JPH11281180A - 冷凍装置 - Google Patents
冷凍装置Info
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- JPH11281180A JPH11281180A JP8547898A JP8547898A JPH11281180A JP H11281180 A JPH11281180 A JP H11281180A JP 8547898 A JP8547898 A JP 8547898A JP 8547898 A JP8547898 A JP 8547898A JP H11281180 A JPH11281180 A JP H11281180A
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- regenerator
- pulse tube
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1406—Pulse-tube cycles with pulse tube in co-axial or concentric geometrical arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F25B2309/1408—Pulse-tube cycles with pulse tube having U-turn or L-turn type geometrical arrangements
-
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- F25B2309/1415—Pulse-tube cycles characterised by regenerator details
-
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- F25B2309/1423—Pulse tubes with basic schematic including an inertance tube
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D19/00—Arrangement or mounting of refrigeration units with respect to devices or objects to be refrigerated, e.g. infrared detectors
- F25D19/006—Thermal coupling structure or interface
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空断熱容器内に蓄冷器及びパルス管をコン
パクトに収容することができると共に、冷凍能力の低下
を防ぐことが可能な冷凍装置を提供する。 【解決手段】 真空断熱容器１１内の蓄冷器１２にドー
ム部１２ｂを設けてそこに粒状の蓄冷材を収納し、パル
ス管１３を、ドーム部１２ｂに続く円筒部１２ａに連結
する。
パクトに収容することができると共に、冷凍能力の低下
を防ぐことが可能な冷凍装置を提供する。 【解決手段】 真空断熱容器１１内の蓄冷器１２にドー
ム部１２ｂを設けてそこに粒状の蓄冷材を収納し、パル
ス管１３を、ドーム部１２ｂに続く円筒部１２ａに連結
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空断熱容器内に
蓄冷器とこれに熱移送可能なパルス管とを設け、その蓄
冷器によって真空断熱容器内で被冷却物を冷却する冷凍
装置に関する。
蓄冷器とこれに熱移送可能なパルス管とを設け、その蓄
冷器によって真空断熱容器内で被冷却物を冷却する冷凍
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、超伝導体の低損失特性を利用した
高性能のフィルタ回路や増幅器等を移動体通信系の受信
側で利用する研究がなされている。このような超伝導デ
バイスを用いる場合、例えば超伝導フィルタの超伝導状
態を実現するために、真空断熱容器によって外部からの
熱的影響を遮断しつつ所定の低温状態を長期にわたって
維持する必要がある。
高性能のフィルタ回路や増幅器等を移動体通信系の受信
側で利用する研究がなされている。このような超伝導デ
バイスを用いる場合、例えば超伝導フィルタの超伝導状
態を実現するために、真空断熱容器によって外部からの
熱的影響を遮断しつつ所定の低温状態を長期にわたって
維持する必要がある。
【０００３】そこで、真空断熱容器内に設けた蓄冷器お
よびパルス管と、真空断熱容器外から前記蓄冷機内の作
動流体に周期的な圧力変動を加える圧縮機と、を含むパ
ルス管冷凍機を構成し、その真空断熱容器内で前記超伝
導体の低損失特性を利用したフィルタ回路や増幅器等を
被冷却物として、これを冷却するようにした冷凍装置が
開発されている。
よびパルス管と、真空断熱容器外から前記蓄冷機内の作
動流体に周期的な圧力変動を加える圧縮機と、を含むパ
ルス管冷凍機を構成し、その真空断熱容器内で前記超伝
導体の低損失特性を利用したフィルタ回路や増幅器等を
被冷却物として、これを冷却するようにした冷凍装置が
開発されている。
【０００４】また、この種の好ましい冷凍装置として、
例えば図２に示すように、真空断熱容器１１の内部に、
冷媒としての作動流体を充填した蓄冷器１２とこれに連
通するパルス管１３とバッファタンク１５とを設けた構
成が知られている。この装置は、パルス管１３に絞り通
路を有する細管１４を介してバッファタンク１５を接続
した構成を有し、図示していない圧縮機により蓄冷器１
２内の作動流体を膨張・圧縮及び変位させ、真空断熱容
器１１の内部で、蓄冷器１２の低温部１２’により被冷
却物（複数の超伝導フィルタ１６）を冷却する。また、
真空断熱容器１１の内部には、少なくとも超伝導フィル
タ１６への熱放射を遮る遮蔽板１７が設けられている。
特にこの装置では、真空断熱容器１１の強度をその容器
内に配置された支柱状のバッファタンク１５によって高
めると共に、バッファタンク１５の壁部を被冷却物周辺
部品の支持に利用可能として、装置構成の簡素化による
小型・軽量化を図っている。
