JPH11273893A - Ejection-type ion generating device - Google Patents
Ejection-type ion generating deviceInfo
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- JPH11273893A JPH11273893A JP10078204A JP7820498A JPH11273893A JP H11273893 A JPH11273893 A JP H11273893A JP 10078204 A JP10078204 A JP 10078204A JP 7820498 A JP7820498 A JP 7820498A JP H11273893 A JPH11273893 A JP H11273893A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、コロナ放電を利用
して発生させたイオンを気体（エア）により噴射させる
噴射型イオン発生装置に関し、特に、ＶＬＳＩやＬＣＤ
等の製造プロセスにおいて、除電対象物から静電気を除
去する除電装置に使用して好適なイオン発生装置に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ejection type ion generator for ejecting ions generated by utilizing corona discharge by gas (air), and more particularly to a VLSI or LCD.
The present invention relates to an ion generator suitable for use in a static eliminator for removing static electricity from an object to be neutralized in a manufacturing process such as the above.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】この種
のイオン発生装置では、イオンを生成するためのエミッ
タ（放電電極）に高電圧が印加されるため、このエミッ
タがいわば集塵機となってしまい、クリーンルーム内の
塵埃等の微粒子を静電吸着してしまう。その結果、イオ
ンの発生量が減少したり、本来はイオンを除電対象物方
向へ送るためのエアによって吸着微粒子を再飛散させる
こととなり、除電効率やクリーンルーム内の清浄度を低
下させるおそれがあった。2. Description of the Related Art In this type of ion generator, a high voltage is applied to an emitter (discharge electrode) for generating ions, so that the emitter becomes a dust collector. In addition, fine particles such as dust in the clean room are electrostatically adsorbed. As a result, the amount of generated ions is reduced, or the adsorbed particles are originally re-scattered by the air for sending the ions toward the object to be neutralized, which may reduce the static elimination efficiency and the cleanliness in the clean room. .
【０００３】このため、導風管の内部に同軸上にエミッ
タを配置し、導風管にエアを送ってエミッタの根元から
先端部方向に向かう気流を発生させることにより、導風
管内部を正圧にしてエミッタへの微粒子の吸着を防ぐよ
うにした構造が既に提案されている。しかしながら、こ
の構造によると、コロナ放電により発生したイオンがエ
ミッタ先端部の周囲の導風管内周面に付着してしまい、
エミッタ先端部と導風管との電位差が小さくなる。この
ため、エミッタ先端部における電界強度が弱くなり、イ
オン発生量が少なくなるという問題があった。[0003] For this reason, an emitter is arranged coaxially inside the air guide tube, and air is sent to the air guide tube to generate an airflow from the base of the emitter toward the tip end portion, so that the inside of the air guide tube is corrected. A structure in which pressure is applied to prevent the adsorption of fine particles on the emitter has already been proposed. However, according to this structure, the ions generated by the corona discharge adhere to the inner surface of the air guide tube around the tip of the emitter,
The potential difference between the tip of the emitter and the air guide tube is reduced. For this reason, there has been a problem that the electric field intensity at the tip of the emitter is weakened and the amount of generated ions is reduced.
【０００４】そこで本発明は、エミッタ先端部の電界強
度を低下させることなく、十分な量のイオンを発生させ
ることができる噴射型イオン発生装置を提供しようとす
るものである。Accordingly, an object of the present invention is to provide an injection type ion generator capable of generating a sufficient amount of ions without lowering the electric field intensity at the tip of the emitter.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、エミッタからのコロナ放電
によって発生したイオンを気体により除電対象物に噴射
する噴射型イオン発生装置において、内部に第１の気体
流路を有するエミッタと、このエミッタを包囲してエミ
ッタとの間に第２の気体流路を形成し、かつ、エミッタ
の最先端部よりも除電対象物側に突出された導風管と、
前記エミッタの先端部に近接して配置された対向電極
と、を備えたものである。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is directed to an injection type ion generator in which ions generated by corona discharge from an emitter are jetted to an object to be neutralized by gas. An emitter having a first gas flow path, and a second gas flow path formed between the emitter surrounding the emitter, and protruding toward the object to be neutralized with respect to the most distal end of the emitter. Air ducts,
A counter electrode disposed close to the tip of the emitter.
