JPH11302028A - Scribing device - Google Patents

Scribing device

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Publication number
JPH11302028A
JPH11302028A JP11394498A JP11394498A JPH11302028A JP H11302028 A JPH11302028 A JP H11302028A JP 11394498 A JP11394498 A JP 11394498A JP 11394498 A JP11394498 A JP 11394498A JP H11302028 A JPH11302028 A JP H11302028A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scribe
glass substrate
cutter wheel
wheel chip
scribing
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP11394498A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takumi Kodera
琢己 小寺
Fumio Obata
文雄 小幡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP11394498A priority Critical patent/JPH11302028A/en
Publication of JPH11302028A publication Critical patent/JPH11302028A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/027Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scribing device capable of forming a uniform scribe line even if there is a variation in the thickness of a glass substrate and the levelness of a scribe rail or scribe table without executing resetting of an origin even if the lot on machine model changes. SOLUTION: This scribing device has the scribe table 32 which attracts and holds the glass substrate 40 and a scribe head 36 which forms the scribe line on the glass substrate 40 held on the scribe table 32 while moving a cutter wheel chip 44 along the scribe rail 34 at a prescribed edge pressure and depth of cut. The scribe head 36 has a profiling mechanism for moving the cutter wheel chip 44 so as to profile the surface of the glass substrate 40 in contact with the surface of the glass substrate 40 near the cutter wheel chip 44.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、スクライブ装置に
関し、特に、液晶表示パネルのガラス基板のスクライブ
装置に関する。
The present invention relates to a scribe device, and more particularly to a scribe device for a glass substrate of a liquid crystal display panel.

【0002】[0002]

【背景技術及び発明が解決しようとする課題】一般に、
液晶表示パネルに用いるガラス基板を切断する場合、ス
クライブ装置を用いて切断している。
BACKGROUND OF THE INVENTION In general,
When a glass substrate used for a liquid crystal display panel is cut, the glass substrate is cut using a scribe device.

【0003】図5に、スクライブ装置の概略を示してお
り、このスクライブ装置10は、ガラス基板12を真空
吸着して保持するスクライブテーブル14と、このスク
ライブテーブル14の上方に水平に配置されたスクライ
ブレール16と、図示せぬ駆動手段によりスクライブテ
ーブル14上でスクライブレール16に沿って水平移動
可能にされたスクライブヘッド18とを有している。
FIG. 5 schematically shows a scribe device. This scribe device 10 includes a scribe table 14 for holding a glass substrate 12 by vacuum suction and a scribe table horizontally disposed above the scribe table 14. It has a rail 16 and a scribe head 18 that can be horizontally moved along the scribe rail 16 on the scribe table 14 by a driving unit (not shown).

【0004】スクライブヘッド18は、チップホルダー
20に保持されたカッターホイールチップ22を先端に
有し、このカッターホイールチップ22のガラス基板1
2への切り込み量をパルスモータ24にて調節できるよ
うにすると共に、カッターホイールチップ22のガラス
基板12に対する刃先圧力をエアシリンダ26にて調節
できるようになっている。
[0004] The scribe head 18 has a cutter wheel chip 22 held at a tip end by a chip holder 20, and a glass substrate 1 of the cutter wheel chip 22.
The cutting amount of the cutting wheel 2 can be adjusted by a pulse motor 24, and the pressure of the cutting edge of the cutter wheel chip 22 against the glass substrate 12 can be adjusted by an air cylinder 26.

【0005】そして、ガラス基板12の表面にカッター
ホイールチップ22を押し当て、スクライブヘッド18
をスクライブレール16に沿って移動させることで、図
6に示すように、ガラス基板12の表面にスクライブラ
イン28を形成し得るようになっている。
[0005] A cutter wheel chip 22 is pressed against the surface of the glass substrate 12, and the scribe head 18 is pressed.
Are moved along the scribe rail 16 so that scribe lines 28 can be formed on the surface of the glass substrate 12 as shown in FIG.

