JPH11274243A - Tape with reinforcing plate, tape carrier with reinforcing plate and semiconductor device using the same - Google Patents

Tape with reinforcing plate, tape carrier with reinforcing plate and semiconductor device using the same

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JPH11274243A
JPH11274243A JP10070552A JP7055298A JPH11274243A JP H11274243 A JPH11274243 A JP H11274243A JP 10070552 A JP10070552 A JP 10070552A JP 7055298 A JP7055298 A JP 7055298A JP H11274243 A JPH11274243 A JP H11274243A
Authority
JP
Japan
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tape
reinforcing plate
resin film
reel
semiconductor chip
Prior art date
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Pending
Application number
JP10070552A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Hirayama
浩士 平山
Osamu Sekihara
修 関原
Yoshinori Suzuki
賀紀 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Publication of JPH11274243A publication Critical patent/JPH11274243A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tape carrier, with which warp of a substrate can be prevented after dividing of a tape BGA prepared through a reel-to-reel process and handling operation in the case of carriage or assembly in a mounting process can be easily performed. SOLUTION: While using a reinforcing plate 5 prepared from a material compositing a crystalized carbon graphite fiber equipped with an opening at the center with non-directional carbon and a compound material laminating metal foil on these materials and a resin film having sprocket holes 2 for reel-to- reel carriage at both terminals and a semiconductor chip loading part at the center while forming a wiring pattern 4, the semiconductor chip loading part of the said resin film and the opening part of the said reinforcing plate are stuck while matching their positions so as to be located on the same central axis. In this case, the resin film forming the wiring pattern 4 can use the conventional TAB tape or resin film base material for flexible printed wiring board. While using such a tape with reinforcing plate, the semiconductor device is assembled.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置用テープ
キャリアに関する。
The present invention relates to a tape carrier for a semiconductor device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、パソコン等に代表される電子機器
の高密度化、小型化、軽量化に伴い、半導体パッケージ
も高密度化、小型化、軽量化が要求されている。これら
の要求に応えるべく半導体パッケージも従来のQFPタ
イプよりさらに多端子化に対応できるボールグリッドア
レイ(BGA)タイプのものが多用され始めている。
2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices represented by personal computers and the like have been increased in density, reduced in size, and reduced in weight, semiconductor packages have also been required to have higher density, smaller size, and lighter weight. In order to meet these requirements, a ball grid array (BGA) type semiconductor package which can cope with more terminals than the conventional QFP type is beginning to be widely used.

【0003】現在、BGAは基材にプリント基板を使用
したプラスチックBGAが主流である。しかしながら、
半導体チップと狭ピッチのインナーリードとの接続をワ
イヤボンディング方式で行えること、半導体チップの実
装においてリール トウ リール工程が使用できて低コス
ト化が可能であること等の長所を持ったBGAであるテ
ープBGAが増えつつある。このテープBGAは、樹脂
フィルムに導電層を設けたフレキシブル基板を基材とし
て用いている。
At present, a plastic BGA using a printed circuit board as a base material is mainly used as the BGA. However,
A BGA tape that has the advantages that the semiconductor chip can be connected to the narrow-pitch inner leads by a wire bonding method, and that the reel-to-reel process can be used in mounting the semiconductor chip and the cost can be reduced. BGA is increasing. This tape BGA uses a flexible substrate in which a conductive layer is provided on a resin film as a base material.

【0004】具体的には、例えば、片面に配線パターン
が形成され、その両端にリール トウ リール方式で搬送
するためのスプロケットホールと、その中央に半導体チ
ップを搭載するためのデバイスホールとが設けられた樹
脂フィルム基材を用いる。
More specifically, for example, a wiring pattern is formed on one side, and a sprocket hole for transporting in a reel-to-reel system is provided at both ends thereof, and a device hole for mounting a semiconductor chip is provided at the center thereof. A resin film substrate is used.

