JPH11283866A - Electronic component and manufacture therefor - Google Patents

Electronic component and manufacture therefor

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JPH11283866A
JPH11283866A JP10084807A JP8480798A JPH11283866A JP H11283866 A JPH11283866 A JP H11283866A JP 10084807 A JP10084807 A JP 10084807A JP 8480798 A JP8480798 A JP 8480798A JP H11283866 A JPH11283866 A JP H11283866A
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JP
Japan
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electronic component
paste
resistor
terminal electrode
resin
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Withdrawn
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JP10084807A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomoko Uchida
知子 内田
Atsushi Masuda
淳 増田
Katsuhiko Igarashi
克彦 五十嵐
Yasumichi Tokuoka
保導 徳岡
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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Publication of JPH11283866A publication Critical patent/JPH11283866A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simply obtain a resistance function by forming a resistance composed of a conductive layer containing conductive particles and a hardening type resin. SOLUTION: Conductive particles and a hardening type resin are mixed, a diluent is added as needed and a resistance paste is manufactured by kneading them. The resistance paste obtained in this way is formed in a prescribed shape such as the terminal electrode parts, etc., of a circuit board and a chip component and is hardened by a hardening method that matches with the resin type. As the hardening type resin, thermosetting resin is used. When the electronic component is a stacked type chip component, the resistance paste is applied on the exposed edge plane of the inner electrode of the chip component, and the paste is hardened to provide a CR composite electronic component having a resistance function. In the case of providing the terminal electrode of the electronic component with the resistance, the terminal electrode is composed of a double-layer structure so as to have sure conduction with the inner electrode.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は導電性粒子と硬化型
樹脂とを含む導電層からなる抵抗体を有する電子部品に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component having a resistor composed of a conductive layer containing conductive particles and a curable resin.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、回路配線基板等には通常抵抗体と
して酸化ルテニウム、酸化スズ、窒化タンタル等が用い
られてきた。これはいずれもそれら導電性粒子と、ガラ
スとバインダーを混合してペースト化し、所定の位置、
形状に印刷等して形成し、600℃以上の高温で基板に
焼き付ける方法が採られてきた。しかしながら、これら
は焼き付け温度によって抵抗値が変化しやすく、特に雰
囲気制御を必要とする焼き付けのような場合に抵抗値の
バラツキが大きくなる。また、ガラスを多量に含んでい
るために、他部品を形成するための焼き付けが再度行わ
れた場合、ガラスがこの影響により基板内へと拡散し、
抵抗値も大きく変動してしまう。また、焼き付けは熱エ
ネルギーを多く放出するために、資源的にもコスト的に
も不利である。
2. Description of the Related Art Conventionally, ruthenium oxide, tin oxide, tantalum nitride and the like have been used as resistors in circuit wiring boards and the like. This is a mixture of these conductive particles, glass and binder to make a paste,
A method has been adopted in which the substrate is formed by printing or the like on a shape and is baked at a high temperature of 600 ° C. or higher. However, the resistance value of these materials tends to change depending on the baking temperature, and the variation in the resistance value is particularly large in the case of baking requiring atmosphere control. Also, due to the large amount of glass, if baking to form another part is performed again, the glass diffuses into the substrate due to this effect,
The resistance value also fluctuates greatly. In addition, baking emits a large amount of heat energy, which is disadvantageous in terms of resources and costs.

【0003】このような事情から、導電性樹脂、あるい
は導電性接着剤なる製品が市場に出つつある。しかしな
がら、これらは主に端子電極の代わり、あるいはハンダ
の代替として用いられるために、導電性が高いことを目
的としており、抵抗体としての機能は考慮されていな
い。
[0003] Under such circumstances, products made of a conductive resin or a conductive adhesive are on the market. However, since these are mainly used as substitutes for terminal electrodes or substitutes for solder, they are intended to have high conductivity, and their functions as resistors are not considered.

【0004】そのため、抵抗の機能を有する部品を作製
するためには、上記に示した焼き付け法以外にないのが
現状である。
[0004] Therefore, at present, there is no other method for producing a component having a resistance function than the above-described printing method.

【0005】また、最近の電子機器の多くには、電源と
してスイッチング電源やDC−DCコンバータが用いら
れている。これら電源に用いられるコンデンサには電源
バイパス用のコンデンサがある。この電源バイパス用の
コンデンサは、その電源容量やスイッチング周波数、併
用される平滑コイル等の回路パラメータに応じて、低容
量の積層セラミックコンデンサと、高容量のアルミある
いはタンタル等の電解コンデンサが用いられてきた。と
ころで、近年の積層セラミックコンデンサでは、誘電体
および内部導体の薄層化、積層化技術の進展にともな
い、積層セラミックコンデンサの静電容量が電解コンデ
ンサと同等になってきており、電解コンデンサを積層セ
ラミックコンデンサに置き換えようとする試みがなされ
ている。しかしながら、積層セラミックコンデンサを電
解コンデンサに置き換えた場合、積層セラミックコンデ
ンサの使用周波数帯におけるインピーダンスが低すぎ
る、すなわち等価直列抵抗(ESR)が低すぎるため
に、三端子レギュレーションの入力電圧のステップ状の
変動により、出力電力の波形の乱れが生じる。また電解
コンデンサを使用した場合、インピーダンスは積層セラ
ミックコンデンサよりも大きいものの、インピーダンス
が大きすぎるために、発熱が生じやすくなり、また電源
ラインの平滑性も悪くなる。
[0005] In addition, switching power supplies and DC-DC converters are used as power supplies in many recent electronic devices. Capacitors used for these power supplies include power supply bypass capacitors. For the power supply bypass capacitor, a low-capacity multilayer ceramic capacitor and a high-capacity electrolytic capacitor such as aluminum or tantalum have been used according to the power supply capacity, switching frequency, and circuit parameters such as a smoothing coil used in combination. Was. By the way, in recent multilayer ceramic capacitors, the capacitance of multilayer ceramic capacitors has become equivalent to that of electrolytic capacitors with the progress of thinning of dielectrics and internal conductors and development of lamination technology. Attempts have been made to replace them with capacitors. However, when the multilayer ceramic capacitor is replaced with an electrolytic capacitor, the impedance of the multilayer ceramic capacitor in the operating frequency band is too low, that is, the equivalent series resistance (ESR) is too low, so that the step voltage of the input voltage of the three-terminal regulation changes. As a result, the waveform of the output power is disturbed. When an electrolytic capacitor is used, although the impedance is larger than that of the multilayer ceramic capacitor, heat is easily generated because the impedance is too large, and the smoothness of the power supply line is also deteriorated.

【0006】そこで通常の積層セラミックコンデンサの
等価直列抵抗(ESR)を高めた電子部品が提案されて
いる。例えば、特許第2578264号では、外部電極
の表面に金属酸化膜を形成し、これを抵抗として機能さ
せることにより、ESRを高めており、その酸化膜厚で
抵抗値を制御しようとしている。しかしながら、この方
法では、端子電極の酸化の制御は非常に難しく、酸化の
程度が少しでも大きいと、内部電極も酸化されてしま
い、コンデンサとしての機能を果たすことができなくな
る。また、端子電極のみを酸化することができても、端
子電極が酸化されているために、メッキを行う際に無電
解メッキでメッキ被膜を形成しているが、この方法では
メッキの際にセラミック素体をメッキされないように樹
脂等で被覆する必要があり、工程が複雑になるばかりで
なく、酸化物とNi膜間の接着性が著しく低下するため
に、その間で剥離が生じてしまい、電子部品としての必
要十分な機械的強度が得られないという欠点がある。
Therefore, there has been proposed an electronic component in which the equivalent series resistance (ESR) of a conventional multilayer ceramic capacitor is increased. For example, in Japanese Patent No. 2578264, a metal oxide film is formed on the surface of an external electrode and this is used as a resistor to increase the ESR, and the resistance value is controlled by the oxide film thickness. However, in this method, it is very difficult to control the oxidation of the terminal electrode, and if the degree of oxidation is a little too large, the internal electrode is also oxidized and cannot function as a capacitor. Even if only the terminal electrodes can be oxidized, the plating is formed by electroless plating when plating because the terminal electrodes are oxidized. It is necessary to cover the element body with a resin or the like so as not to be plated, which not only complicates the process, but also significantly reduces the adhesiveness between the oxide and the Ni film. There is a drawback that necessary and sufficient mechanical strength as a part cannot be obtained.

