JPH11285884A - レーザ切断用ノズルのノズル孔クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノズルに損傷を与えることなく容易かつ確実
にノズル孔のスパッタを除去し得るレーザ切断用ノズル
のノズル孔クリーニング装置を提供すること。 【解決手段】 軸線方向Ｃ１に移動可能な先細のレーザ
切断用ノズル３のノズル孔をクリーニングするためのク
リーニング装置１は、基台６と、ノズル３の軸線Ｃ１に
対して実質上垂直な平面内で基台６に対して移動自在な
可動部７とを有する。可動部７は、ノズル３が嵌め込ま
れる孔部２５を備えこの孔部２５の周壁３１の少なくと
も一部においてノズル３を所定位置で保持するガイド部
２０と、ガイド部２０の孔部２５の軸線Ｃ２上に位置す
る中心軸線Ｃ３を有しノズル孔の開口部よりも小径の先
端部を有するクリーニング部材３８を備えたクリーニン
グ機構３６，３８とを有する。ガイド部２０がクリーニ
ング機構のクリーニング部材３８に対して軸線方向Ｃ２
に沿って近接可能に構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】本発明は、レーザ加工用ノ
ズルのノズル孔のクリーニングに関し、より詳しくはレ
ーザ切断用ノズルのノズル孔のクリーニングに関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザビームによって金属体やセラミッ
ク体などを切断するレーザ切断においては、切断用に細
く絞られた高出力のレーザビームを射出すると共に該ビ
ームの射出部に沿ってアシストガスを噴出させるよう
に、切断工具部は、先細のノズルになっている。このノ
ズルのノズル孔の開口部における径は、アシストガスを
レーザビーム照射部に効果的にあてるべく高々１ｍｍ程
度の細いものである。なお、レーザ切断用ノズルは、レ
ーザ加工機のレーザビーム射出用光学系の一部をなして
おり、その移動方向は、該ノズルの軸線方向に限られ
る。また、レーザ切断用ノズルはレーザの反射光及び切
断部の高熱にさらされるので、放熱し易いように、通常
は、レーザ光に対して反射率の高い銅系の材料が用いら
れる。

【０００３】ところで、レーザ切断においては、アシス
トガスによって抑制してはいても被切断物のスパッタ等
がノズル部に飛散するのを完全には避け難く、レーザ切
断用ノズルの細いノズル孔がスパッタによって部分的に
塞がれて、レーザビームの射出光路の一部が閉じられた
りアシストガスの噴出方向がずれたりして、所定のレー
ザ切断が行い難くなるのを避け難い。

【０００４】レーザ切断用ノズルのノズル孔に付着した
スパッタは、従来、ワイヤーブラシや刃物などで除去し
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、孔径が
１ｍｍ程度と小さく移動可能な方向が実際上制限された
レーザ切断用ノズルの場合、ノズルに損傷を与えること
なくノズル孔のスパッタ物等を十分に除去するのは容易
ではなかった。

【０００６】本発明は、前記諸点に鑑みなされたもので
あって、その目的とするところは、ノズルに損傷を与え
ることなく容易かつ確実にノズル孔のスパッタを除去し
得るレーザ切断用ノズルのノズル孔クリーニング装置を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、前記し
た目的は、軸線方向に移動可能な先細のレーザ切断用ノ
ズルのノズル孔をクリーニングするためのクリーニング
装置であって、基台と、ノズルの前記軸線に対して実質
上垂直な平面内で基台に対して移動自在な可動部とを有
しており、前記可動部は、ノズルが嵌め込まれる孔部を
備え該孔部の周壁の少なくとも一部においてノズルを所
定位置で保持するガイド部と、ガイド部の孔部の軸線上
に位置する中心軸線を有しノズル孔の開口部よりも小径
の先端部を有するクリーニング部材を備えたクリーニン
グ機構とを有しており、前記ガイド部がクリーニング機
構のクリーニング部材に対して前記軸線方向に沿って近
接可能に構成されているレーザ切断用ノズルのノズル孔
クリーニング装置によって達成される。

