JPH11279108A - β−ジケトン系アルカリ土類金属錯体の合成法 - Google Patents
β−ジケトン系アルカリ土類金属錯体の合成法Info
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Abstract
定性に優れたβ−ジケトン系アルカリ土類金属錯体を効
率よく合成する。 【解決手段】 水分量が200ppm以下のアルコール
の存在下でアルカリ土類金属単体とβ−ジケトンを化学
量論量で直接反応させてβ−ジケトン系アルカリ土類金
属錯体を合成する。
Description
ルカリ土類金属錯体の合成法に関する。特に本発明は,
化学的気相蒸発法(CVD法)によってアルカリ土類金
属またはその化合物を析出させる際に,その原料化合物
としての使用に適したβ−ジケトン系アルカリ土類金属
錯体の合成法に関する。
て重要である強誘電体材料や酸化物超電導体材料などの
薄膜製作方法の1つとして,段差被覆性,量産性,組成
制御性に優れたCVD法が有望視されている。このよう
なCVD成膜法に供する原料化合物としては,有機金属
錯体特に有機部分(配位子)がβ−ジケトンであるβ−
ジケトン系金属錯体の適用が一般的である。例えば,意
図する成膜組成における金属成分がアルカリ土類金属で
ある場合にはアルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体を原
料化合物に用いる。
アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体の合成法として
は,代表的には次の3方法が知られている。
アルカリ土類金属塩とβ−ジケトンを混合し,反応液を
アルカリ性にすることによって錯体を析出させる方法
(例えばE.W.Berg et al., Anal. Chim. Acta, 60 (197
2), p.117-125,特にp.117 においてB法として記載され
た方法)。 (2) アルコールにアルカリ土類金属単体を加えて先ずア
ルカリ土類金属アルコキシドを生成させ,次いでβ−ジ
ケトンを加えてアルコキシ基をβ−ジケトンと置換させ
る方法(例えば特開平5−9608号公報の比較例)。 (3) 溶媒の不存在下または無極性溶媒下でアルカリ土類
金属単体とβ−ジケトンを直接反応させる方法(例えば
前記特開平5−9608号公報の実施例)。
−ジケトン系錯体をCVD成膜法の原料化合物として使
用する場合,その気化量が成膜中経時変化しないことが
望ましい。しかし,前記の(1) の方法で得られたもの
は,反応系中の水が生成物中に取り込まれて熱分解温度
が低くなるため,CVD原料として使用すると,徐々に
分解を起こし,気化量が経時変化してしまうことがわか
った。
に含まれやすい水分が生成物中に取り込まれてしまう
上,アルコールとアルカリ土類金属単体との反応が遅い
ため,合成に時間がかかるという問題がある。例えばア
ルコキシドの生成反応はBa>Sr>Caの順に遅くな
る。
料として最適であるが,β−ジケトンとアルカリ土類金
属単体との反応が非常に遅いという問題がある。この反
応は(2) のアルコキシドの場合と同様にBa>Sr>C
aの順に遅くなっていく。またこの反応を完結させるた
めにはβ−ジケトンを金属に対して2当量(最低必要
量)よりも大過剰に加える必要があるが,それでもSr
とCaの場合は完結しないことがある。現在最も多く用
いられているβ−ジケトン配位子はジピバロイルメタン
(DPM)であるが,DPMは高価であるため,過剰な
配位子を使用することは好ましくない。
β−ジケトン錯体を合成する前記従来法の問題を解決
し,CVD法の原料化合物に適したβ−ジケトン系アル
カリ土類金属錯体を得ることを課題としたものである。
を解決すべく鋭意研究したところ,アルカリ土類金属単
