溝２ａ〜２ｃに対応する位置に、
キネマティックピン５ａ〜５ｃと称される３本の位置決
めピンが設けられる。また、前記ベースプレート４の上
面４ａ上には、ウェーハカセットの有無を検出するカセ
ット有無センサ７が取り付けられる。
【０００４】前記ウェーハカセットをカセットステージ
上の所定位置に載置するには、カセット本体１をベース
プレート４の上面４ａに移動させた後、該カセット本体
１の溝２ａ〜２ｃがベースプレート４のキネマティック
ピン５ａ〜５ｃにそれぞれ一致するように上方から目視
で位置決めを行い、その後、該カセット本体１を下降さ
せてその溝２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキ
ネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む。
上の所定位置に載置するには、カセット本体１をベース
プレート４の上面４ａに移動させた後、該カセット本体
１の溝２ａ〜２ｃがベースプレート４のキネマティック
ピン５ａ〜５ｃにそれぞれ一致するように上方から目視
で位置決めを行い、その後、該カセット本体１を下降さ
せてその溝２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキ
ネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む。
【０００５】この方法では、３点のキネマティックピン
５ａ〜５ｃでウェーハカセットの底面１ａの溝２ａ〜２
ｃを支持することにより、３点で位置決めがなされる様
になっている。
５ａ〜５ｃでウェーハカセットの底面１ａの溝２ａ〜２
ｃを支持することにより、３点で位置決めがなされる様
になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のウェーハカセットを従来のカセットステージ上に載
置する場合においては、ウェーハカセットが不透明であ
った場合や、ウェーハカセットが透明であっても内部に
ウェーハが収納されている場合、このウェーハカセット
の上からでは、ベースプレート４のキネマティックピン
５ａ〜５ｃの位置が分からなくなるという問題点があっ
た。
来のウェーハカセットを従来のカセットステージ上に載
置する場合においては、ウェーハカセットが不透明であ
った場合や、ウェーハカセットが透明であっても内部に
ウェーハが収納されている場合、このウェーハカセット
の上からでは、ベースプレート４のキネマティックピン
５ａ〜５ｃの位置が分からなくなるという問題点があっ
た。
【０００７】この場合、カセット本体１を下降させてそ
の溝２ａ〜２ｃをキネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め
込む際に、溝２ａ〜２ｃとキネマティックピン５ａ〜５
ｃとの間に位置ずれが生じ、ウェーハカセットをカセッ
トステージ上に正しく載置することが出来なくなる虞が
ある。位置ずれが生じた場合、カセット本体１を上げて
該カセット本体１とベースプレート４の位置決めを行
い、カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃをキ
ネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め込む、という作業を
再度繰り返すことになり、作業効率が低下する要因とな
る。
の溝２ａ〜２ｃをキネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め
込む際に、溝２ａ〜２ｃとキネマティックピン５ａ〜５
ｃとの間に位置ずれが生じ、ウェーハカセットをカセッ
トステージ上に正しく載置することが出来なくなる虞が
ある。位置ずれが生じた場合、カセット本体１を上げて
該カセット本体１とベースプレート４の位置決めを行
い、カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃをキ
ネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め込む、という作業を
再度繰り返すことになり、作業効率が低下する要因とな
る。
【０００８】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、ウェーハカセットをカセットステージ上に
載置する際の位置決めを容易に行うことができるウェー
ハ収納容器載置用ステージを提供することを目的とす
る。
のであって、ウェーハカセットをカセットステージ上に
載置する際の位置決めを容易に行うことができるウェー
ハ収納容器載置用ステージを提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様なウェーハ収納容器載置用ステージ
を提供する。すなわち、請求項１記載のウェーハ収納容
器載置用ステージは、ウェーハ収納容器をステージ上に
載置する際に、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置
決めを行うべく、前記ステージの側面に前記ウェーハ収
納容器の底部に対応して位置決め部が形成されているこ
とを特徴としている。
に、本発明は次の様なウェーハ収納容器載置用ステージ
