JP2750550B2 - Remote seal type differential pressure / pressure transmitter - Google Patents

Remote seal type differential pressure / pressure transmitter

Info

Publication number
JP2750550B2
JP2750550B2 JP3345191A JP3345191A JP2750550B2 JP 2750550 B2 JP2750550 B2 JP 2750550B2 JP 3345191 A JP3345191 A JP 3345191A JP 3345191 A JP3345191 A JP 3345191A JP 2750550 B2 JP2750550 B2 JP 2750550B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
temperature
capillary tube
transmitter
seal type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3345191A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04248430A (en
Inventor
宏 窪田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP3345191A priority Critical patent/JP2750550B2/en
Publication of JPH04248430A publication Critical patent/JPH04248430A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2750550B2 publication Critical patent/JP2750550B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は被測圧部側に臨む少なく
とも一つの測圧端を検出部ボディから導出されたキャピ
ラリチューブの延設端に有しているリモートシール型の
差圧・圧力発信器関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a remote seal type differential pressure / pressure having at least one pressure measuring end facing a pressure measuring portion at an extended end of a capillary tube led out of a detecting portion body. about the transmitter.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種のプロセス流体の圧力等を測定する
ために用いられるリモートシール型の差圧または圧力発
信器は、強腐食性、高粘性、凝縮性、高温、金属の析出
等を有するプロセス流体の測定用として用いて効果的な
ものであり、その発信器本体側で圧力検出を行なう検出
部ボディから離れた被測圧部側にプロセス接液用のシー
ルダイヤフラムを測圧端として二カ所または一カ所に設
けるとともに、これら測圧端と検出部ボディとの間をキ
ャピラリチューブでつなぎ、その内部に圧力伝達媒体と
してシリコンオイル等の封入液を封入してなる液封構造
とされている。そして、この種リモートシール型の差圧
または圧力発信器は、たとえば石油精製プラントにおけ
る高温反応塔等といった密閉タンク内で上、下二位置の
差圧またはタンク内圧を大気圧との圧力差にて検出する
ことにより、液面測定を行なったり、タンク内圧を測定
したりする場合などに用いられる。
2. Description of the Related Art A remote seal type differential pressure or pressure transmitter used to measure the pressure of various process fluids is a process having strong corrosiveness, high viscosity, condensability, high temperature, metal deposition, and the like. It is effective for measuring fluid, and has a seal diaphragm for process liquid contact at two points on the pressure-measured part side, which is remote from the detector body that detects pressure on the transmitter body side. Alternatively, a liquid sealing structure is provided in which the pressure measuring end and the detection unit body are connected by a capillary tube, and a sealing liquid such as silicon oil is sealed therein as a pressure transmission medium. This kind of remote seal type differential pressure or pressure transmitter is used to determine the differential pressure at the upper and lower positions or the tank internal pressure in a closed tank such as a high-temperature reaction tower in an oil refining plant by the pressure difference from the atmospheric pressure. The detection is used for measuring the liquid level or measuring the tank internal pressure.

【0003】このようなリモートシール型の差圧または
圧力発信器において、たとえば差圧発信器の概略構成を
図10を用いて説明すると、全体を符号1で示すリモー
トシール型差圧発信器は、その内部に一対をなす受圧空
間2A,2Bおよびその圧力差を検出する圧力検出セン
サ3等を備えた検出部ボディ4と、この検出部ボディ4
の各受圧空間2A,2Bにキャピラリチューブ5A,5
Bを介してそれぞれ接続された測圧端としてのシールダ
イヤフラム6A,6Bを有する高、低圧圧力取出部7
A,7Bとを備えている。また、これら各圧力取出部7
A,7Bのシールダイヤフラム6A,6Bによる内方室
からキャピラリチューブ5A,5Bを介して連続する検
出部ボディ4の対応する受圧空間2A,2Bにかけての
空間部内には、それぞれ圧力伝達媒体としてシリコンオ
イルなどの封入液8が封入されている。そして、上述し
た差圧発信器1の各圧力取出部7A,7Bは、被測圧部
としてのタンク9に設けられた高、低圧圧力取出用孔9
A,9Bに連結され、その受圧素子としてのシールダイ
ヤフラム6A,6Bがタンク9内に臨み、タンク9下方
でその内部流体中に臨む高圧側のシールダイヤフラム6
Aにて液面高さhによるヘッド圧を、またタンク9上方
でタンク内室に臨む低圧側のダイヤフラム6Bにてタン
ク内圧を測定し、これらの差圧によりタンク9内の液面
位置(高さh)を測定するような構成とされていた。な
お、この図10では具体的な図示を省略したが、高、低
圧側のキャピラリチューブ5A,5Bは同一の長さで形
成されているものであり、両圧力測定系での圧力伝達が
等しくなるように設定される。したがって、高圧側のキ
ャピラリチューブ5Aは、たとえば螺線状に巻回された
状態でタンク9あるいは差圧発信器1に近接した設置面
上に載置されることとなる。
In such a remote seal type differential pressure or pressure transmitter, for example, a schematic configuration of a differential pressure transmitter will be described with reference to FIG. A detection unit body 4 including a pair of pressure receiving spaces 2A and 2B therein and a pressure detection sensor 3 for detecting a pressure difference between the pressure receiving spaces 2A and 2B;
Capillary tubes 5A, 5B in each pressure receiving space 2A, 2B
B, high and low pressure outlets 7 having seal diaphragms 6A and 6B as pressure measuring ends connected via
A, 7B. In addition, each of these pressure extraction sections 7
A silicone oil is used as a pressure transmission medium in the space from the inner chamber formed by the seal diaphragms 6A, 6B of the A, 7B to the corresponding pressure receiving spaces 2A, 2B of the detecting section body 4 which are continuous via the capillary tubes 5A, 5B. And the like. Each of the pressure extracting portions 7A and 7B of the differential pressure transmitter 1 described above is provided with a high and low pressure pressure extracting hole 9 provided in a tank 9 as a measured portion.
A, 9B, the seal diaphragms 6A, 6B as pressure receiving elements face the inside of the tank 9, and the high-pressure side seal diaphragm 6 that faces the internal fluid below the tank 9.
A, the head pressure based on the liquid level height h is measured, and the tank pressure inside the tank 9 is measured by the diaphragm 6B on the low pressure side facing the tank inner chamber above the tank 9, and the liquid level position (high H) is measured. Although not specifically shown in FIG. 10, the capillary tubes 5A and 5B on the high and low pressure sides are formed to have the same length, and the pressure transmission in both pressure measurement systems becomes equal. It is set as follows. Therefore, the capillary tube 5A on the high pressure side is placed on the installation surface close to the tank 9 or the differential pressure transmitter 1 in a state wound, for example, in a spiral shape.