体に溶媒としてアルコールを加え,引き続きアルコキシ
ドの生成を待たずに金属に対して2当量のβ−ジケトン
を加えると,反応速度が急激に上昇することを知った。
また,これら3種の原料,すなわちアルカリ土類金属単
体,アルコールおよびβ−ジケトンを加える順序には無
関係にこの反応は進行することがわかった。そして,使
用するアルコールは水分量が200ppm以下のもので
あると,得られる化合物はCVD原料として気化量の経
時変化を起こさないことも判明した。
属のβ−ジケトン錯体を合成する方法において,水分量
が200ppm以下のアルコールの存在下でアルカリ土
類金属単体とβ−ジケトンを直接反応させることを特徴
とするβ−ジケトン系アルカリ土類金属錯体の合成法を
提供する。ここで,アルカリ土類金属単体とβ−ジケト
ンは化学量論量すなわち該単体1モルに対して2モルの
β−ジケトンを使用して反応させることができ,過剰の
β−ジケトンは殆んど必要としない。
体とβ−ジケトンを水分量200ppm以下のアルコー
ルの存在下で直接反応させる点に特徴がある。本発明法
によると,アルカリ土類金属とアルコールによるアルコ
キシドの生成を待たずにアルカリ土類金属とβ−ジケト
ンとを直接反応させることができ,過剰のβ−ジケトン
は実質的に不要である。すなわち,アルカリ土類金属と
β−ジケトンの使用量はそのモル比が1:2のほぼ化学
量論量でよい。ほぼとは化学量論量を中心としてその近
傍の量であればよいという意味である。このことは,大
過剰のβ−ジケトンを必要とする従来法に比べて,収率
の点でも反応時間の点でも有利である。但し,前記の化
学量論量よりもβ−ジケトンは少なくしない方がよい。
雰囲気下,アルカリ土類金属単体とβ−ジケトンを水分
量200ppm以下のアルコール中において,常圧で2
0〜100℃に加温して反応させ,ついで該反応によっ
て溶液中のアルカリ土類金属単体が完全に消失したのを
確認した後,アルコールを留去して,有機金属錯体の粗
結晶を得,これを再結晶法や蒸留法などにより精製して
目的物を得ることができる。
a,Sr,Ba等のアルカリ土類金属を金属のまま使用
する。反応に際しては,該金属に水分量200ppm以
下のアルコールに添加し,引き続きβ−ジケトンを添加
するのが便宜であるが,該アルコールに該金属単体とβ
−ジケトンを同時にまたはそれほど時間を置かずに添加
してもよく,このようにして得た反応系を還流処理する
ことによって,該金属のβ−ジケトン錯体が生成する。
的にジピバロイルメタン,すなわち2,2,6,6−テ
トラメチル−3,5−ヘプタンジオンが使用できるが,
これに限らず,2,2,6,6−テトラメチル−3,5
−オクタンジオンや,2,2,6,6−テトラメチル−
3,5−ノナンジオン等も使用できる。
エタノールが使用できるが,反応に供するアルカリ土類
金属の種類やβ−ジケトンの種類に応じて,その他のア
ルコール類例えばイソプロピルアルコール,メタノー
ル,プロパノール等も使用できる。ただし,これらのア
ルコールは水分量が200ppm以下でなければならな
い。水分量が200ppm以上のものを使用すると,合
成されたアルカリ土類金属の有機錯体が熱分解しやすい
ものとなり,CVD法の原料化合物として使用したさい
に蒸発温度で分解を起こして気化量の経時変化をもたら
すことになる。
M)2の合成例を示す。金属カルシウム4.0g(0.1m
ol)を500mLフラスコに入れ,フラスコ内をアル
ゴン置換した後,水分量200ppmのエタノール20
0mLを加え,続いてジピバロイルメタン36.9g
(0.2mol)を加えて加熱還流したところ,40分
後に金属カルシウムが完全に溶解した。その後さらに1
時間加熱還流した後,減圧で溶媒留去し,得られた粗生
成物を既知の再結晶法によりエタノールから再結晶精製
して24.2gのビス〔ジピバロイルメタナト〕カルシ