例えば図２に示すように、真空断熱容器１１の内部に、
冷媒としての作動流体を充填した蓄冷器１２とこれに連
通するパルス管１３とバッファタンク１５とを設けた構
成が知られている。この装置は、パルス管１３に絞り通
路を有する細管１４を介してバッファタンク１５を接続
した構成を有し、図示していない圧縮機により蓄冷器１
２内の作動流体を膨張・圧縮及び変位させ、真空断熱容
器１１の内部で、蓄冷器１２の低温部１２’により被冷
却物（複数の超伝導フィルタ１６）を冷却する。また、
真空断熱容器１１の内部には、少なくとも超伝導フィル
タ１６への熱放射を遮る遮蔽板１７が設けられている。
特にこの装置では、真空断熱容器１１の強度をその容器
内に配置された支柱状のバッファタンク１５によって高
めると共に、バッファタンク１５の壁部を被冷却物周辺
部品の支持に利用可能として、装置構成の簡素化による
小型・軽量化を図っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術では、図
３（ａ）に示すように蓄冷器１２とパルス管１３とが直
線状に連結されているので、真空断熱容器１１の対向壁
面部１１ａ，１１ｂの間隔が大きくなり、真空断熱容器
１１内に蓄冷器１２及びパルス管１３をコンパクトに収
容することは難しい。なお、図３（ｂ）に示すようにパ
ルス管１３をＬ字に折り曲げて、連結された蓄冷器１２
及びパルス管１３を略コの字形に形成し、蓄冷器１２上
部にＬ字形のパルス管１３が連結されるように構成する
ことも考えられるが、この場合は、パルス管の曲折部で
冷媒としての作動流体の流れが乱れるため、冷凍装置の
性能が悪くなるという問題がある。
３（ａ）に示すように蓄冷器１２とパルス管１３とが直
線状に連結されているので、真空断熱容器１１の対向壁
面部１１ａ，１１ｂの間隔が大きくなり、真空断熱容器
１１内に蓄冷器１２及びパルス管１３をコンパクトに収
容することは難しい。なお、図３（ｂ）に示すようにパ
ルス管１３をＬ字に折り曲げて、連結された蓄冷器１２
及びパルス管１３を略コの字形に形成し、蓄冷器１２上
部にＬ字形のパルス管１３が連結されるように構成する
ことも考えられるが、この場合は、パルス管の曲折部で
冷媒としての作動流体の流れが乱れるため、冷凍装置の
性能が悪くなるという問題がある。
【０００６】本発明の目的は、このような問題点を改善
し、真空断熱容器内に蓄冷器及びパルス管をコンパクト
に収容することができると共に、冷凍能力の低下を防ぐ
ことが可能な冷凍装置を提供することにある。
し、真空断熱容器内に蓄冷器及びパルス管をコンパクト
に収容することができると共に、冷凍能力の低下を防ぐ
ことが可能な冷凍装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、冷凍装置の真空断熱容器内で、作動流体
が充填され、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器
に連通するパルス管とを有することを特徴とする。ま
た、前記目的を達成するため、本発明は、冷凍装置の真
空断熱容器内で、作動流体が充填された断面Ｌ字状の蓄
冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管とを有すること
を特徴とする。
め、本発明は、冷凍装置の真空断熱容器内で、作動流体
が充填され、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器
に連通するパルス管とを有することを特徴とする。ま
た、前記目的を達成するため、本発明は、冷凍装置の真
空断熱容器内で、作動流体が充填された断面Ｌ字状の蓄
冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管とを有すること
を特徴とする。
【０００８】さらに、前記蓄冷器には粒状の蓄冷材が収
納されていることを特徴とする。また、前記目的を達成
するため、本発明は、冷凍装置の真空断熱容器内で、作
動流体が充填された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパ
ルス管とを有し、前記蓄冷器には、ケーシング内にプレ
ート状の蓄冷材が積層された円筒部と、粒状の蓄冷材が
収納されたドーム部とが形成され、前記円筒部かドーム
部の何れかに前記パルス管が連通されたことを特徴とす
る。
納されていることを特徴とする。また、前記目的を達成
するため、本発明は、冷凍装置の真空断熱容器内で、作
動流体が充填された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパ
ルス管とを有し、前記蓄冷器には、ケーシング内にプレ
ート状の蓄冷材が積層された円筒部と、粒状の蓄冷材が
収納されたドーム部とが形成され、前記円筒部かドーム
部の何れかに前記パルス管が連通されたことを特徴とす
る。
【０００９】また、前記目的を達成するため、本発明
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填され
た蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管とを有し、
前記蓄冷器は、第１の円筒部及び第１の円筒部の上部に
配置され、第１の円筒部よりも径の大きい第２の円筒部
が形成され、第１の円筒部か第２の円筒部の何れかに前
記パルス管が連通されており、第２の円筒部のケーシン
グ内には、多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材
か、メッシュが形成されたプレート状の蓄冷材の何れか
が積層されたことを特徴とする。
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填され
た蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管とを有し、
前記蓄冷器は、第１の円筒部及び第１の円筒部の上部に
配置され、第１の円筒部よりも径の大きい第２の円筒部
が形成され、第１の円筒部か第２の円筒部の何れかに前
記パルス管が連通されており、第２の円筒部のケーシン
グ内には、多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材
