JPH1130754A - 対物レンズ - Google Patents
対物レンズInfo
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- JPH1130754A JPH1130754A JP9184021A JP18402197A JPH1130754A JP H1130754 A JPH1130754 A JP H1130754A JP 9184021 A JP9184021 A JP 9184021A JP 18402197 A JP18402197 A JP 18402197A JP H1130754 A JPH1130754 A JP H1130754A
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- lens
- lens group
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0072—Optical details of the image generation details concerning resolution or correction, including general design of CSOM objectives
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 集光深さの移動と収差量の補正を連動して行
え、高Ｓ／Ｎ比で高解像度を有する対物レンズを提供す
る 【解決手段】 光軸に沿って光源側から第１のレンズ群
１１と、物体に対して移動可能な第２のレンズ群１２が
配置され、第１のレンズ群１１は、その球面収差量
Ｗ'1、焦点距離ｆ1、開口数ＮＡ1がそれぞれ、−１．１
４ｍｍ、１２．９５ｍｍ、０．５であり、第２レンズ群
１２を構成する物体側に凹面を向けた正のメニスカスレ
ンズＬ７の焦点距離ｆ2と光源側、物体側のそれぞれの
曲率半径Ｒ2R、Ｒ2Fは、それぞれ３２．９９ｍｍ、７．
６６ｍｍ、９．１３ｍｍである。このようなレンズ構成
とする事で、第２レンズ群１２を光軸に沿って移動させ
ることで、全レンズ群の焦点位置、すなわち集光深さを
移動させると同時に、どの焦点位置でも適正な収差補正
が行われる。
え、高Ｓ／Ｎ比で高解像度を有する対物レンズを提供す
る 【解決手段】 光軸に沿って光源側から第１のレンズ群
１１と、物体に対して移動可能な第２のレンズ群１２が
配置され、第１のレンズ群１１は、その球面収差量
Ｗ'1、焦点距離ｆ1、開口数ＮＡ1がそれぞれ、−１．１
４ｍｍ、１２．９５ｍｍ、０．５であり、第２レンズ群
１２を構成する物体側に凹面を向けた正のメニスカスレ
ンズＬ７の焦点距離ｆ2と光源側、物体側のそれぞれの
曲率半径Ｒ2R、Ｒ2Fは、それぞれ３２．９９ｍｍ、７．
６６ｍｍ、９．１３ｍｍである。このようなレンズ構成
とする事で、第２レンズ群１２を光軸に沿って移動させ
ることで、全レンズ群の焦点位置、すなわち集光深さを
移動させると同時に、どの焦点位置でも適正な収差補正
が行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点光学系、特
に、断層像取得装置等で用いられる対物レンズに関す
る。
に、断層像取得装置等で用いられる対物レンズに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】共焦点光学系は、光軸方向に分解能を有
するという特徴があり、この特徴を利用して光学的に断
層像を取得する装置に使用されており、代表的なものに
ドイツ公開特許ＤＥ３６６４６Ａ１や特開平５−１３４
１８６号公報に記載されている装置がある。
するという特徴があり、この特徴を利用して光学的に断
層像を取得する装置に使用されており、代表的なものに
ドイツ公開特許ＤＥ３６６４６Ａ１や特開平５−１３４
１８６号公報に記載されている装置がある。