【０００８】本発明のレーザ切断用ノズルのノズル孔ク
リーニング装置では、「ガイド部が、ノズルの軸線に対
して実質上垂直な平面内で基台に対して移動自在な可動
部」の一部になっているから、ガイド部は、ノズルの軸
線に対して実質上垂直な平面内で基台に対して移動自在
である。また、本発明のクリーニング装置では、ガイド
部は、「ノズルが嵌め込まれる孔部を備え、該孔部の周
壁の少なくとも一部においてノズルを所定位置で保持す
る」ように構成されているから、ノズルをガイド部のと
ころに軸線方向に移動すると、ノズルがガイド部の孔部
の周壁の一部によって所定位置で保持されるまでノズル
が孔部に嵌め込まれるように、ガイド部がノズルの移動
に倣ってノズルの軸線に対して実質上垂直な平面内で基
台に対して移動される。従って、実際上、ノズルの軸線
がガイド部の孔部内を通るようにガイド部を移動させて
おくだけで、ノズルをガイド部の方に軸線方向に移動さ
せてノズルの外周面を孔部の周壁と係合させ、更にノズ
ルを軸線方向に移動させることによって、ノズルをガイ
ド部の孔部の所定位置に嵌め込み得る。更に、本発明の
クリーニング装置では、「ガイド部の孔部の軸線上に位
置する中心軸線を有するクリーニング部材を備えたクリ
ーニング機構」が設けられているので、ノズルをガイド
部の孔部内に所定位置まで嵌め込むだけで、該ノズルの
ノズル孔の軸線がクリーニング機構のクリーニング部材
の中心軸線と自動的に一致し得る。加えて、本発明のク
リーニング装置では、「クリーニング部材がノズル孔の
開口部よりも小径の先端部を有し」且つ「ガイド部がク
リーニング機構のクリーニング部材に対して軸線方向に
沿って近接可能に構成されている」から、ノズルがノズ
ル孔の所定位置に嵌め込まれた状態でノズルをクリーニ
ング部材に向かって更に軸線方向に移動させるだけで、
ノズルはガイド部材と共に該軸線方向に沿って移動さ
れ、ノズル孔の開口部よりも小径のクリーニング部材が
ノズル孔の周壁に損傷を与えることなく確実にノズル孔
に挿入され得、該クリーニング部材によるノズル孔のク
リーニングが行われ得る。

【０００９】ここで、「所定位置」とは、ノズルがガイ
ド部材に保持される状態、すなわちノズルとガイド部材
との相対変位が禁止された状態においてノズルがガイド
部材に対して（又はガイド部材がノズルに対して）一義
的に採る相対位置であって、且つノズルの軸線がガイド
部材の孔部の軸線と一致するような位置をいう。従っ
て、ノズルが所定位置に設定されると、ノズルの軸線
は、孔部の軸線上にあるクリーニング部材の軸線とも一
致する。

【００１０】ガイド部材の孔部は、ノズルが嵌め込まれ
て所定位置で保持され得るような周壁部を有する限り、
その軸線（孔部の実質上中心部において孔部の延在方向
に延びる仮想的な線）を含む断面での形状及び該軸線に
垂直な断面での形状はどのような形状でもよい。例え
ば、孔部の軸線方向に垂直な横断面形状が軸線方向に沿
ってほぼ一定であっても、前記軸線方向に沿って変化し
ていてもよい。前者の場合、ノズルの先細先端部の先端
に触れることなく孔部の入口側の開口端の周壁において
ノズルをその大径の基部側と係合しつつ該大径の基部側
で保持することが可能である。一方、後者の場合、孔部
の周面をノズルの外周面と相補的な形状にすることによ
ってノズルが揺動・変位する虞なくノズルを強固に保持
し得る。従って、両方の利点を併せ持つように、孔部の
軸線方向の一部（例えば、孔部の入口側の一部）におい
て孔部の周面の少なくとも一部をノズルの外周面と相補
的な形状にしてもよい。ノズルの外周面の横断面形状が
円形である場合であっても、孔部の横断面形状は、円形
でも三角形でも四角形や六角形でもよく更に周面の一部
が数箇所で突出したような他の形状でもよい。また、孔
部は、全周が壁部で囲まれる代わりに、周壁の周方向の
一部にノズルの嵌合状態を外部から視認し得るように周
壁の一部が孔部の全長にわたって切欠かれてなるスリッ
トが形成されていてもよい。ノズルの安定な保持を妨げ
ないように周方向の１８０度以上の箇所に、連続的又は
間隔を置いて、周壁として働く部分がある限り、このス
リットの数及び幅の大きさは問わない。

