JPH11317165A - Manufacture of flat-panel image display device - Google Patents

Manufacture of flat-panel image display device

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JPH11317165A
JPH11317165A JP12234398A JP12234398A JPH11317165A JP H11317165 A JPH11317165 A JP H11317165A JP 12234398 A JP12234398 A JP 12234398A JP 12234398 A JP12234398 A JP 12234398A JP H11317165 A JPH11317165 A JP H11317165A
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JP
Japan
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plate
plates
outer frame
glass
thin plate
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP12234398A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Yako
猛 谷古宇
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Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate slippage between a face plate and a rear plate by thermal expansion by setting both plates to a size protruded from an outer frame, and fixing an auxiliary member to the protruded part to fix the opposed positions of both plates through the outer frame. SOLUTION: A face plate 271 and a rear plate 273 are set to a size protruded from an outer frame 212. Auxiliary members of thin plates 1a, 1c are fixed to one protruded part of the plates by a heat resistant adhesive. The outer frame 212 having a thermally melting adhesive applied thereto is put on this plate. Further, the other plate is put on the outer frame 212 to position the opposed surfaces of both plates 271, 273. The auxiliary members are fixed to the latter plate to fix the positions of the opposed surfaces of both plates 271, 273. The thermally melting adhesive is then melted by heating, and an external force is added to both plates 271, 273 to closely fit both plates 271, 273 to the outer frame 272, whereby a vacuum vessel is manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、平面型画像表示装
置の製造方法、更に詳しくは装置を組み立てる工程中の
上、下のガラスプレートをフリットガラスで封着する方
法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a flat panel display, and more particularly to a method for sealing upper and lower glass plates with frit glass during a process of assembling the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子ビームを用いた画像表示装置には、
例えばガラスフェースプレート(基板)とガラスリアプ
レート(基板)に挟まれた真空真空容器内に電子ビーム
を発生する電子放出源を備え、その電子放出源から放出
される電子ビームを加速して蛍光体に照射して蛍光体を
発光させ、画像を表示する薄型の平面型画像表示装置が
開発されている。このような電子放出素子について以下
に説明する。
2. Description of the Related Art Image display devices using electron beams include:
For example, an electron emission source for generating an electron beam is provided in a vacuum vacuum vessel sandwiched between a glass face plate (substrate) and a glass rear plate (substrate), and the electron beam emitted from the electron emission source is accelerated to produce a phosphor. A thin flat-panel image display device for displaying an image by irradiating the phosphor with a fluorescent material has been developed. Such an electron-emitting device will be described below.

【0003】従来から、電子放出素子として熱陰極素子
と冷陰極素子の2種類が知られている。このうち冷陰極
素子では、例えば表面伝導型放出素子や、電界放出素子
(以下FE型と記す)や、金属/絶縁層/金属型放出素
子(以下MIM型と記す)、などがある。
Conventionally, two types of electron-emitting devices, a hot cathode device and a cold cathode device, are known. Among them, the cold cathode device includes, for example, a surface conduction type emission device, a field emission device (hereinafter referred to as FE type), and a metal / insulating layer / metal type emission device (hereinafter referred to as MIM type).

【0004】表面伝導型放出素子としては、例えば、M.
I. Elinsom, Radio Eng. ElectronPhys., 10,. 1290,
(1965)や、後述する他の例が知られている。
[0004] As the surface conduction type emission element, for example, M.
I. Elinsom, Radio Eng. ElectronPhys., 10 ,. 1290,
(1965) and other examples described later.

【0005】表面伝導型放出素子は、基板上に形成され
た小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことにより
電子放出が生ずる現象を利用するものである。この表面
伝導型放出素子としては、前記エリンソン等によるSn
2 薄膜を用いたものの他に、Au薄膜によるもの[G.
Dittmer:“Thin Solid Films ”9, 317 (1972)]や、I
23 /SnO2 薄膜によるもの[M. Hartwell and
C. G. Fonstad:“IEEETrans. ED Conf.”, 519 (1975)]
や、カーボン薄膜によるもの[荒木久 他:真空、第
26巻、第1号、22頁(1983)]等が報告されて
いる。
[0005] The surface conduction electron-emitting device utilizes a phenomenon in which electron emission occurs when a current flows in a small-area thin film formed on a substrate in parallel with the film surface. As this surface conduction type emission element, Sn described by Elinson et al.
In addition to those using O 2 thin films, those using Au thin films [G.
Dittmer: “Thin Solid Films” 9, 317 (1972)]
n 2 O 3 / SnO 2 thin film [M. Hartwell and
CG Fonstad: “IEEETrans. ED Conf.”, 519 (1975)]
And those using a carbon thin film [Hisashi Araki et al .: Vacuum, Vol. 26, No. 1, p. 22 (1983)] and the like have been reported.

【0006】これらの表面伝導型放出素子の素子構成の
典型的な例として、前述のM. Hartwell らによる素子の
平面図を図9に示す。同図において、3001は基板、
3004はスパッタで形成された金属酸化物よりなる導
電性薄膜である。導電性薄膜3004は図示のようにH
字形の平面形状に形成されている。この導電性薄膜30
04に後述の通電フォーミングと呼ばれる通電処理を施
すことにより、電子放出部3005が形成される。図中
の間隔Lは、0.5〜1〔mm〕、wは0.1〔mm〕
で設定されている。なお、図示の便宜上、電子放出部3
005は導電性薄膜3004の中央に矩形の形状で示し
たが、これは模式的なものであり、実際の電子放出部の
位置や形状を忠実に表現しているわけではない。
As a typical example of the device configuration of these surface conduction electron-emitting devices, FIG. 9 is a plan view of the device by M. Hartwell et al. Described above. In the figure, 3001 is a substrate,
Reference numeral 3004 denotes a conductive thin film made of a metal oxide formed by sputtering. The conductive thin film 3004 is H
It is formed in the shape of a letter. This conductive thin film 30
An electron emission portion 3005 is formed by performing an energization process called energization forming described below on 04. The interval L in the figure is 0.5-1 [mm], w is 0.1 [mm].
Is set with Note that, for convenience of illustration, the electron emission unit 3
Although 005 is shown in a rectangular shape at the center of the conductive thin film 3004, this is a schematic shape, and does not faithfully represent the actual position or shape of the electron-emitting portion.