【０００３】図６は、特開平５−１３４１８６号公報に
記載されている断層像取得用の共焦点光学系の構成図で
ある。レーザー管１０１から出た照明光Ｂは、分離光学
素子１０２を通過して、第１のレンズ群１０３と、この
レンズ群１０３の焦点に配置された絞り１０４、さらに
ビームエキスパンダー１０５、平面鏡１０６、走査光学
系１０７及び対物レンズ１０８を経て試料台１１０上に
置かれた試料１０９内に集光される。ここで、ビームエ
キスパンダー１０５は、送りネジ１５３とモータ１５４
によって第２のレンズ群１５０を凹レンズ１５１と凸レ
ンズ１５２の２つに分けてそれぞれを光軸に沿って移動
させる駆動手段１５３ａ、１５３ｂを含んでいる。照明
光によって試料１０９内に生じた蛍光Ａは、対物レンズ
１０８から分離光学素子１０２までを逆行して、最終的
に光電検出素子１１１に導かれ、光量に応じた電気信号
に変換される。
記載されている断層像取得用の共焦点光学系の構成図で
ある。レーザー管１０１から出た照明光Ｂは、分離光学
素子１０２を通過して、第１のレンズ群１０３と、この
レンズ群１０３の焦点に配置された絞り１０４、さらに
ビームエキスパンダー１０５、平面鏡１０６、走査光学
系１０７及び対物レンズ１０８を経て試料台１１０上に
置かれた試料１０９内に集光される。ここで、ビームエ
キスパンダー１０５は、送りネジ１５３とモータ１５４
によって第２のレンズ群１５０を凹レンズ１５１と凸レ
ンズ１５２の２つに分けてそれぞれを光軸に沿って移動
させる駆動手段１５３ａ、１５３ｂを含んでいる。照明
光によって試料１０９内に生じた蛍光Ａは、対物レンズ
１０８から分離光学素子１０２までを逆行して、最終的
に光電検出素子１１１に導かれ、光量に応じた電気信号
に変換される。
【０００４】走査光学系７によって、試料９内の集光位
置をｘｙ方向にスキャンすることができる。そして、ビ
ームエキスパンダー１０５で第２のレンズ群１５０を駆
動することによって試料９内の所望の深さで集光させる
ことができる。すなわち任意の深さにおける断層像を取
得することが可能となる。
置をｘｙ方向にスキャンすることができる。そして、ビ
ームエキスパンダー１０５で第２のレンズ群１５０を駆
動することによって試料９内の所望の深さで集光させる
ことができる。すなわち任意の深さにおける断層像を取
得することが可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この装置では、集光位
置の深さを変化させることによって生ずる対物レンズ８
の収差を、凹レンズ１５１と凸レンズ１５２の間隔を変
化させることにより相殺させている。このため、対物レ
ンズ以外に収束角度変更用の光学系を必要とし、また収
差補正と収束角度変更のために２つのレンズ１５１、１
５２の位置と間隔を同時に制御しなければならない。さ
らに、集光位置の深さの変化量Δｚに対して、光学系の
総合横倍率をβとすると、レンズの移動量はβ2Δｚ必
要になり、大きな移動量が必要なため、断層像を取得す
る速度が限定される。
置の深さを変化させることによって生ずる対物レンズ８
の収差を、凹レンズ１５１と凸レンズ１５２の間隔を変
化させることにより相殺させている。このため、対物レ
ンズ以外に収束角度変更用の光学系を必要とし、また収
差補正と収束角度変更のために２つのレンズ１５１、１
５２の位置と間隔を同時に制御しなければならない。さ
らに、集光位置の深さの変化量Δｚに対して、光学系の
総合横倍率をβとすると、レンズの移動量はβ2Δｚ必
要になり、大きな移動量が必要なため、断層像を取得す
る速度が限定される。
【０００６】以上の問題点を鑑みて、本発明は、集光深
さの移動と収差量の補正を連動して行え、高Ｓ／Ｎ比で
高解像度を有する対物レンズを提供することを課題とす
る。
さの移動と収差量の補正を連動して行え、高Ｓ／Ｎ比で
高解像度を有する対物レンズを提供することを課題とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の対物レンズは、
