JPH11326970A - Nonlinear crystal holder - Google Patents

Nonlinear crystal holder

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Publication number
JPH11326970A
JPH11326970A JP13490298A JP13490298A JPH11326970A JP H11326970 A JPH11326970 A JP H11326970A JP 13490298 A JP13490298 A JP 13490298A JP 13490298 A JP13490298 A JP 13490298A JP H11326970 A JPH11326970 A JP H11326970A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nonlinear crystal
holder
heat sink
laser beam
blocks
Prior art date
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Pending
Application number
JP13490298A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Kumamoto
健二 熊本
Eikichi Hayashi
栄吉 林
Kuniaki Iwaki
邦明 岩城
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH11326970A publication Critical patent/JPH11326970A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nonlinear crystal holder which is inexpensive, has high performance and high quality and allows the easy reproduction of the initial performance and function even at the time of service and maintenance. SOLUTION: This holder has two holder blocks 2a, 2b holding the opposite two surfaces of a non-optical system of a nonlinear crystal 1 and a heat sink 3 mounted at the same direction end faces of these holder blocks. The holder blocks described above consist of material having a good thermal conductivity from at least the portion facing the nonlinear crystal 1 to the portion in contact with the heat sink 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザビームを
通過させることによりレーザビームの高調波発振を生成
する非線形光学結晶(以下非線形結晶と略す)を保持す
る非線形結晶ホルダーに関するもので、特に高調波発振
レーザビームの安定化・高品質化を目的とする非線形結
晶ホルダーに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nonlinear crystal holder for holding a nonlinear optical crystal (hereinafter abbreviated as "nonlinear crystal") that generates a harmonic oscillation of a laser beam by passing the laser beam, and more particularly to a harmonic crystal holder. The present invention relates to a nonlinear crystal holder for stabilizing an oscillation laser beam and improving quality.

【0002】[0002]

【従来の技術】非線形結晶にレーザビームを入射させ元
のレーザビームと異なった波長の高調波レーザビームを
生成する技術は波長変換として周知で、種々な文献で事
例等が紹介されている。また、非線形結晶の取り扱いと
して特に波長変換時、非線形結晶がレーザビームを吸収
し、熱変形や不均一な温度分布等により波長変換効率等
が変化して、波長変換したレーザビームの出力やビーム
品質が不安定になるのを抑制するための非線形結晶の温
度保持・排熱構造などに関する報告も多い。
2. Description of the Related Art A technique of making a laser beam incident on a nonlinear crystal to generate a harmonic laser beam having a wavelength different from that of the original laser beam is well known as wavelength conversion, and examples thereof are introduced in various documents. In addition, the nonlinear crystal absorbs the laser beam, especially during wavelength conversion, and changes the wavelength conversion efficiency and the like due to thermal deformation and non-uniform temperature distribution. There have been many reports on the temperature maintenance and exhaust heat structure of the nonlinear crystal to suppress the instability of the crystal.

【0003】例えば、特開平5−41557号公報では
円板状のホルダーの中に非線形結晶を埋め込み、ホルダ
ーの表面に穴付きペルチェ素子を接触させ、更に穴付き
ヒートシンクを貼り付ける構造のものが開示されてい
る。また、特開平5−72577号公報では非線形結晶
をV字型の溝を持った二つの銅製の金属板によりネジで
締め付ける構造のものが開示されている。また、特開平
6−196775号公報ではヒータにより非線形結晶を
室温より高温に保つように構成したものが開示されてい
る。また、特開平6−196776号公報では非線形結
晶の相対する2面にペルチェ素子を貼り付ける構成のも
のが開示されている。
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-41557 discloses a structure in which a nonlinear crystal is embedded in a disk-shaped holder, a Peltier element with holes is brought into contact with the surface of the holder, and a heat sink with holes is further attached. Have been. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-72577 discloses a structure in which a nonlinear crystal is fastened with screws using two copper metal plates having V-shaped grooves. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-196775 discloses a structure in which a nonlinear crystal is maintained at a temperature higher than room temperature by a heater. Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-196776 discloses a configuration in which Peltier elements are attached to two opposing surfaces of a nonlinear crystal.