【0007】M. Hartwell らによる素子をはじめとして
上述の表面伝導型放出素子においては、電子放出を行う
前に導電性薄膜3004に通電フォーミングと呼ばれる
通電処理を施すことにより電子放出部3005を形成す
るのが一般的であった。すなわち、通電フォーミングと
は、前記導電性薄膜3004の両端に一定の直流電圧、
もしくは、例えば1V/分程度の非常にゆっくりとした
レートで昇圧する直流電圧を印加して通電し、導電性薄
膜3004を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、
電気的に高抵抗な状態の電子放出部3005を形成する
ことである。前記通電フォーミング後に導電性薄膜30
04の一部には、亀裂が発生し、導電性薄膜3004に
適宜の電圧を印加した場合には、前記亀裂付近において
電子放出が行われる。
In the above-described surface conduction electron-emitting device including the device by M. Hartwell et al., An electron emission portion 3005 is formed by applying an energization process called energization forming to the conductive thin film 3004 before electron emission. Was common. That is, energization forming means that a constant DC voltage is applied to both ends of the conductive thin film 3004,
Alternatively, a current is applied by applying a DC voltage that increases at a very slow rate, for example, about 1 V / min, and locally destroys, deforms, or alters the conductive thin film 3004;
This is to form the electron-emitting portion 3005 in a state of being electrically high in resistance. After the energization forming, the conductive thin film 30
A crack occurs in a part of the conductive thin film 04, and when an appropriate voltage is applied to the conductive thin film 3004, electrons are emitted in the vicinity of the crack.

【0008】FE型の例として、例えば、 W. P. Dyke
& W. W. Dolan,“Field emission”, Advance in Elect
ron Physics, 8, 89 (1956) や、あるいはC. A. Spind
t, “Physical properties of thin-film field emissi
on cathodes with molybdenium cones ” J. Appl. Phy
s., 47,5248 (1976) などが知られている。
As an example of the FE type, for example, WP Dyke
& WW Dolan, “Field emission”, Advance in Elect
ron Physics, 8, 89 (1956) or CA Spind
t, “Physical properties of thin-film field emissi
on cathodes with molybdenium cones ”J. Appl. Phy
s., 47, 5248 (1976) and the like.

【0009】FE型の素子構成の典型的な例として、図
10に前述のC.A. Spindt らによる素子の断面図を示
す。同図において、3010は基板で、3011は導電
材料よりなるエミッタ配線、3012はエミッタコー
ン、3013は絶縁層、3014はゲート電極である。
本素子は、エミッタコーン3012とゲート電極301
4の間に適宜の電圧を印加することにより、エミッタコ
ーン3012の先端部より電界放出を起こさせるもので
ある。
FIG. 10 shows a cross-sectional view of a device by CA Spindt et al. As a typical example of the FE device configuration. In the figure, 3010 is a substrate, 3011 is an emitter wiring made of a conductive material, 3012 is an emitter cone, 3013 is an insulating layer, and 3014 is a gate electrode.
This device comprises an emitter cone 3012 and a gate electrode 301
By applying an appropriate voltage during the period 4, field emission is caused from the tip of the emitter cone 3012.

【0010】FE型の他の素子構成として、図10のよ
うな積層構造ではなく、基板上に基板平面とほぼ平行に
エミッタとゲート電極を配置した例もある。
As another element structure of the FE type, there is an example in which an emitter and a gate electrode are arranged on a substrate almost in parallel with the plane of the substrate, instead of the laminated structure as shown in FIG.

【0011】MIM型の例としては、例えば、 C. A. M
ead,“Operation of Tunnel-Emission Devices”, J. A
ppl. Phys., 32, 646 (1961)などが知られている。MI
M型の素子構成の典型的な例を図11に示す。同図は断
面図であり、図において、3020は基板、3021は
金属よりなる下電極、3022は厚さ100オングスト
ローム程度の薄い絶縁層、3023は厚さ80〜300
オングストローム程度の金属よりなる上電極である。M
IM型においては、上電極3023と下電極3021の
間に適宜の電圧を印加することにより、上電極3023
の表面より電子放出を起こさせるものである。
Examples of the MIM type include, for example, CA M
ead, “Operation of Tunnel-Emission Devices”, J. A
ppl. Phys., 32, 646 (1961) and the like are known. MI
FIG. 11 shows a typical example of an M-type element configuration. The figure is a sectional view, in which 3020 is a substrate, 3021 is a lower electrode made of metal, 3022 is a thin insulating layer having a thickness of about 100 Å, and 3023 is a thickness of 80 to 300.
The upper electrode is made of a metal having a thickness of about Å. M
In the IM type, by applying an appropriate voltage between the upper electrode 3023 and the lower electrode 3021, the upper electrode 3023
Causes electron emission from the surface of the substrate.

【0012】上述の冷陰極素子は、熱陰極素子と比較し
て低温で電子を放出することができるため、加熱用ヒー
ターを必要としない。したがって、熱陰極素子よりも構
造が単純であり、微細な素子を作成可能である。また、
基板上に多数の素子を高い密度で配置しても、基板の熱
溶融などの問題が発生しにくい。また、熱陰極素子がヒ
ーターの加熱により動作するための応答速度が遅いのと
は異なり、冷陰極素子の場合には応答速度が速いという
利点もある。このため、冷陰極素子を応用するための研
究が盛んに行われてきている。
The above-described cold cathode device can emit electrons at a lower temperature than the hot cathode device, and thus does not require a heater for heating. Therefore, the structure is simpler than that of the hot cathode element, and a fine element can be produced. Also,
Even if a large number of elements are arranged on a substrate at a high density, problems such as thermal melting of the substrate hardly occur. Also, unlike the case where the hot cathode element has a low response speed for operating by heating the heater, the cold cathode element has an advantage that the response speed is high. For this reason, research for applying the cold cathode device has been actively conducted.

【0013】例えば、表面伝導型放出素子は、冷陰極素
子の中でも特に構造が単純で製造も容易であることか
ら、大面積にわたり多数の素子を形成できる利点があ
る。そこで、例えば本出願人による特開昭64−313
32において開示されるように、多数の素子を配列して
駆動するための方法が研究されている。
For example, the surface conduction electron-emitting device has the advantage that a large number of devices can be formed over a large area because the structure is particularly simple and the production is easy among the cold cathode devices. Therefore, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
As disclosed at 32, methods for arranging and driving a large number of elements are being investigated.

【0014】また、表面伝導型放出素子の応用について
は、例えば、画像表示装置、画像記録装置等の画像形成
装置や、荷電ビーム源、等が研究されている。
As for applications of the surface conduction electron-emitting device, for example, image forming apparatuses such as image display apparatuses and image recording apparatuses, charged beam sources, and the like have been studied.