光源から射出された光を試料内の所定深さに集光する共
焦点光学系用の対物レンズであって、光軸に沿って光源
側から第１のレンズ群と、試料に対して移動可能な第２
のレンズ群が配置され、第１のレンズ群は、その球面収
差量Ｗ'1、焦点距離ｆ1、開口数ＮＡ1がそれぞれ、 −１．８ｍｍ≦Ｗ'1≦−０．５ｍｍ …(1) １１．４ｍｍ≦ｆ1≦１４．５ｍｍ …(2) ＮＡ1≦０．６ …(3) を満足するとともに、第２のレンズ群は、試料側に凹面
を向けた正のメニスカスレンズであって、その焦点距離
ｆ2と光源側、試料側のそれぞれの曲率半径Ｒ2R、Ｒ2F
が、 ３０．０ｍｍ≦ｆ2≦７８．０ｍｍ …(4) ５．９ｍｍ≦Ｒ2R≦８．８ｍｍ …(5) ５．０ｍｍ≦Ｒ2F≦１１．５ｍｍ …(6) を満足することを特徴とする。
光源から射出された光を試料内の所定深さに集光する共
焦点光学系用の対物レンズであって、光軸に沿って光源
側から第１のレンズ群と、試料に対して移動可能な第２
のレンズ群が配置され、第１のレンズ群は、その球面収
差量Ｗ'1、焦点距離ｆ1、開口数ＮＡ1がそれぞれ、 −１．８ｍｍ≦Ｗ'1≦−０．５ｍｍ …(1) １１．４ｍｍ≦ｆ1≦１４．５ｍｍ …(2) ＮＡ1≦０．６ …(3) を満足するとともに、第２のレンズ群は、試料側に凹面
を向けた正のメニスカスレンズであって、その焦点距離
ｆ2と光源側、試料側のそれぞれの曲率半径Ｒ2R、Ｒ2F
が、 ３０．０ｍｍ≦ｆ2≦７８．０ｍｍ …(4) ５．９ｍｍ≦Ｒ2R≦８．８ｍｍ …(5) ５．０ｍｍ≦Ｒ2F≦１１．５ｍｍ …(6) を満足することを特徴とする。
【０００８】以上の条件を満足するレンズ構成の対物レ
ンズは、発明者の知見によれば、集光位置の移動量に合
わせて収差が調整され、集光位置が異なる場合でも、常
に最適な収差補正が行われる。
ンズは、発明者の知見によれば、集光位置の移動量に合
わせて収差が調整され、集光位置が異なる場合でも、常
に最適な収差補正が行われる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明の１実施形態の対
物レンズ１０の構成図である。この図において、Ｌ1〜
Ｌ6が第１レンズ群の各レンズをＬ7は第２レンズ群のレ
ンズをそれぞれ示し、ｒ1〜ｒ14はレンズ各面の曲率半
径を、ｄ1〜ｄ14はレンズ厚さまたはレンズ間隔をそれ
ぞれ示している。ここで、Ｌ、ｒ、ｄの右下に示された
添数字は光源から試料物体側に順に付された識別番号で
ある。なお、ｒ13、ｒ14は、前述のＲ2R、Ｒ2Fにそれぞ
れ該当する。
を参照して説明する。図１は、本発明の１実施形態の対
物レンズ１０の構成図である。この図において、Ｌ1〜
Ｌ6が第１レンズ群の各レンズをＬ7は第２レンズ群のレ
ンズをそれぞれ示し、ｒ1〜ｒ14はレンズ各面の曲率半
径を、ｄ1〜ｄ14はレンズ厚さまたはレンズ間隔をそれ
ぞれ示している。ここで、Ｌ、ｒ、ｄの右下に示された
添数字は光源から試料物体側に順に付された識別番号で
ある。なお、ｒ13、ｒ14は、前述のＲ2R、Ｒ2Fにそれぞ
れ該当する。
【００１０】この実施形態の対物レンズ１０は、図１に
示されるように、光源側から凸面を光源側に向けた負の
メニスカスレンズＬ1、凹面を光源側に向けた正のメニ
スカスレンズＬ2、凹レンズＬ3、３枚の凸レンズＬ4〜
Ｌ6の６枚のレンズで構成された第１レンズ群１１と凸
面を第１レンズ群に向けた正のメニスカスレンズＬ7か
らなる第２レンズ群１２で構成されている。そして、第
２レンズ群１２のメニスカスレンズＬ7のみが光軸に沿
って移動可能に配置されている。
示されるように、光源側から凸面を光源側に向けた負の
メニスカスレンズＬ1、凹面を光源側に向けた正のメニ
スカスレンズＬ2、凹レンズＬ3、３枚の凸レンズＬ4〜
Ｌ6の６枚のレンズで構成された第１レンズ群１１と凸
面を第１レンズ群に向けた正のメニスカスレンズＬ7か
らなる第２レンズ群１２で構成されている。そして、第