【0004】図3に特開平6−196776号公報にて
開示された従来の非線形結晶ホルダーの構成図を示す。
図中、1は角柱形状をした非線形結晶で、相対する2面
に2つのペルチェ素子14a、14bが貼り付けられて
いる。波長変換されたレーザビームは図の矢印の方向に
出射される。波長変換時に非線形結晶1に僅かに吸収さ
れたレーザビームは非線形結晶1の温度を上昇させ、結
晶の熱変形等を誘発し、もって波長変換レーザビームの
安定性を損なう様作用・動作するが、2つのペルチェ素
子14a、14bにより十分冷却温度制御されるため、
安定な波長変換により高調波発振レーザビームを生成す
ることができる。
FIG. 3 shows the configuration of a conventional nonlinear crystal holder disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-196776.
In the figure, reference numeral 1 denotes a prism-shaped nonlinear crystal, and two Peltier elements 14a and 14b are attached to two opposing surfaces. The wavelength-converted laser beam is emitted in the direction of the arrow in the figure. The laser beam slightly absorbed by the nonlinear crystal 1 during wavelength conversion raises the temperature of the nonlinear crystal 1 and induces thermal deformation of the crystal, thereby acting and operating to impair the stability of the wavelength-converted laser beam. Since the cooling temperature is sufficiently controlled by the two Peltier elements 14a and 14b,
A harmonic oscillation laser beam can be generated by stable wavelength conversion.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の非線形結晶ホル
ダーは、非線形結晶の相対する2面にペルチェ素子を貼
り付けた構成としているため、高価であり、非線形結晶
をクリーニングしたり、交換したりするサービスやメン
テナンスの時に再組み立て後、同一の性能・機能を再現
させることが困難である等の品質上の問題があった。高
価な非線形結晶をホルダーに埋め込んだり、ネジで適当
に締め付けたり、ペルチェ素子を貼り付ける等の構造は
サービス性やメンテナンス性、更にはサービスコスト等
を考慮しない実験室レベルのもので、産業用等の製品レ
ベルでは実用性に欠けるなどの問題があった。従来は非
線形結晶の材料により潮解性を持つものなどがあり、高
温に保持したりする必要もあったが、最近の技術では室
温で動作する高品質の非線形結晶も出現して、実用化は
急速に拡大する傾向にある。
The conventional nonlinear crystal holder is expensive because it has a structure in which Peltier elements are attached to two opposing surfaces of the nonlinear crystal, and the nonlinear crystal is cleaned or replaced. After reassembly at the time of service or maintenance, there were quality problems such as difficulty in reproducing the same performance / function. Structures such as embedding expensive nonlinear crystals in holders, properly tightening with screws, attaching Peltier elements, etc. are at the laboratory level without considering serviceability, maintainability, and service costs, such as industrial use At the product level, there were problems such as lack of practicality. In the past, some nonlinear crystal materials had deliquescence, and it was necessary to maintain them at high temperatures.However, with recent technology, high-quality non-linear crystals that operate at room temperature have also emerged, and commercialization has been rapid. Tend to expand.

【0006】この発明は、上記従来の問題点を解決する
ためになされたもので、安価で、高性能、高品質で、サ
ービスやメンテナンス時にも簡単に当初の性能・機能が
再現できる非線形結晶ホルダーを提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an inexpensive, high-performance, high-quality non-linear crystal holder that can easily reproduce the original performance and function even during service and maintenance. The purpose is to provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明に関る非線形結
晶ホルダーは、レーザビームを通過させることにより上
記レーザビームの高調波発振を生成する非線形結晶を保
持する非線形結晶ホルダーであって、上記非線形結晶の
非光学系の相対する2面を挟持する2つのホルダーブロ
ックと、このホルダーブロックの同一方向端面に取り付
けられたヒートシンクとを備え、上記ホルダーブロック
は、少なくとも上記非線形結晶に相対する部分から上記
ヒートシンクと接する部分までは良熱伝導性を有する材
料からなるものである。
A non-linear crystal holder according to the present invention is a non-linear crystal holder for holding a non-linear crystal that generates a harmonic oscillation of the laser beam by passing the laser beam. It comprises two holder blocks for sandwiching two opposing surfaces of a non-optical system of a crystal, and a heat sink attached to an end surface of the holder block in the same direction. The portion up to the portion in contact with the heat sink is made of a material having good thermal conductivity.

【0008】また、ヒートシンクがペルチェ素子である
ものである。
Further, the heat sink is a Peltier element.

【0009】また、2つのホルダーブロックが非線形結
晶の相対する2面に対して一定の力で押圧される押圧手
段を有するものである。
In addition, the two holder blocks have a pressing means for pressing the two opposing surfaces of the nonlinear crystal with a constant force.

【0010】また、2つのホルダーブロックは非線形結
晶を挟む方向に移動方向を規制される移動方向規制手段
を有するものである。
[0010] The two holder blocks have moving direction restricting means for restricting the moving direction in the direction sandwiching the nonlinear crystal.

【0011】また、2つのホルダーブロックのヒートシ
ンクに取り付けられる同一方向端面は移動方向規制手段
と組合わされた状態で同時に加工されたものである。
Further, the end faces of the two holder blocks in the same direction attached to the heat sink are simultaneously processed in a state combined with the movement direction restricting means.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、この発明の
実施の形態1を図1及び図2を用いて説明する。図1は
この発明の実施の形態1による非線形結晶ホルダーを示
す構造図で、図1のA−A断面を図2に示す。1は非線
形結晶で、角柱形状をしており、図中の矢印の方向に波
長変換されるレーザビームが出射される。非線形結晶1
は2つのホルダーブロック2a,2bで相対する2面を
挟まれており、ホルダーブロック2a、2bには双方同
一方向端面Bに熱電(ペルチェ)素子3が当接され、更
に熱電(ペルチェ)素子3のホルダーブロック2a、2
bに当接された反対側の面には冷却ブロック4が当接さ
れている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 Hereinafter, Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a structural diagram showing a nonlinear crystal holder according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 shows a cross section taken along line AA of FIG. Reference numeral 1 denotes a non-linear crystal, which has a prism shape, and emits a laser beam whose wavelength is converted in the direction of the arrow in the figure. Nonlinear crystal 1
The two opposing surfaces are sandwiched between two holder blocks 2a and 2b. A thermoelectric (Peltier) element 3 is in contact with the end faces B of the holder blocks 2a and 2b in the same direction, and the thermoelectric (Peltier) element 3 Holder blocks 2a, 2
The cooling block 4 is in contact with the surface on the opposite side in contact with b.

【0013】冷却ブロック4には冷却水路11、冷却水
入口12と冷却水出口13が設けられている。ホルダー
ブロック2bには2個所のざぐり穴10a、10bが設
けられ、夫々に圧縮コイルバネ8a、8bを入れて段付
きネジ9a、9bをホルダーブロック2aにねじ込み組
み立てることで、非線形結晶1を一定の押圧力でホール
ドするよう構成されている。
The cooling block 4 is provided with a cooling water passage 11, a cooling water inlet 12, and a cooling water outlet 13. The holder block 2b is provided with two counterbore holes 10a and 10b. The compression coil springs 8a and 8b are inserted into the holder block 2b, and the stepped screws 9a and 9b are screwed into the holder block 2a to assemble the nonlinear crystal 1. It is configured to hold by pressure.

【0014】また、図示はしていないが、上記と同様な
構造でホルダーブロック2a、2bと熱電(ペルチェ)
素子3及び熱電(ペルチェ)素子3と冷却ブロック4と
は一定の押圧力でホールドされるよう構成されている。
Although not shown, the holder blocks 2a, 2b and the thermoelectric (Peltier) have the same structure as described above.
The element 3, the thermoelectric (Peltier) element 3, and the cooling block 4 are configured to be held at a constant pressing force.

【0015】ホルダーブロック2aには2個所に打ち込
みピン穴6a、6bがあけられており、平行ピン5a、
5bが打ち込まれ、夫々相対するホルダーブロック2b
の相当個所には平行ピン5a、5bと勘合する勘合ピン
穴7a、7bが設けられている。平行ピン5a、5b及
び勘合ピン穴7a、7bは2つのホルダーブロック2
a、2bが非線形結晶1を挟む方向に移動方向を規制す
る手段として構成されている。
The holder block 2a is provided with two driving pin holes 6a and 6b, and the parallel pins 5a and 6b are provided.
5b are driven into each other and the opposing holder blocks 2b
Are provided with fitting pin holes 7a and 7b for fitting with the parallel pins 5a and 5b. The parallel pins 5a, 5b and the mating pin holes 7a, 7b are two holder blocks 2.
a and 2b are configured as means for restricting the moving direction in the direction sandwiching the nonlinear crystal 1.