【0004】また、圧力発信器1Aにあっては、図11
から明かなように、検出部ボディ4内の受圧空間2A,
2Bのうちの一方(受圧空間2A)が大気圧室とされ、
キャピラリチューブ5Aが大気に開放されている。そし
て、他方のキャピラリチューブ5Bが、測圧端としての
シールダイヤフラム6Bを有する圧力取出部7Bが、タ
ンク9の一部に形成される圧力取出用孔9Bに対してタ
ンク内圧を測定可能に設けられ、大気圧との圧力差によ
ってこのタンク内圧を測定するように構成されていた。
In the pressure transmitter 1A, FIG.
As is clear from FIG.
One of 2B (pressure receiving space 2A) is an atmospheric pressure chamber,
The capillary tube 5A is open to the atmosphere. The other capillary tube 5B is provided with a pressure extracting portion 7B having a seal diaphragm 6B as a pressure measuring end, and a pressure extracting hole 9B formed in a part of the tank 9 is provided so as to be able to measure the tank internal pressure. The internal pressure of the tank is measured by a pressure difference from the atmospheric pressure.

【0005】上述した構成によるリモートシール型の差
圧または圧力発信器1,1Aにおいて、その測圧端(7
A,7Bまたは7B)と発信器側の検出部ボディ4とを
連結するキャピラリチューブ5A,5Bはステンレス鋼
等で形成されていることから、それ自身が周囲温度等か
らの熱影響により熱膨張または熱収縮されるものであ
り、またその内部に封入される封入液8としてのシリコ
ンオイル等も同様に熱膨張または熱収縮するものであ
る。そして、上述したような熱膨張等を部分的にでも生
じると、キャピラリチューブ5A,5Bまたは5B内で
の容量が変化してしまい、封入液8側の膨張量も考慮し
たとしても、その圧力伝達率が変化してしまい、適切な
測定値の出力を得ることができないという問題を生じて
いる。このため、従来からこの種の差圧・圧力発信器
1,1Aにおいて、温度補償回路などを付設するといっ
た温度補正対策が種々講じられているが、このような従
来構成では、前述した測圧端(7A,7Bまたは7
B)、キャピラリチューブ5A,5Bまたは5Bおよび
検出部ボディ4という装置全体を含めて行なわれてお
り、上述した圧力伝達系の部分的な温度影響を補正する
ことはできないものであった。すなわち、上述したよう
なリモートシール型の差圧または圧力発信器1,1Aに
おいて、屋外等に付設されるキャピラリチューブ5A,
5B;5Bは、長いものでは約5〜10m以上にも及ぶ
ことが多く、このような場合にはキャピラリチューブ5
A,5Bが部分的に直射日光を受けて加熱されることが
多いものであった。そして、上述した従来構成により、
このような部分的な熱影響を補正することは事実上困難
なもので、より簡単な構成による何らかの補正手段を講
じることが望まれている。特に、このような問題は、上
述した差圧発信器1のように同一の長さにより形成され
る一対のキャピラリチューブ5A,5Bを有しており、
その一方が直射日光等による部分的な加熱等により熱影
響を受けた場合に、両測圧端(7A,7B)において圧
力変化にアンバランスが生じ、適正な出力精度を確保し
得ない場合等に顕著であった。また、圧力発信器1Aに
あっても、かなりの長さをもつキャピラリチューブ5B
を測圧系として有しており、これが直射日光等による部
分的な加熱等により熱影響を受けた場合には、大気圧側
との間で圧力変化にアンバランスを生じ、適正な出力精
度を確保し得ない場合に避けられないものであった。
In the remote seal type differential pressure or pressure transmitter 1, 1A having the above-described configuration, the pressure measuring end (7
A, 7B or 7B) and the capillary tubes 5A and 5B connecting the transmitter-side detection unit body 4 are made of stainless steel or the like. It is thermally contracted, and the silicone oil or the like as the filling liquid 8 enclosed therein also undergoes thermal expansion or contraction. If the above-mentioned thermal expansion or the like occurs even partially, the volume in the capillary tube 5A, 5B or 5B changes, and even if the amount of expansion on the side of the sealed liquid 8 is taken into consideration, the pressure transmission will not occur. This causes a problem that the output of the measured value cannot be obtained because the rate changes. For this reason, conventionally, various measures for temperature correction such as adding a temperature compensation circuit have been taken in this type of differential pressure / pressure transmitters 1 and 1A. (7A, 7B or 7
B), the entire apparatus including the capillary tubes 5A, 5B or 5B and the detection unit body 4 is performed.
Ri and was not able to correct the partial temperature effects of the pressure transmitting system described above. That is, in the above-described remote seal type differential pressure or pressure transmitter 1, 1A, the capillary tube 5A,
5B; 5B is often as long as about 5 to 10 m or more, and in such a case, the capillary tube 5
A and 5B were often heated by receiving partial sunlight. And, with the above-described conventional configuration,
It is practically difficult to correct such a partial thermal effect, and it is desired to take some correction means with a simpler configuration. In particular, such a problem involves a pair of capillary tubes 5A and 5B formed by the same length as in the differential pressure transmitter 1 described above.
When one of them is affected by heat due to partial heating or the like due to direct sunlight, etc., imbalance occurs in pressure change at both pressure measuring ends (7A, 7B), and it is not possible to secure appropriate output accuracy. Was remarkable. Even if the pressure transmitter 1A is used, the capillary tube 5B having a considerable length
If this is thermally affected by partial heating or the like due to direct sunlight, etc., the pressure change will be unbalanced with the atmospheric pressure side, and appropriate output accuracy will be obtained. If it could not be secured, it was inevitable.

