JPH11300539A - 容器の供給排出装置 - Google Patents

容器の供給排出装置

Info

Publication number
JPH11300539A
JPH11300539A JP11203098A JP11203098A JPH11300539A JP H11300539 A JPH11300539 A JP H11300539A JP 11203098 A JP11203098 A JP 11203098A JP 11203098 A JP11203098 A JP 11203098A JP H11300539 A JPH11300539 A JP H11300539A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
container
supply
cassette
discharge
turntable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11203098A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroki Shikada
寛記 鹿田
Hideyuki Ishihara
秀幸 石原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hirata Corp
Original Assignee
Hirata Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hirata Corp filed Critical Hirata Corp
Priority to JP11203098A priority Critical patent/JPH11300539A/ja
Publication of JPH11300539A publication Critical patent/JPH11300539A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 容器の供給排出装置において、容器の供給と
排出を効率良く行うことで生産性の向上を図る。 【解決手段】 搬入コンベヤ11と昇降機構12と把持
機構13とを有して積み重ねられた複数のカセットCを
搬送可能であると共に1つのカセットCを供給位置aに
位置決め可能な容器供給装置14と、搬出コンベヤ15
と昇降機構16と把持機構17とを有して搬出位置Bに
載置されたカセットCを積み重ねて搬送可能な容器排出
装置18と、カセットCを供給排出位置cと取出位置d
とに回転位置決め可能なターンテーブル19と、供給位
置aにあるカセットCを供給排出位置cに移載すると共
に供給排出位置cにある空のカセットCを排出位置bに
移載する容器移載装置20と、取出位置dにあるカセッ
トCから磁気ディスクDを取り出すディスク取出装置2
1とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクにテ
クスチャ加工などを施す表面研磨装置などに適用され、
この磁気ディスクとしての収容物が複数収容されたカセ
ットの供給と排出を行う容器の供給排出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスクは、ヘッドの浮上量安定制
御のためにミクロン単位で表面を研磨する必要がある。
このような研磨加工、即ち、テクスチャ加工は、一般的
に、回転盤上に吸着保持されて回転する磁気ディスクに
対して、研磨剤を流しながら加工パッドを押し当てて表
面加工処理を行っている。この場合、複数の磁気ディス
クがカセット内に収容され、1つのカセットごとにテク
スチャ加工装置に供給されている。
【0003】このようなテクスチャ加工装置への供給装
置としては、搬入コンベヤによって複数の磁気ディスク
が収容されたカセットが搬入されると、移載装置がこの
カセットを所定の取出位置まで搬送し、供給ロボットが
このカセット内の磁気ディスクを加工装置へ順次供給し
て加工を行い、カセットが空となると、移載装置がこの
空のカセットを取出位置から搬出コンベヤに搬送してこ
の搬出コンベヤによって搬出した後、移載装置が新しい
カセットを搬入コンベヤから取出位置へ搬送し、続いて
供給ロボットがこのカセット内の磁気ディスクを加工装
置へ順次供給して加工を行うものとなっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、テク
スチャ加工装置の技術向上によって加工時間が従来の半
分程度となり、作業の効率化を図る上で磁気ディスクの
供給排出時間の短縮化が必要となってきている。しか
し、上述した従来の供給装置は、搬入コンベヤと供給ロ
ボットと移載装置と搬出コンベヤとから構成されている
ため、取出位置にあるカセットに対して供給ロボットが
このカセット内の磁気ディスクを加工装置へ供給して空