を提供する。すなわち、請求項１記載のウェーハ収納容
器載置用ステージは、ウェーハ収納容器をステージ上に
載置する際に、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置
決めを行うべく、前記ステージの側面に前記ウェーハ収
納容器の底部に対応して位置決め部が形成されているこ
とを特徴としている。
【００１０】請求項２記載のウェーハ収納容器載置用ス
テージは、請求項１記載のウェーハ収納容器載置用ステ
ージにおいて、前記位置決め部は、前記ステージ本体に
着脱可能な位置決めアダプターにより構成されているこ
とを特徴としている。
テージは、請求項１記載のウェーハ収納容器載置用ステ
ージにおいて、前記位置決め部は、前記ステージ本体に
着脱可能な位置決めアダプターにより構成されているこ
とを特徴としている。
【００１１】請求項３記載のウェーハ収納容器載置用ス
テージは、請求項１記載のウェーハ収納容器載置用ステ
ージにおいて、前記位置決め部は、前記ステージに形成
された切り欠きであることを特徴としている。
テージは、請求項１記載のウェーハ収納容器載置用ステ
ージにおいて、前記位置決め部は、前記ステージに形成
された切り欠きであることを特徴としている。
【００１２】本発明のウェーハ収納容器載置用ステージ
では、該ステージの側面に前記ウェーハ収納容器の底部
に対応して位置決め部が形成されていることにより、前
記ウェーハ収納容器を前記ステージ上に載置する場合
に、該ウェーハ収納容器の底部を前記位置決め部に合わ
せるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位
置決めを容易に行うことが可能になる。
では、該ステージの側面に前記ウェーハ収納容器の底部
に対応して位置決め部が形成されていることにより、前
記ウェーハ収納容器を前記ステージ上に載置する場合
に、該ウェーハ収納容器の底部を前記位置決め部に合わ
せるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位
置決めを容易に行うことが可能になる。
【００１３】また、前記位置決め部を、前記ステージ本
体に着脱可能な位置決めアダプターにより構成したこと
により、使用するウェーハ収納容器に合った位置決めア
ダプターを選択し、該位置決めアダプターを前記ステー
ジ本体に容易に取り付け及び取り外しをすることが可能
になる。
体に着脱可能な位置決めアダプターにより構成したこと
により、使用するウェーハ収納容器に合った位置決めア
ダプターを選択し、該位置決めアダプターを前記ステー
ジ本体に容易に取り付け及び取り外しをすることが可能
になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明のウェーハ収納容器載置用
ステージの各実施形態について図面に基づき説明する。 「第１の実施形態」図１は本発明の第１の実施形態のウ
ェーハカセットの位置決めアダプターを示す斜視図、図
２はこの位置決めアダプターをカセットステージの所定
箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、この位置決
めアダプター１１は、ベースプレート４の正面側の一辺
４ｂに密着するように略長方形状の薄厚の板を断面Ｌ字
状に折曲したアダプター本体１２に、位置合わせの対象
となるウェーハカセットの底部に対応する形状の切り欠
き１３が形成され、この切り欠き１３には、アダプター
本体１２より水平外方に延びる突片１４が形成され、該
突片１４にはキネマティックピン５ａを挿通する孔１５
が形成されている。
ステージの各実施形態について図面に基づき説明する。 「第１の実施形態」図１は本発明の第１の実施形態のウ
ェーハカセットの位置決めアダプターを示す斜視図、図
２はこの位置決めアダプターをカセットステージの所定
箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、この位置決
めアダプター１１は、ベースプレート４の正面側の一辺
４ｂに密着するように略長方形状の薄厚の板を断面Ｌ字
状に折曲したアダプター本体１２に、位置合わせの対象
となるウェーハカセットの底部に対応する形状の切り欠
き１３が形成され、この切り欠き１３には、アダプター
本体１２より水平外方に延びる突片１４が形成され、該
突片１４にはキネマティックピン５ａを挿通する孔１５
が形成されている。
【００１５】この位置決めアダプター１１を用いてウェ
ーハカセットの位置決めを行うには、まず、位置合わせ
の対象となるウェーハカセットに対応する位置決めアダ
プター１１を選択し（図１）、この位置決めアダプター
１１の孔１５をキネマティックピン５ａに挿通させてア
ダプター本体１２をベースプレート４の正面側の一辺４
ｂに密着、固定させる（図２）。次いで、カセット本体
１をベースプレート４の上面４ａに移動させ、カセット
本体１の底部２１の背面部２１ａを切り欠き１３に一致
させることにより位置決めを行い、カセット本体１の溝
２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキネマティッ
クピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む（図３）。なお、