【0007】また、例えば特開昭59−225509号
公報に記載されているように、積層セラミックコンデン
サに、酸化ルテニウム等の抵抗体ペーストを積層し、こ
れを同時焼成して抵抗体を形成している。しかし、これ
ではそのまま端子電極を設けた場合、等価回路がC/
R、または(LC)/Rの並列回路となり、直列回路を
得ることができない。また、直列回路を得るためには、
端子電極形状が複雑となり、製造工程も複雑となる。さ
らに、抵抗体には通常ガラスが含まれており、このガラ
スはメッキ液に容易に溶解してしまう。このためメッキ
をする場合には抵抗体をメッキ液に晒さないように樹脂
等でコーティングする必要があり、工程数も多くなる。
Further, as described in, for example, JP-A-59-225509, a resistor paste such as ruthenium oxide is laminated on a multilayer ceramic capacitor, and this is simultaneously fired to form a resistor. I have. However, in this case, when the terminal electrode is provided as it is, the equivalent circuit is C /
It becomes a parallel circuit of R or (LC) / R, and a serial circuit cannot be obtained. Also, to obtain a series circuit,
The shape of the terminal electrode is complicated, and the manufacturing process is also complicated. Further, the resistor usually contains glass, and this glass is easily dissolved in the plating solution. Therefore, when plating, it is necessary to coat the resistor with a resin or the like so as not to expose the resistor to the plating solution, and the number of steps is increased.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような事
情からなされたものであり、本発明の目的は、硬化型樹
脂を用いて低温で抵抗体を形成するすることにより、抵
抗機能を備えた電子部品を簡単に製造することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made under such circumstances, and an object of the present invention is to provide a resistor having a resistance function by forming a resistor at a low temperature using a curable resin. To easily manufacture electronic components.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】このような目的は下記
(1)〜(7)の本発明により達成される。
This and other objects are achieved by the present invention which is defined below as (1) to (7).

【0010】(1) 導電性粒子と硬化型樹脂とを含む
導電層からなる抵抗体を有する電子部品。
(1) An electronic component having a resistor composed of a conductive layer containing conductive particles and a curable resin.

【0011】(2) 前記導電性粒子が金属または半導
体の一種以上である(1)の電子部品。
(2) The electronic component according to (1), wherein the conductive particles are at least one of a metal and a semiconductor.

【0012】(3) 前記硬化型樹脂が熱硬化型樹脂で
ある(1)または(2)の電子部品。
(3) The electronic component according to (1) or (2), wherein the curable resin is a thermosetting resin.

【0013】(4) 前記電子部品がチップコンデンサ
であって、端子電極の少なくとも一方が導電性粒子と硬
化型樹脂とを含む導電層からなる抵抗体を有している
(1)〜(3)の電子部品。
(4) The electronic component is a chip capacitor, and at least one of the terminal electrodes has a resistor made of a conductive layer containing conductive particles and a curable resin (1) to (3). Electronic components.

【0014】(5) 前記電子部品がチップコンデンサ
であって、端子電極の少なくとも一方が2層からなり、
内部電極と接する側から第1端子電極層、第2端子電極
層としたとき、第2電極層が導電性粒子と硬化型樹脂と
を含む導電層からなる抵抗体である(4)の電子部品。
(5) The electronic component is a chip capacitor, wherein at least one of the terminal electrodes comprises two layers,
When the first terminal electrode layer and the second terminal electrode layer are formed from the side in contact with the internal electrode, the electronic component according to (4), wherein the second electrode layer is a resistor made of a conductive layer containing conductive particles and a curable resin. .

【0015】(6) 等価回路がCRまたは(LC)R
直列回路を有する(4)または(5)の電子部品。
(6) The equivalent circuit is CR or (LC) R
The electronic component according to (4) or (5) having a series circuit.

【0016】(7) 導電性粒子と硬化型樹脂とを含む
ペーストを塗布し、硬化させることにより抵抗体を形成
することを特徴とする(1)〜(6)の電子部品の製造
方法。
(7) The method for producing an electronic component according to (1) to (6), wherein a paste containing conductive particles and a curable resin is applied and cured to form a resistor.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下に発明の詳細を説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below.

【0018】本発明は、抵抗機能を備えた電子部品に関
するものである。本発明の電子部品は、導電性粒子と硬
化型樹脂とを含む導電層からなる抵抗体を有する。
The present invention relates to an electronic component having a resistance function. The electronic component of the present invention has a resistor composed of a conductive layer containing conductive particles and a curable resin.

【0019】抵抗成分となる導電性粒子としては特に限
定される必要はなく、導電性を示す物質、例えば金属、
半導体(酸化物、窒化物等)等が挙げられる。具体的に
は、Ag、Cu、Au、Ni、Mn、Si、Ru2O、
SnO、ZnO、Cu2O、CuO、NiO、TaN等
を用いることができる。導電性粒子の抵抗率、導電性粒
子と硬化型樹脂の配合比を変えることで所望の抵抗値を
容易に得ることができる。
The conductive particles serving as the resistance component need not be particularly limited, and may be a substance exhibiting conductivity, for example, metal,
Semiconductors (oxides, nitrides, etc.); Specifically, Ag, Cu, Au, Ni, Mn, Si, Ru 2 O,
It can be used SnO, ZnO, Cu 2 O, CuO, NiO, TaN, or the like. A desired resistance value can be easily obtained by changing the resistivity of the conductive particles and the mixing ratio of the conductive particles and the curable resin.

【0020】本発明に用いる硬化型樹脂は熱硬化型、紫
外線硬化型等のいずれを用いてもかまわない。ただし、
コスト、量産性の点から熱硬化型樹脂が好ましく、この
場合には例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メラミ
ン樹脂、フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、
不飽和ポリエステル樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂
等が用いられる。
As the curable resin used in the present invention, any of a thermosetting resin, an ultraviolet curable resin, and the like may be used. However,
From the viewpoint of cost and mass productivity, a thermosetting resin is preferable. In this case, for example, an epoxy resin, an acrylic resin, a melamine resin, a phenol resin, a resol type phenol resin,
Unsaturated polyester resin, fluororesin, silicone resin and the like are used.

【0021】抵抗体の形成方法は以下の通りである。導
電性粒子と硬化型樹脂とを混合し、必要に応じて希釈剤
を添加し、これらを混練して抵抗体ペーストを作製す
る。希釈剤は特に限定されるものではなく、上記樹脂に
適したものを用いればよい。このようにして得た抵抗体
ペーストを、スクリーン印刷法、転写法、ディッピング
法等によって、回路基板やチップ部品の端子電極部等に
所定形状に形成し、樹脂の種類にあわせた硬化方法によ
って硬化することによって抵抗体を形成できる。硬化型
樹脂として熱硬化型樹脂を用いた場合、熱硬化の条件は
樹脂によって異なるが、通常100〜250℃で10〜
60分程度である。
The method for forming the resistor is as follows. The conductive particles and the curable resin are mixed, a diluent is added as necessary, and these are kneaded to produce a resistor paste. The diluent is not particularly limited, and a diluent suitable for the above resin may be used. The resistor paste thus obtained is formed into a predetermined shape on a terminal electrode portion of a circuit board or a chip component by a screen printing method, a transfer method, a dipping method, etc., and cured by a curing method according to the type of resin. By doing so, a resistor can be formed. When a thermosetting resin is used as the curable resin, the conditions of thermosetting differ depending on the resin, but are usually 10 to 100 ° C. to 250 ° C.
It takes about 60 minutes.