２レンズ群１２のメニスカスレンズＬ7のみが光軸に沿
って移動可能に配置されている。
【００１１】この対物レンズの各レンズのパラメータは
表１に示す通りである。
表１に示す通りである。
【００１２】
【表１】
【００１３】ここで、ｒはレンズ各面の曲率半径、ｄは
レンズ厚またはレンズ間隔、ｎ1、ｎ2、ｎ3はそれぞれ
波長６７５ｎｍ、６７０ｎｍ、６６５ｎｍの光に対する
屈折率を示している。これらの曲率半径は正の値が光源
側に凸（物体側に凹）の面であり、負の値が光源側に凹
（物体側に凸）の面であることを示している。また、表
の右側の数字は図１に示されたｒ、ｄの添字に該当し、
表の右端のＬ1〜Ｌ7は、それぞれの屈折率ｎ1、ｎ2、ｎ
3とレンズとの対応を示している。
レンズ厚またはレンズ間隔、ｎ1、ｎ2、ｎ3はそれぞれ
波長６７５ｎｍ、６７０ｎｍ、６６５ｎｍの光に対する
屈折率を示している。これらの曲率半径は正の値が光源
側に凸（物体側に凹）の面であり、負の値が光源側に凹
（物体側に凸）の面であることを示している。また、表
の右側の数字は図１に示されたｒ、ｄの添字に該当し、
表の右端のＬ1〜Ｌ7は、それぞれの屈折率ｎ1、ｎ2、ｎ
3とレンズとの対応を示している。
【００１４】本実施形態のレンズの第１レンズ群１１の
球面収差量Ｗ'1、焦点距離ｆ1、開口数ＮＡ1はそれぞ
れ、 Ｗ'1 ＝−１．１４ｍｍ ｆ1 ＝１２．９５ｍｍ ＮＡ1＝０．５ であり、第２レンズ群１２のレンズＬ7の焦点距離ｆ2と
光源側、物体側のそれぞれの曲率半径Ｒ2R、Ｒ2Fは、 ｆ2 ＝３２．９９ｍｍ Ｒ2R ＝７．６６ｍｍ Ｒ2F ＝９．１３ｍｍ であって、前述の(1)〜(6)式をそれぞれ満たしている。
対物レンズ１０全体では、開口数が０．８で焦点距離ｆ
が８ｍｍになる。
球面収差量Ｗ'1、焦点距離ｆ1、開口数ＮＡ1はそれぞ
れ、 Ｗ'1 ＝−１．１４ｍｍ ｆ1 ＝１２．９５ｍｍ ＮＡ1＝０．５ であり、第２レンズ群１２のレンズＬ7の焦点距離ｆ2と
光源側、物体側のそれぞれの曲率半径Ｒ2R、Ｒ2Fは、 ｆ2 ＝３２．９９ｍｍ Ｒ2R ＝７．６６ｍｍ Ｒ2F ＝９．１３ｍｍ であって、前述の(1)〜(6)式をそれぞれ満たしている。
対物レンズ１０全体では、開口数が０．８で焦点距離ｆ
が８ｍｍになる。
【００１５】図２〜４は、この対物レンズの横収差を表
した図である。図２は、メニスカスレンズＬ7を標準位
置に設置したときの横収差を表している。これに対し
て、図３、図４は、メニスカスレンズＬ７を光軸方向に
沿ってそれぞれ光源側または物体側に０．１ｍｍ移動さ
せた場合の横収差量を表している。ここでいう標準位置
とは、第１レンズ群１１のレンズＬ6と第２レンズ群１
２のメニスカスレンズＬ7の間隔ｄ１２を表１に掲げる
距離２．１８０ｍｍに設定した場合のメニスカスレンズ
Ｌ7の位置を指す。それぞれの図において(a)〜(d)は、
光像の相対高さ（レンズ群の口径に対する比率）がそれ
ぞれ１、２／３、１／３、０の時の光像の高さ方向（Ｙ
方向）の横収差の分布を、(e)〜(h)は、これらに対応す
る光像の高さ方向に直交する方向（Ｘ方向）の横収差の
分布を示している。
した図である。図２は、メニスカスレンズＬ7を標準位
置に設置したときの横収差を表している。これに対し
て、図３、図４は、メニスカスレンズＬ７を光軸方向に
沿ってそれぞれ光源側または物体側に０．１ｍｍ移動さ
せた場合の横収差量を表している。ここでいう標準位置
とは、第１レンズ群１１のレンズＬ6と第２レンズ群１
２のメニスカスレンズＬ7の間隔ｄ１２を表１に掲げる
距離２．１８０ｍｍに設定した場合のメニスカスレンズ
Ｌ7の位置を指す。それぞれの図において(a)〜(d)は、
光像の相対高さ（レンズ群の口径に対する比率）がそれ
ぞれ１、２／３、１／３、０の時の光像の高さ方向（Ｙ
方向）の横収差の分布を、(e)〜(h)は、これらに対応す
る光像の高さ方向に直交する方向（Ｘ方向）の横収差の
分布を示している。