となると、移載装置がこの空のカセットを搬出コンベヤ
へ搬送してから新しいカセットを取出位置へ搬送してお
り、供給ロボットには待ち時間が発生して作業効率が良
くないという問題がある。
【0005】本発明はこのような問題を解決するもので
あって、容器の供給と排出を効率良く行うことで生産性
の向上を図った容器の供給排出装置を提供することを目
的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明の容器の供給排出装置は、搬入コンベヤの所
定位置に昇降機構及び把持機構が設けられて積み重ねら
れた複数容器を搬送可能であると共に1つの容器を所定
の供給位置に位置決め可能な容器供給手段と、搬出コン
ベヤの所定位置に昇降機構及び把持機構が設けられて所
定の搬出位置に載置された容器を積み重ねて搬送可能な
容器排出手段と、容器を供給排出位置と取出位置とに回
転位置決め可能なターンテーブルと、前記容器供給手段
の供給位置にある容器を前記ターンテーブルの供給排出
位置に移載すると共に該供給排出位置にある空の容器を
前記容器排出手段の排出位置に移載する容器移載手段
と、前記ターンテーブルの取出位置にある容器から収容
物を取り出す収容物取出手段とを具えたことを特徴とす
るものである。
【0007】従って、容器供給手段の搬入コンベヤには
複数容器が多段に積み重ねられて搬送可能となってお
り、昇降機構及び把持機構によってこの多段の容器から
1つの容器を供給位置に順次搬送位置決めしており、容
器移載手段は供給位置にある容器をターンテーブルの供
給排出位置に移載し、ターンテーブルが回転することで
供給排出位置にある容器を取出位置に移動すると共に、
この取出位置にある空の容器を供給排出位置に移動し、
収容物取出手段はターンテーブルの取出位置にある容器
から収容物を取り出して作業を行う一方、容器移載手段
が供給排出位置にある容器を容器排出手段の排出位置に
移載してから、搬入コンベヤの供給位置にある容器をタ
ーンテーブルの供給排出位置に移載し、容器排出手段の
搬出コンベヤは昇降機構及び把持機構によって排出位置
に載置された容器を積み重ねて搬出する。
【0008】このように容器移載手段が搬入コンベヤ上
の容器をターンテーブルの供給排出位置に移載すると共
にこの供給排出位置にある空の容器を搬出コンベヤに移
載し、且つ、ターンテーブルが所定角度回転することで
供給排出位置にある容器と取出位置にある空の容器とを
交代移動することで、ターンテーブルの取出位置には常
に収容物が収容された容器が位置しており、収容物取出
手段はターンテーブル上の容器から待ち時間なく連続し
て収容物を取り出すことができ、容器の供給を排出を効
率良く行って生産性の向上が図れる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
【0010】図1に本発明の一実施形態に係る容器の供
給排出装置の概略、図2乃至図11に本実施形態の容器
の供給排出装置による容器供給排出作業の動作を表す概
略を示す。
【0011】本実施形態では、多数の磁気ディスクが複
数収容されたカセットを、表面研磨装置に対して供給と
排出を行う容器の供給排出装置に適用している。この容
器の供給排出装置は、図1に示すように、搬入コンベヤ
11の所定位置に昇降機構12と把持機構13とが設け
られ、積み重ねられた複数のカセット(容器)Cを搬送
可能であると共に1つのカセットCを供給位置aに位置
決め可能な容器供給装置14と、この容器供給装置14
に隣接して設けられて、搬出コンベヤ15の所定位置に
昇降機構16と把持機構17が設けられ、排出位置bに
載置されたカセットCを積み重ねて搬送可能な容器排出
装置18と、容器供給装置14に隣接して設けられて、
カセットCを供給排出位置cと磁気ディスク(収容物)
Dの取出位置dとに回転位置決め可能なターンテーブル
19と、容器供給装置14の供給位置aにあるカセット
Cをターンテーブル19の供給排出位置cに移載すると
共に供給排出位置cにある空のカセットCを容器排出装
置18の排出位置bに移載する容器移載装置20と、タ
ーンテーブル19の取出位置cにあるカセットCから磁
気ディスクDを取り出すディスク取出装置21とから構
成されている。
【0012】容器供給装置14の搬入コンベヤ11はフ
レーム31の前後の回転軸に左右一対の無端のチェーン
32が掛け回されてなり、駆動モータ33によって同期
して駆動可能となっている。昇降機構12は搬入コンベ
ヤ11の搬送方向一方側の左右一対のチェーン32の間
に設置されており、エアシリンダ34によって昇降する
昇降台35を有している。また、把持機構13は昇降機
構12の両側に設置されており、左右一対のエアシリン
ダ36によって互いに接近離反する把持板37を有して
いる。
【0013】従って、この容器供給装置14では、作業
者によって磁気ディスクDが多数収容されたカセットC
(C1,C2,C3,C4)が4段重ねで搬入コンベヤ
11上に搬入されると、カセットCはこの状態で搬送さ