【００１１】本発明のクリーニング装置では、前記可動
部がガイド部をクリーニング機構から離間する方向に偏
倚させる弾性手段を有することが好ましい。この場合、
この弾性手段の剛性を少し高めにしておくことにより、
ガイド部に余り大きな力がかからない間、すなわちノズ
ルをガイド部の孔部に所定位置まで嵌め込むまでの間
は、ガイド部が軸線方向には実際上動かないようにし得
る。一方、ノズルをガイド部の孔部の所定位置に嵌め込
んだ後は、ノズルを弾性手段の弾性力に抗して軸線方向
にある程度以上の力で強制的に移動させることによって
ノズル孔にクリーニング部材を挿入してノズル孔のクリ
ーニングを行うことが可能になる。なお、弾性手段とし
ては、ばねなどの形状に依存する弾性を与えるもので
も、ゴムなどの材料自体に依存する弾性を与えるもので
も種類は問わない。この弾性手段は、ノズル孔のクリー
ニングが完了した際、ガイド部材を手動で又は自動的に
初期位置に戻すのを助ける。なお、本発明のクリーニン
グ装置において、弾性手段を設ける代わりに又は設ける
と共に、孔部の所定位置へのノズルの嵌込みが完了した
らガイド部のクリーニング部材に向かう移動を許容する
ような移動許容手段（移動禁止が解除されるような移動
禁止手段）を設けておいてもよい。

【００１２】本発明のクリーニング装置では、好ましく
は、可動部を初期位置に戻す弾性手段が、可動部と基台
との間に設けられる。この弾性手段の弾性力は、ノズル
に対して該ノズルの軸線方向に垂直な方向に過度な力を
及ぼすことのない程度には弱く、ノズルをガイド部の孔
から外したら可動部を初期位置に戻し得る程度には強い
ものであることが好ましい。

【００１３】本発明のクリーニング装置では、好ましく
は、クリーニング部材がドリルからなる。このドリルは
モータで駆動される。なお、クリーニング部材として
は、スパッタの除去を行い得る限り、他の刃物ないし切
削工具やワイヤやブラシのようなものでもよい。

【００１４】なお、クリーニング部材によるクリーニン
グによってノズル孔の内面から分離されノズル孔内に残
ったスパッタ物は、例えば、アシストガスをノズル孔か
ら吹き出させることによって除去される。なお、クリー
ニング部材によるクリーニング作業の全期間またはその
一部の期間、アシストガスを流しておくようにしてもよ
い。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施の形態を添
付図面に示した実施例に基づいて説明する。

【００１６】

【実施例】図１から図５において、１は水平な床２上に
載置された本発明による好ましい一実施例のクリーニン
グ装置であり、３はクリーニング装置１によってノズル
孔４のクリーニングが行われるべきレーザ切断用ノズル
である。以下では、図２の紙面内の水平方向をＸ軸、図
１の紙面内の水平方向をＹ軸、上下方向をＺ軸とする三
次元直交座標系をとる。Ｘ−Ｙ平面は床面２に一致す
る。

【００１７】ノズル３は、図示しないレーザ加工装置本
体に接続されており、本体の数値制機構により、Ｚ軸方
向に平行なノズル３の軸線Ｃ１に沿って上下方向Ｚ１，
Ｚ２に移動可能である。ノズル３の基部には、アシスト
ガスをノズル孔４の開口部４ａから吹き出させるための
加圧アシストガス供給パイプ５が接続されている。