【0006】このため、上述したリモートシール型差圧
・圧力発信器1,1Aにおいて、たとえば実開昭62−
88931号公報、実開昭62−88930号公報等に
より、上述したような温度影響に対する温度補正手段と
して、圧力伝達系を構成するキャピラリチューブ5A,
5B;5Bに対し、相手側の圧力伝達系(5B,5A;
5A)側から引き出したダミーのキャピラリチューブを
沿わせて付設することで、両側の圧力伝達系間での封入
液への熱影響による圧力伝達のアンバランスを解消して
略等しく状態とし、これにより温度補正を行なって圧力
測定を精度よく行えるようにしたものを、先に提案して
いる。
Therefore, in the above-described remote seal type differential pressure / pressure transmitter 1, 1A, for example,
According to Japanese Patent No. 88931 and Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 62-88930, a capillary tube 5A, which constitutes a pressure transmission system, is used as a temperature correcting means for the above-mentioned temperature effects.
5B; In contrast to 5B, the counterpart pressure transmission system (5B, 5A;
5A) A dummy capillary tube drawn out from the side is attached alongside, thereby eliminating imbalance of pressure transmission due to the influence of heat on the sealed liquid between the pressure transmission systems on both sides to make the pressure transmission systems substantially equal. A device that performs temperature correction so that pressure measurement can be performed accurately has been previously proposed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の温度補正手法では、本来の圧力伝達系としてのキャ
ピラリチューブ以外に、ダミーのキャピラリチューブも
重複して存在し、これを実施するには、通常の二倍のキ
ャピラリチューブに圧力伝達用として封入液を封入する
ことが必要で、その封入作業が非常に困難であり、実現
が難しいものであった。また、発信器1,1A全体での
トータルな封入液量が増えるために、使用するダイヤフ
ラム等に制約が増え、設計上での自由度、使用条件の制
約が生じ、この点でも問題となるもので、このような点
を考慮し、より簡単に実現可能な温度補正手法を講じる
ことが望まれている。さらに、上述したようなリモート
シール型差圧・圧力発信器1,1Aにおいて、その検出
部ボディ4やキャピラリチューブ5A,5B;5Aで
は、直射日光、炉やタンクからの放熱等による周囲温度
影響によって最大で110℃程度の温度まで上昇する
が、これに比べて被測圧部に臨んで設けられる測圧端7
A,7B;7Aでは、被測圧側であるタンク内の流体温
度を直に受けて最大310℃程度まで温度上昇するもの
であり、このような測圧端部分での温度影響等をも配慮
し、適切な温度補正を行えるような何らかの対策が必要
となっている。
However, in such a conventional temperature correction method, in addition to a capillary tube as an original pressure transmission system, a dummy capillary tube also exists in an overlapping manner. However, it is necessary to enclose a sealing liquid for pressure transmission in a capillary tube twice as large as that of a conventional capillary tube, and the enclosing operation is very difficult and difficult to realize. In addition, in the whole transmitter 1, 1A
In order to increase the total amount of sealed liquid, restrictions on the diaphragm etc. to be used increase, and the degree of freedom in design and the conditions of use arise, and this also poses a problem. It is desired to take a temperature correction method that can be realized more easily. Further, in the remote seal type differential pressure / pressure transmitters 1 and 1A as described above, the detection unit body 4 and the capillary tubes 5A and 5B; 5A are affected by ambient temperature due to direct sunlight, heat radiation from a furnace or a tank, and the like. The temperature rises up to a temperature of about 110 ° C. at the maximum.
In A, 7B and 7A, the fluid temperature in the tank on the pressure measurement side is directly received and the temperature rises to a maximum of about 310 ° C. In consideration of such a temperature influence at the pressure measurement end portion, etc. Therefore, it is necessary to take some measures for performing appropriate temperature correction.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上述した要請に応えるた
めに本発明に係るリモートシール型差圧・圧力発信器
は、圧力検出手段を有する検出部ボディ内で互いに画成
して形成される一対の受圧空間の少なくともいずれか一
方から導出されるキャピラリチューブの外周と、その延
長端に連設されて被測圧部に臨むシールダイヤフラムを
有する測圧端の外側部分、たとえば反シールダイヤフラ
ム面とに沿って感温抵抗線を延設するとともに、この感
温抵抗線による感温抵抗値の演算処理部を設け、キャピ
ラリチューブおよび測圧端での封入液の熱膨張による温
度誤差を補正するように構成したものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to meet the above-mentioned demands, a remote seal type differential pressure / pressure transmitter according to the present invention is provided with a pair of sensors formed in a detection unit body having pressure detection means and mutually defined. An outer periphery of a capillary tube extending from at least one of the pressure receiving spaces and an outer portion of a pressure measuring end having a seal diaphragm connected to an extended end thereof and facing a portion to be measured , for example, an anti-seal diaphragm
The temperature-sensitive resistance line is extended along with the temperature-sensitive surface, and a processing part for calculating the temperature-sensitive resistance value by the temperature-sensitive resistance line is provided to reduce the temperature error due to the thermal expansion of the sealed liquid at the capillary tube and the measuring end. It is configured to correct.

【0009】[0009]

【作用】本発明によれば、キャピラリチューブおよび
圧端に付設した感温抵抗線によって、各圧力伝達系での
温度条件を感知し、これを両側の圧力伝達系での温度分
布差によって生じる圧力検出手段での誤差を、電気的な
演算処理により補正し、部分的な温度変化による出力誤
差が生じない構成とすることができる。
According to the present invention, a capillary tube and a measuring tube are provided.
The temperature-sensitive resistance wire is attached to圧端, the error in pressure detection means caused by the temperature distribution difference in sensing the temperature conditions in each pressure transmission systems, which both sides of the pressure transmission systems, electrical processing , And an output error due to a partial temperature change does not occur .