か、メッシュが形成されたプレート状の蓄冷材の何れか
が積層されたことを特徴とする。
【００１０】また、前記目的を達成するため、本発明
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填され
た蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管とを有し、
前記蓄冷器は、第１の円筒部及び第１の円筒部の上部に
配置され、第１の円筒部よりも径の大きい第２の円筒部
が形成され、前記パルス管は、第２の円筒部に連通され
ると共に、第１のパルス管の外周に形成されており、第
２の円筒部のケーシング内には、多数の孔が形成された
プレート状の蓄冷材か、メッシュが形成されたプレート
状の蓄冷材の何れかが積層されたことを特徴とする。
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填され
た蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管とを有し、
前記蓄冷器は、第１の円筒部及び第１の円筒部の上部に
配置され、第１の円筒部よりも径の大きい第２の円筒部
が形成され、前記パルス管は、第２の円筒部に連通され
ると共に、第１のパルス管の外周に形成されており、第
２の円筒部のケーシング内には、多数の孔が形成された
プレート状の蓄冷材か、メッシュが形成されたプレート
状の蓄冷材の何れかが積層されたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の第
１の実施の形態に係る冷凍装置の概略構成図であり、本
発明を超伝導フィルタシステムに適用した例を示してい
る。なお、（ａ）は装置全体の概略構成を示し、（ｂ）
は後述のドーム状の部分１２ｂと円筒状の部分１２ａの
中間部１２ｃを示す。同図において、１１は真空チャン
バを形成する真空断熱容器であり、真空断熱容器１１の
内部には、流体通路（詳細は図示していない）を有する
蓄冷器１２と、これに連結されたパルス管１３と、が設
けられている。蓄冷器１２には２箇所の曲折部を有し、
その曲折部下方に円筒部１２Ａ，１２ａが形成され、そ
の円筒部１２Ａ，１２ａの上部にドーム部１２ｂが形成
されている。そして、円筒部１２Ａ，１２ａの円筒状の
ケーシング内に例えばステンレス、銅又は銅合金等から
なる多数枚のプレート状の蓄冷材を積層し、その蓄冷材
にそれぞれ多数形成された孔によって多数（複数）本の
流体通路を形成する。また、ドーム部１２ｂのドーム状
のケーシング内に多数の粒状の蓄冷材を収納し、その蓄
冷材の隙間とドーム状のケーシングによって流体通路を
形成したものである。なお、円筒部１２Ａ，１２ａとド
ーム部１２ｂに挟まれて配置された中間部１２ｃには、
前記粒状の蓄冷材の径より細かいメッシュが形成された
プレート状の蓄冷材を配置している。
て添付図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の第
１の実施の形態に係る冷凍装置の概略構成図であり、本
発明を超伝導フィルタシステムに適用した例を示してい
る。なお、（ａ）は装置全体の概略構成を示し、（ｂ）
は後述のドーム状の部分１２ｂと円筒状の部分１２ａの
中間部１２ｃを示す。同図において、１１は真空チャン
バを形成する真空断熱容器であり、真空断熱容器１１の
内部には、流体通路（詳細は図示していない）を有する
蓄冷器１２と、これに連結されたパルス管１３と、が設
けられている。蓄冷器１２には２箇所の曲折部を有し、
その曲折部下方に円筒部１２Ａ，１２ａが形成され、そ
の円筒部１２Ａ，１２ａの上部にドーム部１２ｂが形成
されている。そして、円筒部１２Ａ，１２ａの円筒状の
ケーシング内に例えばステンレス、銅又は銅合金等から
なる多数枚のプレート状の蓄冷材を積層し、その蓄冷材
にそれぞれ多数形成された孔によって多数（複数）本の
流体通路を形成する。また、ドーム部１２ｂのドーム状
のケーシング内に多数の粒状の蓄冷材を収納し、その蓄
冷材の隙間とドーム状のケーシングによって流体通路を
形成したものである。なお、円筒部１２Ａ，１２ａとド
ーム部１２ｂに挟まれて配置された中間部１２ｃには、
前記粒状の蓄冷材の径より細かいメッシュが形成された
プレート状の蓄冷材を配置している。
【００１２】蓄冷器１２の流体通路とパルス管１３の内
部空間は、一つの作業空間を形成するように連通してお
り、この作業空間内に所定の作動流体（例えば不活性ガ
ス、具体的にはヘリウム、アルゴン又は窒素等）が充填
されている。蓄冷器１２の前記流体通路は、真空断熱容
器１１の外部に設けた図示しない例えばピストン型の圧
縮機（流体駆動手段）の圧縮室に連通しており、この圧
縮機が蓄冷器１２を介して前記作動流体を周期的に圧縮
・膨張および変位させるようになっている。なお、ここ
で作動流体を圧縮・膨張させるとは、作業流体に周期的
な圧力変化を加えて、その体積を周期的に変化させる
（微小空間についてみれば、周期的に加わる圧力変化と
同位相成分の流体変位が生じる）ことをいい、作動流体
を変位させるとは、作業流体をパルス管１３の軸方向に
単に移動させる（作動流体の圧縮・膨張に関与しない、
圧力変化と位相の異なる流体変位が生じる）ことをい
う。前記圧縮・膨張及び変位時に、作動流体はドーム部
１２ｂのドーム形状による整流作用を受けるので、蓄冷
器１２の曲折部で作動流体の流れが乱れることはない。
部空間は、一つの作業空間を形成するように連通してお
り、この作業空間内に所定の作動流体（例えば不活性ガ
ス、具体的にはヘリウム、アルゴン又は窒素等）が充填
されている。蓄冷器１２の前記流体通路は、真空断熱容
器１１の外部に設けた図示しない例えばピストン型の圧
縮機（流体駆動手段）の圧縮室に連通しており、この圧
縮機が蓄冷器１２を介して前記作動流体を周期的に圧縮
・膨張および変位させるようになっている。なお、ここ
で作動流体を圧縮・膨張させるとは、作業流体に周期的
な圧力変化を加えて、その体積を周期的に変化させる
（微小空間についてみれば、周期的に加わる圧力変化と
同位相成分の流体変位が生じる）ことをいい、作動流体
を変位させるとは、作業流体をパルス管１３の軸方向に
単に移動させる（作動流体の圧縮・膨張に関与しない、