ウム(収率59.6%)を得た。
PM)2の他の合成例を示す。金属カルシウム4.0g
(0.1mol)を500mLフラスコに入れ,フラス
コ内をアルゴン置換した後,水分量20ppmのエタノ
ール200mLを加え,続いてジピバロイルメタン3
6.9g(0.2mol)を加えて加熱還元したところ,
40分後に金属カルシウムが完全に溶解した。その後さ
らに1時間加熱還流した後,減圧で溶媒留去し,得られ
た粗生成物を既知の再結晶によりエタノールから再結晶
精製して24.9gのビス〔ジピバロイルメタナト〕カ
ルシウム(収率61.4%)を得た。
当量分)のDPMをトルエンの存在下で反応させたCa
(DPM)2の合成例を示す。金属カルシウム4.0g
(0.1mol)を500mLフラスコに入れ,フラス
コ内をアルゴン置換した後,水分量22ppmの蒸留ト
ルエン200mLを加え,続いてジピバロイルメタン7
3.8g(0.4mol)を加えて加熱還流した。金属カ
ルシウムは完全に溶解しなかったが,48時間後に還流
を停止した。窒素雰囲気下で溶け残った金属カルシウム
を濾別した後,濾液の溶媒を減圧留去し,得られた粗生
成物を既知の再結晶法によりエタノールから再結晶精製
して14.6gのビス〔ジピバロイルメタナト〕カルシウ
ム(収率36.0%)を得た。
mを超えるアルコールを用いたCa(DPM)2の合成例を
示す。金属カルシウム4.0g(0.1mol)を500
mLフラスコに入れ,フラスコ内をアルゴン置換した
後,水分量1800ppmのエタノール200mLを加
え,続いてジピバロイルメタン36.9g(0.2mo
l)を加えて加熱還流したところ,40分後に金属カル
シウムが完全に溶解した。その後さらに1時間加熱還流
した後,減圧で溶媒留去し,得られた粗生成物を既知の
再結晶法によりエタノールから再結晶精製して20.5
gのビス〔ジピバロイルメタナト〕カルシウム(収率5
0.5%)を得た。
1〜2および比較例1〜2で得られた各々のCa(DP
M)2についてTG(熱重量)およびDTA(示差熱分
析)の測定を行った。その結果をそれぞれ図1〜図4に
示した。
2および比較例1のものは実質的に同じ性質の化合物で
あることがわかる。しかし,比較例2のものは,DTA
の吸熱ピークが他の3種のものよりも低い温度で現れて
いる。
をそれぞれアンプル管中にアルゴン封入し,200℃で
1カ月加熱した後,再び前記と同様のTG−DTA測定
を行った。その結果を図5〜図8に示した。
2および比較例1のものは,加熱前の図1〜図3のもの
と比べて大きな変化がないが,比較例2では変化が現
れ,熱分解によるものと考えられる不揮発性残渣が増加
していることがわかる。すなわち,比較例2のもので
は,これをCVD原料として200℃で使用すると,熱
分解により気化量が経時変化してしまうことになる。
ジケトンを使用した比較例1では,品質的には実施例1
や2のものと同等のものが得られるが,反応時間が非常
に長くなり且つ収率も低くなる。
から,水分量が200ppm以下のアルコールの存在下
で金属CaとDPMを実質的に化学量論量で直接反応さ
せると,反応時間が大幅に短縮されるうえ,原料のDP
Mの使用量を減らすことができ,収率が向上し,且つC
a(DPM)2の熱安定性が向上することがわかる。
M)2の合成例を示す。金属ストロンチウム28.2g
(0.32mol)を1000mLフラスコに入れ,フ
ラスコ内をアルゴン置換した後,水分量185ppmの
イソプロピルアルコール400mLを加え,続いてジピ
バロイルメタン130.2g(0.71mol)を加えて
加熱還流したところ,30分後に金属ストロンチウムが
完全に溶解した。その後さらに1時間加熱還流した後,
減圧で溶媒留去し,得られた粗生成物を既知の再結晶法
によりエタノールから再結晶精製して88.1gのビス
〔ジピバロイルメタナト〕ストロンチウム(収率55.