【0010】[0010]

【実施例】図1は本発明に係るリモートシール型差圧・
圧力発信器を適用した一実施例を示し、同図において前
述した図10と同一または相当する部分には同一番号を
付してその説明は省略する。ここで、この実施例では、
差圧・圧力発信器のうち、差圧発信器に本発明を適用し
た場合を説明する。本発明に係るリモートシール型差圧
発信器1によれば、圧力検出センサ3を有する検出部ボ
ディ4内で互いに画成して形成される一対の受圧空間2
A,2Bから導出されるキャピラリチューブ5A,5B
の外周とその延長端に連設されて被測圧部(たとえばタ
ンクの上、下二位置)に臨むシールダイヤフラム6A,
6Bを有する高圧側(PH)および低圧側(PL)の測
圧端7A,7Bの外側部分、たとえば反シールダイヤフ
ラム面とに沿って感温抵抗線20A,20Bを延設して
付設するとともに、この感温抵抗線20A,20Bによ
る感温抵抗値の演算処理部21を設け、各キャピラリチ
ューブ5A,5Bやそれぞれの測圧端7A,7B部分等
での封入液8の熱膨張による温度誤差を補正するように
構成したところを特徴としている。ここで、上述したキ
ャピラリチューブ5A,5Bへの感温抵抗線20A,2
0Bの付設手法としては、たとえばシリコンRTV等と
いった接着剤でチューブ側に抵抗線を接着固定したり、
図2に示したように締付けバンド22で適宜の個所を締
め付けて組付けたり、図3に示したようにチューブ5
A,5Bに感温抵抗線20A,20Bを沿わせた状態で
その外側に熱可塑性パイプ23を嵌装して被覆すること
で一体化したりする等が考えられる。また、測圧端とし
ての圧力取出部7A,7Bにおいてフランジ状を呈する
部分の背面側には、上述した感温抵抗線20A,20B
が、渦巻状に巻回して付設され、これにより測圧端部分
での温度条件を、全域にわたって均一にしかも適切かつ
確実に検出できるように構成するとよい。特に、このよ
うな圧力取出部7A,7Bでは、タンク等の被測圧部か
らの直接的な熱影響によって、直射日光等による熱影響
を受けるキャピラリチューブ5A,5Bよりもかなり温
度上昇し、出力誤差を生じる大きな原因となる部分であ
り、この部分での温度変化を、上述した渦巻状に巻回し
たりして付設している感温抵抗線20A,20Bによる
効果は大きい。なお、本実施例では、検出部ボディ4内
に形成される一対の受圧空間2A,2Bを、センタダイ
アフラム13で画成するとともに、シールダイアフラム
14A,14Bで前記キャピラリチューブ5A,5B側
とも画成し、圧力伝達のみが行なえるように構成した場
合を示している。しかし、上述した検出部ボディ4内で
のシールダイアフラム14A,14Bは必ずしも必要と
されるものではなく、これを省略してもよい。そして、
このような構成によれば、キャピラリチューブ5A,5
の外周および測圧端(7A,7B)の外側部分(たと
えば反シールダイヤフラム面)とに沿って付設した感温
抵抗線20A,20Bによって、各圧力伝達系での温度
条件を感知し、これを両側の圧力伝達系での温度分布差
によって生じる圧力検出センサ3での誤差を、電気的な
演算処理により補正し、部分的な温度変化による出力誤
差が生じない構成とし得るものである。すなわち、上述
した構成によれば、一対の測圧端7A,7Bと検出部ボ
ディ4との間を連結するキャピラリチューブ5A,5B
の少なくとの一方が部分的に加熱され、その熱影響によ
り内部封入液8やチューブ5A,5B自身が熱膨張等の
影響を受けたとしても、その温度条件を前述した感温抵
抗体20A,20Bによって測定できる。そして、その
抵抗値差から演算回路(図4中21を付したCPUが該
当する)で演算することにより、圧力検出センサ3から
の圧力信号の温度補正を行い、部分的な温度変化による
出力誤差が生じない構成とし得るものである。ここで、
図4において24は上述した両感温抵抗体20A,20
Bの抵抗値差を求めるために一対の抵抗体25A,25
Bと共に構成したブリッジ回路で、その出力がアンプ2
6、A/D変換器27、I/Oインターフェース28を
経て演算回路としてのCPU21に導入されるととも
に、圧力検出センサ3からの信号も導入され、その結果
として温度補正した差圧を出力回路29から出力し得る
ものである。このような温度補正手順は、図5に示した
通りで、ステップ101で抵抗値差を測定し、ステップ
102で圧力検出センサ3からの測定を行い、ステップ
103にてこれらをCPU21で比較演算することで、
抵抗値差による圧力信号の補正を適切かつ確実に行える
ことは容易に理解されよう。
1 shows a remote seal type differential pressure sensor according to the present invention.
An embodiment to which a pressure transmitter is applied is shown, and the same or corresponding portions in FIG. 10 as those in FIG. 10 described above are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. Here, in this embodiment,
A case where the present invention is applied to a differential pressure transmitter among differential pressure / pressure transmitters will be described. According to the remote seal type differential pressure transmitter 1 according to the present invention, the pair of pressure receiving spaces 2 defined and formed in the detection unit body 4 having the pressure detection sensor 3.
Capillary tubes 5A and 5B derived from A and 2B
Seal diaphragms 6A, 6A, which are connected to the outer periphery of the
Outer portions of the high pressure side (PH) and low pressure side (PL) pressure measuring ends 7A and 7B having a pressure gauge 6B , for example, an anti-sealing diaphragm
The temperature-sensitive resistance wires 20A and 20B are extended and attached along the ram surface, and a processing part 21 for calculating the temperature-sensitive resistance value by the temperature-sensitive resistance wires 20A and 20B is provided. It is characterized in that it is configured to correct a temperature error due to thermal expansion of the sealed liquid 8 at each of the pressure measuring ends 7A and 7B . Here, the temperature-sensitive resistance wires 20A, 2A to the capillary tubes 5A, 5B described above are used.
As a method of attaching 0B, for example, a resistance wire is bonded and fixed to the tube side with an adhesive such as silicon RTV,
As shown in FIG. 2, an appropriate portion is tightened with a tightening band 22 to be assembled, or as shown in FIG.
It is conceivable that the thermosensitive resistance wires 20A, 20B are placed along the wires A, 5B, and a thermoplastic pipe 23 is fitted on the outside of the wires to cover them, thereby integrating them. In addition, the above-mentioned temperature-sensitive resistance wires 20A, 20B are provided on the back side of the flange-shaped portions of the pressure extraction portions 7A, 7B as pressure measuring ends.
Is preferably provided in such a manner as to be spirally wound, so that the temperature condition at the pressure measuring end can be detected uniformly, appropriately and reliably over the entire area. In particular, in such pressure extraction sections 7A and 7B, the temperature rises considerably more than the capillary tubes 5A and 5B that are thermally affected by direct sunlight or the like due to the direct thermal influence from the pressure measurement section such as a tank. This is a major cause of error, and the temperature change in this part is spirally wound as described above .
The effect provided by the temperature-sensitive resistance wires 20A and 20B attached is large. In the present embodiment, a pair of pressure receiving spaces 2A and 2B formed in the detection unit body 4 are defined by the center diaphragm 13, and the capillary diaphragms 5A and 5B are also defined by seal diaphragms 14A and 14B. In this case, only the pressure transmission is performed. However, the seal diaphragms 14A and 14B in the detection unit body 4 are not always required, and may be omitted . And
According to such a configuration, the capillary tubes 5A, 5A
Outer and measuring圧端(7A, 7B) of the B and outer portions (for the
For example , a temperature sensing resistance line 20A, 20B attached along the anti-seal diaphragm surface) senses the temperature condition in each pressure transmission system, and detects this by a temperature distribution difference between the pressure transmission systems on both sides. 3 can be corrected by electrical arithmetic processing so that an output error due to a partial temperature change does not occur. That is, according to the above-described configuration, the capillary tubes 5A, 5B connecting between the pair of pressure measuring ends 7A, 7B and the detection unit body 4 are provided.
At least one of the tubes is partially heated, and even if the internal sealed liquid 8 and the tubes 5A and 5B themselves are affected by thermal expansion or the like due to the thermal effect, the temperature condition is set to the temperature-sensitive resistor 20A, 20B . An arithmetic circuit (corresponding to a CPU denoted by 21 in FIG. 4) calculates the temperature of the pressure signal from the pressure detection sensor 3 based on the resistance value difference, and outputs an error due to a partial temperature change. Is not generated. here,
In FIG. 4, reference numeral 24 denotes the above-mentioned temperature-sensitive resistors 20A and 20A.
A pair of resistors 25A, 25A
B is a bridge circuit composed of
6. Introduced to the CPU 21 as an arithmetic circuit via the A / D converter 27 and the I / O interface 28, the signal from the pressure detection sensor 3 is also introduced. Can be output from. Such a temperature correction procedure is as shown in FIG. 5, in which the resistance value difference is measured in step 101, the measurement from the pressure detection sensor 3 is performed in step 102, and these are compared and calculated by the CPU 21 in step 103. By that
It will be easily understood that the pressure signal can be appropriately and reliably corrected by the resistance value difference.