【0022】本発明に使用される抵抗体の抵抗値は、抵
抗体ペースト中の導電性粒子の量や異なる抵抗値を持つ
導電粒子の配合量で任意に設定することができる。
The resistance value of the resistor used in the present invention can be arbitrarily set by the amount of the conductive particles in the resistor paste and the amount of the conductive particles having different resistance values.

【0023】次に本発明に使用される抵抗体を電子部品
に応用した例を示す。
Next, an example in which the resistor used in the present invention is applied to an electronic component will be described.

【0024】電子部品が積層型チップ部品である場合、
チップ部品の内部電極の露出した端面に、前記抵抗体ペ
ーストを塗布し、ペーストを硬化することにより抵抗機
能を設けたCR複合電子部品とすることができる。ただ
し、このように電子部品の端子電極に抵抗体を設ける場
合は、内部電極との導通をより確実にするために端子電
極を2層構造とすることが好ましい。内部電極と接続す
る側から第1端子電極層、第2端子電極層としたとき、
第1端子電極層を従来のチップ部品に使用される端子電
極用ペーストを塗布、焼き付けすることにより形成し、
この上に第2端子電極層を形成する。ここで、第2端子
電極層として前記抵抗体ペーストを塗布し、所定の条件
で硬化することにより、第2端子電極層を形成する。こ
のようにして端子に抵抗体の機能が付与された電子部品
が製造される。具体的には、CR複合電子部品、(L
C)R複合電子部品、チップ抵抗体等が製造される。
When the electronic component is a multilayer chip component,
By applying the resistor paste to the exposed end surfaces of the internal electrodes of the chip component and curing the paste, a CR composite electronic component having a resistance function can be obtained. However, when the resistor is provided on the terminal electrode of the electronic component as described above, it is preferable that the terminal electrode has a two-layer structure in order to further ensure conduction with the internal electrode. When the first terminal electrode layer and the second terminal electrode layer are formed from the side connected to the internal electrode,
Forming a first terminal electrode layer by applying and baking a terminal electrode paste used for a conventional chip component;
A second terminal electrode layer is formed thereon. Here, the resistor paste is applied as a second terminal electrode layer and cured under predetermined conditions to form a second terminal electrode layer. In this way, an electronic component having a terminal function of a resistor is manufactured. Specifically, CR composite electronic components, (L
C) R composite electronic components, chip resistors, etc. are manufactured.

【0025】通常、電子部品は端子電極をハンダ付けす
ることにより基板等に実装される。このため、半田接着
性を得るためには端子電極表面にメッキが施される。本
発明の場合は抵抗体にメッキが形成されることになる
が、メッキの形成方法は特に限定されない。従来より公
知の電解メッキ法が使用できるため、端子電極とメッキ
層間の接着性が大きくなる。また、無電解メッキ法、あ
るいは乾式メッキ法(スパッタ、蒸着等いわゆる真空薄
膜形成技術)を用いた方法でもメッキ膜が形成できるこ
とは言うまでもない。メッキ層は特に限定されないが、
通常、Ni層を形成した後、Sn、もしくはSn−Pb
合金層が形成されるが、Ni層上にSn層そ形成するこ
とがより好ましい。
Normally, electronic components are mounted on a board or the like by soldering terminal electrodes. Therefore, in order to obtain solder adhesiveness, the surface of the terminal electrode is plated. In the case of the present invention, plating is formed on the resistor, but the plating formation method is not particularly limited. Since a conventionally known electrolytic plating method can be used, the adhesion between the terminal electrode and the plating layer is increased. Needless to say, a plating film can also be formed by a method using an electroless plating method or a dry plating method (a so-called vacuum thin film forming technique such as sputtering or vapor deposition). The plating layer is not particularly limited,
Usually, after forming a Ni layer, Sn or Sn-Pb
Although an alloy layer is formed, it is more preferable to form a Sn layer on a Ni layer.

【0026】なお、抵抗体ペースト中の導電性粒子とし
てCu、Ni、Ag、Sn、Zn、In、Bi、Pb等
を含有することで、メッキをせずに抵抗体に直接ハンダ
付けすることも可能となる。
By including Cu, Ni, Ag, Sn, Zn, In, Bi, Pb, etc. as conductive particles in the resistor paste, it is possible to directly solder the resistor without plating. It becomes possible.

【0027】また、本発明に用いる抵抗体ペーストは、
抵抗体の電気的接続を確保するためのハンダの代わりと
しても用いることができる。例えば、各種の端子電極部
にハンダの代わりに本発明のペーストを形成し、硬化さ
せることで基板や配線、あるいは他の部品との機械的接
着および電気的接続を確保できると同時に、抵抗機能を
持たせることができる。
The resistor paste used in the present invention is as follows:
It can be used as a substitute for solder for securing electrical connection of the resistor. For example, the paste of the present invention is formed in place of solder on various terminal electrode portions, and by curing the paste, mechanical adhesion and electrical connection with a substrate, wiring, or other components can be ensured, and at the same time, a resistance function is obtained. You can have.

【0028】このように本発明によれば、硬化型樹脂を
用いて抵抗体を形成するため、高温での抵抗体の焼き付
けが必要なくなり、抵抗機能を備えた電子部品を簡単に
作製することができる。
As described above, according to the present invention, since the resistor is formed by using the curable resin, it is not necessary to burn the resistor at a high temperature, and it is possible to easily manufacture an electronic component having a resistance function. it can.

【0029】次に本発明の電子部品の製造方法として、
ここでは積層型チップコンデンサに抵抗機能を付与した
CR複合電子部品を例にあげて説明する。
Next, as a method for manufacturing an electronic component of the present invention,
Here, a CR composite electronic component having a multilayer chip capacitor provided with a resistance function will be described as an example.

【0030】このCR複合電子部品は、ペーストを用い
た通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製
して焼結し、この焼結体チップの端子電極の少なくとも
一方に、導電性粒子と硬化型樹脂とを含む導電層からな
る抵抗体を形成することにより製造される。
In this CR composite electronic component, a green chip is produced and sintered by a normal printing method or sheet method using a paste, and at least one of the terminal electrodes of the sintered chip has conductive particles and hardened particles. It is manufactured by forming a resistor made of a conductive layer containing a mold resin.

【0031】[誘電体層用ペースト]誘電体層用ペース
トは、誘電体原料と有機ビヒクルとを混練して製造され
る。
[Dielectric Layer Paste] The dielectric layer paste is produced by kneading a dielectric material and an organic vehicle.

【0032】誘電体原料には、誘電体層の組成に応じた
粉末を用いる。誘電体材料としては特に限定されるもの
ではなく、種々の誘電体材料を用いてよいが、例えば、
酸化チタン、チタン酸系複合酸化物、あるいはこれらの
混合物等が好ましい。酸化チタン系としては、必要に応
じてNiO、CuO、Mn34、Al23、MgO、S
iO2等を総計0.001〜30wt%程度添加したT
iO2系が、チタン酸系複合酸化物としては、チタン酸
バリウムBaTiO3等が挙げられる。Ba/Tiの原
子比は0.95〜1.20程度がよく、BaTiO3
は、MgO、CaO、Mn34、Y23、V25、Zn
O、ZrO2、Nb25、Cr23、Fe23、P
25、Na2O、K2O等が総計0.001〜30wt%
程度添加されていてもよい。また、焼成温度、線膨張率
の調整のため、(BaCa)SiO2ガラス等のガラス
が添加されていてもよい。
As the dielectric material, a powder according to the composition of the dielectric layer is used. The dielectric material is not particularly limited, and various dielectric materials may be used.
Titanium oxide, titanate-based composite oxides, and mixtures thereof are preferred. As the titanium oxide, NiO, CuO, Mn 3 O 4 , Al 2 O 3 , MgO, S
T with a total of about 0.001 to 30 wt% of iO 2 etc.
Barium titanate BaTiO 3 or the like is used as the TiO 2 -based and titanate-based composite oxide. The atomic ratio of Ba / Ti may be about 0.95 to 1.20, the BaTiO 3, MgO, CaO, Mn 3 O 4, Y 2 O 3, V 2 O 5, Zn
O, ZrO 2 , Nb 2 O 5 , Cr 2 O 3 , Fe 2 O 3 , P
2 O 5 , Na 2 O, K 2 O, etc. total 0.001 to 30 wt%
It may be added to some extent. Further, glass such as (BaCa) SiO 2 glass may be added for adjusting the firing temperature and the coefficient of linear expansion.

【0033】誘電体原料の製造方法は特に限定されず、
例えばチタン酸バリウムを用いる場合、水熱合成したB
aTiO3に、副成分原料を混合する方法を用いること
ができる。また、BaCO3とTiO2と副成分原料との
混合物を仮焼して固相反応させる乾式合成法を用いても
よい。また、共沈法、ゾル・ゲル法、アルカリ加水分解
法、沈殿混合法等により得た沈殿物と副成分原料との混
合物を仮焼して合成してもよい。なお、副成分には、酸
化物や、焼成により酸化物となる各種化合物、例えば、
炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合
物等の少なくとも1種を用いることができる。
The method for producing the dielectric material is not particularly limited.
For example, when barium titanate is used, hydrothermally synthesized B
It is possible to use a method of mixing a sub-component raw material with aTiO 3 . Alternatively, a dry synthesis method in which a mixture of BaCO 3 , TiO 2, and auxiliary component raw materials is calcined to cause a solid phase reaction may be used. Further, a mixture of a precipitate obtained by a coprecipitation method, a sol-gel method, an alkali hydrolysis method, a precipitation mixing method, and the like and a subcomponent material may be calcined to synthesize. In addition, as an auxiliary component, an oxide or various compounds that become an oxide upon firing, for example,
At least one of a carbonate, an oxalate, a nitrate, a hydroxide, an organometallic compound and the like can be used.

【0034】誘電体材料の平均粒径は、目的とする誘電
体層の平均結晶粒径に応じて決定すればよいが、通常、
平均粒子径0.3〜1.0μm程度の粉末を用いる。
The average particle size of the dielectric material may be determined according to the target average crystal grain size of the dielectric layer.
A powder having an average particle diameter of about 0.3 to 1.0 μm is used.

【0035】誘電体用ペーストは、誘電体原料と有機ビ
ヒクルとを混練して製造される。
The dielectric paste is produced by kneading a dielectric material and an organic vehicle.

【0036】有機ビヒクルは、バインダーを有機溶剤中
に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダ
ーは特に限定されず、エチルセルロース等の通常の各種
バインダーから適宜選択すればよい。また、用いる有機
溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法、利用する方
法に応じて、ターピネオール、ブチルカルビトール、ア
セトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すれば
よい。
The organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from ordinary various binders such as ethyl cellulose. The organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene according to a printing method, a sheet method, and a method to be used.

【0037】誘電体層の一層あたりの厚さは特に限定さ
れないが、通常5〜20μm程度である。また、誘電体
層の積層数は、通常、2〜300程度とする。
The thickness of one dielectric layer is not particularly limited, but is usually about 5 to 20 μm. The number of stacked dielectric layers is usually about 2 to 300.

【0038】[内部電極用ペースト]内部電極用ペース
トの導電材は特に限定されないが、Ni、Cuより選ば
れる少なくとも一種以上からなることが好ましい。ま
た、誘電体層構成材料に耐還元性を有するものを使用す
ることで、安価な卑金属を用いることができる。このた
め、導電材としては、特にNiあるいはNi合金が好ま
しい。Ni合金としては、Mn、Cr、Co、Al等か
ら選択される1種以上の元素とNiの合金が好ましく、
合金中のNi含有量は95wt%以上であることが好ま
しい。なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微
量成分が0.1wt%程度以下含まれていてもよい。
[Paste for Internal Electrode] The conductive material of the paste for internal electrode is not particularly limited, but is preferably made of at least one selected from Ni and Cu. In addition, by using a material having reduction resistance as the dielectric layer constituting material, an inexpensive base metal can be used. Therefore, Ni or a Ni alloy is particularly preferable as the conductive material. As the Ni alloy, an alloy of one or more elements selected from Mn, Cr, Co, Al, and the like and Ni is preferable,
The Ni content in the alloy is preferably at least 95 wt%. In addition, various trace components such as P may be contained in Ni or Ni alloy in an amount of about 0.1 wt% or less.

【0039】内部電極用ペーストは、上記した各種導電
性金属や合金、あるいは焼成後に上記した導電材となる
各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と上記した
有機ビヒクルとを混練して調整する。
The internal electrode paste is prepared by kneading the above-mentioned various conductive metals and alloys, or the above-mentioned various conductive oxides, organometallic compounds, resinates and the like and the above-mentioned organic vehicle after firing.

【0040】内部電極層の厚さは用途に応じて適宜決定
すればよいが、0.5〜5μm程度であることが好まし
い。
The thickness of the internal electrode layer may be appropriately determined according to the application, but is preferably about 0.5 to 5 μm.

【0041】[第1端子電極層用ペースト]積層型チッ
プコンデンサの端子電極に抵抗体を設ける場合、内部電
極との導通をより確実にするために端子電極を2層構造
とすることが好ましい。内部電極と接続する側から第1
端子電極層、第2端子電極層とし、第1端子電極層とし
て以下に示す端子電極用ペーストを塗布、焼き付けする
ことにより形成し、この上に第2端子電極層を形成す
る。
[Paste for First Terminal Electrode Layer] When a resistor is provided on the terminal electrode of the multilayer chip capacitor, it is preferable that the terminal electrode has a two-layer structure in order to further ensure conduction with the internal electrodes. First from the side connected to the internal electrode
A terminal electrode layer and a second terminal electrode layer are formed, and a first terminal electrode layer is formed by applying and baking the following terminal electrode paste, and a second terminal electrode layer is formed thereon.

【0042】端子電極用ペーストは、導電材とガラスフ
リットと有機ビヒクルとを含む。前記導電材はAg、A
u、Pt、Pd、Cu、Niから少なくとも一種以上か
ら選ばれるが、安価であることからCu、Ni、あるい
はそれら合金が好ましく、特にCuがより好ましい。こ
れら導電材に、焼結助剤、あるいはチップ素体との接着
を確保するためにガラスフリットが添加される。
The terminal electrode paste contains a conductive material, a glass frit, and an organic vehicle. The conductive material is Ag, A
It is selected from at least one of u, Pt, Pd, Cu, and Ni, but is preferably Cu, Ni, or an alloy thereof, and particularly preferably Cu, because of its low cost. A sintering aid or a glass frit is added to these conductive materials to ensure adhesion to the chip body.

【0043】導電材の平均粒径は0.01〜10μmと
する。これよりも粒径が小さい場合、導電材粒子の凝集
が激しくなり、端子電極ペーストの塗布、乾燥時に、あ
るいは焼成時に、端子電極にクラックが生じやすくな
り、これよりも粒径が大きい場合、ペースト化が困難と
なる。また、ガラスフリットの平均粒径は0.01〜3
0μmとする。これよりも粒径が小さいと導電材の焼結
が不均一となり、端子電極にクラックを発生させる原因
となり、これよりも大きいと、ガラスの分散が悪くな
り、端子電極と素体との接着性が低下する。
The average particle size of the conductive material is 0.01 to 10 μm. When the particle size is smaller than this, the conductive material particles are strongly agglomerated, and the terminal electrode is easily cracked during application, drying, or firing of the terminal electrode paste. Becomes difficult. The average particle size of the glass frit is 0.01 to 3
0 μm. If the particle size is smaller than this, the sintering of the conductive material becomes non-uniform, causing cracks in the terminal electrode. If the particle size is larger than this, the dispersion of the glass deteriorates, and the adhesion between the terminal electrode and the element body becomes poor. Decrease.