れて段ばらし位置eで停止し、昇降機構12はエアシリ
ンダ34を伸長して昇降台35を上昇することで4段の
カセットCを持ち上げる。そして、把持機構13は各エ
アシリンダ36を伸長して左右の把持板37によってカ
セットC2を把持してカセットC2,C3,C4を保持
すると、エアシリンダ34を収縮して昇降台35を下降
することでカセットC1のみを搬入コンベヤ11上に載
置する。ここで、搬入コンベヤ11を駆動することでカ
セットC1を搬送し、供給位置aで停止することで位置
決めすることができる。その後、昇降機構12の昇降台
35を上昇し、把持機構13が解除したカセットC2,
C3,C4を保持して所定高さまで下降し、把持機構1
3の把持板37がカセットC3を把持してから昇降台3
5を下降することでカセットC2のみを搬入コンベヤ1
1上に載置し、搬入コンベヤ11によってカセットC2
を供給位置aに搬送位置決めすることができ、同様にし
てカセットC3,C4も供給位置aに搬送位置決めする
ことができる。
【0014】容器排出装置18の搬出コンベヤ15はフ
レーム41の前後の回転軸に左右一対の無端のチェーン
42が掛け回されてなり、駆動モータ43によって同期
して駆動可能となっている。昇降機構16は搬入コンベ
ヤ15の搬送方向一方側の左右一対のチェーン42の間
に設置されており、エアシリンダ44によって昇降する
昇降台45を有している。また、把持機構17は昇降機
構16の両側に設置されており、左右一対のエアシリン
ダ46によって互いに接近離反する把持板47を有して
いる。
【0015】従って、容器排出装置18では、容器移載
装置20によって空のカセットC1が搬出コンベヤ15
の排出位置bに載置されると、カセットC1は搬送され
て段積み位置fで停止し、昇降機構16はエアシリンダ
44を伸長して昇降台45を上昇することでこのカセッ
トC1を持ち上げる。そして、把持機構17は各エアシ
リンダ46を伸長して左右の把持板47によってカセッ
トC1を把持すると、エアシリンダ44を収縮して昇降
台45を下降する。次に、空のカセットC2が搬出コン
ベヤ15の排出位置bに載置されると、このカセットC
2は搬送されて段積み位置fで停止し、同様に、昇降機
構16の昇降台45が上昇してカセットC2を持ち上げ
ると共に把持機構17が把持板47によるカセットC1
の把持を解除してカセットC2の上に載せる。そして、
この把持機構17は今度は把持板47によってカセット
C2を把持することで段積みされたカセットC1,C2
を保持することができる。このようにしてカセットC
1,C2,C3,C4が段積みされると、搬出コンベヤ
15によって空のカセットCを4段重ねで搬出すること
ができる。
【0016】ターンテーブル19は、図示しない割出回
転機構によって180度割出可能であり、180度対向
してカセットCの供給排出位置cとディスクDの取出位
置dとを有している。従って、容器移載装置20によっ
てディスクDが入ったカセットCがターンテーブル19
の供給排出位置cに移載されると共に、取出位置dにあ
るカセットCからディスク取出装置21がディスクDを
取り出して空になると、ターンテーブル19を180度
割出回転して供給排出位置cにあるカセットCと取出位
置dにあるカセットCとを交代移動することで、取出位
置dにディスクDが入ったカセットCを位置させ、供給
排出位置cに空のカセットCを位置させることができ
る。
【0017】また、容器移載装置20は、容器排入装置
14と容器排出装置18とターンテーブル19との間で
カセットCを移載するものである。即ち、この容器移載
装置20において、容器排入装置14と容器排出装置1
8とターンテーブル19との並設方向に沿ってガイドレ
ール51が架設されており、このガイドレール51には
移動体52が図示しない駆動機構によって移動自在に支
持されている。そして、この移動体52には昇降シリン
ダ53によって昇降自在な下向きコ字形状の昇降体54
が支持され、この昇降体54には把持シリンダ55によ
って互いに接近離反自在な一対の把持部材56が装着さ
れている。
【0018】従って、搬入コンベヤ11の供給位置aに
あるディスクDが入ったカセットCが位置するとき、容
器移載装置20では、移動体52がガイドレール51に
沿って移動して供給位置aのカセットCの上方に停止
し、昇降シリンダ53によって昇降体54を下降して把
持シリンダ55によって一対の把持部材56を接近させ
ることで、このカセットCを把持することができる。そ
して、昇降体54が上昇してから、移動体52がガイド
レール51に沿って移動してターンテーブル19の供給
排出位置cの上方に停止し、昇降体54を下降して把持
部材56によるカセットCの把持を解除することで、こ
のカセットCを供給排出位置cに載置することができ
る。また、同様にして、容器移載装置20は、供給排出
位置cにある空のカセットCを排出コンベヤ15の排出
位置bに移載することができる。