【0011】ここで、上述したような感温抵抗体20
A,20Bにより温度補正が可能である点について、図
6を用いて以下に説明する。まず、キャピラリチューブ
5A,5B内の封入液についての温度変化に伴なう点を
検討する。 ここで、 L:該チューブ全体の長さ T(x):位置xにおける温度Toからの変化[℃] A:キャピラリの断面積 α:封入液(シリコンオイル)の膨張係数 さて、該チューブにおいて、dxで切り出した部分の体
積は(A・dx)であり、温度変化T(x)におけるd
x部分の体積膨張分は、 dv=αT(x)・A・dx ‥‥(1) で、キャピラリチューブ全体の体積膨張分は、以下の
(2)式となる。
Here, the temperature-sensitive resistor 20 as described above is used.
The point that the temperature can be corrected by A and 20B will be described below with reference to FIG. First, the points of the sealed liquid in the capillary tubes 5A and 5B accompanying the temperature change will be examined. Here, L: length of the entire tube T (x): change from temperature To at position x [° C.] A: cross-sectional area of capillary α: expansion coefficient of sealed liquid (silicon oil) The volume of the portion cut out by dx is (A · dx), and d in the temperature change T (x)
The volume expansion of the x portion is dv = αT (x) · A · dx ‥‥ (1), and the volume expansion of the entire capillary tube is expressed by the following equation (2).

【0012】[0012]

【数1】 (Equation 1)

【0013】そして、この(2)式から、高圧側PHと
低圧側PLでの圧力伝達用キャピラリチューブ5A,5
Bでの封入液8の体積変化ΔVcH、ΔVcLは、次の
(3),(4)式となる。
From the equation (2), the capillary tubes 5A, 5A for transmitting pressure on the high pressure side PH and the low pressure side PL are obtained.
The volume changes ΔVcH and ΔVcL of the sealed liquid 8 at B are represented by the following equations (3) and (4).

【0014】[0014]

【数2】 (Equation 2)

【0015】[0015]

【数3】 (Equation 3)

【0016】そして、これら間での液量差による誤差と
なる差圧の変化分ΔPは、ダイアフラムのコンプライア
ンスをΦとすると、
The change ΔP of the differential pressure , which is an error due to the difference in the liquid amount between them, is given by Φ = diaphragm compliance.

【0017】[0017]

【数4】 (Equation 4)

【0018】となる。次に、キャピラリチューブ5A,
5Bに沿って這わせた感温抵抗線20A,20Bを、図
7を用いて以下に説明する。 このような感温抵抗線20A,20Bにおけるdx部分
での抵抗値は(ρdx)となる。そして、温度変化T
(x)におけるdx部分での抵抗増加分dRは、 dR=βT(x)・ρdx ‥‥(6) であり、その全体での抵抗の変化分ΔRcは、
## EQU1 ## Next, the capillary tube 5A,
The temperature-sensitive resistance wires 20A and 20B creeped along 5B will be described below with reference to FIG. The resistance value at the dx portion of the temperature-sensitive resistance lines 20A and 20B is (ρdx). And the temperature change T
The resistance increase dR at the dx portion in (x) is dR = βT (x) · ρdx ‥‥ (6), and the total resistance change ΔRc is:

【0019】[0019]

【数5】 (Equation 5)

【0020】そして、この(7)式から、高圧側PHと
低圧側PLでの感温抵抗線20A,20Bの抵抗値変化
ΔRcH、ΔRcLは、次の(8),(9)式となる。
From the equation (7), the resistance change of the temperature-sensitive resistance wires 20A and 20B on the high-pressure side PH and the low-pressure side PL is obtained.
ΔRcH and ΔRcL are expressed by the following equations (8) and (9).