【0005】この樹脂フィルム基材を用いてテープBG
Aを製造するには、まず、半導体チップをマウンターに
よりデバイスホールに搭載し、デバイスホール内に設け
られている配線の一端と半導体チップの電極とを接続す
る。その後、半導体チップを樹脂でモールドし、半導体
チップの電極と電気的に接続した配線の他端に半田ボー
ルを接合する。
Using this resin film substrate as a tape BG
To manufacture A, first, a semiconductor chip is mounted in a device hole by a mounter, and one end of a wiring provided in the device hole is connected to an electrode of the semiconductor chip. Thereafter, the semiconductor chip is molded with a resin, and a solder ball is bonded to the other end of the wiring electrically connected to the electrode of the semiconductor chip.

【0006】その後、樹脂フィルム上に連続したテープ
BGAを打ち抜き金型を用いて分断し、個々のテープB
GAを得る。
Then, a continuous tape BGA on the resin film is cut using a punching die, and each tape BGA is cut.
Get GA.

【0007】以上のようにして得られたテープBGAを
回路基板へ実装するには、回路基板の電極部上に半田ボ
ールがくるように位置合わせし、リフローする。
In order to mount the tape BGA obtained as described above on a circuit board, the tape BGA is positioned so that the solder ball comes on the electrode portion of the circuit board, and reflowed.

【0008】しかしながら、このようなテープBGA
は、半導体チップ実装後、テープを個々に分割した時
に、テープそのものに剛性がない。そのため、そのまま
では、回路基板への実装のための搬送時や組み付け時の
ハンドリング操作が困難となる。よって、ホルダ等で保
持する必要がある。
However, such a tape BGA
However, when the tape is divided individually after mounting the semiconductor chip, the tape itself has no rigidity. Therefore, if it is used as it is, it becomes difficult to perform a handling operation at the time of transportation for mounting on a circuit board or at the time of assembly. Therefore, it is necessary to hold it with a holder or the like.

【0009】また回路基板への実装のための半田リフロ
ー時に熱の影響でテープに反りが生じて半田ボールと回
路基板の配線パターンとが十分に密着しない部分が生
じ、その結果、テープBGAと回路基板上の配線パター
ンとの間で電気信号交換が行えない、いわゆるオープン
不良が発生するという不具合が生じやすかった。
In addition, the tape is warped due to heat during solder reflow for mounting on a circuit board, and a portion where the solder ball and the wiring pattern of the circuit board do not sufficiently adhere to each other occurs. As a result, the tape BGA and the circuit A problem that an electrical signal cannot be exchanged with a wiring pattern on a substrate, that is, a so-called open failure occurs easily occurs.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上配の間題点
を解決するためになされたもので、リール トウ リール
工程により作成したテープBGAを個々に分断した後の
反りを防止することを可能とし、かつ実装工程において
搬送もしくは組み付ける際のハンドリング操作を容易に
行うことのできる補強板付テープ、補強板付テープキャ
リア、補強板付テープBGA等を提供することを課題と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to prevent a warp after individually dividing a tape BGA produced by a reel-to-reel process. An object of the present invention is to provide a tape with a reinforcing plate, a tape carrier with a reinforcing plate, a tape with a reinforcing plate BGA, and the like, which are made possible and can easily perform a handling operation when transported or assembled in a mounting process.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上配課題を解決する本第
一の発明は、中央に開口部が設けられた結晶化カーボン
グラファイト繊維を無方向性カーボンでコンポジット化
した材料、およびこれらに金属箔をラミネートした複合
材料のいずれかで作成した補強板と、配線パターンが形
成され、両端にリール トウ リール搬送用のスプロケッ
トホールを有し、中央に半導体チップ搭載部を有する樹
脂フィルムを用い、該樹脂フィルムの半導体チップ搭載
部と該補強板の開口部が同芯軸上になるように位置合わ
せして張り付けてなる補強板付きテープである。なお、
上記配線パターンが形成された樹脂フィルムは従来のT
ABテープ、フレキシブルプリント配線板用の樹脂フィ
ルム基材が使用できる。さらに、複合材料化しうる金属
としては金、銀、白金、銅、鉄、ニッケル、コバルト、
モリブデン、チタン等、およびこれらの合金が用いう
る。
A first aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems is to provide a material in which a crystallized carbon graphite fiber having an opening at the center is made of non-directional carbon, and A reinforcing plate made of any of the composite materials laminated with foil, a wiring pattern is formed, a resin film having a sprocket hole for reel-to-reel transport at both ends, and a semiconductor chip mounting portion at the center, is used. A tape with a reinforcing plate, which is attached and positioned such that the semiconductor chip mounting portion of the resin film and the opening of the reinforcing plate are coaxial. In addition,
The resin film on which the wiring pattern is formed is a conventional T
AB tapes and resin film substrates for flexible printed wiring boards can be used. Further, as metals that can be made into a composite material, gold, silver, platinum, copper, iron, nickel, cobalt,
Molybdenum, titanium, and the like, and alloys thereof can be used.