【００１８】クリーニング装置１は、床２に対して静置
された基台６と、基台６に対してＸ，Ｙ方向に移動可能
な可動部７とを有する。より詳しくは、基台６と可動部
７との間には、基台６に対してＸ方向に並進自在な下側
テーブル８と下側テーブル８に対してＹ方向に並進自在
な上側テーブル９とからなるＸ−Ｙテーブル機構１０が
形成されており、Ｘ−Ｙテーブル機構１０の上側テーブ
ル９は、可動部７の基部プレート１１に固定されて可動
部７の一部をなしている。なお、基台６のＸ方向中央部
にはピン１２が立設されており、ピン１２と下側テーブ
ル８のＸ方向両端部との間には、バネ１３，１４が取り
付けられている。従って、下側テーブル８がＸ方向中央
位置からＸ方向のいずれかの側にずれた場合下側テーブ
ル８はバネ１３，１４によってＸ方向中央位置に向かう
偏倚力を受ける。また、上側テーブル９のＹ方向中央部
にはピン１５が植設されており、ピン１５と下側テーブ
ル８のＹ方向両端部との間には、バネ１６，１７が取り
付けられている。従って、上側テーブル９がＹ方向中央
位置からＹ方向のいずれかの側にずれた場合上側テーブ
ル９はバネ１６，１７によってＹ方向中央位置に向かう
偏倚力を受ける。その結果、上側テーブル９を一体的に
備えた可動部７は、基台６に対してＸ，Ｙ方向に移動自
在であり、且つ可動部７が基台６に対してＸ，Ｙ方向中
央位置（初期位置）からずれた場合、可動部７は基台６
に対して初期位置に戻るような復元力を受ける。なお、
可動部７を基台６に対してＸ−Ｙ平面内で並進可能に支
持する機構は図示のものと異なるどのようなものでもよ
いが、比較的小さい力が働いただけでも可動部７が基台
６に対して並進移動可能であること、すなわち実質的に
並進移動自在であることが好ましい。

【００１９】可動部７は、基部プレート１１上に立設さ
れた枠部１８と、枠部１８の上部に形成されたレール１
９と枠部１８に対してＺ方向に移動可能なレール係合部
のスライド軸２１に係合されたガイド部２０とを有す
る。ガイド部２０は、レール係合部２１が固定されＺ方
向に延びた本体部２２と該本体部２２から水平に張り出
したノズル受部２３とからなり、ノズル受部２３の段差
付開口２４には孔部２５を有するノズルガイド２６が交
換可能に取り付けられている。ガイド部２０の本体部２
２と枠部１８の上端との間にはバネ１３，１４，１６，
１７よりもバネ力の大きい弾性手段としての引張りバネ
２７，２８が装着されている。従って、ガイド部２０に
は常時上端の初期位置への復元力が働いている。なお、
ガイド部２０をＺ方向に移動可能にする構造及び初期位
置への復元力を与える手段は図示のものに限られず、公
知の任意のものでよい。

【００２０】ガイド部２０のノズルガイド２６の孔部２
５は、図３の（ａ）及び図４の（ａ）に示したように、
中心軸線Ｃ２がＺ方向と平行な方向に延びた円筒状であ
り、孔部２５の径Ｄは、ノズル３の先細先端部２９が孔
部２５にＺ２方向に嵌め込まれた際、図３の（ａ）に示
したように、上端開口部３０の周壁３１によってノズル
３の先細先端部２９を大径の基部側で支持するように、
先細先端部２９の基部の最大径部よりも小径である。こ
の図３（ａ）の状態は、孔部２５の径Ｄとノズル３の先
細先端部２９の形状とによって一義的に決まる状態であ
り、ノズル３が図３の（ａ）に示す嵌込み位置（嵌合位
置）を採ると、ノズル３はガイド部２０に対してＺ２方
向には相対変位し得なくなり、ガイド部２０によって保
持されることになる。

【００２１】なお、ガイド部２０のノズルガイド２６の
孔部２５は、その内周面の少なくとも一部でノズル３の
先細先端部２９の外周面の位置を規定して先細先端部２
９を支持し得る限り、例えば、図４の（ｂ）に示したよ
うに凸部３２でノズル３の先細先端部２９を支えるよう
な凹凸のある形状でも、また例えば、図４の（ｃ）に示
したように周壁３１の一部が切欠き３３に沿ってスリッ
ト又はスロット状に切欠かれていてもよい。更に、孔部
２５は、例えば、図３の（ｂ）に示したように、Ｚ方向
下方ほど径が小さくなってノズル３の先細先端部２９の
外周面と相補的な円錐台形状３４を有していてもよい。