【0006】ところで、ガラス基板12の表面にスクラ
イブラインを形成するにあたっては、図7(A)に示す
ように、ガラス基板12の表面のある1点にカッターホ
イールチップ22を押し当て、その当たった地点Xを原
点0とし、この原点0を基準に切り込み量L及び刃先圧
力Pを設定し、一定の設定値のままスクライブレール1
6に沿ってカッターホイールチップ22を移動させるよ
うにしている。
In forming a scribe line on the surface of the glass substrate 12, a cutter wheel chip 22 is pressed against a certain point on the surface of the glass substrate 12 as shown in FIG. The point X is defined as the origin 0, and the cutting amount L and the cutting edge pressure P are set based on the origin 0, and the scribe rail 1 is kept at a fixed value.
The cutter wheel chip 22 is moved along 6.

【0007】しかし、このような原点出しに基づく切り
込み量Lや刃先圧力Pの設定では、スクライブテーブル
14が水平状態を維持しており、かつ、ガラス基板12
の厚さが一定である場合には、切り込み量Lが一定で、
刃先圧力Pも図7(B)に示すように一定となるが、ス
クライブテーブル14が傾いていたり、図8(A)に示
すように、ガラス基板12の厚さにばらつきがあると、
切り込み量Lや図8(B)に示すように刃先圧力Pが一
定にならず、均一なスクライブラインを形成することが
できないもので、品質低下につながるという問題があ
る。
However, with such setting of the cutting amount L and the blade edge pressure P based on the origin search, the scribe table 14 is kept horizontal and the glass substrate 12
Is constant, the cut amount L is constant,
The cutting edge pressure P is also constant as shown in FIG. 7B, but if the scribe table 14 is tilted or if the thickness of the glass substrate 12 varies as shown in FIG.
As shown in FIG. 8B, the cutting amount L and the blade edge pressure P are not constant, so that a uniform scribe line cannot be formed.

【0008】このような問題は、スクライブテーブル1
4の傾きやガラス基板12の厚さのばらつきによる場合
のみならず、スクライブレール14の水平度のばらつき
によっても生じるものである。
[0008] Such a problem is caused by the scribe table 1
This is caused not only by the inclination of 4 and the variation of the thickness of the glass substrate 12, but also by the variation of the horizontality of the scribe rail 14.

【0009】また、前述のような原点の設定を行う場合
には、ロットや機種等が変更になる度に、原点の設定を
しなければならず、手間がかかるという問題もある。
When the origin is set as described above, the origin must be set every time the lot or the model is changed, which is troublesome.

【0010】本発明の目的は、ロットや機種が変更にな
っても原点の再設定を行うことなく、ガラス基板の厚さ
やスクライブレールあるいはスクライブテーブルの水平
度にばらつきがあっても均一なスクライブラインを形成
できるスクライブ装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a uniform scribe line even if the thickness of a glass substrate or the horizontality of a scribe rail or a scribe table varies, without resetting the origin even when the lot or the model is changed. It is an object of the present invention to provide a scribe device that can form a scribe.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、ガラス基板を吸着して保持
するスクライブテーブルと、カッターホイールチップを
所定の刃先圧力及び切り込み量でスクライブレールに沿
って移動させつつ前記スクライブテーブルに保持された
ガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブヘ
ッドとを備えるスクライブ装置において、前記スクライ
ブヘッドは、前記カッターホイールチップ付近の前記ガ
ラス基板の表面に当接し前記ガラス基板の表面に倣って
前記カッターホイールチップを倣い移動させる倣い機構
を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is a scribe table for adsorbing and holding a glass substrate, and a scribe rail for cutting a cutter wheel chip with a predetermined cutting edge pressure and a cutting amount. A scribe head that forms a scribe line on the glass substrate held on the scribe table while moving along the scribe table, wherein the scribe head abuts on the surface of the glass substrate near the cutter wheel chip. A copying mechanism is provided for copying and moving the cutter wheel chip following the surface of the glass substrate.