【0012】そして、本第二の発明は本第一の発明の補
強板付きテープより分断された個々の補強板付きテープ
キャリアであり、本第三の発明は本第一の発明の補強板
付きテープ、あるいは本第二の発明の補強板付きテープ
キャリアを用いて組み立てられた半導体装置である。
Further, the second invention is a tape carrier with an individual reinforcing plate divided from the tape with a reinforcing plate of the first invention, and the third invention is a tape carrier with a reinforcing plate of the first invention. A semiconductor device assembled using a tape or a tape carrier with a reinforcing plate according to the second invention.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の補強板付きテープは、樹
脂フィルムの片面に配線パターンが形成され、両端にリ
ール トウ リール工程におけるテープ搬送用のスプロケ
ットホールを有したフレキシブルなテープを用いる。テ
ープとしては、半導体チップの実装方法に応じ、中央に
デバイスホールを有し半導体チップとの接合をテープに
形成された配線部のリードで行うものや、テープ上に半
導体チップを搭載し、半導体チップの電極パッドとテー
プに設けられた配線部のパッドやリードとをワイヤーボ
ンディングしておこなうものが使用できる。そして、こ
のようなテープは従来法に従い得ることが可能である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The tape with a reinforcing plate of the present invention uses a flexible tape having a wiring pattern formed on one surface of a resin film and having sprocket holes at both ends for transporting the tape in a reel-to-reel process. Depending on the mounting method of the semiconductor chip, the tape has a device hole in the center and the connection with the semiconductor chip is performed by the lead of the wiring part formed on the tape, or the semiconductor chip is mounted on the tape and the semiconductor chip is mounted. Can be used by wire bonding between the electrode pads of the above and the pads and leads of the wiring portion provided on the tape. And such a tape can be obtained according to a conventional method.

【0014】次に中央に開口部が般けられた結晶化カー
ボングラファイト繊維を無方向性カーボンでコンポジッ
ト化した材料、およびこれらに金属箔をラミネートした
複合材料などで作成した補強板を、テープの半導体チッ
プ搭載部と補強板の開口部とが同芯軸上になるように位
置合わせし、接着剤で張り付ける。接着剤は常温接合タ
イプ、熱硬化性タイプまたは熱可塑性タイプのいずれで
もよい。また、接着剤は補強板もしくは樹脂フィルム基
材の張り合わせ面側にあらかじめ形成しておいてもよ
い。
Next, a reinforcing plate made of a material obtained by compositing a crystallized carbon graphite fiber having an opening in the center with non-directional carbon and a composite material obtained by laminating a metal foil on the material is used as a tape. The semiconductor chip mounting portion and the opening of the reinforcing plate are aligned so as to be on a concentric axis, and are attached with an adhesive. The adhesive may be any of a cold bonding type, a thermosetting type, or a thermoplastic type. Further, the adhesive may be formed in advance on the bonding surface side of the reinforcing plate or the resin film substrate.