圧力変化と位相の異なる流体変位が生じる）ことをい
う。前記圧縮・膨張及び変位時に、作動流体はドーム部
１２ｂのドーム形状による整流作用を受けるので、蓄冷
器１２の曲折部で作動流体の流れが乱れることはない。
【００１３】前記蓄冷器１２は、作動流体の圧縮時には
作動流体の熱を吸収し、作動流体を等温圧縮させるよう
に機能し、一方、作動流体の膨張時には蓄積した熱を作
動流体に与えて、作動流体を等温膨張させるように機能
する。また、蓄冷器１２はいわゆるコールドヘッドとし
ての低温部１２’を有し、この低温部１２’には、所定
の被冷却物、例えば複数の超伝導フィルタ１６がパルス
管１３の周りに周方向所定間隔に設置されている。な
お、超伝導フィルタ１６は、例えば移動体通信系の基地
局においてアンテナで受けた微弱電波を受信するために
バンドパスフィルタとして使用される。勿論、低雑音増
幅器を含むフィルタモジュールであってもよい。
作動流体の熱を吸収し、作動流体を等温圧縮させるよう
に機能し、一方、作動流体の膨張時には蓄積した熱を作
動流体に与えて、作動流体を等温膨張させるように機能
する。また、蓄冷器１２はいわゆるコールドヘッドとし
ての低温部１２’を有し、この低温部１２’には、所定
の被冷却物、例えば複数の超伝導フィルタ１６がパルス
管１３の周りに周方向所定間隔に設置されている。な
お、超伝導フィルタ１６は、例えば移動体通信系の基地
局においてアンテナで受けた微弱電波を受信するために
バンドパスフィルタとして使用される。勿論、低雑音増
幅器を含むフィルタモジュールであってもよい。
【００１４】前記パルス管１３は、例えばステンレス、
チタン等からなる薄肉の金属製パイプによって蓄冷器１
２側で開口する一端開口形状に形成されており、作動流
体の周期的な圧縮・膨張および変位が生じるとき、蓄冷
器１２と協働して、その軸方向で蓄冷器１２側に向かう
熱移送を行うことができる。すなわち、圧縮過程におけ
る作動流体の変位がパルス管の高温端側に偏り、膨張過
程における作動流体の変位がパルス管の低温端側に偏る
ことと、蓄冷器１２が圧縮時には作動流体の熱を吸収し
て等温圧縮を進行させ、膨張時には熱を放出して等温膨
張を進行させることとが相俟って、蓄冷器１２側に向か
う熱移送を行うことができるようになっている。また、
パルス管１３は内部に絞り通路を有する細管１４を介し
てバッファタンク１５に接続されており、これにより、
パルス管１３内の作動流体の圧縮過程においてはパルス
管１３の高温端側への流体変位を増加させ、膨張過程に
おいてはパルス管１３の低温端側への流体変位を増加さ
せることにより、前記熱移送を促進するようになってい
る。
チタン等からなる薄肉の金属製パイプによって蓄冷器１
２側で開口する一端開口形状に形成されており、作動流
体の周期的な圧縮・膨張および変位が生じるとき、蓄冷
器１２と協働して、その軸方向で蓄冷器１２側に向かう
熱移送を行うことができる。すなわち、圧縮過程におけ
る作動流体の変位がパルス管の高温端側に偏り、膨張過
程における作動流体の変位がパルス管の低温端側に偏る
ことと、蓄冷器１２が圧縮時には作動流体の熱を吸収し
て等温圧縮を進行させ、膨張時には熱を放出して等温膨
張を進行させることとが相俟って、蓄冷器１２側に向か
う熱移送を行うことができるようになっている。また、
パルス管１３は内部に絞り通路を有する細管１４を介し
てバッファタンク１５に接続されており、これにより、
パルス管１３内の作動流体の圧縮過程においてはパルス
管１３の高温端側への流体変位を増加させ、膨張過程に
おいてはパルス管１３の低温端側への流体変位を増加さ
せることにより、前記熱移送を促進するようになってい
る。
【００１５】一方、真空断熱容器１１は、所定間隔を隔
てて対向する一対の対向壁面部１１ａ，１１ｂと、これ
らの外周を取り囲む周壁部１１ｃとを有しており、これ
ら一対の対向壁面部１１ａ，１１ｂがバッファタンク１
５の両端に連結されている。これにより、バッファタン
ク１５は真空断熱容器１内においてパルス管１３の近傍
で支柱状に延在しており、支柱状のバッファタンク１５
にはステー１８を介して遮蔽板１７が支持されている。
遮蔽板１７は、蓄冷器１２の低温部１２’上において、
被冷却物である超伝導フィルタ１６を取り囲んで外部か
らの放射（少なくとも熱放射として放出された電磁波）
を遮るものであり、輻射熱の発生を抑えるとともに、フ
ィルタ相互の干渉を防止する機能を有している。この遮
蔽板１７の形状は、例えば多角形又は円筒状の周壁とそ
の上部に連結された天板とからなる。バッファタンク１
５には、また、パルス管１３の高温端部側を支持するス
テー（図示せず）が設けられている。
てて対向する一対の対向壁面部１１ａ，１１ｂと、これ
らの外周を取り囲む周壁部１１ｃとを有しており、これ
ら一対の対向壁面部１１ａ，１１ｂがバッファタンク１
５の両端に連結されている。これにより、バッファタン
ク１５は真空断熱容器１内においてパルス管１３の近傍
で支柱状に延在しており、支柱状のバッファタンク１５
にはステー１８を介して遮蔽板１７が支持されている。
遮蔽板１７は、蓄冷器１２の低温部１２’上において、
被冷却物である超伝導フィルタ１６を取り囲んで外部か
らの放射（少なくとも熱放射として放出された電磁波）
を遮るものであり、輻射熱の発生を抑えるとともに、フ
ィルタ相互の干渉を防止する機能を有している。この遮
蔽板１７の形状は、例えば多角形又は円筒状の周壁とそ
の上部に連結された天板とからなる。バッファタンク１
５には、また、パルス管１３の高温端部側を支持するス
テー（図示せず）が設けられている。
【００１６】なお、２１，２２は超伝導フィルタ１６に
接続された同軸ケーブル等のインターフェース、２３は
そのインターフェースを外部に接続するためのコネクタ
である。前記構成を有する本実施形態の冷凍装置におい
ては、蓄冷器１２に２箇所の曲折部を有し、その曲折部
を含むドーム部１２ｂを設けてそこに粒状の蓄冷材を収
納し、パルス管１３を、一方の曲折部に続く円筒部１２
ａに連結したので、真空断熱容器１１内において蓄冷器
１２及びパルス管１３をコンパクトに収容すると共に、
蓄冷器１２のドーム部１２ｂによる作動流体の整流作用
で冷凍能力の低下を防止することが可能である。すなわ
ち、円筒部１２Ａ，１２ａ及びドーム部１２ｂに充填さ
れた作動流体は、曲折部を有さないパルス管１３中をス