4%)を得た。
当量分)のDPMをトルエンの存在下で反応させたSr
(DPM)2の合成例を示す。金属ストロンチウム28.2
g(0.32mol)を1000mLフラスコに入れ,
フラスコ内をアルゴン置換した後,水分量22ppmの
蒸留トルエン400mLを加え,続いてジピバロイルメ
タン240g(1.3mol)を加えて加熱還流した。
金属ストロンチウムは完全に溶解しなかったが,100
時間後に還流を停止した。窒素雰囲気下で溶け残った金
属ストロンチウムを濾別した後,濾液の溶媒を減圧留去
し,得られた粗生成物を既知の再結晶法によりエタノー
ルから再結晶精製して61.1gのビス〔ジピバロイル
メタナト〕ストロンチウム(収率41.8%)を得た。
れのSr(DPM)2を,前記と同様にTG−DTA測定を
行った結果,両者には実質的に差が見られなかった。す
なわち,過剰に(化学量論量の2倍の)β−ジケトンを
使用した比較例3よりも,実施例3の方が反応時間が短
く且つ収率も高くなるにも拘わらず,熱安定性に優れた
Sr(DPM)2が得られた。
して金属Baを使用し,β−ジケトン系の配位子化合物
として2,2,6,6−テトラメチル−3,5−オクタ
ンジオンを使用して,Ba(TMOD)2, すなわちビス
〔2,2,6,6−テトラメチル−3,5−オクタンジ
オナト〕バリウムを本発明法に従って合成した例を示
す。金属バリウム26.1g(0.19mol)を100
0mLフラスコに入れ,フラスコ内をアルゴン置換した
後,水分量50ppmのメタノール400mLを加え,
続いて2,2,6,6−テトラメチル−3,5−オクタ
ンジオン75.6g(0.38mol)を加えて加熱還流
したところ,20分後に金属バリウムが完全に溶解し
た。その後さらに1時間加熱還流した後,減圧で溶媒留
去し,得られた粗生成物を既知の再結晶法によりエタノ
ールから再結晶精製して21.2gのビス〔2,2,
6,6−テトラメチル−3,5−オクタンジオナト〕バ
リウム(収率21.0%)を得た。
当量分)のTMODをトルエンの存在下で反応させたB
a(TMOD)2の合成例を示す。金属バリウム26.1g
(0.19mol)を1000mLフラスコに入れ,フ
ラスコ内をアルゴン置換した後,水分量22ppmの蒸
留トルエン400mLを加え,続いて2,2,6,6−
テトラメチル−3,5−オクタンジオン160g(0.
81mol)を加えて加熱還流した。40時間後に金属
バリウムは完全に溶解した。その後さらに8時間加熱還
流した後,減圧で溶媒留去し,得られた粗生成物を既知
の再結晶法によりエタノールから再結晶精製して21.
5gのビス〔2,2,6,6−テトラメチル−3,5−
オクタンジオナト〕バリウム(収率21.3%)を得
た。
れのBa(TMOD)2を,前記と同様にTG−DTA測定
を行った結果,両者には実質的に差が見られなかった。
すなわち,過剰に(化学量論量の2倍の)β−ジケトン
を使用した比較例4よりも,実施例4の方が反応時間が
短く且つ収率も高くなるにも拘わらず,熱安定性に優れ
たBa(TMOD)2が得られた。
β−ジケトンを過剰に使用しなければならず且つ長い反
応時間を要したβ−ジケトン系アルカリ土類金属錯体の
合成が本発明法によるとβ−ジケトンを過剰に使用する
必要がなく且つ反応時間も短時間でよく,しかも熱安定
性に優れたものが得られるという効果を奏する。したが
って,CVD法の原料化合物に適した高品質のβ−ジケ
トン系アルカリ土類金属錯体の合成が経済的に生産でき
るようになり,アルカリ土類金属またはその化合物を成
膜組成とするCVD成膜法の発展に寄与することができ
る。
定結果を示す図である。
定結果を示す図である。
定結果を示す図である。
定結果を示す図である。
日密封保持した後のTG−DTA測定結果を示す図であ
る。
日密封保持した後のTG−DTA測定結果を示す図であ
る。
日密封保持した後のTG−DTA測定結果を示す図であ
る。
日密封保持した後のTG−DTA測定結果を示す図であ
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体を
合成する方法において,水分量が200ppm以下のア
ルコールの存在下でアルカリ土類金属単体とβ−ジケト
ンを直接反応させることを特徴とするβ−ジケトン系ア
ルカリ土類金属錯体の合成法。 - 【請求項2】アルカリ土類金属単体とβ−ジケトンを化
学量論量にほぼ等しい量で反応させる請求項1に記載の
合成法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09520398A JP3919930B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | β−ジケトン系アルカリ土類金属錯体の合成法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09520398A JP3919930B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | β−ジケトン系アルカリ土類金属錯体の合成法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11279108A true JPH11279108A (ja) | 1999-10-12 |
JP3919930B2 JP3919930B2 (ja) | 2007-05-30 |
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ID=14131201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09520398A Expired - Fee Related JP3919930B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | β−ジケトン系アルカリ土類金属錯体の合成法 |
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JP (1) | JP3919930B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110304998A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-10-08 | 盐城工学院 | 一种2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮的纯化方法 |
-
1998
- 1998-03-25 JP JP09520398A patent/JP3919930B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN110304998A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-10-08 | 盐城工学院 | 一种2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮的纯化方法 |
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JP3919930B2 (ja) | 2007-05-30 |
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