【０００６】なお、上記噴射型イオン発生装置におい
て、第１の気体流路は、請求項２のようにパイプ状のエ
ミッタの内部空間によって形成され、または、請求項３
のように中実のエミッタ本体と該エミッタ本体を包囲す
るノズルとの間の空間によって形成されている。In the above-mentioned injection type ion generator, the first gas flow path is formed by the internal space of the pipe-shaped emitter as in claim 2 or in claim 3.
As defined by the space between the solid emitter body and the nozzle surrounding the emitter body.
【０００７】また、請求項４に記載するように、前記第
１の気体流路を分岐させて第２の気体通路に連絡させて
も良い。Further, as described in claim 4, the first gas flow path may be branched and connected to a second gas passage.
【０００８】エミッタまたはエミッタ本体の材質として
は、請求項５に記載するようにシリコン製とすることが
好ましく、同時に、請求項６に記載する如く、前記対向
電極の少なくともエミッタ側の材質をシリコンとするこ
とが望ましい。The material of the emitter or the emitter main body is preferably made of silicon as described in claim 5, and at the same time, as described in claim 6, the material of at least the emitter side of the counter electrode is made of silicon. It is desirable to do.
【０００９】導風管の材質としては、請求項７に記載す
るようにガラス等の絶縁性無機物質にすると良い。The air guide tube is preferably made of an insulating inorganic material such as glass as described in claim 7.
【００１０】この導風管の外周面を、請求項８に記載す
るように導電材料により覆えば電磁シールド効果が得ら
れ、請求項１０に記載する如く上記導電材料を対向電極
に電気的に接続して接地することにより、接地極を共用
することができる。また、請求項９に記載するように対
向電極を接地することにより、エミッタ先端部における
電界強度を十分に大きくすることができる。An electromagnetic shielding effect can be obtained by covering the outer peripheral surface of the air guide tube with a conductive material as described in claim 8, and electrically connecting the conductive material to a counter electrode as described in claim 10. By grounding in this way, the ground electrode can be shared. In addition, by grounding the counter electrode as described in claim 9, the electric field strength at the tip of the emitter can be sufficiently increased.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は本発明の第１実施形態を示す断面
図である。図において、１１は絶縁性の導風管であり、
その下端部近傍には段部１２が形成されている。導風管
１１は、例えばガラス等の絶縁性無機物質によって構成
することが望ましい。これは、樹脂等の有機物質を使用
すると、コロナ放電時に発生するオゾンによって劣化す
るおそれがあるためである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of the present invention. In the figure, 11 is an insulating air guide tube,
A step 12 is formed near the lower end. The air guide tube 11 is desirably made of an insulating inorganic material such as glass. This is because the use of an organic substance such as a resin may cause deterioration due to ozone generated during corona discharge.
【００１２】前記段部１２の内側には、導電性を有する
リング状の対向電極３１が固定されており、かつ接地さ
れている。この対向電極３１は、後述するエミッタ２１
の先端部近傍に発生するイオンが導風管１１の内周面に
付着しないように、これらのイオンを捕集して接地側へ
移動させる作用をなす。これにより、エミッタ２１の先
端部と対向電極３１との間の電位差が増大し、エミッタ
２１の先端部の電界強度は対向電極３１がない場合に比
べて大きくなる。A ring-shaped counter electrode 31 having conductivity is fixed inside the step portion 12 and is grounded. The opposing electrode 31 is connected to an emitter 21 to be described later.
In order to prevent ions generated in the vicinity of the front end of the air guide tube 11 from adhering to the inner peripheral surface of the air guide tube 11, these ions are collected and moved to the ground side. As a result, the potential difference between the tip of the emitter 21 and the counter electrode 31 increases, and the electric field strength at the tip of the emitter 21 becomes larger than when the counter electrode 31 is not provided.