ムーズに流れるように構成されている。なお、蓄冷器１
２の全体に粒状の蓄冷材を収納してもよく、この場合も
ドーム部１２ｂ等にて前述の整流作用がなされる。
接続された同軸ケーブル等のインターフェース、２３は
そのインターフェースを外部に接続するためのコネクタ
である。前記構成を有する本実施形態の冷凍装置におい
ては、蓄冷器１２に２箇所の曲折部を有し、その曲折部
を含むドーム部１２ｂを設けてそこに粒状の蓄冷材を収
納し、パルス管１３を、一方の曲折部に続く円筒部１２
ａに連結したので、真空断熱容器１１内において蓄冷器
１２及びパルス管１３をコンパクトに収容すると共に、
蓄冷器１２のドーム部１２ｂによる作動流体の整流作用
で冷凍能力の低下を防止することが可能である。すなわ
ち、円筒部１２Ａ，１２ａ及びドーム部１２ｂに充填さ
れた作動流体は、曲折部を有さないパルス管１３中をス
ムーズに流れるように構成されている。なお、蓄冷器１
２の全体に粒状の蓄冷材を収納してもよく、この場合も
ドーム部１２ｂ等にて前述の整流作用がなされる。
【００１７】また、バッファタンク１５が真空断熱容器
１１内に支柱として設けられた構造となっているので、
真空断熱容器１１の強度がバッファタンク１５によって
大幅に高められる。さらに、支柱状のバッファタンク１
５により、遮蔽板１７やパルス管１３の上端部等をこれ
らの近傍で支持させると、各部品とバッファタンクの間
に長尺の支持腕等を設ける必要がなくなり、構成の簡素
化が可能になるとともに、周辺部品の位置決めも容易に
なる。勿論、電子デバイスを被冷却物とした場合、他の
放射（電磁波）に対するシールド機能を併せ持つ遮蔽板
にすることができるし、そのデバイスのインターフェー
ス等も被冷却物周辺の部品となる。すなわち、超伝導フ
ィルタ１６に接続されるインターフェース等の部品配置
の自由度を高めることもできる。
１１内に支柱として設けられた構造となっているので、
真空断熱容器１１の強度がバッファタンク１５によって
大幅に高められる。さらに、支柱状のバッファタンク１
５により、遮蔽板１７やパルス管１３の上端部等をこれ
らの近傍で支持させると、各部品とバッファタンクの間
に長尺の支持腕等を設ける必要がなくなり、構成の簡素
化が可能になるとともに、周辺部品の位置決めも容易に
なる。勿論、電子デバイスを被冷却物とした場合、他の
放射（電磁波）に対するシールド機能を併せ持つ遮蔽板
にすることができるし、そのデバイスのインターフェー
ス等も被冷却物周辺の部品となる。すなわち、超伝導フ
ィルタ１６に接続されるインターフェース等の部品配置
の自由度を高めることもできる。
【００１８】なお、本実施形態おいては、複数の超伝導
フィルタ１６が縦長形状を有するものであり、遮蔽板１
７がこれら全体を取り囲む形状であったが、例えば図４
に示すように個々の超伝導フィルタ１６（被冷却物）が
横幅の広いものである場合には、そのフィルタモジュー
ルを個別に取り囲む形状を有していてもよい。さらに、
図５に示すように、断面Ｌ字状で１箇所の曲折部を有す
る蓄冷器１２にドーム部１２ｂを設けてそこに粒状の蓄
冷材を収納し、パルス管１３をその下部に配置して、蓄
冷器１２の円筒部１２Ａの長さとパルス管１３の長さが
ほぼ等しくなるようにしてもよい。このような形状とす
ることにより、大型縦長形状の超伝導フィルタ１６にも
対応することができ、蓄冷器１２の構成もより簡素で加
工が容易である。なお、１個の超伝導フィルタ１６を取
り囲む形状に限らず、任意の形状が採用できることは言
うまでもない。本実施形態においても、真空断熱容器１
１内において蓄冷器１２及びパルス管１３をコンパクト
に収容すると共に、蓄冷器１２のドーム部１２ｂ等によ
る作動流体の整流作用で冷凍能力の低下を防止すること
が可能である。
フィルタ１６が縦長形状を有するものであり、遮蔽板１
７がこれら全体を取り囲む形状であったが、例えば図４
に示すように個々の超伝導フィルタ１６（被冷却物）が
横幅の広いものである場合には、そのフィルタモジュー
ルを個別に取り囲む形状を有していてもよい。さらに、
図５に示すように、断面Ｌ字状で１箇所の曲折部を有す
る蓄冷器１２にドーム部１２ｂを設けてそこに粒状の蓄
冷材を収納し、パルス管１３をその下部に配置して、蓄
冷器１２の円筒部１２Ａの長さとパルス管１３の長さが
ほぼ等しくなるようにしてもよい。このような形状とす
ることにより、大型縦長形状の超伝導フィルタ１６にも
対応することができ、蓄冷器１２の構成もより簡素で加
工が容易である。なお、１個の超伝導フィルタ１６を取
り囲む形状に限らず、任意の形状が採用できることは言
うまでもない。本実施形態においても、真空断熱容器１
１内において蓄冷器１２及びパルス管１３をコンパクト
に収容すると共に、蓄冷器１２のドーム部１２ｂ等によ
る作動流体の整流作用で冷凍能力の低下を防止すること
が可能である。
【００１９】また、図６に示すように、前記ドーム部１
２ｂの代わりに、円筒部１２Ａ，１２ａ（＝第１の円筒
部）よりも径の大きい円筒部１２ｄ（＝第２の円筒部）
を設けてもよい。この場合、円筒部１２ｄの形状に応
じ、そのケーシング内に、多数の孔が形成されたプレー
ト状の蓄冷材、あるいはメッシュが形成されたプレート
状の蓄冷材を積層してもよい。本実施形態においても、
真空断熱容器１１内において蓄冷器１２及びパルス管１
３をコンパクトに収容すると共に、蓄冷器１２の円筒部
１２ｄ等による作動流体の整流作用で冷凍能力の低下を
防止することが可能である。
２ｂの代わりに、円筒部１２Ａ，１２ａ（＝第１の円筒
部）よりも径の大きい円筒部１２ｄ（＝第２の円筒部）
を設けてもよい。この場合、円筒部１２ｄの形状に応
じ、そのケーシング内に、多数の孔が形成されたプレー
ト状の蓄冷材、あるいはメッシュが形成されたプレート
状の蓄冷材を積層してもよい。本実施形態においても、
真空断熱容器１１内において蓄冷器１２及びパルス管１
３をコンパクトに収容すると共に、蓄冷器１２の円筒部
１２ｄ等による作動流体の整流作用で冷凍能力の低下を
防止することが可能である。
【００２０】また、図７に示すように、前記ドーム部１
２ｂの代わりに、円筒部１２Ａ，１２ａ（＝第１の円筒
部）よりも径の大きい円筒部１２ｄ（＝第２の円筒部）
を設け、さらに、パルス管１３が円筒部１２ｄに連通さ
れると共に、円筒部１２Ａの外周に形成されていてもよ
