JPH11337560A

JPH11337560A - 走査型プローブ顕微鏡

Info

Publication number: JPH11337560A
Application number: JP14811798A
Authority: JP
Inventors: Masato Iyogi; 誠人伊與木
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1998-05-28
Filing date: 1998-05-28
Publication date: 1999-12-10
Anticipated expiration: 2018-05-28
Also published as: JP3539867B2

Abstract

(57)【要約】【課題】先端に微小な探針を有するカンチレバーを加
振しながら、サンプルに近接させた場合に探針とサンプ
ル表面間に働く物理的な特性により、カンチレバーの振
幅を変化させ、その時の振幅の変化量から、サンプルの
表面性状を測定する走査型プローブ顕微鏡のカンチレバ
ーホルダ部において、カンチレバーのQ 値のコントロー
ルが可能となるような構造とする。【解決手段】第1 のアクチュエータ3 を基板2 に固定
し、第1 のアクチュエータ3 の加振力がカンチレバー5
に伝達するようにカンチレバー5 を載置し、カンチレバ
ーの平板部5bを弾性部材7 に接触させ、もう一方の平板
部5a側に第2 のアクチュエータ4 を介在させて、第2 の
アクチュエータ4 でカンチレバー5 を弾性部材7 に押し
付けるような構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、先端に微小な探針
を有するカンチレバーを加振しながら、サンプルに近接
させた場合に探針とサンプル表面間に働く物理的な特性
により、カンチレバーの振幅を変化させ、その時の振幅
の変化量から、サンプルの表面性状を測定する走査型プ
ローブ顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の走査型プローブ顕微鏡は、以下に
述べるような機構により構成される。先端に微小探針を
有するカンチレバーをカンチレバーホルダに固定し、圧
電素子などの加振手段によりカンチレバーの共振周波数
近傍の周波数で加振して、そのときの振幅を光てこ法な
どの変位検出手段により計測する。サンプルは、圧電素
子などにより構成される３軸微動機構上に載置される。

【０００３】サンプルは粗動機構により探針に近接さ
れ、探針とサンプル間が充分近づいていった場合、サン
プルと探針間には、原子間力などの物理的な力が作用す
る。この物理的な力により、カンチレバーの振幅が変化
する。このときに作用する力は、探針とサンプル間の距
離に依存するため、探針とサンプルを原子間力が作用す
る領域内に近接させて、微動機構により２次元平面内で
走査させながら、カンチレバーの振幅が常に一定になる
ように、サンプルと探針間の距離を制御することによ
り、サンプル表面の凹凸像が画像化される。

【０００４】また、走査型プローブ顕微鏡の一種であ
る、走査型近接場顕微鏡では、先端が先鋭化され、微小
な開口を設けた光ファイバーからなるプローブを利用し
て、サンプルの凹凸像と光学的特性の同時計測が行われ
る。走査型近接場顕微鏡では、プローブに光を入射し
て、開口付近にエバネッセント場を形成し、プローブ先
端を、サンプルに波長以下の距離まで近接させて、サン
プルの表面でエバネッセント光を散乱させて、伝播光に
変換する。

【０００５】このときのプローブとサンプルを近接する
手法に、走査型プローブ顕微鏡の技術が用いられる。す
なわち、プローブを共振点近傍で加振しながら、サンプ
ルに接近させた場合、プローブ先端とサンプル表面に作
用する原子間力などの力によって、振幅が変化する。こ
の振幅量を一定に保つように制御を行えば、波長以下の
距離まで、プローブ先端を接近させることが可能とな
る。

【０００６】この場合も、サンプルを3 軸微動機構上に
載置し、サンプルとプローブ間の距離を一定に保ちなが
ら、２次元平面内で走査し、微動機構の高さ方向の制御
量をモニターすることにより、サンプルの凹凸像が得ら
れる。また、サンプル表面で散乱された光信号を集光
し、フォトマルなどで光の強度を測定することにより、
サンプル表面の局所的な光学特性が画像化される。

【０００７】走査型プローブ顕微鏡または走査型近接場
顕微鏡で測定を行う場合には、測定に先立ち図４に示す
ような、カンチレバーまたはプローブの共振点近傍の周
波数特性を求める。この周波数特性の波形から、カンチ
レバーまたはプローブの共振周波数ω₀とQ 値が求めら
れる。通常、Q 値は以下のような計算式から求められ
る。

【０００８】Q=ω₀／（ω₂−ω₁）ここで、ω₀はカンチレバーの共振周波数、ω₁、ω₂は
共振周波数における振幅をAとした場合にA/√２（√２
は、２の平方根を表すとする）となる部分と周波数特性
のカーブの交点の周波数である。この式から、Q 値は共
振点ピークの幅によって決定され、ピークが急峻となる
ほど値が大きくなることがわかる。

【０００９】共振点近傍の周波数でカンチレバーまたは
プローブを加振しながらサンプルに近接させた場合、サ
ンプルと探針との間に働く原子間力により、図４に示す
ように、共振周波数がシフトして、振幅が変化する。こ
のときの振幅の変化を、光てこ法などの変位検出手段で
検出し、検出量をPI制御系などの制御システムで処理
し、探針またはプローブとサンプル間の距離が一定とな
るように、微動機構にフィードバック電圧が印加され
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、走査型
プローブ顕微鏡で測定を行う場合には、カンチレバーま
たはプローブの共振点近傍の周波数特性を利用して、サ
ンプルと探針またはプローブ間の距離制御が行われる。
カンチレバーまたはプローブは、Q 値が大きい方が波形
の傾きが急峻となり、感度が向上する。

【００１１】しかしながら、制御系まで含めたシステム
全体で考えた場合には、Q値があまりにも高くなりすぎ
ると、システムが追従できず発振の原因となる。したが
って、走査型プローブ顕微鏡のシステムにおいて応答性
と感度を両立するためには、Q値の最適化が必要とな
る。Q値はプローブの振動振幅の減衰量によって決定さ
れ、減衰の要因としては主に次の３つが挙げられる。

【００１２】 (1) 周囲の流体（空気や液体）による減衰 (2) 部材の内部摩擦による減衰 (3) 部材の支持部からの減衰。このうち、(1) の周囲の流体による減衰量は、周囲の環
境とカンチレバーまたはプローブの形状によって決ま
り、形状の変更を行わない限りはコントロールすること
は困難である。

【００１３】また、(2) の部材の内部摩擦による減衰量
についても、カンチレバーまたはプローブを構成する材
質や製作状況によって決まり、製作後のQ 値のコントロ
ールは困難である。(3) の支持部からの減衰量は、カン
チレバーまたはプローブの保持状態と保持力によって決
まるが、現在の装置では、あらかじめ決められた力で保
持している。

【００１４】したがって、現在の走査型プローブ顕微鏡
では、カンチレバーやプローブを取付けた後で、Q 値を
制御することは不可能であり、測定環境の違いや個々の
カンチレバーやプローブごとの材料の特性や形状、保持
方法の違いなどによりQ 値にばらつきが生じ、必ずしも
適正なQ 値が得られない場合が多い。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明では、カンチレバーまたはプローブの保
持力をコントロールして、カンチレバーまたはプローブ
の減衰量すなわちQ 値をコントロールできるようにし
た。すなわち、走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーホ
ルダ部1 の構造を、基板2と、先端に微小な探針6 を有
するカンチレバー5 と、該カンチレバーを加振するため
の第1 のアクチュエータ3 と、カンチレバーを保持する
押え板8 と、基板および押え板に対して弾性的な性質を
有する弾性部材7 と、カンチレバーの保持力を変化させ
る第2 のアクチュエータ4 から構成し、第1 のアクチュ
エータ3 を基板に固定し、第1 のアクチュエータ3 の加
振力がカンチレバーに伝達するようにカンチレバーを載
置し、カンチレバーの平板部5bを弾性部材に接触させ、
もう一方の平板部5a側に第2 のアクチュエータ4 を介在
させて、第2 のアクチュエータでカンチレバーを弾性部
材7 に押し付け、第2 のアクチュエータにより弾性部材
に押し付ける力を変えることにより、カンチレバーの支
持部から減衰するエネルギーの量を変化させ、Q 値の最
適化を図れるような構造とした。

【００１６】また、別の方式では、カンチレバーホルダ
1 の、第1 のアクチュエータ16にカンチレバー5 の加振
と、弾性部材7 への押し付けの2 つの機能を持たしたよ
うな構造とした。さらに、走査型プローブ顕微鏡の一種
である走査型近接場顕微鏡では、先端を先鋭化した光フ
ァイバーなどから製作されるプローブ20をカンチレバー
の代わりに使用した。

【００１７】以上のような構造で、カンチレバーまたは
プローブ押し付け用アクチュエータの押し付け力を変化
させながら、プローブを加振し、プローブの振幅を検出
し、周波数特性を求め、Q 値の最適化を行った後、走査
型プローブ顕微鏡の測定を行うようなシステムとした。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明では、図1 に示すように基
板2 上に加振用の第1 のアクチュエータ3 を取り付け、
その上にカンチレバー押し付け用の第2 のアクチュエー
タ4 を取り付け、第2 のアクチュエータ4 にカンチレバ
ー5 の平板部5aを接触させて、カンチレバーを載置す
る。さらにカンチレバーのもう一方の平板部5bに接触す
るように弾性部材7 を配置する。これらの部材は、押え
板8 により基板上に保持される。

【００１９】走査型プローブ顕微鏡の測定を行う場合に
は、まず加振用のアクチュエータ3を利用してカンチレ
バー5 を加振し、光てこ法などの変位検出手段により、
カンチレバー5 の振幅を測定し、共振特性を求める。次
に、共振周波数近傍の周波数でカンチレバーを加振しな
がら、第２のアクチュエータ4 でカンチレバー5 の弾性
部材7 への押し付け力を変化させる。このとき、支持部
に作用するせん弾力およびモーメントにより振動のエネ
ルギーが支持部材側に伝播し振動振幅が減衰する。この
減衰量は押し付け力に依存するため、押し付け力を変化
させることにより、カンチレバーの減衰量すなわちQ 値
が変化する。この方法により、あらかじめ設定していた
値にQ 値を最適化する。

【００２０】カンチレバーの共振周波数付近での周波数
特性は図４に示した形状になる。図において、サンプル
とカンチレバーを共振点近傍で加振しながら近接させた
場合には、共振周波数がシフトして、共振ピークの波形
が破線または1 点破線のように変化し、動作点での振幅
が変化する。走査型プローブ顕微鏡ではこの振幅量が一
定値を示すようにサンプルと探針間の距離を制御する。

【００２１】カンチレバーの押さえつけ力を変化させた
場合には、支持部からの振動エネルギーの減衰量が変化
し、Q 値が変わる。押さえ力を増した場合には、減衰量
は減少し、その結果Q 値が増加し、図５に示した実線の
共振ピークの波形は１点破線のように急峻になる。一
方、押さえ力を緩くした場合には、減衰量が増加し、そ
の結果Q 値が小さくなり、共振ピークの波形は図５の２
点破線のようにブロードになる。したがって、押さえつ
け力を変えることによりQ 値の制御が可能となる。

【００２２】別の方法では、図6 に示すように加振用の
アクチュエータ16でカンチレバー5を加振しながら、同
一のアクチュエータ16を利用して、保持力を変化させる
方式も考えられる。この方法では基板2 上にアクチュエ
ータ16を固定し、アクチュエータにカンチレバーの平板
部5aが接触するようにカンチレバーを載置し、もう一方
の平板部5bに弾性部材7 を接触させる。これらの部材は
取付け板8 により、基板上に保持される。このアクチュ
エータ16に図7 に示すような加振用の正弦波と押し付け
用の直流電圧を印加することにより、加振と押し付けの
機能を持たせることが可能である。

【００２３】以上のような方法で共振周波数とQ 値を決
めた後、共振ピークの波形を利用して測定を行う。走査
型プローブ顕微鏡の測定システムの一例を図3 に示す。
カンチレバー5 の振幅の検出信号は制御システムに送ら
れる。制御システムに送られた信号はPI制御などの処理
が行われ、カンチレバー5 と探針6 間の距離が一定とな
るように、微動機構14にフィードバック電圧が印加され
る。サンプル12を2 次元平面内で走査しながら、この微
動機構14に印加する高さ方向の信号をモニターすること
により、サンプル表面の凹凸像が画像化される。