【００２２】可動部７の枠部１８の上下方向Ｚの中央部
には、水平に棚部３５が形成され、この棚部３５の下面
にはモータ３６が取り付けられている。モータ３６の出
力軸３７は棚部３５を貫通して上方に延び、この出力軸
３７にクリーニング部材としてのスパッタ除去用ドリル
３８が取り付けられている。当然ながら、ドリル３８の
先端の径はノズル３の先端先細部２９の先端４０におけ
るノズル孔４の径（すなわちノズル孔４の開口部４ａで
の径）よりも小さい。ここで、モータ３６の出力軸３７
及びドリル３８の回転軸線Ｃ３は、ガイド部２０のノズ
ルガイド２６の孔部２５の中心軸線Ｃ２と同一直線上に
ある。ガイド部２０の枠部１８及び基部プレート１１に
対する変位はＺ軸方向に限られているから、ガイド部２
０のＺ方向の位置に係らず、中心軸線Ｃ２，Ｃ３の整列
状態は変わらない。この例では、クリーニング機構は、
モータ３６とドリル３８とからなる。

【００２３】以上の如く構成されたノズル孔クリーニン
グ装置１を用いてレーザ切断用ノズル３のノズル孔４を
クリーニングする場合、まず、ノズル３とガイド部２０
の孔部２５との予備的でラフな位置合せをする。すなわ
ち、ノズル３をガイド部２０の上面３９よりも少し高い
程度のところまでＺ２方向に下げると共にノズル３の先
細先端部２９の先端４０がガイド部２０のガイド２６の
孔部２５の上端開口３０の範囲内に位置するようにガイ
ド部２０を移動させる。ガイド部２０及び枠部１８を含
む可動部７は基台６に対してＸ−Ｙ面内で移動自在であ
るから、単にガイド部２０にわずかな力をかけるだけ
で、ガイド部２０の孔部２５の開口３０をノズル３の先
端４０に対向する位置に移動し得る。このとき、ノズル
３の軸線Ｃ１は開口３０内を通るけれども、孔部２５の
軸線Ｃ２とは通常一致していない。

【００２４】次に、ノズル３をその軸線Ｃ１に沿ってＺ
２方向に移動させる。ノズル３のＺ２方向への移動に伴
い、図５の（ａ）に示したように、ノズル３の先細先端
部２９の外周面の一側が孔部２５の上端開口３０の対向
側部に当接し、該側部を水平面内でＥ方向に押してガイ
ド部２０及び枠部１８を含む可動部７をＥ方向に移動さ
せる。更に、ノズル３のＺ２方向の移動に伴って軸線Ｃ
２（及びＣ３）が軸線Ｃ１に近づくようにガイド部２０
及び枠部１８を含む可動部７が移動され、図５の（ｂ）
に示したような状態を経た後、ノズル３の先細先端部２
９は、図１の符号Ｇで示した所定の嵌合位置（図３の
（ａ）で示した嵌合位置）に達する。ガイド部２０及び
枠部１８などの水平面内での移動に伴いバネ１３，１
４，１６，１７は夫々伸縮され小さい復元力を有する状
態になる。なお、ノズル３が所定位置に装着されるまで
の間ガイド部２０にはＺ２方向の力も働くけれども、ガ
イド部２０は比較的強いバネ２７，２８でＺ１方向に支
えられているから、実際上Ｚ方向には移動しない。な
お、所望ならば、このとき、ガイド部２０がある程度Ｚ
２方向に移動するような程度のばね力のバネを用いても
よい。

【００２５】次に、モータ３６を回転駆動させておき、
ノズル３の先細先端部２９が可動部２０の孔部２５の周
壁３１に所定位置で保持された状態のまま、ノズル３を
バネ２７，２８に抗してＺ２方向に移動させると、ノズ
ル孔４の軸線Ｃ１がドリル３８の回転軸線Ｃ３と一直線
上にあるから、ノズル３の先細先端部２９がドリル３８
の先端に近づいた後、ノズル３の先細先端部２９のノズ
ル孔４内にドリル３８の先端が挿入される。従って、予
め回転駆動させておいたドリル３８によってノズル孔４
内のスパッタ物がノズル３の先細先端部２９の内壁から
除かれる。除去作業の後、ノズル３に加えていたＺ２方
向の力を解除すると、ノズル３はバネ２７，２８の復元
力によってガイド部２０と共にＺ１方向に戻され、図１
の状態に戻る。ここで、所望ならば、パイプ５から加圧
されたアシストガスを吹き込みノズル孔４の開口４ａか
らアシストガスを吹き出させて、ノズル孔４の内壁から
分離された後ノズル孔４内に残っているスパッタ物など
を完全に除去するようにしてもよい。更に、ノズル３を
ガイド部２０の孔部２５から抜くと、ガイド部２０及び
枠部１８を含む可動部７は、バネ１３，１４，１６．１
７によって水平面内の初期位置に戻される。