い。この場合、円筒部１２ｄの形状に応じ、そのケーシ
ング内に、多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材、
あるいはメッシュが形成されたプレート状の蓄冷材を積
層してもよい。本実施形態においては、真空断熱容器１
１内において蓄冷器１２及びパルス管１３をコンパクト
に収容すると共に、円筒部１２Ａの外周にパルス管１３
を形成することによって、パルス管１３から蓄冷器１２
側に向かう熱移送を安定させ、冷凍能力の低下を防止す
ることが可能である。
２ｂの代わりに、円筒部１２Ａ，１２ａ（＝第１の円筒
部）よりも径の大きい円筒部１２ｄ（＝第２の円筒部）
を設け、さらに、パルス管１３が円筒部１２ｄに連通さ
れると共に、円筒部１２Ａの外周に形成されていてもよ
い。この場合、円筒部１２ｄの形状に応じ、そのケーシ
ング内に、多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材、
あるいはメッシュが形成されたプレート状の蓄冷材を積
層してもよい。本実施形態においては、真空断熱容器１
１内において蓄冷器１２及びパルス管１３をコンパクト
に収容すると共に、円筒部１２Ａの外周にパルス管１３
を形成することによって、パルス管１３から蓄冷器１２
側に向かう熱移送を安定させ、冷凍能力の低下を防止す
ることが可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
パルス管と連通する蓄冷器に曲折部を形成するか、ある
いは、蓄冷器を断面Ｌ字状に形成したので、真空断熱容
器内に前記蓄冷器及びパルス管をコンパクトに収容する
ことができる。よって、装置を小型化することが可能で
ある。
パルス管と連通する蓄冷器に曲折部を形成するか、ある
いは、蓄冷器を断面Ｌ字状に形成したので、真空断熱容
器内に前記蓄冷器及びパルス管をコンパクトに収容する
ことができる。よって、装置を小型化することが可能で
ある。
【００２２】また、前記蓄冷器には、ケーシング内にプ
レート状の蓄冷材が積層された円筒部と、粒状の蓄冷材
が収納されたドーム部と形成し、前記円筒部かドーム部
の何れかに前記パルス管を連通するように構成したの
で、真空断熱容器内に前記蓄冷器及びパルス管をコンパ
クトに収容すると共に、前記ドーム部を含む蓄冷器の形
状と、その蓄冷器に連結された、曲折部を有しないパル
ス管の形状によって蓄冷器の曲折による作動流体の流れ
の乱れを防ぎ、冷凍能力の低下を防止することが可能で
ある。なお、前記蓄冷器に粒状の蓄冷材を収納すること
によっても、作動流体の流れの乱れを防ぐことができ
る。
レート状の蓄冷材が積層された円筒部と、粒状の蓄冷材
が収納されたドーム部と形成し、前記円筒部かドーム部
の何れかに前記パルス管を連通するように構成したの
で、真空断熱容器内に前記蓄冷器及びパルス管をコンパ
クトに収容すると共に、前記ドーム部を含む蓄冷器の形
状と、その蓄冷器に連結された、曲折部を有しないパル
ス管の形状によって蓄冷器の曲折による作動流体の流れ
の乱れを防ぎ、冷凍能力の低下を防止することが可能で
ある。なお、前記蓄冷器に粒状の蓄冷材を収納すること
によっても、作動流体の流れの乱れを防ぐことができ
る。
【００２３】また、前記円筒部（＝第１の円筒部）の上
部に、ドーム部の代わりに径の大きい円筒部（＝第２の
円筒部）を形成することによっても、真空断熱容器内に
前記蓄冷器及びパルス管をコンパクトに収容すると共
に、前記第２の円筒部を含む蓄冷器の形状と、その蓄冷
器に連結された、曲折部を有しないパルス管の形状によ
って蓄冷器の曲折による作動流体の流れの乱れを防ぎ、
冷凍能力の低下を防止することが可能である。なお、第
２の円筒部のケーシング内には、第２の円筒部の形状に
応じて多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材か、メ
ッシュが形成されたプレート状の蓄冷材の何れかが積層
しても、作動流体の流れの乱れを防ぐことができる。
部に、ドーム部の代わりに径の大きい円筒部（＝第２の
円筒部）を形成することによっても、真空断熱容器内に
前記蓄冷器及びパルス管をコンパクトに収容すると共
に、前記第２の円筒部を含む蓄冷器の形状と、その蓄冷
器に連結された、曲折部を有しないパルス管の形状によ
って蓄冷器の曲折による作動流体の流れの乱れを防ぎ、
冷凍能力の低下を防止することが可能である。なお、第
２の円筒部のケーシング内には、第２の円筒部の形状に
応じて多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材か、メ
ッシュが形成されたプレート状の蓄冷材の何れかが積層
しても、作動流体の流れの乱れを防ぐことができる。
【００２４】また、前記パルス管を前記第１の円筒部の
外周に形成することによっても、真空断熱容器内に前記
蓄冷器及びパルス管をコンパクトに収容すると共に、パ
ルス管から蓄冷器側に向かう熱移送を安定させ、冷凍能
力の低下を防止することが可能である。なお、第２の円
筒部のケーシング内には、第２の円筒部の形状に応じて
多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材か、メッシュ
が形成されたプレート状の蓄冷材の何れかが積層して
も、作動流体の流れの乱れを防ぐことができる。
外周に形成することによっても、真空断熱容器内に前記
蓄冷器及びパルス管をコンパクトに収容すると共に、パ
ルス管から蓄冷器側に向かう熱移送を安定させ、冷凍能
力の低下を防止することが可能である。なお、第２の円
筒部のケーシング内には、第２の円筒部の形状に応じて
多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材か、メッシュ
が形成されたプレート状の蓄冷材の何れかが積層して
も、作動流体の流れの乱れを防ぐことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る冷凍装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】従来の冷凍装置の概略構成図である。
【図３】従来の冷凍装置における蓄冷器とパルス管との
連結形状を示す模式図である。