【0016】段付きネジ9a、9b、及び平行ピン5
a、5bの配置は図1に示すごとく互いに位相をずらし
て配置され、非線形結晶1に均等に圧縮コイルバネによ
る押圧力がかかる様に構成されている。非線形結晶1を
ホールドして組み立てる前に、2つのホルダーブロック
2a、2bが組み立てられた状態で、双方同一方向端面
B、即ち熱電(ペルチェ)素子3と当接する面が、組立
状態で同時加工される。
Stepped screws 9a, 9b and parallel pin 5
As shown in FIG. 1, the arrangements of a and 5b are arranged so as to be out of phase with each other, so that the nonlinear crystal 1 is uniformly pressed by the compression coil spring. Before holding and assembling the nonlinear crystal 1, in a state where the two holder blocks 2 a and 2 b are assembled, both end faces B in the same direction, that is, a surface in contact with the thermoelectric (Peltier) element 3 are simultaneously processed in the assembled state. You.

【0017】ホルダーブロック2a、2bの材質は熱伝
導の良い金属のアルミニュームや銅など(熱伝導の良い
もので一定以上の機械的強度を示すものであれば上記の
金属に限るものではない)で作成されるため、加工の方
法は、通常の機械加工を施した後、超精密な研磨加工な
どを実施して要求される平面度や面粗度を達成する。
The material of the holder blocks 2a, 2b is aluminum, copper, or the like, which is a metal having good heat conductivity (not limited to the above metals as long as it has good heat conductivity and exhibits a certain level of mechanical strength). Therefore, in the processing method, after performing ordinary machining, ultra-precision polishing is performed to achieve the required flatness and surface roughness.

【0018】実験では、非線形結晶のサイズが5×5×
15mmの場合に、ホルダーブロック全体のサイズが2
5×25×25mmとなり、端面Bの平面度を0.00
5mm、面粗度を0.002mm以下とすることで熱抵
抗を必要な限界値以下にできる結果が得られた。
In the experiment, the size of the nonlinear crystal was 5 × 5 ×
In the case of 15 mm, the size of the entire holder block is 2
5 × 25 × 25 mm, and the flatness of the end face B is 0.00
By setting the surface roughness to 5 mm and the surface roughness to 0.002 mm or less, a result was obtained in which the thermal resistance could be reduced to a required limit value or less.

【0019】図1、2ではホルダーブロック2a、2b
の端面Bに熱電(ペルチェ)素子3が当接された構造に
なっているが、ペルチェ素子を使った場合、非線形結晶
1の温度制御精度が±0.1℃となり、最終的な波長変
換レーザビームの出力安定性は±1%以下を達成できる
事が計算上確認された。以上により、構造が簡単かつ安
価で、しかも安定した高調波発振のレーザビームが生成
できる。
1 and 2, holder blocks 2a, 2b
Has a structure in which a thermoelectric (Peltier) element 3 is in contact with the end face B of the non-linear crystal 1. When a Peltier element is used, the temperature control accuracy of the nonlinear crystal 1 becomes ± 0.1 ° C. It has been confirmed by calculation that the beam output stability can achieve ± 1% or less. As described above, it is possible to generate a stable harmonic oscillation laser beam with a simple structure and at low cost.

【0020】また、ヒートシンクがペルチェ素子で構成
することにより、安価なうえ、更に安定した高品質の高
調波発振のレーザビームが生成できる。
In addition, since the heat sink is formed of a Peltier element, it is possible to generate an inexpensive and more stable high quality harmonic oscillation laser beam.

【0021】また、2つのホルダーブロックが非線形結
晶の相対する2面に対して一定の力で押圧される手段を
有することにより、接触面圧が一定になり、冷却温度制
御精度が向上するうえ、サービスやメンテナンスに対し
ても一定の品質をもった高調波発振のレーザビームが生
成できる。
[0021] Further, since the two holder blocks are provided with means for pressing the two opposing surfaces of the nonlinear crystal with a constant force, the contact surface pressure becomes constant, and the cooling temperature control accuracy is improved. A harmonic oscillation laser beam having a certain quality can be generated for service and maintenance.