【００１３】さて、エミッタ２１は、電界を集中させる
ように先端部（図の下端部）を尖鋭状に形成した導電性
のパイプ部材からなり、中心孔２２を有している。エミ
ッタ２１の材質としては、劣化防止のためにシリコン製
とすることが好ましい。同様に、前記対向電極３１の少
なくともエミッタ２１側をシリコンで被覆すると良い。
なお、エミッタ２１の最先端部は、導風管１１の最先端
部（図では最下端部）よりも内側（上方）に位置させ
る。言い換えれば、導風管１１の最先端部はエミッタ２
１の最先端部よりも除電対象物側に突出している。The emitter 21 is formed of a conductive pipe member having a sharp tip (lower end in the figure) so as to concentrate the electric field, and has a center hole 22. The material of the emitter 21 is preferably made of silicon to prevent deterioration. Similarly, at least the emitter 21 side of the counter electrode 31 may be covered with silicon.
The tip of the emitter 21 is located inside (upper) the tip of the air guide tube 11 (the lowermost end in the figure). In other words, the tip of the air guide tube 11 is the emitter 2
1 protrudes more toward the object to be neutralized than the leading end.
【００１４】本実施形態の動作を説明すると、エミッタ
２１の中心孔２２には第１のエア流路が形成され、エミ
ッタ２１の周囲には第２のエア流路が形成される。第１
のエア流路にはエミッタ２１の根元から先端方向に向か
うように第１のエアＡ１が供給され、導風管１１内部の
第２のエア流路には同方向に第２のエアＡ２が供給され
ている。ここで、第１のエアＡ１の流速は第２のエアＡ
２の流速よりも速くなるようにエアの供給圧や流路が考
慮されている。To explain the operation of this embodiment, a first air flow path is formed in the center hole 22 of the emitter 21 and a second air flow path is formed around the emitter 21. First
The first air A1 is supplied from the base of the emitter 21 toward the tip of the air flow path, and the second air A2 is supplied to the second air flow path inside the air guide tube 11 in the same direction. Have been. Here, the flow rate of the first air A1 is the second air A
The air supply pressure and the flow path are taken into consideration so as to be faster than the second flow velocity.
【００１５】この状態でエミッタに高電圧（例えば直流
高電圧）を印加すると、エミッタ２１の先端部でコロナ
放電が生じ、その近傍にイオンが生成される。このイオ
ンは、流速の速い第１のエアＡ１に乗ってエミッタ２１
の中心軸方向に高速で噴射される。その際、第１のエア
Ａ１の周囲には第２のエアＡ２による気流が存在するの
で、発生したイオンが導風管１１の内周面に付着した
り、対向電極３１を介して接地側へ吸い取られることな
く、大部分が導風管１１の先端部から除電対象物側へ噴
射される。従って、除電対象物を高効率で除電すること
ができると共に、エミッタ２１の先端部の電界強度は常
に大きく保たれるため、安定した状態で効果的に除電を
行うことができる。When a high voltage (for example, a DC high voltage) is applied to the emitter in this state, corona discharge occurs at the tip of the emitter 21 and ions are generated in the vicinity thereof. These ions are transported on the first air A1 having a high flow velocity and
Is injected at high speed in the direction of the central axis. At this time, since the airflow of the second air A2 exists around the first air A1, the generated ions adhere to the inner peripheral surface of the air guide tube 11 or go to the ground side via the counter electrode 31. Most of the air is injected from the front end of the air guide tube 11 toward the object to be neutralized without being sucked. Therefore, the object to be neutralized can be neutralized with high efficiency, and the electric field intensity at the tip of the emitter 21 is always kept high, so that static elimination can be performed effectively in a stable state.
【００１６】次に、図２は本発明の第２実施形態を示し
ている。この実施形態は、エミッタ本体２３を中実の針
状に形成し、その周囲を絶縁性かつ中空のノズル２４に
よって包囲することによりエミッタ２６を構成したもの
である。なお、２５はノズル２４の中心に設けられた通
孔である。その他の構成要素は図１と同様である。この
実施形態では、エミッタ２６の内部の通孔２５が第１の
エア流路となって第１のエアＡ１が供給され、ノズル２
４の周囲（エミッタ２６の周囲）の導風管１１内部が第
２のエア流路となって同方向の第２のエアＡ２が供給さ
れる。動作としては、図１と実質的に同一である。Next, FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the emitter body 23 is formed in a solid needle shape, and the periphery thereof is surrounded by an insulating and hollow nozzle 24 to form the emitter 26. Reference numeral 25 is a through hole provided at the center of the nozzle 24. Other components are the same as those in FIG. In this embodiment, the through-hole 25 inside the emitter 26 serves as a first air flow path, and the first air A1 is supplied.