連結形状を示す模式図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る冷凍装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る冷凍装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係る冷凍装置の蓄
冷器とパルス管との連結形状を示す模式図である。
冷器とパルス管との連結形状を示す模式図である。
【図７】本発明の第５の実施の形態に係る冷凍装置の蓄
冷器とパルス管との連結形状を示す模式図である。
冷器とパルス管との連結形状を示す模式図である。
１１ 真空断熱容器 １２ 蓄冷器 １２’ 低温部 １２Ａ，１２ａ，１２ｄ 円筒部 １２ｂ ドーム部 １２ｃ 中間部 １３ パルス管 １４ 細管 １５ バッファタンク １６ 超伝導フィルタ １７ 遮蔽板 １８，１９ ステー
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】そこで、真空断熱容器内に設けた蓄冷器お
よびパルス管と、真空断熱容器外から前記蓄冷器の作動
流体に周期的な圧力変動を加える圧縮機と、を含むパル
ス管冷凍機を構成し、その真空断熱容器内で前記超伝導
体の低損失特性を利用したフィルタ回路や増幅器等を被
冷却物として、これを冷却するようにした冷凍装置が開
発されている。
よびパルス管と、真空断熱容器外から前記蓄冷器の作動
流体に周期的な圧力変動を加える圧縮機と、を含むパル
ス管冷凍機を構成し、その真空断熱容器内で前記超伝導
体の低損失特性を利用したフィルタ回路や増幅器等を被
冷却物として、これを冷却するようにした冷凍装置が開
発されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、冷凍装置の真空断熱容器内で、作動流体
が充填され、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器
に連通する曲折部がないパルス管とを特徴とする。ま
た、前記目的を達成するため、本発明は、冷凍装置の真
空断熱容器内で、作動流体が充填された断面Ｌ字状の蓄
冷器と、前記蓄冷器に連通する曲折部がないパルス管と
を有することを特徴とする。
め、本発明は、冷凍装置の真空断熱容器内で、作動流体
が充填され、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器
に連通する曲折部がないパルス管とを特徴とする。ま
た、前記目的を達成するため、本発明は、冷凍装置の真
空断熱容器内で、作動流体が充填された断面Ｌ字状の蓄
冷器と、前記蓄冷器に連通する曲折部がないパルス管と
を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】さらに、前記蓄冷器の曲折部又はＬ字状の
部分のみに粒状の蓄冷材が収納されていることを特徴と
する。また、前記目的を達成するため、本発明は、冷凍
装置の真空断熱容器内で、作動流体が充填された蓄冷器
と、前記蓄冷器に連通する曲折部のないパルス管とを有
し、前記蓄冷器には、ケーシング内にプレート状の蓄冷
材が積層された円筒部と、粒状の蓄冷材が収納されたド
ーム部とが形成され、前記円筒部かドーム部の何れかに
前記パルス管が連通されたことを特徴とする。
部分のみに粒状の蓄冷材が収納されていることを特徴と
する。また、前記目的を達成するため、本発明は、冷凍
装置の真空断熱容器内で、作動流体が充填された蓄冷器
と、前記蓄冷器に連通する曲折部のないパルス管とを有
し、前記蓄冷器には、ケーシング内にプレート状の蓄冷
材が積層された円筒部と、粒状の蓄冷材が収納されたド
ーム部とが形成され、前記円筒部かドーム部の何れかに
前記パルス管が連通されたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】また、前記目的を達成するため、本発明
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填さ
れ、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通す
る曲折部のないパルス管とを有し、前記蓄冷器は、第１
の円筒部及び第１の円筒部の上部に配置され、第１の円
筒部よりも径の大きい第２の円筒部が形成され、第１の
円筒部か第２の円筒部の何れかに前記パルス管が連通さ
れており、第２の円筒部のケーシング内には、多数の孔
が形成されたプレート状の蓄冷材か、メッシュが形成さ
れたプレート状の蓄冷材の何れかが積層されたことを特
徴とする。
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填さ
れ、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通す
る曲折部のないパルス管とを有し、前記蓄冷器は、第１
の円筒部及び第１の円筒部の上部に配置され、第１の円
筒部よりも径の大きい第２の円筒部が形成され、第１の
円筒部か第２の円筒部の何れかに前記パルス管が連通さ
れており、第２の円筒部のケーシング内には、多数の孔
が形成されたプレート状の蓄冷材か、メッシュが形成さ
れたプレート状の蓄冷材の何れかが積層されたことを特
徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】また、前記目的を達成するため、本発明
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填さ
れ、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通す
る曲折部のないパルス管とを有し、前記蓄冷器は、第１
の円筒部及び第１の円筒部の上部に配置され、第１の円
筒部よりも径の大きい第２の円筒部が形成され、前記パ
ルス管は、第２の円筒部に連通されると共に、第１のパ
ルス管の外周に形成されており、第２の円筒部のケーシ
ング内には、多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材
か、メッシュが形成されたプレート状の蓄冷材の何れか
が積層されたことを特徴とする。