【0021】[0021]

【数6】 (Equation 6)

【0022】[0022]

【数7】 (Equation 7)

【0023】そして、これらの(8),(9)式の差
(ΔRc)をとると、
The difference between the equations (8) and (9)
Taking (ΔRc) ,

【0024】[0024]

【数8】 (Equation 8)

【0025】[0025]

【数9】 (Equation 9)

【0026】したがって、上述したキャピラリチューブ
5A,5B側での(5)式に感温抵抗線20A,20B
側での(11)式を代入すると、
Therefore, the temperature-sensitive resistance wires 20A, 20B on the side of the capillary tubes 5A, 5B are expressed by the equation (5).
Substituting equation (11) on the side,

【0027】[0027]

【数10】 (Equation 10)

【0028】が導かれ、抵抗の変化分ΔRcの測定結果
から、該(12)式によりΔPcを求めることが可能と
なるものである。
Is derived and the measurement result of the resistance change ΔRc
Thus, ΔPc can be obtained by the equation (12).

【0029】一方、測圧端7A,7B側でシールダイヤ
フラム6A,6Bによって封入された封入液とこの部分
に付設される感温抵抗線20A,20Bについてを、図
8を用いて以下に説明する。まず、測圧端での封入液
は、この部分での液封部分を太くて薄いフランジ状のキ
ャピラリチューブと同じと見ると、前述した(5)式か
ら、
On the other hand, the sealed liquid sealed by the seal diaphragms 6A and 6B on the pressure measuring ends 7A and 7B side and the temperature-sensitive resistance wires 20A and 20B attached to this part will be described below with reference to FIG. . First, when the sealed liquid at the pressure measuring end is regarded as the same as the thick and thin flange-shaped capillary tube at this part, from the above-mentioned equation (5),

【0030】[0030]

【数11】 [Equation 11]

【0031】となる。ここで、ΔP はフランジ状測圧
端7A,7B間での液量差による誤差となる差圧の変化
分であり、またA′はフランジ状測圧端の受圧面積、
はその厚みである。そして、この場合に(A′/A)=
κとすると、
## EQU1 ## Here, [Delta] P F is flanged Haka圧
Change in differential pressure resulting in error due to difference in liquid volume between ends 7A and 7B
The pressure receiving area of a minute, also A 'is measured flanged 圧端, 1
Is its thickness. Then, in this case, (A '/ A) =
If κ,

【0032】[0032]

【数12】 (Equation 12)

【0033】となる。次に、フランジ状の測圧端での感
温抵抗線20A,20Bは、側圧端の中心軸に直角な断
面にキャピラリチューブが面積比κ倍だけ存在すると考
えれば、前述した(11)から、
## EQU1 ## Next, the feeling at the flange-shaped
The temperature resistance wires 20A and 20B are perpendicular to the central axis of the lateral pressure end.
It is considered that the capillary tube exists on the surface by the area ratio κ times.
If so, from the above (11),

【0034】[0034]

【数13】 となる。 したがって、キャピラリチューブおよび測圧端
における全差圧変化分ΔP 全抵抗変化分ΔRは下
記(16)、(17)式となり、これら両式からΔP
とΔR は(18)式となる。
(Equation 13) Becomes Therefore, the capillary tube and the measuring end
All differences pressure change amount [Delta] P T in the total change in resistance [Delta] R T is below (16), becomes (17), [Delta] P T from both these formulas
And ΔR T is (18).

【数14】 [Equation 14]

【0036】[0036]

【数15】 (Equation 15)

【0037】[0037]

【数16】 すなわち、抵抗変化分の測定により、差圧変化分が算出
でき、温度補正が行えることは明らかである。
(Equation 16) That is, the differential pressure change is calculated by measuring the resistance change.
Obviously, temperature correction can be performed.

【0038】図9は本発明をリモートシール型圧力発信
器1Aに適用した実施例を示すものであり、図において
前述した実施例等と同一または相当する部分には同一番
号を付してその説明は省略する。この実施例では、リモ
ートシール型圧力発信器1Aにおいて、被測圧部(9)
に臨むシールダイアフラム6Bを有する測圧端(7B)
と、これにキャピラリチューブ5Bを介して連通する圧
力伝達媒体(8)が液封された受圧空間2Aおよびその
内圧を大気圧が付与されている第2の受圧空間2Bとの
圧力差で検出する手段(3)を有する検出部ボディ4を
備え、これら検出部ボディ4、測圧端6B間で前記キャ
ピラリチューブ5Bおよび側圧端6B部分の反シールダ
イヤフラム面に前記感温抵抗線20Bを付設している場
合を示している。そして、このような構成において、前
述した図4におけるブリッジ回路24の感温抵抗線20
Aをダミーとしてブリッジを構成すれば、感温抵抗線2
0Bでの温度変化を抵抗値差で求めることが可能で、前
述したと同様に、温度補正が行えることは、容易に理解
されよう。ここで、図9中30は検出部ボディ4内に形
成される一対の受圧空間2A,2Bを、圧力検出センサ
3で画成するとともに、大気圧側(基準圧側)をシール
ダイアフラム30で画成した液封空間とした場合を示し
ているが、圧力伝達系としての構成上からは何ら差異の
ないものである。
FIG. 9 shows an embodiment in which the present invention is applied to a remote seal type pressure transmitter 1A. In the drawing, the same or corresponding parts as those in the above-described embodiment and the like are denoted by the same reference numerals. Is omitted. In this embodiment, in the remote seal type pressure transmitter 1A, the pressure-measured part (9)
Measuring end (7B) having a seal diaphragm 6B facing the front
And a pressure receiving space 2A in which a pressure transmitting medium (8) communicating with the pressure transmitting medium 8 via the capillary tube 5B is sealed, and the internal pressure thereof is detected by a pressure difference between the pressure receiving space 2A and the second pressure receiving space 2B to which atmospheric pressure is applied. A detection unit body 4 having means (3) is provided, and the temperature-sensitive resistance wire 20B is provided between the detection unit body 4 and the pressure measuring end 6B on the anti-seal diaphragm surface of the capillary tube 5B and the side pressure end 6B. Is shown. In such a configuration, the temperature-sensitive resistance line 20 of the bridge circuit 24 in FIG.
If a bridge is constructed using A as a dummy, the temperature-sensitive resistance line 2
It will be easily understood that the temperature change at 0B can be obtained from the resistance value difference, and the temperature correction can be performed in the same manner as described above. Here, in FIG. 9, reference numeral 30 denotes a pair of pressure receiving spaces 2A and 2B formed in the detection unit body 4 defined by the pressure detection sensor 3 and an atmospheric pressure side (reference pressure side) defined by the seal diaphragm 30. Although the case of a liquid-sealed space is shown, there is no difference from the configuration as a pressure transmission system.