【0015】補強板の大きさ、形状等は実装する半導体
チップの大きさ、形状等に応じて適宜設計すれぱよい。
また補強板の厚みは、任意の厚みを選択することが可能
であるが、パッケージ全体の高さを低く抑えることが望
ましいため、通常50〜100μmの厚みが用いられ
る。
The size and shape of the reinforcing plate may be appropriately designed according to the size and shape of the semiconductor chip to be mounted.
The thickness of the reinforcing plate can be arbitrarily selected. However, since it is desirable to keep the height of the entire package low, a thickness of 50 to 100 μm is usually used.

【0016】このようにして本発明の補強板付きテープ
が作成されるが、作成された補強板付きテープの使用に
際しては通常のTABテープを用いた半導体チップの実
装方法と同様にリール トウ リール方式に従って行われ
る。
The tape with a reinforcing plate of the present invention is prepared in this manner. When the tape with a reinforcing plate is used, a reel-to-reel system is used in the same manner as in the method of mounting a semiconductor chip using a normal TAB tape. It is performed according to.

【0017】なお、本発明の補強板付きテープキャリア
は上記補強板付きテープを個々に分断することによって
得られる。半導体の実装装置によっては本発明の補強板
付きテープキャリアを用いることが有効である。
The tape carrier with a reinforcing plate of the present invention can be obtained by individually dividing the tape with a reinforcing plate. It is effective to use the tape carrier with a reinforcing plate of the present invention depending on the semiconductor mounting device.

【0018】本発明の特徴は結晶化カーボングラファイ
ト繊維を無方向性カーボンでコンポジット化した材料、
およびこれらに金属箔をラミネートした複合材料等で作
成された補強板を用いている点であり、これにより良好
な熱伝導性が確保できるからである。
A feature of the present invention is a material in which crystallized carbon graphite fibers are composited with non-directional carbon,
In addition, a reinforcing plate made of a composite material or the like obtained by laminating a metal foil on these materials is used, so that good thermal conductivity can be secured.

【0019】[0019]

【実施例】次に実施例を用いて本発明をさらに説明す
る。
Next, the present invention will be further described with reference to examples.

【0020】(実施例1)図1は樹脂フィルム基材にT
ABテープを用いた本発明の補強板付きテープの一例で
ある。図2は図1のA−A断面図である。図3は図2の
補強板付きテープを用いて作成したテープBGAの断面
図である。
(Example 1) FIG. 1 shows that a resin film substrate is made of T
It is an example of the tape with a reinforcing plate of the present invention using an AB tape. FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. FIG. 3 is a sectional view of a tape BGA prepared using the tape with a reinforcing plate of FIG.

【0021】この樹脂フィルム基材は幅70mm、厚さ
75ミクロンの長尺シネフィルム状のポリイミドフィル
ム1に長手方向に添って所定間隔で複数個のスプロケッ
トホール2とデバイスホール3とが設けられている。
This resin film substrate has a plurality of sprocket holes 2 and device holes 3 provided at predetermined intervals along a longitudinal direction on a long cine film-like polyimide film 1 having a width of 70 mm and a thickness of 75 microns. I have.

【0022】この樹脂フィルム1上には、厚さ25ミク
ロンの銅箔をエッチング処理して形成された配線パター
ン4が設けられている。
On the resin film 1, there is provided a wiring pattern 4 formed by etching a copper foil having a thickness of 25 microns.

【0023】樹脂フィルム基材の配線パターンと反対の
面に、幅35mm、厚さ0.5mm、その中央部に開口
部を有した無方向性カーボンでコンポジット化した複合
材料製の補強板5が接着剤6を介して貼り付けてある。
A reinforcing plate 5 made of a composite material made of non-directional carbon and having a width of 35 mm, a thickness of 0.5 mm, and an opening at the center thereof is provided on the surface of the resin film substrate opposite to the wiring pattern. It is attached via an adhesive 6.