は、冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体が充填さ
れ、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通す
る曲折部のないパルス管とを有し、前記蓄冷器は、第１
の円筒部及び第１の円筒部の上部に配置され、第１の円
筒部よりも径の大きい第２の円筒部が形成され、前記パ
ルス管は、第２の円筒部に連通されると共に、第１のパ
ルス管の外周に形成されており、第２の円筒部のケーシ
ング内には、多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材
か、メッシュが形成されたプレート状の蓄冷材の何れか
が積層されたことを特徴とする。
Claims (6)
- 【請求項１】 冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体
が充填され、曲折部が形成された蓄冷器と、前記蓄冷器
に連通するパルス管とを有することを特徴とする冷凍装
置。 - 【請求項２】 冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体
が充填された断面Ｌ字状の蓄冷器と、前記蓄冷器に連通
するパルス管とを有することを特徴とする冷凍装置。 - 【請求項３】 前記蓄冷器には粒状の蓄冷材が収納され
ていることを特徴とする請求項１又は２記載の冷凍装
置。 - 【請求項４】 冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体
が充填された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管
とを有し、 前記蓄冷器には、ケーシング内にプレート状の蓄冷材が
積層された円筒部と、粒状の蓄冷材が収納されたドーム
部とが形成され、前記円筒部かドーム部の何れかに前記
パルス管が連通されたことを特徴とする冷凍装置。 - 【請求項５】 冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体
が充填された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管
とを有し、 前記蓄冷器は、第１の円筒部及び第１の円筒部の上部に
配置され、第１の円筒部よりも径の大きい第２の円筒部
が形成され、第１の円筒部か第２の円筒部の何れかに前
記パルス管が連通されており、第２の円筒部のケーシン
グ内には、多数の孔が形成されたプレート状の蓄冷材
か、メッシュが形成されたプレート状の蓄冷材の何れか
が積層されたことを特徴とする冷凍装置。 - 【請求項６】 冷凍装置の真空断熱容器内に、作動流体
が充填された蓄冷器と、前記蓄冷器に連通するパルス管
とを有し、 前記蓄冷器は、第１の円筒部及び第１の円筒部の上部に
配置され、第１の円筒部よりも径の大きい第２の円筒部
が形成され、前記パルス管は、第２の円筒部に連通され
ると共に、第１の蓄冷器の外周に形成されており、第２
の円筒部のケーシング内には、多数の孔が形成されたプ
レート状の蓄冷材か、メッシュが形成されたプレート状
の蓄冷材の何れかが積層されたことを特徴とする冷凍装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8547898A JP2941772B1 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 冷凍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8547898A JP2941772B1 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 冷凍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2941772B1 JP2941772B1 (ja) | 1999-08-30 |
| JPH11281180A true JPH11281180A (ja) | 1999-10-15 |
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ID=13860025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8547898A Expired - Fee Related JP2941772B1 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 冷凍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2941772B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022181475A1 (ja) * | 2021-02-25 | 2022-09-01 | 住友重機械工業株式会社 | パルス管冷凍機 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106642822A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-05-10 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 热耦合同轴型两级脉管制冷机二级中间换热器及设计方法 |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP8547898A patent/JP2941772B1/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022181475A1 (ja) * | 2021-02-25 | 2022-09-01 | 住友重機械工業株式会社 | パルス管冷凍機 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP2941772B1 (ja) | 1999-08-30 |
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