【0015】特に、画像表示装置への応用としては、例
えば本出願人によるUSP5,066,883や特開平
2−257551や特開平4−28137において開示
されているように、表面伝導型放出素子と電子ビームの
照射により発光する蛍光体とを組み合わせて用いた画像
表示装置が研究されている。表面伝導型放出素子と蛍光
体とを組み合わせて用いた画像表示装置は、従来の他の
方式の画像表示装置よりも優れた特性が期待されてい
る。例えば、近年普及してきた液晶表示装置と比較して
も、自発光型であるためバックライトを必要としない点
や、視野角が広い点が優れているといえる。
In particular, as an application to an image display device, for example, as disclosed in US Pat. No. 5,066,883, JP-A-2-257551, and JP-A-4-28137 by the present applicant, a surface conduction type emission device is used. An image display device using a combination of a phosphor that emits light by irradiation with an electron beam has been studied. An image display device using a combination of a surface conduction electron-emitting device and a phosphor is expected to have better characteristics than other conventional image display devices. For example, compared to a liquid crystal display device that has become widespread in recent years, it can be said that it is excellent in that it is a self-luminous type and does not require a backlight and has a wide viewing angle.

【0016】FE型を多数個並べて駆動する方法は、例
えば本出願人によるUSP4,904,895に開示さ
れている。また、FE型を画像表示装置に応用した例と
して、例えば、R. Meyer らにより報告された平板型表
示装置が知られている。[ R Meyer:“Recent Developme
nt on Microtips Display at LETI ”Tech. Digest of4
th Int. Vacuum Microelectronics Conf., Nagahama, p
p. 6 〜9 (1991)〕。
A method of arranging and driving a large number of FE types is disclosed, for example, in US Pat. No. 4,904,895 by the present applicant. As an example of applying the FE type to an image display device, for example, a flat panel display device reported by R. Meyer et al. Is known. [R Meyer: “Recent Developme
nt on Microtips Display at LETI ”Tech. Digest of4
th Int.Vacuum Microelectronics Conf., Nagahama, p
p. 6-9 (1991)].

【0017】また、MIM型を多数個並べて画像表示装
置に応用した例は、例えば本出願人による特開平3−5
5738に開示されている。
An example in which a number of MIM types are arranged and applied to an image display device is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
5738.

【0018】上記のような電子放出素子を用いた画像形
成装置のうちで、奥行きの薄い平面型表示装置は省スペ
ースかつ軽量であることから、ブラウン管型の表示装置
に置き換わるものとして注目されている。
Among the image forming apparatuses using the above-described electron-emitting devices, a flat display device having a small depth has been attracting attention as a replacement for a cathode ray tube display device because of its space saving and light weight. .

【0019】次に、以上のような電子放出素子を備えた
画像表示装置について説明する。図12は画像表示装置
の構成を示す分解図であり、図13(a),13(b)
は図12に示した構成を画像表示装置に組み立てた様子
を示す図であり、図13(a)は斜視図、図13(b)
は側面図である。
Next, an image display device having the above-described electron-emitting device will be described. FIG. 12 is an exploded view showing the configuration of the image display device, and FIGS. 13 (a) and 13 (b)
13A and 13B are views showing a state in which the configuration shown in FIG. 12 is assembled into an image display device, FIG. 13A is a perspective view, and FIG.
Is a side view.

【0020】図12において、画像表示装置は、画像を
表示するための赤、青、緑の発光体271cが電子放出
源と対向した面に形成されたガラスフェースプレート2
71と、電子放出源273cが形成されたガラスリアプ
レート273と、ガラスフェースプレート271、およ
びガラスリアプレート273に挟まれた真空容器を構成
するために、例えば中抜きのガラスで製造された外枠2
72とによって構成されている。真空容器に加わる大気
圧から真空容器の破壊を防ぐために、図13(b)に示
すスペーサ74を配置する場合がある。
In FIG. 12, the image display device is a glass face plate 2 having red, blue, and green luminous bodies 271c for displaying an image formed on a surface facing an electron emission source.
71, a glass rear plate 273 on which the electron emission source 273c is formed, a glass face plate 271, and an outer frame made of hollow glass, for example, to constitute a vacuum vessel sandwiched between the glass rear plate 273. 2
72. In order to prevent the vacuum vessel from being destroyed due to the atmospheric pressure applied to the vacuum vessel, a spacer 74 shown in FIG.

【0021】ガラスフェースプレート271には発光体
271cと電子放出源273cとの位置関係を合わせる
ためのアライメントマーク271a,271bが形成さ
れ、ガラスリアプレート273にも同様にアライメント
マーク273a,273bが形成されている。なお、こ
れらのアライメントマークは発光体271c及び電子放
出源273cと干渉しない位置に形成されている。
The glass face plate 271 is formed with alignment marks 271a and 271b for adjusting the positional relationship between the luminous body 271c and the electron emission source 273c, and the glass rear plate 273 is also formed with alignment marks 273a and 273b. ing. Note that these alignment marks are formed at positions where they do not interfere with the light emitter 271c and the electron emission source 273c.

【0022】ガラスフェースプレート271、およびガ
ラスリアプレート273と接する外枠272の融着面2
72a,272bには、あらかじめ低融点ガラス272
c,272dが塗布され、仮焼成がなされている。ま
た、ガラスフェースプレート271、外枠272、ガラ
スリアプレート273は同じ熱膨張率をもった同じ材質
の青板ガラスから製造されている。
Fused surface 2 of outer frame 272 in contact with glass face plate 271 and glass rear plate 273
72a and 272b have low melting point glass 272 in advance.
c, 272d are applied and pre-baked. Further, the glass face plate 271, the outer frame 272, and the glass rear plate 273 are manufactured from the same sheet of blue glass having the same coefficient of thermal expansion.

【0023】[0023]

【発明が解決しようとする課題】このような構成におい
て、図13(a),同(b)に示すように、ガラスフェ
ースプレート271、およびガラスリアプレート273
は、外枠272の両面に塗布された低融点ガラス272
c,272dによってそれぞれ融着され、密閉された容
器を形成する。このとき、ガラスフェースプレート27
1のアライメントマーク271aとガラスリアプレート
273のアライメントマーク273a、およびガラスフ
ェースプレート271のアライメントマーク271bと
ガラスリアプレート273のアライメントマーク273
bの位置がそれぞれ所定の位置関係になるように配置さ
れ、発光体271cと電子放出源273cの関係が正確
に位置決めされる。このことによって文字や画像等の色
ズレや輝度ムラが防止される。なお、一般的に低融点ガ
ラスは、常温(室温)では固化した状態であり、400
℃以上で溶融した状態になる。したがって、低融点ガラ
スによって各ガラスを融着するためには、昇温、降温の
温度サイクルが必要となる。
In such a configuration, as shown in FIGS. 13A and 13B, a glass face plate 271 and a glass rear plate 273 are provided.
Is a low-melting glass 272 applied to both sides of the outer frame 272.
c, 272d to form a sealed container. At this time, the glass face plate 27
1 alignment mark 271a and the alignment mark 273a of the glass rear plate 273, and the alignment mark 271b of the glass face plate 271 and the alignment mark 273 of the glass rear plate 273.
The positions of b are arranged so as to have a predetermined positional relationship, and the relationship between the light emitting body 271c and the electron emission source 273c is accurately positioned. This prevents color shifts and uneven brightness of characters and images. In general, low-melting glass is in a solidified state at normal temperature (room temperature),
It is in a state of melting above ℃. Therefore, in order to fuse each glass with the low-melting glass, a temperature cycle of raising and lowering the temperature is required.