【0024】上記補強板付きテープは、テープをリール
トウ リール方式で搬送しながらスプロケットホールを
用いて位置合わせをし、これに接着剤付き補強板を熱圧
着することにより得た。この接着に際しては、熱硬化型
の接着剤を用い、温度100度、圧力10Kg/c
2、接着時間1秒の条件で貼り合わせた。
The tape with the reinforcing plate was obtained by positioning the tape using a sprocket hole while transporting the tape in a reel-to-reel system, and thermocompression bonding the reinforcing plate with an adhesive thereto. At the time of this bonding, a thermosetting adhesive is used at a temperature of 100 degrees and a pressure of 10 kg / c.
The bonding was performed under the conditions of m 2 and bonding time of 1 second.

【0025】得られた補強板付きテープを用い、リール
トウ リール方式により半導体チップ7を搭載し、樹脂
8で封止し、その後配線パターン上に半田ボール9を搭
載し、最後に個々に分断してテープBGAを得た。
Using the obtained tape with a reinforcing plate, a semiconductor chip 7 is mounted by a reel-to-reel method, sealed with a resin 8, and then a solder ball 9 is mounted on a wiring pattern, and finally divided into individual pieces. Thus, a tape BGA was obtained.

【0026】このようにして得たテープBGAを、マウ
ンターを使用して回路基板上の配線パターンに固定し、
230℃で半田リフローを行い半田ボール9を溶融し、
プリント配線板に搭載した。この際、テープBGAは補
強板の効果により十分な強度が得られ、良好なハンドリ
ングが操作ができた。また、溶融時の熱によってテープ
に反りが発生することもなく、半導体装置と回路基板上
の配線パターンのとの接触不良に起因するオープンの無
い、良好な実装状態が得られた。
The tape BGA thus obtained is fixed to a wiring pattern on a circuit board using a mounter.
Perform solder reflow at 230 ° C. to melt solder balls 9,
Mounted on a printed wiring board. At this time, the tape BGA had sufficient strength due to the effect of the reinforcing plate, and good handling was possible. Further, the tape did not warp due to the heat at the time of melting, and a good mounting state without open due to poor contact between the semiconductor device and the wiring pattern on the circuit board was obtained.

【0027】(実施例2)補強板を結晶化カーボングラ
ファイト繊維を無方向性カーボンでコンポジット化しス
テンレス板でラミネートした複合材料製とした以外は実
施例1と同様にして補強板付きテープを作成した。
(Example 2) A tape with a reinforcing plate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the reinforcing plate was made of a composite material in which crystallized carbon graphite fibers were composited with non-directional carbon and laminated with a stainless steel plate. .

【0028】この補強板付きテープに半導体チップを実
装し、半導体チップの電極パッドと対応する配線パター
ンのリードとをワイヤーポンデイングして接合した後に
樹脂封止し、実施例1と同様にしてテープBGAを作成
した。
A semiconductor chip is mounted on the tape with the reinforcing plate, and the electrode pads of the semiconductor chip and the leads of the corresponding wiring pattern are bonded by wire bonding and then resin-sealed. A BGA was created.

【0029】このようにして得たテープBGAを、マウ
ンターを使用して回路基板上の配線パターンに固定し、
230℃で半田リフローを行い半田ボールを溶融し、プ
リント配線板に搭載した。この際、テープBGAは補強
板の効果により十分な強度が得られ、良好なハンドリン
グが操作ができた。また、溶融時の熱によってテープに
反りが発生することもなく、半導体装置と回路基板上の
配線パターンのとの接触不良に起因するオープンの無
い、良好な実装状態が得られた。
The tape BGA thus obtained is fixed to a wiring pattern on a circuit board using a mounter.
Solder reflow was performed at 230 ° C. to melt the solder balls and mounted on a printed wiring board. At this time, the tape BGA had sufficient strength due to the effect of the reinforcing plate, and good handling was possible. Further, the tape did not warp due to the heat at the time of melting, and a good mounting state without open due to poor contact between the semiconductor device and the wiring pattern on the circuit board was obtained.