【0044】これら導電材およびガラスフリットをビヒ
クル中に分散して端子電極用ペーストを得る。
The conductive material and the glass frit are dispersed in a vehicle to obtain a terminal electrode paste.

【0045】ガラスフリット組成は、特に限定されるも
のではない。ただし導電材にCuを用いた場合は中性、
あるいは還元性雰囲気で第1端子電極層を焼成する必要
上、それら雰囲気下でもガラスの機能を果たすものであ
ることが必要である。このようなものとしては例えば、
ケイ酸ガラス(SiO2:20〜80wt%、Na2O:
80〜20wt%)、ホウケイ酸ガラス(B23:5〜
50wt%、SiO2:5〜70wt%、PbO:0.
1〜10wt%、K2O:1〜15wt%)、アルミナ
珪酸ガラス(Al23:1〜30wt%、SiO2:1
0〜60wt%、Na2O:5〜15wt%、CaO:
1〜20wt%、B23:5〜30wt%)から選択さ
れるガラスフリットの一種または二種以上を用いればよ
い。これに必要に応じて、CaO:0.01〜50wt
%、SrO:0.01〜70wt%、BaO:0.01
〜50wt%、MgO:0.01〜5wt%、ZnO:
0.01〜70wt%、PbO:0.01〜5wt%、
Na2O:0.01〜10wt%、K2O:0.01〜1
0wt%、MnO2:0.01〜20wt%等の添加物
を所定の組成比になるように混合して用いればよい。金
属成分に対するガラスの含有量は特に限定されるもので
はないが、通常、金属成分に対して、0.5〜15wt
%程度である。
The glass frit composition is not particularly limited. However, when Cu is used for the conductive material, it is neutral,
Alternatively, since the first terminal electrode layer needs to be fired in a reducing atmosphere, the first terminal electrode layer needs to function as glass even in such an atmosphere. Such as, for example,
Silicate glass (SiO 2 : 20-80 wt%, Na 2 O:
80~20wt%), borosilicate glass (B 2 O 3: 5~
50 wt%, SiO 2 : 5 to 70 wt%, PbO: 0.
1~10wt%, K 2 O: 1~15wt %), alumina silicate glass (Al 2 O 3: 1~30wt% , SiO 2: 1
0~60wt%, Na 2 O: 5~15wt %, CaO:
1~20wt%, B 2 O 3: one or may be used two or more glass frits selected from 5-30 wt%). If necessary, CaO: 0.01 to 50 wt.
%, SrO: 0.01 to 70 wt%, BaO: 0.01
-50 wt%, MgO: 0.01-5 wt%, ZnO:
0.01 to 70 wt%, PbO: 0.01 to 5 wt%,
Na 2 O: 0.01 to 10 wt%, K 2 O: 0.01 to 1
Additives such as 0 wt% and MnO 2 : 0.01 to 20 wt% may be mixed and used so as to have a predetermined composition ratio. The content of glass with respect to the metal component is not particularly limited, but is usually 0.5 to 15 wt.
%.

【0046】有機ビヒクルとしては上述のものを用いれ
ばよい。
As the organic vehicle, those described above may be used.

【0047】[有機ビヒクルの含有量]上記した各ペー
スト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常
の含有量、例えばバインダーは1〜5wt%程度、溶剤
は10〜50wt%とすればよい。また、各ペースト中
には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁
体等から選択される添加物が含有されていてもよい。こ
れらの総含有量は、10wt%以下とすることが好まし
い。
[Content of Organic Vehicle] The content of the organic vehicle in each of the above-mentioned pastes is not particularly limited. If the usual content, for example, about 1 to 5 wt% of the binder and 10 to 50 wt% of the solvent, Good. Further, each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like, as necessary. The total content of these is preferably set to 10 wt% or less.

【0048】[第2電極層用ペースト(抵抗体ペース
ト)]第2電極層用ペーストとして、抵抗体ペーストを
用いる。抵抗体ペーストは導電性粒子と硬化型樹脂とか
ら構成される。導電性粒子および硬化型樹脂と、必要に
応じてこれに希釈剤を添加し、これらを混練することに
より抵抗体ペーストが得られる。導電性粒子としては、
金属、半導体(酸化物、窒化物等)が用いられる。導電
性粒子は特に限定されないが、例えば、Ag、Cu、A
u、Ni、Mn、Si、Ru2O、SnO、ZnO、C
2O、CuO、NiO、TaN等を用いることができ
る。この導電性粒子の抵抗率、導電性粒子と樹脂の配合
比を変えることで所望の抵抗値を容易に得ることができ
る。また、導電性粒子として、Cu、Ni、Ag、S
n、Zn、In、Bi、Pb等を用いることにより、メ
ッキをせずに抵抗体に直接ハンダ付けすることも可能と
なる。
[Paste for Second Electrode Layer (Resistor Paste)] As the second electrode layer paste, a resistor paste is used. The resistor paste is composed of conductive particles and a curable resin. The conductive paste and the curable resin and, if necessary, a diluent are added thereto and kneaded to obtain a resistor paste. As the conductive particles,
Metals and semiconductors (oxides, nitrides, etc.) are used. Although the conductive particles are not particularly limited, for example, Ag, Cu, A
u, Ni, Mn, Si, Ru 2 O, SnO, ZnO, C
u 2 O, CuO, NiO, TaN or the like can be used. By changing the resistivity of the conductive particles and the mixing ratio of the conductive particles and the resin, a desired resistance value can be easily obtained. Further, as the conductive particles, Cu, Ni, Ag, S
By using n, Zn, In, Bi, Pb, or the like, it becomes possible to directly solder the resistor without plating.

【0049】樹脂は、硬化型樹脂からなる。硬化方法は
熱硬化型、紫外線硬化型等のいずれを用いてもかまわな
いが、コスト、量産性の点から熱硬化型が好ましく、こ
の場合の樹脂は以下のようなものが挙げられる。例え
ば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、フェ
ノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、不飽和ポリエ
ステル樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられ
る。
The resin is made of a curable resin. As the curing method, any of a thermosetting type and an ultraviolet curing type may be used, but a thermosetting type is preferable from the viewpoint of cost and mass productivity, and in this case, the following resins are exemplified. For example, an epoxy resin, an acrylic resin, a melamine resin, a phenol resin, a resol type phenol resin, an unsaturated polyester resin, a fluororesin, a silicone resin and the like can be mentioned.

【0050】[グリーンチップの作製]印刷法を用いる
場合、誘電体層用ペーストおよび内部電極用ペースト
を、PET等の基板上に印刷する。このとき内部電極用
ペーストの端部の一方が誘電体ペースの端部より交互に
外部に露出するように積層する。その後、熱圧着し、所
定形状に切断してチップ化した後、基板から剥離してグ
リーンチップとする。
[Preparation of Green Chip] When a printing method is used, a paste for a dielectric layer and a paste for an internal electrode are printed on a substrate such as PET. At this time, the layers are laminated such that one of the ends of the internal electrode paste is alternately exposed to the outside from the end of the dielectric base. After that, it is thermocompressed, cut into a predetermined shape to form a chip, and then separated from the substrate to form a green chip.