【0024】真空容器としての気密性を確実にするに
は、外枠272に塗布されたフリットガラス272c,
272dを400℃で溶融した状態で荷重を作用させ押
しつぶす必要がある。以下に寸法の実例をあげながら気
密化の説明をする。
In order to ensure airtightness as a vacuum container, frit glass 272c applied to outer frame 272,
272d needs to be crushed by applying a load while being melted at 400 ° C. The airtightness will be described below with examples of dimensions.

【0025】図14にフリットガラス溶融前の室温での
状態を示す。
FIG. 14 shows a state at room temperature before frit glass melting.

【0026】外枠272にフリットガラス272c,2
72dを塗布、仮焼成を行った状態では、フリットガラ
ス272c,272dは、凸状態で約1.5mm盛り上
がっている。したがって、スペーサー74の下端と27
3のリアプレート上面とは、スキマΔZがある。ΔZは
2mm程度である。また、外枠272の高さH=3mm
は、スペーサー74の高さHs=4mmより、約1mm
短くなっている。
The frit glass 272c, 2
When 72d is applied and pre-baked, the frit glasses 272c and 272d are raised about 1.5 mm in a convex state. Therefore, the lower end of spacer 74 and 27
The upper surface of the rear plate 3 has a gap ΔZ. ΔZ is about 2 mm. The height H of the outer frame 272 is 3 mm.
Is about 1 mm from the height Hs of the spacer 74 = 4 mm.
It is getting shorter.

【0027】この状態で400℃まで昇温し、272
c,272dのフリットガラスが溶融した状態(フリッ
トガラスは、溶融しても水状にはならず粘性をもってい
る)でガラスプレート271,273間に荷重を作用さ
せ、フリットガラスを押しつぶす必要がある。押しつぶ
し約2mmによって、スペーサー74の下端がリアプレ
ート273の上面に当たり止まる。フリットガラス27
2c,272dは外枠の上下面、272a,272bに
広がり、図13(b)の状態となり気密性を確実なもの
としている。この場合約2mmの下方向への押しつぶし
によって271のガラスフェースプレートと273のガ
ラスリアプレートの水平方向(X,Y,θ)の位置は、
例えば±0.03mm程度に厳密に保たれなければなら
ない。
In this state, the temperature is raised to 400 ° C.
It is necessary to crush the frit glass by applying a load between the glass plates 271 and 273 in a state where the frit glass of c and 272d is molten (the frit glass does not become watery but has viscosity even when melted). By crushing about 2 mm, the lower end of the spacer 74 hits the upper surface of the rear plate 273 and stops. Frit glass 27
The portions 2c and 272d extend to the upper and lower surfaces 272a and 272b of the outer frame, and are in the state shown in FIG. 13B to ensure airtightness. In this case, the position in the horizontal direction (X, Y, θ) of the glass face plate 271 and the glass rear plate 273 is reduced by about 2 mm downward squashing.
For example, it must be kept strictly at about ± 0.03 mm.

【0028】複数のプレートの位置を合わせて組み立て
る従来の画像表示装置の製造方法には、例えば特開昭5
8−214245号公報で提案された方法がある。この
公報では、平面型画像表示装置を構成する複数のプレー
トを、プレートに開けられた穴と位置決めピンによって
位置合わせを行う方法が開示されている。しかしなが
ら、位置決めピンを使用して位置合わせを行う方法で
は、プレートの穴、および位置決めピンの精度により、
位置合わせ精度が劣化する課題があった。
A conventional method of manufacturing an image display device in which a plurality of plates are aligned and assembled is described in, for example,
There is a method proposed in JP-A-8-214245. This publication discloses a method for aligning a plurality of plates constituting a flat-panel image display device with holes formed in the plates and positioning pins. However, in the method of performing alignment using the positioning pin, due to the hole of the plate and the accuracy of the positioning pin,
There was a problem that the alignment accuracy was deteriorated.

【0029】また、ピンと穴の摺動が悪く、フリット押
しつぶしのためのZ下降ができないという欠点があっ
た。
Further, there is a drawback that the sliding between the pin and the hole is poor, and the Z cannot be lowered for crushing the frit.

【0030】別な方法として電子放出源が形成されたリ
アプレートと表示面であるフェースプレートとの位置合
わせを、画像表示の有効面の外に形成されたアライメン
トマークが一致するように顕微鏡等で見ながら位置合わ
せを行う方法が考えられるが、アライメントマークによ
って位置合わせを行う方法では、位置合わせを顕微鏡等
を使用して室温で行った後、フリットガラスで封着(接
着)するために400〜450℃に加熱すると、ガラス
プレート271,273は、水平方向(X,Y,θ)の
固定手段がないのでガラスプレートの熱膨張(約1m
m)によって位置ずれを起こしてしまうという課題があ
った。
As another method, the position of the rear plate on which the electron emission source is formed and the face plate as the display surface are aligned using a microscope or the like such that the alignment marks formed outside the effective surface of the image display are aligned. A method of performing alignment while watching is conceivable. In the method of performing alignment using an alignment mark, the alignment is performed at room temperature using a microscope or the like and then sealed (adhered) with frit glass. When heated to 450 ° C., the glass plates 271 and 273 have no means for fixing in the horizontal direction (X, Y, θ).
There is a problem that the position shift occurs due to m).

【0031】本発明の目的は、上記課題を解決し、フェ
ースプレートとリアプレートの位置ずれを起こすことな
く密閉を保つ方法を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a method for maintaining a hermetic seal without causing a positional shift between a face plate and a rear plate.

【0032】[0032]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は次のようである。
The present invention to achieve the above object is as follows.