The inside of the air guide tube 11 around the periphery 4 (around the emitter 26) becomes a second air flow path, and the second air A2 in the same direction is supplied. The operation is substantially the same as that of FIG.
【００１７】図３は、本発明の第３実施形態を示してい
る。この実施形態は、第１のエア流路を途中で分岐して
第２のエア流路に連絡させ、単一のエア流から第１のエ
アＡ１及び第２のエアＡ２を作り出すようにしたもので
ある。すなわち、図３において、エミッタ２１にはその
途中にエア分岐孔２７が設けられており、中心孔２２に
供給された単一のエア流Ａのほとんどは第１のエアＡ１
となるが、その一部はエア分岐孔２７により分岐され、
導風管１１の内部を通過する第２のエアＡ２となる。図
中、４１は導風管１１及びエミッタ２１を支持するホル
ダを示す。FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a first air flow path is branched on the way and connected to a second air flow path, so that a first air A1 and a second air A2 are created from a single air flow. It is. That is, in FIG. 3, the emitter 21 is provided with an air branch hole 27 in the middle thereof, and most of the single air flow A supplied to the center hole 22 is the first air A1.
However, a part thereof is branched by the air branch hole 27,
The second air A2 passes through the inside of the air guide tube 11. In the figure, reference numeral 41 denotes a holder for supporting the air guide tube 11 and the emitter 21.
【００１８】図３のようなエアの分岐構造にすると、エ
アの供給側で第１のエア、第２のエア用に独立した２系
統の配管を備える必要が無くなり、構造の簡略化、コス
トの低減が可能になる。図３では図１のエミッタ２１を
使用した場合につき示してあるが、図２のエミッタ２６
を使用する場合には、ノズル２４の途中にエア分岐孔を
形成すれば良い。With the air branching structure as shown in FIG. 3, there is no need to provide two independent pipes for the first air and the second air on the air supply side, which simplifies the structure and reduces the cost. Reduction becomes possible. FIG. 3 shows a case where the emitter 21 of FIG. 1 is used.
Is used, an air branch hole may be formed in the middle of the nozzle 24.
【００１９】上記各実施形態において、図示されていな
いが、導風管１１の外周面には導電材料からなる電磁シ
ールド材を被覆しても良い。これは、コロナ放電に伴う
電磁ノイズを吸収して外部にノイズ障害を与えるのを防
止するためである。その場合、電磁シールド材の接地極
と前記対向電極３１の接地極とを共用することができ
る。In each of the above embodiments, although not shown, the outer peripheral surface of the air guide tube 11 may be covered with an electromagnetic shielding material made of a conductive material. This is to prevent electromagnetic noise caused by corona discharge from being caused to cause external noise disturbance. In this case, the ground electrode of the electromagnetic shield material and the ground electrode of the counter electrode 31 can be shared.
【００２０】また、図４は本発明の第４実施形態を示す
図である。この実施形態は、上述したような電磁シール
ド材と前記対向電極３１とを兼用するパイプ状の対向電
極兼シールド材４１を導風管１３の下端部外周面に取り
付け、これを接地したものである。この実施形態によれ
ば、単一部材で前述の対向電極３１及び電磁シールド材
の両方の機能を果たすことができ、構造の簡略化、部品
数の減少が可能になる。FIG. 4 is a view showing a fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, a pipe-shaped counter electrode / shield material 41 which also serves as the above-described electromagnetic shield material and the counter electrode 31 is attached to the outer peripheral surface of the lower end portion of the air guide tube 13 and grounded. . According to this embodiment, both functions of the above-described counter electrode 31 and the electromagnetic shielding material can be performed by a single member, and the structure can be simplified and the number of components can be reduced.
【００２１】図５は図４と同一の着想に基づく第５実施
形態であり、シールド効果を一層高めるために、導風管
１４の外周面の多くの部分を対向電極兼シールド材４２
により覆った構造である。この場合、対向電極兼シール
ド材４２と導風管１４との連結固定構造は、段部４３と
係止孔１５との係止構造による。なお、段部４３は特に
対向電極としての機能を持つ。FIG. 5 shows a fifth embodiment based on the same idea as FIG. 4. In order to further enhance the shielding effect, a large part of the outer peripheral surface of the air guide tube 14 is provided with a counter electrode / shield material 42.