【0051】また、シート法を用いる場合、誘電体層用
ペーストを用いてグリーンシートを形成し、このグリー
ンシート上に内部電極層用ペーストを印刷し、これらを
交互に繰り返して積層し、所定形状に切断して、グリー
ンチップとする。
When the sheet method is used, a green sheet is formed using a dielectric layer paste, an internal electrode layer paste is printed on the green sheet, and these are alternately and repeatedly laminated to form a predetermined shape. Into green chips.

【0052】[脱バインダー工程]焼成前に行う脱バイ
ンダー処理の条件は、通常のものであってもよいが、内
部電極層の導電材にNiやNi合金等の卑金属を用いる
場合、特に下記の条件で行うことが好ましい。
[Binder Removal Step] The conditions for the binder removal treatment performed before firing may be ordinary conditions. However, when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material of the internal electrode layer, the following conditions are particularly preferable. It is preferable to carry out under conditions.

【0053】昇温速度:5〜300℃/時間、特に10
〜100℃/時間 保持温度:200〜400℃、特に250〜300℃ 温度保持時間:0.5〜24時間、特に5〜20時間 雰囲気:空気中 [焼成工程]グリーンチップの焼成時の雰囲気は、内部
電極用のペーストの導電材の種類に応じて適宜選択すれ
ばよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用
いる場合、焼成雰囲気はN2を主成分とし、H2を1〜1
0%、10〜35℃における水蒸気圧によって得られる
2Oガスを混合したものが好ましい。酸素分圧は10
-8〜10-12気圧とすることが好ましい。酸素分圧が前
記範囲未満であると、内部電極の導電材が異常焼結を起
こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前
記範囲を超えると、内部電極が酸化してしまう傾向にあ
る。
Heating rate: 5 to 300 ° C./hour, especially 10
-100 ° C / hour Holding temperature: 200-400 ° C, especially 250-300 ° C Temperature holding time: 0.5-24 hours, especially 5-20 hours Atmosphere: in air [Firing step] The atmosphere during firing of the green chips is as follows: It may be appropriately selected according to the type of the conductive material of the paste for the internal electrode. However, when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material, the firing atmosphere is mainly composed of N 2 , and H 2 is 1 to 2 . 1
A mixture of 0% and H 2 O gas obtained by steam pressure at 10 to 35 ° C. is preferable. Oxygen partial pressure is 10
The pressure is preferably set to -8 to 10-12 atm. If the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode may be abnormally sintered and may be interrupted. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrodes tend to be oxidized.

【0054】焼成時の保持温度は、1100〜1400
℃、特に1200〜1300℃とすることが好ましい。
保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分であ
り、前記範囲を超えると、内部電極が途切れやすくな
る。また、焼成時の温度保持時間は、0.5〜8時間、
特に1〜3時間が好ましい。
The holding temperature during firing is 1100 to 1400
° C, particularly preferably 1200 to 1300 ° C.
When the holding temperature is lower than the above range, the densification is insufficient, and when the holding temperature is higher than the above range, the internal electrode is easily broken. Further, the temperature holding time during firing is 0.5 to 8 hours,
Particularly, 1 to 3 hours is preferable.

【0055】[アニール工程]還元雰囲気で焼成した場
合、積層型チップコンデンサにはアニールを施すことが
好ましい。アニールは、誘電体層を再酸化するための処
理であり、これにより、絶縁抵抗の加速寿命を著しく長
くすることができる。
[Annealing Step] When firing in a reducing atmosphere, it is preferable to anneal the multilayer chip capacitor. Annealing is a process for reoxidizing the dielectric layer, which can significantly increase the accelerated life of the insulation resistance.

【0056】アニール雰囲気の酸素分圧は、10-6気圧
以上、特に10-6〜10-8気圧とすることが好ましい。
酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再酸化が困
難であり、前記範囲を超えると内部電極が酸化する。
The oxygen partial pressure of the annealing atmosphere is preferably 10 -6 atm or more, particularly preferably 10 -6 to 10 -8 atm.
When the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode is oxidized.

【0057】アニールの際の保持温度は、1100℃以
下、特に500〜1000℃とすることが好ましい。保
持温度が前記範囲未満であると、誘電体層の酸化が不十
分となり、絶縁抵抗の加速寿命が短くなる傾向を示し、
前記範囲を超えると内部電極が酸化し、容量が低下する
だけでなく、誘電体素地と反応し、加速寿命も短くな
る。なお、アニール工程は昇温および降温だけから構成
してもよい。この場合、温度保持時間をとる必要はな
く、保持温度は最高温度と同義である。また、温度保持
時間は、0〜20時間、特に2〜10時間が好ましい。
雰囲気ガスには、N2と加湿したH2ガスを用いることが
好ましい。
The holding temperature at the time of annealing is preferably 1100 ° C. or less, particularly preferably 500 to 1000 ° C. When the holding temperature is less than the above range, the oxidation of the dielectric layer becomes insufficient, and the accelerated life of the insulation resistance tends to be shortened,
If the ratio exceeds the above range, the internal electrodes are oxidized, and not only the capacity is reduced, but also reacts with the dielectric base material, and the accelerated life is shortened. Note that the annealing step may be configured only by raising and lowering the temperature. In this case, it is not necessary to take a temperature holding time, and the holding temperature is synonymous with the maximum temperature. Further, the temperature holding time is preferably 0 to 20 hours, particularly preferably 2 to 10 hours.
It is preferable to use N 2 and humidified H 2 gas as the atmosphere gas.

【0058】なお、上記した脱バインダー処理、焼成お
よびアニールの各工程において、N2、H2や混合ガス等
を加湿するには、例えば、ウエッター等を使用すればよ
い。この場合の水温は、5〜75℃程度が好ましい。
In each of the above-described steps of the binder removal treatment, firing and annealing, for example, a wetter or the like may be used to humidify N 2 , H 2 , a mixed gas and the like. The water temperature in this case is preferably about 5 to 75C.

【0059】脱バインダー処理工程、焼成工程およびア
ニール工程は、連続して行っても、独立して行ってもよ
い。
The binder removal step, the firing step and the annealing step may be performed continuously or independently.

【0060】これらを連続して行う場合、脱バインダー
処理後、冷却せず雰囲気を変更、独立して行ってもよ
い。これらを連続して行う場合、脱バインダー処理後、
冷却せず雰囲気を変更し、続いて焼成の保持温度まで昇
温して焼成を行い、ついで冷却し、アニール工程での保
持温度に達したときに雰囲気を変更してアニールを行う
ことが好ましい。
In the case where these steps are performed continuously, the atmosphere may be changed without cooling after the binder removal treatment, and the steps may be performed independently. When performing these continuously, after debinding,
It is preferable that the atmosphere is changed without cooling, then the temperature is raised to the holding temperature for firing to perform firing, then the cooling is performed, and the annealing is performed by changing the atmosphere when the temperature reaches the holding temperature in the annealing step.

【0061】また、これらを独立して行う場合は、脱バ
インダー処理工程は、所定の保持温度まで昇温し、所定
時間保持した後室温まで降温する。その際の脱バインダ
ー雰囲気は連続して行う場合と同様なものとする。さら
にアニール工程は、所定の保持温度にまで昇温し所定時
間保持した後、室温にまで降温する。その際のアニール
雰囲気は、連続して行う場合と同様なものとする。ま
た、脱バインダー工程と、焼成工程とを連続して行い、
アニール工程だけを独立して行うようにしてもよく、脱
バインダー工程だけを独立して行い、焼成工程とアニー
ル工程を連続して行うようにしてもよい。
In the case where these steps are performed independently, in the binder removal treatment step, the temperature is raised to a predetermined holding temperature, held for a predetermined time, and then lowered to room temperature. At that time, the debinding atmosphere is the same as in the case where the debinding is performed continuously. Further, in the annealing step, the temperature is raised to a predetermined holding temperature, held for a predetermined time, and then lowered to room temperature. The annealing atmosphere at that time is the same as in the case of performing the annealing continuously. Also, the binder removal step and the firing step are performed continuously,
Only the annealing step may be performed independently, or only the binder removal step may be performed independently, and the firing step and the annealing step may be performed continuously.

【0062】[第1端子電極層形成]端子電極用ペース
トを焼結体チップに塗布する。塗布の工程としては特に
限定されるものではないが、ディップ法等によればよ
い。端子電極用ペーストの塗布量は、特に限定されるも
のでなく、塗布する焼結体チップの大きさなどにより適
宜調整すればよいが、通常、5〜100μm程度であ
る。端子電極用ペーストを塗布後、乾燥する。乾燥は6
0〜150℃程度で、10分〜1時間程度行うことが好
ましい。
[Formation of First Terminal Electrode Layer] A terminal electrode paste is applied to a sintered chip. The application step is not particularly limited, but may be a dip method or the like. The amount of the terminal electrode paste applied is not particularly limited, and may be appropriately adjusted depending on the size of the sintered chip to be applied, but is usually about 5 to 100 μm. After applying the terminal electrode paste, it is dried. 6 for drying
It is preferable to carry out at about 0 to 150 ° C. for about 10 minutes to 1 hour.

【0063】上記のようにして端子電極用ペーストを塗
布、乾燥した後、チップ素体への焼き付け(焼成)を行
う。焼き付け条件は、例えば、N2の中性雰囲気あるい
は、N2とH2との混合ガス等の還元雰囲気中にて600
〜1000℃で0〜1時間程度保持することにより行う
ことが好ましい。
After the terminal electrode paste is applied and dried as described above, baking (firing) on the chip element is performed. Baking conditions, for example, a neutral atmosphere of N 2 or in a reducing atmosphere such as a mixed gas of N 2 and H 2 600
It is preferred to carry out by maintaining the temperature at about 1000 ° C. for about 0 to 1 hour.

【0064】[第2端子電極層形成]第1端子電極層の
少なくともいずれか一方に、該第1端子電極層が完全に
被覆されるように抵抗体ペーストをディッピング法等に
よって所定形状に形成し、樹脂の種類にあわせた硬化方
法によって硬化する。硬化型樹脂として熱硬化型樹脂を
用いた場合、熱硬化は通常100〜250℃で10〜6
0分程度行う。
[Formation of Second Terminal Electrode Layer] A resistor paste is formed on at least one of the first terminal electrode layers by dipping or the like in a predetermined shape so as to completely cover the first terminal electrode layer. , And is cured by a curing method suitable for the type of resin. When a thermosetting resin is used as the curable resin, the thermosetting is usually performed at 100 to 250 ° C for 10 to 6
Perform for about 0 minutes.

【0065】[メッキ層]必要に応じて上記端子電極表
面にNi層とSn層またはSn−Pb合金層をメッキ法
にて形成する。メッキ層の厚みは特に限定されないが、
通常0.1〜10μm程度である。
[Plating Layer] If necessary, a Ni layer and a Sn layer or a Sn—Pb alloy layer are formed on the surface of the terminal electrode by a plating method. The thickness of the plating layer is not particularly limited,
Usually, it is about 0.1 to 10 μm.

【0066】このような構成により、ESRの付加され
たCR複合電子部品を得ることが可能である。ESRは
特に限定されるものではないが、1〜2000mΩ程度
であり、好ましくは10〜1000mΩである。この範
囲のESRを有することで、電源回路の電源バイパス用
コンデンサとして十分な性能を発揮することができる。
With such a configuration, it is possible to obtain a CR composite electronic component to which ESR is added. The ESR is not particularly limited, but is about 1 to 2000 mΩ, preferably 10 to 1000 mΩ. By having the ESR in this range, sufficient performance can be exhibited as a power supply bypass capacitor of the power supply circuit.

【0067】なお、ここではCR複合電子部品の製造方
法を具体例にあげて説明したが、本発明に用いる抵抗体
ペーストは回路基板用抵抗体、チップ抵抗体、(LC)
R複合電子部品等に適用できることは言うまでもない。
Although the method of manufacturing the CR composite electronic component has been described by way of a specific example, the resistor paste used in the present invention may be a resistor for a circuit board, a chip resistor, (LC)
It goes without saying that the present invention can be applied to R composite electronic components and the like.

【0068】[0068]

【実施例】次に実施例を示し、本発明をより具体的に説
明する。
EXAMPLES Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples.

【0069】誘電体層の主原料としてBaCO3(平均
粒径:2.0μm)およびTiO2(平均粒径:2.0
μm)を用意した。Ba/Tiの原子比は1.00であ
る。また、これに加えて、BaTiO3に対し、添加物
としてMnCO3を0.2wt%、MgCO3を0.2w
t%、Y23を2.1wt%、(BaCa)SiO3
2.2wt%用意した。各原料粉末を水中ボールミルで
混合し、乾燥した。得られた混合粉を1250℃で2時
間仮焼した。この仮焼粉を水中ボールミルで粉砕し、乾
燥した。得られた仮焼粉に、有機バインダーとしてアク
リル樹脂と有機溶剤として塩化メチレンとアセトンを加
えてさらに混合し、誘電体スラリーとした。得られた誘
電体スラリーをドクターブレード法を用いて誘電体グリ
ーンシートとした。
BaCO 3 (average particle size: 2.0 μm) and TiO 2 (average particle size: 2.0
μm) was prepared. The atomic ratio of Ba / Ti is 1.00. In addition to this, 0.2 wt% of MnCO 3 and 0.2 wt% of MgCO 3 are added to BaTiO 3 as additives.
t%, 2.1 wt% of Y 2 O 3, was prepared 2.2 wt% of (BaCa) SiO 3. Each raw material powder was mixed with an underwater ball mill and dried. The obtained mixed powder was calcined at 1250 ° C. for 2 hours. This calcined powder was pulverized with an underwater ball mill and dried. To the obtained calcined powder, an acrylic resin as an organic binder and methylene chloride and acetone as an organic solvent were added and mixed to obtain a dielectric slurry. The obtained dielectric slurry was used as a dielectric green sheet using a doctor blade method.

【0070】内部電極材料として、Ni粉末(平均粒
径:0.8μm)を用意し、これに有機バインダーとし
てエチルセルロースと、有機溶剤としてターピネオール
を加え三本ロールを用いて混練し、内部電極ペーストと
した。
A Ni powder (average particle size: 0.8 μm) was prepared as an internal electrode material, and ethyl cellulose as an organic binder and terpineol as an organic solvent were added thereto, kneaded using a three-roll mill, and mixed with an internal electrode paste. did.

【0071】第1の端子電極材料として、Cu粉末(平
均粒径:0.5μm)とCu粉末に対して、ストロンチ
ウム系ガラスフリットを7wt%添加し、これに有機バ
インダーとしてアクリル樹脂と有機溶剤としてターピネ
オールを加え、三本ロールを用いて混練し、端子電極ペ
ーストとした。
As a first terminal electrode material, a strontium-based glass frit was added to Cu powder (average particle size: 0.5 μm) and Cu powder in an amount of 7 wt%, and an acrylic resin as an organic binder and an organic solvent were added thereto. Terpineol was added and kneaded using a three-roll mill to obtain a terminal electrode paste.

【0072】抵抗体ペーストとして、導電材にCu粉末
(平均粒径:5.0μm)にレゾール型フェノール樹脂
を加え、三本ロールミルを用いて混練し、抵抗体ペース
トとした。なお、Cu粉末と樹脂の配合比は、重量換算
でCu:樹脂=70:30、54:46、47:53、
40:60とした。
As a resistor paste, a resole type phenol resin was added to Cu powder (average particle size: 5.0 μm) as a conductive material and kneaded using a three-roll mill to obtain a resistor paste. The mixing ratio of the Cu powder and the resin is Cu: resin = 70: 30, 54:46, 47:53 in terms of weight.
40:60.