背面部２１ａは、操作する人から見て手前側になるよう
にしてある。
ーハカセットの位置決めを行うには、まず、位置合わせ
の対象となるウェーハカセットに対応する位置決めアダ
プター１１を選択し（図１）、この位置決めアダプター
１１の孔１５をキネマティックピン５ａに挿通させてア
ダプター本体１２をベースプレート４の正面側の一辺４
ｂに密着、固定させる（図２）。次いで、カセット本体
１をベースプレート４の上面４ａに移動させ、カセット
本体１の底部２１の背面部２１ａを切り欠き１３に一致
させることにより位置決めを行い、カセット本体１の溝
２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキネマティッ
クピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む（図３）。なお、
背面部２１ａは、操作する人から見て手前側になるよう
にしてある。
【００１６】このように、ウェーハカセットをカセット
ステージ上に載置するときに、カセット本体１の底部２
１の背面部２１ａに合う切り欠き１３を有する位置決め
アダプター１１をベースプレート４に密着、固定し、カ
セット本体１の背面部２１ａを位置決めアダプター１１
の切り欠き１３に合わせることにより、ウェーハカセッ
トの位置決めを容易に行うことができるようになる。
ステージ上に載置するときに、カセット本体１の底部２
１の背面部２１ａに合う切り欠き１３を有する位置決め
アダプター１１をベースプレート４に密着、固定し、カ
セット本体１の背面部２１ａを位置決めアダプター１１
の切り欠き１３に合わせることにより、ウェーハカセッ
トの位置決めを容易に行うことができるようになる。
【００１７】また、位置決めアダプター１１の孔１５を
キネマティックピン５ａに挿通させてアダプター本体１
２をベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着、固定
させるので、位置決めアダプター１１のベースプレート
４への取り付け及び取り外しが簡単になり、載置すべき
ウェーハカセットの外形に応じて位置決めアダプター１
１を選択し、交換することが容易になる。
キネマティックピン５ａに挿通させてアダプター本体１
２をベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着、固定
させるので、位置決めアダプター１１のベースプレート
４への取り付け及び取り外しが簡単になり、載置すべき
ウェーハカセットの外形に応じて位置決めアダプター１
１を選択し、交換することが容易になる。
【００１８】以上説明した様に、本実施形態の位置決め
アダプター１１によれば、アダプター本体１２に、位置
合わせの対象となるウェーハカセットの底部に対応する
形状の切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３に突片
１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン５ａを
挿通する孔１５を形成したので、ウェーハカセットを容
易に載置することができ、セットミスを減少させること
ができる。
アダプター１１によれば、アダプター本体１２に、位置
合わせの対象となるウェーハカセットの底部に対応する
形状の切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３に突片
１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン５ａを
挿通する孔１５を形成したので、ウェーハカセットを容
易に載置することができ、セットミスを減少させること
ができる。
【００１９】また、位置決めアダプター１１はベースプ
レート４に容易に密着、固定させることができるので、
各種のウェーハカセットに容易かつ安価に対応すること
ができ、フレキシビリティ（自由度）を増大させること
ができる。
レート４に容易に密着、固定させることができるので、
各種のウェーハカセットに容易かつ安価に対応すること
ができ、フレキシビリティ（自由度）を増大させること
ができる。
【００２０】「第２の実施形態」図４は本発明の第２の
実施形態の位置決めアダプターをカセットステージの所
定箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、本実施形
態の位置決めアダプター３１が上述した第１の実施形態
の位置決めアダプター１１と異なる点は、位置決めアダ
プター１１が薄厚の板を断面Ｌ字状に折曲したアダプタ
ー本体１２に切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３
に突片１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン
５ａを挿通する孔１５を形成したのに対し、本実施形態
の位置決めアダプター３１は、位置合わせの対象となる
ウェーハカセットの底部と略同一形状の周縁部３２ａを
有するアダプター本体３２に、ベースプレート４のキネ
マティックピン５ａ〜５ｃ及びカセット有無センサ７を
挿通する孔３３ａ〜３３ｄを形成した点である。