It is a structure covered by. In this case, the connection and fixing structure between the counter electrode / shield material 42 and the air guide tube 14 is based on a locking structure between the stepped portion 43 and the locking hole 15. The step 43 has a function particularly as a counter electrode.
【００２２】最後に、図６は本発明の第６実施形態を示
している。この実施形態は、更に構造の簡略化を図るた
め、エミッタ２１を中心として十分な絶縁距離を保ちつ
つ同心状の包囲材５１を配置したものである。この包囲
材５１は、導電性を有していて前述の対向電極及び電磁
シールド材としての機能を備えるとともに、その構造
上、導風管としての機能も備えている。この実施形態に
おいて、包囲材本体の外径は、上述した絶縁距離を確保
する観点からある程度長くする必要がある。しかし、そ
の一方で、除電対象物に噴射されるエアの流量を適切に
するために、包囲材５１の下端部５１ａを絞り込んで先
細状に形成してある。ここで、下端部５１ａは特に対向
電極としての機能も持つ。FIG. 6 shows a sixth embodiment of the present invention. In this embodiment, in order to further simplify the structure, concentric surrounding members 51 are arranged while maintaining a sufficient insulation distance around the emitter 21. The surrounding material 51 has conductivity and functions as the above-described counter electrode and electromagnetic shielding material, and also has a function as an air guide tube due to its structure. In this embodiment, the outer diameter of the surrounding material body needs to be increased to some extent from the viewpoint of securing the above-described insulation distance. However, on the other hand, the lower end 51a of the enclosing member 51 is narrowed and formed in a tapered shape in order to make the flow rate of the air injected to the object to be neutralized appropriate. Here, the lower end portion 51a also has a function particularly as a counter electrode.
【００２３】これらの図４〜図６の実施形態において
も、エミッタ２１の代わりに図２のエミッタ２６を使用
することができる。なお、上記各実施形態において、各
構成部材の形状、構造等はあくまで例示に過ぎず、本発
明は各請求項に記載した着想のもとで種々の変形が可能
である。4 to 6, the emitter 26 of FIG. 2 can be used in place of the emitter 21. In each of the above embodiments, the shape, structure, and the like of each component are merely examples, and the present invention can be variously modified based on the idea described in each claim.
【００２４】更に、本発明において、対向電極を接地す
ることは必ずしも必須の構成要件ではない。対向電極が
絶縁体からなる導風管の内部にある場合には、エミッタ
で発生したイオンが対向電極に吸収され、エミッタと対
向電極との間の電位差が低くなるため、イオンの発生が
減少する。しかし、図４，５，６に示すように、導風管
の外部に対向電極の導体部が存在する場合、導風管外部
に存在する異種イオンが対向電極に吸収されるため、エ
ミッタと対向電極との間の電位差が低くなることを阻止
する。したがって、対向電極を接地したのと同様に考え
られる。Further, in the present invention, grounding the counter electrode is not always an essential component. When the counter electrode is inside the air guide tube made of an insulator, ions generated at the emitter are absorbed by the counter electrode, and the potential difference between the emitter and the counter electrode is reduced, so that generation of ions is reduced. . However, as shown in FIGS. 4, 5, and 6, when the conductor portion of the counter electrode exists outside the wind guide tube, foreign ions existing outside the wind guide tube are absorbed by the counter electrode, so that the counter electrode faces the emitter. Prevents the potential difference between the electrodes from being reduced. Therefore, it is considered that the opposite electrode is grounded.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上のように本発明は、エミッタの先端
部近傍に発生するイオンをエミッタ内部の第１の気体流
路を介して除電対象物方向へ噴射し、エミッタの周囲の
第２の気体流路に同方向で気体を噴射させると共に、エ
ミッタの先端部に近接して対向電極またはそれに相当す
る部材を配置したものである。このため、エミッタから
は常に十分な量のイオンが発生し、そのイオンが減衰す
ることなく高効率で除電対象物方向へ噴射されることと
なり、除電効率の向上、除電時間の短縮が可能になる。
また、構造も極めて簡単であるため、イオン発生装置、
除電装置の低コスト化、メンテナンス作業の容易化が可
能である。As described above, according to the present invention, ions generated near the tip of the emitter are ejected toward the object to be neutralized through the first gas flow path inside the emitter, and the second ions around the emitter are discharged. A gas is injected into the gas flow channel in the same direction, and a counter electrode or a member corresponding thereto is disposed near the tip of the emitter. For this reason, a sufficient amount of ions are always generated from the emitter, and the ions are ejected toward the object to be neutralized with high efficiency without being attenuated, thereby improving the static elimination efficiency and shortening the static elimination time. .