【0030】(実施例3)補強板を結晶化カーボングラ
ファイト繊維を無方向性カーボンでコンポジット化しモ
リブデン板でラミネートした複合材料製とした以外は実
施例1と同様にして補強板付きテープを作成した。
(Example 3) A tape with a reinforcing plate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the reinforcing plate was made of a composite material in which crystallized carbon graphite fibers were composited with non-directional carbon and laminated with a molybdenum plate. .

【0031】この補強板付きテープに半導体チップを実
装し、半導体チップの電極パッドと対応する配線パター
ンのリードとをワイヤーポンデイングして接合した後に
樹脂封止し、実施例1と同様にしてテープBGAを作成
した。
A semiconductor chip is mounted on the tape with the reinforcing plate, and the electrode pads of the semiconductor chip and the leads of the corresponding wiring patterns are bonded by wire bonding and then resin-sealed. A BGA was created.

【0032】このようにして得たテープBGAを、マウ
ンターを使用して回路基板上の配線パターンに固定し、
230℃で半田リフローを行い半田ボールを溶融し、プ
リント配線板に搭載した。この際、テープBGAは補強
板の効果により十分な強度が得られ、良好なハンドリン
グが操作ができた。また、溶融時の熱によってテープに
反りが発生することもなく、半導体装置と回路基板上の
配線パターンのとの接触不良に起因するオープンの無
い、良好な実装状態が得られた。
The tape BGA thus obtained is fixed to a wiring pattern on a circuit board using a mounter.
Solder reflow was performed at 230 ° C. to melt the solder balls and mounted on a printed wiring board. At this time, the tape BGA had sufficient strength due to the effect of the reinforcing plate, and good handling was possible. Further, the tape did not warp due to the heat at the time of melting, and a good mounting state without open due to poor contact between the semiconductor device and the wiring pattern on the circuit board was obtained.

【0033】(実施例4)補強板を結晶化カーボングラ
ファイト繊維を無方向性カーボンでコンポジット化しニ
ッケル板でラミネートした複合材料製とした以外は実施
例1と同様にして補強板付きテープを作成した。
Example 4 A tape with a reinforcing plate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the reinforcing plate was made of a composite material in which crystallized carbon graphite fibers were composited with non-directional carbon and laminated with a nickel plate. .

【0034】この補強板付きテープに半導体チップを実
装し、半導体チップの電極パッドと対応する配線パター
ンのリードとをワイヤーポンデイングして接合した後に
樹脂封止し、実施例1と同様にしてテープBGAを作成
した。
A semiconductor chip is mounted on the tape with the reinforcing plate, and the electrode pads of the semiconductor chip and the leads of the corresponding wiring patterns are bonded by wire bonding and then resin-sealed. A BGA was created.

【0035】このようにして得たテープBGAを、マウ
ンターを使用して回路基板上の配線パターンに固定し、
230℃で半田リフローを行い半田ボールを溶融し、プ
リント配線板に搭載した。この際、テープBGAは補強
板の効果により十分な強度が得られ、良好なハンドリン
グが操作ができた。また、溶融時の熱によってテープに
反りが発生することもなく、半導体装置と回路基板上の
配線パターンのとの接触不良に起因するオープンの無
い、良好な実装状態が得られた。
The tape BGA thus obtained is fixed to a wiring pattern on a circuit board using a mounter.
Solder reflow was performed at 230 ° C. to melt the solder balls and mounted on a printed wiring board. At this time, the tape BGA had sufficient strength due to the effect of the reinforcing plate, and good handling was possible. Further, the tape did not warp due to the heat at the time of melting, and a good mounting state without open due to poor contact between the semiconductor device and the wiring pattern on the circuit board was obtained.