【００１６】図２〜図５に示されるように、レンズ位置
を変更しても収差特性はほぼ同じになり、かつ、低収差
量に保たれており、どの集光位置でも収差補正量が最適
になっていることがわかる。したがって、スポット光の
口径も略同一になる。このため、ピント合わせに連動し
て収差補正が行える。さらに、入射光が平行光でない場
合でも収差補正が可能である。
を変更しても収差特性はほぼ同じになり、かつ、低収差
量に保たれており、どの集光位置でも収差補正量が最適
になっていることがわかる。したがって、スポット光の
口径も略同一になる。このため、ピント合わせに連動し
て収差補正が行える。さらに、入射光が平行光でない場
合でも収差補正が可能である。
【００１７】次に、図６を参照して、この実施形態の対
物レンズ１０の応用例を説明する。図６は、この対物レ
ンズ１０を断層画像取得装置に応用した例の概略図であ
る。
物レンズ１０の応用例を説明する。図６は、この対物レ
ンズ１０を断層画像取得装置に応用した例の概略図であ
る。
【００１８】対物レンズ１０は、第２レンズ群１２を光
軸に沿って移動させるためのピエゾアクチュエータ１１
を介して、顕微鏡２０に取り付けられている。顕微鏡２
０の試料台２１には、対物レンズ１０の光軸上に被検体
をガラス板ではさんだ試料２２が配置されている。顕微
鏡２０には、試料の位置確認用のＣＣＤカメラ２３とＣ
ＣＤカメラ２３撮影用の光源２４が取り付けられてい
る。この顕微鏡２０には、さらに試料２２に測定用の光
を照射するための光源となる半導体レーザ３０及び試料
２２からの反射光あるいは蛍光を検出する光検出器３１
が接続されており、これらと顕微鏡２０の間には、レン
ズ群３２が配置されている。こうして対物レンズ１０、
顕微鏡２０、レンズ群３２は共焦点光学系４０を構成し
ている。ピエゾアクチュエータ１１と光検出器３１は、
コントローラ５０を介して、制御・解析用のコンピュー
タ５１に接続されている。
軸に沿って移動させるためのピエゾアクチュエータ１１
を介して、顕微鏡２０に取り付けられている。顕微鏡２
０の試料台２１には、対物レンズ１０の光軸上に被検体
をガラス板ではさんだ試料２２が配置されている。顕微
鏡２０には、試料の位置確認用のＣＣＤカメラ２３とＣ
ＣＤカメラ２３撮影用の光源２４が取り付けられてい
る。この顕微鏡２０には、さらに試料２２に測定用の光
を照射するための光源となる半導体レーザ３０及び試料
２２からの反射光あるいは蛍光を検出する光検出器３１
が接続されており、これらと顕微鏡２０の間には、レン
ズ群３２が配置されている。こうして対物レンズ１０、
顕微鏡２０、レンズ群３２は共焦点光学系４０を構成し
ている。ピエゾアクチュエータ１１と光検出器３１は、
コントローラ５０を介して、制御・解析用のコンピュー
タ５１に接続されている。
【００１９】この断層画像取得装置では、半導体レーザ
３０から出射した光は、レンズ群３２により集光され
て、顕微鏡２０に導かれる。この光は、対物レンズ１０
を介して試料２２の所定の深さ位置で集光される。試料
２２は被検体がガラス板ではさまれているので、ガラス
と被検体との屈折率の差によって界面で反射が起こり、
反射光は再び、試料２２から対物レンズを経て最終的に
検出器ヘッド３０に至る。この光量を表す信号は、コン
トローラ５０を介して制御・解析用コンピュータ５１に
導かれる。一方、制御・解析用コンピュータ５０は、コ
ントローラ５０を介してピエゾアクチュエータ１１を駆
動することにより、対物レンズ１０の第２レンズ群（図
１参照）を光軸方向に動かして試料２２内の集光深さを
変化させている。試料２２の水平方向の操作は、試料自
体の移動あるいはレーザ光の走査により行うことができ
る。こうして得られた光量の変化を基にして、試料の断
層像が得られる。
３０から出射した光は、レンズ群３２により集光され
て、顕微鏡２０に導かれる。この光は、対物レンズ１０
を介して試料２２の所定の深さ位置で集光される。試料
２２は被検体がガラス板ではさまれているので、ガラス