【0022】また、2つのホルダーブロックは非線形結
晶を挟む方向に移動方向を規制される手段を有すること
により、非線形結晶の保持精度が向上し、サービスやメ
ンテナンスに対しても一定の品質をもった高調波発振の
レーザビームが生成できる。
Further, the two holder blocks have means for restricting the moving direction in the direction sandwiching the nonlinear crystal, so that the accuracy of holding the nonlinear crystal is improved, and a certain quality is provided for service and maintenance. A harmonic oscillation laser beam can be generated.

【0023】また、2つのホルダーブロックのヒートシ
ンクに取り付けられる同一方向端面は移動方向規制手段
と組合わされた状態で同時に加工されることにより、2
つのホルダーブロックとヒートシンクとの接触伝熱効果
及び2つのホルダーブロックの排熱バランスが良くな
り、冷却温度制御精度が向上するため、高調波発振レー
ザビームの安定化が計れるとともに、サービスやメンテ
ナンスでホルダーブロックを取り外しても、特に高等な
技術を必要とせず簡単に当り面が再現性良く組立られる
ので、品質の高い非線形結晶ホルダーが提供できる。
The end faces in the same direction attached to the heat sinks of the two holder blocks are simultaneously processed in a state combined with the movement direction regulating means, so that
The contact heat transfer effect between the two holder blocks and the heat sink and the balance of the exhaust heat of the two holder blocks are improved, and the cooling temperature control accuracy is improved. As a result, the harmonic oscillation laser beam can be stabilized and the holder can be used for service and maintenance. Even if the block is removed, the contact surface can be easily assembled with good reproducibility without requiring any advanced technology, so that a high-quality nonlinear crystal holder can be provided.

【0024】なお、レーザビームの出力安定性がそれほ
ど重視されない用途では、ペルチェ素子は高価であるた
め、ホルダーブロック2a、2bに冷却ブロック4を直
接当接して、水冷温度制御により非線形結晶1の温度制
御を行うほうが簡単で安価である。また、上記実施の形
態では非線形結晶1の位置決めのため、ホルダーブロッ
ク2aの非線形結晶1の当接面に段差をつけて固定位置
を決定するのを容易にしているがいるが、このような構
造に限定するものではない。ホルダブロック2a、2b
の非線形結晶1への当接面は、当然ながら必要な面精度
が要求されることは言うまでもない。
In applications where the output stability of the laser beam is not so important, the Peltier element is expensive, so that the cooling block 4 is directly brought into contact with the holder blocks 2a and 2b and the temperature of the nonlinear crystal 1 is controlled by water cooling temperature control. Control is simpler and cheaper. In the above embodiment, the positioning of the nonlinear crystal 1 is facilitated to determine the fixed position by providing a step on the contact surface of the nonlinear crystal 1 of the holder block 2a. It is not limited to. Holder blocks 2a, 2b
Needless to say, the required contact surface of the non-linear crystal 1 must have the required surface accuracy.

【0025】ホルダーブロック2a、2bを非線形結晶
1に一定の力で押圧させる手段はこの実施の形態の様な
圧縮コイルバネ8a、8bを用いた構造に限定されるも
のではなく、他の弾性体を用いた構造によっても良い。
また、ホルダーブロック2a、2bが非線形結晶1を挟
む方向に移動方向を規制する手段は勘合ピン穴7a、7
b及び平行ピン5a、5bを用いた構造に限定されるも
のではなく、アリ溝やボールスプライン等の他のガイド
(案内)構造によっても良い。
The means for pressing the holder blocks 2a, 2b against the non-linear crystal 1 with a constant force is not limited to the structure using the compression coil springs 8a, 8b as in this embodiment. The structure may be used.
Means for restricting the moving direction of the holder blocks 2a, 2b in the direction sandwiching the non-linear crystal 1 is the engagement pin holes 7a, 7b.
The structure is not limited to the structure using the b and the parallel pins 5a and 5b, but may be another guide structure such as a dovetail groove or a ball spline.