【0019】更に、取り出すディスク取出装置21は、
多関節ロボットであって、ターンテーブル19の取出位
置cにあるカセットCから磁気ディスクDを取り出し、
図示しない表面研磨装置に供給することができる。な
お、このディスク取出装置21としての多関節ロボット
は、直交型ロボットであってもよい。
【0020】ここで、上述した本実施形態の容器の供給
排出装置によるカセットCの供給作業、カセットCから
の磁気ディスクDの取出作業、カセットCの排出作業に
図2乃至図11を用いて具体的に説明する。
【0021】図2に示すように、容器供給装置14の搬
入コンベヤ11上には、作業者によって磁気ディスクD
が多数収容されたカセットC1,C2,C3,C4が段
積み状態で搬入され、この搬入コンベヤ11にてこのカ
セットC1,C2,C3,C4を段ばらし位置eまで搬
送する。ここで、図3に示すように、昇降機構12によ
って4段のカセットC1,C2,C3,C4を持ち上
げ、把持機構13によってカセットC2を把持してカセ
ットC2,C3,C4を保持する。そして、図4に示す
ように、昇降機構12によってカセットC1のみを搬入
コンベヤ11上に載置し、搬入コンベヤ11を駆動して
カセットC1を供給位置aまで搬送し、ここで停止する
ことで位置決めされる。
【0022】搬入コンベヤ11の供給位置aにカセット
C1が位置すると、図5に示すように、容器移載装置2
0の移動体52がこの供給位置aの上方に移動し、昇降
体54を下降して供給位置aにあるカセットC1を把持
した後、再び上昇する。そして、カセットC1を保持し
た移動体52はターンテーブル19の供給排出位置cの
上方まで移動し、昇降体54を下降してカセットC1を
ターンテーブル19の供給排出位置cに載置する。ここ
で、図6に示すように、ターンテーブル19を180度
割出回転して供給排出位置cにあるカセットC1を取出
位置dに位置させることで、ディスク取出装置21はタ
ーンテーブル19の取出位置cにあるカセットC1から
磁気ディスクDを取り出し、図示しない表面研磨装置に
供給する。
【0023】一方、このディスク取出装置21による磁
気ディスクDの取出作業時に、容器供給装置14の搬入
コンベヤ11と昇降機構12と把持機構13により、前
述と同様の動作でカセットC2を搬入コンベヤ11の供
給位置aに位置決めしている。容器移載装置20は移動
体52が昇降及び移動してこの供給位置aにあるカセッ
トC2をターンテーブル19の供給排出位置cに移動し
ておき、搬入コンベヤ11の供給位置aにカセットC3
を位置決めしておく。
【0024】そして、図8に示すように、ディスク取出
装置21による磁気ディスクDの取出作業によってター
ンテーブル19の取出位置dにあるカセットC1内の磁
気ディスクDが空になると、ターンテーブル19を18
0度割出回転してこの空になったカセットC1を供給排
出位置cに移動させると共に、ディスクDが入ったカセ
ットC2を取出位置dに移動する。従って、ディスク取
出装置21はターンテーブル19の取出位置cにあるカ
セットC2から磁気ディスクDを取り出して表面研磨装
置に供給することで、待ち時間なく作業を停止すること
なく連続して磁気ディスクDの取出作業を行うことがで
きる。
【0025】一方、ターンテーブル19の供給排出位置
cに位置する空のカセットC1に対して、容器移載装置
20がこれを把持して容器排出装置18まで移動し、搬
出コンベヤ15の排出位置bに載置した後、図9に示す
ように、搬入コンベヤ11の供給位置aに位置決めてい
るカセットC3をターンテーブル19の供給排出位置c
に移動し、搬入コンベヤ11の供給位置aにカセットC
4を位置決めする。なお、容器供給装置14の搬入コン
ベヤ11上に次に処理する磁気ディスクDが収容された
多段のカセットCが搬入されている。
【0026】容器排出装置18では、搬出コンベヤ15
の排出位置bにカセットC1が載置されると、この搬出
コンベヤ15を駆動してカセットC1を段積み位置fま
で移動して停止する。そして、図10に示すように、昇
降機構16によってカセットC1を持ち上げ、把持機構
17によってカセットC1を把持すると、昇降機構16
は下降する。搬出コンベヤ15の排出位置bに空のカセ
ットC2が載置されると、同様に、搬出コンベヤ15を
駆動してカセットC2を段積み位置fに移動し、昇降機
構16によってカセットC2を持ち上げると共に把持機
構17によるカセットC1の把持を解除してカセットC
2の上に載せる。そして、この把持機構17はカセット
C2を把持することで段積みされたカセットC1,C2
を保持する。このようにして、図11に示すように、カ
セットC1,C2,C3,C4が段積みしていき、段積
みが完了すると、カセットC1,C2,C3,C4を搬
出コンベヤ15によって搬送し、作業者はこの段積みさ
れた空のカセットC1,C2,C3,C4を搬出する。
【0027】このように本実施形態の容器の供給排出装
置にあっては、ディスク取出装置21が取出作業を行う