と被検体との屈折率の差によって界面で反射が起こり、
反射光は再び、試料２２から対物レンズを経て最終的に
検出器ヘッド３０に至る。この光量を表す信号は、コン
トローラ５０を介して制御・解析用コンピュータ５１に
導かれる。一方、制御・解析用コンピュータ５０は、コ
ントローラ５０を介してピエゾアクチュエータ１１を駆
動することにより、対物レンズ１０の第２レンズ群（図
１参照）を光軸方向に動かして試料２２内の集光深さを
変化させている。試料２２の水平方向の操作は、試料自
体の移動あるいはレーザ光の走査により行うことができ
る。こうして得られた光量の変化を基にして、試料の断
層像が得られる。
【００２０】本装置では、対物レンズ１０の第２レンズ
群１２を駆動することにより、収差特性をほぼ同一に保
ったままで焦点位置を変えることができるので、常に高
Ｓ／Ｎ比での測定が可能となる。また、集光位置の移動
量と第２レンズ群１２の移動量がほぼ等しいのでレンズ
群の移動量が小さくて済み、かつ、移動対象は一枚のレ
ンズですむので、移動装置が軽量ですみ、制御が容易で
ある。さらに、非常に高速で集光方向の走査を行うこと
ができる。
群１２を駆動することにより、収差特性をほぼ同一に保
ったままで焦点位置を変えることができるので、常に高
Ｓ／Ｎ比での測定が可能となる。また、集光位置の移動
量と第２レンズ群１２の移動量がほぼ等しいのでレンズ
群の移動量が小さくて済み、かつ、移動対象は一枚のレ
ンズですむので、移動装置が軽量ですみ、制御が容易で
ある。さらに、非常に高速で集光方向の走査を行うこと
ができる。
【００２１】本願発明者は、集光位置の移動量に連動し
て収差補正が可能となるレンズのパラメータについて検
討した。表２は、その組み合わせを表している。
て収差補正が可能となるレンズのパラメータについて検
討した。表２は、その組み合わせを表している。
【００２２】
【表２】
【００２３】これらのいずれのレンズ群においても集光
位置の移動によらずに適正な収差補正が行われることが
確認された。
位置の移動によらずに適正な収差補正が行われることが
確認された。
【００２４】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のレンズ
群によれば、第２レンズ群のメニスカスレンズの移動に
かかわらず、その収差特性がほぼ一定でかつ低収差に保
たれるので、常に高Ｓ／Ｎ比と高解像度が保たれる。特
に、共焦点光学系等に利用した場合に、特別に収差特性
を補正する光学系を設ける必要がなく、装置を簡略化で
きる。また、移動レンズが一枚だけですむので、深さ方
向の走査を行うのが容易であり、走査を高速化できる。
群によれば、第２レンズ群のメニスカスレンズの移動に
かかわらず、その収差特性がほぼ一定でかつ低収差に保
たれるので、常に高Ｓ／Ｎ比と高解像度が保たれる。特
に、共焦点光学系等に利用した場合に、特別に収差特性
を補正する光学系を設ける必要がなく、装置を簡略化で
きる。また、移動レンズが一枚だけですむので、深さ方
向の走査を行うのが容易であり、走査を高速化できる。
【図１】本発明の実施形態の断面構成図である。
【図２】図１のレンズ群の第１の収差特性線図である。
【図３】図１のレンズ群の第２の収差特性線図である。
【図４】図１のレンズ群の第３の収差特性線図である。
【図５】図１のレンズ群を利用した断層撮影装置の構成
図である。
図である。
【図６】従来の断層撮影装置の構成図である。
１０…対物レンズ、１１…第１レンズ群、１２…第２レ
ンズ群、１５…ピエゾアクチュエータ、２０…顕微鏡、
２１…試料台、２２…試料、２３…ＣＣＤカメラ、２４
…光源、３０…半導体レーザ、３１…検出器ヘッド、３
２…レンズ群、４０…共焦点光学系、５０…コントロー
ラー、５１…制御・解析用コンピュータ。
ンズ群、１５…ピエゾアクチュエータ、２０…顕微鏡、
２１…試料台、２２…試料、２３…ＣＣＤカメラ、２４