【0012】本発明によれば、倣い機構がカッターホイ
ールチップをガラス基板の表面に沿って倣い移動させる
ことで、スクライブ時には常にガラス基板の表面を基準
としてスクライブを行うこととなるため、一度切り込み
量及び刃先圧力の設定を行えば、ロットや機種が変更に
なっても原点の再設定を行うことなく均一なスクライブ
ラインの形成を行うことができ、原点再設定の手間を省
略することができ、しかも、ガラス基板の厚さやスクラ
イブレールあるいはスクライブテーブルの水平度にばら
つきがあっても均一なスクライブラインを形成できる。
According to the present invention, since the copying mechanism moves the cutter wheel chip along the surface of the glass substrate, the scribe is always performed with the surface of the glass substrate as a reference at the time of scribing. By setting the cutting edge pressure, it is possible to form a uniform scribe line without resetting the origin even if the lot or model is changed, and it is possible to save the trouble of resetting the origin. In addition, a uniform scribe line can be formed even if the thickness of the glass substrate or the horizontality of the scribe rail or scribe table varies.

【0013】請求項2記載の発明は、請求項1におい
て、前記倣い機構は、前記カッターホイールチップと一
体的に倣い移動可能に設けられていることを特徴とす
る。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the copying mechanism is provided so as to be able to copy and move integrally with the cutter wheel tip.

【0014】本発明によれば、倣い機構と一体的にカッ
ターホイールチップが倣い移動することで、連動機構を
必要とせず簡単な機構で連動させることができ、コスト
の削減にもつながることとなる。
According to the present invention, since the cutter wheel chip moves integrally with the copying mechanism, the cutter wheel tip can be linked by a simple mechanism without requiring an interlocking mechanism, which leads to a reduction in cost. .

【0015】請求項3記載の発明は、請求項2におい
て、前記カッターホイールチップは、前記ガラス基板に
対する切り込み量が固定とされ、前記カッタホイールチ
ップ及び倣い機構は、ガラス基板の表面に対して所定の
圧力で押し付けられて所定の刃先圧力が加えられること
を特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the cutter wheel chip has a fixed cutting amount with respect to the glass substrate, and the cutter wheel chip and the copying mechanism are fixed with respect to a surface of the glass substrate. And a predetermined blade edge pressure is applied.

【0016】本発明によれば、切り込み量が固定とされ
ているため、刃先圧力のみ調節することで容易かつ簡単
な機構で、スクライブ条件設定を行うことができる。
According to the present invention, since the cutting amount is fixed, the scribe condition can be set by an easy and simple mechanism by adjusting only the blade edge pressure.

【0017】請求項4記載の発明は、請求項1〜3のい
ずれかにおいて、前記倣い機構は、前記ガラス基板の表
面との当接部分が摺接部として形成されていることを特
徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the copying mechanism is characterized in that a contact portion with the surface of the glass substrate is formed as a sliding contact portion. .

【0018】本発明によれば、摺接部にてガラス基板の
表面を摺接することで、倣い動作を簡単な構造で行わせ
ることができ、コストも削減できる。
According to the present invention, the copying operation can be performed with a simple structure by sliding the surface of the glass substrate with the sliding portion, and the cost can be reduced.

【0019】請求項5記載の発明は、請求項1〜3のい
ずれかにおいて、前記倣い機構は、前記ガラス基板の表
面との当接部分にローラを有することを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the copying mechanism has a roller at a portion in contact with the surface of the glass substrate.

【0020】本発明によれば、ローラをガラス基板の表
面上で転動させることにより、スムーズな倣い動作を行
わせることができる。
According to the present invention, a smooth copying operation can be performed by rolling the roller on the surface of the glass substrate.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、図面を参照しながら説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0022】図1〜図3は、本発明の一実施の形態に係
るスクライブ装置を示す図である。
FIGS. 1 to 3 show a scribe device according to an embodiment of the present invention.

【0023】このスクライブ装置30は、図1に示すよ
うに、スクライブテーブル32と、スクライブレール3
4と、スクライブヘッド36とを有する。
As shown in FIG. 1, the scribe device 30 includes a scribe table 32 and a scribe rail 3.
4 and a scribe head 36.

【0024】スクライブテーブル32は、上面38が水
平状態で配置され、この上面38にガラス基板40を真
空吸着して保持するようになっている。
The scribe table 32 has an upper surface 38 disposed in a horizontal state, and a glass substrate 40 is held on the upper surface 38 by vacuum suction.