【0033】1.中抜きの外枠の両面に平行にフェイス
プレートおよびリアプレートを接着して真空容器を形成
する工程を含む平面型画像表示装置の製造方法におい
て、前記フェイスプレートおよびリアプレートを、前記
外枠よりはみ出す大きさとし、そのはみ出し部の少なく
とも2ヶ所において両プレートと接合することができ、
かつ前記プレート間の距離の方向へ外力により変位可能
な、前記外枠よりも外側で、前記両プレートを保持でき
る補助部材を複数個用意し、まず前記プレートの一方の
はみ出し部に前記補助部材を耐熱性接着剤で固定し、つ
いでそのプレートに熱溶融接着剤を塗布した外枠をの
せ、さらにもう一方のプレートを外枠にのせて両プレー
トの面対面の位置合わせをした後、前記補助部材を後者
のプレートに耐熱接着剤で固定してこの補助部材による
両プレートの面対面の位置を固定化し、ついで昇温して
熱溶融接着剤を溶融し、その際両プレートに外力を加
え、熱溶融接着剤により両プレートと外枠を密着させて
真空容器を形成することを特徴とする平面画像表示装置
の製造方法。
1. In a method for manufacturing a flat-panel image display device including a step of forming a vacuum container by bonding a face plate and a rear plate in parallel to both surfaces of a hollow outer frame, the face plate and the rear plate protrude from the outer frame. It can be joined to both plates in at least two places of the protruding part,
A plurality of auxiliary members capable of holding the two plates are provided outside the outer frame, which can be displaced by an external force in the direction of the distance between the plates, and first, the auxiliary members are provided at one protruding portion of the plate. After fixing with a heat-resistant adhesive, and then placing an outer frame coated with a hot-melt adhesive on the plate, further placing the other plate on the outer frame and aligning the surfaces of the two plates face-to-face, the auxiliary member Is fixed to the latter plate with a heat-resistant adhesive to fix the surface-to-face position of both plates by means of this auxiliary member, and then the temperature is raised to melt the hot-melt adhesive. A method for manufacturing a flat-panel image display device, comprising forming a vacuum vessel by bringing both plates and an outer frame into close contact with a molten adhesive.

【0034】2.前記補助部材がコの字状または階段状
に曲げられた形状を有する薄板からなることを特徴とす
る上記1に記載の平面画像表示装置に製造方法。
2. 2. The method according to claim 1, wherein the auxiliary member is formed of a thin plate having a U-shaped or stepped shape.

【0035】3.前記補助部材が、台座ブロックおよび
薄板から成り、台座ブロックと薄板をそれぞれ、前記プ
レートのいずれが一つづつにあらかじめ耐熱接着剤で接
着し、プレート位置合わせ後に台座ブロックと薄板とを
耐熱接着剤で接着して両プレートの面対面の固定化を行
うことを特徴とする上記1に記載の平面画像表示装置の
製造方法。
3. The auxiliary member is composed of a pedestal block and a thin plate, and each of the pedestal block and the thin plate is bonded to one of the plates in advance with a heat-resistant adhesive, and after the plate alignment, the pedestal block and the thin plate are bonded with the heat-resistant adhesive. 2. The method of manufacturing a flat image display device according to the above item 1, wherein the two plates are fixed to each other by bonding.

【0036】4.前記薄板が、金属、封着用合金または
ガラスよりなることを特徴とする上記2または3に記載
の平面画像表示装置の製造方法。
4. 4. The method for manufacturing a flat image display device according to the above item 2 or 3, wherein the thin plate is made of a metal, a sealing alloy, or glass.

【0037】5.前記薄板の代わりに、薄板と接着すべ
きプレートに薄板に相当する耳部を設けることを特徴と
する上記3に記載の平面画像表示装置の製造方法。
5. 4. The method of manufacturing a flat panel display according to the above item 3, wherein an ear portion corresponding to the thin plate is provided on a plate to be bonded to the thin plate instead of the thin plate.

【0038】6.前記熱溶融接着剤が、フリットガラス
であり、耐熱接着剤は、セラミック接着剤であることを
特徴とする上記1ないし5に記載の平面画像表示装置の
製造方法。
6. 6. The method of manufacturing a flat image display device according to any one of the above items 1 to 5, wherein the hot-melt adhesive is frit glass, and the heat-resistant adhesive is a ceramic adhesive.

【0039】[0039]

【発明の実施の形態】以下に実施例をあげて、発明の実
施の形態を説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to examples.

【0040】[0040]

【実施例】図1は本発明のディスプレイ図で、(a)は
斜視図、(b)は断面図を示す。271はフェースガラ
スプレート、273はリアガラスプレート、272は外
枠、74はスペーサーで、それらの構成は前述の図13
と同様である。1a,1b,1c,1dは金属の薄板で
寸法の一例を示せば(図2(a)参照)厚さ(t)0.
05〜0.2mm、幅(d)10〜20mm、長さ
(l)20〜50mmで、ステンレス、リン青銅、又は
271のガラスプレートと熱膨張率を合わせた封着合金
である。271と同質のガラス板でもよい。
1A and 1B are views showing a display according to the present invention, wherein FIG. 1A is a perspective view and FIG. 1B is a sectional view. 271 is a face glass plate, 273 is a rear glass plate, 272 is an outer frame, and 74 is a spacer.
Is the same as 1a, 1b, 1c, and 1d are thin metal plates (see FIG. 2 (a)) as an example of the dimensions.
It is a sealing alloy having a coefficient of thermal expansion of 0.05 to 0.2 mm, a width (d) of 10 to 20 mm, and a length (l) of 20 to 50 mm, and a stainless steel, phosphor bronze, or 271 glass plate. A glass plate of the same quality as 271 may be used.

【0041】金属片1は、あらかじめフェースプレート
271の外周に2〜4ヶ所耐熱性接着剤、たとえばセラ
ミックスボンド3a,3b,3c,3dで接着する。図
2(a)にその状態を示す。2a,2b,2c,2dは
金属片1が当接する台座ブロックで上記寸法の金属片に
対し、高さ6mmでガラスまたは前述の薄板と同じ金属
であり、273のリアプレートに4a,4b,4c,4
dのセラミックスボンドであらかじめ接着する(図2
(c))。図2(a)で示すフェースプレート+金属
片、図2(b)で示す外枠+(フリット)、図2(c)
で示すリアプレート+台座ブロックを図13に示すアラ
イメントマーク271a,271b,273a,273
bにより室温にて位置合わせを行う。位置合わせを行う
装置を図3に示す。
The metal piece 1 is bonded to the outer periphery of the face plate 271 in advance at two to four places using a heat-resistant adhesive, for example, ceramic bonds 3a, 3b, 3c, and 3d. FIG. 2A shows the state. Reference numerals 2a, 2b, 2c and 2d denote pedestal blocks to which the metal piece 1 abuts. The metal piece having the above dimensions is 6 mm in height and is the same metal as glass or the above-mentioned thin plate. , 4
Adhesion in advance with the ceramic bond d (Fig. 2
(C)). FIG. 2 (a) shows a face plate + metal piece, FIG. 2 (b) shows an outer frame + (frit), FIG. 2 (c)
The rear plate + pedestal block indicated by is aligned with the alignment marks 271a, 271b, 273a, 273 shown in FIG.
The alignment is performed at room temperature according to b. FIG. 3 shows an apparatus for performing the alignment.

