JPH11334772A - 半導体製造に用いる液体原料用容器 - Google Patents
半導体製造に用いる液体原料用容器Info
- Publication number
- JPH11334772A JPH11334772A JP17955798A JP17955798A JPH11334772A JP H11334772 A JPH11334772 A JP H11334772A JP 17955798 A JP17955798 A JP 17955798A JP 17955798 A JP17955798 A JP 17955798A JP H11334772 A JPH11334772 A JP H11334772A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- liquid level
- liquid
- valve
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 容器内に収められた半導体製造用液体原料を
無駄なく利用することができる半導体製造に用いる液体
原料用容器を提供する。 【解決手段】 外気を遮断した液体原料用密閉容器に不
活性気体の導入口を設け、当該液体原料用密閉容器の底
面に液体原料が溜る凹部を設け、液体原料用密閉容器の
外部から挿入した浸液管の先端を当該凹部の底面に開口
し、さらに浸液管の容器外部の一端に弁を設け、容器内
に挿入した液面センサーからの液面検出信号に応じて該
弁を開閉できるようにし、さらに当該液体原料用密閉容
器底面の凹部の近傍に液面センサーの液面検出端を位置
させるように液面センサー検出端を容器外部から挿入し
た半導体製造に用いる液体原料用容器。
無駄なく利用することができる半導体製造に用いる液体
原料用容器を提供する。 【解決手段】 外気を遮断した液体原料用密閉容器に不
活性気体の導入口を設け、当該液体原料用密閉容器の底
面に液体原料が溜る凹部を設け、液体原料用密閉容器の
外部から挿入した浸液管の先端を当該凹部の底面に開口
し、さらに浸液管の容器外部の一端に弁を設け、容器内
に挿入した液面センサーからの液面検出信号に応じて該
弁を開閉できるようにし、さらに当該液体原料用密閉容
器底面の凹部の近傍に液面センサーの液面検出端を位置
させるように液面センサー検出端を容器外部から挿入し
た半導体製造に用いる液体原料用容器。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造に用い
る液体原料用容器に関する。
る液体原料用容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来利用されていた半導体製造に
用いる液体原料用容器とその利用方法の一例を示した概
念図である。図中、Ｉ１は容器に導入される不活性気体
の流路を示している。ＶＩ１は容器に導入される不活性
気体の流路を開閉する弁で、不活性気体を容器に導入し
容器内の液体原料を圧送するために利用する。Ｃ１は密
閉容器である。ＤＩＰ１は浸液管で、容器Ｃ１の底部で
開口している。ＶＯ１は液体原料が浸液管ＤＴＰ１を登
って原料消費部に供給される供給端Ｏ１にいたる流路を
開閉してその供給を制御し、液体原料容器自体と内容物
の重量の合計を重量計測器ＬＯＳで計測した結果から液
体原料用容器の内容物が消費されたことを指示し、その
指示によって弁ＶＯ１を閉止する。
用いる液体原料用容器とその利用方法の一例を示した概
念図である。図中、Ｉ１は容器に導入される不活性気体
の流路を示している。ＶＩ１は容器に導入される不活性
気体の流路を開閉する弁で、不活性気体を容器に導入し
容器内の液体原料を圧送するために利用する。Ｃ１は密
閉容器である。ＤＩＰ１は浸液管で、容器Ｃ１の底部で
開口している。ＶＯ１は液体原料が浸液管ＤＴＰ１を登
って原料消費部に供給される供給端Ｏ１にいたる流路を
開閉してその供給を制御し、液体原料容器自体と内容物
の重量の合計を重量計測器ＬＯＳで計測した結果から液
体原料用容器の内容物が消費されたことを指示し、その
指示によって弁ＶＯ１を閉止する。
【０００３】しかし、この方法では、弁ＶＩ１は不活性
気体を導入する管系と、ＶＯ１は液体原料消費部に向か
う管系とそれぞれ接続され、したがって、容器Ｃ１には
管系との接続による力が加えられており、その力による
影響で重量計測器は常に大きい重量誤差を含む値を計測
するという不安定で操作上問題が多発するものであっ
た。すなわち、その内容物の残量の計測は不安定であ
り、液体原料消費部などに事故による気体の移送を避け
るために、内容物が余り減量しない状態を重量計測器が
示しでいる状態で原料液体の供給を停止せざるを得ない
と言う欠点があった。
気体を導入する管系と、ＶＯ１は液体原料消費部に向か
う管系とそれぞれ接続され、したがって、容器Ｃ１には
管系との接続による力が加えられており、その力による
影響で重量計測器は常に大きい重量誤差を含む値を計測
するという不安定で操作上問題が多発するものであっ
た。すなわち、その内容物の残量の計測は不安定であ
り、液体原料消費部などに事故による気体の移送を避け
るために、内容物が余り減量しない状態を重量計測器が
示しでいる状態で原料液体の供給を停止せざるを得ない
と言う欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体製造
に用いられる液体原料用容器内に充填された液体原料を
該容器内に過大な残量を残すことなく効果的に利用でき
るようにし、かつ、容器内の気体を容器からの液体移送
系に侵入させることなく制御することができる液体原料
用容器を提供するものである。
に用いられる液体原料用容器内に充填された液体原料を
該容器内に過大な残量を残すことなく効果的に利用でき
るようにし、かつ、容器内の気体を容器からの液体移送
系に侵入させることなく制御することができる液体原料
用容器を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、外気を遮断し
た液体原料用密閉容器に不活性気体の導入口を設け、当
該液体原料用密閉容器の底面に液体原料が溜る凹部を設
け、液体原料用密閉容器の外部から挿入した浸液管の先
端を当該凹部の底面に開口し、さらに浸液管の容器外部
の一端に弁を設け、容器内に挿入した液面センサーから
の液面検出信号に応じて該弁を開閉できるようにし、さ
らに当該液体原料用密閉容器底面の凹部の近傍に液面セ
ンサーの液面検出端を位置させるように液面センサー検
出端を容器外部から挿入した半導体製造に用いる液体原
料用容器である。
た液体原料用密閉容器に不活性気体の導入口を設け、当
該液体原料用密閉容器の底面に液体原料が溜る凹部を設
け、液体原料用密閉容器の外部から挿入した浸液管の先
端を当該凹部の底面に開口し、さらに浸液管の容器外部
の一端に弁を設け、容器内に挿入した液面センサーから
の液面検出信号に応じて該弁を開閉できるようにし、さ
らに当該液体原料用密閉容器底面の凹部の近傍に液面セ
ンサーの液面検出端を位置させるように液面センサー検
出端を容器外部から挿入した半導体製造に用いる液体原
料用容器である。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明に用いる液面センサーに
は、気体と液体の熱伝導差を利用した計測システムを用
いると、液面検出端を小さく構成できるとともに容器の
密閉性を損なわず、さらに半導体製造に用いる液体原料
に有害な発塵を防止できる利点がある。もちろん、その
他の液面検出装置を利用してもよい。また、液面センサ
ーの検出端を複数個、容器内の設定された位置に配置し
て、液面を複数点で検出し内容物が設定された最下面に
なる以前にも警報を出し、容器交換の準備をあらかじめ
行っておくに必要な余裕時間を確保するなどの応用も可
能である。
は、気体と液体の熱伝導差を利用した計測システムを用
いると、液面検出端を小さく構成できるとともに容器の
密閉性を損なわず、さらに半導体製造に用いる液体原料
に有害な発塵を防止できる利点がある。もちろん、その
他の液面検出装置を利用してもよい。また、液面センサ
ーの検出端を複数個、容器内の設定された位置に配置し
て、液面を複数点で検出し内容物が設定された最下面に
なる以前にも警報を出し、容器交換の準備をあらかじめ
行っておくに必要な余裕時間を確保するなどの応用も可
能である。
【０００７】また、別に用意した容器から当該容器に原
料を移送充填するために、当該容器に移送充填用の配管
や弁を追加し、液面センサーの検出端を追加して容器内
部の上部に位置させ、内容物が当該容器に充満した時に
液面を検出して警報を発するようにして、当該容器への
液体原料の充填を制御して行うことができるようにする
ことも可能である。
料を移送充填するために、当該容器に移送充填用の配管
や弁を追加し、液面センサーの検出端を追加して容器内
部の上部に位置させ、内容物が当該容器に充満した時に
液面を検出して警報を発するようにして、当該容器への
液体原料の充填を制御して行うことができるようにする
ことも可能である。
【０００８】
【実施例】以下、図２にしたがって、本発明の実施の一
例を説明する。図において、Ｉ２は容器に導入される不
活性気体の流路を示している。ＶＩ２は容器に導入され
る不活性気体の流路を開閉する弁で、不活性気体を容器
に導入し容器内の液体原料を圧送するために利用する。
Ｃ２は密閉容器である。ＤＩＰ２は浸液管で、容器Ｃ２
の底面に凹部Ｄを設けて原料液体が溜るようにした底部
で開口している。ＶＯ２は液体原料が浸液管ＤＩＰ２を
登って原料消費部に供給される供給端Ｏ２にいたる流路
を開閉してその供給を制御し、容器に挿入された液面セ
ンサーＬＳの液面検出端Ｓが液面ＦＬ２を検出した結果
から液体原料用容器の内容物が消費されたことを指示
し、その指示によって弁ＶＯ２を閉止する。
例を説明する。図において、Ｉ２は容器に導入される不
活性気体の流路を示している。ＶＩ２は容器に導入され
る不活性気体の流路を開閉する弁で、不活性気体を容器
に導入し容器内の液体原料を圧送するために利用する。
Ｃ２は密閉容器である。ＤＩＰ２は浸液管で、容器Ｃ２
の底面に凹部Ｄを設けて原料液体が溜るようにした底部
で開口している。ＶＯ２は液体原料が浸液管ＤＩＰ２を
登って原料消費部に供給される供給端Ｏ２にいたる流路
を開閉してその供給を制御し、容器に挿入された液面セ
ンサーＬＳの液面検出端Ｓが液面ＦＬ２を検出した結果
から液体原料用容器の内容物が消費されたことを指示
し、その指示によって弁ＶＯ２を閉止する。
【０００９】本発明においては、重量計測器を使用しな
いので、配管からかかる力の影響を無視することができ
る。したがって、本発明にかかる液体原料用容器を使用
すると容器内容物の減量した液面を正確に計測できると
ともに、内容物の液面を示すＦＬ２が容器底面に設けた
凹部Ｄの極小の部分にあることから解るように、当該凹
部の底面に浸液管の開口端を位置させ液面センサーの検
出端を当該凹部近傍に位置させることにより、利用され
ない液体原料の残量を極めて小さくすることができる。
この残量を本発明と従来の方法とを比較したところ、８
０％から８５％程度低減できた。
いので、配管からかかる力の影響を無視することができ
る。したがって、本発明にかかる液体原料用容器を使用
すると容器内容物の減量した液面を正確に計測できると
ともに、内容物の液面を示すＦＬ２が容器底面に設けた
凹部Ｄの極小の部分にあることから解るように、当該凹
部の底面に浸液管の開口端を位置させ液面センサーの検
出端を当該凹部近傍に位置させることにより、利用され
ない液体原料の残量を極めて小さくすることができる。
この残量を本発明と従来の方法とを比較したところ、８
０％から８５％程度低減できた。
【００１０】
【発明の効果】半導体装置製造に用いる液体原料は一般
試薬に対して高純度が要求されるため高価であり、本発
明によれば、液体原料使用効率を上げることができるた
め半導体装置の生産コストを低減することができる。ま
た、原料利用効率の変動が低減され、原料移送配管系に
好ましくない気体の混入事故の発生を予防できる。ま
た、半導体装置の製造に用いる液体原料の品質は著しい
高水準に維持されることが求められるため、容器に残存
する未利用原料の品質を確認せずにそのまま繰り返し利
用することはできず、その品質を確認するに必要な化学
分析コストがかかり過ぎるので、結局経済的に再利用で
きずに廃棄処分されるなど、地球環境に対し好ましくな
い結果を招来することもしばしばあるが、本発明によれ
ば、原料が効率よく利用されるので、地球環境に対する
過剰な負荷も低減される。
試薬に対して高純度が要求されるため高価であり、本発
明によれば、液体原料使用効率を上げることができるた
め半導体装置の生産コストを低減することができる。ま
た、原料利用効率の変動が低減され、原料移送配管系に
好ましくない気体の混入事故の発生を予防できる。ま
た、半導体装置の製造に用いる液体原料の品質は著しい
高水準に維持されることが求められるため、容器に残存
する未利用原料の品質を確認せずにそのまま繰り返し利
用することはできず、その品質を確認するに必要な化学
分析コストがかかり過ぎるので、結局経済的に再利用で
きずに廃棄処分されるなど、地球環境に対し好ましくな
い結果を招来することもしばしばあるが、本発明によれ
ば、原料が効率よく利用されるので、地球環境に対する
過剰な負荷も低減される。
【図１】従来の半導体製造に用いる液体原料用容器の概
念図であり、内容物の減少を重量測定器で計測しつつ利
用する例を示す。
念図であり、内容物の減少を重量測定器で計測しつつ利
用する例を示す。
【図２】本発明になる半導体製造に用いる液体原料用容
器の概念図であり、内容物の減少を液面センサーで検出
しつつ利用する例を示す。
器の概念図であり、内容物の減少を液面センサーで検出
しつつ利用する例を示す。
Ｐ１、Ｐ３ 液体原料用容器と不活性気体供給管系を
接続する管系 Ｐ２、Ｐ４ 液体原料用容器と液体原料を消費先に移
送する配管系とを接続する管系 ＦＬ１ 液面
接続する管系 Ｐ２、Ｐ４ 液体原料用容器と液体原料を消費先に移
送する配管系とを接続する管系 ＦＬ１ 液面
Claims (1)
- 【請求項１】 外気を遮断した液体原料用密閉容器に不
活性気体の導入口を設け、当該液体原料用密閉容器の底
面に液体原料が溜る凹部を設け、液体原料用密閉容器の
外部から挿入した浸液管の先端を当該凹部の底面に開口
し、さらに浸液管の容器外部の一端に弁を設け、容器内
に挿入した液面センサーからの液面検出信号に応じて該
弁を開閉できるようにし、さらに当該液体原料用密閉容
器底面の凹部の近傍に液面センサーの液面検出端を位置
させるように液面センサー検出端を容器外部から挿入し
たことを特徴とする半導体製造に用いる液体原料用容
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17955798A JPH11334772A (ja) | 1998-05-22 | 1998-05-22 | 半導体製造に用いる液体原料用容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17955798A JPH11334772A (ja) | 1998-05-22 | 1998-05-22 | 半導体製造に用いる液体原料用容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11334772A true JPH11334772A (ja) | 1999-12-07 |
Family
ID=16067828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17955798A Pending JPH11334772A (ja) | 1998-05-22 | 1998-05-22 | 半導体製造に用いる液体原料用容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11334772A (ja) |
-
1998
- 1998-05-22 JP JP17955798A patent/JPH11334772A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100454156B1 (ko) | 화학물질 송출 시스템 및 송출 방법 | |
| US9073028B2 (en) | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability | |
| CN100374768C (zh) | 液体流动控制设备及方法 | |
| US6098843A (en) | Chemical delivery systems and methods of delivery | |
| US7910074B2 (en) | System and method for continuously transferring and processing liquids | |
| US8720288B2 (en) | Counter assembly, sheath flow impedance count device, and flow cytometer analyzer | |
| JPH05341473A (ja) | 流体ディスペンサ並びに流体の供給装置 | |
| KR20000071016A (ko) | 자동-계량 저장기 | |
| US9458002B2 (en) | Bottle supply system and bottle cap adapter | |
| US6588458B2 (en) | System, apparatus and method for measuring and transferring the contents of a vessel | |
| CN212644263U (zh) | 一种气瓶不间断供气用切换控制装置 | |
| JPH11334772A (ja) | 半導体製造に用いる液体原料用容器 | |
| CA2418661A1 (en) | Flow rate measuring method and flow-meter | |
| JPH08501496A (ja) | 精密液体分注装置および方法 | |
| US20140363480A1 (en) | Device for discharging liquid | |
| CN110774767B (zh) | 一种液态金属供墨系统的液位控制组件及控制方法 | |
| CN110774754B (zh) | 一种液态金属供墨系统和供墨方法 | |
| CN208760202U (zh) | 一种液态金属供墨系统的氧化物含量测试组件 | |
| JP3266946B2 (ja) | 気液分離装置及び液体供給装置 | |
| CN214650835U (zh) | Pfa供液压力储液罐 | |
| CN110774768B (zh) | 一种液态金属供墨系统的气压控制组件及控制方法 | |
| JPH0672494A (ja) | 液供給方法および装置 | |
| JPS6219971Y2 (ja) | ||
| JPS5830205Y2 (ja) | 液体定量供給装置 | |
| KR0139965Y1 (ko) | 웨트 스테이션 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060207 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060613 |