…光源、３０…半導体レーザ、３１…検出器ヘッド、３
２…レンズ群、４０…共焦点光学系、５０…コントロー
ラー、５１…制御・解析用コンピュータ。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源から射出された光を試料内の所定深
さに集光する共焦点光学系用の対物レンズにおいて、 光軸に沿って前記光源側から第１のレンズ群と、前記試
料に対して移動可能な第２のレンズ群が配置され、 前記第１のレンズ群は、その球面収差量Ｗ'1、焦点距離
ｆ1、開口数ＮＡ1がそれぞれ、 −１．８ｍｍ≦Ｗ'1≦−０．５ｍｍ １１．４ｍｍ≦ｆ1≦１４．５ｍｍ ＮＡ1≦０．６ を満足するとともに、 前記第２のレンズ群は、前記試料側に凹面を向けた正の
メニスカスレンズであって、その焦点距離ｆ2と前記光
源側、前記試料側のそれぞれの曲率半径Ｒ2R、Ｒ2Fが、 ３０．０ｍｍ≦ｆ2≦７８．０ｍｍ ５．９ｍｍ≦Ｒ2R≦８．８ｍｍ ５．０ｍｍ≦Ｒ2F≦１１．５ｍｍ を満足することを特徴とする対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9184021A JPH1130754A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9184021A JPH1130754A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1130754A true JPH1130754A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16145963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9184021A Pending JPH1130754A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1130754A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007034295A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡観察方法 |
| WO2021128185A1 (zh) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 诚瑞光学(常州)股份有限公司 | 摄像光学镜头 |
| WO2021128120A1 (zh) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 诚瑞光学(常州)股份有限公司 | 摄像光学镜头 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5119993B1 (ja) * | 1962-10-03 | 1976-06-22 | ||
| JPS5567715A (en) * | 1978-11-15 | 1980-05-22 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Wide angle photographic lens |
| JPH06242381A (ja) * | 1992-06-12 | 1994-09-02 | Leica Mikroskopie & Syst Gmbh | 紫外線顕微鏡乾式対物レンズの製造方法及びこの方法で製造される対物レンズ |
-
1997
- 1997-07-09 JP JP9184021A patent/JPH1130754A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| A977 | Report on retrieval |
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