【0025】また、このスクライブテーブル32は、水
平回転可能とされ、例えば、ガラス基板40に直角に交
差するスクライブラインを形成できるようになってい
る。
The scribe table 32 is rotatable horizontally so that, for example, scribe lines intersecting the glass substrate 40 at right angles can be formed.

【0026】スクライブレール34は、スクライブテー
ブル32の上方に水平に配置され、スクライブヘッド3
6を垂下保持した状態となっている。
The scribe rail 34 is horizontally arranged above the scribe table 32 and has a scribe head 3.
6 is held in a hanging state.

【0027】スクライブヘッド36は、図示せぬ駆動手
段によりスクライブテーブル32上でスクライブレール
34に沿って水平移動可能にされている。
The scribe head 36 is horizontally movable on the scribe table 32 along the scribe rail 34 by a driving means (not shown).

【0028】また、スクライブヘッド36は、チップホ
ルダー42に保持されたカッターホイールチップ44を
先端に有し、このカッターホイールチップ44を倣い機
構46によりガラス基板40の表面に倣って移動可能に
している。
The scribe head 36 has a cutter wheel tip 44 held by a tip holder 42 at its tip, and the cutter wheel tip 44 can be moved along the surface of the glass substrate 40 by a copying mechanism 46. .

【0029】倣い機構46は、門型の倣い部材48と、
シリンダ50とを有している。
The copying mechanism 46 includes a gate-shaped copying member 48,
And a cylinder 50.

【0030】倣い部材48は、門型の両下端部にカッタ
ーホイールチップ44付近のガラス基板40の表面に当
接し、ガラス基板40の表面に倣って摺接する半円状の
摺接部52を有している(図2参照)。
The copying member 48 has a semicircular sliding contact portion 52 at both lower ends of the gate, which abuts on the surface of the glass substrate 40 near the cutter wheel chip 44 and slides along the surface of the glass substrate 40. (See FIG. 2).

【0031】したがって、倣い動作を簡単な構造で行わ
せることができ、他部品を必要としないので、コストも
削減できる。
Therefore, the copying operation can be performed with a simple structure, and other components are not required, so that the cost can be reduced.

【0032】シリンダ50は、スクライブレール34に
沿って水平移動可能に設けられると共に、倣い部材48
の摺接部52をガラス基板40の表面に当接させて、倣
い部材48を上下動可能に保持している。
The cylinder 50 is provided so as to be able to move horizontally along the scribe rail 34, and the copying member 48 is provided.
The sliding member 52 is brought into contact with the surface of the glass substrate 40 to hold the copying member 48 so as to be vertically movable.

【0033】カッターホイールチップ44は、チップホ
ルダー42に取り付けられたシリンダ54及びこのシリ
ンダ54の上部に取り付けられたパルスモータ56を介
して倣い部材48と一体的にされ、倣い部材48の上下
動と共に、カッターホイールチップ44もガラス基板4
0の表面に倣って上下動するようになっている。
The cutter wheel tip 44 is integrated with the copying member 48 via a cylinder 54 attached to the tip holder 42 and a pulse motor 56 attached to the upper part of the cylinder 54, and moves up and down with the copying member 48. , Cutter wheel chip 44 is also glass substrate 4
It moves up and down following the surface of the zero.

【0034】パルスモータ56は、カッターホイールチ
ップ44の切り込み量を調節するために用いられるよう
になっている。
The pulse motor 56 is used for adjusting the cutting amount of the cutter wheel chip 44.

【0035】また、シリンダ54は、カッターホイール
チップ44の刃先圧力を調節するために用いられるよう
になっている。
The cylinder 54 is used for adjusting the cutting edge pressure of the cutter wheel tip 44.