【0039】なお、本発明は上述した実施例構造に限定
されず、検出部ボディ4やこれを測圧端7A,7B;7
Bに連結する測圧側のキャピラリチューブ5A,5B;
5Bとの連結構造、さらに大気圧(基準圧)側の圧力伝
達系等を始めとして各部の形状、構造等を、適宜変形、
変更することは自由である。また、本発明に係るリモー
トシール型の差圧・圧力発信器は、上述した実施例にお
ける液面計に限定されず、種々の分野における各種の機
器、装置における差圧・圧力測定用として用いてその効
果を発揮し得るものである。
The present invention is not limited to the structure of the above-described embodiment, but includes the detecting unit body 4 and the measuring units 7A, 7B;
Capillary tubes 5A and 5B on the pressure measurement side connected to B;
5B, the shape and structure of each part including the pressure transmission system on the atmospheric pressure (reference pressure) side, etc.
It is free to change. Further, the remote seal type differential pressure / pressure transmitter according to the present invention is not limited to the liquid level gauge in the above-described embodiment, and is used for measuring the differential pressure / pressure in various devices and apparatuses in various fields. The effect can be exhibited.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るリモー
トシール型差圧・圧力発信器によれば、圧力検出手段を
有する検出部ボディ内で互いに画成して形成される一対
の受圧空間の少なくともいずれか一方から導出されるキ
ャピラリチューブの外周とその延長端に連設されて被測
圧部に臨むシールダイヤフラムを有する測圧端の外側部
分、たとえば反シールダイヤフラム面とに沿って感温抵
抗線を延設するとともに、この感温抵抗線による感温抵
抗値の演算処理部を設け、キャピラリチューブおよび測
圧端での封入液の熱膨張による温度誤差を補正するよう
に構成したので、簡単かつ安価な構成にもかかわらず、
以下に述べる優れた効果を奏する。 すなわち、本発明に
よれば、キャピラリチューブの外周および測圧端におけ
外側部分に付設した感温抵抗線によって、各圧力伝達
系での温度条件を適切かつ確実に感知し、これにより両
側の圧力伝達系での温度分布差によって生じる圧力検出
手段での誤差を電気的な演算処理により補正すること
で、部分的な温度変化による出力誤差が生じないように
することが可能である。したがって、本発明によれば、
被測圧部に臨んでその温度影響を受け易い測圧端や、こ
の測圧端と検出部ボディとの間を連結するキャピラリチ
ューブの少なくとも一部分などが部分的に加熱され、そ
の熱影響により内部封入液やチューブ自身が熱膨張等の
影響を受けたとしても、その温度補正を適切に行い、部
分的な温度変化による出力誤差が生じない構成とするこ
とができる。
As described above, according to the remote seal type differential pressure / pressure transmitter according to the present invention, a pair of pressure receiving spaces formed so as to be mutually defined in the detecting portion body having the pressure detecting means. Outer part of the pressure measuring end having a seal diaphragm that is connected to the outer periphery of the capillary tube derived from at least one of them and an extended end thereof and faces the part to be measured.
For example , a temperature-sensitive resistance line is extended along the surface of the anti-seal diaphragm, and a processing part for calculating a temperature-sensitive resistance value by the temperature-sensitive resistance line is provided. Because it was configured to correct the temperature error due to expansion, despite the simple and inexpensive configuration,
The following excellent effects are obtained. That is, in the present invention
According to the temperature sensing resistance wires attached to the outer periphery of the capillary tube and the outer portion at the pressure measuring end, the temperature conditions in each pressure transmission system can be appropriately and reliably sensed, and thereby the temperature distribution in the pressure transmission systems on both sides can be detected. By correcting an error in the pressure detecting means caused by the difference by an electric operation process, it is possible to prevent an output error due to a partial temperature change . Thus, according to the present invention,
The pressure-measuring end that faces the pressure-measured part and is easily affected by the temperature, and at least a part of the capillary tube that connects between the pressure-measuring end and the detecting part body are partially heated, and the heat influences the inside. Even if the sealed liquid or the tube itself is affected by thermal expansion, etc., the temperature should be properly corrected so that output errors due to partial temperature changes do not occur .
Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明を適用してなるリモートシール型差圧
発信器の一実施例を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing one embodiment of a remote seal type differential pressure transmitter to which the present invention is applied.

【図2】 キャピラリチューブに対しての感温抵抗線の
付設例を示す概略図である。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of attaching a temperature-sensitive resistance wire to a capillary tube.

【図3】 キャピラリチューブに対しての感温抵抗線の
別の付設例を示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic view showing another example of attaching a temperature-sensitive resistance wire to a capillary tube.

【図4】 温度補正用の回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram for temperature correction.

【図5】 温度補正用のフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart for temperature correction.

【図6】 キャピラリチューブ内での封入液の温度変化
を説明するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining a temperature change of a sealed liquid in a capillary tube.

【図7】 キャピラリチューブ部分に付設される感温抵
抗線での温度変化を説明するための図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining a temperature change in a temperature-sensitive resistance wire attached to a capillary tube portion.

【図8】 測圧端部分での封入液および感温抵抗線の温
度変化を説明するための図である。
FIG. 8 is a diagram for explaining temperature changes of a sealed liquid and a temperature-sensitive resistance line at a pressure measuring end portion.

【図9】 本発明を適用してなるリモートシール型圧力
発信器の一実施例を示す概略構成図である。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing one embodiment of a remote seal type pressure transmitter to which the present invention is applied.

【図10】 従来のリモートシール型差圧発信器を説明
するための概略構成図である。
FIG. 10 is a schematic configuration diagram for explaining a conventional remote seal type differential pressure transmitter.