ターンテーブル19の取出位置cにあるカセットC内の
磁気ディスクDが空になると、ターンテーブル19を割
出回転することで、空になったカセットCを供給排出位
置cに移動すると共にディスクDが入ったカセットCを
取出位置dに移動することができ、このディスク取出装
置21はカセットCの供給排出のための待ち時間なく、
作業を停止せずに連続して磁気ディスクDの取出作業を
行うことができる。そして、1つの容器移載装置20が
ターンテーブル19へのカセットCと容器排出装置18
へのカセットCの排出を行うことで装置の小型化を図れ
る。
【0028】なお、容器供給装置14の搬入コンベヤ1
1と容器排出装置18の搬出コンベヤ15には段積みさ
れたカセットCを所定セットのストックが可能となって
おり、随時、作業者が磁気ディスクDの収容した多段の
カセットCを搬入コンベヤ11に搬入したり、空の多段
のカセットCを搬出コンベヤ15から搬出する必要はな
い。
【0029】また、容器供給装置14と容器排出装置1
8とターンテーブル19と容器移載装置20とディスク
取出装置21などの配置はこの実施形態に限定されるも
のではなく、例えば、容器供給装置14と容器排出装置
18とターンテーブル19との位置を交換してもよいも
のである。
【0030】
【発明の効果】以上、実施形態において詳細に説明した
ように本発明の容器の供給排出装置によれば、搬入コン
ベヤと昇降機構と把持機構とを有して積み重ねられた複
数容器を搬送可能であると共に1つの容器を供給位置に
位置決め可能な容器供給手段と、搬出コンベヤと昇降機
構と把持機構とを有して搬出位置に載置された容器を積
み重ねて搬送可能な容器排出手段と、容器を供給排出位
置と取出位置とに回転位置決め可能なターンテーブル
と、供給位置にある容器をターンテーブルの供給排出位
置に移載すると共に供給排出位置にある空の容器を排出
位置に移載する容器移載手段と、ターンテーブルの取出
位置にある容器から収容物を取り出す収容物取出手段と
を設けたので、容器移載手段がターンテーブルへの容器
の供給と容器排出手段への容器の排出を行うことで装置
の小型化を図ることができると共に、ターンテーブルが
回転することで収容物が入った容器を取出位置に移動す
ると共に空の容器を供給排出位置に移動することがで
き、収容物取出手段は容器の供給排出のための待ち時間
なく、容器の取出作業を停止せずに連続して作業を行う
ことができ、その結果、容器の供給と排出を効率良く行
うことで生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る容器の供給排出装置
の概略図である。
【図2】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図3】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図4】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図5】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図6】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図7】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図8】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図9】本実施形態の容器の供給排出装置による容器供
給排出作業の動作を表す概略図である。
【図10】本実施形態の容器の供給排出装置による容器
供給排出作業の動作を表す概略図である。
【図11】本実施形態の容器の供給排出装置による容器
供給排出作業の動作を表す概略図である。
【符号の説明】
11 搬入コンベヤ 12 昇降機構 13 把持機構 14 容器供給装置 15 搬出コンベヤ 16 昇降機構 17 把持機構 18 容器排出装置 19 ターンテーブル 20 容器移載装置 21 ディスク取出装置(収容物取出手段) C,C1,C2,C3,C4 カセット(容器) D ディスク(収容物)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬入コンベヤの所定位置に昇降機構及び
    把持機構が設けられて積み重ねられた複数容器を搬送可
    能であると共に1つの容器を所定の供給位置に位置決め
    可能な容器供給手段と、搬出コンベヤの所定位置に昇降
    機構及び把持機構が設けられて所定の搬出位置に載置さ
    れた容器を積み重ねて搬送可能な容器排出手段と、容器
    を供給排出位置と取出位置とに回転位置決め可能なター
    ンテーブルと、前記容器供給手段の供給位置にある容器
    を前記ターンテーブルの供給排出位置に移載すると共に
    該供給排出位置にある空の容器を前記容器排出手段の排