【0036】(実施例5)補強板を結晶化カーボングラ
ファイト繊維を無方向性カーボンでコンポジット化し金
箔を両面にラミネートした複合材料製とした以外は実施
例1と同様にして補強板付きテープキャリアを作成し
た。
Example 5 A tape carrier with a reinforcing plate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the reinforcing plate was made of a composite material in which crystallized carbon graphite fibers were composited with non-directional carbon and gold foil was laminated on both sides. Created.

【0037】この補強板付きテープキャリアに半導体チ
ップを実装し、半導体チップの電極パッドと対応する配
線パターンのリードとをワイヤーポンデイングして接合
した後に樹脂封止し、実施例1と同様にしてテープBG
Aを作成した。
A semiconductor chip is mounted on this tape carrier with a reinforcing plate, and the electrode pads of the semiconductor chip and the leads of the corresponding wiring pattern are bonded by wire bonding and then resin-sealed. Tape BG
A was created.

【0038】このようにして得たテープBGAを、マウ
ンターを使用して回路基板上の配線パターンに固定し、
230℃で半田リフローを行い半田ボールを溶融し、プ
リント配線板に搭載した。この際、テープBGAは補強
板の効果により十分な強度が得られ、良好なハンドリン
グが操作ができた。また、溶融時の熱によってテープに
反りが発生することもなく、半導体装置と回路基板上の
配線パターンのとの接触不良に起因するオープンの無
い、良好な実装状態が得られた。
The tape BGA thus obtained is fixed to a wiring pattern on a circuit board using a mounter.
Solder reflow was performed at 230 ° C. to melt the solder balls and mounted on a printed wiring board. At this time, the tape BGA had sufficient strength due to the effect of the reinforcing plate, and good handling was possible. Further, the tape did not warp due to the heat at the time of melting, and a good mounting state without open due to poor contact between the semiconductor device and the wiring pattern on the circuit board was obtained.

【0039】(実施例6)実施例1と同様にして補強板
付きテープを作成した。その後、個々に分断して100
0個の補強板付きテープキャリアを得た。
Example 6 A tape with a reinforcing plate was prepared in the same manner as in Example 1. After that, cut into 100 pieces
Zero tape carriers with a reinforcing plate were obtained.

【0040】上記補強板付きテープキャリアの配線部を
用いて位置合わせをし、中央部のデバイスホールに接半
導体チップを搭載し、半導体チップの各電極とデバイス
ホール内に突き出している配線部のリードとをワイヤボ
ンディングし、樹脂で封止し、その後配線パターン上に
半田ボールを搭載し、テープBGAを得た。
Positioning is performed using the wiring portion of the tape carrier with the reinforcing plate, a semiconductor chip is mounted in a device hole in the center, and each electrode of the semiconductor chip and a lead of the wiring portion protruding into the device hole. Were bonded with a resin and sealed with a resin, and then a solder ball was mounted on the wiring pattern to obtain a tape BGA.

【0041】このようにして得たテープBGAを、マウ
ンターを使用して回路基板上の配線パターンに固定し、
230℃で半田リフローを行い半田ボールを溶融し、プ
リント配線板に搭載した。この間、テープBGAの作成
中は無論、プリント配線板への搭載に際しても補強板の
効果により十分な強度が得られ、良好なハンドリングが
操作ができた。また、溶融時の熱によってテープに反り
が発生することもなく、半導体装置と回路基板上の配線
パターンのとの接触不良に起因するオープンの無い、良
好な実装状態が得られた。
The tape BGA thus obtained is fixed to a wiring pattern on a circuit board using a mounter.
Solder reflow was performed at 230 ° C. to melt the solder balls and mounted on a printed wiring board. During the production of the tape BGA, of course, sufficient strength was obtained due to the effect of the reinforcing plate during mounting on the printed wiring board, and good handling was possible. Further, the tape did not warp due to the heat at the time of melting, and a good mounting state without open due to poor contact between the semiconductor device and the wiring pattern on the circuit board was obtained.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明による補強板付きテープキャリア
を用いれぱ、補強板の効果によってフィルムキャリアに
充分な強度が得られるので、半導体チップを搭載したテ
ープキャリアを個々に分割した際に特別なホルダで保持
して搬送したりする必要がなく、また回路基板に実装す
る際に熱によるオープン不良を未然に防止できる等の効
果がある。
According to the tape carrier with a reinforcing plate of the present invention, a sufficient strength can be obtained in the film carrier by the effect of the reinforcing plate. Therefore, when the tape carrier on which the semiconductor chip is mounted is divided individually, a special holder is required. It is not necessary to hold and transport the device, and it is possible to prevent an open defect due to heat before mounting on a circuit board.