【0042】図3において10は、組立接合装置、11
は架台、12はZテーブルで架台11に設置され、バキ
ュームハンド13を上・下動させる。バキュームバンド
13はフェースプレート271をバキューム吸着する。
14はx・y・θテーブルで架台11に設置され、上面
はリアプレート273を置くテーブルになっている。1
5a,15b,はCCDカメラで271a,271b,
273a,273bのアライメントマークを画像認識す
る。16はセラミックスボンド塗布用のディスペンサー
で17のバーに設置され、18の前進ステージ上にのっ
ている。
In FIG. 3, reference numeral 10 denotes an assembling / joining apparatus;
Is a gantry, and 12 is a Z table, which is installed on the gantry 11, and moves the vacuum hand 13 up and down. The vacuum band 13 vacuum sucks the face plate 271.
Reference numeral 14 denotes an x, y, and θ table which is installed on the gantry 11 and has an upper surface on which a rear plate 273 is placed. 1
5a, 15b are CCD cameras 271a, 271b,
The images of the alignment marks 273a and 273b are recognized. Reference numeral 16 denotes a ceramic bond application dispenser which is installed on a bar 17 and is mounted on an advance stage 18.

【0043】次に装置の動作の説明をする。図2(a)
のフェースプレート271をバキュームハンド13に手
動で吸着する。図2(c)のリアプレート273を図3
のx,y,θテーブル14上に置く。次に図2(b)の
外枠272をテーブル14上のリアプレート273上に
置く。これでワークのセット完了し、21の接合コント
ローラーを自動運転する。
Next, the operation of the apparatus will be described. FIG. 2 (a)
Is manually sucked to the vacuum hand 13. The rear plate 273 of FIG.
On the x, y, θ table 14. Next, the outer frame 272 of FIG. 2B is placed on the rear plate 273 on the table 14. With this, the setting of the work is completed, and the 21 joining controllers are automatically operated.

【0044】先ずZテーブル12が、金属片1が台座ブ
ロック2に接触する位置まで下降、フェースプレート2
71のアライメントマーク271a,271bをCCD
カメラ15a,15bで読みとる。次にリアガラスプレ
ート273のアライメントマーク273a,273bを
CCDカメラ15a,15bで読みとる。画像コントロ
ーラー20で位置ズレ量を算出し、接合コントローラー
21により、x,y,θテーブル14を移動し、フェー
スプレート271とリアプレート273との位置合わせ
を行う。位置合わせ終了後接合コントローラー21よ
り、前身ステージ18a,18bに前進指令が出され、
16a,16b,16c,16dのセラミックスボンド
ディスペンサーの針先が1a,1b,1c,1dの金属
片近くに前進し、セラミックスボンドを塗布後、後退す
る。所定時間を経て、セラミックスボンド5a,5b,
5c,5dが固化し271と273のガラスプレートの
固定が完了する。図4にその状態を示す。
First, the Z table 12 is lowered to the position where the metal piece 1 contacts the pedestal block 2, and the face plate 2
71 alignment marks 271a and 271b
It is read by the cameras 15a and 15b. Next, the alignment marks 273a and 273b on the rear glass plate 273 are read by the CCD cameras 15a and 15b. The displacement amount is calculated by the image controller 20, and the x, y, θ table 14 is moved by the joining controller 21 to align the face plate 271 and the rear plate 273. After the alignment is completed, the joining controller 21 issues a forward command to the predecessor stages 18a and 18b,
The tips of the ceramic bond dispensers 16a, 16b, 16c, and 16d advance near the metal pieces 1a, 1b, 1c, and 1d, and retreat after applying the ceramic bond. After a predetermined time, the ceramic bonds 5a, 5b,
5c and 5d are solidified and the fixing of the glass plates 271 and 273 is completed. FIG. 4 shows this state.

【0045】図4において金属片1は台座ブロック2に
接着剤5(5a,5c)で接着されている。外枠272
にはあらかじめ塗布されたフリット272c,dが凸状
に形成されている。フェースプレート271はフリット
272cに当接しているか、あるいは、1の金属片に支
えられフリット272cの凸部とフェースプレート27
1にスキマがあるが、どちらでもよい。スペーサー74
の下端とリアプレート273上面とは△Zのスキマがで
きている。
In FIG. 4, the metal piece 1 is bonded to the pedestal block 2 with an adhesive 5 (5a, 5c). Outer frame 272
Are formed with frit 272c, d applied in advance in a convex shape. The face plate 271 is in contact with the frit 272c, or is supported by one metal piece, and the protrusion of the frit 272c is
There is a gap in 1, but either is acceptable. Spacer 74
下端 Z is formed between the lower end of the rear plate 273 and the upper surface of the rear plate 273.

【0046】上記固定が完了した後、装置10のバキュ
ームハンド13の吸着をやめZ軸12は上昇する。
After the fixing is completed, the suction of the vacuum hand 13 of the apparatus 10 is stopped, and the Z-axis 12 is raised.

【0047】次にワーク200を取り出し、図5に示
す。焼成炉に入れる。30は焼成炉本体、34はそのコ
ントローラー、31は加圧用錘り40kgで鎖33によ
り昇降装置32に支えられている。
Next, the work 200 is taken out and shown in FIG. Put in firing furnace. Reference numeral 30 denotes a firing furnace main body, reference numeral 34 denotes a controller thereof, and reference numeral 31 denotes a pressurizing weight of 40 kg, which is supported by a lifting device 32 by a chain 33.

【0048】先に取り出したワーク200を炉30の中
へ入れ、室温より10℃/minの割合で昇温する。4
00℃でフリットガラス272c,272dが溶融す
る。この間ガラスプレート271,273は熱膨張(約
1mm)するが、金属片1により水平方向(x,y,
θ)は拘束されているので位置がズレることはない。フ
リットガラスが溶融後、昇降装置32により加圧用錘り
31をフェースプレート271上へおろし、加圧する。
加圧により、フラットガラス272c,272dは押し
つぶされ、外枠の上・下面をまんべんなく覆う。その様
子は図1(b)に示した。
The work 200 previously taken out is put into the furnace 30 and heated at a rate of 10 ° C./min from room temperature. 4
At 00 ° C., the frit glasses 272c and 272d melt. During this time, the glass plates 271 and 273 thermally expand (about 1 mm), but the horizontal direction (x, y,
Since θ) is constrained, the position does not shift. After the frit glass is melted, the pressing weight 31 is lowered onto the face plate 271 by the elevating device 32 and pressurized.
By pressing, the flat glasses 272c and 272d are crushed and cover the upper and lower surfaces of the outer frame evenly. The state is shown in FIG.