【図11】 従来のリモートシール型圧力発信器を説明
するための概略構成図である。
FIG. 11 is a schematic configuration diagram for explaining a conventional remote seal type pressure transmitter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…リモートシール型差圧発信器、1A…リモートシー
ル型圧力発信器、2A…受圧空間、2B…受圧空間、3
…圧力検出センサ、4…検出部ボディ、5A…第1(測
圧側)のキャピラリチューブ、5B…第1(測圧側)の
キャピラリチューブ、6A…圧力取出用シールダイアフ
ラム、6B…圧力取出用シールダイアフラム、7A…圧
力取出部(測圧端)、7B…圧力取出部(測圧端)、8
…内部封入液、9…タンク(被測圧部)、20A…感温
抵抗線、20B…感温抵抗線、21…演算処理用CP
U。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Remote seal type differential pressure transmitter, 1A ... Remote seal type pressure transmitter, 2A ... Pressure receiving space, 2B ... Pressure receiving space, 3
... pressure detection sensor, 4 ... detection unit body, 5A ... first (pressure measurement side) capillary tube, 5B ... first (pressure measurement side) capillary tube, 6A ... pressure extraction seal diaphragm, 6B ... pressure extraction seal diaphragm , 7A: pressure extraction part (pressure measurement end), 7B: pressure extraction part (pressure measurement end), 8
... Internal sealed liquid, 9 ... Tank (measured part), 20A ... Temperature-sensitive resistance wire, 20B ... Temperature-sensitive resistance wire, 21 ... CP for arithmetic processing
U.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 互いに画成して形成される一対の受圧空
間およびその圧力差を検出する手段を有する検出部ボデ
ィと、この検出部ボディの各受圧空間内から導出されて
圧力伝達用の封入液が封入されている少なくとも一本の
キャピラリチューブの延長端に連設され被測圧部に臨む
シールダイヤフラムを有する測圧端を備えてなるリモー
トシール型差圧・圧力発信器において、 前記キャピラリチューブの外周と測圧端の外側部分とに
沿って感温抵抗線を延設するとともに、この感温抵抗線
による感温抵抗値の演算処理部を設け、キャピラリチュ
ーブおよび測圧端での封入液の熱膨張による温度誤差を
補正するように構成したことを特徴とするリモートシー
ル型差圧・圧力発信器。
1. A detecting body having a pair of pressure receiving spaces defined by each other and a means for detecting a pressure difference between the pressure receiving spaces, and a pressure transmitting enclosure which is drawn out from each pressure receiving space of the detecting portion body. In a remote seal type differential pressure / pressure transmitter having a pressure measuring end having a seal diaphragm which is connected to an extended end of at least one capillary tube in which a liquid is sealed and faces a portion to be measured, the capillary tube On the outer circumference of the
Along with extending the temperature-sensitive resistance line along with the temperature-sensitive resistance value, a processing unit for calculating the temperature-sensitive resistance value by the temperature-sensitive resistance line is provided so as to correct the temperature error due to the thermal expansion of the sealed liquid at the capillary tube and the pressure measuring end. A remote seal type differential pressure / pressure transmitter characterized by comprising.
【請求項2】 請求項1記載のリモートシール型差圧・
圧力発信器において側圧端における感温抵抗線による抵
抗を、キャピラリチューブでの抵抗のκ倍となるように
設定したことを特徴とするリモートシール型差圧・圧力
発信器。
2. The remote seal type differential pressure sensor according to claim 1,
In the pressure transmitter, the resistance due to the temperature-sensitive resistance
So that the resistance is κ times the resistance of the capillary tube
Remote seal type differential pressure / pressure characterized by setting
Transmitter.
JP3345191A 1991-02-04 1991-02-04 Remote seal type differential pressure / pressure transmitter Expired - Fee Related JP2750550B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3345191A JP2750550B2 (en) 1991-02-04 1991-02-04 Remote seal type differential pressure / pressure transmitter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3345191A JP2750550B2 (en) 1991-02-04 1991-02-04 Remote seal type differential pressure / pressure transmitter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04248430A JPH04248430A (en) 1992-09-03
JP2750550B2 true JP2750550B2 (en) 1998-05-13

Family

ID=12386902

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3345191A Expired - Fee Related JP2750550B2 (en) 1991-02-04 1991-02-04 Remote seal type differential pressure / pressure transmitter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2750550B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11118638A (en) * 1997-10-09 1999-04-30 Yamatake Corp Apparatus for measuring pressure loss or flow rate of high viscosity slurry fluid and manufacture of its measuring tube
JP4082901B2 (en) * 2001-12-28 2008-04-30 忠弘 大見 Pressure sensor, pressure control device, and temperature drift correction device for pressure flow control device
US7258021B2 (en) * 2004-06-25 2007-08-21 Rosemount Inc. Process transmitter isolation assembly
JP2021025961A (en) * 2019-08-08 2021-02-22 株式会社日立ハイテクソリューションズ Pressure detector, pressure transmitter, and pressure measurement method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04248430A (en) 1992-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4722228A (en) Remote seal-type pressure signal generator
AU707544B2 (en) Pressure transmitter with remote seal diaphragm and correction circuit therefor
US5811690A (en) Differential pressure transmitter with highly accurate temperature compensation
US20040177703A1 (en) Flow instrument with multisensors
US5313831A (en) Radial junction thermal flowmeter
US6935156B2 (en) Characterization of process pressure sensor
CN107192498B (en) Fluid-filled elongate pressure sensor
US6041659A (en) Methods and apparatus for sensing differential and gauge static pressure in a fluid flow line
JP2750550B2 (en) Remote seal type differential pressure / pressure transmitter
JPS5932916Y2 (en) NaK substitution type pressure measuring device
US4782703A (en) Temperature compensated pressure signal generator
JPH1194671A (en) Pressure sensor
JPS6061637A (en) Composite function type differential pressure sensor
US10386218B2 (en) Temperature measurement system for measuring the temperature of a tube and flowmeter comprising the temperature measurement system
CN111380645A (en) Remote seal system with improved temperature compensation
CN214010595U (en) Pressure sensor
JPS582714A (en) Flange-shaped liquid level transmitter
US7036382B2 (en) Liquidless seal connection
US7073400B2 (en) Sensor for measuring pressure in a sealed volume
JP3127431B2 (en) Calibration method of remote seal type differential pressure / pressure transmitter
CN112304474A (en) Pressure sensor
JPS60220823A (en) Liquid level transmitter
JPH11281511A (en) Diaphragm seal type differential pressure measuring device
JPH03107737A (en) Diaphragm seal type differential pressure measuring instrument
JPS63163132A (en) Preparation of differential pressure/pressure transmitter

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080227

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090227

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100227

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees