JPH11281511A - Diaphragm seal type differential pressure measuring device - Google Patents
Diaphragm seal type differential pressure measuring deviceInfo
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- JPH11281511A JPH11281511A JP8138898A JP8138898A JPH11281511A JP H11281511 A JPH11281511 A JP H11281511A JP 8138898 A JP8138898 A JP 8138898A JP 8138898 A JP8138898 A JP 8138898A JP H11281511 A JPH11281511 A JP H11281511A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、温度特性が改良さ
れたダイアフラムシール型差圧測定装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diaphragm seal type differential pressure measuring device having improved temperature characteristics.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３は、従来より一般に「ダイアフラム
シール付き差圧計」として使用されている従来例の構成
説明図で、例えば、実開昭６２−８６５２８号の従来例
に示されている。2. Description of the Related Art FIG. 3 is an explanatory view of the structure of a conventional example conventionally used as a "differential pressure gauge with a diaphragm seal", and is shown, for example, in the conventional example of Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 62-86528.
【０００３】図において、差圧測定装置本体１は差圧測
定装置の本体部分である。差圧測定装置本体１は、本体
カプセル２と本体カプセル２を覆うカバー３とよりな
る。本体カプセル２は、この場合は、静電容量検出型が
使用されている。In the drawing, a differential pressure measuring device main body 1 is a main body of the differential pressure measuring device. The differential pressure measuring apparatus main body 1 includes a main body capsule 2 and a cover 3 that covers the main body capsule 2. In this case, the capacitance detection type is used for the main body capsule 2.
【０００４】シールダイアフラム４、５は、本体カプセ
ル２の両側面の高圧側と低圧側のそれぞれに設けられた
ダイアフラムである。The seal diaphragms 4 and 5 are provided on the high pressure side and the low pressure side on both sides of the main body capsule 2, respectively.
【０００５】高圧側のキャピラリーチューブ６は，高圧
側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。こ
の場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用されて
いる。The high-pressure capillary tube 6 is a tube having one end connected to the high-pressure cover 3. In this case, a flexible capillary tube is used.
【０００６】ダイアフラムシールユニット７は、高圧側
のキャピラリーチューブ６の他端に接続されユニットで
ある。ダイアフラムシールユニット７は、フランジ７１
と本体ブロック７２とシールダイアフラム７３とを有す
る。The diaphragm seal unit 7 is a unit connected to the other end of the capillary tube 6 on the high pressure side. The diaphragm seal unit 7 includes a flange 71
And a main body block 72 and a seal diaphragm 73.
【０００７】封入液８は、ダイアフラムシールユニット
７とキャピラリーチューブ６と高圧側のカバー３内に封
入された封入液である。この場合は、シリコンオイルが
使用されている。The sealed liquid 8 is a sealed liquid sealed in the diaphragm seal unit 7, the capillary tube 6, and the cover 3 on the high pressure side. In this case, silicone oil is used.
【０００８】低圧側のキャピラリーチューブ９は、低圧
側側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。The low pressure side capillary tube 9 is a tube having one end connected to the low pressure side cover 3.
【０００９】この場合は、可撓性のキャピラリーチュー
ブが使用されている。ダイアフラムシールユニット１１
は、低圧側のキャピラリーチューブ９の他端に接続され
たユニットである。In this case, a flexible capillary tube is used. Diaphragm seal unit 11
Is a unit connected to the other end of the capillary tube 9 on the low pressure side.
【００１０】ダイアフラムシールユニット１１は、フラ
ンジ１１１と本体ブロック１１２とシールダイアフラム
１１３とを有する。The diaphragm seal unit 11 has a flange 111, a main body block 112, and a seal diaphragm 113.
【００１１】封入液１２は、ダイアフラムシールユニッ
ト１１とキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー３内
に封入された封入液である。この場合は、シリコンオイ
ルが使用されている。変換器部１３は、本体カプセル２
に取付られた変換器部である。The sealed liquid 12 is a sealed liquid sealed in the diaphragm seal unit 11, the capillary tube 9, and the cover 3 on the low pressure side. In this case, silicone oil is used. The converter unit 13 includes the main body capsule 2
This is the converter section attached to.
【００１２】以上の構成において、ダイアフラムシール
ユニット７，１１が、測定流体Ａに接すると、測定圧
は、キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を
介して、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定され
る。In the above configuration, when the diaphragm seal units 7 and 11 come into contact with the measurement fluid A, the measurement pressure is transmitted to the main body capsule 2 through the sealed liquids 8 and 12 in the capillary tubes 6 and 9, The differential pressure is measured.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、高圧側のダイアフラムシールユニッ
ト７と低圧側のダイアフラムシールユニット１１との取
付け高さに差があると、温度差が生じると、封入液８と
封入液１２との間の密度が変化するため、高さの差×密
度で、差圧測定装置本体１に加わっていたヘッド分が変
化し、出力誤差が生じる。However, in such an apparatus, if there is a difference in the mounting height between the high-pressure diaphragm seal unit 7 and the low-pressure diaphragm seal unit 11, a temperature difference will occur. Since the density between the filling liquid 8 and the filling liquid 12 changes, the head applied to the differential pressure measuring device main body 1 changes by the difference of height × density, and an output error occurs.
【００１４】なお、電子式差圧測定装置では、本体カプ
セル２又は変換器部１３に組み込まれた温度センサによ
り、密度変化による誤差を補正しているものもある。In some electronic differential pressure measuring devices, an error due to a change in density is corrected by a temperature sensor incorporated in the main body capsule 2 or the converter unit 13.
【００１５】しかし、導圧管６，９と本体カプセル２と
の間に、温度差がある場合、導圧管６，９の密度変化に
よる誤差を、適正に補正出来ず、出力誤差が生ずる。特
に、補正手段を有しない空気式差圧測定装置では、その
まま、出力誤差となる。However, if there is a temperature difference between the pressure guiding tubes 6 and 9 and the main body capsule 2, an error due to a change in the density of the pressure guiding tubes 6 and 9 cannot be properly corrected and an output error occurs. In particular, in a pneumatic differential pressure measuring device having no correction means, an output error is generated as it is.
【００１６】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、温度特性が改良されたダイアフラ
ムシール型差圧測定装置を提供するにある。The present invention solves this problem. An object of the present invention is to provide a diaphragm seal type differential pressure measuring device with improved temperature characteristics.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導圧
管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイアフ
ラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型差
圧測定装置において、前記低圧側の導圧管に設けられ前
記高圧側と低圧側との封入液の密度変化による出力誤差
と封入液の膨張による出力誤差とが打ち消されるような
封入液量の封入液溜めを具備したことを特徴とするダイ
アフラムシール型差圧測定装置。 （２）前記導圧管としてフレキシブルチューブが使用さ
れたことを特徴とする請求項１記載のダイアフラムシー
ル型差圧測定装置。 （３）前記フレキシブルチューブとしてキャピラリーチ
ューブが使用されたことを特徴とする請求項２記載のダ
イアフラムシール型差圧測定装置。 （４）封入液溜めとしてフレキシブルチューブの封入液
溜めが使用されたことを特徴とする請求項１乃至請求項
３の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装
置。 （５）封入液溜めとしてキャピラリーチューブの封入液
溜めが使用されたことを特徴とする請求項１乃至請求項
３の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装
置。 を構成したものである。In order to achieve this object, the present invention provides: (1) a high-pressure side and a low-pressure side which are in contact with a measurement fluid via a pressure guiding tube on a high pressure side and a low pressure side of a pressure measuring device main body, respectively; In the diaphragm seal type differential pressure measuring device having the diaphragm seal unit of the present invention, the output error due to the density change of the sealed liquid between the high pressure side and the low pressure side provided in the low pressure side impulse tube and the output error due to the expansion of the sealed liquid. A diaphragm seal type differential pressure measuring device comprising a filled liquid reservoir having a filled liquid amount such that the pressure is canceled. (2) The diaphragm seal type differential pressure measuring device according to claim 1, wherein a flexible tube is used as the pressure guiding tube. (3) The diaphragm seal type differential pressure measuring device according to claim 2, wherein a capillary tube is used as the flexible tube. (4) The diaphragm seal type differential pressure measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein a liquid filling reservoir of a flexible tube is used as the liquid filling reservoir. (5) The diaphragm seal type differential pressure measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein a sealed liquid reservoir of a capillary tube is used as the sealed liquid reservoir. It is what constituted.
【００１８】[0018]
【作用】以上の構成において、ダイアフラムシールユニ
ットが、測定流体に接すると、測定圧は、導圧管中の封
入液を介して、本体カプセルに伝達され、差圧が測定さ
れる。In the above construction, when the diaphragm seal unit comes into contact with the measurement fluid, the measurement pressure is transmitted to the main body capsule via the sealed liquid in the pressure guiding tube, and the differential pressure is measured.
【００１９】ここで、封入液の密度変化率は、封入液の
種類により定まる値で、その値のバラツキは小さい。Here, the density change rate of the sealed liquid is a value determined by the type of the sealed liquid, and the value varies little.
【００２０】従って、封入液の種類が決定され、仕様に
基づき、高圧側と低圧側とのダイアフラムシールユニッ
トの取付高さが決まれば、取付位置高さの差が決まり、
封入液の密度変化による誤差は、温度の関数となって求
める事が出来る。Therefore, if the type of the sealed liquid is determined and the mounting height of the diaphragm seal unit on the high pressure side and the low pressure side is determined based on the specification, the difference in the mounting position height is determined,
The error due to the change in the density of the filling liquid can be obtained as a function of the temperature.
【００２１】温度上昇により、低圧側のダイアフラムシ
ールユニットの密度が軽くなるので出力としては、通
常、プラスの誤差が生じる。As the temperature rises, the density of the diaphragm seal unit on the low pressure side becomes lighter, so that a positive error usually occurs in the output.
【００２２】一方、キャピラリー部分の封入液は、温度
上昇により、膨張する。この膨張した封入液は、シール
ダイアフラムを膨らませて、安定状態になるが、シール
ダイアフラムのばね剛わさにより、内圧が上昇して、マ
イナスの誤差を生じる。On the other hand, the liquid filled in the capillary part expands due to a rise in temperature. The expanded sealed liquid expands the seal diaphragm to be in a stable state, but due to the spring stiffness of the seal diaphragm, the internal pressure rises and a negative error occurs.
【００２３】前記プラスの誤差とマイナスの誤差とを適
度に組み合わせる事により、限られたケースバイケース
の範囲において、封入液の密度変化による誤差をキャン
セルすることが出来る。By appropriately combining the positive error and the negative error, it is possible to cancel an error due to a change in the density of the sealed liquid within a limited case-by-case range.
【００２４】本発明は、低圧側のキャピラリーチューブ
の中間に、密度変化による出力誤差をキャンセル出来る
膨張量を発生する封入液を有する封入液溜りを、低圧側
のキャピラリーチューブの中間部分に、且つ密度の変化
が生じない様に一カ所に取付るものである。以下、実施
例に基づき詳細に説明する。According to the present invention, a filling liquid reservoir having a filling liquid generating an expansion amount capable of canceling an output error due to a change in density is provided in the middle of the capillary tube on the low pressure side in the middle portion of the capillary tube on the low pressure side. It is attached to one place so that no change occurs. Hereinafter, a detailed description will be given based on embodiments.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図で、タンクＡのレベル計として使用された例
である。図において、図３と同一記号の構成は同一機能
を表わす。以下、図３と相違部分のみ説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory view of a main part of an embodiment of the present invention, which is an example used as a level meter of a tank A. In the figure, the configuration of the same symbol as in FIG. 3 represents the same function. Hereinafter, only differences from FIG. 3 will be described.
【００２６】封入液溜め２１は、低圧側の導圧管９に設
けられ、高圧側と低圧側との封入液８．１２の密度変化
による出力誤差と、封入液８．１２の膨張による出力誤
差とが打ち消されるような封入液２２量を有する。The filled liquid reservoir 21 is provided in the pressure guiding tube 9 on the low pressure side. The output error due to the change in density of the filled liquid 8.12 between the high pressure side and the low pressure side, and the output error due to the expansion of the filled liquid 8.12. Has a filling liquid amount of 22 so that is canceled out.
【００２７】以上の構成において、ダイアフラムシール
ユニット７，１１が、測定流体に接すると、測定圧は、
キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を介し
て、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定される。In the above configuration, when the diaphragm seal units 7 and 11 come into contact with the measurement fluid, the measurement pressure becomes
It is transmitted to the main body capsule 2 via the filling liquids 8 and 12 in the capillary tubes 6 and 9, and the differential pressure is measured.
【００２８】ここで、封入液８，１２の密度変化率Ｂ
は、封入液８，１２の種類により定まる値で、その値の
バラツキは小さい。Here, the density change rate B of the sealed liquids 8 and 12
Is a value determined by the type of the filling liquids 8 and 12, and the variation in the value is small.
【００２９】従って、封入液８，１２の種類が決定さ
れ、仕様に基づき、高圧側と低圧側とのダイアフラムシ
ールユニット７，１１の取付高さが決まれば、取付位置
高さの差ｈが決まり、封入液８，１２の密度変化による
誤差εは、温度ΔＴの関数となって求める事が出来る。Accordingly, if the types of the filled liquids 8 and 12 are determined and the mounting height of the diaphragm seal units 7 and 11 on the high pressure side and the low pressure side is determined based on the specification, the difference h between the mounting position heights is determined. The error ε due to the change in the density of the filling liquids 8 and 12 can be obtained as a function of the temperature ΔT.
【００３０】ε＝Ｂ×ｈ×ΔＴ ε：発生圧力誤差 Ｂ：密度変化率（ｍｍＨ2Ｏ／ｍ／℃） ｈ：ダイアフラムシールユニット７，１１の取付位置高
さの差ｈ（ｍ） ΔＴ：温度変化（℃）Ε = B × h × ΔT ε: Generated pressure error B: Density change rate (mmH 2 O / m / ° C.) h: Difference in height of mounting positions of diaphragm seal units 7 and 11 h (m) ΔT: Temperature change (℃)
【００３１】いま、封入液８，１２がシリコンの一種で
あると、 ε＝０．７６×ｈ×ΔＴ 但し、Ｂ＝０．７６（ｍｍＨ2Ｏ／ｍ／℃） の誤差が生じる。低圧側のダイアフラムシールユニット
１１の密度が軽くなるので出力としては、通常、プラス
の誤差が生じる。If the filling liquids 8 and 12 are a kind of silicon, there is an error of ε = 0.76 × h × ΔT where B = 0.76 (mmH 2 O / m / ° C.). Since the density of the diaphragm seal unit 11 on the low pressure side becomes light, a positive error usually occurs as an output.
【００３２】一方、キャピラリー６、９部分の封入液
８，１２は、温度上昇により、膨張する。この膨張した
封入液８，１２は、シールダイアフラム７３，１１３を
膨らませて、安定状態になるが、シールダイアフラム７
３，１１３のばね剛わさにより、内圧が上昇して、マイ
ナスの誤差を生じる。On the other hand, the sealed liquids 8 and 12 in the capillaries 6 and 9 expand due to a rise in temperature. The expanded sealed liquids 8 and 12 inflate the seal diaphragms 73 and 113 to be in a stable state.
Due to the spring stiffness of 3,113, the internal pressure increases, causing a negative error.
【００３３】前記プラスの誤差とマイナスの誤差とを適
度に組み合わせる事により、限られたケースバイケース
の範囲において、封入液８，１２の密度変化による誤差
をキャンセルすることが出来る。By appropriately combining the positive error and the negative error, it is possible to cancel an error due to a change in the density of the sealed liquids 8 and 12 within a limited case-by-case range.
【００３４】具体的には、例えば、ダイアフラムシール
ユニット７，１１の取付位置高さの差ｈ＝３ｍの場合、
シールダイアフラム７３，１１３のばね剛わさＫ＝１０
０ｃｃ／ｋｇ／ｃｍ2、低圧側のキャピラリーチューブ
９部分のｈに相当する部分の封入液８，１２を１０ｃ
ｃ、封入液８，１２の膨張係数を８×１０ー4とする。Specifically, for example, when the height difference h = 3 m between the mounting positions of the diaphragm seal units 7 and 11,
Spring stiffness K = 10 of the seal diaphragms 73 and 113
0 cc / kg / cm 2 , and the filled liquids 8 and 12 in the portion corresponding to h of the capillary tube 9 on the low pressure side are filled with 10 c
c, The expansion coefficients of the filling liquids 8 and 12 are set to 8 × 10 −4 .
【００３５】密度変化による出力変化ε1は、 ε1＝０．７６×３×１（℃）＝２．２８ｍｍＨ2Ｏ／℃ 本発明の様な封入液溜めを有しない差圧測定装置では、
２．２８ｍｍＨ2Ｏ／℃の正の出力誤差が生じることに
なる。The output change ε 1 due to the density change is as follows: ε 1 = 0.76 × 3 × 1 (° C.) = 2.28 mmH 2 O / ° C. In the differential pressure measuring apparatus having no filled liquid reservoir as in the present invention,
A positive output error of 2.28 mmH 2 O / ° C. will occur.
【００３６】本発明は、低圧側のキャピラリーチューブ
９の中間に、密度変化による出力誤差をキャンセル出来
る膨張量を発生する封入液２２を有する封入液溜り２１
を、低圧側のキャピラリーチューブ９の中間部分に、且
つ密度の変化が生じない様に一カ所に取付るものであ
る。According to the present invention, a filling liquid reservoir 21 having a filling liquid 22 which generates an expansion amount capable of canceling an output error due to a density change is provided in the middle of the capillary tube 9 on the low pressure side.
Is attached to the middle portion of the capillary tube 9 on the low pressure side and at one place so that the density does not change.
【００３７】補正用の封入液溜め２１の封入液２２の量
Ｖを求める。 Ｖ＝（Ｂ×ｈ×ΔＴ×Ｋ）／α Ｖ：封入液２２の量 Ｂ：密度変化率（ｍｍＨ2Ｏ／ｍ／℃）The amount V of the filling liquid 22 in the filling liquid reservoir 21 for correction is obtained. V = (B × h × ΔT × K) / α V: amount of filling liquid 22 B: density change rate (mmH 2 O / m / ° C.)
【００３８】ｈ：ダイアフラムシールユニット７，１１
の取付位置高さの差ｈ（ｍ） ΔＴ：温度変化（℃） Ｋ：シールダイアフラム７３,１１３のばね定数（ｃｃ
／ｋｇｆ／ｃｍ2） α：封入液の膨張係数H: diaphragm seal units 7 and 11
ΔT: Temperature change (° C.) K: Spring constant of seal diaphragm 73, 113 (cc)
/ Kgf / cm 2 ) α: Expansion coefficient of the sealed liquid
【００３９】前記の具体的条件で、封入液２２の量Ｖを
求める。 Ｖ＝（２．２８×１００×１０-4）／（８×１０-4） ＝２８．５ｃｃ となり、２８．５ｃｃの封入液２２を有する封入液溜め
２１を、低圧側のキャピラリーチューブ９の途中に設け
られれば良い。Under the above specific conditions, the amount V of the filling liquid 22 is determined. V = (2.28 × 100 × 10 −4 ) / (8 × 10 −4 ) = 28.5 cc, and the filled liquid reservoir 21 having the filled liquid 22 of 28.5 cc is placed in the middle of the capillary tube 9 on the low pressure side. It should just be provided in.
【００４０】この結果、 （１）封入液８，１２の密度変化による誤差を除去する
ことが出来る。特に、電気的に密度変化の補正が出来な
い電子式ダイアフラムシール差圧測定装置、或いは、空
気式のダイアフラムシール差圧測定装置の密度変化の補
正が可能となる、ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。As a result, (1) an error due to a change in the density of the sealed liquids 8 and 12 can be eliminated. In particular, there is an electronic diaphragm seal differential pressure measuring device which cannot electrically correct a density change, or a diaphragm seal type differential pressure measuring device which can correct a density change of a pneumatic diaphragm seal differential pressure measuring device. can get.
【００４１】（２）特に、キャピラリーチューブ６，９
の部分のみの温度変化に対して、有効な補正が可能とな
る、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。(2) In particular, the capillary tubes 6, 9
A diaphragm seal type differential pressure measuring device which enables effective correction to the temperature change of only the portion (1) is obtained.
【００４２】（３）封入液溜め２１と封入液２２が追加
されるだけであるので、安価で、故障の恐れが少なく信
頼性が向上されたダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。(3) Since only the filling liquid reservoir 21 and the filling liquid 22 are added, a diaphragm seal type differential pressure measuring apparatus which is inexpensive, has little risk of failure, and has improved reliability can be obtained.
【００４３】図２は、本発明の他の実施例の要部構成説
明図である。本実施例においては、封入液溜め３１を、
キャピラリーチューブで構成したものである。チューブ
であっても、先端を封止すれば、封入液溜２１と同様な
効果が得られる。FIG. 2 is an explanatory view of a main part configuration of another embodiment of the present invention. In this embodiment, the filled liquid reservoir 31 is
It is composed of a capillary tube. Even in the case of a tube, if the tip is sealed, the same effect as the sealed liquid reservoir 21 can be obtained.
【００４４】本実施例では、キャピラリーチューブ６，
９上で温度差が生じた場合に、特に、効果がある。In this embodiment, the capillary tubes 6
9 is particularly effective when a temperature difference occurs.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の請
求項１によれば、 （１）封入液８，１２の密度変化による誤差を除去する
ことが出来る。特に、電気的に密度変化の補正が出来な
い電子式ダイアフラムシール差圧測定装置、或いは、空
気式のダイアフラムシール差圧測定装置の密度変化の補
正が可能となる、ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。As described above in detail, according to the first aspect of the present invention, it is possible to (1) eliminate an error due to a change in the density of the sealed liquids 8 and 12. In particular, there is an electronic diaphragm seal differential pressure measuring device which cannot electrically correct a density change, or a diaphragm seal type differential pressure measuring device which can correct a density change of a pneumatic diaphragm seal differential pressure measuring device. can get.
【００４６】（２）特に、キャピラリーチューブの部分
のみの温度変化に対して、有効な補正が可能となる、ダ
イアフラムシール型差圧測定装置が得られる。(2) In particular, it is possible to obtain a diaphragm seal type differential pressure measuring device capable of effectively correcting a temperature change only in a portion of the capillary tube.
【００４７】（３）封入液溜めと封入液が追加されるだ
けであるので、安価で、故障の恐れが少なく信頼性が向
上されたダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。(3) Since only the filling liquid reservoir and the filling liquid are added, a diaphragm seal type differential pressure measuring apparatus which is inexpensive, has little risk of failure and has improved reliability can be obtained.
【００４８】本発明の請求項２によれば、導圧管に、可
撓性のフレキシブルチューブが使用されたので、測定個
所への取付けが容易で、取付け作業性が向上されたダイ
アフラムシール型差圧測定装置が得られる。According to the second aspect of the present invention, since a flexible flexible tube is used for the pressure guiding tube, the diaphragm seal type differential pressure can be easily attached to the measuring point and the mounting workability is improved. A measuring device is obtained.
【００４９】本発明の請求項３によれば、導圧管とし
て、キャピラリーチューブが使用されたので、感度が良
好なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。According to the third aspect of the present invention, since the capillary tube is used as the pressure guiding tube, a diaphragm seal type differential pressure measuring device having good sensitivity can be obtained.
【００５０】本発明の請求項４によれば、封入液溜めと
してフレキシブルチューブの封入液溜めが使用されたの
で、取付け作業性が向上されたダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。According to the fourth aspect of the present invention, since the filled liquid reservoir of the flexible tube is used as the filled liquid reservoir, a diaphragm seal type differential pressure measuring device with improved workability in mounting can be obtained.
【００５１】本発明の請求項５によれば、封入液溜めと
してキャピラリーチューブの封入液溜めが使用されたの
で、感度が良好なダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。According to the fifth aspect of the present invention, since the sealed liquid reservoir of the capillary tube is used as the sealed liquid reservoir, a diaphragm seal type differential pressure measuring device with good sensitivity can be obtained.