【0036】このように、ガラス基板40の表面に倣い
部材48の摺接部52を当接させ、スクライブレール3
4に沿って倣い部材48及びカッターホイールチップ4
4を水平移動させることで、ガラス基板40の表面を基
準にして、倣い部材48及びカッターホイールチップ4
4がシリンダ50によりガラス基板40の表面に追従し
て一体的に上下に倣い移動を行うこととなる。
Thus, the sliding portion 52 of the copying member 48 is brought into contact with the surface of the glass substrate 40, and the scribe rail 3
4 along the copying member 48 and the cutter wheel tip 4
4 is moved horizontally, so that the copying member 48 and the cutter wheel chip 4 are moved with respect to the surface of the glass substrate 40.
4 follows the surface of the glass substrate 40 by the cylinder 50 and moves integrally along the vertical direction.

【0037】そのため、カッターホイールチップ44
は、パルスモータ56及びシリンダ54によって設定さ
れた切り込み量及び刃先圧力を確実に維持しながら均一
なスクライブラインをガラス基板40の表面に形成する
ことが可能となる。
Therefore, the cutter wheel chip 44
With this configuration, it is possible to form a uniform scribe line on the surface of the glass substrate 40 while reliably maintaining the cutting amount and the cutting edge pressure set by the pulse motor 56 and the cylinder 54.

【0038】その一例として、図3(A)に厚さにばら
つきのあるガラス基板40をスクライブする状態を示し
ている。このガラス基板40は、図中左側から右側にか
けて徐々に厚さが薄くなっており、スクライブテーブル
32上に吸着固定した状態で、図中右下がりの状態とな
っている。
As one example, FIG. 3A shows a state in which a glass substrate 40 having a variation in thickness is scribed. The thickness of the glass substrate 40 is gradually reduced from the left side to the right side in the drawing, and the glass substrate 40 is fixed to the scribe table 32 by suction and is lowered rightward in the drawing.

【0039】この状態で、カッターホイールチップ44
を切り込み量L1、刃先圧力P1に設定して、倣い部材4
8の摺接部52及びカッターホイールチップ44をガラ
ス基板40の表面に当接させ、スクライブレール34に
沿って移動させると、ガラス基板40の表面に沿って倣
い部材48が右下がり状態で追従し、カッターホイール
チップ44もこれと一体的に追従することとなる。
In this state, the cutter wheel chip 44
Is set to the cutting amount L1 and the cutting edge pressure P1, and the copying member 4 is set.
8 and the cutter wheel chip 44 are brought into contact with the surface of the glass substrate 40 and are moved along the scribe rail 34, so that the copying member 48 follows the surface of the glass substrate 40 in a downward-sloping state. , The cutter wheel tip 44 also follows this integrally.

【0040】したがって、ガラス基板40の表面が右下
がりの状態であるにもかかわらず、常に一定の切り込み
量L1を維持しており、しかも、同図(B)に示すよう
に、常に一定の刃先圧力P1を維持しており、均一なス
クライブラインを形成することができる。
Therefore, even though the surface of the glass substrate 40 is inclined downward to the right, a constant cutting amount L1 is always maintained, and as shown in FIG. Since the pressure P1 is maintained, a uniform scribe line can be formed.

【0041】図4は、本発明の他の実施の形態に係るス
クライブ装置を示す正面図である。
FIG. 4 is a front view showing a scribe device according to another embodiment of the present invention.

【0042】このスクライブ装置60は、スクライブテ
ーブル62上に真空吸着されるガラス基板40を挟んで
両側の装置本体64上に、一対のスクライブレール66
を平行に配設している。
The scribing device 60 includes a pair of scribe rails 66 on the device body 64 on both sides of the glass substrate 40 which is vacuum-adsorbed on the scribe table 62.
Are arranged in parallel.

【0043】このスクライブレール66間には、両端部
でガイドブロック68を介してスクライブレール66と
スライド可能に係合するスライド部材70を懸架して、
図示せぬ駆動手段により、スクライブレール66に沿っ
て水平移動可能にしている。
A slide member 70 slidably engaged with the scribe rail 66 at both ends via a guide block 68 is suspended between the scribe rails 66.
Drive means (not shown) enables horizontal movement along the scribe rail 66.

【0044】スライド部材70には、そのほぼ中央位置
に、シリンダ72が取り付けられ、このシリンダ72の
下部に、スクライブヘッド74が取り付け支持されてい
る。
A cylinder 72 is attached to the slide member 70 at a substantially central position, and a scribe head 74 is attached and supported below the cylinder 72.