Also, since the structure is extremely simple, the ion generator,
It is possible to reduce the cost of the static eliminator and facilitate maintenance work.
【図１】本発明の第１実施形態を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２実施形態を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３実施形態を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第４実施形態を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a fourth embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第５実施形態を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a fifth embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第６実施形態を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a sixth embodiment of the present invention.
Ａ１，Ａ２，Ａ エア流 １１，１３，１４ 導風管 １２，４３ 段部 １５ 係止孔 ２１，２６ エミッタ ２２ 中心孔 ２３ エミッタ本体 ２４ ノズル ２５ 通孔 ２７ エア分岐孔 ３１ 対向電極 ４１，４２，４４ 対向電極兼シールド材 ５１ 包囲材 ５１ａ 下端部 A1, A2, A Air flow 11, 13, 14 Air guide tube 12, 43 Step 15 Locking hole 21, 26 Emitter 22 Center hole 23 Emitter body 24 Nozzle 25 Through hole 27 Air branch hole 31 Counter electrode 41, 42, 44 Counter electrode / shielding material 51 Surrounding material 51a Lower end
─────────────────────────────────────────────────────
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【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年４月８日[Submission date] April 8, 1999
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項１[Correction target item name] Claim 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００５[Correction target item name] 0005
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、エミッタからのコロナ放電
によって発生したイオンを気体により除電対象物に噴射
する噴射型イオン発生装置において、内部に第１の気体
流路を有するエミッタと、このエミッタを包囲してエミ
ッタとの間に第２の気体流路を形成し、かつ、エミッタ
の最先端部よりも除電対象物側に突出された導風管と、
前記エミッタの先端部に近接して配置された対向電極
と、を備える噴射型イオン発生装置であって、第１の気
体流路から出力される気体流を第２の気体流路から出力
される気体流により包囲しつつ両気体流を前記導風管内
で合流させ、合流させた気体流を導風管口から出力する
ことを特徴とするものである。 In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is directed to an injection type ion generator in which ions generated by corona discharge from an emitter are jetted to an object to be neutralized by gas. An emitter having a first gas flow path, and a second gas flow path formed between the emitter surrounding the emitter, and protruding toward the object to be neutralized with respect to the most distal end of the emitter. Air ducts,
A counter electrode disposed in proximity to the tip of the emitter, a jet-type ion generating device Ru comprising a first gas
The gas flow output from the body flow path is output from the second gas flow path
The two gas flows inside the air guide tube while being surrounded by the gas flow
And output the combined gas flow from the air guide tube opening
It is characterized by the following.
Claims (10)
したイオンを気体により除電対象物に噴射する噴射型イ
オン発生装置において、 内部に第１の気体流路を有するエミッタと、 このエミッタを包囲してエミッタとの間に第２の気体流
路を形成し、かつ、エミッタの最先端部よりも除電対象
物側に突出された導風管と、 前記エミッタの先端部に近接して配置された対向電極
と、を備えたことを特徴とする噴射型イオン発生装置。1. An ejection type ion generator in which ions generated by corona discharge from an emitter are ejected by gas to an object to be neutralized. An emitter having a first gas flow path therein, and an emitter surrounding the emitter. Forming a second gas flow path between them, and projecting more toward the object to be neutralized than the most distal end of the emitter; and a counter electrode arranged close to the tip of the emitter. And a jet-type ion generator.
おいて、 第１の気体流路が、パイプ状のエミッタの内部空間によ
って形成されていることを特徴とする噴射型イオン発生
装置。2. The injection-type ion generator according to claim 1, wherein the first gas flow path is formed by an internal space of a pipe-shaped emitter.