【0073】所定の厚みを得るために誘電体グリーンシ
ートを数枚積層し、その上にスクリーン印刷法により内
部電極用ペーストの端部が誘電体層用グリーンシートの
端部から交互に外部に露出するように印刷されたグリー
ンシートを所定枚数積層し、最後に内部電極の印刷され
ていないグリーンシートを所定枚数積層し、熱圧着し
た。次いで焼成後のチップ形状が、縦×横×厚みが3.
2×1.6×1.0mmになるように切断し、グリーン
チップを得た。
In order to obtain a predetermined thickness, several dielectric green sheets are laminated, and the ends of the internal electrode paste are alternately exposed to the outside from the ends of the dielectric layer green sheets by a screen printing method. Then, a predetermined number of green sheets printed as described above were laminated, and finally, a predetermined number of green sheets on which internal electrodes were not printed were laminated and thermocompression-bonded. Next, the shape of the chip after firing is 3 × 4 × 3.
It was cut to 2 × 1.6 × 1.0 mm to obtain a green chip.

【0074】得られたグリーンチップを加湿したN2
2(H2:3%)雰囲気中、1300℃にて3時間保持
して焼成し、さらに加湿したH2酸素分圧10-7気圧の
雰囲気にて1000℃で2時間保持し、チップ焼結体を
得た。得られた焼結体の両端部に上記Cu端子電極用ペ
ーストを塗布、乾燥を行い、N2−H2雰囲気中、770
℃で10分間保持して第1端子電極層を得た。
The obtained green chip was moistened with N 2 +
In an H 2 (H 2 : 3%) atmosphere, the mixture was fired at 1300 ° C. for 3 hours, and then fired at 1000 ° C. for 2 hours in a humidified H 2 oxygen partial pressure of 10 −7 atm. I got a body. The paste for the Cu terminal electrode was applied to both ends of the obtained sintered body, dried, and then placed in an N 2 -H 2 atmosphere at 770.
The temperature was kept at 10 ° C. for 10 minutes to obtain a first terminal electrode layer.

【0075】次に、第1端子電極層上に抵抗体ペースト
をディッピング法にて形成した。予備乾燥を100℃、
30分程度行った後、150℃、30分の熱雰囲気中で
樹脂を硬化させ、第2端子電極層を形成した。
Next, a resistor paste was formed on the first terminal electrode layer by dipping. Pre-drying at 100 ° C
After about 30 minutes, the resin was cured in a heat atmosphere at 150 ° C. for 30 minutes to form a second terminal electrode layer.

【0076】得られた試料を10個研磨して抵抗体の膜
厚をSEMにて観察したところ、100±10μmであ
った。
When ten samples were polished and the film thickness of the resistor was observed by SEM, it was 100 ± 10 μm.

【0077】上記端子電極表面に、Ni層、Sn層を電
解メッキ法で順次形成し、抵抗機能が付加された積層型
チップコンデンサを得た。得られた試料の静電容量は1
μFであった。
A Ni layer and a Sn layer were sequentially formed on the surface of the terminal electrode by electrolytic plating to obtain a multilayer chip capacitor having a resistance function. The capacitance of the obtained sample is 1
μF.

【0078】ESRを測定して得られた結果を表1に示
す。ここでは1条件につき、30個の試料のESRを測
定し、平均値を記した(No.1〜4)。また、参考例
として第2端子電極層を形成しなかった積層型チップコ
ンデンサを作製し、同様にしてESR測定結果を表1に
併記した(No.5)。
Table 1 shows the results obtained by measuring the ESR. Here, the ESR of 30 samples was measured under one condition, and the average value was recorded (Nos. 1 to 4). Further, as a reference example, a multilayer chip capacitor in which the second terminal electrode layer was not formed was manufactured, and the ESR measurement results were similarly shown in Table 1 (No. 5).

【0079】[0079]

【表1】 [Table 1]

【0080】表から明らかなように、端子電極に導電体
と硬化型樹脂からなる抵抗体を形成することにより、積
層型セラミックコンデンサのESRを高めることができ
る。また、導電性粒子の比率を変えることで、ESRを
簡単に制御することができる。従来の焼成型抵抗体より
も低い温度で形成することができるため、エネルギーコ
ストを低減でき、生産性も向上させることができる。
As is clear from the table, the ESR of the multilayer ceramic capacitor can be increased by forming a resistor made of a conductor and a curable resin on the terminal electrode. The ESR can be easily controlled by changing the ratio of the conductive particles. Since it can be formed at a lower temperature than a conventional fired resistor, energy costs can be reduced and productivity can be improved.

【0081】これらのESRを有した電子部品をDCー
DCコンバータのバイパスコンデンサとして用い、スイ
ッチング周波数を100kHz〜40MHzに変化させ
て動作させたところ、発振等による入力電圧の電圧変動
現象を生じることなく、正常に動作することが確認され
た。
When these electronic components having the ESR are used as a bypass capacitor of a DC-DC converter and operated by changing the switching frequency from 100 kHz to 40 MHz, the input voltage does not fluctuate due to oscillation or the like. It was confirmed that it works properly.

【0082】[0082]

【発明の効果】本発明によれば、高温での抵抗体の焼き
付けが必要なくなり、低温で抵抗体を形成することが可
能であり、抵抗機能を備えた電子部品を簡単に製造する
ことができる。このため、コスト、生産性において非常
に有利である。
According to the present invention, it is not necessary to burn a resistor at a high temperature, it is possible to form a resistor at a low temperature, and it is possible to easily manufacture an electronic component having a resistance function. . For this reason, it is very advantageous in cost and productivity.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徳岡 保導 東京都中央区日本橋一丁目13番1号ティー ディーケイ株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yasunori Tokuoka 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo Inside TDK Corporation

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電性粒子と硬化型樹脂とを含む導電層
からなる抵抗体を有する電子部品。
An electronic component having a resistor comprising a conductive layer containing conductive particles and a curable resin.
【請求項2】 前記導電性粒子が金属または半導体の一
種以上である請求項1の電子部品。
2. The electronic component according to claim 1, wherein the conductive particles are at least one of a metal and a semiconductor.
【請求項3】 前記硬化型樹脂が熱硬化型樹脂である請
求項1または2の電子部品。
3. The electronic component according to claim 1, wherein the curable resin is a thermosetting resin.
【請求項4】 前記電子部品がチップコンデンサであっ
て、端子電極の少なくとも一方が導電性粒子と硬化型樹
脂とを含む導電層からなる抵抗体を有している請求項1
〜3の電子部品。
4. The electronic component is a chip capacitor, and at least one of terminal electrodes has a resistor made of a conductive layer containing conductive particles and a curable resin.
3 electronic components.
【請求項5】 前記電子部品がチップコンデンサであっ
て、端子電極の少なくとも一方が2層からなり、内部電
極と接する側から第1端子電極層、第2端子電極層とし
たとき、第2電極層が導電性粒子と硬化型樹脂とを含む
導電層からなる抵抗体である請求項4の電子部品。
5. When the electronic component is a chip capacitor, at least one of the terminal electrodes is formed of two layers, and when the first and second terminal electrode layers are formed from the side in contact with the internal electrode, the second electrode is formed. 5. The electronic component according to claim 4, wherein the layer is a resistor composed of a conductive layer containing conductive particles and a curable resin.
【請求項6】 等価回路がCRまたは(LC)R直列回
路を有する請求項4または5の電子部品。
6. The electronic component according to claim 4, wherein the equivalent circuit has a CR or (LC) R series circuit.
【請求項7】 導電性粒子と硬化型樹脂とを含むペース
トを塗布し、硬化させることにより抵抗体を形成するこ
とを特徴とする請求項1〜6の電子部品の製造方法。
7. The method for manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein a paste containing conductive particles and a curable resin is applied and cured to form a resistor.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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