【0045】スクライブヘッド74は、倣い機構76と
カッターホイールチップ78とを一体構造にしている。
The scribe head 74 has a copying mechanism 76 and a cutter wheel tip 78 integrated with each other.

【0046】具体的には、倣い機構76は、シリンダ7
2に取り付けられた門型の倣い部材80と、この倣い部
材80の両下端に取り付けられたローラ82とを有し、
カッターホイールチップ78は、チップホルダー84を
介して、倣い部材80に一体に取り付けられている。
Specifically, the copying mechanism 76 includes the cylinder 7
2, and a roller 82 attached to both lower ends of the copying member 80,
The cutter wheel tip 78 is integrally attached to the copying member 80 via a tip holder 84.

【0047】また、カッターホイールチップ78は、ロ
ーラ82との間に、切り込み量L2が設定された状態で
固定されている。
The cutter wheel tip 78 is fixed between the cutter wheel tip 78 and the roller 82 with the cut amount L2 set.

【0048】したがって、スクライブテーブル62上の
ガラス基板40の表面にカッターホイールチップ78を
当接させ、シリンダ72にて所定の刃先圧力になるまで
カッターホイールチップ78を押し付けると共に、ロー
ラ82にガラス基板40の表面を倣うに十分な付勢力を
付与してやることで、容易に所定の切り込み量L2及び
刃先圧力が得られ、しかも、均一なスクライブラインの
形成が可能となる。
Therefore, the cutter wheel chip 78 is brought into contact with the surface of the glass substrate 40 on the scribe table 62, and the cutter wheel chip 78 is pressed by the cylinder 72 until a predetermined cutting edge pressure is reached. By applying a sufficient urging force to imitate the surface, a predetermined cutting amount L2 and blade edge pressure can be easily obtained, and a uniform scribe line can be formed.

【0049】また、倣い部材80は、ローラ82を介し
てガラス基板40の表面を倣うため、倣い動作もスムー
ズに行えることとなる。
Further, since the copying member 80 copies the surface of the glass substrate 40 via the roller 82, the copying operation can be performed smoothly.

【0050】本発明は、前記各実施の形態に限られるも
のではなく、本発明の要旨の範囲内において、種々の形
態に変形可能である。
The present invention is not limited to the above embodiments, but can be modified into various forms within the scope of the present invention.

【0051】例えば、前記各実施の形態では、スクライ
ブヘッドをスクライブレールに沿って移動させる場合に
ついて説明したが、スクライブレールと直交する方向に
移動可能にしてガラス基板上に複数のスクライブライン
を形成するようにすることもできる。
For example, in each of the above embodiments, the case where the scribe head is moved along the scribe rail has been described, but a plurality of scribe lines are formed on the glass substrate by being movable in a direction orthogonal to the scribe rail. You can also do so.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態に係るスクライブ装置を
示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing a scribe device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のスクライブ装置を図1の矢視II-II位置
から見た側面図である。
FIG. 2 is a side view of the scribe device of FIG. 1 as viewed from a position indicated by arrows II-II in FIG. 1;

【図3】(A)は本実施の形態に係るスクライブ装置を
用いて厚さにばらつきのあるガラス基板をスクライブす
る状態を示す説明図で、(B)は(A)のスクライブ時
の刃先圧力を示す説明図である。
FIG. 3A is an explanatory view showing a state of scribing a glass substrate having a variation in thickness using the scribing apparatus according to the present embodiment, and FIG. 3B is a diagram showing a cutting edge pressure at the time of scribing in FIG. FIG.

【図4】本発明の他の実施の形態に係るスクライブ装置
を示す正面図である。
FIG. 4 is a front view showing a scribe device according to another embodiment of the present invention.

【図5】背景技術に係るスクライブ装置を示す概略図で
ある。
FIG. 5 is a schematic view showing a scribe device according to the background art.