おいて、 第１の気体流路が、中実のエミッタ本体と該エミッタ本
体を包囲するノズルとの間の空間によって形成されてい
ることを特徴とする噴射型イオン発生装置。3. The injection-type ion generator according to claim 1, wherein the first gas flow path is formed by a space between a solid emitter body and a nozzle surrounding the emitter body. Characteristic injection type ion generator.
ン発生装置において、 第１の気体流路が分岐して第２の気体通路に連絡してい
ることを特徴とする噴射型イオン発生装置。4. The injection type ion generator according to claim 1, wherein the first gas flow path is branched and connected to the second gas path. apparatus.
イオン発生装置において、 エミッタまたはエミッタ本体がシリコン製であることを
特徴とする噴射型イオン発生装置。5. An injection-type ion generator according to claim 1, wherein the emitter or the emitter body is made of silicon.
射型イオン発生装置において、 対向電極の少なくともエミッタ側の材質がシリコンであ
ることを特徴とする噴射型イオン発生装置。6. The injection type ion generator according to claim 1, wherein the material of at least the emitter side of the counter electrode is silicon.
の噴射型イオン発生装置において、 導風管の材質が絶縁性無機物質であることを特徴とする
噴射型イオン発生装置。7. The injection-type ion generator according to claim 1, wherein the material of the air guide tube is an insulating inorganic material.
記載の噴射型イオン発生装置において、 導風管の外周面が導電材料により覆われていることを特
徴とする噴射型イオン発生装置。8. The method of claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, or 7.
The injection type ion generator according to claim 1, wherein an outer peripheral surface of the air guide tube is covered with a conductive material.
記載の噴射型イオン発生装置において、 対向電極が接地されていることを特徴とする噴射型イオ
ン発生装置。9. The method of claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, or 7.
The injection-type ion generator according to claim 1, wherein the counter electrode is grounded.
において、 導電材料が対向電極に電気的に接続され、かつ接地され
ていることを特徴とする噴射型イオン発生装置。10. The injection type ion generator according to claim 8, wherein the conductive material is electrically connected to the counter electrode and grounded.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10078204A JP2954921B1 (en) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Injection type ion generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10078204A JP2954921B1 (en) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Injection type ion generator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2954921B1 JP2954921B1 (en) | 1999-09-27 |
| JPH11273893A true JPH11273893A (en) | 1999-10-08 |
Family
ID=13655508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10078204A Expired - Lifetime JP2954921B1 (en) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Injection type ion generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2954921B1 (en) |
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| US7679026B1 (en) | 2004-04-08 | 2010-03-16 | Mks Instruments, Inc. | Multi-frequency static neutralization of moving charged objects |
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| US8885317B2 (en) | 2011-02-08 | 2014-11-11 | Illinois Tool Works Inc. | Micropulse bipolar corona ionizer and method |
| US9125284B2 (en) | 2012-02-06 | 2015-09-01 | Illinois Tool Works Inc. | Automatically balanced micro-pulsed ionizing blower |
| USD743017S1 (en) | 2012-02-06 | 2015-11-10 | Illinois Tool Works Inc. | Linear ionizing bar |
| US9380689B2 (en) | 2008-06-18 | 2016-06-28 | Illinois Tool Works Inc. | Silicon based charge neutralization systems |
| US9918374B2 (en) | 2012-02-06 | 2018-03-13 | Illinois Tool Works Inc. | Control system of a balanced micro-pulsed ionizer blower |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106871257A (en) * | 2017-03-13 | 2017-06-20 | 悟清（上海）环境科技有限公司 | The electronics dedusting collection device that a kind of indoor top is installed |
-
1998
- 1998-03-26 JP JP10078204A patent/JP2954921B1/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2016054162A (en) * | 2009-10-23 | 2016-04-14 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | Gas ionization device, method for producing ionized gas streams, and method for converting free electron cloud into negative ion in corona discharge ionization device |
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| US9510431B2 (en) | 2012-02-06 | 2016-11-29 | Illinois Tools Works Inc. | Control system of a balanced micro-pulsed ionizer blower |
| US9918374B2 (en) | 2012-02-06 | 2018-03-13 | Illinois Tool Works Inc. | Control system of a balanced micro-pulsed ionizer blower |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2954921B1 (en) | 1999-09-27 |
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