【００２４】また、走査型プローブ顕微鏡の一種である
走査型近接場顕微鏡の測定を行う場合には、カンチレバ
ーの代わりに、先端が先鋭化された光ファイバーからな
るプローブ20を用いる。

【００２５】

【実施例】実施例について図面を参照して説明すると、
図１は走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーホルダ部の
概略図である。このカンチレバーホルダ1 は、基板2 上
に、圧電素子からなる加振用の第1 のアクチュエータ3
を固定し、該圧電素子上に別の圧電素子からなる第2 の
アクチュエータ4 を取り付ける。第2 のアクチュエータ
4 上に、平板部5aを接触させてカンチレバー5 を載置す
る。また、カンチレバーのもう一方の平板部5bにはシリ
コンゴムなどからなる弾性部材7 を接触させて取り付け
る。カンチレバー5 および弾性部材7 は押え板8 によ
り、基板上に保持される。

【００２６】ここで、弾性部材7 は、カンチレバーホル
ダ1 の基板部2 、第1 のアクチュエータ3 、第2 のアク
チュエータ4 、押え板8 に比べて、弾性的な性質を有す
る部材を使用している。図2 に示した実施例は、図1 の
カンチレバーホルダ1 を利用して走査型プローブ顕微鏡
を構成した例である。図1 のカンチレバーホルダに取り
付けられたカンチレバー5 は光学ヘッド9 により振幅が
検出される。この光学ヘッド9 は光てこ方式による検出
手段を利用している。光学ヘッド内の半導体レーザ10か
らカンチレバーの背面5cにレーザ光を当て、その反射光
を４分割フォトディテクタ11により検出する。サンプル
は円筒型圧電アクチュエータ14上に設けられたサンプル
ステージ13に載せられている。円筒型圧電アクチュエー
タ14は単一のアクチュエータにより、XYZ 方向の3 軸微
動が可能である。この円筒型アクチュエータは粗動機構
15に取り付けられており、サンプル12と探針6 間の距離
の粗動を行うことが可能である。

【００２７】図３は走査型プローブ顕微鏡のシステム構
成を示すシステム図である。カンチレバー5 の振幅は光
てこ方式の光学ヘッドで検出され、検出信号はコントロ
ールユニット内の制御部に送られる。制御部ではサンプ
ル12と探針6 間の距離が一定となるように、PI制御が行
われ、円筒型圧電アクチュエータ14のZ 電極14a にフィ
ードバック電圧が印加される。一方、円筒型圧電アクチ
ュエータ14のXY電極14b には、2 次元平面内でサンプル
12を走査するための走査電圧が印加される。これらのXY
Z 電極に印加される電圧をモニタすることにより、サン
プル表面の凹凸像が画像化される。

【００２８】また、測定を行う前には、加振用のアクチ
ュエータ3 に正弦波をスイープしながら印加して振幅の
検出信号から周波数特性を求め、共振周波数近傍に動作
点が設定され、また、押し付け用のアクチュエータ4 に
は直流電圧が印加され、そのときの周波数特性から最適
なQ 値が得られるような電圧値が設定される。図６は加
振用のアクチュエータと押し付け用のアクチュエータを
１つのアクチュエータ16で兼用した例である。この実施
例では、基板上2 に圧電素子などからなるアクチュエー
タ16を固定し、アクチュエータにカンチレバー5 の平板
部5aが接触するようにカンチレバーを載置し、もう一方
の平板部5bにシリコンゴムなどの弾性部材7 を接触させ
る。これらの部材は取付け板8 により、基板2 上に保持
される。

【００２９】図７は図６に示したカンチレバーホルダを
使用した場合の動作例である。この実施例ではアクチュ
エータ16に加振用の正弦波と押し付け用の直流電圧を印
加することにより、加振と押し付けの機能を持たせるこ
とが可能である。この場合、正弦波の周波数をスイープ
させて、そのときの振幅量を検出し、周波数特性を求め
ることによって加振周波数が決定され、また、あらかじ
め設定したQ 値と比較しながら、直流電圧の大きさをス
イープすることによりQ 値の最適化が図られる。

【００３０】図8 は走査型プローブの一種である走査型
近接場顕微鏡のプローブホルダに、本発明を適用した実
施例である。本実施例では光ファイバの先端20a を先鋭
化し、微小開口を設けるとともに、先端20b を曲げたベ
ントタイププローブを使用している。本実施例では、基
板上18に圧電素子などのアクチュエータ19を固定し、ア
クチュエータ19上にプローブ20を載置し、プローブを挟
み込むようにシリコンゴムなどの弾性部材21を配置し、
取付け板22により基板上に保持する。この場合には、図
６の実施例と同様にアクチュエータ20に加振機能と、押
し付け機能を併用させる。また、図１の実施例と同様
に、加振用と押し付け用のアクチュエータを分離するこ
とも可能である。

【００３１】図9 は図８のプローブホルダ17を用いて走
査型近接場顕微鏡を構成した場合の構成図である。本実
施例では、プローブ20をサンプル12に対して垂直な方向
に加振しそのときの振幅を光学ヘッド9 により検出す
る。この光学ヘッドは光てこ方式による検出手段を利用
している。光学ヘッド内の半導体レーザ10からプローブ
の背面20c にレーザ光を当て、その反射光を４分割フォ
トディテクタ11により検出する。サンプル12は円筒型圧
電アクチュエータ３本から構成される３軸微動機構上23
に設けられたサンプルステージ24に載せられている。３
軸微動機構23は粗動機構15に取り付けられ、サンプル12
とプローブ20間の距離の粗動を行うことが可能である。
プローブの末端20d はレーザー光源27とカップリングさ
れ、レーザー光が入射される。この場合、プローブ先端
の微小開口部からエバネッセント光がサンプルに照射さ
れ、サンプル面で散乱された光を、微動機構の中心の空
間に配置された対物レンズ25で集光する。集光された光
信号は、ミラー26で反射されて、フォトマル28などの光
検出器に導かれ、光信号の強度が電気的な信号に変換さ
れる。このとき、サンプル表面とプローブとの距離が一
定になるように微動機構23にフィードバック電圧を印加
しながら、微動機構をXY平面内で走査することにより、
サンプル表面の凹凸像と、光学像が画像化される。

【００３２】走査型近接場顕微鏡では、本実施例に示し
たイルミネーション透過モードの他にも、サンプルを反
射した光を集光するイルミネーション反射モードや、サ
ンプル表面の発光をプローブでピックアップするコレク
ションモードにも本発明を適用することが可能である。
図１０は走査型近接場顕微鏡でストレートタイプのプロ
ーブを用いた場合の実施例である。本実施例では先端を
先鋭化し、微小開口を形成したストレート型のプローブ
32を用いてサンプル面に対して平行な方向にプローブ32
を加振して、サンプル表面とプローブ先端に働く、ラテ
ラルフォースによるプローブの減衰量によりサンプルと
プローブ間の距離制御を行う方式である。図に示した実
施例では、基板29上に圧電素子などのアクチュエータ31
を固定し、アクチュエータ上にプローブを載置し、プロ
ーブを挟み込むようにシリコンゴムなどの弾性部材33を
配置し、取付け板34により基板上に保持し、アクチュエ
ータに加振機能と、押し付け機能を併用させる。

【００３３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、走査型
プローブ顕微鏡のカンチレバーホルダー部を、基板と、
先端に微小な探針を有するカンチレバーと、該カンチレ
バーを加振するための第1 のアクチュエータと、カンチ
レバーを保持する押え板と、基板および押え板に対して
弾性的な性質を有する弾性部材と、カンチレバーの保持
力を変化させる第2 のアクチュエータから構成し、第1
のアクチュエータを基板に固定し、第1 のアクチュエー
タの加振力がカンチレバーに伝達するようにカンチレバ
ーを載置し、カンチレバーの平板部を弾性部材に接触さ
せ、もう一方の平板部側に第2 のアクチュエータを介在
させて、第2 のアクチュエータでカンチレバーを弾性部
材に押し付け、弾性部材に押し付ける力を変えることに
より、カンチレバーの支持部から減衰するエネルギーの
量を変化させることが可能な構成とした。この構成によ
り、カンチレバーの減衰量すなわちQ 値のコントロール
が可能となり、応答性と感度においてシステム能力を最
大限活用することが可能となる。

【００３４】また、上記のカンチレバーホルダにおい
て、第1 のアクチュエータにカンチレバーの加振と、弾
性部材への押し付けの2 つの機能を持たすことにより、
Q 値のコントロールが可能となるとともに、機構が簡素
化され、装置の剛性が向上する。さらに、カンチレバー
の代わりに、先端を先鋭化した光ファイバーなどから製
作されるプローブを使用することにより、走査型近接場
顕微鏡においてもプローブのQ 値の最適化が可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る、走査型プローブ顕微
鏡のカンチレバーホルダー部の概略図である。

【図２】図１のカンチレバーホルダを用いて走査型プロ
ーブ顕微鏡を構成した場合の構成図である。

【図３】走査型プローブ顕微鏡のシステム図である。

【図４】走査型プローブ顕微鏡の動作原理を説明するた
めの説明図である。

【図５】カンチレバーの押し付け力を変化させた場合の
周波数特性の違いを示す説明図である。

【図６】本発明の別の実施例に係る走査型プローブ顕微
鏡のカンチレバーホルダーの概略図である。

【図７】図６のカンチレバーホルダの動作を説明するた
めの概略図である。

【図８】本発明の別の実施例に係る走査型近接場顕微鏡
のプローブホルダの概略図である。

【図９】図８のプローブホルダを用いて走査型近接場顕
微鏡を構成した構成図である。

【図１０】本発明の別の実施例に係る走査型近接場顕微
鏡のプローブホルダの概略図である。

【符号の説明】１カンチレバーホルダ２基板３加振用アクチュエータ４押し付け用アクチュエータ５カンチレバー６探針７弾性部材８押え板９光学ヘッド１０半導体レーザ１１フォトダイオード１２サンプル１３サンプルステージ１４円筒型圧電アクチュエータ１５粗動機構１６アクチュエータ１７プローブホルダ１８基板１９アクチュエータ１９プローブ２１弾性部材２２押え板２３３軸微動機構２４サンプルステージ２５対物レンズ２６反射ミラー２７レーザー光源２８フォトマル２９プローブホルダ２９基板３１アクチュエータ３２プローブ３３弾性部材３４押え板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】先端に微小な探針を有するカンチレバー
を加振しながら、サンプルに近接させた場合に探針とサ
ンプル表面間に働く物理的な特性により、カンチレバー
の振幅を変化させ、その時の振幅の変化量から、サンプ
ルの表面性状を測定する走査型プローブ顕微鏡におい
て、前記カンチレバーを保持するカンチレバーホルダ部
が、基板と、前記カンチレバーを加振するための第１の
アクチュエータと、カンチレバーを保持する押え板と、
基板および押え板に対して弾性的な性質を有する弾性部
材と、カンチレバーの保持力を変化させる第２のアクチ
ュエータから成り、第1 のアクチュエータを基板に固定
し、該第１のアクチュエータの加振力が前記カンチレバ
ーに伝達するようにカンチレバーを載置し、前記カンチ
レバーの平板部を弾性部材に接触させ、もう一方の平板
部側に第２のアクチュエータを介在させて、第２のアク
チュエータでカンチレバーを弾性部材に押し付けること
を特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】前記第１のアクチュエータに前記カンチ
レバーの加振と、前記弾性部材への押し付けの２つの機
能を持たした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】先端を先鋭化した光ファイバーからなる
プローブをカンチレバーの代わりに使用した、請求項１
または請求項２に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】押し付け用アクチュエータの押し付け力
を変化させながら、前記カンチレバーまたは前記プロー
ブを加振して、そのときのカンチレバーまたはプローブ
の振幅量を検出することにより周波数特性を求め、得ら
れた周波数特性からＱ値を計算することにより、Ｑ値の
最適化を行うことを特徴とする請求項１から請求項３の
いずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。