【図6】図5のスクライブ装置を用いてスクライブライ
ンを形成している状態を示す概略説明図である。
FIG. 6 is a schematic explanatory view showing a state where a scribe line is formed using the scribe device of FIG. 5;

【図7】(A)は水平状態のスクライブテーブル上に厚
さの均一なガラス基板を吸着させてスクライブしている
状態を示す説明図で、(B)は(A)のスクライブ時の
刃先圧力を示す説明図である。
FIG. 7A is an explanatory view showing a state in which a glass substrate having a uniform thickness is adsorbed on a horizontal scribing table and scribing is performed, and FIG. 7B is a cutting edge pressure at the time of scribing in FIG. FIG.

【図8】(A)は厚さの不均一なガラス基板をスクライ
ブしている状態を示す説明図で、(B)は(A)のスク
ライブ時の刃先圧力を示す説明図である。
FIG. 8A is an explanatory diagram showing a state in which a glass substrate having an uneven thickness is scribed, and FIG. 8B is an explanatory diagram showing a blade edge pressure at the time of scribe in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30、60 スクライブ装置 32、62 スクライブテーブル 34、66 スクライブレール 36、74 スクライブヘッド 40 ガラス基板 42、84 チップホルダー 44、78 カッターホイールチップ 46、76 倣い機構 48、80 倣い部材 52 摺接部 82 ローラ 30, 60 scribe device 32, 62 scribe table 34, 66 scribe rail 36, 74 scribe head 40 glass substrate 42, 84 chip holder 44, 78 cutter wheel chip 46, 76 copying mechanism 48, 80 copying member 52 sliding contact part 82 roller

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラス基板を吸着して保持するスクライ
ブテーブルと、 カッターホイールチップを所定の刃先圧力及び切り込み
量でスクライブレールに沿って移動させつつ前記スクラ
イブテーブルに保持されたガラス基板にスクライブライ
ンを形成するスクライブヘッドとを備えるスクライブ装
置において、 前記スクライブヘッドは、前記カッターホイールチップ
付近の前記ガラス基板の表面に当接し前記ガラス基板の
表面に倣って前記カッターホイールチップを倣い移動さ
せる倣い機構を備えることを特徴とするスクライブ装
置。
A scribing table for adsorbing and holding a glass substrate; and a scribe line formed on the glass substrate held by the scribe table while moving a cutter wheel chip along a scribe rail with a predetermined cutting edge pressure and a cutting amount. A scribing apparatus including a scribing head to be formed, wherein the scribing head includes a copying mechanism that abuts on a surface of the glass substrate near the cutter wheel chip and moves the cutter wheel chip according to the surface of the glass substrate. A scribe device characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 請求項1において、 前記倣い機構は、前記カッターホイールチップと一体的
に倣い移動可能に設けられていることを特徴とするスク
ライブ装置。
2. The scribing device according to claim 1, wherein the copying mechanism is provided so as to be able to copy and move integrally with the cutter wheel tip.
【請求項3】 請求項2において、 前記カッターホイールチップは、前記ガラス基板に対す
る切り込み量が固定とされ、 前記カッタホイールチップ及び倣い機構は、ガラス基板
の表面に対して所定の圧力で押し付けられて所定の刃先
圧力が加えられることを特徴とするスクライブ装置。
3. The cutter wheel chip according to claim 2, wherein a cutting amount of the cutter wheel chip with respect to the glass substrate is fixed, and the cutter wheel chip and the copying mechanism are pressed against a surface of the glass substrate with a predetermined pressure. A scribing device to which a predetermined cutting edge pressure is applied.
【請求項4】 請求項1〜3のいずれかにおいて、 前記倣い機構は、前記ガラス基板の表面との当接部分が
摺接部として形成されていることを特徴とするスクライ
ブ装置。
4. The scribing device according to claim 1, wherein the copying mechanism has a contact portion with a surface of the glass substrate formed as a sliding contact portion.
【請求項5】 請求項1〜3のいずれかにおいて、 前記倣い機構は、前記ガラス基板の表面との当接部分に
ローラを有することを特徴とするスクライブ装置。
5. The scribing apparatus according to claim 1, wherein the copying mechanism includes a roller at a portion where the copying mechanism contacts a surface of the glass substrate.
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