実施形態の位置決めアダプターをカセットステージの所
定箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、本実施形
態の位置決めアダプター３１が上述した第１の実施形態
の位置決めアダプター１１と異なる点は、位置決めアダ
プター１１が薄厚の板を断面Ｌ字状に折曲したアダプタ
ー本体１２に切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３
に突片１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン
５ａを挿通する孔１５を形成したのに対し、本実施形態
の位置決めアダプター３１は、位置合わせの対象となる
ウェーハカセットの底部と略同一形状の周縁部３２ａを
有するアダプター本体３２に、ベースプレート４のキネ
マティックピン５ａ〜５ｃ及びカセット有無センサ７を
挿通する孔３３ａ〜３３ｄを形成した点である。
【００２１】アダプター本体３２は、薄厚の板またはシ
ートのいずれかからなるもので、樹脂シート、薄厚のア
ルミニウム板、接着剤付き樹脂シート等が好適に用いら
れる。また、その周縁部３２ａの形状は、少なくともそ
の一部が位置合わせの対象となるウェーハカセットの底
部と略同一形状であればよい。
ートのいずれかからなるもので、樹脂シート、薄厚のア
ルミニウム板、接着剤付き樹脂シート等が好適に用いら
れる。また、その周縁部３２ａの形状は、少なくともそ
の一部が位置合わせの対象となるウェーハカセットの底
部と略同一形状であればよい。
【００２２】本実施形態の位置決めアダプター３１にお
いても、第１の実施形態の位置決めアダプター１１と同
様に、ウェーハカセットを容易に載置することができ、
セットミスを減少させることができる。また、各種のウ
ェーハカセットに容易かつ安価に対応することができ、
フレキシビリティ（自由度）を増大させることができ
る。
いても、第１の実施形態の位置決めアダプター１１と同
様に、ウェーハカセットを容易に載置することができ、
セットミスを減少させることができる。また、各種のウ
ェーハカセットに容易かつ安価に対応することができ、
フレキシビリティ（自由度）を増大させることができ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明のウェーハ収
納容器載置用ステージによれば、前記ステージの側面に
前記ウェーハ収納容器の底部に対応して位置決め部を形
成したので、前記ウェーハ収納容器を前記ステージ上に
載置する場合に、該ウェーハ収納容器の底部を前記位置
決め部に合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ス
テージとの位置決めを容易に行うことができる。
納容器載置用ステージによれば、前記ステージの側面に
前記ウェーハ収納容器の底部に対応して位置決め部を形
成したので、前記ウェーハ収納容器を前記ステージ上に
載置する場合に、該ウェーハ収納容器の底部を前記位置
決め部に合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ス
テージとの位置決めを容易に行うことができる。
【００２４】また、前記位置決め部を、前記ステージ本
体に着脱可能な位置決めアダプターにより構成したの
で、使用するウェーハ収納容器に合った位置決めアダプ
ターを選択し、該位置決めアダプターを前記ステージに
容易に取り付け及び取り外しをすることができる。
体に着脱可能な位置決めアダプターにより構成したの
で、使用するウェーハ収納容器に合った位置決めアダプ
ターを選択し、該位置決めアダプターを前記ステージに
容易に取り付け及び取り外しをすることができる。
【００２５】このように、ウェーハカセットをカセット
ステージ上に載置する際の位置決めを容易に行うことが
でき、異なった外形のウェーハカセットに対しても容易
に対応することができるウェーハ収納容器載置用ステー
ジを提供することができる。
ステージ上に載置する際の位置決めを容易に行うことが
でき、異なった外形のウェーハカセットに対しても容易
に対応することができるウェーハ収納容器載置用ステー
ジを提供することができる。
【図１】 本発明の第１の実施形態の位置決めアダプタ
ーを示す斜視図である。
ーを示す斜視図である。
【図２】 本発明の第１の実施形態の位置決めアダプタ
ーをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図で
ある。
ーをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図で
ある。
【図３】 本発明の第１の実施形態の位置決めアダプタ
ーを用いてウェーハカセットをカセットステージに載置
した状態を示す斜視図である。
ーを用いてウェーハカセットをカセットステージに載置
した状態を示す斜視図である。
【図４】 本発明の第２の実施形態の位置決めアダプタ
ーをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図で
ある。
ーをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図で
ある。
【図５】 従来のウェーハカセットを示す下面図であ
る。
る。
【図６】 従来のカセットステージを示す斜視図であ
る。
る。
１ カセット本体（収納容器） １ａ 底面 ２ａ〜２ｃ 位置決め用の溝 ３ 中心 ４ ベースプレート ４ａ 上面 ４ｂ 一辺 ５ａ〜５ｃ キネマティックピン ６ 中心 ７ カセット有無センサ １１ 位置決めアダプター １２ アダプター本体 １３ 切り欠き １４ 突片 １５ 孔 ２１ 底部 ２１ａ 背面部 ３１ 位置決めアダプター ３２ アダプター本体 ３２ａ 周縁部 ３３ａ〜３３ｄ 孔
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェーハ収納容器をステージ上に載置す
る際に、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを
行うべく、前記ステージの側面に前記ウェーハ収納容器
の底部に対応して位置決め部が形成されていることを特
徴とするウェーハ収納容器載置用ステージ。 - 【請求項２】 前記位置決め部は、前記ステージ本体に
着脱可能な位置決めアダプターにより構成されているこ
とを特徴とする請求項１記載のウェーハ収納容器載置用
ステージ。 - 【請求項３】 前記位置決め部は、前記ステージに形成
された切り欠きであることを特徴とする請求項１記載の
ウェーハ収納容器載置用ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14639398A JP3965780B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | ウェーハ収納容器載置用ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14639398A JP3965780B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | ウェーハ収納容器載置用ステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11340300A true JPH11340300A (ja) | 1999-12-10 |
| JP3965780B2 JP3965780B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=15406694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14639398A Expired - Fee Related JP3965780B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | ウェーハ収納容器載置用ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3965780B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60123206A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-07-01 | ロ−ベルト・ヴオルフ | 交換可能な駆動機械のためのドリル及びフライス案内 |
| JPH0529445A (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の位置決め装置 |
| JPH05338729A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-21 | Hitachi Ltd | ウェハ移し替え装置 |
| JPH10144755A (ja) * | 1996-11-07 | 1998-05-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | キャリア載置台 |
-
1998
- 1998-05-27 JP JP14639398A patent/JP3965780B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPS60123206A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-07-01 | ロ−ベルト・ヴオルフ | 交換可能な駆動機械のためのドリル及びフライス案内 |
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| JPH05338729A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-21 | Hitachi Ltd | ウェハ移し替え装置 |
| JPH10144755A (ja) * | 1996-11-07 | 1998-05-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | キャリア載置台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3965780B2 (ja) | 2007-08-29 |
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