    出位置に移載する容器移載手段と、前記ターンテーブル
    の取出位置にある容器から収容物を取り出す収容物取出
    手段とを具えたことを特徴とする容器の供給排出装置。
JP11203098A 1998-04-22 1998-04-22 容器の供給排出装置 Withdrawn JPH11300539A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11203098A JPH11300539A (ja) 1998-04-22 1998-04-22 容器の供給排出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11203098A JPH11300539A (ja) 1998-04-22 1998-04-22 容器の供給排出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11300539A true JPH11300539A (ja) 1999-11-02

Family

ID=14576257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11203098A Withdrawn JPH11300539A (ja) 1998-04-22 1998-04-22 容器の供給排出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11300539A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014100757A (ja) * 2012-11-19 2014-06-05 Yaskawa Electric Corp ロボットシステム、ロボットハンド、ロボット
CN105643231A (zh) * 2016-03-17 2016-06-08 昆明高斯特科技有限公司 一种平板高梯度磁选机的磁组安装方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014100757A (ja) * 2012-11-19 2014-06-05 Yaskawa Electric Corp ロボットシステム、ロボットハンド、ロボット
CN105643231A (zh) * 2016-03-17 2016-06-08 昆明高斯特科技有限公司 一种平板高梯度磁选机的磁组安装方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2539447B2 (ja) 枚葉キャリアによる生産方法
CN109110511B (zh) 一种托盘自动拆码垛机构及自动拆码垛方法
WO2007037397A1 (ja) 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置
TW201935600A (zh) 物品取放裝置及其方法
JPS6224936A (ja) 物品等の自動供給装置
JP4516067B2 (ja) 基板搬出入装置および基板搬出入方法
JPS58212527A (ja) ロボツト処理転換器に使用する物品移送方法及びマガジン装置
JP2017024084A (ja) ワーク搬出入装置および平面加工システム
CN114883226A (zh) 一种半导体晶圆贴磨抛自动化生产线
JPH11300539A (ja) 容器の供給排出装置
US4718967A (en) Control apparatus for reducing adhesive force of adhesive agent adhering between semiconductor wafer and substrate
JP2957787B2 (ja) ワークの移載方法
WO2021179437A1 (zh) 硅片输运装置
JPH08157051A (ja) ワーク体の滞留装置
CN112437977A (zh) 基板处理装置以及基板处理方法
US20030113200A1 (en) Handling device and method for loading and unloading work pieces from trays
JPH07101550A (ja) 物品処理装置
JPS6137626A (ja) 荷卸し装置
JP2680897B2 (ja) レーザ加工システム
CN211529927U (zh) 硅片输运装置
CN217822671U (zh) 一种进出检料仓
CN218143647U (zh) 晶圆存储智能仓
JPH08167641A (ja) カセット搬送装置
JP4209639B2 (ja) ワーク搬送装置及び板材加工システム
JPH0930648A (ja) タイヤパレットの搬送ならびに積載方法及びその装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20050705