【0043】加えて、用いる結晶化カーボングラファイ
ト繊維を無方向性カーボンでコンポジット化した材料、
およびこれらに金属箔をラミネートした複合材料等は熱
伝導性が良く、半導体チップの発熱を効率良く発散させ
ることが可能である。
In addition, a material in which the crystallized carbon graphite fiber used is composited with non-directional carbon,
In addition, a composite material or the like obtained by laminating a metal foil on these materials has good thermal conductivity and can efficiently radiate heat generated by the semiconductor chip.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】樹脂フィルム基材にTABテープを用いた本発
明の補強板付きテープキャリアの一例である。
FIG. 1 is an example of a tape carrier with a reinforcing plate of the present invention using a TAB tape as a resin film base.

【図2】図1のA−A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】図2の補強板付きテープキャリアを用いて作成
したテープBGAの断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a tape BGA produced using the tape carrier with a reinforcing plate of FIG. 2;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1−−−ポリイミドフィルム 2−−−スプロケットホール 3−−−デバイスホール 4−−−配線パターン 5−−−補強板 6−−−接着剤 7−−−半導体チップ 8−−−樹脂 9−−−半田ボール 1 ---- Polyimide film 2--Sprocket hole 3--Device hole 4--Wiring pattern 5--Reinforcing plate 6 ---- Adhesive 7 ---- Semiconductor chip 8 ---- Resin 9- -Solder ball

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中央に開口部が設けられた結晶化カー
ボングラファイト繊維を無方向性カーボンでコンポジッ
ト化した材料、およびこれらに金属箔をラミネートした
複合材料のいずれかを用いて作成した補強板と、配線パ
ターンが形成され、両端にリール トウ リール搬送用の
スプロケットホールを有し、中央に半導体チップ搭載部
を有する樹脂フィルムとを用い、該樹脂フィルムの半導
体チップ搭載部と該補強板の開口部が同芯軸上になるよ
うに位置をあわせして張り付けてなる補強板付きテー
プ。
1. A reinforcing plate made of a material obtained by compositing a crystallized carbon graphite fiber having an opening in the center with non-directional carbon, and a composite material obtained by laminating a metal foil on the material. A resin film having a wiring pattern formed thereon, a sprocket hole for reel-to-reel conveyance at both ends, and a resin film having a semiconductor chip mounting portion in the center, and a semiconductor chip mounting portion of the resin film and an opening of the reinforcing plate. Is a tape with a reinforcing plate that is attached and positioned so that it is on a concentric axis.
【請求項2】 請求項1記載の補強板付きテープより
分断されて得られたことを特徴とする補強板付きテープ
キャリア。
2. A tape carrier with a reinforcing plate, obtained by dividing the tape with a reinforcing plate according to claim 1.
【請求項3】 請求項1記載の補強板付きテープ、あ
るいは請求項2記載の補強板付きテープキャリアを用い
て組み立てられたことを特徴とする半導体装置。
3. A semiconductor device assembled using the tape with a reinforcing plate according to claim 1 or the tape carrier with a reinforcing plate according to claim 2.
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