【0026】また、ホルダーブロック2a、2bの材質
は熱伝導の良い材料で作成されるとしたが、少なくとも
非線形結晶に相対する部分からヒートシンクと接する部
分までを良熱伝導性を有する材料でホルダーブロックを
構成すれば良い。いずれにしても、この発明の実施の形
態1による非線形結晶ホルダーと同様な効果を奏する。
Although the holder blocks 2a and 2b are made of a material having good heat conductivity, at least a portion from a portion facing the nonlinear crystal to a portion in contact with the heat sink is made of a material having good heat conductivity. May be configured. In any case, the same effects as those of the nonlinear crystal holder according to the first embodiment of the present invention can be obtained.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上の様に、この発明によれば、レーザ
ビームを通過させることによりレーザビームの高調波発
振を生成する非線形結晶を保持する非線形結晶ホルダー
であって、非線形結晶の非光学系の相対する2面を挟持
する2つのホルダーブロックと、ホルダーブロックの同
一方向端面に取り付けられたヒートシンクとを備え、ホ
ルダーブロックは、少なくとも非線形結晶に相対する部
分からヒートシンクと接する部分までは良熱伝導性を有
する材料で構成することにより、構造が簡単かつ安価
で、しかも安定した高調波発振のレーザビームが生成で
きる効果がある。
As described above, according to the present invention, there is provided a nonlinear crystal holder for holding a nonlinear crystal that generates a harmonic oscillation of the laser beam by passing the laser beam, and the non-optical system of the nonlinear crystal. And a heat sink attached to the end surface of the holder block in the same direction. The holder block has good heat conduction at least from a portion facing the nonlinear crystal to a portion in contact with the heat sink. By using a material having the property, there is an effect that a laser beam having a simple and inexpensive structure and a stable harmonic oscillation can be generated.

【0028】また、ヒートシンクがペルチェ素子で構成
することにより、安価なうえ、更に安定した高品質の高
調波発振のレーザビームが生成できる効果がある。
In addition, since the heat sink is formed of a Peltier element, there is an effect that a low-cost and more stable high-quality harmonic oscillation laser beam can be generated.

【0029】また、2つのホルダーブロックが非線形結
晶の相対する2面に対して一定の力で押圧される押圧手
段を有することにより、接触面圧が一定になり、冷却温
度制御精度が向上するうえ、サービスやメンテナンスに
対しても一定の品質をもった高調波発振のレーザビーム
が生成できる効果がある。
Further, since the two holder blocks have the pressing means for pressing the two opposing surfaces of the nonlinear crystal with a constant force, the contact surface pressure becomes constant and the cooling temperature control accuracy is improved. In addition, there is an effect that a harmonic oscillation laser beam having a certain quality can be generated for service and maintenance.

【0030】また、2つのホルダーブロックは非線形結
晶を挟む方向に移動方向を規制される移動方向規制手段
を有することにより、非線形結晶の保持精度が向上し、
サービスやメンテナンスに対しても一定の品質をもった
高調波発振のレーザビームが生成できる効果がある。
Further, since the two holder blocks have moving direction regulating means for regulating the moving direction in the direction sandwiching the nonlinear crystal, the holding accuracy of the nonlinear crystal is improved,
There is an effect that a harmonic oscillation laser beam having a certain quality can be generated for service and maintenance.

【0031】また、2つのホルダーブロックのヒートシ
ンクに取り付けられる同一方向端面は移動方向規制手段
と組合わされた状態で同時に加工されることにより、2
つのホルダーブロックとヒートシンクとの接触伝熱効果
及び2つのホルダーブロックの排熱バランスが良くな
り、冷却温度制御精度が向上するため、高調波発振レー
ザビームの安定化が計れるとともに、サービスやメンテ
ナンスでホルダーブロックを取り外しても、特に高等な
技術を必要とせず簡単に当り面が再現性良く組立られる
ので、品質の高い非線形結晶ホルダーが提供できる効果
がある。
The end faces in the same direction attached to the heat sinks of the two holder blocks are simultaneously processed in a state where they are combined with the movement direction restricting means.
The contact heat transfer effect between the two holder blocks and the heat sink and the balance of the exhaust heat of the two holder blocks are improved, and the cooling temperature control accuracy is improved. As a result, the harmonic oscillation laser beam can be stabilized and the holder can be used for service and maintenance. Even if the block is removed, the contact surface can be easily assembled with good reproducibility without requiring any advanced technology, and thus it is possible to provide a high-quality nonlinear crystal holder.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1による非線形結晶ホ
ルダーを示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing a nonlinear crystal holder according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 図1の非線形結晶ホルダーのA−A断面図で
ある。
FIG. 2 is a sectional view of the nonlinear crystal holder taken along line AA of FIG. 1;