【００２６】以上のスパッタ物の除去作業において、ノ
ズル３は、実際上、単にＺ方向に移動せしめられただけ
で、該ノズル３のＺ方向移動に追従してノズル３の形状
にガイド部２０が倣って移動することによって、ノズル
３とドリル３８との位置合せ、ドリルの挿入、及びスパ
ッタ物の除去が行われ得ることになる。

【００２７】なお、ノズル３とガイド部２０の孔部２５
との予備的でラフな位置合せをもたらすべきガイド部２
０を含む可動部７のＸ−Ｙ面内における移動を数値制御
機構などによって自動的に行わせると共に、ノズル３の
Ｚ方向移動を自動的に行わせることによって、スパッタ
除去作業の全工程を自動的に行わせるようにしてもよ
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による好ましい一実施例のノズル孔クリ
ーニング装置の側断面説明図。

【図２】図１の装置の正面説明図。

【図３】図１の装置に用いられるガイド部の孔部の断面
説明図で、（ａ）は図１の例の拡大断面図、（ｂ）は変
形例の拡大断面図。

【図４】図１の装置に用いられる孔部の平面形状の説明
図で、（ａ）は図１の例の拡大図、（ｂ）および（ｃ）
は夫々変形例の拡大図。

【図５】図１の装置における位置合わせ際の倣い状況を
説明する断面図で、（ａ）は初期の段階、（ｂ）はより
進行した段階を示す。

【符号の説明】

１ ノズル孔クリーニング装置 ２ 床 ３ ノズル ４ ノズル孔 ４ａ ノズル孔の開口部 ５ アシストガス供給パイプ ６ 基台 ７ 可動部 １０ Ｘ−Ｙテーブル １３，１４，１６，１７ バネ １８ 枠部 ２０ ガイド部 ２３ ノズル受部 ２５ 孔部 ２６ ノズルガイド ２７，２８ バネ ２９ 先細先端部 ３０ 上端（入口端）開口部 ３１ 周壁 ３６ モータ ３８ ドリル ３９ ガイド部上面 ４０ ノズルの先細先端部の先端 Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３ 軸線 Ｄ 直径 Ｅ ガイド部移動方向 Ｚ１，Ｚ２ ノズル方向

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸線方向に移動可能な先細のレーザ切断
   用ノズルのノズル孔をクリーニングするためのクリーニ
   ング装置であって、 基台と、ノズルの前記軸線に対して実質上垂直な平面内
   で基台に対して移動自在な可動部とを有しており、 前記可動部は、ノズルが嵌め込まれる孔部を備え該孔部
   の周壁の少なくとも一部においてノズルを所定位置で保
   持するガイド部と、ガイド部の孔部の軸線上に位置する
   中心軸線を有しノズル孔の開口部よりも小径の先端部を
   有するクリーニング部材を備えたクリーニング機構とを
   有しており、 前記ガイド部がクリーニング機構のクリーニング部材に
   対して前記軸線方向に沿って近接可能に構成されている
   レーザ切断用ノズルのノズル孔クリーニング装置。
2. 【請求項２】 前記可動部が、ガイド部をクリーニング
   機構から離間する方向に偏倚させる弾性手段を有してい
   る請求項１に記載のノズル孔クリーニング装置。
3. 【請求項３】 前記孔部の軸線方向に垂直な横断面形状
   が前記軸線方向に沿ってほぼ一定である請求項１又は２
   に記載のノズル孔クリーニング装置。
4. 【請求項４】 前記孔部の軸線方向に垂直な横断面形状
   が前記軸線方向に沿って変化している請求項１又は２に
   記載のノズル孔クリーニング装置。
5. 【請求項５】 前記孔部の周壁の一部が孔部の全長にわ
   たって切欠かれている請求項１から４までのいずれか一
   つの項に記載のノズル孔クリーニング装置。
6. 【請求項６】 クリーニング部材がドリルからなる請求
   項１から５までのいずれか一つの項に記載のノズル孔ク
   リーニング装置。