【0049】加圧時に、金属片1は上・下に弾性変形
し、また図4に示すスキマ△Zはなくなり、スペーサー
74がリアプレート273上面に当接する。その後降温
し温室に戻して取り出す。このようにして、上・下ガラ
スプレート271,273の位置を保ったままフリット
272c,272dを押しつぶし、高真空の気密を確実
にしたフラットディスプレイが製造される。
At the time of pressurization, the metal piece 1 is elastically deformed upward and downward, the gap ΔZ shown in FIG. 4 is eliminated, and the spacer 74 comes into contact with the upper surface of the rear plate 273. Then, the temperature is lowered and returned to the greenhouse and taken out. In this way, the frit 272c, 272d is crushed while maintaining the positions of the upper and lower glass plates 271, 273, and a flat display with high vacuum tightness is manufactured.

【0050】図6に他の実施例を示す。FIG. 6 shows another embodiment.

【0051】金属片1にかわり、40(40a,40
b,40c,40d)の階段状の金属片を使用する。
Instead of the metal piece 1, 40 (40a, 40
b, 40c, and 40d) are used.

【0052】図7では、40のコの字形の金属片を使用
する例を示す。
FIG. 7 shows an example in which 40 U-shaped metal pieces are used.

【0053】これらの変形金属片を使用すれば台座ブロ
ック2を省略することができる。
If these deformed metal pieces are used, the pedestal block 2 can be omitted.

【0054】図8はフェースプレート271を加工し耳
状の42(42a,42b,42c42d)に形成した
例を示す。42が先の金属片1のかわりである。前述の
Z方向の移動量は約2mmであり、42はガラスで構成
されていることを考えれば42の長さlを50〜100
mmと長くとるか、42の部分を薄く加工すれば実現で
きる。
FIG. 8 shows an example in which the face plate 271 is processed and formed into ear-shaped 42 (42a, 42b, 42c42d). Reference numeral 42 is a substitute for the metal piece 1. The above-mentioned movement amount in the Z direction is about 2 mm. Considering that 42 is made of glass, the length 1 of 42 is set to 50 to 100.
mm, or by thinning the portion 42.

【0055】先の実施例の図5の炉において、フリット
が溶融した後に加圧錘り31をおろしたが、室温でのワ
ーク200投入時に加圧錘り31をフェースプレート2
71上にのせておいてもよい。また、1の金属片1の材
質にガラスと熱膨張率が同じである封着合金を用いれ
ば、熱膨張のちがいにより、金属片1とフェースプレー
ト271,あるいは台座ブロック2との接着がはがれる
ことがなく、接着の確実性が増す。
In the furnace shown in FIG. 5 of the previous embodiment, the press weight 31 was lowered after the frit was melted.
71. Also, if a sealing alloy having the same coefficient of thermal expansion as glass is used as the material of one metal piece 1, the metal piece 1 and the face plate 271, or the pedestal block 2 may be separated due to a difference in thermal expansion. And increases the reliability of bonding.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
フラットディスプレイの上・下ガラスプレートの封着に
おいて、室温で、上・下ガラスプレートを精度良く位置
合わせし、耐熱接着剤で固定しているので、フリット溶
融温度の400℃に加熱しても、熱膨張により位置がず
れることはなく、また、上・下ガラスプレートの固定を
薄板にて行っているので、水平位置を保ちながら、フリ
ットを押しつぶすための上・下方向への移動をすること
ができ、フラットディスプレイの高真空の気密を確実に
し、また水平位置を精度良く保って、封着を行うことが
できる。
As described above, according to the present invention,
In sealing the upper and lower glass plates of the flat display, at room temperature, the upper and lower glass plates are accurately aligned and fixed with a heat-resistant adhesive, so even if heated to a frit melting temperature of 400 ° C., The position does not shift due to thermal expansion, and since the upper and lower glass plates are fixed with thin plates, it is possible to move up and down to crush the frit while maintaining the horizontal position. The sealing can be performed while ensuring the airtightness of the flat display in a high vacuum and maintaining the horizontal position with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の水面型画像表示装置の中のフェースプ
レートおよびリアプレートからなる真空容器に台座ブロ
ックを用いた構造を示す図で(a)は斜視図,(b)は
断面図である。
FIGS. 1A and 1B are views showing a structure in which a pedestal block is used in a vacuum vessel including a face plate and a rear plate in a water surface type image display device of the present invention, wherein FIG. 1A is a perspective view and FIG. .

【図2】図1の真空容器の構成を分解して示す斜視図で
ある。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a configuration of the vacuum vessel of FIG. 1;

【図3】図1の真空容器のフェースプレートとリアプレ
ートの位置合わせを行う装置の一例を示す斜視図であ
る。
FIG. 3 is a perspective view showing an example of an apparatus for aligning a face plate and a rear plate of the vacuum vessel of FIG.

【図4】図1の真空容器の形成における焼成前の状態を
示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state before firing in forming the vacuum vessel of FIG. 1;

【図5】図1の真空容器の形成における焼成時の状態を
示す一部破断斜視図である。
FIG. 5 is a partially broken perspective view showing a state at the time of baking in forming the vacuum container of FIG. 1;

【図6】図1の台座ブロックの代りに階段状板を用いた
場合の斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view when a step-like plate is used instead of the pedestal block of FIG. 1;

【図7】図1の台座ブロックの代りにコの字板を用いた
場合の斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view when a U-shaped plate is used instead of the pedestal block in FIG. 1;

【図8】図1の台座ブロックと接合する部分がプレート
の耳部である場合の斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view in a case where a portion to be joined to the pedestal block in FIG. 1 is an ear of a plate.

【図9】表面伝導型放出素子の素子構成の一例を示す平
面図である。
FIG. 9 is a plan view showing an example of a device configuration of a surface conduction electron-emitting device.

【図10】FE型の素子構成の一例を示す断面図であ
る。
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating an example of an FE-type element configuration.

【図11】MIM型の素子構成の一例を示す断面図であ
る。
FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating an example of an MIM-type element configuration.

【図12】平面型画像表示装置の構成を分解して示す斜
視図である。
FIG. 12 is an exploded perspective view showing the configuration of the flat panel display.

【図13】図12の構成の組立による装置の(a)斜視
図および(b)断面図である。
13 (a) is a perspective view and FIG. 13 (b) is a cross-sectional view of the device obtained by assembling the configuration shown in FIG.