【図3】 従来の非線形結晶ホルダーの構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional nonlinear crystal holder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 非線形結晶、2a、2b ホルダーブロック、3
熱電(ペルチェ)素子、4 冷却ブロック、5a、5b
平行ピン 6a、6b 打ち込みピン穴、7a、7b 勘合ピン
穴、8a、8b 圧縮コイルバネ、9a、9b 段付き
ネジ、10a、10b ざぐり穴、11 冷却水路、1
2 冷却水入口、13 冷却水出口、14a、14b
ペルチェ素子。
1 nonlinear crystal, 2a, 2b holder block, 3
Thermoelectric (Peltier) element, 4 cooling block, 5a, 5b
Parallel pin 6a, 6b Driving pin hole, 7a, 7b Mating pin hole, 8a, 8b Compression coil spring, 9a, 9b Stepped screw, 10a, 10b Counterbore hole, 11 Cooling channel, 1
2 cooling water inlet, 13 cooling water outlet, 14a, 14b
Peltier element.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザビームを通過させることにより上
記レーザビームの高調波発振を生成する非線形結晶を保
持する非線形結晶ホルダーであって、上記非線形結晶の
非光学系の相対する2面を挟持する2つのホルダーブロ
ックと、このホルダーブロックの同一方向端面に取り付
けられたヒートシンクとを備え、上記ホルダーブロック
は、少なくとも上記非線形結晶に相対する部分から上記
ヒートシンクと接する部分までは良熱伝導性を有する材
料からなることを特徴とする非線形結晶ホルダー。
1. A nonlinear crystal holder for holding a nonlinear crystal that generates a harmonic oscillation of the laser beam by passing the laser beam, wherein the holder holds two opposing surfaces of a non-optical system of the nonlinear crystal. One holder block and a heat sink attached to the same direction end surface of the holder block, wherein the holder block is made of a material having good thermal conductivity at least from a portion facing the nonlinear crystal to a portion in contact with the heat sink. A nonlinear crystal holder characterized in that:
【請求項2】 ヒートシンクがペルチェ素子であること
を特徴とする請求項1記載の非線形結晶ホルダー。
2. The nonlinear crystal holder according to claim 1, wherein the heat sink is a Peltier device.
【請求項3】 2つのホルダーブロックが非線形結晶の
相対する2面に対して一定の力で押圧される押圧手段を
有することを特徴とする請求項1記載の非線形結晶ホル
ダー。
3. The nonlinear crystal holder according to claim 1, wherein the two holder blocks have a pressing means for pressing the two opposing surfaces of the nonlinear crystal with a constant force.
【請求項4】 2つのホルダーブロックは非線形結晶を
挟む方向に移動方向を規制される移動方向規制手段を有
することを特徴とする請求項1記載の非線形結晶ホルダ
ー。
4. The nonlinear crystal holder according to claim 1, wherein the two holder blocks have moving direction regulating means for regulating a moving direction in a direction sandwiching the nonlinear crystal.
【請求項5】 2つのホルダーブロックのヒートシンク
に取り付けられる同一方向端面は移動方向規制手段と組
合わされた状態で同時に加工されたことを特徴とする請
求項4記載の非線形結晶ホルダー。
5. The nonlinear crystal holder according to claim 4, wherein the end faces in the same direction attached to the heat sink of the two holder blocks are simultaneously processed in a state combined with the movement direction restricting means.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012028710A (en) * 2010-07-28 2012-02-09 Shimadzu Corp Optical module and solid-state laser device
JP2013050640A (en) * 2011-08-31 2013-03-14 Shimadzu Corp Temperature controller
JP2013195916A (en) * 2012-03-22 2013-09-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Holding mechanism of light deflector
JP2014202902A (en) * 2013-04-04 2014-10-27 株式会社リコー Holder, laser oscillation device, and laser beam machine

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