【００５２】従って、本発明によれば、温度特性が改良
されたダイアフラムシール型差圧測定装置を実現するこ
とが出来る。Therefore, according to the present invention, a diaphragm seal type differential pressure measuring device with improved temperature characteristics can be realized.
【図１】本発明の一実施例の構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a main part configuration of another embodiment of the present invention.
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a configuration of a conventional example generally used in the related art.
１ 差圧測定装置本体 ２ 本体カプセル ３ カバー ４ シールダイアフラム ５ シールダイアフラム ６ 高圧側のキャピラリーチューブ ７ 高圧側のダイアフラムシールユニット ７１ フランジ ７２ 本体ブロック ７３ シールダイアフラム ８ 封入液 ９ 低圧側のキャピラリーチューブ １１ 低圧側のダイアフラムシールユニット １１１ フランジ １１２ 本体ブロック １１３ シールダイアフラム １２ 封入液 ２１ 封入液溜め ２２ 封入液 ３１ 封入液溜め DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Differential pressure measuring apparatus main body 2 Main body capsule 3 Cover 4 Seal diaphragm 5 Seal diaphragm 6 High pressure side capillary tube 7 High pressure side diaphragm seal unit 71 Flange 72 Main block 73 Seal diaphragm 8 Filled liquid 9 Low pressure side capillary tube 11 Low pressure side Seal unit 111 Flange 112 Main body block 113 Seal diaphragm 12 Filled liquid 21 Filled liquid reservoir 22 Filled liquid 31 Filled liquid reservoir
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 宏康 山梨県甲府市高室町155番地 横河電機株 式会社甲府事業所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyasu Takahashi 155 Takamurocho, Kofu City, Yamanashi Prefecture Inside the Kofu Office of Yokogawa Electric Corporation
Claims (5)
ぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側の
ダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシ
ール型差圧測定装置において、 前記低圧側の導圧管に設けられ前記高圧側と低圧側との
封入液の密度変化による出力誤差と封入液の膨張による
出力誤差とが打ち消されるような封入液量の封入液溜め
を具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧
測定装置。1. A diaphragm seal type differential pressure measuring device comprising: a high pressure side and a low pressure side diaphragm seal unit which are in contact with a measurement fluid via a pressure guiding tube on a high pressure side and a low pressure side of a differential pressure measuring device main body, respectively. And a filling liquid reservoir having a filling liquid amount such that an output error due to a change in density of the filling liquid between the high-pressure side and the low-pressure side and an output error due to expansion of the filling liquid are cancelled. Diaphragm seal type differential pressure measuring device.
使用されたことを特徴とする請求項１記載のダイアフラ
ムシール型差圧測定装置。2. The diaphragm seal type differential pressure measuring device according to claim 1, wherein a flexible tube is used as said pressure guiding tube.
リーチューブが使用されたことを特徴とする請求項２記
載のダイアフラムシール型差圧測定装置。3. The diaphragm seal type differential pressure measuring apparatus according to claim 2, wherein a capillary tube is used as said flexible tube.
封入液溜めが使用されたことを特徴とする請求項１乃至
請求項３の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測
定装置。4. The diaphragm seal type differential pressure measuring device according to claim 1, wherein a sealed liquid reservoir of a flexible tube is used as the sealed liquid reservoir.
封入液溜めが使用されたことを特徴とする請求項１乃至
請求項３の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測
定装置。5. The diaphragm seal type differential pressure measuring device according to claim 1, wherein a sealed liquid reservoir of a capillary tube is used as the sealed liquid reservoir.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8138898A JPH11281511A (en) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | Diaphragm seal type differential pressure measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8138898A JPH11281511A (en) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | Diaphragm seal type differential pressure measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281511A true JPH11281511A (en) | 1999-10-15 |
Family
ID=13744931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8138898A Pending JPH11281511A (en) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | Diaphragm seal type differential pressure measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11281511A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003254847A (en) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Nagano Keiki Co Ltd | Differential pressure detector, level gauge and flowmeter fitted therewith |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP8138898A patent/JPH11281511A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003254847A (en) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Nagano Keiki Co Ltd | Differential pressure detector, level gauge and flowmeter fitted therewith |
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