【図14】図12の装置の封着に使用する溶融接着剤の
昇温加圧処理前の状態を示す断面図である。
14 is a cross-sectional view showing a state before a heating and pressurizing process of a molten adhesive used for sealing of the apparatus of FIG. 12;

【符号のな説明】[Description of Signs]

1 (a,b,c,d)薄板 2 (a,b,c,d)台座ブロック 3〜5 (a,b,c,d)耐熱接着剤 10 組立接合装置 11 架台 12 Zテーブル 13 バキュームハンド 14 x,y,θテーブル 15 (a,b)CCDカメラ 16 (a,b,c,d)耐熱接着剤塗布機 17 (a,b)接着剤台 18 前進ステージ 19 (a,b)塗布コントローラー 20 画像コントローラー 21 組立コントローラー 30 焼成炉 31 錘り 32 錘り印加機構 33 鎖 34 焼成コントローラー 40 階段状板 41 コの字板 74 スペーサー 200 ワーク 271 フェースプレート 271a,b アライメントマーク 271c 発光体 272 外枠 272a,b 融着面 272c フリフトガラス 272d フリットガラス 273 リアプレート 273a,b アライメントマーク 273c 電子放出源 3001 基板 3004 導電性薄膜 3005 電子放出部 3010 基板 3011 エミッタ配線 3012 エミッタコーン 3013 絶縁層 3014 ゲート電極 3020 基板 3012 下電極 3022 絶縁層 3023 上電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 (a, b, c, d) Thin plate 2 (a, b, c, d) Pedestal block 3-5 (a, b, c, d) Heat-resistant adhesive 10 Assembly and joining device 11 Mount 12 Z table 13 Vacuum hand 14 x, y, θ table 15 (a, b) CCD camera 16 (a, b, c, d) heat-resistant adhesive application machine 17 (a, b) adhesive table 18 advance stage 19 (a, b) application controller Reference Signs List 20 image controller 21 assembly controller 30 firing furnace 31 weight 32 weight applying mechanism 33 chain 34 firing controller 40 stepped plate 41 U-shaped plate 74 spacer 200 work 271 face plate 271a, b alignment mark 271c light emitter 272 outer frame 272a , B Fused surface 272c Lift glass 272d Frit glass 273 Rear plate 273a b alignment marks 273c electron emission source 3001 substrate 3004 conductive thin film 3005 above the electron-emitting portion 3010 substrate 3011 emitter wiring 3012 emitter cone 3013 insulating layer 3014 gate electrode 3020 substrate 3012 under the electrode 3022 insulating layer 3023 electrodes

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中抜きの外枠の両面に平行にフェイスプ
レートおよびリアプレートを接着して真空容器を形成す
る工程を含む平面型画像表示装置の製造方法において、
前記フェイスプレートおよびリアプレートを、前記外枠
よりはみ出す大きさとし、そのはみ出し部の少なくとも
2ヶ所において両プレートと接合することができ、かつ
前記プレート間の距離の方向へ外力により変位可能な、
前記外枠よりも外側で前記両プレートを保持できる補助
部材を複数個用意し、まず前記プレートの一方のはみ出
し部に前記補助部材を耐熱性接着剤で固定し、ついでそ
のプレートに熱溶融接着剤を塗布した外枠をのせ、さら
にもう一方のプレートを外枠にのせて両プレートの面対
面の位置合わせをした後、前記補助部材を後者のプレー
トに耐熱接着剤で固定してこの補助部材による両プレー
トの面対面の位置を固定化し、ついで昇温して熱溶融接
着剤を溶融し、その際両プレートに外力を加え、熱溶融
接着剤により両プレートと外枠を密着させて真空容器を
形成することを特徴とする平面画像表示装置の製造方
法。
1. A method of manufacturing a flat-panel image display device, comprising the steps of: adhering a face plate and a rear plate in parallel to both surfaces of a hollow frame to form a vacuum container;
The face plate and the rear plate are sized to protrude from the outer frame, can be joined to both plates at at least two locations of the protruding portion, and can be displaced by an external force in a direction of a distance between the plates,
A plurality of auxiliary members capable of holding the both plates outside the outer frame are prepared, first the auxiliary members are fixed to one protruding portion of the plate with a heat-resistant adhesive, and then a hot-melt adhesive is attached to the plate. After placing the outer frame coated with, the other plate is placed on the outer frame and the two plates are aligned face-to-face, and the auxiliary member is fixed to the latter plate with a heat-resistant adhesive and the auxiliary member is used. Fix the surface-to-face position of both plates, then raise the temperature to melt the hot-melt adhesive, apply an external force to both plates at this time, and bring both plates into close contact with the outer frame with the hot-melt adhesive to close the vacuum container. A method for manufacturing a flat-panel image display device, comprising:
【請求項2】 前記補助部材がコの字状または階段状に
曲げられた形状を有する薄板からなることを特徴とする
請求項1に記載の平面画像表示装置の製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the auxiliary member is formed of a thin plate having a U-shaped or stepped shape.
【請求項3】 前記補助部材が、台座ブロックおよび薄
板から成り、台座ブロックと薄板をそれぞれ、前記プレ
ートのいずれか一つづつにあらかじめ耐熱接着剤で接着
し、プレートの位置合わせ後に台座ブロックと薄板とを
耐熱接着剤で接着して両プレートの面対面の固定化を行
うことを特徴とする請求項1に記載の平面画像表示装置
の製造方法。
3. The auxiliary member includes a pedestal block and a thin plate, and the pedestal block and the thin plate are respectively bonded to one of the plates with a heat-resistant adhesive in advance, and after the plate is aligned, the pedestal block and the thin plate are bonded. 2. The method for manufacturing a flat panel display according to claim 1, wherein the surfaces of the two plates are fixed by bonding them with a heat-resistant adhesive.
【請求項4】 前記薄板が、金属、封着用合金またはガ
ラスよりなることを特徴とする請求項2または3に記載
の平面画像表示装置の製造方法。
4. The method according to claim 2, wherein the thin plate is made of a metal, a sealing alloy, or glass.
【請求項5】 前記薄板のかわりに、薄板と接着すべき
プレートに薄板に相当する耳部を設けることを特徴とす
る請求項3に記載の平面画像表示装置の製造方法。
5. The method according to claim 3, wherein an ear portion corresponding to the thin plate is provided on a plate to be bonded to the thin plate instead of the thin plate.
【請求項6】 前記熱溶融接着剤が、フリットガラスで
あり、耐熱接着剤は、セラミック接着剤であることを特
徴とする請求項1ないし5に記載の平面画像表示装置の
製造方法。
6. The method according to claim 1, wherein the hot-melt adhesive is frit glass, and the heat-resistant adhesive is a ceramic adhesive.
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